KR20220140932A - 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법 - Google Patents

마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask)를 초순수(DI Water) 등의 세정액으로 세정 또는 린스한 후, 마스크와 마스크 프레임에 남은 각각의 세정액을 개별적으로 순차 건조 또는 동시 건조시킬 수 있게 하는 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 이송하는 로봇 이송 장치; 이송된 상기 마스크 프레임을 유도 가열 방식으로 건조시키는 유도 가열 건조 장치; 및 이송된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 장치;를 포함할 수 있다.

Description

마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법{Mask and mask frame dry system and method}
본 발명은 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask)를 초순수(DI Water) 등의 세정액으로 세정 또는 린스한 후, 마스크와 마스크 프레임에 남은 각각의 세정액을 개별적으로 순차 건조 또는 동시 건조시킬 수 있게 하는 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask)는 비교적 두께가 매우 얇아서 취급시 충분한 강도와 내구성을 갖는 상대적으로 충분히 두꺼운 두께를 갖는 마스크 프레임에 고정시켜서 사용될 수 있다.
이러한 파인 메탈 마스크는 잔류하는 이물질들을 세정한 다음, 상기 세정액이 마스크 또는 마스크 프레임에 남지 않고 건조될 수 있도록 종래에는 자연 건조시 건조 속도가 매우 빠른 휘발성 유기 용제를 세정액 또는 린스액으로 이용했었다.
그러나, 휘발성 유기 용제를 세정액 또는 린스액으로 이용하는 경우, 값비싼 유기 용제의 사용으로 인하여 유지 비용이 크게 증대되는 것은 물론이고, 대량의 휘발 가스가 발생되어 환경에 악영향을 주며, 자칫 화재 사고나 폭발 사고가 발생되는 등 안전하지 못했었던 문제점들이 있었다.
한편, 친환경적이고 저렴하며 비교적 안전한 초순수를 세정액 또는 린스액으로 적용하고자 하는 경우에는, 초순수의 건조 속도가 전체적으로 느려서 생산성이 떨어지고, 얇은 마스크에 형성된 미세홀의 건조가 완전히 이루어지지 않거나 두꺼운 마스크 프레임 부분의 건조가 충분히 이루어지지 않아서 건조 과정에서 얼룩이 발생되거나 이물질이 적층되는 현상이 발생되었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 휘발성 유기 용제 대신 초순수를 세정액 또는 린스액으로 적용할 수 있어서, 친환경적이며 유지 비용이 저렴하고 안전하며, 두께가 두꺼운 마스크 프레임은 유도 가열 방식으로 건조하고, 두께가 얇은 마스크는 플라즈마 방식으로 차별적으로 순차 건조 또는 동시 건조하여 건조 속도를 향상시켜서 생산성을 크게 높일 수 있으며, 마스크 및 마스크 프레임 각각의 건조가 매우 균일하고 완전하게 이루어져서 남은 이물질로 인한 국부적인 얼룩 현상이나 이물질 적층 현상을 방지할 수 있게 하는 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템은, 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 이송하는 로봇 이송 장치; 이송된 상기 마스크 프레임을 유도 가열 방식으로 건조시키는 유도 가열 건조 장치; 및 이송된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 로봇 이송 장치는, 일측에 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 하측면을 지지할 수 있도록 걸림대가 형성되고, 타측에 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 상측면을 파지할 수 있도록 제 1 모터에 의해 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 전후진되는 파지대가 형성되는 픽업 헤드; 제 2 모터에 의해 상기 픽업 헤드를 승하강시키는 픽업 헤드 승하강 장치; 및 제 3 모터에 의해 상기 픽업 헤드 승하강 장치가 설치된 전후진 가동대를 레일을 따라 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치 방향으로 전후진시키는 픽업 헤드 전후진 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 유도 가열 건조 장치는, 상기 로봇 이송 장치로부터 이송된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 안착시키는 안착 장치; 및 상기 마스크 프레임의 전면과 대응되도록 유도 코일이 설치되고, 상기 안착 장치에 의해 안착된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 제 4 모터에 의해 레일을 따라 전후진되는 유도 가열 전후진 프레임;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 안착 장치는, 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 하측면이 안착되도록 바닥 프레임에 설치되는 거치대; 및 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 좌우측면을 각각 지지할 수 있도록 제 5 모터에 의해 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 전후진되는 지지대가 형성되는 측면 지지 프레임;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 유도 가열 건조 장치는, 상기 로봇 이송 장치로부터 이송된 상기 마스크 프레임의 후면과 대응되도록 복수개의 에어홀이 형성된 천공판이 설치되고, 제 6 모터에 의해 상기 안착 장치에 의해 안착된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 레일을 따라 전후진되는 송풍 건조 전후진 프레임;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 안착 장치에 의해 안착된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 적어도 하면, 굴곡부, 모서리부, 홈부, 측면부, 상기 안착 장치와 접촉되는 접촉부 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 포함하는 미건조 부분을 선택하여 국부적으로 에어를 분사하는 국부 건조 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 국부 건조 장치는, 상기 미건조 부분을 향하여 형성되는 에어 분사 노즐; 및 일측이 에어 공급부와 연결되어 에어를 공급받고, 타측이 상기 에어 분사 노즐과 연결되며, 상기 에어 분사 노즐의 위치를 플랙시블하게 조절할 수 있도록 설치되는 다관절관;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 플라즈마 건조 장치는, 상기 로봇 이송 장치로부터 이송된 상기 마스크와 대응될 수 있도록 적어도 하나의 플라즈마 토출구가 형성되고, 길이 방향으로 길게 형성되는 플라즈마 헤드; 및 적어도 하나의 상기 플라즈마 헤드가 설치되고, 상기 플라즈마 헤드가 상기 마스크를 스캔 방식으로 건조시킬 수 있도록 제 7 모터에 의해 상기 플라즈마 헤드의 폭방향으로 좌우 이동시키는 플라즈마 헤드 좌우 이동 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 플라즈마 건조 장치는, 상기 유도 가열 건조 장치에 의해 1차로 유도 가열 방식으로 건조된 상기 마스크 프레임을 상기 로봇 이송 장치가 이송하면 2차로 상기 마스크 프레임에 고정된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치의 후방에 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 플라즈마 건조 장치는, 상기 유도 가열 건조 장치에 의해 유도 가열 방식으로 상기 마스크 프레임이 건조되는 동시에 상기 마스크 프레임에 고정된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치와 마주 보는 방향으로 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 플라즈마 건조 장치는 대기압 플라즈마(Atmospheric Pressure Plasma)를 이용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 로봇 이송 장치가 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치로 이송하기 이전에 상기 마스크 프레임 및 상기 마스크를 세정액에 담가서 습식으로 세정할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치의 전방에 설치되는 세정조;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 세정조의 입구 부근에 설치되고, 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그로부터 상기 세정액을 제거하는 에어 나이프 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치에서 발생되는 가스를 배출하는 가스 배출 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 마스크는, FMM(Fine Metal Mask)일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법은, 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 세정조에 담가서 세정하는 세정 단계; 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 유도 가열 건조 장치로 1차 이송하는 1차 이송 단계; 상기 유도 가열 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임을 유도 가열 방식으로 건조시키는 유도 가열 건조 단계; 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 플라즈마 건조 장치로 2차 이송하는 2차 이송 단계; 및 상기 플라즈마 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 유도 가열 건조 단계에서, 상기 유도 가열 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동안, 상기 마스크 프레임의 후면을 송풍 방식으로 건조시킬 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법은, 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 세정조에 담가서 세정하는 세정 단계; 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 유도 가열 건조 장치와 플라즈마 건조 장치 사이로 이송하는 이송 단계; 및 상기 유도 가열 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동시에, 상기 플라즈마 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크의 후면을 플라즈마 방식으로 건조시키는 유도 가열 및 플라즈마 건조 단계;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 휘발성 유기 용제 대신 초순수를 세정액 또는 린스액으로 적용할 수 있어서, 친환경적이며 유지 비용이 저렴하고 안전하며, 두께가 두꺼운 마스크 프레임은 유도 가열 방식으로 건조하고, 두께가 얇은 마스크는 플라즈마 방식으로 차별적으로 순차 건조 또는 동시 건조하여 건조 속도를 향상시켜서 생산성을 크게 높일 수 있으며, 건조가 매우 균일하게 이루어져서 남은 이물질로 인한 국부적인 얼룩 현상이나 이물질 적층 현상을 방지할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 로봇 이송 장치를 확대하여 나타내는 후방 사시도이다.
도 3은 도 2의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 로봇 이송 장치를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 세정조를 나타내는 외관 사시도이다.
도 5는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 유도 가열 건조 장치를 나타내는 외관 사시도이다.
도 6은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 유도 가열 건조 장치를 나타내는 측면도이다.
도 7은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 유도 가열 건조 장치를 나타내는 정면도이다.
도 8은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 유도 가열 건조 장치의 안착 장치를 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 국부 건조 장치를 나타내는 사시도이다.
도 10은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 유도 코일을 나타내는 후면도이다.
도 11은 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 플라즈마 건조 장치를 나타내는 사시도이다.
도 12는 도 11의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 플라즈마 건조 장치를 나타내는 측면도이다.
도 13은 도 11의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 플라즈마 건조 장치를 나타내는 정면도이다.
도 14 내지 도 18은 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 작동도들이다.
도 19 내지 도 22는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 작동도들이다.
도 23은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 24는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)을 나타내는 외관 사시도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)은, 크게 로봇 이송 장치(10)와, 세정조(20)와, 유도 가열 건조 장치(30) 및 플라즈마 건조 장치(40)를 포함할 수 있다.
여기서, 후술될 도 6의 상기 마스크(1)는, 상대적으로 두께가 매우 얇은 파인 메탈 마스크(FMM, Fine Metal Mask)일 수 있고, 상대적으로 두께가 두꺼운 링형상의 마스크 프레임(2)에 의해 고정될 수 있다. 이외에도 상기 마스크 프레임(2)은 별도의 지그에 의해 고정되는 것도 가능하다.
그러나, 이러한 상기 마스크(1) 및 상기 마스크 프레임(2)는 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 오픈 마스크 등 다양한 형태나 종류의 마스크 또는 마스크 프레임이 모두 적용될 수 있다.
따라서, 예컨대, 사용자가 상기 마스크(1)가 고정된 마스크 프레임(2) 또는 상기 마스크 프레임(2)이 고정된 지그를 상기 로봇 이송 장치(10)에 로딩하면, 상기 로봇 이송 장치(10)가 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 세정조(20)와, 상기 유도 가열 건조 장치(30) 및 상기 플라즈마 건조 장치(40)로 이송할 수 있다.
도 2는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 로봇 이송 장치(10)를 확대하여 나타내는 후방 사시도이고, 도 3은 도 2의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 로봇 이송 장치(10)를 나타내는 측면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)는, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 세정조(20)와, 상기 유도 가열 건조 장치(30) 및 상기 플라즈마 건조 장치(40)로 이송하는 이송 장치로서, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 유도 가열 건조 장치(30)에 안착시키거나, 또는 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 플라즈마 건조 장치(40)가 플라즈마 스캔하는 동안, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 정위치에 위치시킬 수 있는 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)는, 일측에 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 하측면을 지지할 수 있도록 걸림대(111)가 형성되고, 타측에 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 상측면을 파지할 수 있도록 제 1 모터(M1)에 의해 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그 방향으로 전후진되는 파지대(112)가 형성되는 픽업 헤드(11)와, 제 2 모터(M2)에 의해 상기 픽업 헤드(11)를 승하강시키는 픽업 헤드 승하강 장치(12) 및 제 3 모터(M3)에 의해 상기 픽업 헤드 승하강 장치(12)가 설치된 전후진 가동대(131)를 레일(132)을 따라 상기 유도 가열 건조 장치(30) 또는 상기 플라즈마 건조 장치(40) 방향으로 전후진시키는 픽업 헤드 전후진 장치(13)를 포함할 수 있다.
따라서, 상기 로봇 이송 장치(10)는 상기 픽업 헤드(11)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 픽업할 수 있고, 상기 픽업 헤드 승하강 장치(12) 및 상기 픽업 헤드 전후진 장치(13)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 세정조(20)와, 상기 유도 가열 건조 장치(30) 및 상기 플라즈마 건조 장치(40)로 이송할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 로봇 이송 장치(10)는 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 원하는 장소로 이동시킬 수 있는 매우 다양한 이송 장치들이 모두 적용될 수 있다.
도 4는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 세정조(20)를 나타내는 외관 사시도이다.
도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 세정조(20)는, 상기 로봇 이송 장치(10)가 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 유도 가열 건조 장치(30) 또는 상기 플라즈마 건조 장치(40)로 이송하기 이전에 상기 마스크 프레임(2) 및 상기 마스크(1)를 세정액(W)에 담가서 습식으로 세정할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치(30) 또는 상기 플라즈마 건조 장치(40)의 전방에 설치되는 일종의 세정액 수용 구조체일 수 있다.
따라서, 상기 로봇 이송 장치(10)는 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 세정액(W)에 담가서 습식으로 세정 또는 린스한 다음, 상기 세정액(W)으로부터 꺼내서 상기 유도 가열 건조 장치(30) 또는 상기 플라즈마 건조 장치(40)로 이송할 수 있다.
이 때, 상기 세정액(W)은, 초순수(DI Water)이고, 상기 세정조(20)의 입구 부근에 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그로부터 상기 세정액(W)을 제거하는 에어 나이프(Air Knife) 장치(60)가 설치될 수 있다.
따라서, 상기 로봇 이송 장치(10)가 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 상기 세정액(W)으로부터 꺼내서 상승하는 동안에, 상기 에어 나이프 장치(60)를 이용하여 상기 마스크(1) 및 상기 마스크 프레임(2)에 잔류하는 상기 세정액(W)의 상당한 양을 일차로 제거할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 세정액(W)은 초순수가 적용되기 때문에 휘발성 유기 용제와는 달리 상대적으로 건조 속도가 느리고, 이로 인하여 상기 마스크(1) 및 상기 마스크 프레임(2)에 아직 많은 양의 세정액들이 잔류하는 것으로서, 이러한 잔류 세정액(W)들은 후술될 상기 유도 가열 건조 장치(30) 및 상기 플라즈마 건조 장치(40)에 의해 완전하게 제거되어 완전 건조될 수 있다.
도 5는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 유도 가열 건조 장치(30)를 나타내는 외관 사시도이고, 도 6은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 유도 가열 건조 장치(30)를 나타내는 측면도이고, 도 7은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 유도 가열 건조 장치(30)를 나타내는 정면도이고, 도 8은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 유도 가열 건조 장치(30)의 안착 장치(31)를 나타내는 사시도이고, 도 9는 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 국부 건조 장치(50)를 나타내는 사시도이고, 도 10은 도 5의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 유도 코일(321)을 나타내는 후면도이다.
도 1 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 유도 가열 건조 장치(30)는, 이송된 상기 마스크 프레임(2)을 유도 가열 방식으로 건조시키는 것으로서, 크게 안착 장치(31)와, 유도 가열 전후진 프레임(32) 및 송풍 건조 전후진 프레임(33)을 포함할 수 있다.
예컨대, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 안착 장치(31)는, 상기 로봇 이송 장치(10)로부터 이송된 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 안착시키는 장치로서, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 하측면이 안착되도록 바닥 프레임(BF)에 설치되는 거치대(311) 및 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 좌우측면을 각각 지지할 수 있도록 제 5 모터(M5)에 의해 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그 방향으로 전후진되는 지지대(313)가 형성되는 측면 지지 프레임(312)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 안착 장치(31)는 상기 거치대(311)를 이용하여 상기 로봇 이송 장치(10)에 의해 이송된 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 하측면을 지지하고, 상기 마스크 프레임(2)이 유도 가열 건조되는 동안, 상기 지지대(313)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 양측면을 파지할 수 있다.
이 때, 상기 로봇 이송 장치(10)는 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그로부터 벗어나서 상기 유도 가열 건조 장치(30)와 간섭되지 않도록 상승한 다음, 대기할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 5 내지 도 7 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 유도 가열 전후진 프레임(32)은, 상기 마스크 프레임(2)의 전면과 대응되도록 유도 코일 수용판(323)에 수용된 링형상의 도 10의 유도 코일(321)이 설치되고, 상기 안착 장치(31)에 의해 안착된 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그 방향으로 제 4 모터(M4)에 의해 레일(322)을 따라 전후진되는 일종의 가동식 구조체일 수 있다.
따라서, 상기 안착 장치(312)에 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그가 안착되고, 상기 로봇 이송 장치(10)가 상승하면, 상기 유도 가열 전후진 프레임(32)이 상기 제 4 모터(M4)에 의해 전진되어 도 10의 상기 유도 코일(321)로 상기 마스크 프레임(2)에 잔류하는 상기 세정액(W)이 신속하게 증발되도록 상기 마스크 프레임(2)을 유도 가열할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 송풍 건조 전후진 프레임(33)은, 상기 로봇 이송 장치(10)로부터 이송된 상기 마스크 프레임(2)의 후면과 대응되도록 복수개의 에어홀(331)이 형성된 천공판(332)이 설치되고, 제 6 모터(M6)에 의해 상기 안착 장치(31)에 의해 안착된 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그 방향으로 레일(333)을 따라 전후진되는 일종의 가동식 구조체일 수 있다.
따라서, 상기 안착 장치(312)에 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그가 안착되고, 상기 유도 가열 전후진 프레임(32)이 상기 마스크 프레임(2)에 잔류하는 상기 세정액(W)을 유도 가열 방식으로 신속하게 증발시켜서 전조시키는 동안, 이와 동시에 상기 송풍 건조 전후진 프레임(33)은, 상기 제 6 모터(M6)에 의해 전진되어 상기 마스크 프레임(2)의 후면에 에어를 분사함으로써 송풍 방식으로 상기 마스크 프레임(2)을 더욱 신속하게 건조시킬 수 있다.
이 때, 상기 마스크(1)에는 여전히 상기 세정액(W)이 잔류할 수 있는 것으로서, 이러한 상기 마스크(1)에 잔류하는 세정액(W)은 후술될 상기 플라즈마 건조 장치(40)에 의해 건조될 수 있다.
한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)은, 이송된 상기 마스크(1)를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 장치(40)를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 국부 건조 장치(50)는, 상기 안착 장치(31)에 의해 안착된 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 적어도 하면, 굴곡부, 모서리부, 홈부, 측면부, 상기 안착 장치와 접촉되는 접촉부 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 포함하는 미건조 부분을 선택하여 국부적으로 에어를 분사하는 송풍 방식의 건조 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 국부 건조 장치(50)는, 상기 미건조 부분을 향하여 형성되는 에어 분사 노즐(51) 및 일측이 에어 공급부와 연결되어 에어를 공급받고, 타측이 상기 에어 분사 노즐(51)과 연결되며, 상기 에어 분사 노즐(51)의 위치를 플랙시블하게 조절할 수 있도록 설치되는 다관절관(52)을 포함할 수 있다.
따라서, 이러한 상기 국부 건조 장치(50)를 이용하면, 미건조될 수 있는 부분인, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그의 적어도 하면, 굴곡부, 모서리부, 홈부, 측면부, 상기 안착 장치(31)와 접촉되는 접촉부 등을 집중적으로 송풍 건조시킬 수 있다.
도 11은 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 플라즈마 건조 장치(40)를 나타내는 사시도이고, 도 12는 도 11의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 플라즈마 건조 장치(40)를 나타내는 측면도이고, 도 13은 도 11의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 플라즈마 건조 장치(40)를 나타내는 정면도이다.
도 11 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 예컨대, 상기 플라즈마 건조 장치(40)는, 상기 로봇 이송 장치(10)로부터 이송된 상기 마스크(1)와 대응될 수 있도록 적어도 하나의 플라즈마 토출구(411)가 형성되고, 길이 방향으로 길게 형성되는 플라즈마 헤드(41) 및 상기 플라즈마 헤드(41)가 상기 마스크(1)를 스캔 방식으로 건조시킬 수 있도록 적어도 하나의 상기 플라즈마 헤드(41)가 설치된 헤드 가동대(421)를 제 7 모터(M7)에 의해 상기 플라즈마 헤드(41)의 폭방향으로 좌우 이동시키는 플라즈마 헤드 좌우 이동 장치(42)를 포함할 수 있다.
여기서, 예컨대, 도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 건조 장치(40)는, 상기 유도 가열 건조 장치(30)에 의해 1차로 유도 가열 방식으로 건조된 상기 마스크 프레임(2)을 상기 로봇 이송 장치(10)가 이송하면 2차로 상기 마스크 프레임(2)에 고정된 상기 마스크(1)를 플라즈마 방식으로 건조할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치(30)의 후방에 설치될 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 플라즈마 건조 장치(40)는 대기압 플라즈마(Atmospheric Pressure Plasma)를 이용할 수 있고, 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 건조 장치(40)에서 발생되는 가스 또는 수분을 배출하는 가스 배출 장치(70)가 상기 플라즈마 건조 장치(40)에 상방에 설치될 수 있다.
따라서, 상기 플라즈마 건조 장치(40)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2)에 고정된 상기 마스크(1)를 플라즈마 스캔할 수 있고, 그 과정에서 플라즈마에 의해 상기 마스크(1)에 형성된 미세한 천공구들 사이에 잔류하는 상기 세정액(W)들 역시 완전하고 신속하게 제거함으로써 상기 마스크(1)를 건조할 수 있다.
이 때, 상기 마스크 프레임(2)은 상술된 상기 유도 가열 건조 장치(30)에 의해 이미 건조된 상태로서 상기 마스크 프레임(2) 부분은 플라즈마 스캔할 필요가 없지만, 필요에 따라서는 상기 마스크 프레임(2) 역시 플라즈마 스캔하여 건조시킬 수 있다.
그러나, 이러한 상기 플라즈마 건조 장치(40)는, 상기 플라즈마 헤드(41)의 개수나, 좌우 이동 방식 등 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 예컨대, 하나의 플라즈마 헤드(41)만 설치되어 처음부터 끝까지 플라즈마 스캔하거나, 플라즈마 헤드(41)가 스캔하는 방식이 아니라 상기 로봇 이송 장치(10)가 상기 마스크(1) 및 상기 마스크 프레임(2)을 왕복 이송시키는 등 매우 다양한 방식의 플라즈마 건조 장치가 적용될 수 있다.
도 14 내지 도 18은 도 1의 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 작동도들이다.
도 14 내지 도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 14에 도시된 바와 같이, 사용자가 상기 마스크(1)가 고정된 마스크 프레임(2) 또는 상기 마스크 프레임(2)이 고정된 지그를 상기 로봇 이송 장치(10)에 로딩할 수 있다.
이 때, 상기 로봇 이송 장치(10)는 상기 픽업 헤드(11)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 픽업할 수 있다.
이어서, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)는, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 세정조(20)에 담가서 세정할 수 있다.
이어서, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 유도 가열 건조 장치(30)로 1차 이송하고, 상기 유도 가열 건조 장치(30)를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임(2)을 유도 가열 방식으로 건조시킬 수 있다.
이 때, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그는 상기 거치대(311)와 상기 측면 지지 프레임(312)에 의해 안착될 수 있다.
이어서, 도 17에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 플라즈마 건조 장치(40)로 2차 이송하고, 상기 플라즈마 건조 장치(40)를 이용하여 이송된 상기 마스크(1)를 플라즈마 방식으로 건조시킬 수 있다.
이 때, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그는 상기 로봇 이송 장치(10)의 상기 픽업 헤드(11)에 의해 정위치에 위치될 수 있다.
이어서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)는 건조를 마친 상기 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 언로딩할 수 있다.
그러므로, 본 발명에 의하면, 휘발성 유기 용제 대신 초순수를 세정액 또는 린스액으로 적용할 수 있어서, 친환경적이며 유지 비용이 저렴하고 안전하며, 두께가 상대적으로 두꺼운 상기 마스크 프레임(2)은 두꺼운 대상도 쉽게 가열시키는 유도 가열 방식으로 신속하게 순차 건조 또는 동시 건조할 수 있고, 두께가 상대적으로 얇아서 유도 가열이 어려운 상기 마스크(1)는 미세홀도 완전하게 건조시킬 수 있는 플라즈마 방식으로 차별적으로 건조하여 건조 속도를 향상시켜서 생산성을 크게 높일 수 있으며, 건조가 매우 균일하게 이루어져서 남은 이물질로 인한 국부적인 얼룩 현상이나 이물질 적층 현상이나 홀막힘 현상 등을 방지할 수 있다.
도 23은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)을 이용한 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 23에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(100)을 이용한 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법은, 마스크(1)가 고정된 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 세정조(20)에 담가서 세정하는 세정 단계(S10)와, 상기 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 유도 가열 건조 장치(30)로 1차 이송하는 1차 이송 단계(S11)와, 상기 유도 가열 건조 장치(30)를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임(2)을 유도 가열 방식으로 건조시키는 유도 가열 건조 및 송풍 건조 단계(S12)와, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 플라즈마 건조 장치(40)로 2차 이송하는 2차 이송 단계(S13) 및 상기 플라즈마 건조 장치(40)를 이용하여 이송된 상기 마스크(1)를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 단계(S14)를 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 유도 가열 건조 및 송풍 건조 단계(S12)에서, 상기 유도 가열 건조 장치(30)를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임(2)의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동안, 상기 마스크 프레임(2)의 후면을 송풍 방식으로 건조시킬 수 있다.
도 19 내지 도 22는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(200)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 작동도들이다.
도 19 내지 도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(200)의 상기 플라즈마 건조 장치(40)는, 상기 유도 가열 건조 장치(30)에 의해 유도 가열 방식으로 상기 마스크 프레임(2)이 건조되는 동시에 상기 마스크 프레임(2)에 고정된 상기 마스크(1)를 플라즈마 방식으로 건조할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치(30)와 마주 보는 방향으로 설치될 수 있다.
이 때, 장치들 간의 간섭을 방지할 수 있도록 상술된 상기 송풍 건조 전후진 프레임(33)은 생략되거나 최소화하는 것도 가능하다.
도 19 내지 도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(200)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 19에 도시된 바와 같이, 사용자가 상기 마스크(1)가 고정된 마스크 프레임(2) 또는 상기 마스크 프레임(2)이 고정된 지그를 상기 로봇 이송 장치(10)에 로딩할 수 있다.
이 때, 상기 로봇 이송 장치(10)는 상기 픽업 헤드(11)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 픽업할 수 있다.
이어서, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)는, 상기 마스크 프레임(2) 또는 상기 지그를 세정조(20)에 담가서 세정할 수 있다.
이어서, 도 21에 도시된 바와 같이, 상기 로봇 이송 장치(10)를 이용하여 상기 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 유도 가열 건조 장치(30)와 플라즈마 건조 장치(40) 사이로 이송하고, 상기 유도 가열 건조 장치(30)를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임(2)의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동시에, 상기 플라즈마 건조 장치(40)를 이용하여 이송된 상기 마스크(1)의 후면을 플라즈마 방식으로 건조시킬 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면, 두께가 상대적으로 두꺼운 상기 마스크 프레임(2)은 두꺼운 대상도 쉽게 가열시키는 유도 가열 방식으로 신속하게 건조하는 동시에 두께가 상대적으로 얇아서 유도 가열이 어려운 상기 마스크(1)는 미세홀도 완전하게 건조시킬 수 있는 플라즈마 방식으로 건조하여 건조 속도를 크게 향상시켜서 생산성을 극대화할 수 있다.
도 24는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(200)을 이용한 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 24에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템(200)을 이용한 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법은, 마스크(1)가 고정된 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 세정조(20)에 담가서 세정하는 세정 단계(S20)와, 상기 마스크 프레임(2) 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 유도 가열 건조 장치(30)와 플라즈마 건조 장치(40) 사이로 이송하는 이송 단계(S21) 및 상기 유도 가열 건조 장치(30)를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임(2)의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동시에, 상기 플라즈마 건조 장치(40)를 이용하여 이송된 상기 마스크(1)의 후면을 플라즈마 방식으로 건조시키는 유도 가열 및 플라즈마 건조 단계(S22)를 포함할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 마스크
2: 마스크 프레임
10: 로봇 이송 장치
11: 픽업 헤드
111: 걸림대
M1: 제 1 모터
112: 파지대
12: 픽업 헤드 승하강 장치
M2: 제 2 모터
13: 픽업 헤드 전후진 장치
M3: 제 3 모터
131: 전후진 가동대
132: 레일
20: 세정조
W: 세정액
30: 유도 가열 건조 장치
31: 안착 장치
311: 거치대
BF: 바닥 프레임
312: 측면 지지 프레임
M5: 제 5 모터
313: 지지대
32: 유도 가열 전후진 프레임
321: 유도 코일
M4: 제 4 모터
322: 레일
323: 유도 코일 수용판
33: 송풍 건조 전후진 프레임
331: 에어홀
332: 천공판
M6: 제 6 모터
333: 레일
40: 플라즈마 건조 장치
41: 플라즈마 헤드
411: 플라즈마 토출구
42: 플라즈마 헤드 좌우 이동 장치
421: 헤드 가동대
M7: 제 7 모터
50: 국부 건조 장치
51: 에어 분사 노즐
52: 다관절관
60: 에어 나이프 장치
70: 가스 배출 장치
100, 200: 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템

Claims (19)

  1. 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 이송하는 로봇 이송 장치;
    이송된 상기 마스크 프레임을 유도 가열 방식으로 건조시키는 유도 가열 건조 장치; 및
    이송된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 장치;
    를 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇 이송 장치는,
    일측에 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 하측면을 지지할 수 있도록 걸림대가 형성되고, 타측에 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 상측면을 파지할 수 있도록 제 1 모터에 의해 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 전후진되는 파지대가 형성되는 픽업 헤드;
    제 2 모터에 의해 상기 픽업 헤드를 승하강시키는 픽업 헤드 승하강 장치; 및
    제 3 모터에 의해 상기 픽업 헤드 승하강 장치가 설치된 전후진 가동대를 레일을 따라 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치 방향으로 전후진시키는 픽업 헤드 전후진 장치;
    를 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유도 가열 건조 장치는,
    상기 로봇 이송 장치로부터 이송된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 안착시키는 안착 장치; 및
    상기 마스크 프레임의 전면과 대응되도록 유도 코일이 설치되고, 상기 안착 장치에 의해 안착된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 제 4 모터에 의해 레일을 따라 전후진되는 유도 가열 전후진 프레임;
    를 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 안착 장치는,
    상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 하측면이 안착되도록 바닥 프레임에 설치되는 거치대; 및
    상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 좌우측면을 각각 지지할 수 있도록 제 5 모터에 의해 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 전후진되는 지지대가 형성되는 측면 지지 프레임;
    을 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 유도 가열 건조 장치는,
    상기 로봇 이송 장치로부터 이송된 상기 마스크 프레임의 후면과 대응되도록 복수개의 에어홀이 형성된 천공판이 설치되고, 제 6 모터에 의해 상기 안착 장치에 의해 안착된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그 방향으로 레일을 따라 전후진되는 송풍 건조 전후진 프레임;
    을 더 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 안착 장치에 의해 안착된 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그의 적어도 하면, 굴곡부, 모서리부, 홈부, 측면부, 상기 안착 장치와 접촉되는 접촉부 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 포함하는 미건조 부분을 선택하여 국부적으로 에어를 분사하는 국부 건조 장치;
    를 더 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 국부 건조 장치는,
    상기 미건조 부분을 향하여 형성되는 에어 분사 노즐; 및
    일측이 에어 공급부와 연결되어 에어를 공급받고, 타측이 상기 에어 분사 노즐과 연결되며, 상기 에어 분사 노즐의 위치를 플랙시블하게 조절할 수 있도록 설치되는 다관절관;
    을 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라즈마 건조 장치는,
    상기 로봇 이송 장치로부터 이송된 상기 마스크와 대응될 수 있도록 적어도 하나의 플라즈마 토출구가 형성되고, 길이 방향으로 길게 형성되는 플라즈마 헤드; 및
    적어도 하나의 상기 플라즈마 헤드가 설치되고, 상기 플라즈마 헤드가 상기 마스크를 스캔 방식으로 건조시킬 수 있도록 제 7 모터에 의해 상기 플라즈마 헤드의 폭방향으로 좌우 이동시키는 플라즈마 헤드 좌우 이동 장치;
    를 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 플라즈마 건조 장치는,
    상기 유도 가열 건조 장치에 의해 1차로 유도 가열 방식으로 건조된 상기 마스크 프레임을 상기 로봇 이송 장치가 이송하면 2차로 상기 마스크 프레임에 고정된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치의 후방에 설치되는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 플라즈마 건조 장치는,
    상기 유도 가열 건조 장치에 의해 유도 가열 방식으로 상기 마스크 프레임이 건조되는 동시에 상기 마스크 프레임에 고정된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치와 마주 보는 방향으로 설치되는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라즈마 건조 장치는 대기압 플라즈마(Atmospheric Pressure Plasma)를 이용하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇 이송 장치가 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치로 이송하기 이전에 상기 마스크 프레임 및 상기 마스크를 세정액에 담가서 습식으로 세정할 수 있도록 상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치의 전방에 설치되는 세정조;
    를 더 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 세정액은, 초순수(DI Water)인, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 세정조의 입구 부근에 설치되고, 상기 마스크 프레임 또는 상기 지그로부터 상기 세정액을 제거하는 에어 나이프(Air Knife) 장치;
    를 더 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 유도 가열 건조 장치 또는 상기 플라즈마 건조 장치에서 발생되는 가스를 배출하는 가스 배출 장치;
    를 더 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크는, FMM(Fine Metal Mask)인, 마스크 및 마스크 프레임 건조 시스템.
  17. 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 세정조에 담가서 세정하는 세정 단계;
    상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 유도 가열 건조 장치로 1차 이송하는 1차 이송 단계;
    상기 유도 가열 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임을 유도 가열 방식으로 건조시키는 유도 가열 건조 단계;
    상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 플라즈마 건조 장치로 2차 이송하는 2차 이송 단계; 및
    상기 플라즈마 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크를 플라즈마 방식으로 건조시키는 플라즈마 건조 단계;
    를 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 유도 가열 건조 단계에서,
    상기 유도 가열 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동안, 상기 마스크 프레임의 후면을 송풍 방식으로 건조시키는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법.
  19. 마스크가 고정된 마스크 프레임 또는 마스크 프레임이 고정된 지그를 세정조에 담가서 세정하는 세정 단계;
    상기 마스크 프레임 또는 상기 지그를 유도 가열 건조 장치와 플라즈마 건조 장치 사이로 이송하는 이송 단계; 및
    상기 유도 가열 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크 프레임의 전면을 유도 가열 방식으로 건조시키는 동시에, 상기 플라즈마 건조 장치를 이용하여 이송된 상기 마스크의 후면을 플라즈마 방식으로 건조시키는 유도 가열 및 플라즈마 건조 단계;
    를 포함하는, 마스크 및 마스크 프레임 건조 방법.
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