KR20230001596A - Manufacturing method of mask alignment stick - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a manufacturing method of a mask alignment stick which is mounted on a mask frame and which supports a mask sheet bonded with the mask frame. The manufacturing method of a mask alignment stick comprises: an alignment pattern forming step to form a plurality of alignment patterns formed on each mask alignment stick on a material for manufacturing a plurality of mask alignment sticks; a mask alignment stick separation step to cut the outer circumferential surface of the mask alignment stick from the material and separate the mask alignment stick from the material; a mask alignment stick tensioning step to tension the separated mask alignment stick; and a keyhole processing step to form a keyhole on the tensioned mask alignment stick. Therefore, the present invention is able to precisely process a keyhole on a mask alignment stick by evenly tensioning the mask alignment stick by using an elastic chain polymesh and a tension frame and forming a keyhole on the tensioned mask alignment stick.

Description

마스크 얼라인 스틱의 제조방법{Manufacturing method of mask alignment stick}Manufacturing method of mask alignment stick {Manufacturing method of mask alignment stick}

본 발명은 마스크 얼라인 스틱의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 하부에서 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a mask alignment stick, and more particularly, to a method for manufacturing a mask alignment stick for manufacturing a mask alignment stick mounted on a mask frame and supporting a mask sheet bonded to the mask frame from the lower portion. it's about

한국 등록특허 제10-2210022호에 기재된 배경기술을 참조하면, 유기발광 표시장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는 TV, PC, 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트위치, 차량계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. 이러한 OLED는 빛을 발광하는 발광층이 유기화합물로 이루어진다. OLED 제조 공정은 박막의 메탈 마스크를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 방법이 주로 사용된다.Referring to the background art disclosed in Korean Patent Registration No. 10-2210022, an organic light-emitting diode (OLED) is a display device provided in a TV, PC, tablet PC, smart phone, smart location, vehicle instrument panel, etc. is widely used as In this OLED, a light emitting layer emitting light is made of an organic compound. In the OLED manufacturing process, a method of depositing an organic material at a desired location by attaching a thin metal mask to a substrate is mainly used.

종래의 OLED 제조 공정에서는 메탈 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 메탈 마스크를 마스크 프레임 상에 용접하여 고정시키게 된다. 이후, 마스크 프레임에 용접된 메탈 마스크의 더미 영역을 트림 라인을 따라 절단하여 제거하게 된다.In a conventional OLED manufacturing process, after manufacturing a metal mask in a stick shape, plate shape, etc., the metal mask is welded and fixed on a mask frame. Thereafter, the dummy region of the metal mask welded to the mask frame is removed by cutting along the trim line.

종래의 메탈 마스크는 일정한 인장력으로 인장을 실시한 후, 마스크 프레임 상에 용접에 의하여 고정하게 된다. 이때, 메탈 마스크의 가장자리 부분에는 마스크 프레임 상에 안착되는 기판과의 얼라인을 위한 얼라인 패턴이 배치되게 된다.A conventional metal mask is fixed by welding on the mask frame after being stretched with a constant tensile force. At this time, an alignment pattern for alignment with a substrate seated on the mask frame is disposed at the edge of the metal mask.

그러나, 종래의 메탈 마스크는 일정한 인장력으로 인장을 실시하는 과정에서 얼라인 패턴이 배치되는 마스크 시트의 가장자리 부분으로 응력이 집중되는 관계로 얼라인 패턴의 위치가 틀어져 위치 정확도를 저하시키는 문제점 및 메탈 마스크의 중앙부위가 하부로 처지는 문제점이 발생하였다.However, in the conventional metal mask, stress is concentrated on the edge of the mask sheet where the alignment pattern is placed during the process of tensioning with a constant tensile force, so the alignment pattern is distorted and the positioning accuracy is lowered, and the metal mask There was a problem that the central part of the sag to the bottom.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 얼라인 패턴이 형성된 마스크 얼라인 스틱을 마스크 프레임에 접합하여 메탈 마스크의 중앙 부위가 하부로 처지는 문제점을 해결하면서 메탈 마스크의 위치를 정확하게 잡아주도록 한다.In order to solve the above problem, a mask alignment stick having an alignment pattern formed thereon is bonded to the mask frame to accurately position the metal mask while solving the problem that the central part of the metal mask sags downward.

상기 마스크 얼라인 스틱에는 상기 마스크 시트와 얼라인하기 위한 얼라인 패턴과, 얼라인 키가 형성된다. An alignment pattern for aligning with the mask sheet and an alignment key are formed on the mask align stick.

종래의 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 경우, 시트 형상의 원장 상태에서 상기 마스크 얼라인 스틱의 외형라인과 상기 얼라인 패턴 및 얼라인 키를 에칭 공정을 통하여 동시에 가공한다. In the case of manufacturing a conventional mask alignment stick, the outer line of the mask alignment stick, the alignment pattern, and the alignment key are simultaneously processed through an etching process in a sheet-shaped original state.

이 경우, 마스크 얼라인 스틱의 외형라인이 먼저 가공되고, 틀어짐이 발생하여 얼라인 패턴 및 얼라인 키의 정밀도가 떨어진다는 문제점이 발생한다. In this case, the outline of the mask alignment stick is processed first, and distortion occurs, resulting in a problem in that the accuracy of the alignment pattern and alignment key is deteriorated.

또한, 상기 얼라인 키를 가공하는 경우, 인장 상태를 예측하여 얼라인 키를 가공하는데, 원단의 굴곡 등의 문제로 인하여 정확한 얼라인 키를 가공하는 것이 어렵다는 문제점이 발생한다. In addition, when processing the align key, the alignment key is processed by predicting the tensile state, but it is difficult to process the align key accurately due to problems such as bending of the fabric.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 시트 형상의 원장을 이용하여 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 경우, 얼라인 패턴 가공공정 및 얼라인 키 가공공정을 개선하여 얼라인 패턴 및 얼라인 키의 정밀도를 향상시키는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공하기 위한 것이다. The present invention was created to solve the above problems, and when manufacturing a mask alignment stick using a sheet-shaped ledger, the alignment pattern and alignment patterns are improved by improving the alignment pattern processing process and the alignment key processing process. It is to provide a method of manufacturing a mask alignment stick that improves the precision of an in-key.

또한, 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬 및 인장프레임을 이용하여 인장한 후 인장된 마스크 얼라인 스틱에 얼라인패턴 및 키홀을 가공함으로써 얼라인패턴과 키홀을 정확하게 가공할 수 있는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, mask alignment sticks that can accurately process alignment patterns and keyholes by processing alignment patterns and keyholes on the tensioned mask alignment sticks after tensioning the mask alignment sticks using polymesh and tensile frames, which are elastic bodies. There is another object to provide a manufacturing method of.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로, 복수개의 마스크 얼라인 스틱을 제작하는 원장에 각각의 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 복수개의 얼라인패턴을 형성하는 얼라인패턴 형성단계; 원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리시키는 마스크 얼라인 스틱 분리단계; 분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계; 및 인장된 마스크 얼라인 스틱에 키홀을 형성하는 키홀 가공단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention relates to a method for manufacturing a mask alignment stick mounted on a mask frame to support a mask sheet bonded to the mask frame, and to a method for manufacturing a plurality of mask alignment sticks. an alignment pattern forming step of forming a plurality of alignment patterns formed on each mask alignment stick; A mask alignment stick separation step of separating the mask alignment stick from the ledger by cutting the outer circumferential surface of the mask alignment stick from the ledger; A mask alignment stick stretching step of stretching the separated mask alignment stick; and a keyhole processing step of forming a keyhole in the tensioned mask alignment stick.

본 발명에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법에 있어서, 상기 얼라인패턴 형성단계에서 복수개의 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 상기 원장에 형성될 수 있으며, 상기 얼라인패턴은 이격되게 형성되는 복수개의 얼라인홀일 수 있고, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리할 수 있다.In the method of manufacturing a mask alignment stick according to the present invention, in the alignment pattern forming step, a plurality of alignment patterns may be formed on the mother sheet by dry etching, and the alignment patterns may be formed by a plurality of alignment patterns spaced apart from each other. It may be an alignment hole, and in the step of separating the mask alignment stick, the mask alignment stick may be separated by cutting the outer circumferential surface of the mask alignment stick in the original sheet using wet etching.

상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는 상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와, 마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와, 인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와, 상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함할 수 있다.The mask alignment stick stretching step includes a mask alignment stick bonding step of bonding the mask alignment stick to a polymesh, which is an elastic body, and a polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the mask alignment stick is bonded to a tensile frame; A polymesh stretching step of stretching the polymesh using a tension frame and a polymesh removing step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the mask align stick.

상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는 상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계를 더 포함할 수 있다.The mask alignment stick stretching step may further include a polymesh inspection step of inspecting whether the mask alignment stick is uniformly stretched by inspecting whether the polymesh stretched by the tension frame is uniformly stretched. there is.

상기 폴리메쉬 검사 단계는 상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와, 비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함할 수 있다.The polymesh inspection step includes a polymesh photographing step of photographing the front and back of the polymesh using a vision on the lower surface of the stretched polymesh after the metal mask sheet is bonded to the upper surface, and the image of the front and back photographed by the vision and the machine It may include an image comparison step in which the control unit compares and inspects images of the front and back sides of the photographed polymesh that are uniformly stretched.

상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은 밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와, 상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와, 상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함할 수 있다.In the polymesh tensioning step, the tension frame for tensioning the polymesh includes a frame portion having a closed quadrangular shape, first to fourth tension portions disposed adjacent to the inside of the frame portion, and the first tension portion. to a fourth extension part, and a clamp part for separating the first extension part to the fourth extension part so that the distance between the first extension part and the fourth extension part disposed to correspond to each other by pulling the first extension part to the fourth extension part to the outside of the frame part can

상기 키홀 가공단계에서 상기 키홀은 웨트에칭에 의해 인장된 마스크 얼라인 스틱에 형성될 수 있다.In the keyhole processing step, the keyhole may be formed in the tensioned mask align stick by wet etching.

다른 한편으로, 본 발명은 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로, 원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리하는 마스크 얼라인 스틱 분리단계; 분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계; 및 인장된 각각의 마스크 얼라인 스틱에 얼라인패턴 및 키홀을 형성하는 얼라인패턴 및 키홀 형성단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공한다.On the other hand, the present invention relates to a method for manufacturing a mask alignment stick mounted on a mask frame and supporting a mask sheet bonded to the mask frame, comprising: a mask alignment stick separation step of separating the mask alignment stick from a mother sheet; A mask alignment stick stretching step of stretching the separated mask alignment stick; and forming an alignment pattern and a key hole in each of the tensioned mask alignment sticks.

본 발명에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법에 있어서, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 복수개의 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리할 수 있다.In the method of manufacturing a mask alignment stick according to the present invention, in the step of separating the mask alignment stick, the mask alignment stick can be separated by cutting the outer circumferential surface of the plurality of mask alignment sticks in the mother sheet using wet etching. there is.

상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는 상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와, 마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와, 인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와, 상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함할 수 있다.The mask alignment stick stretching step includes a mask alignment stick bonding step of bonding the mask alignment stick to a polymesh, which is an elastic body, and a polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the mask alignment stick is bonded to a tensile frame; A polymesh stretching step of stretching the polymesh using a tension frame and a polymesh removing step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the mask align stick.

상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는 상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계를 더 포함할 수 있다.The mask alignment stick stretching step may further include a polymesh inspection step of inspecting whether the mask alignment stick is uniformly stretched by inspecting whether the polymesh stretched by the tension frame is uniformly stretched. there is.

상기 폴리메쉬 검사 단계는 상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와, 비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함할 수 있다.The polymesh inspection step includes a polymesh photographing step of photographing the front and back of the polymesh using a vision on the lower surface of the stretched polymesh after the metal mask sheet is bonded to the upper surface, and the image of the front and back photographed by the vision and the machine It may include an image comparison step in which the control unit compares and inspects images of the front and back sides of the photographed polymesh that are uniformly stretched.

상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은 밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와, 상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와, 상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함할 수 있다.In the polymesh tensioning step, the tension frame for tensioning the polymesh includes a frame portion having a closed quadrangular shape, first to fourth tension portions disposed adjacent to the inside of the frame portion, and the first tension portion. to a fourth extension part, and a clamp part for separating the first extension part to the fourth extension part so that the distance between the first extension part and the fourth extension part disposed to correspond to each other by pulling the first extension part to the fourth extension part to the outside of the frame part can

상기 얼라인 패턴 및 키홀 형성단계에서 상기 마스크 얼라인 스틱에 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 형성되고, 상기 마스크 얼라인 스틱에 키홀은 웨트에칭에 의해 형성될 수 있다.In the forming of the alignment pattern and the keyhole, the alignment pattern of the mask alignment stick may be formed by dry etching, and the keyhole of the mask alignment stick may be formed by wet etching.

본 발명에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법은, 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 가공 후, 얼라인 패턴을 가공함으로써 얼라인 패턴 및 얼라인 키의 정밀도를 향상시키는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공한다. A method for manufacturing a mask alignment stick according to the present invention provides a method for manufacturing a mask alignment stick that improves the accuracy of an alignment pattern and an alignment key by processing the alignment pattern after processing the outer circumferential surface of the mask alignment stick. do.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 얼라인 스틱 인장단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 3은 도 2에 도시된 폴리메쉬 검사단계의 세부적인 순서를 도시한 도면이다.
도 4는 원장에 복수개의 얼라인패턴을 형성 후 복수개의 마스크 얼라인 스틱을 원장에서 분리하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 폴리메쉬에 마스크 얼라인 스틱이 접합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 인장프레임을 이용하여 폴리메쉬를 인장시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 폴리메쉬를 인장시킨 인장프레임에서 마스크 얼라인 스틱의 하부면에 위치하는 폴리메쉬를 절단시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 인장프레임을 이용하여 인장된 마스크 얼라인 스틱을 마스크 프레임에 접합시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 인장된 폴리메쉬를 검사하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 12는 도 11에 도시된 마스크 얼라인 스틱 인장단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 13은 도 12에 도시된 폴리메쉬 검사단계의 세부적인 순서를 도시한 도면이다.1 is a flow chart showing the sequence of a method of manufacturing a mask alignment stick according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a detailed sequence of the mask alignment stick stretching step shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a diagram showing a detailed sequence of the polymesh inspection step shown in FIG. 2 .
4 is a diagram schematically illustrating a process of separating a plurality of mask alignment sticks from the mother sheet after forming a plurality of alignment patterns on the mother child.
5 is a diagram schematically illustrating a process of bonding a mask align stick to a polymesh.
6 is a diagram schematically illustrating a process of bonding a polymesh to which a mask align stick is bonded to a tensile frame.
FIG. 7 is a diagram schematically illustrating a process of tensioning a polymesh using the tension frame shown in FIG. 6 .
8 is a diagram schematically illustrating a process of cutting a polymesh positioned on a lower surface of a mask align stick in a tensile frame in which the polymesh is tensioned.
9 is a diagram schematically illustrating a process of bonding a mask align stick stretched using a tension frame to a mask frame.
10 is a diagram schematically illustrating a process of inspecting a stretched polymesh.
11 is a flow chart showing a sequence of a method of manufacturing a mask align stick according to another embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a flowchart showing a detailed sequence of the mask alignment stick stretching step shown in FIG. 11 .
FIG. 13 is a diagram showing a detailed sequence of the polymesh inspection step shown in FIG. 12 .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as being limited to the usual or dictionary meaning, and the inventor appropriately uses the concept of the term in order to explain his/her invention in the best way. It should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱 제조방법은 마스크 프레임에 장착되어 상기 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하기 위한 것으로, 얼라인패턴 형성단계(S10)와, 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)와, 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)와, 키홀 가공단계(S40)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , a mask alignment stick manufacturing method according to an embodiment of the present invention is for manufacturing a mask alignment stick mounted on a mask frame and supporting a mask sheet bonded to the mask frame, and forming an alignment pattern. Step (S10), mask alignment stick separation step (S20), mask alignment stick stretching step (S30), and keyhole processing step (S40) are included.

도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 얼라인패턴 형성단계(S10)는 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 제작하는 원장(10)에 각각의 마스크 얼라인 스틱(110)에 형성되는 복수개의 얼라인패턴(112)을 형성하는 단계이며, 복수개의 얼라인패턴(112)은 드라이에칭에 의해 상기 원장(10)에 형성되는 것이 바람직하다. 상기 얼라인패턴(112)은 복수개의 얼라인홀(112a)로 이루어지며, 복수개의 얼라인홀(112a)은 각각의 마스크 얼라인 스틱(110)에 길이방향으로 등간격으로 이격되게 형성된다.1 and 4, in the alignment pattern forming step (S10), a plurality of mask alignment sticks 110 are formed on the ledger 10 for manufacturing the plurality of mask alignment sticks 110. This is the step of forming the alignment patterns 112, and it is preferable that the plurality of alignment patterns 112 are formed on the mother sheet 10 by dry etching. The alignment pattern 112 is composed of a plurality of alignment holes 112a, and the plurality of alignment holes 112a are spaced apart from each other at equal intervals in the longitudinal direction of each mask alignment stick 110.

상기 얼라인패턴 형성단계(S10)를 거친 후 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)를 수행하며, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)는 상기 원장(10)에서 마스크 얼라인 스틱(110)의 외주면을 절단하여 상기 원장(10)에서 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 분리시키는 단계이다. 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)에서는 웨트에칭을 이용하여 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 외주면을 절단하여 상기 원장(10)에서 마스크 얼라인 스틱(110)을 분리하는 것이 바람직하다. After the alignment pattern forming step (S10), a mask alignment stick separation step (S20) is performed. In the mask alignment stick separation step (S20), the mask alignment stick 110 This step is to separate the plurality of mask align sticks 110 from the ledger 10 by cutting the outer circumferential surface. In the mask alignment stick separation step (S20), it is preferable to separate the mask alignment stick 110 from the mother sheet 10 by cutting the outer circumferential surface of the mask alignment stick 110 using wet etching.

여기서, 웨트에칭은 습식 식각이라고도 하며 목표 금속만을 부식 용해하는 성질을 가지는 액체의 약품을 사용하는 식각이고, 드라이에칭은 서브미크론 가공 기술의 하나로서 감압(減壓)된 용기 속에서 가스 또는 이온에 의해 에칭하는 방법으로 웨트에칭에 비해 가공 정도(精度)가 향상되며, 미세가공이 필요없으면 웨트에칭을 이용하고, 미세가공이 필요한 경우에는 드라이에칭을 이용하는 것이 바람직하다.Here, wet etching, also called wet etching, is etching using a liquid chemical that has the property of corroding and dissolving only the target metal. As a method of etching by etching method, processing accuracy is improved compared to wet etching, and it is preferable to use wet etching when fine processing is not required, and to use dry etching when fine processing is required.

도 1을 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)를 거친 후 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)를 수행하며, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)는 분리된 마스크 얼라인 스틱(110)을 균등하게 인장시키는 단계이다.1, after the mask alignment stick separation step (S20), a mask alignment stick stretching step (S30) is performed, and the mask alignment stick stretching step (S30) is a separated mask alignment stick ( 110) is evenly tensioned.

도 2를 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)는 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)와, 폴리메쉬 접합단계(S32)와, 폴리메쉬 인장단계(S33)와, 폴리메쉬 제거단계(S34)와, 폴리메쉬 검사단계(S35)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the mask alignment stick stretching step (S30) includes a mask alignment stick bonding step (S31), a polymesh bonding step (S32), a polymesh stretching step (S33), and a polymesh removal step. (S34) and a polymesh inspection step (S35).

도 2 및 도 5를 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)는 상기 원장(10)에서 분리된 얼라인패턴(112)이 형성된 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 사각형상을 가지는 탄성체인 폴리메쉬(200)에 접합시키는 단계이며, 상기 마스크 얼라인 스틱(110)을 상기 폴리메쉬(200)에 접합 시 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 둘레면 끝단부와 인접한 부분을 본딩하여 상기 폴리메쉬(200)에 접착하게 된다. 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)를 완료하게 되면 본딩되는 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 둘레면만 상기 폴리메쉬(120)에 접합되고, 둘레면을 제외한 부분은 상기 폴리메쉬(120)와 접합되지 않고 밀착되게 된다.Referring to FIGS. 2 and 5 , in the mask alignment stick bonding step (S31), a plurality of mask alignment sticks 110 formed with alignment patterns 112 separated from the ledger 10 have a rectangular shape. This is a step of bonding to the polymesh 200, which is an elastic body, and when bonding the mask align stick 110 to the polymesh 200, the portion adjacent to the circumferential end of the mask align stick 110 is bonded It adheres to the polymesh 200. When the mask alignment stick bonding step (S31) is completed, only the circumferential surface of the mask align stick 110 to be bonded is bonded to the polymesh 120, and the portion excluding the circumferential surface is bonded to the polymesh 120. It is not bonded, but adhered.

상기 폴리메쉬(200)는 80~150mesh 인 것이 바람직하고, 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 인장 조건 및 두께에 따라 메쉬의 굵기나 규격을 상이하게 적용할 수 있는 것이 바람직하다.The polymesh 200 is preferably 80 to 150mesh, and it is preferable that the thickness or specification of the mesh can be applied differently depending on the tension condition and thickness of the mask align stick 110.

도 2, 도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)를 거친 후 폴리메쉬 접합단계(S32)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 접합단계(S32)는 상부면에 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장프레임(300)에 접합시키는 단계이다. 상기 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)는 상기 인장프레임(300)의 내부에 구비되는 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)에 결합됨으로써 상기 인장프레임(300)에 접합되게 된다.2, 6 and 7, after the mask alignment stick bonding step (S31), a polymesh bonding step (S32) is performed. In the polymesh bonding step (S32), a plurality of This is a step of bonding the polymesh 200 to which the mask align stick 110 is bonded to the tensile frame 300. The polymesh 200 to which the mask align stick 110 is bonded is coupled to the first tensile parts 320 to the fourth tensile parts 350 provided inside the tensile frame 300, thereby forming the tensile frame 300. (300).

상기 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키는 상기 인장프레임(300)은 프레임부(310)와, 상기 프레임부(310)의 내부에 구비되는 제1인장부(320), 제2인장부(330), 제3인장부(340), 제4인장부(350)와, 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)와 연결되는 클램프부(360)를 포함한다.The tension frame 300 for tensioning the polymesh 200 to which the mask align stick 110 is bonded includes a frame portion 310 and a first tension portion provided inside the frame portion 310 ( 320), the second extension part 330, the third extension part 340, the fourth extension part 350, and the clamp part connected to the first extension part 320 to the fourth extension part 350 ( 360).

상기 프레임부(310)는 밀폐된 사각형상을 가지며, 상기 프레임부(310)의 내부에는 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)가 서로 인접하게 배치된다. 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)는 사각형상을 가지는 상기 프레임부(310)의 내측에 서로 대응되게 구비되어 상기 프레임부(310)의 내측에서 전후로 이동되는 것이 바람직하다.The frame part 310 has a closed quadrangular shape, and the first extension part 320 to the fourth extension part 350 are disposed adjacent to each other inside the frame part 310 . It is preferable that the first extension part 320 to the fourth extension part 350 are provided to correspond to each other inside the frame part 310 having a rectangular shape and move back and forth inside the frame part 310. .

상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)는 클램프부(360)와 연결되며, 상기 클램프부(360)는 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)를 상기 프레임부(310)의 외측방향으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350) 사이의 간격이 멀어지도록 이격시킴으로써 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키게 된다. 상기 프레임부(310)에는 상기 클램프부(360)가 관통하는 복수개의 관통홀(310a)이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)와 일단이 연결되는 상기 클램프부(360)의 타단은 상기 관통홀(310a)을 통과 후 상기 클램프부(360)를 전후로 이동시키는 전후이동부재(370)와 연결되는 것이 바람직하다.The first extension part 320 to the fourth extension part 350 are connected to the clamp part 360, and the clamp part 360 holds the first extension part 320 to the fourth extension part 350. The polymesh 200 is stretched by pulling the frame part 310 outward and separating the first tensile parts 320 to the fourth tensile parts 350 so that the distance between them is increased. It is preferable that a plurality of through holes 310a through which the clamp part 360 passes are formed in the frame part 310, and one end is connected to the first tensile part 320 to the fourth tensile part 350. It is preferable that the other end of the clamp part 360 is connected to the forward and backward movement member 370 for moving the clamp part 360 forward and backward after passing through the through hole 310a.

상기 폴리메쉬 접합단계(S32)를 거친 후 폴리메쉬 인장단계(S33)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 인장단계(S33)는 상기 인장프레임(300)을 이용하여 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키는 단계이다.After the polymesh bonding step (S32), a polymesh stretching step (S33) is performed. In the polymesh stretching step (S33), the mask alignment stick 110 is bonded using the tensile frame 300. This step is to stretch the polymesh 200.

상기 프레임부(310)의 내측에 사각형상을 가지도록 배치되는 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)에 사각형상을 가지는 폴리메쉬(200)의 둘레면을 결합 후 상기 전후이동부재(370)를 이용하여 상기 클램프부(360)를 상기 프레임부(310)의 외측으로 당기면 대응되게 배치되는 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350) 사이의 간격이 멀어지면서 상기 폴리메쉬(200)가 균일한 인장력에 의해 인장되게 된다.After coupling the circumferential surface of the polymesh 200 having a square shape to the first tensile parts 320 to the fourth tensile parts 350 disposed inside the frame part 310 to have a square shape, the forward and backward movement When the clamp part 360 is pulled outward of the frame part 310 by using the member 370, the distance between the first tension part 320 to the fourth tension part 350 disposed correspondingly increases. The polymesh 200 is stretched by a uniform tensile force.

도 2 및 도 8을 참조하면, 상기 폴리메쉬 인장단계(S33)를 거친 후 폴리메쉬 제거단계(S34)를 수행한다. 상기 폴리메쉬 제거단계(S34)는 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 둘레면 내측에 위치하는 폴리메쉬(200)를 제거하는 단계이다. 상기 폴리메쉬 제거단계(S34)를 수행함으로써 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 하부면에 위치하는 폴리메쉬(200)를 제거하여 상기 마스크 얼라인 스틱(110)에 키홀(114)을 원활하게 가공할 수 있게 되며, 상기 폴리메쉬(200)의 제거 시 레이저를 이용하는 것이 바람직하다.Referring to FIGS. 2 and 8 , after the polymesh stretching step (S33), the polymesh removal step (S34) is performed. The polymesh removing step (S34) is a step of removing the polymesh 200 located inside the circumferential surface of the mask align stick 110. By performing the polymesh removal step (S34), the polymesh 200 located on the lower surface of the mask align stick 110 is removed to smoothly process the keyhole 114 in the mask align stick 110. It is possible to do this, and it is preferable to use a laser when removing the polymesh 200.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 폴리메쉬 인장단계(S33)를 수행한 후 상기 폴리메쉬 제거단계(S34)를 수행하기 전에 폴리메쉬 검사단계(S35)를 수행하는 것이 바람직하다. 상기 폴리메쉬 검사단계(S35)는 상기 인장프레임(300)에 의해 인장된 폴리메쉬(200)가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 단계이며, 상기 폴리메쉬 검사단계(S35)는 폴리메쉬 촬영 단계(S351)와, 영상 비교단계(S352)를 포함한다.Referring to FIGS. 2 and 3 , it is preferable to perform a polymesh inspection step (S35) after performing the polymesh stretching step (S33) and before performing the polymesh removal step (S34). The polymesh inspection step (S35) is a step of inspecting whether or not the polymesh 200 stretched by the tensile frame 300 is uniformly stretched, and the polymesh inspection step (S35) is a polymesh photographing step ( S351) and an image comparison step (S352).

도 3 및 도 10을 참조하면, 상기 폴리메쉬 촬영 단계(S351)는 상면에 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬(200)의 하면을 비젼(500)을 이용하여 촬영하는 단계이며, 상기 비젼(150)을 이용하여 상기 인장프레임(300)에 의해 인장된 상기 폴리메쉬(200)의 표리(210)를 촬영한 후 촬영된 영상은 제어부(160)로 전송된다.3 and 10, in the polymesh photographing step (S351), the lower surface of the polymesh 200 is photographed using the vision 500 after the mask align stick 110 is bonded to the upper surface. In this step, the front and back 210 of the polymesh 200 stretched by the tension frame 300 is photographed using the vision 150, and the photographed image is transmitted to the controller 160.

상기 폴리메쉬 촬영 단계(S351)를 거친 후 영상 비교단계(S352)를 수행하며, 상기 영상 비교단계(S352)는 상기 비젼(500)이 촬영한 인장된 폴리메쉬(200)의 표리(210)의 영상과 기촬영된 후 제어부(600)에 저장된 폴리메쉬(200)가 균일하게 인장된 표리의 영상을 비교검사하는 단계이며, 상기 폴리메쉬 검사단계(S35)를 수행함으로써 폴리메쉬(200)가 균일하게 인장되었는지 여부 및 이를 통해 얼라인 마스크 시틱(110)에 형성된 얼라인패턴(112)이 변형되었는지 여부를 간편하고 빠른 시간 내에 확인할 수 있게 되며, 정상으로 판별된 폴리메쉬(200)는 후속 과정을 수행하고, 불량으로 판별된 폴리메쉬(200)는 폐기처리되게 된다.After the polymesh photographing step (S351), an image comparison step (S352) is performed. This is a step of comparing and inspecting the image and the image of the front and back sides of the polymesh 200 uniformly stretched and stored in the control unit 600 after being photographed. By performing the polymesh inspection step (S35), the polymesh 200 is uniformly It is possible to easily and quickly check whether or not the alignment pattern 112 formed on the alignment mask sitic 110 has been deformed and whether or not the alignment pattern 112 formed on the alignment mask sitic 110 has been deformed. and the polymesh 200 determined to be defective is discarded.

상기 폴리메쉬(200)는 상기 마스크 얼라인 스틱(110)과 차이점을 가지도록 유색인 것이 바람직하며, 상기 폴리메쉬(200)가 유색을 가짐으로써 상기 폴리메쉬(200)의 표리(210)가 균일하게 인장되었는지 여부를 판별하는데 용이하고, 상기 폴리메쉬(200)의 표리(210)가 형상이 변경되었는지 여부를 확인하여 균일하게 인장되었는지 여부를 판별할 수 있게 된다.The polymesh 200 is preferably colored to have a difference from the mask alignment stick 110, and the polymesh 200 has a color so that the front and back 210 of the polymesh 200 are uniform It is easy to determine whether or not it is stretched, and it is possible to determine whether or not it is uniformly stretched by checking whether the shape of the front and back 210 of the polymesh 200 is changed.

도 1 및 도 9를 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)를 거친 후 키홀 가공단계(S40)룰 수행하며 상기 키홀 가공단계(S40)를 거쳐 키홀(114)이 형성된 인장된 마스크 얼라인 스틱(110)은 마스크 프레임(400)에 접합되는 과정을 수행하게 된다. 상기 키홀 가공단계(S40)는 인장된 마스크 얼라인 스틱(110)에 키홀(114)을 가공하는 단계이다. 상기 키홀 가공단계(S40)에서 상기 마스크 얼라인 스틱(110)에 가공되는 키홀(114)은 웨트에칭에 의해 인장된 마스크 얼라인 스틱(110)에 형성되는 것이 바람직하다.1 and 9, after the mask alignment stick stretching step (S30), the keyhole processing step (S40) is performed, and the keyhole processing step (S40) is performed to form a tensioned mask alignment stick 114. The phosphorus stick 110 is bonded to the mask frame 400 . The key hole processing step (S40) is a step of processing a key hole 114 in the tensioned mask align stick 110. In the keyhole processing step (S40), the keyhole 114 processed in the mask alignment stick 110 is preferably formed in the stretched mask alignment stick 110 by wet etching.

상기 마스크 얼라인 스틱(110)을 상기 마스크 프레임(400)에 접합되는 과정에서 상기 마스크 프레임(400)에 상기 폴리메쉬(200)가 접합된 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 가장자리 부분이 접합됨으로써 상기 마스크 프레임(400)은 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 가장자리 부분만 지지하며, 인장된 마스크 얼라인 스틱(110)이 상기 마스크 프레임(400)에 접합됨으로써 마스크 시트(미도시)가 마스크 프레임(400)에 접합 시 마스크 얼라인 스틱(110)에 의해 마스크 시트(미도시)가 하부로 처지는 현상이 방지되게 된다.In the process of bonding the mask alignment stick 110 to the mask frame 400, the edge portion of the mask alignment stick 110 to which the polymesh 200 is bonded to the mask frame 400 is bonded. The mask frame 400 supports only the edge portion of the mask alignment stick 110, and the mask sheet (not shown) is formed by bonding the tensioned mask alignment stick 110 to the mask frame 400. When bonding to (400), the mask sheet (not shown) is prevented from drooping downward by the mask alignment stick 110.

도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱 제조방법은 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S100)와, 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S200)와, 얼라인패턴 및 키홀 형성단계(S300)를 포함한다.Referring to FIG. 11, a mask alignment stick manufacturing method according to another embodiment of the present invention includes a mask alignment stick separation step (S100), a mask alignment stick stretching step (S200), and an alignment pattern and keyhole forming step. (S300) is included.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱(110)에는 얼라인패턴(112)이 형성된 후 원장(10)에서 분리되나, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S100)에서는 얼라인패턴이 형성되지 않은 상태로 원장(10)에서 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)이 분리되며, 웨트에칭을 이용하여 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 외주면을 절단하여 상기 원장(10)에서 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 분리하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4 , after the alignment pattern 112 is formed on the mask alignment stick 110 according to an embodiment of the present invention, it is separated from the original 10, but the mask alignment stick 110 according to another embodiment of the present invention In the in-stick separation step (S100), a plurality of mask alignment sticks 110 are separated from the mother sheet 10 in a state where no alignment pattern is formed, and the outer circumferential surface of the mask alignment sticks 110 is used by wet etching. It is preferable to separate the plurality of mask alignment sticks 110 from the ledger 10 by cutting them.

도 11 내지 도 13을 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S100)를 거친 후 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S200)를 수행하며, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S200)는 원장에서 분리된 마스크 얼라인 스틱을 균등하게 인장시키는 단계이다.11 to 13, after the mask alignment stick separation step (S100), a mask alignment stick stretching step (S200) is performed, and the mask alignment stick stretching step (S200) is separated from the original sheet. This is the step of evenly tensioning the mask align stick.

상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S200)는 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S210)와, 폴리메쉬 접합단계(S220)와, 폴리메쉬 인장단계(S230)와, 폴리메쉬 제거단계(S240)와, 폴리메쉬 검사단계(S250)를 포함하며, 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S210)와, 폴리메쉬 접합단계(S220)와, 폴리메쉬 인장단계(S230)와, 폴리메쉬 제거단계(S240)와, 폴리메쉬 검사단계(S250)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)와, 폴리메쉬 접합단계(S32)와, 폴리메쉬 인장단계(S33)와, 폴리메쉬 제거단계(S34)와, 폴리메쉬 검사단계(S35)와 실질적으로 동일한 바, 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.The mask alignment stick stretching step (S200) includes a mask alignment stick bonding step (S210), a polymesh bonding step (S220), a polymesh stretching step (S230), a polymesh removal step (S240), It includes a mesh inspection step (S250), the mask alignment stick bonding step (S210), the poly mesh bonding step (S220), the poly mesh stretching step (S230), the poly mesh removing step (S240), The mesh inspection step (S250) includes a mask alignment stick bonding step (S31), a polymesh bonding step (S32), a polymesh stretching step (S33), and a polymesh removal step (S34) according to an embodiment of the present invention. ) and the polymesh inspection step (S35), which is substantially the same, overlapping detailed descriptions will be omitted.

도 11을 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S200)를 거친 후 얼라인패턴 및 키홀 형성단계(S300)를 수행하며, 상기 얼라인패턴 및 키홀 형성단계(S300)는 인장된 마스크 얼라인 스틱(110)에 얼라인패턴 및 키홀을 가공하는 단계이다.Referring to FIG. 11, after the mask alignment stick stretching step (S200), an alignment pattern and keyhole forming step (S300) are performed, and the alignment pattern and keyhole forming step (S300) is a stretched mask alignment. This is a step of processing an alignment pattern and a key hole on the stick 110.

상기 마스크 얼라인 스틱(110)에 상기 얼라인패턴 및 상기 키홀을 형성 시에는 웨트에칭을 이용하는 것이 바람직하며, 상기 마스크 얼라인 스틱(110)을 인장 후 상기 얼라인패턴 및 상기 키홀을 가공함으로써 마스크 얼라인 스틱(110)에 얼라인패턴 및 키홀을 정확하게 가공할 수 있으며, 가공된 얼라인패턴 및 키홀이 상기 마스크 얼라인 스틱(110)이 인장 시 변형되는 것을 방지할 수 있다.When forming the alignment pattern and the keyhole on the mask alignment stick 110, it is preferable to use wet etching. After stretching the mask alignment stick 110, the alignment pattern and the keyhole are processed to mask the mask. Alignment patterns and keyholes can be precisely processed in the alignment stick 110, and the processed alignment patterns and keyholes can prevent the mask alignment stick 110 from being deformed when tensioned.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100 : 원장 110 : 마스크 얼라인 스틱
112 : 얼라인패턴 114 : 키홀
200 : 폴리메쉬 300 : 인장프레임
310 : 프레임부 320 : 제1인장부
330 : 제2인장부 340 : 제3인장부
350 : 제4인장부 360 : 클램프부
400 : 마스크 프레임 500 : 비젼
600 : 제어부100: Ledger 110: Mask Align Stick
112: alignment pattern 114: key hole
200: Polymesh 300: Tensile frame
310: frame part 320: first tensile part
330: second tensile portion 340: third tensile portion
350: fourth tensile part 360: clamp part
400: mask frame 500: vision
600: control unit

Claims (15)

마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로,
복수개의 마스크 얼라인 스틱을 제작하는 원장에 각각의 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 복수개의 얼라인패턴을 형성하는 얼라인패턴 형성단계;
원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리시키는 마스크 얼라인 스틱 분리단계;
분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계; 및
인장된 마스크 얼라인 스틱에 키홀을 형성하는 키홀 가공단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
It relates to a method for manufacturing a mask alignment stick mounted on a mask frame and supporting a mask sheet bonded to the mask frame,
Alignment pattern forming step of forming a plurality of alignment patterns formed on each mask alignment stick on a master sheet for manufacturing a plurality of mask alignment sticks;
A mask alignment stick separation step of separating the mask alignment stick from the ledger by cutting the outer circumferential surface of the mask alignment stick from the ledger;
A mask alignment stick stretching step of stretching the separated mask alignment stick; and
A method of manufacturing a mask alignment stick comprising a keyhole processing step of forming a keyhole in a tensioned mask alignment stick.
 청구항 1에 있어서,
상기 얼라인패턴 형성단계에서 복수개의 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 상기 원장에 형성되며,
상기 얼라인패턴은 이격되게 형성되는 복수개의 얼라인홀인 것을 특징으로 하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 1,
In the alignment pattern forming step, a plurality of alignment patterns are formed on the mother sheet by dry etching,
The method of manufacturing a mask alignment stick, characterized in that the alignment pattern is a plurality of alignment holes formed spaced apart.
 청구항 1에 있어서,
상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리하는 것을 특징으로 하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 1,
In the step of separating the mask alignment stick, wet etching is used to cut the outer circumferential surface of the mask alignment stick to separate the mask alignment stick.
 청구항 1에 있어서,
상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는,
상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와,
마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와,
인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와,
상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 1,
The mask alignment stick tension step,
A mask alignment stick bonding step of bonding the mask alignment stick to an elastic polymesh;
A polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the mask align stick is bonded to the tensile frame;
A polymesh tensioning step of tensioning the polymesh using a tensioning frame;
A method of manufacturing a mask alignment stick comprising a polymesh removal step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the mask alignment stick.
 청구항 4에 있어서,
상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는,
상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계를 더 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 4,
The mask alignment stick tension step,
The method of manufacturing a mask alignment stick further comprising a polymesh inspection step of inspecting whether the mask alignment stick is uniformly stretched by inspecting whether the polymesh stretched by the tension frame is uniformly stretched.
 청구항 5에 있어서,
상기 폴리메쉬 검사 단계는,
상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와,
비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 5,
In the polymesh inspection step,
A polymesh photographing step of photographing the front and back of the polymesh on the lower surface of the stretched polymesh using vision after a metal mask sheet is bonded to the upper surface;
A method of manufacturing a mask align stick comprising an image comparison step of comparing and inspecting, by a controller, the image of the front and back photographed by the vision and the image of the front and back in which the previously photographed polymesh is uniformly stretched.
 청구항 4에 있어서,
상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은,
밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와,
상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와,
상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 4,
In the polymesh tensioning step, the tension frame for tensioning the polymesh,
A frame portion having a closed quadrangular shape;
First to fourth tensile parts disposed adjacent to the inside of the frame part;
The first to fourth extensions are connected to each other so that the distance between the first extensions to the fourth extensions is increased by pulling the first extensions to the fourth extensions to the outside of the frame. Method of manufacturing a mask align stick comprising a clamp portion to make.
 청구항 1에 있어서,
상기 키홀 가공단계에서 상기 키홀은 웨트에칭에 의해 인장된 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 1,
In the keyhole processing step, the keyhole is formed in the mask alignment stick stretched by wet etching.
 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로,
원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리하는 마스크 얼라인 스틱 분리단계;
분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계; 및
인장된 각각의 마스크 얼라인 스틱에 얼라인패턴 및 키홀을 형성하는 얼라인패턴 및 키홀 형성단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
It relates to a method for manufacturing a mask alignment stick mounted on a mask frame and supporting a mask sheet bonded to the mask frame,
A mask alignment stick separation step of separating the mask alignment stick from the ledger;
A mask alignment stick stretching step of stretching the separated mask alignment stick; and
A method of manufacturing a mask alignment stick comprising a step of forming an alignment pattern and a keyhole in each tensioned mask alignment stick.
 청구항 9에 있어서,
상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 복수개의 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리하는 것을 특징으로 하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 9,
The method of manufacturing a mask alignment stick, characterized in that in the mask alignment stick separation step, the mask alignment stick is separated by cutting the outer circumferential surface of the plurality of mask alignment sticks in the mother sheet using wet etching.
 청구항 9에 있어서,
상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는,
상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와,
마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와,
인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와,
상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 9,
The mask alignment stick tension step,
A mask alignment stick bonding step of bonding the mask alignment stick to an elastic polymesh;
A polymesh bonding step of bonding the polymesh to which the mask align stick is bonded to the tensile frame;
A polymesh tensioning step of tensioning the polymesh using a tensioning frame;
A method of manufacturing a mask alignment stick comprising a polymesh removal step of removing the polymesh inside the circumferential surface of the mask alignment stick.
 청구항 11에 있어서,
상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는,
상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계를 더 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 11,
The mask alignment stick tension step,
The method of manufacturing a mask alignment stick further comprising a polymesh inspection step of inspecting whether the mask alignment stick is uniformly stretched by inspecting whether the polymesh stretched by the tension frame is uniformly stretched.
 청구항 12에 있어서,
상기 폴리메쉬 검사 단계는,
상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와,
비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 12,
In the polymesh inspection step,
A polymesh photographing step of photographing the front and back of the polymesh on the lower surface of the stretched polymesh using vision after a metal mask sheet is bonded to the upper surface;
A method of manufacturing a mask align stick comprising an image comparison step of comparing and inspecting, by a controller, the image of the front and back photographed by the vision and the image of the front and back in which the previously photographed polymesh is uniformly stretched.
 청구항 11에 있어서,
상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은,
밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와,
상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와,
상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
The method of claim 11,
In the polymesh tensioning step, the tension frame for tensioning the polymesh,
A frame portion having a closed quadrangular shape;
First to fourth tensile parts disposed adjacent to the inside of the frame part;
The first to fourth extensions are connected to each other so that the distance between the first extensions to the fourth extensions is increased by pulling the first extensions to the fourth extensions to the outside of the frame. Method of manufacturing a mask align stick comprising a clamp portion to make.
 청구항 9에 있어서,
상기 얼라인 패턴 및 키홀 형성단계에서 상기 마스크 얼라인 스틱에 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 형성되고, 상기 마스크 얼라인 스틱에 키홀은 웨트에칭에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.The method of claim 9,
In the step of forming the alignment pattern and the keyhole, the alignment pattern on the mask alignment stick is formed by dry etching, and the keyhole on the mask alignment stick is formed by wet etching. Way.
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