KR101919912B1 - Pulling method of OLED metal mask using poly mesh tention - Google Patents

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KR101919912B1 KR1020180059566A KR20180059566A KR101919912B1 KR 101919912 B1 KR101919912 B1 KR 101919912B1 KR 1020180059566 A KR1020180059566 A KR 1020180059566A KR 20180059566 A KR20180059566 A KR 20180059566A KR 101919912 B1 KR101919912 B1 KR 101919912B1
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(주)세우인코퍼레이션
전기택
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Abstract

The present invention relates to a method of pulling an OLED metal mask using poly mesh. The present invention relates to a semi-automatic pulling method, in which an end portion of a metal mask, that is pulled by a clamp in a fully automatic puller, is pulled by poly mesh while cell specifications can be finely adjusted and set, wherein a poly material is an elastic body and can be applied, however, a wire mash cannot be used and is not restored. Accordingly, the present invention relates to a pulling method that is applicable to a mother mask or a distributed mask suitable for cell specifications of about 50 μm, and is fit for manufacturing a panel for a television and a design with irregularities such as a model for OLED illumination or a release model. It is possible to operate related equipment at low costs compared to the fully automatic puller. In addition, a tension time can be remarkably shortened, and fine adjustment of a local recessed portion of the cell specifications can be easily performed by a manual cutting operation for the poly mesh.

Description

폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법{Pulling method of OLED metal mask using poly mesh tention}[0001] The present invention relates to an OLED metal mask pulling method using a poly mesh,

본 발명은 풀 오토 자동화 인장기에서 클램프가 인장(견인)하던 메탈 마스크의 종단부를 폴리 메쉬(폴리 재질은 탄성체로서 적용 가능/ 단, 와이어 메쉬는 사용하지 못함-복원 불가)가 견장(잡아 당기면서)하면서 셀의 스펙을 미세 조정하고 세팅할 수 있도록 하는 반자동(세미 오토) 방식의 인장 방법으로, 이는 50㎛ 내외의 셀 스펙을 맞출 수 있는 원장 마스크 또는 분할 마스크에 적용이 가능하고, 티비(TV)용 패널 제조에 적합하며 OLED 조명용 모델 및 이형 모델 등 불규칙성을 가진 디자인에 적합한 인장 방식이고, 풀 오토 인장기 대비 저렴한 비용으로 설비를 운영할 수 있음은 물론 인장 시간을 상당히 단축 시킬 수도 있으며 폴리 메쉬에 대한 수동식 커팅 설정에 의해 셀 스펙의 국부적 요부에 대한 미세 조정이 용이한 것을 특징으로 하는 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법에 관한 것이다.The present invention is based on the finding that the end of a metal mask that has been pulled by a clamp in a full automation tensioner can be polymethylated (a poly material can be applied as an elastomer, but not a wire mesh can not be restored) This is a semi-automatic tensioning method that allows fine adjustment and setting of the cell specifications while making it possible to apply to cell masks or split masks capable of meeting cell specifications of around 50 μm, ), It is suitable for the production of panel for OLED lighting, and it is suitable for irregular design such as OLED lighting model. It can operate the equipment at a low cost compared to the full auto tensioner and can shorten the tensile time considerably. Which is characterized in that it is easy to fine-tune the local specification of the cell specification by the manual cutting setting for the poly- It relates to an OLED metal mask method using tension.

일반적으로 증착 마스크는 제조 방법에 따라 원장 방식의 원장 마스크와 분할 방식의 분할 마스크로 나뉜다.In general, the deposition masks are divided into a ledger mask of a full length type and a split mask of a split type according to a manufacturing method.

이에, 원장 방식은 원장 마스크 시트를 원장 마스크 제조 장치의 상하좌우에 설치된 클램프를 이용하여 사방으로 인장력을 인가한 후에 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이고, 분할 방식은 셀(Cell) 단위로 분할한 분할 마스크 시트의 양단부를 분할 마스크 제조 장치의 양단에 설치된 클램프를 이용하여 양단 방향으로 인장력을 인가한 후에 분할 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이다.Thus, in the lapping method, a tensile force is applied to all sides of a ledger mask sheet using clamps installed at upper, lower, left, and right sides of the ledge mask producing apparatus, and then the ledge mask sheet is welded to the mask frame to produce a deposition mask. And then the split mask sheet is welded to the mask frame to apply a tensile force to both end portions of the divided mask sheet divided by the cell (Cell) unit in the both end directions using clamps provided at both ends of the split mask production apparatus.

즉, 상기 원장 마스크와 분할 마스크는 통상 메탈 마스크라 일컬어지고, 이러한 메탈 마스크는 보통 전자동(풀-오토) 방식의 인장기를 통해 클램핑 방식으로 하여금 인장되면서 셀의 스펙을 정밀하게 조정하도록 형성된다.That is, the general purpose mask and the divided mask are generally referred to as a metal mask, and the metal mask is generally formed by clamping the metal mask through a fully-automatic tensioner so as to precisely adjust the specification of the cell while being stretched.

그러나, 이러한 전자동(풀-오토) 방식의 인장기는 상당한 고가이고, 특히 클램프가 마스크 시트의 연장 방향으로 인장력을 인가하기 때문에 마스크 프레임의 크기에 따라 배치되는 클램프 및 각종 부가 수단 등 부속 수단들이 동시에 구비되어야 함으로써, 적지 않은 설치 공간이 요구된다.However, such a fully-automatic tensioner is considerably expensive, and in particular, since the clamp applies the tensile force in the extending direction of the mask sheet, it is necessary to simultaneously provide the clamps arranged according to the size of the mask frame, So that a considerable installation space is required.

또한 인장 작업시 프레임에 임의의 힘을 가하는 카운트 포스 기능을 사용하기 때문에 프레임에 상당한 힘이 걸려 인장 작업 완료 수 시간의 경과에 따라 조금씩 스펙이 변화되는 형태가 나타난다.In addition, since the count force function is used to apply an arbitrary force to the frame during tensioning, considerable force is applied to the frame, and the shape changes little by little as time elapses after completion of the tension work.

따라서, 대형 TV와 같은 제품 공정시에는 작업현장 규모도 고려되어야 하는 문제가 발생되고 있다.Accordingly, there is a problem that the size of a work site must be taken into consideration when a product such as a large-sized TV is processed.

아울러, 기존 전자동(풀-오토) 방식의 인장기는 미세 조정이 가능하기는 하나 일방향으로 당김시 일률적인 견장력 제공 구조로 인해 오히려 셀 스펙의 국부적 미세조정이 곤란한 문제가 발생되고 있는 실정이다.In addition, although the conventional full-auto tensioner can be finely adjusted, it is difficult to locally fine-tune the cell spec because of the structure for providing uniform tensile force when pulled in one direction.

1. 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0134707호(2013.12.10.)1. Korean Patent Publication No. 10-2013-0134707 (Dec. 10, 2013)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 메탈 마스크의 종단부를 폴리 메쉬가 견장(잡아 당기면서)하면서 셀의 스펙을 미세 조정하고 세팅할 수 있도록 하는 반자동(세미 오토) 방식의 인장 방법으로, 이는 50㎛ 내외의 셀 스펙을 맞출 수 있는 원장 마스크 또는 분할 마스크에 적용이 가능하고, 티비(TV)용 패널 제조에 적합하며 OLED 조명용 모델 및 이형 모델 등 불규칙성을 가진 디자인에 적합한 인장 방식이고, 풀 오토 인장기 대비 저렴한 비용으로 설비를 운영할 수 있음은 물론 인장 시간을 상당히 단축 시킬 수도 있으며 폴리 메쉬에 대한 수동식 커팅 설정에 의해 셀 스펙의 국부적 요부에 대한 미세 조정이 용이한 것을 특징으로 하는 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법을 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and it is a technical object of the present invention to provide a semi-automatic (semi-automatic) method for finely adjusting a specification of a cell while setting a polygonal end portion of a metal mask This is a tensile method, which can be applied to a ledge mask or split mask capable of aligning cell specifications of about 50 탆, and is suitable for manufacturing a TV panel, and is suitable for an irregular design such as an OLED illumination model and a release model It can operate the equipment at a low cost compared to the full auto tensioner and can shorten the tensile time considerably. It is also easy to fine-tune the localization of the cell specification by manual cutting setting for polymesh The present invention provides an OLED metal mask tensile method using a poly mesh.

일반적으로 금속재질의 메탈 프레임은 물리적 변화에 부분적으로 취약한 구조를 나타내고 있다.Generally, a metal frame of a metal material is partially vulnerable to physical change.

특히 OLED 용으로 사용되는 Metal frame은 형태가 2단으로 구성되어 있어서 상, 하단의 두께의 차이가 있다. Especially, the metal frame used for OLED is composed of two stages, so there is a difference in thickness between the upper and lower sides.

이러한 구조를 가진 메탈프레임에 카우트 포스의 기능을 이용하여 강제적으로 바깥쪽에서 안쪽으로 힘을 가하기 때문에 상당한 양의 힘이 프레임에 가중되어 프레임 변형을 발생 시킨다.A metal frame with this structure utilizes the function of a kite force to forcibly apply force from the outside to the inside, so that a considerable amount of force is applied to the frame, causing frame deformation.

특히 강성이 약한 Invar 소재를 사용함으로써, 힘을 가할때의 변형화, 복원 할때의 변형의 많이 발생한다. Particularly, by using Invar material having weak stiffness, many deformations are generated when applying force and deformation when restoring.

특히 Metal mask 인장 용접 후 복원 시 규칙적인 복원이 이루어져야 하는데, mask 패터의 형상 및 2단 프레임의 구조 때문에 균일한 복원이 이루어지지 않는다.Especially, the metal mask should be regularly restored after welding after tensile welding, but the uniform restoration can not be achieved due to the shape of the mask pattern and the structure of the two-stage frame.

이러한 현상은 진행성 복원이 불규칙 하게 이루어져 인장 용접 작업 완료후 맞춘 스펙의 변화를 발생 시킨다. This phenomenon is due to the irregular progressive restoration, resulting in a change in the spec.

이러한 부분들은 진행성으로 지속적 변화가 발생 되고 그 변화량을 예측할 수 없기 때문에 스펙의 변화를 초래할 수 있다. These parts can cause specification changes because they can not predict the amount of change that occurs continuously due to progression.

이에 인장 강도를 최소화 하는 Mesh 텐션 법을 이용함으로써 frame 변화를 최소화 하여 진행성 스펙 변화를 최소화 하여 안정적인 제품을 생산하고저 하는데 목적이 있다.By using the mesh tension method which minimizes the tensile strength, it is aimed to minimize the change of the frame and to minimize the change of the progress specification, thereby producing and reducing the stable product.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 탄성체인 폴리 메쉬(10)가 견장 프레임(20)의 세컨 프레임(22) 상면에 부착 결합되어 폴리 메쉬(10)의 인장력을 설정치(최대치)로 당겨 견장하는 제1단계(S100)와; 견장된 폴리 메쉬(10)의 상면에 다수개의 셀이 형성된 메탈 마스크 시트(30)를 안착시키도록 하되, 메탈 마스크 시트(30)가 폴리 메쉬(10)에 닿는 4면 테두리(31) 부분을 본딩하여 접합하는 제2단계(S200)와; 메탈 마스크 시트(30)가 접합된 견장 프레임(20)을 180°로 뒤집어 반전시키도록 하는 제3단계(S300)와; 메탈 마스크 시트(30)가 폴리 메쉬(10)에 접합된 상태에서 테두리(31)를 기준으로 내측 사각면에 해당하는 버림측 폴리 메쉬(11) 부분을 제거(절단)하도록 하되, 남겨진 견장측 폴리 메쉬(12)측이 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 세컨 프레임(22) 사이에서 설정치(최대치)로 견장되면서 메탈 마스크 시트(30) 상에 페터닝된 셀의 스펙을 조정할 수 있도록 초기 세팅을 준비하는 제4단계(S400)와; 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 세컨 프레임(22) 간 견장(탄성유지)되고 있는 견장측 폴리 메쉬(12)에 대하여 셀의 스펙에 따라 선택된 메쉬선(13)을 절단하면서 유지되고 있는 견장 탄성력을 초미세하게 해제하여 셀의 스펙을 미세 조정할 수 있도록 하는 제5단계(S500)가; 구성되어 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a polyhedron, which comprises a step of attaching a poly mesh (10), which is an elastic body, to a top surface of a sec- ond frame (22) of a string frame (20) Step S100; The metal mask sheet 30 on which the plurality of cells are formed is placed on the upper surface of the strapped poly mesh 10 so that the metal mask sheet 30 is bonded to the poly mesh 10 (S200); A third step (S300) of reversing the reversed string frame 20 by 180 ° with the metal mask sheet 30; Side poly mesh 11 corresponding to the inner square face is removed (cut) on the basis of the rim 31 in a state where the metal mask sheet 30 is bonded to the poly mesh 10, The initial setting is made so that the mesh 12 can be adjusted on the metal mask sheet 30 while the side of the mesh 12 is strained to the set value (maximum value) between the rim 31 of the metal mask sheet and the second frame 22 A fourth step (S400) of preparation; The mesh wire 13 selected in accordance with the specification of the cell is cut with respect to the string-side poly mesh 12 that is held between the frame 31 of the metal mask sheet and the second frame 22 A fifth step (S500) of finely adjusting the specification of the cell by finely releasing it; .

이에, 상기 제2단계(S200)에서 폴리 메쉬(10)에 본딩된 메탈 마스크 시트(30)는 설정된 주기나 정해진 시간 동안 자연 건조되거나 강제 건조되도록 하는 에이징 단계(S210)가 더 추가되도록 형성된다.The metal mask sheet 30 bonded to the polymesh 10 in the second step S200 is further formed with an aging step S210 for allowing the metal mask sheet 30 to be naturally dried or forcibly dried for a set period or a predetermined period of time.

이때, 상기 제5단계(S500)에 따라 메탈 마스크 시트(30)의 셀 스펙 조정이 완료되면 메탈 마스크 시트(30)의 저면에 마스크 프레임(40)이 결합되도록 하되, 상기 마스크 프레임(40)의 사각 선단은 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 대응되면서 레이져 용접방식을 통해 접합 결합되도록 형성된다.When the cell specification of the metal mask sheet 30 is completed according to the fifth step S500, the mask frame 40 is coupled to the bottom surface of the metal mask sheet 30, The quadrangular tip is formed to correspond to the rim 31 of the metal mask sheet and to be bonded and bonded through a laser welding method.

또한, 상기 견장 프레임(20)은 사각 테두리를 연결하며 창호 형태를 이루는 메인 프레임(21)과; 상기 메인 프레임의 내측 4면에 대응되면서 배치되도록 하되, 바(Bar) 형태로 된 길이방향 선단 일면에 폴리 메쉬가 부착되도록 접착면이 형성되는 세컨 프레임(22)과; 상기 메인 프레임을 기준으로 세컨 프레임이 상시 근접되도록 탄성을 유지하는 텐션 볼트(23)와; 상기 텐션 볼트와 간섭없이 배치되어 세컨 프레임이 메인 프레임 내주면으로 이격하도록 나사 조임방식으로 조정되는 고정볼트(24)가; 구성되어 이루어진다.In addition, the string frame 20 includes a main frame 21 connecting a rectangular frame and having a window shape; A sec- ond frame (22) having an adhesive surface to be attached to the inner four sides of the main frame so that the polymesh is adhered to one longitudinal end surface in the form of a bar; A tension bolt (23) which maintains elasticity such that a second frame always comes close to the main frame; A fixing bolt (24) arranged without interfering with the tension bolt and adjusted in a screw tight manner so that the sec- ond frame is spaced apart from the inner circumferential surface of the main frame; .

이에, 상기 메탈 마스크 시트(30)는 원장 마스크 또는 분할 마스크 중 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the metal mask sheet 30 is formed of either a full-length mask or a split mask.

이와 같이, 본 발명은 풀 오토 자동화 인장기의 클램프를 대체하면서 폴리 메쉬의 탄성력(텐션)에 따라 선택적인 견장이 용이하게 조정될 수 있도록 하는 바, 이는 셀의 스펙을 미세 조정하고 세팅할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention enables a selective strap to be easily adjusted according to the elasticity (tension) of the poly mesh while replacing the clamp of the full automatic automatical tensioner, .

이러한 본 발명은 메탈 마스크의 종단부를 폴리 메쉬(폴리 재질은 탄성체로서 적용 가능/ 단, 와이어 메쉬는 사용하지 못함-복원 불가)가 견장(잡아 당기면서)하면서 50㎛ 내외의 셀 스펙을 맞출 수 있도록 하는 효과가 있다.The present invention can be used to adjust the cell specification of about 50 占 퐉 while stretching the end portion of the metal mask with a poly mesh (the poly material can be applied as an elastic body, but the wire mesh can not be used - can not be restored) .

다시 말해, 본 발명은 원장 마스크 또는 분할 마스크 및 원장 마스크 모두에 적용이 가능하고, 티비(TV)용 패널 제조에 적합하며 풀 오토 인장기 대비 저렴한 비용으로 설비를 운영할 수 있음은 물론 폴리 메쉬에 대한 수동식 커팅 설정에 의해 셀 스펙의 국부적 요부에 대한 미세 조정이 용이한 효과가 있다.In other words, the present invention can be applied to both a ledger mask, divided mask, and ledger mask, and is suitable for manufacturing a TV panel, and can operate a facility at a lower cost than a full auto tensioner. It is easy to fine-tune the local spots of the cell spec by the manual cutting setting.

도 1은 본 발명에 따른 견장 프레임에 폴리 메쉬가 결합되는 것을 나타낸 예시도,
도 2는 도 1에 메탈 마스크 시트가 결합되는 것을 나타낸 예시도,
도 3은 도 2를 180°회전시켜 버림측 폴리 메쉬를 절단하고 견장 상태를 설정치(최대치)로 유지하도록 하는 것을 나타낸 예시도,
도 4는 도 3에 있어서, 마스크 프레임을 결합한 것을 나타낸 예시도,
도 5 내지 도 6은 본 발명에 따른 인장법의 일 예시 공정도,
도 7 내지 도 8은 본 발명에 따른 견장 프레임의 세부 상세도,
도 9는 본 발명에 따른 메탈 마스크 시트를 견장 프레임을 통해 인장하는 것을 나타낸 공정 예시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an illustration showing that a poly mesh is bonded to a string frame according to the present invention,
FIG. 2 is an exemplary view showing that the metal mask sheet is coupled to FIG. 1;
Fig. 3 is an illustration showing that the cutting side polymesh is cut by rotating the Fig. 2 by 180 占 and the string state is maintained at a set value (maximum value)
Fig. 4 is an exemplary view showing the combination of the mask frame in Fig. 3,
5 to 6 are a process chart of an example of a tensile method according to the present invention,
7 to 8 are detailed views of a string frame according to the present invention,
9 is a process example showing a process of pulling a metal mask sheet according to the present invention through a string frame.

다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 제1 내지 제5단계(S100~S500)를 통해 메탈 마스크 시트가 폴리 메쉬로 하여금 견장 프레임에 결합되고, 이를 기준으로 세팅된 메탈 마스크 시트가 마스크 프레임에 결합되는 제6단계(S600)까지 작업되는 것을 특징으로 한다.First, as shown in FIGS. 1 to 9, a metal mask sheet is bonded to a string frame through a first through a fifth step (S100 to S500), and a metal mask And a sixth step (S600) in which the sheet is coupled to the mask frame.

이에, 제1단계(S100)는 탄성체인 폴리 메쉬(10)가 견장 프레임(20)의 세컨 프레임(22) 상면에 부착 결합되어 폴리 메쉬(10)의 인장력을 설정치(최대치)로 당겨 견장하도록 형성된다.In the first step S100, the poly mesh 10, which is an elastic body, is attached to the upper surface of the sec- ond frame 22 of the string frame 20 so as to pull the tensile force of the poly mesh 10 to a set value do.

이는 폴리 메쉬가 일단 최대치로 당겨진 상태에서 클램핑을 조장하게 하는 것으로, 추후 당겨진 메쉬선들을 일부 잘라가면서 견장력을 조금씩 해제하기 위함이다.This is to encourage clamping in the state where the polymesh is once pulled to the maximum, so as to gradually loosen the tensile strength while cutting some of the drawn mesh lines.

이때, 상기 폴리 메쉬는 80~150mesh 인 것이 바람직하고, 메탈 마스크 시트의 설계 조건 및 셀 스펙 사향에 따라 메쉬의 굵기나 규격을 상이하게 적용할 수 있도록 형성된다.At this time, the polymesh is preferably 80 to 150 mesh, and the thickness and size of the mesh can be differently applied according to the design conditions of the metal mask sheet and the cell specification musk.

이에, 상기 제2단계(S200)는 견장된 폴리 메쉬(10)의 상면에 다수개의 셀이 형성된 메탈 마스크 시트(30)를 안착시키도록 하되, 상기 메탈 마스크 시트(30)는 폴리 메쉬(10)에 닿는 4면 테두리(31)가 본딩되도록 형성된다.In the second step S200, the metal mask sheet 30 on which the plurality of cells are formed is placed on the upper surface of the strapped metal mesh sheet 30, So that the four-sided frame 31 is bonded.

이때, 상기 제2단계(S200)에서 폴리 메쉬(10)에 본딩된 메탈 마스크 시트(30)는 설정된 주기나 정해진 시간 동안 자연 건조되거나 강제 건조되도록 하는 에이징 단계(S210)가 더 추가되도록 형성된다. 이는 접합성을 고려하여 보다 높은 고정력을 확보하기 위함이다.At this time, the metal mask sheet 30 bonded to the polymesh 10 in the second step S200 is further formed with an aging step S210 for naturally drying or forcibly drying the metal mask sheet 30 for a set period or a predetermined time. This is to ensure higher fixing force in consideration of bonding property.

이에, 상기 메탈 마스크 시트(30)는 원장 마스크 또는 분할 마스크 중 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the metal mask sheet 30 is formed of either a full-length mask or a split mask.

또한, 상기 제3단계(S300)는 메탈 마스크 시트(30)가 접합된 견장 프레임(20)을 180°로 뒤집어 반전시키도록 형성된다.In the third step S300, the metal mask sheet 30 is turned upside down by 180 ° with the rope frame 20 to which the metal mask sheet 30 is bonded.

즉, 상하면을 완전히 뒤집어 메탈 마스크 시트의 면적 내 폴리 메쉬를 절단 제거할 수 있도록 하기 위함이다.That is, the upper and lower surfaces are completely turned over so as to cut and remove the poly mesh within the area of the metal mask sheet.

이에, 상기 제4단계(S400)는 메탈 마스크 시트(30)가 폴리 메쉬(10)에 접합된 상태에서 테두리(31)를 기준으로 내측 사각면에 해당하는 버림측 폴리 메쉬(11) 부분을 제거(절단)하도록 형성된다.In the fourth step S400, the metal mask sheet 30 is bonded to the poly mesh 10, and the part of the abrading-side poly mesh 11 corresponding to the inner square surface is removed (Cut).

즉, 메탈 마스크 시트의 면적에 해당하는 부분을 제거함으로써, 메탈 마스크 시트의 최외측이 세컨 프레임과 연결되어 탄성력에 의한 견장이 유지되도록 하기 위함이다.That is, by removing the portion corresponding to the area of the metal mask sheet, the outermost portion of the metal mask sheet is connected to the second frame so that the elasticity-caused string is maintained.

다시 말해, 버림측 폴리 메쉬가 제거된 후 남겨진 견장측 폴리 메쉬(12)측은 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 세컨 프레임(22) 사이에서 설정치(최대치)로 견장되면서 메탈 마스크 시트(30) 상에 페터닝된 셀의 스펙을 조정할 수 있도록 형성된다. 이는 초기 세팅을 준비하기 위함이다.In other words, the side of the string-side poly mesh 12 left after the reject side poly mesh is removed is strained to the set value (maximum value) between the rim 31 of the metal mask sheet and the second frame 22, So that the specification of the cell to be polled can be adjusted. This is to prepare the initial settings.

이에, 상기 제5단계(S500)는 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 세컨 프레임(22) 간 견장(탄성유지)되고 있는 견장측 폴리 메쉬(12)에 대하여 셀의 스펙에 따라 선택된 메쉬선(13)을 절단하면서 유지되고 있는 견장 탄성력을 초미세하게 해제하여 셀의 스펙을 미세 조정할 수 있도록 형성된다.The fifth step S500 is a step of selecting the mesh line (s) selected according to the specification of the cell with respect to the string-side polymesh 12, which is held in elasticity between the rim 31 of the metal mask sheet and the second frame 22 13) is finely released to finely adjust the specifications of the cell.

이때, 상기 제5단계(S500)에 따라 메탈 마스크 시트(30)의 셀 스펙 조정이 완료되면 메탈 마스크 시트(30)의 저면에 마스크 프레임(40)이 결합되도록 하되, 상기 마스크 프레임(40)의 사각 선단은 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 대응되면서 레이져 용접방식을 통해 접합 결합되도록 되고, 이는 결국 증착 마스크 제품으로서 완료된다.When the cell specification of the metal mask sheet 30 is completed according to the fifth step S500, the mask frame 40 is coupled to the bottom surface of the metal mask sheet 30, The rectangular tip is joined to the edge 31 of the metal mask sheet by laser welding in correspondence with the edge 31, and this is finally completed as a deposition mask product.

이에, 상기 견장 프레임(20)은 메인 프레임과 세컨 프레임 및 텐션 볼트와 고정볼트로 크게 구성된다.The string frame 20 includes a main frame, a sec- ond frame, a tension bolt, and a fixing bolt.

이때, 상기 메인 프레임(21)은 사각 테두리를 연결하며 창호 형태를 이루는 것으로, 사각 틀 중 내외측면에는 각각 텐션볼트와 고정볼트가 관통하면서 고정될 수 있도록 하는 통공이 형성된다.At this time, the main frame 21 connects with a rectangular frame and forms a window. Inside and outside of the rectangular frame, a through hole is formed to allow the tension bolt and the fixing bolt to pass therethrough.

이에, 상기 세컨 프레임(22)은 상기 메인 프레임의 내측 4면에 대응되면서 배치되도록 하되, 바(Bar) 형태로 된 길이방향 선단 일면에 폴리 메쉬가 부착되도록 접착면이 형성된다.Thus, the securing frame 22 is disposed in correspondence with four inner sides of the main frame, and a bonding surface is formed so that the polymesh is adhered to one surface of the bar in the longitudinal direction.

즉, 상기 세컨 프레임은 4개가 각각 분할된 것으로, 하나의 세컨 프레임 각 바가 메인 프레임 내주면 4면에서 독립적으로 앞뒤 또는 전후 근접되거나 이격될 수 있도록 형성된다.That is, each of the first frames is divided into four, and each bar of one second frame is formed so that it can be closely spaced forward, backward, frontward, backward, or away independently from the four inner peripheral faces of the main frame.

또한, 상기 텐션 볼트(23)는 상기 메인 프레임을 기준으로 세컨 프레임이 상시 근접되도록 탄성을 유지하는 수단이다.In addition, the tension bolt 23 is a means for maintaining elasticity such that the second frame always comes close to the main frame.

이때, 상기 고정볼트(24)는 상기 텐션 볼트와 간섭없이 배치되어 세컨 프레임이 메인 프레임 내주면으로 이격하도록 나사 조임방식으로 조정하도록 형성된다.At this time, the fixing bolts 24 are arranged without interfering with the tension bolts, and are adjusted so as to be screwed so that the sec- ond frames are spaced apart from the inner peripheral surface of the main frame.

정리하면 상기 견장 프레임은 창호 형태의 메인 프레임을 기준으로 내주면에 배치된 세컨 프레임이 구비되도록 하되, 상기 세컨 프레임의 면상에는 폴리 메쉬의 최외곽 단부가 접합 결합되도록 형성된다.In summary, the string frame is provided with a second frame disposed on the inner circumferential surface with respect to a main frame of a window shape, and the outermost end of the poly mesh is bonded and bonded on the surface of the second frame.

이후, 메탈 마스크 시트가 폴리 메쉬 상면에 안착되면 셀의 스펙에 따라 텐션 볼트와 고정볼트의 조정으로 하여금 폴리 메쉬의 견인력(늘리고 당김)을 조정하면서 셀 스펙을 정교하게 맞출 수 있도록 형성된다.Thereafter, when the metal mask sheet is seated on the upper surface of the poly mesh, adjustment of the tension bolt and the fixing bolt according to the specification of the cell is formed so that the cell specification can be finely adjusted while adjusting the pulling force (stretching and pulling) of the poly mesh.

이때, 필요에 따라서는 폴리 메쉬 중 견인측 폴리 메쉬의 메쉬선을 일부 잘라가면서 셀 스펙을 미세 조정할 수 있도록 형성된다.At this time, if necessary, it is formed so that the cell specification can be finely adjusted while cutting a part of the mesh line of the trailing side polymesh in the polymesh.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.

10 ... 폴리 메쉬 11 ... 버림측 폴리 메쉬
12 ... 견장측 폴리 메쉬 13 ... 메쉬선
20 ... 견장 프레임 21 ... 메인 프레임
22 ... 세컨 프레임 23 ... 텐션 볼트
24 ... 고정볼트 30 ... 메탈 마스크 시트
31 ... 테두리 40 ... 마스크 프레임
S100 ... 제1단계 S200 ... 제2단계
S300 ... 제3단계 S400 ... 제4단계
S500 ... 제5단계 S600 ... 제6단계10 ... Polymesh 11 ... Polymeshed side
12 ... Strap side Poly mesh 13 ... Mesh wire
20 ... string frame 21 ... main frame
22 ... second frame 23 ... tension bolt
24 ... Fixed bolt 30 ... Metal mask sheet
31 ... frame 40 ... mask frame
S100 ... first step S200 ... second step
S300 ... third step S400 ... fourth step
S500 ... fifth step S600 ... sixth step

Claims (5)

탄성체인 폴리 메쉬(10)가 견장 프레임(20)의 세컨 프레임(22) 상면에 부착 결합되어 폴리 메쉬(10)의 인장력을 설정치(최대치)로 당겨 견장하는 제1단계(S100)와; 견장된 폴리 메쉬(10)의 상면에 다수개의 셀이 형성된 메탈 마스크 시트(30)를 안착시키도록 하되, 메탈 마스크 시트(30)가 폴리 메쉬(10)에 닿는 4면 테두리(31) 부분을 본딩하여 접합하는 제2단계(S200)와; 메탈 마스크 시트(30)가 접합된 견장 프레임(20)을 180°로 뒤집어 반전시키도록 하는 제3단계(S300)와; 메탈 마스크 시트(30)가 폴리 메쉬(10)에 접합된 상태에서 테두리(31)를 기준으로 내측 사각면에 해당하는 버림측 폴리 메쉬(11) 부분을 제거(절단)하도록 하되, 남겨진 견장측 폴리 메쉬(12)측이 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 세컨 프레임(22) 사이에서 설정치(최대치)로 견장되면서 메탈 마스크 시트(30) 상에 페터닝된 셀의 스펙을 조정할 수 있도록 초기 세팅을 준비하는 제4단계(S400)와; 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 세컨 프레임(22) 간 견장(탄성유지)되고 있는 견장측 폴리 메쉬(12)에 대하여 셀의 스펙에 따라 선택된 메쉬선(13)을 절단하면서 유지되고 있는 견장 탄성력을 초미세하게 해제하여 셀의 스펙을 미세 조정할 수 있도록 하는 제5단계(S500)가; 구성되어 이루어진 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법에 있어서,
상기 견장 프레임(20)은 사각 테두리를 연결하며 창호 형태를 이루는 메인 프레임(21)과; 상기 메인 프레임의 내측 4면에 대응되면서 배치되도록 하되, 바(Bar) 형태로 된 길이방향 선단 일면에 폴리 메쉬가 부착되도록 접착면이 형성되는 세컨 프레임(22)과; 상기 메인 프레임을 기준으로 세컨 프레임이 상시 근접되도록 탄성을 유지하는 텐션 볼트(23)와; 상기 텐션 볼트와 간섭없이 배치되어 세컨 프레임이 메인 프레임 내주면으로 이격하도록 나사 조임방식으로 조정되는 고정볼트(24)가; 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법.A first step S100 of attaching and bonding a tensile force of the poly mesh 10 to a set value (maximum value) by attaching the poly mesh 10, which is an elastic body, to the upper surface of the second frame 22 of the string frame 20; The metal mask sheet 30 on which the plurality of cells are formed is placed on the upper surface of the strapped poly mesh 10 so that the metal mask sheet 30 is bonded to the poly mesh 10 (S200); A third step (S300) of reversing the reversed string frame 20 by 180 ° with the metal mask sheet 30; Side poly mesh 11 corresponding to the inner square face is removed (cut) on the basis of the rim 31 in a state where the metal mask sheet 30 is bonded to the poly mesh 10, The initial setting is made so that the mesh 12 can be adjusted on the metal mask sheet 30 while the side of the mesh 12 is strained to the set value (maximum value) between the rim 31 of the metal mask sheet and the second frame 22 A fourth step (S400) of preparation; The mesh wire 13 selected in accordance with the specification of the cell is cut with respect to the string-side poly mesh 12 that is held between the frame 31 of the metal mask sheet and the second frame 22 A fifth step (S500) of finely adjusting the specification of the cell by finely releasing it; In the OLED metal mask pulling method using the poly mesh formed by the above method,
The string frame (20) includes a main frame (21) connecting a rectangular frame and having a window shape; A sec- ond frame (22) having an adhesive surface to be attached to the inner four sides of the main frame so that the polymesh is adhered to one longitudinal end surface in the form of a bar; A tension bolt (23) which maintains elasticity such that a second frame always comes close to the main frame; A fixing bolt (24) arranged without interfering with the tension bolt and adjusted in a screw tight manner so that the sec- ond frame is spaced apart from the inner circumferential surface of the main frame; The OLED metal mask tensile method using the poly mesh. 제 1항에 있어서, 상기 제2단계(S200)에서 폴리 메쉬(10)에 본딩된 메탈 마스크 시트(30)는 설정된 주기나 정해진 시간 동안 자연 건조되거나 강제 건조되도록 하는 에이징 단계(S210)가 더 추가되도록 하는 것을 특징으로 하는 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법.The method according to claim 1, wherein the metal mask sheet (30) bonded to the polymesh (10) in the second step (S200) further comprises an aging step (S210) for naturally drying or forced drying for a set period or a predetermined time Wherein the OLED metal mask is pulled out of the OLED. 제 1항에 있어서, 상기 제5단계(S500)에 따라 메탈 마스크 시트(30)의 셀 스펙 조정이 완료되면 메탈 마스크 시트(30)의 저면에 마스크 프레임(40)이 결합되도록 하되, 상기 마스크 프레임(40)의 사각 선단은 메탈 마스크 시트의 테두리(31)와 대응되면서 레이져 용접방식을 통해 접합 결합되도록 하는 제6단계(S600)와;
더 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법.The method as claimed in claim 1, wherein when the cell specification of the metal mask sheet (30) is completed according to the fifth step (S500), the mask frame (40) is coupled to the bottom surface of the metal mask sheet (30) A sixth step S600 of causing the quadrangular tips of the metal mask 40 to be bonded to each other through laser welding while corresponding to the rim 31 of the metal mask sheet;
The OLED metal mask tensile method using the polymesh. 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 메탈 마스크 시트(30)는 원장 마스크 또는 분할 마스크 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 폴리 메쉬를 이용한 OLED 메탈 마스크 인장법.
The OLED metal mask tensor method according to claim 1, wherein the metal mask sheet (30) is formed of one of a ledger mask and a split mask.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102265520B1 (en) 2021-03-05 2021-06-16 임세도 Tensile Apparatus for Open Mask
KR20220136683A (en) * 2021-04-01 2022-10-11 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of OLED mask assembly
KR20230001596A (en) * 2021-06-28 2023-01-05 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of mask alignment stick
KR20230017550A (en) * 2021-07-28 2023-02-06 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of mask alignment stick

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102265520B1 (en) 2021-03-05 2021-06-16 임세도 Tensile Apparatus for Open Mask
KR20220136683A (en) * 2021-04-01 2022-10-11 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of OLED mask assembly
KR102597712B1 (en) * 2021-04-01 2023-11-03 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of OLED mask assembly
KR20230001596A (en) * 2021-06-28 2023-01-05 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of mask alignment stick
KR102633153B1 (en) * 2021-06-28 2024-02-06 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of mask alignment stick
KR20230017550A (en) * 2021-07-28 2023-02-06 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of mask alignment stick
KR102633152B1 (en) * 2021-07-28 2024-02-05 (주)세우인코퍼레이션 Manufacturing method of mask alignment stick

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