KR20220136683A - Manufacturing method of OLED mask assembly - Google Patents

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KR20220136683A
KR20220136683A KR1020210042629A KR20210042629A KR20220136683A KR 20220136683 A KR20220136683 A KR 20220136683A KR 1020210042629 A KR1020210042629 A KR 1020210042629A KR 20210042629 A KR20210042629 A KR 20210042629A KR 20220136683 A KR20220136683 A KR 20220136683A
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이승필
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Abstract

The present invention provides a manufacturing method of an OLED mask assembly, which comprises: a metal mask sheet bonding step of bonding a metal mask sheet having a rectangular shape to a polymesh, which is an elastic body having a rectangular shape; a polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the metal mask sheet is bonded to a tensile frame; a polymesh stretching step of stretching the polymesh to which the metal mask sheet is bonded using the tensile frame; a polymesh inspection step of inspecting whether the metal mask sheet is uniformly stretched by inspecting whether the polymesh is uniformly stretched; a polymesh removing step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the metal mask sheet; an opening processing step of processing a plurality of openings in the metal mask sheet from which the polymesh is removed; and a bonding step of bonding the metal mask sheet to a mask frame for bonding the metal mask sheet having the opening to the mask frame. The polymesh, an elastic body to which the metal mask sheet is bonded, is stretched using an extension frame, and after photographing the front and back of the stretched polymesh through vision, a control unit compares and inspects the image of the front and back where the previously photographed polymesh is uniformly stretched. Therefore, it is easy to check whether the polymesh is uniformly stretched or whether the metal mask sheet is uniformly stretched.

Description

OLED 마스크 조립체의 제조 방법{Manufacturing method of OLED mask assembly}Manufacturing method of OLED mask assembly

본 발명은 OLED 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마스크 프레임에 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구부가 가공된 메탈 마스크 시트가 접합된 OLED 마스크 조립체를 제조하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an OLED mask assembly, and more particularly, manufacturing an OLED mask assembly for manufacturing an OLED mask assembly in which a metal mask sheet having an opening through which particles to be laminated in a thin film process pass is bonded to a mask frame it's about how

한국 등록특허 제10-1919912호에 기재된 배경기술을 참조하면, 일반적으로 증착 마스크는 제조 방법에 따라 원장 방식의 원장 마스크와 분할 방식의 분할 마스크로 나뉜다.Referring to the background art described in Korean Patent Registration No. 10-1919912, in general, a deposition mask is divided into a ledger mask and a division mask according to a manufacturing method.

이에, 원장 방식은 원장 마스크 시트를 원장 마스크 제조 장치의 상하좌우에 설치된 클램프를 이용하여 사방으로 인장력을 인가한 후에 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이고, 분할 방식은 셀(Cell) 단위로 분할한 분할 마스크 시트의 양단부를 분할 마스크 제조 장치의 양단에 설치된 클램프를 이용하여 양단 방향으로 인장력을 인가한 후에 분할 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이다.Accordingly, the ledger method is a method of manufacturing a deposition mask by applying a tensile force to the ledger mask sheet in all directions using clamps installed on the upper, lower, left and right sides of the ledger mask manufacturing apparatus, and then welding the ledger mask sheet to the mask frame. This is a method of manufacturing a deposition mask by applying a tensile force to both ends of a division mask sheet divided into (cell) units using clamps installed at both ends of a division mask manufacturing apparatus, and then welding the division mask sheet to a mask frame.

즉, 상기 원장 마스크와 분할 마스크는 통상 메탈 마스크라 일컬어지고, 이러한 메탈 마스크는 보통 전자동(풀-오토) 방식의 인장기를 통해 클램핑 방식으로 하여금 인장되면서 셀의 스펙을 정밀하게 조정하도록 형성된다.That is, the ledger mask and the division mask are generally referred to as metal masks, and these metal masks are usually formed to precisely adjust the cell specifications while being tensioned by a clamping method through a fully automatic (full-auto) tensioner.

그러나, 이러한 전자동(풀-오토) 방식의 인장기는 상당한 고가이고, 특히 복수개의 클램프가 마스크 시트를 파지 후 연장 방향으로 인장력을 인가하기 때문에 마스크 시트에서 클램프가 파지한 부분과 클램프가 파지하지 않은 부분이 균일하게 인장되지 못하는 문제점이 발생하였다.However, such a fully automatic (full-auto) tensioner is very expensive, and in particular, since a plurality of clamps apply a tensile force in the extending direction after gripping the mask sheet, the part gripped by the clamp and the part not gripped by the clamp on the mask sheet There was a problem that the tension was not uniformly.

이를 해결하기 위해 메시를 이용하여 마스크 시트를 인장하는 기술이 제안되었으며, 메시를 이용하여 마스크 시트를 인장 시 메시에 의해 인장되는 마스크 시트가 균일하게 인장되었는지 여부를 간편하게 확인하지 못하며, 균일하게 확인되었는지 여부를 확인하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 발생하였다.To solve this problem, a technique for tensioning the mask sheet using a mesh has been proposed. When the mask sheet is tensioned using the mesh, it is not easy to check whether the mask sheet tensioned by the mesh is uniformly tensioned. There was a problem in that it took a lot of time to check whether the

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 메탈 마스크 시트를 탄성체인 폴리메쉬 및 인장프레임을 이용하여 인장하고, 인장프레임에 의해 인장된 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하고 촬영된 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하여 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하여 메탈 마스크 시트가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인할 수 있는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created to solve the above problems, and the metal mask sheet is tensioned using an elastic body polymesh and a tension frame, and the front and back sides of the polymesh tensioned by the tension frame are photographed using a vision and photographed. OLED mask that can check whether the metal mask sheet is uniformly stretched by checking whether the polymesh is uniformly stretched by comparing the front and back images and the images of the front and the back in which the pre-photographed polymesh is uniformly stretched An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an assembly.

또한, 균일하게 인장된 메탈 마스크 시트에 개구부를 보다 정밀하게 가공할 수 있어 개구부를 트리밍하여 보정 오차를 성형하는 경우 개구부를 가공하는 트리밍 면적을 줄일 수 있어 개구부를 트리밍 시 과도한 응력이 발생되는 것을 방지할 수 있는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, since the opening can be processed more precisely in the uniformly tensioned metal mask sheet, when the opening is trimmed to form a correction error, the trimming area for processing the opening can be reduced, thereby preventing excessive stress when trimming the opening It is another object to provide a method of manufacturing an OLED mask assembly capable of

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 사각형상을 가지는 메탈 마스크 시트를 사각형상을 가지는 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 메탈 마스크 시트 접합 단계; 상기 메탈 마스크 시트가 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합 단계; 상기 인장프레임을 이용하여 상기 메탈 마스크 시트가 접합된 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장 단계; 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 메탈 마스크 시트가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사 단계; 상기 메탈 마스크 시트의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거 단계; 상기 폴리메쉬가 제거된 상기 메탈 마스크 시트에 복수개의 개구부를 가공하는 개구부 가공 단계; 및 개구부가 가공된 메탈 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계를 포함하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a metal mask sheet bonding step of bonding a metal mask sheet having a rectangular shape to an elastic body polymesh having a rectangular shape; a polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the metal mask sheet is bonded to a tensile frame; Polymesh tensioning step of tensioning the polymesh to which the metal mask sheet is bonded using the tension frame; a polymesh inspection step of inspecting whether the metal mask sheet is uniformly tensioned by inspecting whether the polymesh is uniformly tensioned; a polymesh removal step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the metal mask sheet; an opening processing step of processing a plurality of openings in the metal mask sheet from which the polymesh is removed; and bonding the metal mask sheet to the mask frame for bonding the metal mask sheet having the opening processed to the mask frame.

본 발명에 따른 OLED 마스크 조립체의 제조 방법은 상기 개구부 가공 단계를 거친 후 메탈 마스크 시트에 복수개의 개구부가 정확하게 가공되었는지 여부를 검사하여 개구부가 가공된 메탈 마스크 시트의 불량 여부를 검사하는 개구부 검사 단계와, 상기 개구부 가공 단계를 거쳐 가공된 복수개의 개구부를 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하는 레이저 트리밍 단계를 더 포함할 수 있다.The method for manufacturing an OLED mask assembly according to the present invention includes an opening inspection step of inspecting whether a plurality of openings are accurately processed in the metal mask sheet after the opening processing step to inspect whether the metal mask sheet in which the opening is processed is defective; , It may further include a laser trimming step of processing a correction error using a laser in the plurality of openings processed through the opening processing step.

본 발명에 따른 OLED 마스크 조립체의 제조 방법에 있어서, 상기 메탈 마스크 시트 접합 단계는 상기 메탈 마스크 시트의 둘레면 끝단부와 인접한 부분을 본딩하여 접합할 수 있다.In the method of manufacturing an OLED mask assembly according to the present invention, the bonding of the metal mask sheet may be performed by bonding a portion adjacent to the end of the circumferential surface of the metal mask sheet.

상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은 밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와, 상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와, 상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함할 수 있다.The tensile frame for tensioning the polymesh in the polymesh tensioning step includes a frame part having a closed rectangular shape, first to fourth tensioning parts disposed adjacent to the inside of the frame part, and the first tensioning part a clamp part connected to the fourth tension part and spaced apart from the first tension part to the fourth tension part by pulling the first tension part to the fourth tension part to the outside of the frame part can

상기 폴리메쉬 검사 단계는 상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와, 비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함할 수 있다.The polymesh inspection step includes: a polymesh photographing step of photographing the front and back sides of the polymesh using a vision on the lower surface of the stretched polymesh after the metal mask sheet is bonded to the upper surface; It may include an image comparison step in which the control unit compares and inspects the images of the front and back surfaces in which the photographed polymesh is uniformly tensioned.

상기 폴리메쉬 제거 단계는 레이저를 이용하여 상기 메탈 마스크 시트의 둘레면 내측에 위치하는 폴리메쉬를 제거할 수 있다.In the step of removing the polymesh, the polymesh located inside the circumferential surface of the metal mask sheet may be removed using a laser.

본 발명에 따른 OLED 마스크 조립체의 제조 방법은 상기 마스크 프레임에 접합된 메탈 마스크 시트에서 상기 마스크 프레임의 외측으로 돌출되는 부위 및 돌출되는 부위에 부착된 폴리메쉬를 절단하는 돌출부위 절단 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 돌출부위 절단 단계에서는 레이저를 이용하여 상기 마스크 프레임의 외측으로 돌출되는 부위를 절단할 수 있다.The method for manufacturing an OLED mask assembly according to the present invention may further include a cutting step of cutting the protruding portion of the metal mask sheet bonded to the mask frame to the outside of the mask frame and the polymesh attached to the protruding portion. In the step of cutting the protruding portion, a portion protruding to the outside of the mask frame may be cut using a laser.

본 발명에 따른 OLED 마스크 조립체의 제조 방법은 메탈 마스크 시트가 접합된 탄성체인 폴리메쉬를 연장프레임을 이용하여 인장하고 비젼을 통해 인장된 폴리메쉬의 표리를 촬영한 후 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상과 제어부가 비교검사함으로써 간편하게 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하여 메탈 마스크 시트가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인할 수 있으며, 메탈 마스크 시트가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하는 시간을 단축시킬 수 있다.In the method for manufacturing an OLED mask assembly according to the present invention, a polymesh, an elastic body to which a metal mask sheet is bonded, is stretched using an extension frame, the front and back of the stretched polymesh are photographed through a vision, and then the pre-photographed polymesh is uniformly It is possible to check whether the metal mask sheet is uniformly tensioned by simply checking whether the polymesh is uniformly tensioned by comparing the tensioned front and back images and the control unit, and the time to check whether the metal mask sheet is uniformly tensioned can be shortened.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 OLED 마스크 조립체의 제조 방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 폴리메쉬 검사 단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 3은 폴리메쉬에 메탈 마스크 시트가 접합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 메탈 마스크 시트가 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 인장프레임을 이용하여 폴리메쉬를 인장시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 폴리메쉬를 인장시킨 인장프레임에서 메탈 마스크 시트의 하부면에 위치하는 폴리메쉬를 절단시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 인장프레임을 이용하여 인장된 메탈 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 인장된 폴리메쉬를 검사하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a flowchart illustrating a sequence of a method of manufacturing an OLED mask assembly according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a detailed sequence of the polymesh inspection step shown in FIG. 1 .
3 is a diagram schematically illustrating a process in which a metal mask sheet is bonded to a polymesh.
4 is a diagram schematically illustrating a process of bonding a polymesh to which a metal mask sheet is bonded to a tensile frame.
FIG. 5 is a diagram schematically illustrating a process of tensioning a polymesh using the tension frame illustrated in FIG. 4 .
6 is a view schematically illustrating a process of cutting the polymesh located on the lower surface of the metal mask sheet in the tensile frame in which the polymesh is tensioned.
7 is a diagram schematically illustrating a process of bonding a stretched metal mask sheet to a mask frame using a tension frame.
8 is a diagram schematically illustrating a process of inspecting a stretched polymesh.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to conventional or dictionary meanings, and the inventor should properly understand the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

도 1 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 OLED 마스크 조립체의 제조 방법은 메탈 마스크 시트 접합 단계(S10)와, 폴리메쉬 접합 단계(S20)와, 폴리메쉬 인장 단계(S30)와, 폴리메쉬 검사 단계(S40)와, 폴리메쉬 제거 단계(S50)와, 개구부 가공 단계(S60)와, 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)를 포함하고, 개구부 검사 단계(S80), 레이저 트리밍 단계(S90), 돌출부위 절단 단계(S100)를 더 포함할 수 있다.1 and 3 , the method of manufacturing an OLED mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a metal mask sheet bonding step (S10), a polymesh bonding step (S20), a polymesh tensioning step (S30), , a polymesh inspection step (S40), a polymesh removal step (S50), an opening processing step (S60), and a metal mask sheet bonding step (S70) to the mask frame, an opening inspection step (S80), a laser It may further include a trimming step (S90), a protrusion cutting step (S100).

상기 메탈 마스크 시트 접합 단계(S10)는 사각형상을 가지는 메탈 마스크 시트(110)를 사각형상을 가지는 탄성체인 폴리메쉬(120)에 접합시키는 단계이며, 상기 메탈 마스크 시트(110)를 상기 폴리메쉬(120)에 접합 시 상기 메탈 마스크 시트(110)의 둘레면 끝단부와 인접한 부분을 본딩하여 상기 폴리메쉬(120)에 접착하게 된다. 상기 메탈 마스크 시트 접합 단계(S10)를 완료하게 되면 본딩되는 상기 메탈 마스크 시트(110)의 둘레면만 상기 폴리메쉬(120)에 접합되고, 둘레면을 제외한 부분은 상기 폴리메쉬(120)와 접합되지 않고 밀착되게 된다.The metal mask sheet bonding step (S10) is a step of bonding the metal mask sheet 110 having a rectangular shape to the elastic body polymesh 120 having a rectangular shape, and the metal mask sheet 110 is bonded to the polymesh ( When bonding to the polymesh 120 , a portion adjacent to the end of the circumferential surface of the metal mask sheet 110 is bonded to the polymesh 120 . When the metal mask sheet bonding step (S10) is completed, only the circumferential surface of the metal mask sheet 110 to be bonded is bonded to the polymesh 120, and portions other than the circumferential surface are not bonded to the polymesh 120. and become close together.

상기 폴리메쉬(120)는 80~150mesh 인 것이 바람직하고, 상기 메탈 마스크 시트(110)의 인장 조건 및 두께에 따라 메쉬의 굵기나 규격을 상이하게 적용할 수 있는 것이 바람직하다.The polymesh 120 is preferably 80 to 150mesh, and it is preferable that the thickness or standard of the mesh can be applied differently depending on the tensile condition and thickness of the metal mask sheet 110 .

도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 메탈 마스크 시트 접합 단계(S10)를 거친 후 폴리메쉬 접합 단계(S20)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 접합 단계(S20)는 상부면에 메탈 마스크 시트(110)가 접합된 상기 폴리메쉬(120)를 인장프레임(130)에 접합시키는 단계이다. 상기 메탈 마스크 시트(110)가 접합된 상기 폴리메쉬(120)는 상기 인장프레임(130)의 내부에 구비되는 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)에 결합됨으로써 상기 인장프레임(130)에 접합되게 된다.1 and 4, after the metal mask sheet bonding step (S10), a polymesh bonding step (S20) is performed, and the polymesh bonding step (S20) is a metal mask sheet 110 on the upper surface. is a step of bonding the bonded polymesh 120 to the tensile frame 130 . The polymesh 120 to which the metal mask sheet 110 is bonded is coupled to the first tensioning part 132 to the fourth tensioning part 135 provided in the tensioning frame 130 so that the tensioning frame ( 130) is attached.

상기 메탈 마스크 시트(110)가 접합된 상기 폴리메쉬(120)를 인장시키는 상기 인장프레임(130)은 프레임부(131)와, 상기 프레임부(131)의 내부에 구비되는 제1인장부(132), 제2인장부(133), 제3인장부(134), 제4인장부(135)와, 상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)와 연결되는 클램프부(136)를 포함한다.The tension frame 130 for tensioning the polymesh 120 to which the metal mask sheet 110 is bonded includes a frame part 131 and a first tension part 132 provided in the frame part 131 . ), the second tension part 133 , the third tension part 134 , the fourth tension part 135 , and the clamp part 136 connected to the first tension part 132 to the fourth tension part 135 . ) is included.

상기 프레임부(131)는 밀폐된 사각형상을 가지며, 상기 프레임부(131)의 내부에는 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)가 서로 인접하게 배치된다. 상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)는 사각형상을 가지는 상기 프레임부(131)의 내측에 서로 대응되게 구비되어 상기 프레임부(131)의 내측에서 전후로 이동되는 것이 바람직하다.The frame part 131 has a closed quadrangular shape, and the first tension parts 132 to the fourth tension parts 135 are disposed adjacent to each other inside the frame part 131 . Preferably, the first tension part 132 to the fourth tension part 135 are provided to correspond to each other inside the frame part 131 having a rectangular shape, and are moved back and forth inside the frame part 131 . .

상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)는 클램프부(136)와 연결되며, 상기 클램프부(136)는 상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)를 상기 프레임부(131)의 외측방향으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135) 사이의 간격이 멀어지도록 이격시킴으로써 상기 폴리메쉬(120)를 인장시키게 된다. 상기 프레임부(131)에는 상기 클램프부(136)가 관통하는 복수개의 관통홀(131a)이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)와 일단이 연결되는 상기 클램프부(136)의 타단은 상기 관통홀(131a)을 통과 후 상기 클램프부(136)를 전후로 이동시키는 전후이동부재(137)와 연결되는 것이 바람직하다.The first tension part 132 to the fourth tension part 135 are connected to the clamp part 136 , and the clamp part 136 connects the first tension part 132 to the fourth tension part 135 . The polymesh 120 is tensioned by pulling the frame part 131 in an outward direction so that the distance between the first tension parts 132 to the fourth tension parts 135 which are disposed correspondingly is spaced apart. Preferably, a plurality of through holes 131a through which the clamp part 136 passes are formed in the frame part 131 , and one end is connected to the first tension part 132 to the fourth tension part 135 . It is preferable that the other end of the clamp part 136 is connected to a forward and backward movement member 137 that moves the clamp part 136 back and forth after passing through the through hole 131a.

도 1 및 도 5를 참조하면, 상기 폴리메쉬 접합 단계(S20)를 거친 후 폴리메쉬 인장 단계(S30)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 인장 단계(S30)는 상기 인장프레임(130)을 이용하여 메탈 마스크 시트(110)가 접합된 상기 폴리메쉬(120)를 인장시키는 단계이다. 상기 프레임부(131)의 내측에 사각형상을 가지도록 배치되는 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135)에 사각형상을 가지는 폴리메쉬의 둘레면을 결합 후 상기 전후이동부재(137)를 이용하여 상기 클램프부(136)를 상기 프레임부(131)의 외측으로 당기면 대응되게 배치되는 상기 제1인장부(132) 내지 제4인장부(135) 사이의 간격이 멀어지면서 상기 폴리메쉬(120)가 인장되게 된다.1 and 5 , after the polymesh bonding step (S20), a polymesh tensile step (S30) is performed, and the polymesh tensile step (S30) is performed using the tensile frame 130 to This is a step of tensioning the polymesh 120 to which the mask sheet 110 is bonded. After combining the circumferential surface of the polymesh having a rectangular shape to the first tensioning part 132 to the fourth tensioning part 135 arranged to have a rectangular shape inside the frame part 131, the front-back moving member 137 ) to pull the clamp part 136 to the outside of the frame part 131 , the distance between the first tension parts 132 to the fourth tension parts 135 which are disposed correspondingly increases, and the polymesh (120) is tensioned.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 폴리메쉬 인장 단계(S30)를 거친 후 폴리메쉬 검사 단계(S40)를 수행하고, 상기 폴리메쉬 검사 단계(S40)는 상기 인장프레임(130)에 의해 인장된 폴리메쉬(120)가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 단계이며, 상기 폴리메쉬 검사 단계(S40)는 폴리메쉬 촬영 단계(S41)와, 영상 비교 단계(S42)를 포함한다.1 and 2, after the polymesh tensile step (S30) is performed, the polymesh test step (S40) is performed, and the polymesh test step (S40) is the tensile frame (130). It is a step of inspecting whether the polymesh 120 is uniformly tensioned, and the polymesh inspection step (S40) includes a polymesh photographing step (S41) and an image comparison step (S42).

도 2 및 도 8을 참조하면, 상기 폴리메쉬 촬영 단계(S41)는 상면에 메탈 마스크 시트(110)가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬(120)의 하면을 비젼(150)를 이용하여 촬영하는 단계이며, 상기 비젼(150)를 이용하여 상기 인장프레임(130)에 의해 인장된 상기 폴리메쉬(120)의 표리(122)를 촬영한 후 촬영된 영상은 제어부(160)로 전송된다.2 and 8, the polymesh photographing step (S41) is to photograph the lower surface of the stretched polymesh 120 using the vision 150 after the metal mask sheet 110 is bonded to the upper surface. Step, after photographing the front and back 122 of the polymesh 120 tensioned by the tension frame 130 using the vision 150 , the photographed image is transmitted to the controller 160 .

상기 폴리메쉬 촬영 단계(S41)를 거친 후 영상 비교 단계(S42)를 수행하며, 상기 영상 비교 단계(S42)는 상기 비젼(150)이 촬영한 인장된 폴리메쉬(120)의 표리(122)의 영상과 기촬영된 후 제어부(160)에 저장된 폴리메쉬(120)가 균일하게 인장된 표리의 영상을 비교검사하는 단계이며, 상기 폴리메쉬 검사 단계(S40)를 수행함으로써 폴리메쉬(120)가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하여 메탈 마스크 시트(110)가 균일하게 인장되었는지 여부를 간편하고 빠른 시간 내에 확인할 수 있게 되며, 정상으로 판별된 폴리메쉬(120)는 후속 과정을 수행하고, 불량으로 판별된 폴리메쉬(120)는 폐기처리되게 된다.After the polymesh photographing step (S41), an image comparison step (S42) is performed, and the image comparison step (S42) is the front and back (122) of the stretched polymesh 120 photographed by the vision 150. It is a step of comparing and inspecting the image of the front and back images in which the polymesh 120 stored in the controller 160 is uniformly stretched after the image and the pre-photographed, and the polymesh 120 is uniform by performing the polymesh inspection step (S40). It is possible to easily and quickly check whether the metal mask sheet 110 is uniformly tensioned by checking whether it is stretched to Polymesh 120 is to be disposed of.

상기 폴리메쉬(120)는 상기 메탈 마스크 시트(110)와 차이점을 가지도록 유색인 것이 바람직하며, 상기 폴리메쉬(120)가 유색을 가짐으로써 상기 폴리메쉬(120)의 표리(122)가 균일하게 인장되었는지 여부를 판별하는데 용이하고, 상기 폴리메쉬(120)의 표리(122)가 형상이 변경되었는지 여부를 확인하여 균일하게 인장되었는지 여부를 판별할 수 있게 된다.The polymesh 120 is preferably colored to have a difference from the metal mask sheet 110, and since the polymesh 120 has a color, the front and back 122 of the polymesh 120 are uniformly tensioned It is easy to determine whether or not it is, and it is possible to determine whether the front and back 122 of the polymesh 120 is uniformly tensioned by checking whether the shape is changed.

도 1 및 도 6을 참조하면, 상기 폴리메쉬 검사 단계(S40)를 거친 후 폴리메쉬 제거 단계(S50)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 제거 단계(S50)는 상기 메탈 마스크 시트(110)의 둘레면 내측에 위치하는 폴리메쉬(120)를 제거하는 단계이다. 상기 폴리메쉬 제거 단계(S50)를 수행함으로써 상기 메탈 마스크 시트(110)의 하부면에 위치하는 폴리메쉬(120)를 제거하여 상기 메탈 마스크 시트(110)에 복수개의 개구부(111)를 원활하게 가공할 수 있게 되며, 상기 폴리메쉬(120)의 제거 시 레이저를 이용하는 것이 바람직하다.1 and 6 , after the polymesh inspection step S40 , the polymesh removal step S50 is performed, and the polymesh removal step S50 is the circumferential surface of the metal mask sheet 110 . It is a step of removing the polymesh 120 located on the inside. By performing the polymesh removal step (S50), the polymesh 120 positioned on the lower surface of the metal mask sheet 110 is removed to smoothly process the plurality of openings 111 in the metal mask sheet 110 . It is possible to do this, and it is preferable to use a laser when removing the polymesh 120 .

도 1을 참조하면, 상기 폴리메쉬 제거 단계(S50)를 거친 후 개구부 가공 단계(S60)를 수행하며, 상기 개구부 가공 단계(S60)는 상기 폴리메쉬(120)가 제거된 상기 메탈 마스크 시트(110)에 복수개의 개구부(111)를 가공하는 단계이다.Referring to FIG. 1 , after the polymesh removal step (S50) is performed, an opening processing step (S60) is performed, and the opening processing step (S60) is the metal mask sheet 110 from which the polymesh 120 is removed. ) is a step of processing a plurality of openings (111).

상기 메탈 마스크 시트(110)에 개구부(111)는 매트릭스 형태로 복수개가 가공될 수 있으며, 상기 개구부(111)의 형태와 개수는 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다.A plurality of openings 111 in the metal mask sheet 110 may be processed in a matrix form, and the shape and number of openings 111 may be changed according to a user's needs.

상기 개구부(111)는 상기 메탈 마스크 시트(110)에 에칭 공정에 의해 가공될 수 있다. 여기서, 상기 개구부(111)는 습식 식각을 이용하여 가공되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 건식 시각 또는 레이저 가공 방식 등으로 가공될 수 있다.The opening 111 may be processed in the metal mask sheet 110 by an etching process. Here, the opening 111 is preferably processed using wet etching, but is not limited thereto, and may be processed by dry viewing or laser processing.

상기 개구부(111)를 가공하기 전 인장된 상기 메탈 마스크 시트(110)에 하프홈(미도시)를 가공하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 메탈 마스크 시트(110)에 금형을 이용하여 내측으로 삽입되는 하프홈(미도시)를 가공 후 하프홈(미도시)에 개구부(111)를 가공하게 되면 개구부(111)를 보다 정밀하게 가공할 수 있게 된다.The method may further include processing a half groove (not shown) in the stretched metal mask sheet 110 before processing the opening 111 . After machining a half groove (not shown) inserted into the metal mask sheet 110 using a mold, machining the opening 111 in the half groove (not shown) allows the opening 111 to be processed more precisely. be able to

상기 메탈 마스크 시트(110)에 하프홈(미도시)를 가공 후 개구부(111)를 가공하게 되면 상기 하프홈(미도시)과 상기 개구부(111)가 상기 메탈 마스크 시트(110)에 'ㅜ'자 형상을 가지도록 가공됨으로써 상기 메탈 마스크 시트(110)에 위치하는 기판(미도시)에 적층될 입자의 쉐도우 효과를 줄일 수 있게 된다.When a half groove (not shown) is processed in the metal mask sheet 110 and then the opening 111 is processed, the half groove (not shown) and the opening 111 are 'TT' in the metal mask sheet 110 . By processing to have a ruler shape, it is possible to reduce the shadow effect of particles to be laminated on a substrate (not shown) positioned on the metal mask sheet 110 .

도 1 및 도 7을 참조하면, 상기 개구부 가공 단계(S60)를 거친 후 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)를 수행하며, 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)는 개구부(111)가 가공된 메탈 마스크 시트(110)를 마스크 프레임(140)에 접합시키는 단계이다.1 and 7, after the opening processing step (S60), the metal mask sheet bonding step (S70) to the mask frame is performed, and the metal mask sheet bonding step (S70) to the mask frame is the opening 111 This is a step of bonding the processed metal mask sheet 110 to the mask frame 140 .

상기 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)에서 상기 마스크 프레임(140)에 상기 폴리메쉬(120)가 접합된 상기 메탈 마스크 시트(110)의 가장자리 부분이 접합됨으로써 상기 마스크 프레임(140)은 상기 메탈 마스크 시트(110)의 가장자리 부분만 지지하며, 인장된 메탈 마스크 시트(110)가 상기 마스크 프레임(140)에 접합됨으로써 상기 메탈 마스크 시트(110)의 중심부가 하중에 의해 하부로 처지는 현상이 방지되게 된다.In the step S70 of bonding the metal mask sheet to the mask frame, the edge portion of the metal mask sheet 110 to which the polymesh 120 is bonded is bonded to the mask frame 140 so that the mask frame 140 is formed as described above. Only the edge of the metal mask sheet 110 is supported, and the tensioned metal mask sheet 110 is bonded to the mask frame 140 to prevent the central portion of the metal mask sheet 110 from sagging downward due to a load. will become

도 1을 참조하면, 상기 개구부 가공 단계(S60)를 거친 후 상기 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)를 수행하기 전에 개구부 검사 단계(S80)를 수행하는 것이 바람직하다. 상기 개구부 검사 단계(S80)는 상기 개구부 가공 단계(S60)를 거친 메탈 마스크 시트(110)에 복수개의 개구부(111)가 정확하게 가공되었는지 여부를 검사하여 개구부(111)가 가공된 메탈 마스크 시트(110)의 불량 여부를 검사하는 단계이다.Referring to FIG. 1 , it is preferable to perform the opening inspection step ( S80 ) after the opening processing step ( S60 ) and before performing the metal mask sheet bonding step ( S70 ) to the mask frame. In the opening inspection step (S80), the metal mask sheet 110 in which the openings 111 are processed by inspecting whether the plurality of openings 111 are precisely processed in the metal mask sheet 110 that has undergone the opening processing step S60. ) to check whether the

상기 개구부 검사 단계(S80)에서는 비젼(150)를 이용하여 개구부(111)가 가공된 상기 메탈 마스크 시트(110)의 이미지를 수집한 후, 수집된 이미지와 개구부(111)가 정확하게 가공된 기저장된 이미지를 제어부(160)에서 비교하여 개구부(111)가 정확하게 가공되었는지 여부를 판단하게된다.In the opening inspection step (S80), after collecting the image of the metal mask sheet 110 in which the opening 111 is processed using the vision 150, the collected image and the pre-stored image in which the opening 111 is accurately processed By comparing the images in the control unit 160, it is determined whether the opening 111 has been accurately processed.

상기 개구부 검사 단계(S80)를 거쳐 개구부(111)가 정확하게 가공된 상기 메탈 마스크 시트(110)는 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)를 수행하며, 상기 개구부 검사 단계(S80)에서 개구부(111)가 정확하게 가공되지 않았다고 판별된 메탈 마스크 시트(110)는 폐기되게 된다.The metal mask sheet 110, in which the opening 111 has been precisely processed through the opening inspection step S80, performs a metal mask sheet bonding step S70 to the mask frame, and in the opening inspection step S80, the opening ( The metal mask sheet 110 determined that the 111 has not been accurately processed is discarded.

상기 개구부 검사 단계(S80)를 거친 후 메탈 마스크 시트(110)를 마스크 프레임(140)에 접합하는 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)를 수행하기 전에 레이저 트리밍 단계(S90)를 수행할 수 있으며, 상기 레이저 트리밍 단계(S90)는 상기 개구부 검사 단계(S80)를 거쳐 불량으로 판별되어 폐기되는 메탈 마스크 시트(110) 중 가공된 개구부(111)를 보정할 수 있는 일부의 메탈 마스크 시트(110)에 가공된 불량의 개구부(111)를 레이저를 이용하여 가공하거나 또는 정상으로 판별된 메탈 마스크 시트(110)에 가공된 개구부(111)의 내측면을 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하는 단계이다.After the opening inspection step (S80), the laser trimming step (S90) may be performed before performing the metal mask sheet bonding step (S70) to the mask frame for bonding the metal mask sheet 110 to the mask frame 140 . In the laser trimming step (S90), a part of the metal mask sheet 110 capable of correcting the processed opening 111 among the metal mask sheets 110 that are determined to be defective and discarded through the opening inspection step (S80). ) processing the defective opening 111 by using a laser, or processing the correction error using the laser on the inner surface of the opening 111 processed in the metal mask sheet 110 determined to be normal .

상기 레이저 트리밍 단계(S90)를 거침으로써 불량으로 판별된 메탈 마스크 시트(110)에 가공된 개구부(111)를 가공하여 트리밍된 개구부(미도시)를 형성함으로써 정상으로 판별되게 할 수 있어 불량율을 감소시키면서 비용을 절감시킬 수 있게 된다.By processing the processed opening 111 in the metal mask sheet 110 determined to be defective by going through the laser trimming step (S90) to form a trimmed opening (not shown), it can be determined as normal, thereby reducing the defect rate doing so can reduce costs.

상기 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계(S70)를 거친 후 돌출부위 절단 단계(S100)를 수행할 수 있으며, 상기 돌출부위 절단 단계(S100)는 상기 마스크 프레임(140)에 접합된 메탈 마스크 시트(110)에서 상기 마스크 프레임(140)의 외측으로 돌출되는 부위 및 돌출되는 부위에 부착된 폴리메쉬(120)를 절단하는 단계로 상기 돌출부위 절단 단계(S100)에서는 레이저를 이용하여 상기 마스크 프레임(140)의 외측으로 돌출되는 부위를 절단하는 것이 바람직하다.After the metal mask sheet bonding step (S70) to the mask frame may be performed, the protruding portion cutting step (S100) may be performed, and the protruding portion cutting step (S100) is the metal mask sheet bonded to the mask frame 140 ( S100 ). In the step of cutting the portion protruding to the outside of the mask frame 140 and the polymesh 120 attached to the protruding portion in step 110), the step of cutting the protruding portion (S100) is the mask frame 140 using a laser. ), it is preferable to cut the outwardly protruding part.

상기 메탈 마스크 시트(110)가 접합된 탄성체인 폴리메쉬(120)를 연장프레임(130)을 이용하여 인장하고 비젼(150)을 통해 인장된 폴리메쉬(120)의 표리를 촬영한 후 기촬영된 폴리메쉬(120)가 균일하게 인장된 표리의 영상과 제어부(160)가 비교검사함으로써 간편하게 폴리메쉬(120)가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하여 메탈 마스크 시트(110)가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인할 수 있으며, 메탈 마스크 시트(110)가 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하는 시간을 단축시킬 수 있고, 메탈 마스크 시트(110)가 균일하게 인장됨에 따라 개구부(111)를 정밀하게 가공할 수 있게 된다.The metal mask sheet 110 is stretched using the extension frame 130 to the elastic body of the polymesh 120, and after photographing the front and back of the stretched polymesh 120 through the vision 150, pre-photographed The control unit 160 compares and inspects the image of the front and back of the polymesh 120 to which the polymesh 120 is uniformly tensioned, thereby conveniently checking whether the polymesh 120 is uniformly tensioned to determine whether the metal mask sheet 110 is uniformly tensioned. It can be confirmed, and the time for checking whether the metal mask sheet 110 is uniformly tensioned can be shortened, and the opening 111 can be precisely processed as the metal mask sheet 110 is uniformly tensioned. .

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, which is only exemplary, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100 :OLED 마스크 조립체 110 : 메탈 마스크 시트
111 : 개구부 120 : 폴리메쉬
130 : 인장프레임 131 : 프레임부
132 : 제1인장부 133 : 제2인장부
134 : 제3인장부 135 : 제4인장부
136 : 클램프부 140 : 마스크 프레임
150 : 비젼 160 : 제어부100: OLED mask assembly 110: metal mask sheet
111: opening 120: poly mesh
130: tension frame 131: frame part
132: first tension part 133: second tension part
134: third tenon part 135: fourth tenon part
136: clamp unit 140: mask frame
150: vision 160: control unit

Claims (8)

사각형상을 가지는 메탈 마스크 시트를 사각형상을 가지는 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 메탈 마스크 시트 접합 단계;
상기 메탈 마스크 시트가 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합 단계;
상기 인장프레임을 이용하여 상기 메탈 마스크 시트가 접합된 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장 단계;
상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 메탈 마스크 시트가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사 단계;
상기 메탈 마스크 시트의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거 단계;
상기 폴리메쉬가 제거된 상기 메탈 마스크 시트에 복수개의 개구부를 가공하는 개구부 가공 단계; 및
개구부가 가공된 메탈 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트 접합 단계를 포함하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
A metal mask sheet bonding step of bonding a metal mask sheet having a rectangular shape to a polymesh, an elastic body having a rectangular shape;
a polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the metal mask sheet is bonded to a tensile frame;
Polymesh tensioning step of tensioning the polymesh to which the metal mask sheet is bonded using the tension frame;
a polymesh inspection step of inspecting whether the metal mask sheet is uniformly tensioned by inspecting whether the polymesh is uniformly tensioned;
Polymesh removal step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the metal mask sheet;
an opening processing step of processing a plurality of openings in the metal mask sheet from which the polymesh is removed; and
A method of manufacturing an OLED mask assembly, comprising: bonding a metal mask sheet to a mask frame for bonding a metal mask sheet having an opening processed to the mask frame.
 청구항 1에 있어서,
상기 개구부 가공 단계를 거친 후 메탈 마스크 시트에 복수개의 개구부가 정확하게 가공되었는지 여부를 검사하여 개구부가 가공된 메탈 마스크 시트의 불량 여부를 검사하는 개구부 검사 단계를 더 포함하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The method of manufacturing an OLED mask assembly further comprising an opening inspection step of inspecting whether the metal mask sheet in which the opening is processed is defective by inspecting whether a plurality of openings are accurately processed in the metal mask sheet after the opening processing step.
 청구항 1에 있어서,
상기 개구부 가공 단계를 거쳐 가공된 복수개의 개구부를 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하는 레이저 트리밍 단계를 더 포함하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The method of manufacturing an OLED mask assembly further comprising a laser trimming step of processing a correction error using a laser in the plurality of openings processed through the opening processing step.
 청구항 1에 있어서,
상기 메탈 마스크 시트 접합 단계는 상기 메탈 마스크 시트의 둘레면 끝단부와 인접한 부분을 본딩하여 접합하는 것을 특징으로 하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The metal mask sheet bonding step is a method of manufacturing an OLED mask assembly, characterized in that bonding by bonding a portion adjacent to the end of the circumferential surface of the metal mask sheet.
 청구항 1에 있어서,
상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은,
밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와,
상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와,
상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The tensile frame for tensioning the polymesh in the polymesh tensile step,
A frame portion having a closed square shape, and
first to fourth tensioning parts disposed adjacent to the inside of the frame part;
The first to fourth tensioning parts are connected to the first to fourth tensioning parts, and the first to fourth tensioning parts are pulled apart from the frame part so that a distance between the first to fourth tensioning parts is spaced apart so that the correspondingly disposed first to fourth tension parts are spaced apart. A method of manufacturing an OLED mask assembly including a clamping unit.
 청구항 1에 있어서,
상기 폴리메쉬 검사 단계는,
상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와,
비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The polymesh inspection step is,
A polymesh photographing step of photographing the front and back sides of the polymesh using a vision on the lower surface of the stretched polymesh after the metal mask sheet is bonded to the upper surface;
A method of manufacturing an OLED mask assembly comprising an image comparison step in which the controller compares and inspects the image of the front and back taken by the vision and the image of the front and back in which the pre-photographed polymesh is uniformly tensioned.
 청구항 1에 있어서,
상기 폴리메쉬 제거 단계는 레이저를 이용하여 상기 메탈 마스크 시트의 둘레면 내측에 위치하는 폴리메쉬를 제거하는 것을 특징으로 하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The method of manufacturing an OLED mask assembly, characterized in that the removing of the polymesh comprises removing the polymesh located inside the circumferential surface of the metal mask sheet using a laser.
 청구항 1에 있어서,
상기 마스크 프레임에 접합된 메탈 마스크 시트에서 상기 마스크 프레임의 외측으로 돌출되는 부위 및 돌출되는 부위에 부착된 폴리메쉬를 절단하는 돌출부위 절단 단계를 더 포함하며,
상기 돌출부위 절단 단계에서는 레이저를 이용하여 상기 마스크 프레임의 외측으로 돌출되는 부위를 절단하는 것을 특징으로 하는 OLED 마스크 조립체의 제조 방법.The method according to claim 1,
Further comprising the step of cutting the protruding portion of the metal mask sheet bonded to the mask frame to cut the portion protruding to the outside of the mask frame and the polymesh attached to the protruding portion,
The method of manufacturing an OLED mask assembly, characterized in that in the step of cutting the protruding portion, the portion protruding to the outside of the mask frame is cut using a laser.
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