KR20220122425A - 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치 - Google Patents

코터의 슬릿노즐 자동 세정장치 Download PDF

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Abstract

코터의 슬릿노즐 자동 세정장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 안착되는 테이블, 및 상기 테이블 상에서 제1 수평방향으로 이동하면서 기판 표면에 약액을 도포하는 슬릿노즐을 포함하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치에 있어서, 상기 슬릿노즐에 제2 수평방향으로 연장되게 형성되는 토출구에 삽입되는 박판; 상기 박판을 상하방향으로 이송하는 상하이송부; 상기 박판을 제1 수평방향으로 이송하는 제1 수평이송부; 상기 박판을 제2 수평방향으로 이송하는 제2 수평이송부; 상기 제1 수평이송부에 의해 이송되고, 상기 제2 수평이송부가 탑재되는 제1 플랫폼; 상기 제1 플랫폼에 회전 가능하게 결합되어, 상기 토출구를 촬영하는 카메라; 상기 토출구 전체가 나누어 촬영될 수 있도록 상기 카메라를 회전시키는 회전구동부; 및 상기 카메라에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하고, 상기 상하이송부, 상기 제1 수평이송부, 상기 제2 수평이송부 및 상기 회전구동부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제1 수평이송부의 구동 중에 상기 카메라에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하여 상기 박판과 상기 토출구 간 정렬 여부를 판단하고, 상기 박판이 상기 토출구에 정렬된 것으로 판단되면 상기 제1 수평이송부를 정지시킨 후 상기 회전구동부를 구동하여 상기 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 획득하고, 상기 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 분석하여 상기 토출구에서 약액 응고 영역을 추출하고, 상기 박판이 상기 토출구에 삽입되어 상기 제2 수평방향으로 이동할 수 있도록 상기 상하이송부 및 상기 제2 수평이송부를 제어하되 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 이송 속도를 변경하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치를 제공할 수 있다.

Description

코터의 슬릿노즐 자동 세정장치{AUTOMATIC CLEANING DEVICE FOR SLIT NOZZLE OF COATER}
본 발명은 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치에 관한 것이다.
LCD, OLED 등과 같은 평판 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등과 같은 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다.
특히, 대형 기판의 코팅 공정에는 슬릿노즐을 구비한 코터(coater)가 사용되고 있다.
여기서, 슬릿노즐은 기판의 폭에 상응하는 길이를 갖는 슬릿 형상의 토출구를 구비한다.
이와 같은 코터를 사용하게 되면 슬릿노즐이 기판의 길이 방향으로 이동하면서 기판의 전체 폭에 걸쳐 약액을 균일하게 도포할 수 있는 장점이 있지만, 예를 들어 장시간 대기하는 경우 슬릿노즐의 토출구 내의 일부 영역에서 약액이 응고될 수 있는 문제가 있었다.
종래 이러한 문제를 해결하기 위해, 작업자가 직접 박판 필름을 슬릿노즐의 토출구에 삽입하여 약액이 응고된 것을 긁어내었지만, 약액은 인체에 유해한 물질로서 암을 유발할 수 있고, 작업자는 보호구를 착용하고 세정 작업을 수행함에도 불구하고 언제든지 위험에 노출될 수 있는 문제가 있었다. 이에 따라, 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치가 개발되기도 하였지만, 약액이 응고된 영역을 식별하는 수단이 구비되지 않아 세정 작업이 일률적으로 이루어져 세정 효율이 떨어지는 문제가 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1279002호(2013.07.02, 기판 코터 장치의 슬릿 노즐의 토출구 세정 기가 및 그 방법)
본 발명의 실시 예는 슬릿노즐의 토출구에서 약액 응고 영역을 추출할 수 있고 그 결과에 따라 세정 작업을 다르게 수행할 수 있는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 안착되는 테이블, 및 상기 테이블 상에서 제1 수평방향으로 이동하면서 기판 표면에 약액을 도포하는 슬릿노즐을 포함하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치에 있어서, 상기 슬릿노즐에 제2 수평방향으로 연장되게 형성되는 토출구에 삽입되는 박판; 상기 박판을 상하방향으로 이송하는 상하이송부; 상기 박판을 제1 수평방향으로 이송하는 제1 수평이송부; 상기 박판을 제2 수평방향으로 이송하는 제2 수평이송부; 상기 제1 수평이송부에 의해 이송되고, 상기 제2 수평이송부가 탑재되는 제1 플랫폼; 상기 제1 플랫폼에 회전 가능하게 결합되어, 상기 토출구를 촬영하는 카메라; 상기 토출구 전체가 나누어 촬영될 수 있도록 상기 카메라를 회전시키는 회전구동부; 및 상기 카메라에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하고, 상기 상하이송부, 상기 제1 수평이송부, 상기 제2 수평이송부 및 상기 회전구동부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제1 수평이송부의 구동 중에 상기 카메라에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하여 상기 박판과 상기 토출구 간 정렬 여부를 판단하고, 상기 박판이 상기 토출구에 정렬된 것으로 판단되면 상기 제1 수평이송부를 정지시킨 후 상기 회전구동부를 구동하여 상기 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 획득하고, 상기 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 분석하여 상기 토출구에서 약액 응고 영역을 추출하고, 상기 박판이 상기 토출구에 삽입되어 상기 제2 수평방향으로 이동할 수 있도록 상기 상하이송부 및 상기 제2 수평이송부를 제어하되 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 이송 속도를 변경하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치를 제공할 수 있다.
상기 제어부는 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 상기 박판의 이송 속력을 변경할 수 있다.
상기 제어부는 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 상기 박판의 이송 방향을 짝수 횟수만큼 변경할 수 있다.
상기 카메라는 상기 박판과 함께 상기 토출구에 정렬될 수 있다.
상기 제2 수평방향은 상기 제1 수평방향에 수직한 방향이고, 상기 카메라는 상기 제1 수평방향으로 연장되는 제1 회전축을 통해 상기 제1 플랫폼에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2 수평이송부에 의해 이송되고, 상기 상하이송부가 탑재되는 제2 플랫폼을 더 포함하고, 상기 카메라는 상기 제2 수평방향을 따라 상기 제2 플랫폼과 상기 토출구 사이에 배치 가능할 수 있다.
상기 제2 플랫폼은 상기 카메라와 간섭되지 않도록 상기 카메라의 상측 공간을 가로질러 이송될 수 있다.
상기 제2 수평이송부는, 상기 제1 플랫폼에 탑재되는 모터; 및 상기 모터에 의한 회전 운동을 상기 제2 플랫폼의 직선 운동으로 변환하는 동력전달부를 포함할 수 있다.
상기 모터의 제2 회전축에 작용하는 토크를 감지하는 토크센서를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 박판이 상기 토출구에서 약액 응고 영역으로 추출되지 않은 영역을 통과할 때에 상기 토크센서에서 감지된 토크가 기 설정값 이상으로 증가하면 해당 영역을 약액 응고 영역으로 판단할 수 있다.
상기 동력전달부는, 상기 모터의 제2 회전축에 형성되어 상기 제2 플랫폼에 체결되는 볼스크류; 및 상기 제1 플랫폼에 결합되어 상기 제2 플랫폼의 직선 운동을 안내하는 가이드 바를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 획득할 수 있어 이를 분석하여 약액 응고 영역을 추출할 수 있고, 해당 영역에서 박판의 이송 속도를 변경함으로써, 세정 작업이 일률적으로 이루어져 세정 효율이 떨어지는 문제를 개선할 수 있다.
또한, 카메라는 단순히 박판과 토출구 간 정렬 여부 판단에 활용되는 것에 그치지 않고, 회전구동부와의 결합을 통해 토출구 전체에서 약액 응고 영역을 추출하는데도 활용될 수 있는 점에서 기술적 특징이 있다.
도 1 및 도 2는 코터를 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 I - I에서의 단면도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치의 평면도이고,
도 5는 도 4의 일부 확대도이고,
도 6은 도 4의 II - II에서의 단면도이고,
도 7은 제어부를 도시한 블록다이어그램이고,
도 8 내지 도 12는 도 4의 슬릿노즐 자동 세정장치에 의한 세정작업을 설명하기 위한 도면이고,
도 13은 도 9의 카메라에 의한 복수의 촬영 이미지를 기초로 생성되는 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
본 발명의 실시 예에서 사용되는 용어는, 명백히 다른 의미로 정의되어 있지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 단지 특정 실시 예를 설명하기 위한 것으로 볼 것이지 본 발명을 제한하고자 하는 의도가 있는 것은 아니다.
본 명세서에서, 단수형은 특별한 기재가 없는 한 복수형도 포함하는 것으로 볼 것이다.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 기재된 경우, 해당 부분은 다른 구성요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미한다.
또한, 어떤 구성요소 "상"으로 기재된 경우, 해당 구성요소의 위 또는 아래를 의미하고, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결" 또는 "결합"된다고 기재된 경우, 해당 구성요소가 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 결합되는 경우뿐만 아니라, 해당 구성요소가 또 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결 또는 결합되는 경우도 포함할 수 있다.
또한, 어떤 구성요소를 설명하는데 있어서 제1, 제2 등의 용어를 사용할 수 있지만, 이러한 용어는 해당 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등을 한정하고자 하는 것은 아니다.
도 1 및 도 2는 코터를 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 I - I에서의 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 코터(10)는 테이블(11) 및 슬릿노즐(13)을 포함할 수 있다.
테이블(11) 상에는 유리 등으로 제작된 피처리 기판(G)이 안착될 수 있다. 피처리 기판(G)은 예를 들어 LCD, OLED 등과 같은 평판 디스플레이를 제조하는데 사용될 수 있다.
테이블(11)에는 피처리 기판(G)을 고정하기 위한 진공 흡착 장치가 구비될 수도 있다.
슬릿노즐(13)은 테이블(11) 상에서 제1 수평방향(X 방향)으로 이동하면서 피처리 기판(G)의 표면에 예를 들어 레지스트액 등과 같은 약액을 도포할 수 있다.
이를 위해, 슬릿노즐(13)의 하부에는 제2 수평방향(Y 방향)으로 연장되는 슬릿 형상으로 이루어져 약액을 분사하는 토출구(13a)가 형성될 수 있다. 제2 수평방향은 제1 수평방향에 수직한 방향일 수 있다.
예를 들어, 토출구(13a)는 피처리 기판(G)의 폭(W)에 상응하는 길이를 가질 수 있다.
한편, 슬릿노즐(13)의 상부에는 약액 저장 탱크가 형성될 수도 있다. 약액 저장 탱크는 약액 공급관을 통해 외부에서 약액을 공급받아 저장할 수 있고, 슬릿노즐(13) 내에 형성되는 복수의 유로를 통해 토출구(13a)에 연결될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치의 평면도이고, 도 5는 도 4의 일부 확대도이고, 도 6은 도 4의 II - II에서의 단면도이고, 도 7은 제어부를 도시한 블록다이어그램이다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치(20)는 코터(10)의 슬릿노즐(13), 구체적으로 토출구(13a)를 자동 세정하기 위한 장치로서, 박판(100), 제1 플랫폼(110), 제2 플랫폼(120), 제1 수평이송부(210), 제2 수평이송부(220), 상하이송부(300), 카메라(400), 회전구동부(500) 및 제어부(600)를 포함할 수 있다.
박판(100)은 토출구(13a)에 삽입되어 토출구(13a)에 응고된 약액을 긁어낼 수 있다.
박판(100)은 제1 수평방향에 수직한 판상 필름일 수 있고, 박판(100)의 두께는 토출구(13a)의 제1 수평방향으로의 폭보다 작을 수 있다. 예를 들어, 박판(100)의 두께는 60㎛일 수 있고, 토출구(13a)의 제1 수평방향으로의 폭은 80㎛ ~ 120㎛일 수 있다.
제1 플랫폼(110)은 제1 수평이송부(210)에 의해 제1 수평방향으로 이송될 수 있고, 제1 플랫폼(110)에는 제2 수평이송부(220)가 탑재될 수 있다.
제2 플랫폼(120)은 제2 수평이송부(220)에 의해 제2 수평방향으로 이송될 수 있다.
제1 수평이송부(210)는 예를 들어 테이블(11)이 고정되는 코터 본체에 탑재되는 제1 모터(211), 및 제1 모터(211)에 의한 회전 운동을 제1 플랫폼(110)의 직선 운동으로 변환하는 제1 볼스크류(212)를 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 수평이송부(220)는 제1 플랫폼(110)에 탑재되는 제2 모터(221), 및 제2 모터(221)에 의한 회전 운동을 제2 플랫폼(120)의 직선 운동으로 변환하는 동력전달부(222)를 포함할 수 있다.
동력전달부(222)는 제2 모터(221)의 제2 회전축(221a)에 형성되어 제2 플랫폼(120)에 체결되는 제2 볼스크류(222a), 및 제1 플랫폼(110)에 결합되어 제2 플랫폼(120)의 직선 운동을 안내하는 가이드 바(222b)를 포함할 수 있다.
상하이송부(300)는 제2 플랫폼(120)에 탑재되어 박판(100)을 상하방향(Z 방향)으로 이송할 수 있다. 상하방향은 제1 수평방향 및 제2 수평방향에 수직한 방향일 수 있다.
상하이송부(300)는 공압실린더 또는 유압실린더일 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
카메라(400)는 제1 플랫폼(110)에 결합될 수 있고, 제1 수평방향으로 이송되어 슬릿노즐(13)의 직 하부에 배치되면 토출구(13a)를 촬영할 수 있다. 카메라(400)의 렌즈(400a)는 제1 수평방향에 수직한 방향, 예를 들어 상하방향을 향해 배치될 수 있다.
특히, 카메라(400)는 제1 수평방향으로 연장되는 제1 회전축(520)을 통해 제1 플랫폼(110)에 회전 가능하게 결합될 수 있고, 회전구동부(500)에 의해 회전할 수 있다.
예를 들어, 회전구동부(500)는 제1 플랫폼(110)에 탑재되는 제3 모터(510)를 포함할 수 있고, 제1 회전축(520)은 카메라(400)에 결합되어 제3 모터(510)에 의해 회전할 수 있다.
따라서, 카메라(400)는 회전구동부(500)에 의해 회전하면서 토출구(13a) 전체를 복수의 영역으로 나누어 촬영할 수 있고, 이를 기초로 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지가 생성될 수 있다.
또한, 카메라(400)는 박판(100)이 제1 수평이송부(210)에 의해 이송되어 토출구(13a)에 정렬될 때에 마찬가지로 토출구(13a)에 정렬될 수도 있다. 따라서, 박판(100)의 정렬과 카메라(400)의 정렬이 한 번에 이루어져 이송 제어가 간단해질 수 있다.
또한, 카메라(400)는 제2 수평방향을 따라 제2 플랫폼(120)과 토출구(13a) 사이에 배치될 수도 있다.
예를 들어, 카메라(400)는 토출구(13a)가 형성된 영역(A)의 외측에 배치될 수 있다.
따라서, 제2 플랫폼(120)에 의해 촬영이 방해 받거나, 카메라(400)가 토출구(13a)에서 의도하지 않게 낙하하는 약액에 의해 오염될 수 있는 가능성을 줄일 수 있다.
카메라(400)의 촬영 시 토출구(13a)가 제2 플랫폼(120)에 의해 가려질 수 있는 문제를 예방할 수 있다. 이 경우, 제2 플랫폼(120)은 제2 수평이송부(220)에 의한 이송 시에 카메라(400)와 간섭, 즉 충돌하지 않도록 카메라(400)의 상측 공간을 가로질러 이송될 수 있다. 예를 들어, 제2 플랫폼(120)과 카메라(400)는 상하 방향으로 상호간에 이격되도록 배치될 수 있다.
그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 카메라(400)는 제2 플랫폼(120)에 결합되어 토출구(13a)를 따라 이동하면서 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지를 생성할 수도 있다.
제어부(600)는 카메라(400)에서 생성되는 촬영 이미지를 수신하여 이를 분석함으로써 박판(100)과 토출구(13a) 간 정렬 여부를 판단하거나 토출구(13a)에서 약액 응고 영역의 위치를 추출할 수 있고, 제1 수평이송부(210), 제2 수평이송부(220), 상하이송부(300) 및 회전구동부(500)를 제어하여 토출구(13a)의 세정 작업을 수행할 수 있다.
또한, 제어부(600)는 토크센서(700)에서 감지된 토크 정보를 기초로 촬영 이미지 분석을 통해 누락될 수도 있는 약액 응고 영역을 추가로 확인할 수 있다. 구체적으로, 토크센서(700)는 제2 모터(221) 또는 제2 회전축(221a)에 설치되어 제2 회전축(221a)에 작용하는 토크를 감지할 수 있고, 제어부(600)는 박판(100)이 토출구(13a)에서 약액 응고 영역으로 추출되지 않은 영역을 통과할 때에 토크센서(700)에서 감지된 토크가 기 설정값 이상으로 증가하면 해당 영역을 약액 응고 영역으로 판단할 수 있다.
제어부(600)가 약액 응고 영역으로 판단하는 기준이 되는 토크는 박판(100)이 약액 응고 영역으로 판단된 영역을 통과할 때에 토크센서(700)에서 감지되는 토크를 기초로 동일하거나 이보다 약간 작은 값으로 설정될 수 있다.
한편, 제어부(600)는 박판(100)의 이미지가 포함된 카메라(400)의 촬영 이미지를 분석하여 박판(100)의 손상 여부를 판단할 수도 있고, 그 결과 박판(100)이 손상된 것으로 판단하면 알람을 발생시켜 작업자가 박판(100)을 교체하게 할 수도 있다.
도 8 내지 도 12는 도 4의 슬릿노즐 자동 세정장치에 의한 세정작업을 설명하기 위한 도면이다.
도 8을 참조하면, 제어부(600)는 세정 작업의 개시 신호가 입력되면 제1 수평이송부(210)를 구동하여 제1 플랫폼(110)을 제1 수평방향으로 이송시킬 수 있고, 제1 플랫폼(110)의 이송 중에 기 설정된 주기로 촬영 이미지를 생성하도록 카메라(400)를 구동할 수 있다.
또한, 제어부(600)는 카메라(400)에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하여 박판(100)과 토출구(13a) 간 정렬 여부를 판단할 수 있고, 박판(100)이 토출구(13a)에 정렬된 것으로 판단되면 제1 수평이송부(210)를 정지시킬 수 있다.
도 9를 참조하면, 제어부(600)는 박판(100)이 토출구(13a)에 정렬되어 제1 수평이송부(210)를 정지시킨 후에는 회전구동부(500)를 구동하여 카메라(400)를 회전시킬 수 있고, 카메라(400)의 회전 중에 기 설정된 주기로 촬영 이미지를 생성하도록 카메라(400)를 구동하여 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지를 획득할 수 있으며, 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지를 분석하여 토출구(13a)에서 약액 응고 영역을 추출할 수 있다.
도 10 내지 도 12를 참조하면, 제어부(600)는 박판(100)이 토출구(13a)에 삽입되어 제2 수평방향으로 이동하도록 제2 수평이송부(220) 및 상하이송부(300)를 제어할 수 있다.
구체적으로, 제어부(600)는 박판(100)이 토출구(13a)가 형성된 영역(A)의 제1 단 하부에 배치되도록 제2 수평이송부(220)를 구동하여 제2 플랫폼(120)을 이송시킨 후(도 10 참조), 박판(100)이 토출구(13a)에 삽입되도록 상하이송부(300)를 구동하여 박판(100)을 승강시킬 수 있으며(도 11 참조), 박판(100)이 토출구(13a)에 삽입된 상태에서 토출구(13a)가 형성된 영역(A)의 타단까지 이동하도록 제2 수평이송부(220)를 구동하여 제2 플랫폼(120)을 이송시킬 수 있다(도 12 참조).
특히, 제어부(600)는 박판(100)이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 제2 수평이송부(220)를 제어하여 박판(100)의 이송 속도를 변경할 수 있다.
일 예로, 제어부(600)는 박판(100)이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 제2 수평이송부(220)를 제어하여 박판(100)의 이송 속력을 변경, 예를 들어 감소시킬 수 있다.
예를 들어, 박판(100)은 약액 응고 영역에 진입할 때에 감속될 수 있고, 약액 응고 영역을 통과한 후에는 원래의 속력으로 복귀하도록 증속될 수 있다.
다른 예로, 제어부(600)는 박판(100)이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 제2 수평이송부(220)를 제어하여 박판(100)의 이송 방향을 짝수 횟수, 예를 들어 2회만큼 변경할 수 있다.
예를 들어, 박판(100)은 약액 응고 영역을 1차로 통과한 후 이송 방향이 역전되어 해당 약액 응고 영역에 재차 진입할 수 있고, 해당 약액 응고 영역을 2차로 통과한 후에는 이송 방향이 재차 역전되어 해당 약액 응고 영역에 재차 진입할 수 있으며, 해당 약액 응고 영역을 3차로 통과한 후에는 이송 방향을 그대로 유지하여 아직 세정 작업이 이루어지지 않은 나머지 영역으로 이동할 수 있다. 따라서, 박판(100)은 약액 응고 영역만을 반복하여 통과함으로써 세정 작업이 일률적으로 이루어지는 것이 아니라 선택적이고 집중적으로 이루어지게 하여 세정 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.
제어부(600)는 박판(100)에 의한 세정 작업이 모두 완료되면 제1 수평이송부(210), 제2 수평이송부(220) 및 상하이송부(300)를 제어하여 박판(100)을 대기 위치로 복귀시킬 수 있고, 샤워 유닛 등에 의해 세정장치(20)에 대한 세척 작업이 이루어질 수 있다.
한편, 제어부(600)는 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지를 획득한 후부터 박판(100)에 의한 세정 작업이 모두 완료될 때까지 슬릿노즐(13)을 구동하여 토출구(13a)를 통해 약액 또는 세정액이 토출되게 함으로써 박판(100)에 의한 세정 작업의 효율을 더욱 향상시킬 수도 있다.
도 13은 도 9의 카메라에 의한 복수의 촬영 이미지를 기초로 생성되는 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 13을 참조하면, 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지에는 토출구(13a) 전체와 약액이 응고된 것(B)에 대한 이미지가 포함될 수 있고, 제어부(600)는 토출구(13a) 전체에 대한 촬영 이미지를 분석하여 약액이 응고된 것(B)이 위치한 영역을 약액 응고 영역으로 추출할 수 있다.
또한, 슬릿노즐(13)의 하부에는 토출구(13a) 전체를 복수의 영역으로 구분한 숫자 등의 영역 구분용 마킹이 표시되어 약액 응고 영역의 추출을 용이하게 할 수도 있다.
여기서, 복수의 마킹은 카메라(400)에 의해 촬영된 이미지에 토출구(13a)와 함께 포함될 수 있도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 제어부(600)는 이미지 분석을 통해 마킹 2와 마킹 3 사이의 영역과 마킹 8과 마킹 9 사이의 영역을 각각 약액 응고 영역으로 추출할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 청구범위에 기재된 본 발명의 기술사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 구성요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 실시 예를 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10: 코터 11: 테이블
13: 슬릿노즐 13a: 토출구
20: 슬릿노즐 자동 세정장치 100: 박판
110: 제1 플랫폼 120: 제2 플랫폼
210: 제1 수평이송부 211: 제1 모터
212: 제1 볼스크류 220: 제2 수평이송부
221: 제2 모터 221a: 제2 회전축
222: 동력전달부 222a: 제2 볼스크류
222b: 가이드 바 300: 상하이송부
400: 카메라 400a: 렌즈
500: 회전구동부 510: 제3 모터
520: 제1 회전축 600: 제어부
700: 토크센서

Claims (10)

  1. 기판이 안착되는 테이블, 및 상기 테이블 상에서 제1 수평방향으로 이동하면서 기판 표면에 약액을 도포하는 슬릿노즐을 포함하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치에 있어서,
    상기 슬릿노즐에 제2 수평방향으로 연장되게 형성되는 토출구에 삽입되는 박판;
    상기 박판을 상하방향으로 이송하는 상하이송부;
    상기 박판을 제1 수평방향으로 이송하는 제1 수평이송부;
    상기 박판을 제2 수평방향으로 이송하는 제2 수평이송부;
    상기 제1 수평이송부에 의해 이송되고, 상기 제2 수평이송부가 탑재되는 제1 플랫폼;
    상기 제1 플랫폼에 회전 가능하게 결합되어, 상기 토출구를 촬영하는 카메라;
    상기 토출구 전체가 나누어 촬영될 수 있도록 상기 카메라를 회전시키는 회전구동부; 및
    상기 카메라에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하고, 상기 상하이송부, 상기 제1 수평이송부, 상기 제2 수평이송부 및 상기 회전구동부를 제어하는 제어부를 포함하고,
    상기 제어부는 상기 제1 수평이송부의 구동 중에 상기 카메라에서 생성되는 촬영 이미지를 분석하여 상기 박판과 상기 토출구 간 정렬 여부를 판단하고, 상기 박판이 상기 토출구에 정렬된 것으로 판단되면 상기 제1 수평이송부를 정지시킨 후 상기 회전구동부를 구동하여 상기 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 획득하고, 상기 토출구 전체에 대한 촬영 이미지를 분석하여 상기 토출구에서 약액 응고 영역을 추출하고, 상기 박판이 상기 토출구에 삽입되어 상기 제2 수평방향으로 이동할 수 있도록 상기 상하이송부 및 상기 제2 수평이송부를 제어하되 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 이송 속도를 변경하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 상기 박판의 이송 속력을 변경하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 박판이 약액 응고 영역을 통과할 때에는 상기 박판의 이송 방향을 짝수 횟수만큼 변경하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 박판과 함께 상기 토출구에 정렬되는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 수평방향은 상기 제1 수평방향에 수직한 방향이고,
    상기 카메라는 상기 제1 수평방향으로 연장되는 제1 회전축을 통해 상기 제1 플랫폼에 회전 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제2 수평이송부에 의해 이송되고, 상기 상하이송부가 탑재되는 제2 플랫폼을 더 포함하고,
    상기 카메라는 상기 제2 수평방향을 따라 상기 제2 플랫폼과 상기 토출구 사이에 배치 가능한 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 플랫폼은 상기 카메라와 간섭되지 않도록 상기 카메라의 상측 공간을 가로질러 이송되는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제2 수평이송부는,
    상기 제1 플랫폼에 탑재되는 모터; 및
    상기 모터에 의한 회전 운동을 상기 제2 플랫폼의 직선 운동으로 변환하는 동력전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 모터의 제2 회전축에 작용하는 토크를 감지하는 토크센서를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 박판이 상기 토출구에서 약액 응고 영역으로 추출되지 않은 영역을 통과할 때에 상기 토크센서에서 감지된 토크가 기 설정값 이상으로 증가하면 해당 영역을 약액 응고 영역으로 판단하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 동력전달부는,
    상기 모터의 제2 회전축에 형성되어 상기 제2 플랫폼에 체결되는 볼스크류; 및
    상기 제1 플랫폼에 결합되어 상기 제2 플랫폼의 직선 운동을 안내하는 가이드 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 코터의 슬릿노즐 자동 세정장치.
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