KR20220124424A - 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법 - Google Patents

Abstract

하부 하우징; 상기 하부 하우징으로부터 위로 이격되는 상부 하우징; 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 위치하는 가열기; 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 적어도 일부가 선택적으로 삽입되는 이동부; 및 상기 하부 하우징 및 상기 상부 하우징의 외부에 위치하며, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 를 포함하되, 상기 이동부는: 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 삽입되는 작업 지지대; 및 상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시키는 연결부; 를 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치가 제공된다.

Description

진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법{Apparatus of fabricating vacuum glass module and fabricating method using the same}

본 발명은 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리 모듈 내 공간의 압력을 낮춰 단열성을 향상시킨 진공 유리 모듈을 제조할 수 있는 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 관한 것이다.

진공 유리 모듈(vacuum glass module)은 판 유리인 두 개의 유리 패널을 부착한 후 유리 패널 사이를 진공 상태로 만들어 형성된다. 이러한 진공 유리 모듈은 약 20년 내지 30년 동안 진공 상태를 유지하여야 한다. 이러한 진공 유리 모듈을 건물에 사용할 경우, 두 개의 유리 패널 사이에 형성된 진공 층에 의해, 단순한 복층 유리 패널 모듈에 비해 단열 성능과 방음 효과가 향상되고 열전도성이 낮아져 에너지 소비율이 크게 향상된다.

진공 유리 모듈의 진공 상태는 진공 유리 모듈의 내부 기체를 제거하여 형성할 수 있다. 하지만, 진공 유리 모듈의 진공 상태를 형성하는 데 많은 시간이 소요될 수 있다. 이에 따라, 진공 유리 모듈의 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 두 유리 패널을 접합하며, 그 내부 공간의 압력을 낮춰 진공 상태를 만들 수 있는 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 연속적인 작업이 가능한 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 작업 간 진동을 저감할 수 있는 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 제조 수율 및 작업 속도를 향상시킬 수 있는 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 열의 외부 방출을 차단하여 작업자의 안전성을 확보하고, 나아가 에너지 효율을 향상시킬 수 있는 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 하부 하우징; 상기 하부 하우징으로부터 위로 이격되는 상부 하우징; 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 위치하는 가열기; 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 적어도 일부가 선택적으로 삽입되는 이동부; 및 상기 하부 하우징 및 상기 상부 하우징의 외부에 위치하며, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 를 포함하되, 상기 이동부는: 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 삽입되는 작업 지지대; 및 상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시키는 연결부; 를 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 하부 하우징이: 하부 판; 및 상기 하부 판으로부터 위로 일정 길이 돌출되는 하부 차단 벽; 을 포함하고, 상기 상부 하우징은: 상부 판; 및 상기 상부 판으로부터 아래로 일정 길이 돌출되는 상부 차단 벽; 을 포함하되, 상기 하부 차단 벽 및 상기 상부 차단 벽의 각각은 상기 제1 방향으로 연장되며, 상기 상부 차단 벽은 상기 하부 차단 벽으로부터 위로 일정 거리 이격되고, 상기 연결부는 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되는 구동 연결 부재를 포함하되, 상기 구동 연결 부재는 상기 하부 차단 벽과 상기 상부 차단 벽 사이의 공간을 관통하여 상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시킬 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 하부 하우징이 상기 하부 차단벽의 상측에 결합되는 하부 열차단부를 더 포함하고, 상기 상부 하우징은 상기 상부 차단벽의 하측에 결합되는 상부 열차단부를 더 포함하며, 상기 하부 열차단부 및 상기 상부 열차단부의 각각은 유연 섬유들 또는 스테인레스 섬유들을 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 구동부가: 상기 제1 방향으로 연장되는 구동 축; 상기 구동 축에 연결되어 상기 구동 축을 따라 상기 제1 방향으로 이동 가능한 구동 결합체; 및 상기 구동 축을 회전시키는 구동 장치; 를 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 연결부가 상기 구동 연결 부재에 결합되는 결합 부재를 더 포함하고, 상기 결합 부재는 상기 구동 결합체에 선택적으로 연결될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 구동 결합체가: 상기 결합 부재에 선택적으로 연결되는 대응 결합 부재; 및 상기 대응 결합 부재를 상하로 이동시키는 결합 구동 장치; 를 포함하되, 상기 결합 부재는 아래로 갈수록 좁아지는 형상을 포함하고, 상기 대응 결합 부재는 아래로 갈수록 좁아지는 형상을 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 하부 하우징의 측면에 위치하되 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 레일; 및 상기 외부 레일 상에 위치하는 외부 베어링들; 을 더 포함하되, 상기 외부 베어링들은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되고, 상기 이동부는 상기 외부 베어링들 상에 배치되어 상기 제1 방향으로 연장되는 이동 레일을 더 포함하되, 상기 이동 레일은 상기 연결부에 의해 상기 작업 지지대에 연결될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 연결부가 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되어 상기 이동 레일과 상기 작업 지지대의 각각에 결합되는 지지 연결 부재를 더 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 외부 베어링들의 각각의 표면이 플라스틱 또는 고무로 이루어질 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 유입부; 상기 유입부에 연결되는 온도 상승부; 상기 온도 상승부에 연결되는 온도 하강부; 및 상기 온도 하강부에 연결된 유출부; 를 포함하되, 상기 온도 상승부는 제1 방향으로 배열되는 복수 개의 가열 챔버를 포함하며, 상기 복수 개의 가열 챔버의 각각은 가열기를 포함하고, 상기 온도 하강부는: 상기 제1 방향으로 배열되는 복수 개의 냉각 챔버; 배기 장치; 및 복수 개의 레이저 조사 장치; 를 포함하되, 상기 복수 개의 냉각 챔버의 각각은 가열기를 포함하며, 상기 복수 개의 냉각 챔버 중 하나는 배기 냉각 챔버이고, 상기 배기 장치는 상기 배기 냉각 챔버에 결합되며, 상기 복수 개의 레이저 조사 장치의 각각은 상기 복수 개의 냉각 챔버 중 적어도 하나 이상에 결합될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 복수 개의 냉각 챔버의 개수가 상기 복수 개의 가열 챔버의 개수보다 같거나 많을 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 배기 냉각 챔버가, 상기 배기 냉각 챔버의 내부 공간이 외부와 연결되도록 상기 배기 냉각 챔버의 바닥에 형성된 배기 구멍을 제공하되, 상기 배기 장치는 상기 배기 구멍에 결합될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 복수 개의 가열 챔버의 각각 및 상기 복수 개의 냉각 챔버의 각각이: 하부 하우징; 및 상기 하부 하우징으로부터 위로 이격되는 상부 하우징; 을 포함하되, 상기 하부 하우징은: 하부 판; 및 상기 하부 판으로부터 위로 일정 길이 돌출되는 하부 차단 벽; 을 포함하고, 상기 상부 하우징은: 상부 판; 및 상기 상부 판으로부터 아래로 일정 길이 돌출되는 상부 차단 벽; 을 포함하되, 상기 하부 차단 벽 및 상기 상부 차단 벽의 각각은 상기 제1 방향으로 연장되며, 상기 상부 차단 벽은 상기 하부 차단 벽으로부터 위로 일정 거리 이격될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 적어도 일부가 선택적으로 삽입되는 이동부; 및 상기 하부 하우징 및 상기 상부 하우징의 외부에 위치하며, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 상기 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 를 더 포함하되, 상기 이동부는: 상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 삽입되는 작업 지지대; 및 상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시키는 연결부; 를 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 복수 개의 가열 챔버 및 상기 복수 개의 냉각 챔버 중 이웃한 두 개의 챔버 사이에 위치하는 게이트를 더 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 복수 개의 레이저 조사 장치 중 적어도 하나가 상기 배기 냉각 챔버에 결합될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치는 상기 배기 냉각 챔버가, 상기 배기 냉각 챔버의 내부 공간이 외부와 연결되도록 상기 배기 냉각 챔버의 상부 판에 형성된 레이저 구멍을 제공하되, 상기 복수 개의 레이저 조사 장치 중 상기 배기 냉각 챔버에 결합되는 레이저 조사 장치는 상기 레이저 구멍에 결합될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 방법은 예비 진공 유리 모듈을 준비하는 것; 상기 예비 진공 유리 모듈을 가열하는 것; 및 상기 예비 진공 유리 모듈을 냉각하는 것; 을 포함하되, 상기 예비 진공 유리 모듈을 가열하는 것은 상온 상태의 상기 예비 진공 유리 모듈의 온도를 n번의 가열을 통해 상승시키는 것을 포함하고, 상기 예비 진공 유리 모듈을 냉각하는 것은: 가열된 상기 예비 진공 유리 모듈의 온도를 m번의 냉각을 통해 상온 상태로 만드는 것; 및 상기 예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것; 을 포함하되, 상기 예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것은: 상기 단열 공간 내 공기를 외부로 배출하는 것; 및 상기 예비 진공 유리 모듈 내의 게터에 레이저를 조사하는 것; 을 포함하고, 상기 m은 상기 n보다 같거나 클 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 유리 모듈 제조 방법은 상기 예비 진공 유리 모듈을 준비하는 것이: 제1 유리 패널의 상면 중 적어도 일부 영역에 페이스트를 도포하고 건조하는 것; 및 상기 페이스트가 도포된 상기 제1 유리 패널 상에 스페이서를 배열하고 제2 유리 패널을 덮는 것; 을 포함할 수 있다.

본 발명의 기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 이상에서 언급한 것에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 사항들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 따르면, 두 유리 패널을 접합하며, 그 내부 공간의 압력을 낮춰 진공 상태를 만들 수 있다.

본 발명의 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 따르면, 연속적인 작업이 가능할 수 있다.

본 발명의 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 따르면, 작업 간 진동을 저감할 수 있다.

본 발명의 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 따르면, 제조 수율 및 작업 속도를 향상시킬 수 있다.

본 발명의 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 따르면, 열의 외부 방출을 차단하여 작업자의 안전성을 확보하고, 나아가 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 4b는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치에서 도 4a의 X 영역을 확대하여 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 구동부를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 구동부 및 이동부의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 9a는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치를 나타낸 평면도이다.
도 9b는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치에서 도 9a의 Y 영역을 확대하여 나타낸 평면도이다.
도 10은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 챔버에 배기 장치가 결합되는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 챔버에 레이저 조사 장치가 결합되는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 12는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치를 나타낸 측면도이다.
도 13은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 방법을 나타낸 순서도이다.

본 발명의 기술적 사상의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상의 바람직한 실시 예들을 설명한다. 그러나 본 발명 기술적 사상은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라, 여러 가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시 예들의 설명을 통해 본 발명의 기술적 사상의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다.

명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상의 이상적인 예시도인 블록도, 사시도, 및/또는 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서의 다양한 실시 예들에서 다양한 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시 예들은 그것의 상보적인 실시 예들도 포함한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상의 바람직한 실시 예들을 설명함으로써 본 발명을 상세히 설명한다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 적층된 두 유리 패널을 접합하면서, 두 유리 패널 사이 공간의 압력을 낮출 수 있다. 따라서 단열성이 향상된 진공 유리 모듈을 제공할 수 있다.

이하에서, 도 1 내지 도 2를 참고하여 진공 유리 모듈의 형태를 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈을 나타낸 사시도이다.

이하에서, 도 1의 D1을 제1 방향, 제1 방향(D1)에 교차되는 D2를 제2 방향, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)에 교차되는 D3를 제3 방향(D3)이라 칭할 수 있다.

도 1을 참고하면, 진공 유리 모듈(G)이 제공될 수 있다. 진공 유리 모듈(G)은 제1 유리 패널(G1), 제2 유리 패널(G2), 밀봉부재(A), 스페이서(GS) 및 게터(GA) 등을 포함할 수 있다.

제1 유리 패널(G1)은 판 형상의 유리를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 유리 패널(G1)은 직사각형 형상의 판 형상일 수 있다. 제1 유리 패널(G1)의 두께는 약 2.5mm 내지 10mm일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 제1 유리 패널(G1)의 두께는 제1 유리 패널(G1)의 제3 방향(D3)으로의 길이를 의미할 수 있다. 제1 유리 패널(G1)은 강화 처리된 강화 유리 패널 및/또는 저방사(low emissivity) 유리 패널 등을 포함할 수 있다.

제2 유리 패널(G2)은 제1 유리 패널(G1) 상에 위치할 수 있다. 제2 유리 패널(G2)은 제1 유리 패널(G1)로부터 일정 간격 위로 이격될 수 있다. 즉, 제2 유리 패널(G2)은 제1 유리 패널(G1)로부터 제3 방향(D3)으로 이격될 수 있다. 따라서 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이에 공간이 형성될 수 있다. 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이에 공간은 단열 공간(Gh1, 도 2 참고)이라 칭할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 2를 참고하여 후술하도록 한다. 제2 유리 패널(G2)은 밀봉부재(A)에 의해 제1 유리 패널(G1) 상에 결합될 수 있다. 제2 유리 패널(G2)은 판 형상의 유리를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 유리 패널(G2)은 직사각형 형상의 판 형상일 수 있다. 제2 유리 패널(G2)의 두께는 약 2.5mm 내지 10mm일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 제2 유리 패널(G2)은 강화 처리된 강화 유리 패널 및/또는 저방사 유리 패널 등을 포함할 수 있다.

밀봉부재(A)는 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이에 위치할 수 있다. 밀봉부재(A)는 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2)을 접착시킬 수 있다. 밀봉부재(A)는 제1 유리 패널(G1)의 상면 중, 가장자리에 위치할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.

스페이서(GS)는 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이에 위치할 수 있다. 스페이서(GS)는 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2)이 일정 간격을 유지하도록, 제1 유리 패널(G1) 상에서 제2 유리 패널(G2)을 지지할 수 있다. 스페이서(GS)는 복수 개가 제공될 수 있다. 복수 개의 스페이서(GS)는 서로 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 이격될 수 있다. 그러나 이하에서 편의 상 스페이서(GS)는 단수로 기술하도록 한다.

게터(getter, GA)는 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이 공간에 위치할 수 있다. 게터(GA)는 원기둥 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 게터(GA)는 기체를 흡착하는 기능을 가질 수 있다. 보다 구체적으로, 게터(GA)는 온도가 올라가면 활성화될 수 있다. 즉, 게터(GA)는 외부로부터 열을 제공받으면 활성화되어, 게터(GA) 주변의 기체를 흡착할 수 있다. 게터(GA)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 게터(GA)는 철(Fe)/바나듐(V)/티타늄(Ti) 합금, 마그네슘(Mg), 바륨(Ba) 및/또는 바륨 합금 등을 포함할 수 있다. 활성화된 게터(GA)는 주변의 기체를 흡수할 수 있다. 이에 따라, 제1 유리 패널(G1) 및 제2 유리 패널(G2) 사이에 형성된 공간의 압력이 떨어질 수 있다. 제1 유리 패널(G1) 및 제2 유리 패널(G2) 사이에 형성된 공간은 진공상태가 될 수 있다. 본 명세서에서 사용하는 진공 상태라는 용어는, 압력이 매우 낮은 상태를 의미할 수 있다. 즉, 본 명세서에서 사용하는 진공 상태라는 용어는 절대압이 0kPa인 경우에만 한하지 않고, 압력이 그에 근접할 정도로 매우 낮은 상태도 포함하는 의미로 사용될 수 있다.

도 2는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈을 나타낸 단면도이다.

도 2를 참고하면, 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이에 단열 공간(Gh1)이 제공될 수 있다. 제1 유리 패널(G1) 및/또는 제2 유리 패널(G2)은 게터 안착 공간(Gh2)을 제공할 수 있다. 게터 안착 공간(Gh2)은 단열 공간(Gh1)과 연결될 수 있다. 게터 안착 공간(Gh2)이 제1 유리 패널(G1)에 형성되는 경우, 게터 안착 공간(Gh2)은 제1 유리 패널(G1)을 제3 방향(D3)으로 관통할 수 있다.

진공 유리 모듈(G)은 게터 홀더(GD) 및 마개(GC)를 더 포함할 수 있다. 게터 홀더(GD)는 단열 공간(Gh1) 및 게터 안착 공간(Gh2) 내에 위치할 수 있다. 게터 홀더(GD) 상에 게터(GA)가 위치할 수 있다. 게터 홀더(GD)에 의해, 게터(GA)의 위치가 고정될 수 있다. 마개(GC)는 게터 안착 공간(Gh2)을 폐쇄할 수 있다. 즉, 게터 안착 공간(Gh2)이 제1 유리 패널(G1)에 제공되는 경우, 마개(GC)는 제1 유리 패널(G1)의 하면에 결합되어, 게터 안착 공간(Gh2)이 외부와 연결되지 아니하도록 차단할 수 있다. 혹은, 게터(GA)는 제1 유리 패널(G1)에 형성된 홈(groove, 미도시)에 안착될 수도 있다.

이하에서, 도 3 내지 도 13을 참고하여 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법을 사용해 도 1 내지 도 2를 참고해 설명한 진공 유리 모듈을 제조하는 것을 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치를 나타낸 사시도이다.

도 3을 참고하면, 진공 유리 모듈 제조 장치(M)가 제공될 수 있다. 진공 유리 모듈 제조 장치(M)에 의하면, 도 1 내지 도 2의 진공 유리 모듈(G, 도 1 참고)을 제조할 수 있다. 진공 유리 모듈 제조 장치(M)는 유입부(IP), 온도 상승부(HC), 온도 하강부(CC), 유출부(OP), 이동부(5), 구동부(7, 도 4a 참고), 게이트(GT, 도 4a 참고), 배기 장치(EP, 도 10 참고) 및 레이저 조사 장치(LA, 도 11 참고) 등을 포함할 수 있다.

유입부(IP)는 진공 유리 모듈(G)에 대한 작업이 시작되는 부분일 수 있다. 유입부(IP)를 통해 진공 유리 모듈(G)이 온도 상승부(HC)로 유입될 수 있다.

온도 상승부(HC)는 유입부(IP)에 연결될 수 있다. 온도 상승부(HC)는 유입부(IP)에서 들어 온 진공 유리 모듈(G)의 온도를 상승시킬 수 있다. 온도 상승부(HC)는 복수 개의 가열 챔버를 포함할 수 있다. 예를 들어, 온도 상승부(HC)는 제1 가열 챔버(HC1), 제2 가열 챔버(HC2), 제3 가열 챔버(HC3) 및 제4 가열 챔버(HC4)를 포함할 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 온도 상승부(HC)는 1개 내지 3개 또는 5개 이상의 가열 챔버를 포함할 수도 있다. 복수 개의 가열 챔버의 각각은 가열기를 포함할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 5 등을 참고하여 후술하도록 한다. 복수 개의 가열 챔버는 제1 방향(D1)으로 배열될 수 있다. 유입부(IP)를 통해 들어온 예비 진공 유리 모듈(G)은 제1 방향(D1)으로 이동하며 복수 개의 가열 챔버를 차례로 지날 수 있다. 제1 방향(D1)으로 갈수록, 가열 챔버의 내부 온도는 높아질 수 있다. 즉, 제1 가열 챔버(HC1)의 온도보다, 제2 가열 챔버(HC2)의 온도가 높을 수 있다. 이와 같은 방식으로, 제1 가열 챔버(HC1)에서 제4 가열 챔버(HC4)로 갈수록, 가열 챔버 내부의 온도는 더 높아질 수 있다. 이에 따라 가열 챔버 내부를 지나는 진공 유리 모듈(G)의 온도도 상승할 수 있다. 예를 들어, 유입부(IP)에서 상온 상태이던 진공 유리 모듈(G)의 온도는 제1 방향(D1)으로 갈수록 상승하여, 최종적으로 약 430도 내지 약 460도까지 올라갈 수 있다.

온도 하강부(CC)는 온도 상승부(HC)에 연결될 수 있다. 온도 하강부(CC)는 온도 상승부(HC)에서 들어 온 진공 유리 모듈(G)의 온도를 하승시킬 수 있다. 온도 하강부(CC)는 복수 개의 냉각 챔버를 포함할 수 있다. 온도 하강부(CC)에 포함된 냉각 챔버의 개수는, 온도 상승부(HC)에 포함된 가열 챔버의 개수보다 같거나 많을 수 있다. 즉, 온도 상승부(HC)에 포함된 가열 챔버의 개수를 n이라 하고, 온도 하강부(CC)에 포함된 냉각 챔버의 개수를 m이라 할 때, m은 n보다 같거나 클 수 있다. 실시 예들에서, 온도 하강부(CC)는 제1 냉각 챔버(CC1), 제2 냉각 챔버(CC2), 제3 냉각 챔버(CC3), 제4 냉각 챔버(CC4) 및 제5 냉각 챔버(CC5)를 포함할 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 온도 하강부(CC)는 1개 내지 4개 또는 6개 이상의 냉각 챔버를 포함할 수도 있다. 복수 개의 냉각 챔버의 각각은 가열기를 포함할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 이에 대한 상세한 내용은 도 5 등을 참고하여 후술하도록 한다. 복수 개의 냉각 챔버는 제1 방향(D1)으로 배열될 수 있다. 온도 상승부(HC)를 통해 들어온 진공 유리 모듈(G)은 제1 방향(D1)으로 이동하며 복수 개의 냉각 챔버를 차례로 지날 수 있다. 제1 방향(D1)으로 갈수록, 냉각 챔버의 내부 온도는 낮아질 수 있다. 즉, 제1 냉각 챔버(CC1)의 온도보다, 제2 냉각 챔버(CC2)의 온도가 낮을 수 있다. 이와 같은 방식으로, 제1 냉각 챔버(CC1)에서 제5 냉각 챔버(CC5)로 갈수록, 냉각 챔버 내부의 온도는 더 낮아질 수 있다. 이에 따라 냉각 챔버 내부를 지나는 진공 유리 모듈(G)의 온도도 하강할 수 있다. 예를 들어, 온도 상승부(HC)에서 약 430도 내지 약 460도이던 진공 유리 모듈(G)의 온도는 제1 방향(D1)으로 갈수록 하강하여, 최종적으로 상온까지 내려갈 수 있다.

유출부(OP)는 온도 하강부(CC)에 연결될 수 있다. 유출부(OP)를 통해, 온도 하강부(CC)를 지나 온 진공 유리 모듈(G)이 외부로 빠져나올 수 있다.

이동부(5)는 제1 방향(D1)으로 이동 가능할 수 있다. 이동부(5)는 유입부(IP)에서 시작하여, 온도 상승부(HC)의 각 가열 챔버들 및 온도 하강부(CC)의 각 냉각 챔버들을 지나, 유출부(OP)로 빠져 나올 수 있다. 이동부(5) 상에 진공 유리 모듈(G)이 배치될 수 있다. 실시 예들에서, 한 개의 이동부(5) 상에 한 개 혹은 복수 개의 진공 유리 모듈(G)이 배치될 수 있다. 진공 유리 모듈(G)은 이동부(5) 상에 안착된 채로 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 실시 예들에서, 이동부(5)는 복수 개가 제공될 수 있다. 복수 개의 이동부(5)는 서로 제1 방향(D1)으로 이격될 수 있다. 그러나 이하에서 편의 상 이동부(5)는 단수로 기술하도록 한다.

구동부(7, 도 4a 참고), 게이트(GT, 도 4a 참고), 배기 장치(EP, 도 10 참고) 및 레이저 조사 장치(LA, 도 11 참고) 등에 대해서는 후술하도록 한다.

도 4a는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 일부를 나타낸 사시도이고, 도 4b는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치에서 도 4a의 X 영역을 확대하여 나타낸 사시도이며, 도 5는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.

도 4a를 참고하면, 제1 가열 챔버(HC1) 및 제2 가열 챔버(HC2)를 확대하여 도시한 것을 확인할 수 있다. 도 4a에서는 제1 가열 챔버(HC1) 및 제2 가열 챔버(HC2)만을 설명하고 있으나, 도 4a 내지 5 등을 참고하여 설명하는 내용은 복수 개의 가열 챔버의 각각 및 복수 개의 냉각 챔버의 각각에 모두 적용될 수도 있다. 이하에서, 편의 상 복수 개의 가열 챔버의 각각 및 복수 개의 냉각 챔버의 각각을 챔버라고 칭할 수 있다.

챔버는 하부 하우징(1) 및 상부 하우징(3)을 포함할 수 있다. 하부 하우징(1)과 상부 하우징(3)이 결합하여 하나의 챔버를 형성할 수 있다. 하부 하우징(1)과 상부 하우징(3) 사이에 내부 공간(Ch, 도 4b 참고)이 제공될 수 있다.

하부 하우징(1)은 하부 프레임(F1)에 의해 지지될 수 있다. 도 4a 및 도 5를 참고하면, 하부 하우징(1)은 하부 판(11) 및 하부 차단벽(13)을 포함할 수 있다. 하부 판(11)은 제3 방향(D3)을 법선으로 가지는 판 형상일 수 있다. 하부 차단벽(13)은 하부 판(11)으로부터 위로 일정 길이 돌출되는 형상일 수 있다. 하부 차단벽(13)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 하나의 하부 판(11) 상에 2개의 하부 차단벽(13)이 제공될 수 있다. 2개의 하부 차단벽(13)은 서로 제2 방향(D2)으로 이격될 수 있다.

상부 하우징(3)은 하부 하우징(1)으로부터 위로 이격될 수 있다. 즉, 상부 하우징(3)과 하부 하우징(1)은 서로 제3 방향(D3)으로 떨어져 있을 수 있다. 따라서 상부 하우징(3)과 하부 하우징(1) 사이에 내부 공간(Ch, 도 4b 참고)이 제공될 수 있다. 상부 하우징(3)은 상부 프레임(F2)에 의해 지지될 수 있다. 즉, 상부 하우징(3)의 위치는 상부 프레임(F2)에 의해 하부 하우징(1)으로부터 위로 이격된 채 고정될 수 있다. 상부 프레임(F2)은 하부 프레임(F1) 및/또는 하부 하우징(1)에 의해 지지될 수 있다. 도 4a 및 도 5를 참고하면, 상부 하우징(3)은 상부 판(31) 및 상부 차단벽(33)을 포함할 수 있다. 상부 판(31)은 제3 방향(D3)을 법선으로 가지는 판 형상일 수 있다. 상부 차단벽(33)은 상부 판(31)으로부터 아래로 일정 길이 돌출되는 형상일 수 있다. 상부 차단벽(33)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 상부 차단벽(33)은 하부 차단벽(13)으로부터 위로 일정 거리 이격될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 도 4b를 참고하여 후술하도록 한다. 하나의 상부 판(31) 상에 2개의 상부 차단벽(33)이 제공될 수 있다. 2개의 상부 차단벽(33)은 서로 제2 방향(D2)으로 이격될 수 있다.

구동부(7)는 하부 하우징(1) 및 상부 하우징(3)의 외부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 구동부(7)는 하부 하우징(1) 및 상부 하우징(3)의 외측면 부근에 위치할 수 있다. 구동부(7)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 구동부(7)에 대한 상세한 설명은 도 5 내지 도 7을 참고하여 후술하도록 한다.

게이트(GT)는 챔버와 챔버 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 게이트(GT)는 제1 가열 챔버(HC1)와 제2 가열 챔버(HC2) 사이에 위치할 수 있다. 게이트(GT)는 상하로 이동할 수 있다. 게이트(GT)가 아래로 이동하면, 제1 가열 챔버(HC1)의 내부 공간과 제2 가열 챔버(HC2)의 내부 공간이 차단될 수 있다. 게이트(GT)가 위로 이동하면, 제1 가열 챔버(HC1)의 내부 공간과 제2 가열 챔버(HC2)의 내부 공간이 연결될 수 있다. 게이트(GT)에 의해 이웃한 두 챔버의 내부 공간이 서로 연결되거나, 차단될 수 있다. 게이트(GT)가 내려오면, 게이트(GT)에 의해 폐쇄된 챔버의 내부 공간의 열이 외부로 원활히 방출되지 아니할 수 있다. 따라서 게이트(GT)가 내려오면, 이웃한 챔버 간 열 교환이 실질적으로 차단될 수 있다. 게이트(GT)는 게이트 프레임(GF)에 의해 지지될 수 있다. 게이트 프레임(GF)은 하부 프레임(F1) 및/또는 하부 하우징(1)에 의해 지지될 수 있다.

도 4b를 참고하면, 하부 차단벽(13)과 상부 차단벽(33)은 상하로 이격될 수 있다. 즉, 상부 차단벽(33)의 하면은 하부 차단벽(13)의 상면으로으로 제3 방향(D3)으로 이격될 수 있다.

하부 하우징(1, 도 4a 참고)은 하부 열차단부(15)를 더 포함할 수 있다. 하부 열차단부(15)는 하부 차단벽(13)의 상측에 결합될 수 있다. 하부 열차단부(15)는 유연 섬유들 및/또는 스테인레스 섬유들로 구성될 수 있다. 유연 섬유는 유연(flexible)한 재질의 물질을 의미할 수 있다. 보다 구체적으로, 유연 섬유는 길고 가늘며 연하게 굽힐 수 있는 천연 또는 인조의 물질을 의미할 수 있다. 하부 열차단부(15)의 유연 섬유들은 상하로 연장될 수 있다.

상부 하우징(3, 도 4a 참고)은 상부 열차단부(35)를 더 포함할 수 있다. 상부 열차단부(35)는 상부 차단벽(33)의 하측에 결합될 수 있다. 상부 열차단부(35)는 유연 섬유들 및/또는 스테인레스 섬유들로 구성될 수 있다. 상부 열차단부(35)의 유연 섬유들은 상하로 연장될 수 있다. 상부 열차단부(35)와 하부 열차단부(15)는 서로 접촉할 수 있다. 즉, 상부 열차단부(35)의 유연 섬유들은, 하부 열차단부(15)의 유연 섬유들과 접할 수 있다.

하부 열차단부(15)와 상부 열차단부(35)에 의해, 챔버의 내부 공간(Ch)의 열은 외부로 잘 방출되지 아니할 수 있다. 즉, 하부 열차단부(15)와 상부 열차단부(35)에 의해 챔버 내부가 열적으로 격리될 수 있다.

도 5를 참고하면, 이동부(5)는 작업 지지대(51), 연결부(53), 이동 레일(55) 및 연결 부재(57)를 포함할 수 있다.

작업 지지대(51)는 진공 유리 모듈(G, 도 1 참고)이 안착되는 공간을 제공할 수 있다. 즉, 진공 유리 모듈(G)은 작업 지지대(51)의 상면 상에 배치될 수 있다. 작업 지지대(51) 상에 하나 또는 복수 개의 진공 유리 모듈(G)이 배치될 수 있다. 작업 지지대(51)는 판 형상을 포함할 수 있다. 보다 구체적으로, 작업 지지대(51)는 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 전개되는 판 형상을 포함할 수 있다. 그러나 작업 지지대(51)가 반드시 판 형상에 한정하는 것은 아니다. 즉, 작업 지지대(51)는 복수 개의 막대가 교차되는 구조물을 포함할 수도 있다. 복수 개의 구조물이 교차되어, 진공 유리 모듈(G)을 지지할 수 있다. 작업 지지대(51)의 하부에 지지 프레임(511)이 제공될 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 8을 참고하여 후술하도록 한다.

연결부(53)는 작업 지지대(51)와 구동부(7)를 연결할 수 있다. 연결부(53)는 구동 연결 부재(531), 결합 부재(533) 및 지지 연결 부재(535) 등을 포함할 수 있다. 작업 지지대(51)로부터 구동 연결 부재(531)는 제2 방향(D2)으로 연장되어 작업 지지대(51)와 구동부(7)를 연결시킬 수 있다. 결합 부재(533)는 구동 연결 부재(531)에 결합될 수 있다. 결합 부재(533)는 구동부(7)와 직접 연결될 수 있다. 결합 부재(533)는 아래로 갈수록 좁아지는 형상을 포함할 수 있다. 지지 연결 부재(535)는 이동 레일(55)과 작업 지지대(51)를 연결할 수 있다. 보다 구체적으로, 지지 연결 부재(535)는 제2 방향(D2)으로 연장되어 이동 레일(55)과 작업 지지대(51)를 연결할 수 있다.

이동 레일(55)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 이동 레일(55)은 작업 지지대(51)로부터 제2 방향(D2)으로 이격될 수 있다. 이동 레일(55)은 구동 연결 부재(531) 및/또는 지지 연결 부재(535)에 의해 작업 지지대(51)에 연결될 수 있다.

연결 부재(57)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 연결 부재(57)는 구동 연결 부재(531), 지지 연결 부재(535) 및 작업 지지대(51)를 서로 연결시킬 수 있다.

하나의 작업 지지대(51)에 두 개의 이동 레일(55) 및 두 개의 연결 부재(57)가 결합될 수 있다. 두 개의 이동 레일(55)은 작업 지지대(51)를 사이에 두고 서로 반대 편에 위치할 수 있다. 두 개의 연결 부재(57)는 작업 지지대(51)를 사이에 두고 서로 반대 편에 위치할 수 있다.

이동부(5)의 적어도 일부는 하부 하우징(1)과 상부 하우징(3) 사이에 선택적으로 삽입될 수 있다. 보다 구체적으로, 작업 지지대(51)가 하부 하우징(1)과 상부 하우징(3) 사이의 내부 공간(Ch, 도 4b 참고)에 선택적으로 삽입될 수 있다. 작업 지지대(51)가 내부 공간(Ch)에 배치된 상태로, 이동부(5)는 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이동부(5)는 구동부(7)에 의해 동력을 제공 받아 이동할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 6 내지 도 7을 참고하여 후술하도록 한다.

구동부(7)는 하부 하우징(1)의 외측에 위치할 수 있다. 보다 구체적으로, 구동부(7)는 하부 차단벽(13)의 외측면 부근에 위치할 수 있다. 구동부(7)는 이동부(5)에 선택적으로 연결될 수 있다. 구동부(7)는 구동 장치(71), 구동 축(73) 및 구동 결합체(75) 등을 포함할 수 있다. 구동 장치(71)는 회전 동력을 제공할 수 있다. 구동 장치(71)는 모터 등의 액츄에이터를 포함할 수 있다. 구동 장치(71)는 구동 축(73)을 회전시킬 수 있다. 구동 축(73)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 구동 축(73)은 구동 장치(71)에 연결될 수 있다. 구동 축(73)은 구동 장치(71)에 의해 회전할 수 있다. 보다 구체적으로, 구동 축(73)은 제1 방향(D1)을 회전 축으로 하여 회전할 수 있다. 구동 결합체(75)는 구동 축(73)에 연결될 수 있다. 구동 결합체(75)는 구동 축(73)의 회전에 의해, 제1 방향(D1)으로 움직일 수 있다. 구동부(7)에 대한 상세한 내용은 도 6 및 도 7을 참고하여 후술하도록 한다.

하부 하우징(1)과 상부 하우징(3) 사이에 가열기(2)가 더 제공될 수 있다. 가열기(2)는 외부로부터 전력을 공급받아, 주변으로 열을 방출하는 기능을 가질 수 있다. 예를 들어, 가열기(2)는 열선을 포함할 수 있다. 가열기(2)는 복수 개의 열선을 포함할 수 있다. 그러나 이하에서 편의 상 가열기(2)는 단수로 기술하도록 한다. 가열기(2)는 하부 판(11)의 상면 상에 결합될 수 있다. 혹은, 가열기(2)는 상부 판(31)의 하면 상에 결합될 수 있다. 또는, 가열기(2)는 하부 판(11)의 상면 및 상부 판(31)의 하면에 모두 배치될 수 있다. 가열기(2)가 하부 판(11)의 상면 및 상부 판(31)의 하면에 모두 배치되는 경우, 하부 판(11)의 상면에 배치된 가열기(2)와 상부 판(31)의 하면에 배치된 가열기(2)는 서로 대칭적으로 분포될 수 있다. 가열기(2)는 줄열(Joule heat)을 발생시켜, 주변의 온도를 높일 수 있다. 따라서 가열기(2)가 배치된 챔버의 내부 공간(Ch, 도 4b 참고)의 온도는 상승할 수 있다. 가열기(2)는 온도 상승부(HC, 도 3 참고)의 가열 챔버들의 각각에 포함될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 온도 하강부(CC, 도 3 참고)의 냉각 챔버들의 각각에도 포함되어 있을 수 있다.

하부 하우징(1) 상에 내부 레일(6)이 더 제공될 수 있다. 내부 레일(6)은 하부 판(11) 상에 위치할 수 있다. 내부 레일(6)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 내부 레일(6)은 하부 판(11)의 제2 방향(D2)으로의 길이를 이등분한 위치에 위치할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 내부 레일(6)에 의해 이동부(5)의 제1 방향(D1)으로의 이동이 가이드될 수 있다. 도면에는 도시되지 아니하였지만, 내부 레일(6) 옆에 받침 레일이 더 위치할 수 있다. 받침 레일은 이동부(5)의 중간 영역을 받쳐줄 수 있다. 내부 레일(6)에 대한 상세한 내용은 도 8을 참고하여 후술하도록 한다.

도 6은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 구동부를 나타낸 사시도이다.

도 6을 참고하면, 구동 결합체(75)는 구동 축(73)을 따라 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 보다 구체적으로, 구동 장치(71)가 제공하는 회전 동력에 의해 구동 축(73)이 회전하면, 구동 축(73)의 외면 상에 결합된 구동 결합체(75)는 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이를 위해, 구동 축(73)의 외면에는 스크류 구조(미도시)가 형성될 수 있다. 구동 축(73)의 스크류 구조에 의해, 구동 축(73)이 회전 시 구동 축(73)의 외면에 결합된 구동 결합체(75)가 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다.

구동 결합체(75)는 회전 결합부(751), 구동 몸체(753) 및 구동 연결부(755)를 포함할 수 있다.

회전 결합부(751)는 구동 축(73)에 결합될 수 있다. 구동 축(73)이 스크류 구조를 포함하는 경우, 회전 결합부(751)는 구동 축(73)의 스크류 구조에 상보적인 형상의 내면(미도시)을 포함할 수 있다. 회전 결합부(751)의 내면과 구동 축(73)의 외면이 서로 맞물릴 수 있다. 따라서 구동 축(73)의 회전 시 회전 결합부(751)가 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다.

구동 몸체(753)는 구동 연결부(755)와 회전 결합부(751)를 연결시킬 수 있다.

구동 연결부(755)는 구동 몸체(753)에 결합될 수 있다. 구동 연결부(755)는 결합 구동 장치(7551) 및 대응 결합 부재(7553)를 포함할 수 있다. 결합 구동 장치(7551)는 대응 결합 부재(7553)를 상하로 이동시킬 수 있다. 이를 위해 결합 구동 장치(7551)는 유공압 실린더 및/또는 모터 등의 액츄에이터를 포함할 수 있다. 대응 결합 부재(7553)는 결합 구동 장치(7551) 상에 위치할 수 있다. 실시 예들에서, 대응 결합 부재(7553)는 아래로 갈수록 좁아지는 형상을 포함할 수 있다. 대응 결합 부재(7553)는 결합 부재(533)와 선택적으로 결합할 수 있다. 대응 결합 부재(7553)와 결합 부재(533, 도 5 참고)가 연결되면, 구동 결합체(75)와 이동부(5, 도 5 참고)가 연결될 수 있다. 따라서 구동 결합체(75)가 제1 방향(D1)으로 이동하면, 이동부(5)도 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 7을 참고하여 후술하도록 한다.

이상에서, 모터 등의 회전 동력을 제공하는 액츄에이터에 의해, 외면에 스크류 구조를 갖는 구동 축이 회전하여 구동 결합체(75)가 제1 방향(D1)으로 이동하는 것으로 기술하였으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 즉, 전술한 메커니즘 외에 다른 방식에 의해 구동부(7)가 이동부(5, 도 5 참고)를 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수도 있다.

도 7은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 구동부 및 이동부의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 7을 참고하면, 외부 레일(4)이 더 제공될 수 있다. 외부 레일(4)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 외부 레일(4)은 도 5를 참고하여 설명한 하부 하우징(1, 도 5 참고)의 외부에 위치할 수 있다. 보다 구체적으로, 외부 레일(4)은 하부 차단벽(13)의 외측면 바깥에 위치할 수 있다. 외부 레일(4)은 하부 차단벽(13)과 구동부(7) 사이에 위치할 수 있다.

외부 레일(4) 상에 외부 베어링(OB)이 더 제공될 수 있다. 외부 베어링(OB)은 외부 레일(4) 상에서 일정 위치에 고정될 수 있다. 일정 위치에 고정된 외부 베어링(OB)은 제2 방향(D2)을 회전 축으로 하여 제자리에서 회전할 수 있다. 외부 베어링(OB)의 외면은 수지 계열 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 외부 베어링(OB)의 외면은 플라스틱 및/또는 고무로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 외부 베어링(OB)은 전체가 플라스틱 및/또는 고무로 형성된 플라스틱 베어링 및/또는 고무 베어링일 수 있다. 혹은, 외부 베어링(OB)의 내부는 금속 베어링 및/또는 세라믹 베어링이고, 플라스틱 보호구 및/또는 고무 보호구가 금속 베어링 및/또는 세라믹 베어링의 외측에 씌워진 형태일 수도 있다. 외부 베어링(OB)은 복수 개가 제공될 수 있다. 복수 개의 외부 베어링(OB)은 서로 제1 방향(D1)으로 이격 배치될 수 있다. 그러나 이하에서 편의 상 외부 베어링(OB)은 단수로 기술하도록 한다.

외부 레일(4) 상에 이동 레일(55)이 배치될 수 있다. 보다 구체적으로, 외부 베어링(OB) 상에 이동 레일(55)이 안착될 수 있다. 이동부(5)는 이동 레일(55)이 외부 베어링(OB)과 접하여 외부 레일(4)을 따라 이동하는 방식으로 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다.

결합 부재(533)가 대응 결합 부재(7553) 상에 배치될 수 있다. 결합 부재(533)가 대응 결합 부재(7553) 상에 배치되면, 결합 구동 장치(7551)가 대응 결합 부재(7553)를 위로 이동시킬 수 있다. 대응 결합 부재(7553)가 위로 올라오면, 대응 결합 부재(7553)는 결합 부재(533)에 접할 수 있다. 대응 결합 부재(7553) 및 결합 부재(533)의 각각이 상광하협 형상을 포함하므로, 대응 결합 부재(7553)와 결합 부재(533)에 접하면, 대응 결합 부재(7553)가 제1 방향(D1)으로 이동할 때에 결합 부재(533)도 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 따라서 구동 결합체(75)가 구동 축(73)을 따라 제1 방향(D1)으로 이동하면, 이동부(5)도 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다.

도 5를 참고하여 설명한 것과 같이, 작업 지지대(51)는 하부 하우징(1, 도 5 참고)과 상부 하우징(3, 도 5 참고)의 사이 공간에 배치될 수 있다. 구동부(7)는 하부 하우징(1) 및 상부 하우징(3)의 외부에 위치할 수 있다. 따라서 연결부(53)는 하부 하우징(1) 및 상부 하우징(3)에 의해 정의되는 내부 공간(Ch, 도 4b 참고)으로부터 외부로 연장될 수 있다. 보다 구체적으로, 연결부(53)는 하부 외측 벽(11, 도 5 참고)과 상부 외측 벽(31, 도 5 참고) 사이의 공간을 제2 방향(D2)으로 가로지르며, 내부 공간(Ch)으로부터 외부로 돌출될 수 있다. 하부 차단벽(13) 상의 하부 열차단부(15, 도 4b 참고) 및 상부 차단벽(33) 밑의 상부 열차단부(35, 도 4b 참고)가 유연 섬유로 구성되므로, 연결부(53)는 유연 섬유들의 일부를 눕히거나 꺾고 내부 공간의 바깥으로 돌출될 수 있다. 즉, 구동 연결 부재(531) 및 지지 연결 부재(535)의 각각은, 하부 열차단부(15) 및 상부 열차단부(35)의 유연 섬유들 사이를 지나며 제2 방향(D2)으로 연장되어, 내부 공간에 있는 작업 지지대(51)와 외부의 구동부(7) 및 이동 레일(55)을 연결시킬 수 있다.

도 8은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 8 및 도 5를 참고하면, 작업 지지대(51, 도 5 참고)의 지지 프레임(511)에 내부 결합 부재(513) 및 내부 베어링(IB)이 결합될 수 있다. 내부 결합 부재(513)는 지지 프레임(511)의 중간에 위치할 수 있다. 내부 결합 부재(513)는 내부 베어링(IB)과 지지 프레임(511)을 연결시킬 수 있다. 내부 베어링(IB)은 내부 결합 부재(513)에 결합될 수 있다. 보다 구체적으로, 내부 베어링(IB)은 내부 결합 부재(513)의 밑에 위치하는 베어링 결합 부재(5131)에 결합될 수 있다. 내부 베어링(IB)은 회전할 수 있다. 보다 구체적으로, 내부 베어링(IB)은 내부 결합 부재(513)의 일정 위치에 결합되어, 제자리에서 제3 방향(D3)에 평행한 축을 중심으로 회전할 수 있다. 실시 예들에서, 내부 베어링(IB)은 금속 베어링 및/또는 세라믹을 포함할 수 있다. 즉, 도 7을 참고하여 설명한 것과는 달리, 내부 베어링(IB)은 플라스틱 및 고무를 포함하지 아니할 수 있다. 내부 베어링(IB)은 복수 개가 제공될 수 있다. 보다 구체적으로, 내부 베어링(IB)은 짝수 개가 제공될 수 있다. 예를 들어, 도 8에 도시된 것과 같이 내부 베어링(IB)은 2개가 제공될 수 있다. 2개의 내부 베어링(IB)은 서로 제2 방향(D2)으로 일정 간격 이격될 수 있다.

내부 레일(6)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 내부 레일(6)의 양 측면에 2개의 내부 베어링(IB)이 접할 수 있다. 2개의 내부 베어링(IB)이 각각은 내부 레일(6)의 양 측면에 각각 접한 상태로, 지지 프레임(511)이 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 즉, 이동부(5, 도 5 참고)가 제1 방향(D1)으로 이동하면, 2개의 내부 베어링(IB)이 각각은 내부 레일(6)의 양 측면에 각각 접한 상태에서 회전할 수 있다. 따라서 내부 레일(6)은 이동부(5)의 제1 방향(D1)으로의 이동을 가이드할 수 있다. 도면 상에는 도시되지 아니하였지만, 내부 레일(6) 옆에 받침 레일이 더 위치할 수 있다. 받침 레일은 이동부(5)의 중간 지점에서 이동부(5)의 하중을 지지할 수 있다. 이에 따라 이동부(5)의 중간 지점이 아래로 쳐지는 것이 방지될 수 있다.

도 9a는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치를 나타낸 평면도이고, 도 9b는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치에서 도 9a의 Y 영역을 확대하여 나타낸 평면도이다.

도 9a 및 도 9b를 참고하면, 구동부는 복수 개가 제공될 수 있다. 즉, 도 9b에 도시된 것과 같이, 구동부는 제1 구동부(7a), 제2 구동부(7b) 및 제3 구동부(7c) 등을 포함할 수 있다. 이상에서 3개의 구동부만을 언급하였지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 즉, 구동부는 챔버의 개수만큼 제공될 수 있다. 복수 개의 구동부의 각각은, 이웃하는 두 개의 챔버에 걸쳐 위치할 수 있다. 예를 들어, 제1 구동부(7a)는 제1 가열 챔버(HC1)와 제2 가열 챔버(HC2)에 걸쳐 위치할 수 있다. 즉, 제1 구동부(7a)는 제1 방향(D1)으로 연장되되, 그 시작점은 제1 가열 챔버(HC1)의 중간 지점이고, 그 끝점은 제2 가열 챔버(HC2)의 중간 지점일 수 있다. 제2 구동부(7b)는 제2 가열 챔버(HC2)와 제3 가열 챔버(HC3)에 걸쳐 위치할 수 있다. 제2 구동부(7b)는 제2 가열 챔버(HC2)를 기준으로, 제1 구동부(7a)의 반대 편에 위치할 수 있다. 이런 식으로 복수 개의 구동부는 서로 지그재그로 배치될 수 있다.

도 10은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 챔버에 배기 장치가 결합되는 모습을 나타낸 사시도이고, 도 11은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치의 챔버에 레이저 조사 장치가 결합되는 모습을 나타낸 사시도이며, 도 12는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치를 나타낸 측면도이다.

도 10 및 도 12를 참고하면, 복수 개의 냉각 챔버(CC1 내지 CC6) 중 적어도 하나의 챔버는 배기 냉각 챔버일 수 있다. 배기 냉각 챔버는 배기 장치가 결합되는 챔버를 의미할 수 있다. 예를 들어, 도 12에 도시된 것과 같이, 제1 냉각 챔버(CC1)가 배기 냉각 챔버일 수 있다. 도 10을 참고하면, 배기 장치(EP)는 챔버의 밑에 결합될 수 있다. 보다 구체적으로, 하부 하우징(1)의 하부 판(11)에 배기 장치(EP)가 결합될 수 있다. 하부 판(11)에 배기 구멍(11h)이 제공될 수 있다. 배기 장치(EP)는 배기 구멍(11h)에 결합될 수 있다. 배기 구멍(11h)을 통해 배기 장치(EP)는 배기 냉각 챔버의 내부 공간에 연결될 수 있다. 배기 장치(EP)는 진공펌프(미도시) 등에 연결되어, 진공펌프의 구동에 의해 공기를 흡입할 수 있다. 즉, 배기 장치(EP)는 챔버의 내부 공간에 배치된 진공 유리 모듈의 단열 공간 내 공기를 흡입할 수 있다. 도 12를 참고하면, 배기 냉각 챔버는 제1 냉각 챔버(CC1) 또는 제2 냉각 챔버(CC2)일 수 있다.

도 11 및 도 12를 참고하면, 복수 개의 냉각 챔버(CC1 내지 CC6) 중 적어도 하나의 챔버에 레이저 조사 장치(LA)가 결합될 수 있다. 예를 들어, 모든 냉각 챔버(CC1 내지 CC5)의 각각에 레이저 조사 장치(LA)가 결합될 수 있다. 즉, 배기 냉각 챔버에도 적어도 하나의 레이저 조사 장치가 결합될 수 있다. 레이저 조사 장치(LA)는 챔버의 위에 결합될 수 있다. 보다 구체적으로, 상부 하우징(3)의 상부 판(31)에 레이저 조사 장치(LA)가 결합될 수 있다. 상부 판(31)에 레이저 구멍(31h)이 제공될 수 있다. 레이저 조사 장치(LA)는 레이저 구멍(31h)에 결합될 수 있다. 레이저 구멍(31h)을 통해 레이저 조사 장치(LA)는 냉각 챔버의 내부 공간에 연결될 수 있다. 레이저 조사 장치(LA)는 챔버 내 배치된 진공 유리 모듈의 게터(GA, 도 2 참고)에 레이저를 조사할 수 있다.

도 13은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 방법을 나타낸 순서도이다.

도 13을 참고하면, 진공 유리 모듈 제조 방법(S)이 제공될 수 있다. 진공 유리 모듈 제조 방법(S)에 의하면, 도 3 내지 도 12를 참고하여 설명한 진공 유리 모듈 제조 장치(M)를 사용하여, 도 1 내지 도 2를 참고하여 설명한 진공 유리 모듈(G)을 제조할 수 있다. 진공 유리 모듈 제조 방법(S)은 예비 진공 유리 모듈을 준비하는 것(S1), 예비 진공 유리 모듈을 가열하는 것(S2) 및 예비 진공 유리 모듈을 냉각하는 것(S3)을 포함할 수 있다.

예비 진공 유리 모듈을 준비하는 것(S1)은 제1 유리 패널의 상면 중 적어도 일부 영역에 페이스트를 도포하는 것(S11) 및 페이스트가 도포된 제1 유리 패널 상에 제2 유리 패널을 덮는 것(S12)을 포함할 수 있다.

예비 진공 유리 모듈을 가열하는 것(S2)은 상온 상태의 예비 진공 유리 모듈의 온도를 n번의 가열을 통해 상승시키는 것(S21)을 포함할 수 있다.

예비 진공 유리 모듈을 냉각하는 것(S3)은 가열된 예비 진공 유리 모듈의 온도를 m번의 냉각을 통해 상온 상태로 만드는 것(S31) 및 예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것(S32)을 포함할 수 있다. 가열된 예비 진공 유리 모듈의 온도를 m번의 냉각을 통해 상온 상태로 만드는 것(S31) 및 예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것(S32)은 동시에 진행될 수도 있다. 즉, 냉각 과정에서 단열 공간의 압력이 낮아질 수 있다. 예를 들어, 첫 번째 냉각 챔버 또는 두 번째 냉각 챔버에서, 냉각이 진행됨과 동시에 단열 공간의 압력을 낮추는 공정이 진행될 수 있다.

예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것(S32)은 단열 공간 내 공기를 외부로 배출하는 것(S321) 및 예비 진공 유리 모듈 내의 게터에 레이저를 조사하는 것(S322)을 포함할 수 있다.

이하에서, 도 1 내지 도 12를 참고하여, 도 13의 진공 유리 모듈 제조 방법(S)의 각 단계를 상세히 서술하도록 한다.

도 13, 도 1 및 도 2를 참고하면, 제1 유리 패널의 상면 중 적어도 일부 영역에 페이스트를 도포하는 것(S11)은 제1 유리 패널(G1)의 상면 상에 밀봉부재(A)가 될 페이스트를 도포하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 유리 패널(G1)의 상면 중 가장자리 영역에 페이스트를 도포할 수 있다. 페이스트는 도포 후에 건조될 수 있다. 건조된 페이스트는 굳을 수 있다.

페이스트가 도포된 제1 유리 패널 상에 제2 유리 패널을 덮는 것(S12)은 제1 유리 패널(G1) 및 페이스트 상에 스페이서를 배열하고 제2 유리 패널(G2)을 덮는 것을 포함할 수 있다. 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2)은 페이스트 및 스페이서(GS)에 의해, 상하로 일정 간격이 유지될 수 있다. 이에 따라 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2) 사이에 단열 공간(Gh1)이 제공될 수 있다. 또한, 단열 공간(Gh1)에 연결되는 게터 안착 공간(Gh2)에 게터 홀더(GD) 및 게터(GA)가 위치할 수 있다. 마개(GC)는 아직 제1 유리 패널(G1)에 결합되지 아니할 수 있다. 제1 유리 패널(G1) 상에 제2 유리 패널(G2)이 덮인 것을 예비 진공 유리 모듈이라 칭할 수 있다. 예비 진공 유리 모듈은 유입부(IP, 도 3 참고)에 배치된 이동부(5) 상에 안착될 수 있다

도 13, 도 1 및 도 3을 참고하면, 상온 상태의 예비 진공 유리 모듈의 온도를 n번의 가열을 통해 상승시키는 것(S21)은 예비 진공 유리 모듈이 안착된 이동부(5)가 제1 방향(D1)으로 이동하여 온도 상승부(HC)의 가열 챔버들을 지나는 것을 포함할 수 있다. 예비 진공 유리 모듈이 안착된 이동부(5)는, 구동부(7, 도 5 참고)가 제공하는 동력에 의해 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 구동부(7)의 구동에 의해 이동부(5)가 제1 방향(D1)으로 이동하는 것은, 도 6 내지 도 8을 참고하여 설명한 메커니즘으로 수행될 수 있다. 이동부(5) 상의 예비 진공 유리 모듈은, 온도 상승부(HC)의 가열 챔버들을 차례로 지나며 온도가 단계적으로 상승할 수 있다. 예비 진공 유리 모듈은 n개의 가열 챔버에 의해 그 온도가 단계적으로 올라갈 수 있다. 예를 들어, 가열 챔버가 4개가 제공되는 경우, 예비 진공 유리 모듈은 4번의 가열 과정을 거쳐 그 온도가 단계적으로 올라갈 수 있다. 이를 위해 예비 진공 유리 모듈이 안착된 이동부(5)는 각 가열 챔버 내에서 일정 시간 머무를 수 있다. 보다 구체적으로, 이동부(5)가 제1 가열 챔버(HC1)에 머물며, 가열기(2, 도 6 참고)에 의해 예비 진공 유리 모듈의 온도가 상온에서 약 130도까지 올라갈 수 있다. 또한, 예비 진공 유리 모듈의 온도는 제2 가열 챔버(HC2)에서 약 230도까지 올라가고, 제3 가열 챔버(HC3)에서 약 330도까지, 제4 가열 챔버(HC4)에서 약 430도까지 올라갈 수 있다. 이러한 방식으로 예비 진공 유리 모듈의 온도는 상온 상태에서 약 430도 내지 약 460도까지 올라갈 수 있다. 이러한 가열에 의해 제1 유리 패널(G1) 상에 도포된 페이스트가 녹아, 제1 유리 패널(G1)과 제2 유리 패널(G2)을 밀봉시킬 수 있다. 녹은 페이스트는 후술할 냉각 과정을 통해 경화될 수 있다. 페이스트가 경화되면, 밀봉부재(A)를 형성할 수 있다. 즉, 페이스트는 밀봉부재(A)가 될 수 있다. 밀봉부재(A)에 의해 제1 유리 패널(G1) 및 제2 유리 패널(G2)이 서로 견고하게 접합될 수 있다. 이상에서 특정한 온도 구간을 수치로 언급하여 서술하였지만, 이에 한정하는 것은 아니다.

도 13 및 도 3을 참고하면, 가열된 예비 진공 유리 모듈의 온도를 m번의 냉각을 통해 상온 상태로 만드는 것(S31)은 온도 상승부(HC)를 빠져나온 이동부(5)가 제1 방향(D1)으로 이동하여 온도 하강부(CC)의 냉각 챔버들을 지나는 것을 포함할 수 있다. 이동부(5) 상의 예비 진공 유리 모듈은, 온도 하강부(CC)의 냉각 챔버들을 차례로 지나며 온도가 단계적으로 하강할 수 있다. 예비 진공 유리 모듈은 m개의 냉각 챔버에 의해 그 온도가 단계적으로 내려갈 수 있다. 이를 위해 예비 진공 유리 모듈이 안착된 이동부(5)는 각 냉각 챔버 내에서 일정 시간 머무를 수 있다. 예를 들어, 냉각 챔버가 6개가 제공되는 경우, 예비 진공 유리 모듈은 6번의 냉각 과정을 거쳐 그 온도가 단계적으로 내려갈 수 있다. 냉각 챔버의 개수가 가열 챔버의 개수보다 많거나 같으므로, 이웃한 두 냉각 챔버 간의 온도 차이는, 이웃한 두 가열 챔버 간의 온도 차이보다 작을 수 있다. 예비 진공 유리 모듈의 온도는 약 430도 내지 약 460도에서 상온 상태까지 내려갈 수 있다. 냉각 챔버에서의 냉각은 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 제1 냉각 챔버 내 가열기는, 제1 냉각 챔버 내 온도가 제4 가열 챔버 내 온도보다는 낮고, 제2 냉각 챔버 내 온도보다 높도록, 제1 냉각 챔버 내 온도를 제어할 수 있다. 제2 냉각 챔버 내 가열기는, 제2 냉각 챔버 내 온도가 제1 냉각 챔버 내 온도보다는 낮고, 제3 냉각 챔버 내 온도보다는 높도록, 제2 냉각 챔버 내 온도를 제어할 수 있다. 이러한 방식으로 냉각 챔버의 온도가 제어될 수 있다. 또한, 냉각 챔버에 외부 공기가 유입되어 추가적인 냉각 효과가 발생할 수도 있다.

도 13, 도 2 및 도 10을 참고하면, 단열 공간 내 공기를 외부로 배출하는 것(S321)은 냉각 과정 중에 예비 진공 유리 모듈의 단열 공간(Gh1) 내 공기가 빠져나가는 것을 포함할 수 있다. 도 10 및 도 12를 참고하면, 예비 진공 유리 모듈이 안착된 이동부(5)가 배기 냉각 챔버에 들어갈 수 있다. 배기 냉각 챔버에서 배기 장치(EP)가 예비 진공 유리 모듈에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 배기 장치(EP)는 예비 진공 유리 모듈의 게터 안착 공간(Gh2)에 연결될 수 있다. 배기 장치(EP)가 게터 안착 공간(Gh2)을 통해, 단열 공간(Gh1)의 공기를 외부로 배출할 수 있다. 이에 따라 단열 공간(Gh1) 내 압력이 떨어질 수 있다. 배기 장치(EP)에 의해 단열 공간(Gh1) 내 공기가 외부로 배출되면, 제1 유리 패널(G1)에 마개(GC, 도 3 참고)가 결합될 수 있다. 마개(GC)에 의해 단열 공간(Gh1)은 외부로부터 격리될 수 있다. 이상에서 배기 장치(EP)에 의한 배기 작업 직후 마개(GC)가 결합되는 것으로 서술하였으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 즉, 마개(GC)는 레이저 조사 및 냉각이 완료된 후에 결합될 수도 있다.

도 13, 도 2 및 도 11을 참고하면, 예비 진공 유리 모듈 내의 게터에 레이저를 조사하는 것(S322)은 냉각 과정 중에 예비 진공 유리 모듈의 게터(GA)에 레이저가 조사되는 것을 포함할 수 있다. 도 11 및 도 12를 참고하면, 예비 진공 유리 모듈이 안착된 이동부(5)가 레이저 조사 장치(LA)가 결합된 냉각 챔버에 들어갈 수 있다. 레이저 조사 장치(LA)는 냉각 챔버의 내부 공간에 배치된 예비 진공 유리 모듈의 게터(GA)에 레이저를 조사할 수 있다. 게터(GA)에 레이저가 조사되면, 게터(GA)의 온도가 올라갈 수 있다. 게터(GA)의 온도가 상승하면, 게터(GA)는 활성화될 수 있다. 게터(GA)가 활성화되면, 게터(GA)는 주변의 공기를 흡수할 수 있다. 즉, 게터(GA)는 단열 공간(Gh1) 및 게터 안착 공간(Gh2) 내의 공기를 흡수할 수 있다. 이에 따라 단열 공간(Gh1)의 압력은 더욱 떨어질 수 있다. 즉, 단열 공간(Gh1)은 실질적인 진공 상태가 될 수 있다. 레이저 조사 장치(LA)가 복수 개의 냉각 챔버의 각각에 결합되어 있으므로, 레이저 조사 장치(LA)에 의한 레이저 조사 및 게터(GA)의 활성화는 반복적으로 수행될 수 있다. 이에 따라 단열 공간(Gh1)의 압력은 더욱 더 떨어질 수 있다. 단열 공간(Gh1)이 보다 높은 진공 상태가 된 진공 유리 모듈(G)은 유출부(OP, 도 3 참고)를 통해 빠져나올 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 진공 유리 모듈의 단열 공간 내 압력을 낮추어 진공 상태로 만들 수 있다. 따라서 진공 유리 모듈의 단열성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 복수 개의 챔버가 배열된 구조를 사용하므로, 복수 개의 진공 유리 모듈에 대한 밀봉 및 압력 강하 작업을 연속적으로 수행할 수 있다. 이에 따라 작업의 속도가 향상될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 하부 하우징과 상부 하우징이 상하로 이격되어 있으므로, 이동부의 일부는 챔버의 내부 공간에서 제1 방향으로 이동하고, 이동부의 다른 일부는 챔버의 외부 공간에서 제1 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 연결부가 하부 차단벽과 상부 차단벽 사이의 이격 공간을 관통하며 연장되어 챔버의 외부에 있는 구동부와 챔버의 내부 공간에 있는 작업 지지대를 연결시켜줄 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 이동부의 이동을 지지하고 가이드하는 외부 베어링이 챔버의 외부에 위치하므로, 이들은 상온 상태에서 구동될 수 있다. 즉, 외부 베어링은 고온의 환경에 노출되지 아니할 수 있다. 이에 따라, 외부 베어링은 녹는점이 상대적으로 낮은 물질을 포함할 수 있다. 따라서 외부 베어링은 플라스틱 및 고무 등의 부드러운 소재를 사용할 수 있다. 표면이 부드러운 소재로 이루어진 외부 베어링의 위에 접하며 이동하는 이동부는 진동이 상대적으로 적을 수 있다. 즉, 외부 베어링의 표면이 부드러운 소재로 이루어지므로, 이동부가 제1 방향으로 이동하는 와중에 발생할 수 있는 진동을 최소화할 수 있다. 따라서 이동부 상에 배치된 진공 유리 모듈의 흔들림을 억제하여, 작업 수율이 향상될 수 있다. 또한, 모터 등을 포함하는 구동부도 외부에 위치하므로, 민감한 부품들이 고온의 작업 환경 하에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라 각 부품의 신뢰도를 향상시키고, 수명을 증진시킬 수 있다. 또한 부품의 선정에 있어 제약이 줄어들 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 유연 섬유로 이루어진 열차단부를 이용해 챔버의 내부 공간의 열이 외부로 방출되는 것을 차단할 수 있다. 따라서 인근 작업자의 안전성을 확보할 수 있고, 가열에 요구되는 에너지를 절약하여 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 진공 유리 모듈 제조 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈 제조 방법에 의하면, 가열 챔버보다 냉각 챔버의 수가 같거나 많으므로, 냉각은 가열보다 서서히 이루어질 수 있다. 즉, 냉각 작업은 가열 작업보다 더 많은 단계를 거치며 천천히 진행될 수 있다. 이에 따라 진공 유리 모듈이 급격한 냉각에 의해 손상되는 것을 방지하고, 제조 수율을 향상시킬 수 있다.

이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

G: 진공 유리 모듈
G1: 제1 유리 패널
G2: 제2 유리 패널
A: 밀봉부재
GA: 게터
Gh1: 단열 공간
IP: 유입부
HC: 온도 상승부
CC: 온도 하강부
OP: 유출부
1: 하부 하우징
11: 하부 판
13: 하부 차단벽
15: 하부 열차단부
3: 상부 하우징
31: 상부 판
33: 상부 차단벽
35: 상부 열차단부
Ch: 내부 공간
2: 가열기
4: 외부 레일
6: 내부 레일
OB: 외부 베어링
IB: 내부 베어링
5: 이동부
51: 작업 지지대
53: 연결부
531: 구동 연결 부재
533: 결합 부재
535: 지지 연결 부재
55: 이동 레일
7: 구동부
71: 구동 장치
73: 구동 축
75: 구동 결합체
751: 회전 결합부
753: 구동 몸체
755: 구동 연결부
GT: 게이트
EP: 배기 장치
LA: 레이저 조사 장치

Claims (19)

1. 하부 하우징;
   상기 하부 하우징으로부터 위로 이격되는 상부 하우징;
   상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 위치하는 가열기;
   상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 적어도 일부가 선택적으로 삽입되는 이동부; 및
   상기 하부 하우징 및 상기 상부 하우징의 외부에 위치하며, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 를 포함하되,
   상기 이동부는:
   상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 삽입되는 작업 지지대; 및
   상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시키는 연결부; 를 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 하부 하우징은:
   하부 판; 및
   상기 하부 판으로부터 위로 일정 길이 돌출되는 하부 차단 벽; 을 포함하고,
   상기 상부 하우징은:
   상부 판; 및
   상기 상부 판으로부터 아래로 일정 길이 돌출되는 상부 차단 벽; 을 포함하되,
   상기 하부 차단 벽 및 상기 상부 차단 벽의 각각은 상기 제1 방향으로 연장되며,
   상기 상부 차단 벽은 상기 하부 차단 벽으로부터 위로 일정 거리 이격되고,
   상기 연결부는 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되는 구동 연결 부재를 포함하되,
   상기 구동 연결 부재는 상기 하부 차단 벽과 상기 상부 차단 벽 사이의 공간을 관통하여 상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시키는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 하부 하우징은 상기 하부 차단벽의 상측에 결합되는 하부 열차단부를 더 포함하고,
   상기 상부 하우징은 상기 상부 차단벽의 하측에 결합되는 상부 열차단부를 더 포함하며,
   상기 하부 열차단부 및 상기 상부 열차단부의 각각은 유연 섬유들 또는 스테인레스 섬유들을 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 구동부는:
   상기 제1 방향으로 연장되는 구동 축;
   상기 구동 축에 연결되어 상기 구동 축을 따라 상기 제1 방향으로 이동 가능한 구동 결합체; 및
   상기 구동 축을 회전시키는 구동 장치; 를 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 연결부는 상기 구동 연결 부재에 결합되는 결합 부재를 더 포함하고,
   상기 결합 부재는 상기 구동 결합체에 선택적으로 연결되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 구동 결합체는:
   상기 결합 부재에 선택적으로 연결되는 대응 결합 부재; 및
   상기 대응 결합 부재를 상하로 이동시키는 결합 구동 장치; 를 포함하되,
   상기 결합 부재는 아래로 갈수록 좁아지는 형상을 포함하고,
   상기 대응 결합 부재는 아래로 갈수록 좁아지는 형상을 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 하부 하우징의 측면에 위치하되 상기 제1 방향으로 연장되는 외부 레일; 및
   상기 외부 레일 상에 위치하는 외부 베어링들; 을 더 포함하되,
   상기 외부 베어링들은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되고,
   상기 이동부는 상기 외부 베어링들 상에 배치되어 상기 제1 방향으로 연장되는 이동 레일을 더 포함하되,
   상기 이동 레일은 상기 연결부에 의해 상기 작업 지지대에 연결되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 연결부는 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되어 상기 이동 레일과 상기 작업 지지대의 각각에 결합되는 지지 연결 부재를 더 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
9. 제 7 항에 있어서,
   상기 외부 베어링들의 각각의 표면은 플라스틱 또는 고무로 이루어진 진공 유리 모듈 제조 장치.
   
10. 유입부;
    상기 유입부에 연결되는 온도 상승부;
    상기 온도 상승부에 연결되는 온도 하강부; 및
    상기 온도 하강부에 연결된 유출부; 를 포함하되,
    상기 온도 상승부는 제1 방향으로 배열되는 복수 개의 가열 챔버를 포함하며,
    상기 복수 개의 가열 챔버의 각각은 가열기를 포함하고,
    상기 온도 하강부는:
    상기 제1 방향으로 배열되는 복수 개의 냉각 챔버;
    배기 장치; 및
    복수 개의 레이저 조사 장치; 를 포함하되,
    상기 복수 개의 냉각 챔버의 각각은 가열기를 포함하며,
    상기 복수 개의 냉각 챔버 중 하나는 배기 냉각 챔버이고,
    상기 배기 장치는 상기 배기 냉각 챔버에 결합되며,
    상기 복수 개의 레이저 조사 장치의 각각은 상기 복수 개의 냉각 챔버 중 적어도 하나 이상에 결합되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수 개의 냉각 챔버의 개수는 상기 복수 개의 가열 챔버의 개수보다 같거나 많은 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
12. 제 10 항에 있어서,
    상기 배기 냉각 챔버는, 상기 배기 냉각 챔버의 내부 공간이 외부와 연결되도록 상기 배기 냉각 챔버의 바닥에 형성된 배기 구멍을 제공하되,
    상기 배기 장치는 상기 배기 구멍에 결합되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
13. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수 개의 가열 챔버의 각각 및 상기 복수 개의 냉각 챔버의 각각은:
    하부 하우징; 및
    상기 하부 하우징으로부터 위로 이격되는 상부 하우징; 을 포함하되,
    상기 하부 하우징은:
    하부 판; 및
    상기 하부 판으로부터 위로 일정 길이 돌출되는 하부 차단 벽; 을 포함하고,
    상기 상부 하우징은:
    상부 판; 및
    상기 상부 판으로부터 아래로 일정 길이 돌출되는 상부 차단 벽; 을 포함하되,
    상기 하부 차단 벽 및 상기 상부 차단 벽의 각각은 상기 제1 방향으로 연장되며,
    상기 상부 차단 벽은 상기 하부 차단 벽으로부터 위로 일정 거리 이격되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 적어도 일부가 선택적으로 삽입되는 이동부; 및
    상기 하부 하우징 및 상기 상부 하우징의 외부에 위치하며, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 상기 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 를 더 포함하되,
    상기 이동부는:
    상기 하부 하우징과 상기 상부 하우징 사이에 삽입되는 작업 지지대; 및
    상기 작업 지지대와 상기 구동부를 연결시키는 연결부; 를 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
15. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수 개의 가열 챔버 및 상기 복수 개의 냉각 챔버 중 이웃한 두 개의 챔버 사이에 위치하는 게이트를 더 포함하는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
16. 제 13 항에 있어서,
    상기 복수 개의 레이저 조사 장치 중 적어도 하나는 상기 배기 냉각 챔버에 결합되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
17. 제 16 항에 있어서,
    상기 배기 냉각 챔버는, 상기 배기 냉각 챔버의 내부 공간이 외부와 연결되도록 상기 배기 냉각 챔버의 상부 판에 형성된 레이저 구멍을 제공하되,
    상기 복수 개의 레이저 조사 장치 중 상기 배기 냉각 챔버에 결합되는 레이저 조사 장치는 상기 레이저 구멍에 결합되는 진공 유리 모듈 제조 장치.
    
18. 예비 진공 유리 모듈을 준비하는 것;
    상기 예비 진공 유리 모듈을 가열하는 것; 및
    상기 예비 진공 유리 모듈을 냉각하는 것; 을 포함하되,
    상기 예비 진공 유리 모듈을 가열하는 것은 상온 상태의 상기 예비 진공 유리 모듈의 온도를 n번의 가열을 통해 상승시키는 것을 포함하고,
    상기 예비 진공 유리 모듈을 냉각하는 것은:
    가열된 상기 예비 진공 유리 모듈의 온도를 m번의 냉각을 통해 상온 상태로 만드는 것; 및
    상기 예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것; 을 포함하되,
    상기 예비 진공 유리 모듈 내 단열 공간의 압력을 낮추는 것은:
    상기 단열 공간 내 공기를 외부로 배출하는 것; 및
    상기 예비 진공 유리 모듈 내의 게터에 레이저를 조사하는 것; 을 포함하고,
    상기 m은 상기 n보다 같거나 큰 진공 유리 모듈 제조 방법.
    
19. 제 18 항에 있어서,
    상기 예비 진공 유리 모듈을 준비하는 것은:
    제1 유리 패널의 상면 중 적어도 일부 영역에 페이스트를 도포하고 건조하는 것; 및
    상기 페이스트가 도포된 상기 제1 유리 패널 상에 스페이서를 배열하고 제2 유리 패널을 덮는 것; 을 포함하는 진공 유리 모듈 제조 방법.
    

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