KR20220051804A - 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 과제는, 버를 갖지 않는 증착 마스크 및 버가 형성되지 않는 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것이다.
증착 마스크의 제조 방법은, 지지 기판의 제1 면에 개구 패턴을 갖는 마스크 본체를 형성하고, 마스크 본체 위에 마스크 프레임을 배치하고, 지지 기판의 제1 면과 반대측인 제2 면에 강자성체를 포함하는 임시 고정구를 배치하고, 임시 고정구의 자력에 의해 마스크 본체에 대해 마스크 프레임을 고정하고, 마스크 본체와 마스크 프레임을 접속하는 접속부를 형성하고, 임시 고정구 및 지지 기판을 분리한다.
증착 마스크의 제조 방법은, 지지 기판의 제1 면에 개구 패턴을 갖는 마스크 본체를 형성하고, 마스크 본체 위에 마스크 프레임을 배치하고, 지지 기판의 제1 면과 반대측인 제2 면에 강자성체를 포함하는 임시 고정구를 배치하고, 임시 고정구의 자력에 의해 마스크 본체에 대해 마스크 프레임을 고정하고, 마스크 본체와 마스크 프레임을 접속하는 접속부를 형성하고, 임시 고정구 및 지지 기판을 분리한다.
Description
본 발명은, 증착 마스크에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 증착 마스크의 제조 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 박막상의 마스크 본체를 구비한 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL(Electroluminescence) 표시 장치는, 플랫 패널형 표시 장치 중 하나이다. 유기 EL 표시 장치에서는, 각 화소에 유기 EL 소자가 마련된다. 유기 EL 소자는 애노드 전극 및 캐소드 전극으로 이루어지는 한 쌍의 전극 사이에, 유기 EL 재료를 포함하는 층(이하, 「유기 EL층」이라고 함)을 끼운 구조를 갖는다. 유기 EL층은, 발광층, 전자 주입층, 또는 정공 주입층 등의 기능층으로 구성된다. 유기 EL 소자는, 발광층의 유기 재료의 선택에 의해 다양한 파장의 색으로 발광시키는 것이 가능하다.
유기 EL 재료가 저분자 화합물인 경우, 유기 EL층에는, 진공 증착법을 사용하여 박막이 형성된다. 진공 증착법에 있어서는, 증착 재료가, 고진공 하에서 히터에 의해 가열되어, 승화된다. 승화된 증착 재료를, 기판의 표면에 퇴적(증착)시킴으로써 박막이 형성된다. 또한, 진공 증착법에 있어서는, 다수의 미세한 개구 패턴을 갖는 마스크(증착 마스크)를 사용함으로써 개구 패턴에 대응한 고정세의 박막 패턴을 형성할 수 있다.
증착 마스크는, 제조 방법으로부터 분류할 수 있으며, 에칭으로 패터닝된 파인 메탈 마스크(FMM)와, 전기 주조 기술을 사용하는 일렉트로 파인 포밍 마스크(EFM)로 크게 나눌 수 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에는, 미세한 개구 패턴을 갖는 마스크 본체를 전기 주조로 형성한 후, 또한 전기 주조를 사용하여, 마스크 본체와 마스크 프레임을 접속하는 증착 마스크의 제조 방법이 개시되어 있다.
종래의 EFM의 제조 방법에 있어서는, 증착 마스크의 피증착 기판과 대향하는 면에 버(보다 구체적으로는, 마스크 본체의 면으로부터 돌출된 돌기)가 발생한다. 증착 마스크에 버가 있는 경우, 증착 시에, 버가 피증착 기판과 접하여, 피증착 기판을 손상시키는 경우가 있다. 그 결과, 피증착 기판 위에 형성된 소자가 파괴되는 경우가 있다. 또한, 증착 마스크와 피증착 기판 사이에 간극이 발생하여, 피증착 기판 위에 형성되는 증착 패턴이 흐려져 버리는 경우가 있다. 이들 현상은, 최종적으로는 표시 장치의 결함이 되기 때문에, 표시 장치의 수율을 저하시키는 요인이 되고 있었다. 따라서, 종래의 증착 마스크의 제조 방법에 있어서는, 증착 마스크의 버를 커터 등으로 절단하여, 증착 마스크로부터 버를 제거하는 공정이 필요하였다.
증착 마스크로부터 버를 제거하는 공정은, 일반적으로는 수작업으로 행해진다. 즉, 작업자가, 증착 마스크의 버의 위치를 현미경으로 확인하고, 버를 절단한다. 따라서, 증착 마스크로부터 버를 제거하는 공정에 있어서는, 작업자의 숙련도에 따라 작업 시간이 다를 뿐만 아니라, 작업자의 숙련도에 따라 증착 마스크의 품질이 다르다고 하는 문제가 있었다. 또한, 증착 마스크로부터 절단된 버가, 이물로서 증착 마스크에 부착된다고 하는 문제도 있었다.
본 발명은, 상기 문제에 비추어 버를 갖지 않는 증착 마스크 및 버가 형성되지 않는 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법은, 지지 기판의 제1 면에 개구 패턴을 갖는 마스크 본체를 형성하고, 마스크 본체의 위에 마스크 프레임을 배치하고, 지지 기판의 제1 면과 반대측인 제2 면에 강자성체를 포함하는 임시 고정구를 배치하고, 임시 고정구의 자력에 의해 마스크 본체에 대해 마스크 프레임을 고정하고, 마스크 본체와 마스크 프레임을 접속하는 접속부를 형성하고, 임시 고정구 및 지지 기판을 분리한다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크는, 개구 패턴을 갖는 마스크 본체와, 마스크 본체와 중첩되는 마스크 프레임과, 마스크 본체와 마스크 프레임을 접속하는 접속부를 포함하고, 마스크와 마스크 프레임이 직접 접한다.
도 1a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 평면도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 평면도이다.
도 1c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 평면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3d는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3e는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3f는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3g는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3h는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에서 사용하는 고정구의 평면도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에서 사용하는 고정구의 평면도이다.
도 4c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에서 사용하는 고정구의 평면도이다.
도 5a는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5b는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5c는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5d는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5e는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 평면도이다.
도 1c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 평면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3d는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3e는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3f는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3g는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3h는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에서 사용하는 고정구의 평면도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에서 사용하는 고정구의 평면도이다.
도 4c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에서 사용하는 고정구의 평면도이다.
도 5a는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5b는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5c는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5d는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5e는 종래의 증착 마스크의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
이하, 본 발명의 각 실시 형태에 대해 도면 등을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양한 양태로 실시할 수 있으며, 이하에 예시하는 실시 형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다.
도면은 설명을 보다 명확하게 하기 위해, 실제의 양태에 비해, 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대해 모식적으로 도시되는 경우가 있다. 그러나 도면에 도시하는 예는 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 본 명세서와 각 도면에 있어서, 앞서 나온 도면에 관하여 전술한 것과 마찬가지의 구성에는 동일한 부호를 붙여, 상세한 설명을 적절하게 생략하는 경우가 있다.
본 발명에 있어서, 어느 하나의 막에 대해 에칭이나 광 조사를 행함으로써 복수의 막을 형성한 경우, 이들 복수의 막은 다른 기능, 역할을 갖는 경우가 있다. 그러나 이들 복수의 막은 동일한 공정에서 동일층으로서 형성된 막에서 유래되어, 동일한 층 구조, 동일한 재료를 갖는다. 따라서, 이들 복수의 막은 동일층에 존재하고 있는 것이라고 정의한다.
본 명세서 및 청구범위에 있어서, 어느 구조체의 위에 다른 구조체가 배치된 양태를 표현할 때에 단순히 「위에」라고 표기하는 경우, 특별히 언급이 없는 한은, 어느 구조체에 접하도록, 그 구조체의 바로 위에 다른 구조체가 배치되는 경우와, 어느 구조체의 상방에, 또 다른 구조체를 통해 다른 구조체가 배치되는 경우의 양쪽을 포함하는 것이라고 정의된다.
<제1 실시 형태>
도 1a 내지 도 1c를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 구성에 대해 설명한다.
도 1a 및 도 1b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 평면도이다. 구체적으로는, 도 1a는 증착 마스크(10)의 마스크 본체(110)의 제1 면(110-1)으로부터 바라본 평면도이고, 도 1b는 증착 마스크(10)의 마스크 본체(110)의 제1 면(110-1)의 반대측의 제2 면(110-2)으로부터 바라본 평면도이다. 또한, 도 1c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 단면도이다. 구체적으로는, 도 1c는 도 1a 또는 도 1b에 도시하는 A-A'선을 따라 절단한 증착 마스크(10)의 단면도이다.
증착 마스크(10)는, 마스크 본체(110), 마스크 프레임(120), 및 접속부(130)를 포함한다. 도 1a 및 도 1b에 도시하는 바와 같이, 마스크 프레임(120) 및 접속부(130)는 마스크 본체(110)의 제1 면(110-1)에 마련되어 있다. 또한, 평면으로 보아, 마스크 프레임(120) 및 접속부(130)는 마스크 본체(110)와 중첩되어 있다. 도 1a에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110)의 제1 면(110-1)으로부터 바라본 평면으로 보아, 마스크 프레임(120) 및 접속부(130)는 마스크 본체(110) 위에 노출되어 있다. 한편, 도 1b에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110)의 제2 면(110-2)으로부터 바라본 평면으로 보아, 마스크 프레임(120) 및 접속부(130)는 마스크 본체(110)로부터 노출되어 있지 않다. 바꾸어 말하면, 마스크 본체(110)의 제2 면(110-2)으로부터 바라본 평면으로 보아, 마스크 프레임(120) 및 접속부(130)는 마스크 본체(110)에 의해 덮여 있다고 할 수도 있다.
마스크 본체(110)는, 개구 영역(111) 및 비개구 영역(112)을 포함한다. 개구 영역(111)에는, 마스크 본체(110)를 관통하고, 증착 패턴에 대응하는 개구(113)가 마련되어 있다. 한편, 비개구 영역(112)에는, 개구(113)가 마련되어 있지 않다. 개구 영역(111)과 비개구 영역(112)의 경계는 반드시 명확한 것은 아니다. 그러나 대부분의 경우, 개구(113)는 증착 패턴에 따라서 마련되므로, 인접하는 2개의 개구(113)의 간격은 소정의 피치를 갖는다. 그 때문에, 증착 패턴의 소정의 피치를 기준으로 하여, 개구 영역(111)과 비개구 영역(112)을 구별하는 것이 가능하다.
마스크 본체(110)의 두께는, 예를 들어 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다. 또한, 마스크 본체(110)는 전기 주조(또는 전해 도금)에서 사용하는 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 마스크 본체(110)는, 예를 들어 니켈 또는 니켈 합금 등의 재료로 형성될 수 있다.
증착 마스크(10)를 사용하여 증착하는 경우, 마스크 본체(110)의 제2 면(110-2)이 피증착 기판과 접한다. 본 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)는, 마스크 본체(110)의 제2 면(110-2)이 균일하게 마스크 본체(110)로 구성되어 있으므로, 단차 또는 버를 갖지 않는다. 그 때문에, 피증착 기판이 버에 의해 손상되는 일이 없다.
또한, 증착에 있어서, 유기 재료는, 마스크 본체(110)의 개구(113)만을 통과하여 퇴적할 수 있으므로, 피증착 기판에는 개구(113)에 대응하는 패턴(증착 패턴)이 형성된다. 그 때문에, 개구(113)는 표시 장치의 화소의 배열과 대응하여 마련할 수 있으며, 예를 들어 매트릭스상으로 배치할 수 있다.
마스크 프레임(120)은, 증착 마스크(10)의 외주에 위치하는 프레임부(121) 및 프레임부(121)의 내측에 위치하는 가로대부(122)를 포함한다. 마스크 프레임(120)은 프레임부(121)의 내측이 개구되어 있지만, 그 개구는, 격자상으로 배치된 가로대부(122)에 의해 구획화되어 있다. 마스크 프레임(120)의 사이즈가 커지면, 프레임부(121)의 휨 또는 비틀림에 의해 마스크 프레임(120)의 평행도를 소정의 기준으로 유지하는 것이 곤란한 경우가 있다. 증착 마스크(10)에서는, 가로대부(122)가 프레임부(121)의 강성을 높임으로써, 마스크 프레임(120)의 평행도를 소정의 기준으로 유지할 수 있다. 또한, 증착 마스크(10)의 사이즈가 작고, 프레임부(121)의 강성이 충분히 높은 경우에는, 가로대부(122)를 마련하지 않아도 된다.
마스크 프레임(120)은, 프레임부(121)와 가로대부(122)가 일체화되어 형성되어 있어도 되고, 프레임부(121)와 가로대부(122)가 따로따로 제작되고, 프레임부(121)와 가로대부(122)가 예를 들어 용접 등에 의해 접합되어 형성되어 있어도 된다.
도 1a에서는, 마스크 프레임(120)은 가로대부(122)에 의해 12개의 개구로 구획화되어 있지만, 구획화된 개구의 수는 이것에 한정되지 않는다. 구획화된 개구의 수는, 피증착 기판의 크기나 증착 패턴에 맞추어 적절하게 결정할 수 있다. 또한, 가로대부(122)의 배치는, 격자상에 한정되지 않는다. 마스크 프레임(120)이 짧은 변 및 긴 변을 갖는 직사각형인 경우, 짧은 변보다 긴 변에서 휨 또는 비틀림이 발생하기 쉽다. 그 때문에, 대향하는 긴 변을 접속하도록 가로대부(122)가 마련되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 가로대부(122)의 배치는, 증착 패턴에 따른 형상으로 해도 된다.
프레임부(121)의 폭 및 가로대부(122)의 폭은, 증착 마스크(10)의 크기에 맞추어 적절하게 결정할 수 있다. 또한, 증착 패턴의 영역을 가능한 한 크게 하기 위해, 가로대부(122)의 폭은 프레임부(121)의 폭보다 작은 것이 바람직하다.
마스크 프레임(120)의 두께는, 예를 들어 10㎛ 이상 2000㎛ 이하이다. 또한, 마스크 프레임(120)은 열팽창 계수가 작은 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 마스크 프레임(120)은, 예를 들어 철 및 니켈을 함유하는 인바 또는 철, 니켈 및 코발트를 함유하는 슈퍼 인바 등의 재료로 형성될 수 있다.
접속부(130)는, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)을 접속할 수 있다. 도 1c에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)은 직접 접하고 있지만, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)은 접착 또는 접합되어 있지 않다. 접속부(130)가, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)에 접합됨으로써, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)은 접속부(130)를 통해 접속되어, 고정될 수 있다.
접속부(130)는, 마스크 프레임(120)의 프레임부(121) 또는 가로대부(122)의 측면 중 적어도 일부에 마련되어 있으면 된다. 단, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)의 접합 강도를 크게 하기 위해, 접속부(130)는 프레임부(121) 또는 가로대부(122)의 측면의 1/2 이상으로 마련되어 있는 것이 바람직하고, 프레임부(121) 또는 가로대부(122)의 측면의 전체면에 마련되어 있는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 접속부(130)는 전기 주조에서 사용하는 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 접속부(130)는, 예를 들어 니켈 또는 니켈 합금 등의 재료로 형성될 수 있다.
증착 마스크(10)에서는, 상술한 바와 같이, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)은 직접 접하고 있지만, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)은 직접 고정되어 있지 않다. 그 때문에, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)이 열팽창 계수가 다른 재료라도, 마스크 본체(110) 또는 마스크 프레임(120)의 응력을 분산시킬 수 있다. 또한, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)이 직접 접하고 있지 않고, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120) 사이에 간극이 마련되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 마스크 본체(110) 또는 마스크 프레임(120)의 응력을 분산시킬 수 있다.
이상, 본 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)에 의하면, 피증착 기판과 접하는 마스크 본체(110)의 제2 면(110-2)이 균일하게 마스크 본체(110)로 구성되어 있으므로 단차 또는 버를 갖지 않는다. 그 때문에, 피증착 기판이 버에 의해 손상되는 일이 없다. 따라서, 증착 마스크(10)를 사용하여 제조된 표시 장치는, 증착 공정에 의한 불량이 저감되어, 수율이 향상된다.
<변형예>
도 2a 및 도 2b를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 변형예인 증착 마스크(10A)의 구성에 대해 설명한다. 또한, 증착 마스크(10A)의 구성의 설명에 있어서, 증착 마스크(10)와 마찬가지의 구성에 대해서는 설명을 생략하는 경우가 있다.
도 2a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10A)의 평면도이다. 구체적으로는, 도 1a는 증착 마스크(10A)의 마스크 본체(110A)의 제2 면(110A-2)으로부터 바라본 평면도이다. 또한, 도 2b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10A)의 단면도이다. 구체적으로는, 도 2b는 도 2a에 도시하는 B-B'선을 따라 절단한 증착 마스크의 단면도이다.
증착 마스크(10A)에서는, 마스크 본체(110A)의 크기가, 마스크 프레임(120)의 크기보다 작다. 그 때문에, 마스크 본체(110A)의 제2 면(110A-2)으로부터 바라본 평면으로 보아, 마스크 프레임(120)이 마스크 본체(110A)로부터 노출되어 있다. 구체적으로는, 마스크 프레임(120)의 프레임부(121)가 노출되어 있다. 바꾸어 말하면, 마스크 본체(110A)의 제2 면(110A-2)으로부터 바라본 평면으로 보아, 프레임부(121)의 적어도 일부가, 마스크 본체(110A)에 의해 덮여 있지 않다고 할 수도 있다.
상술한 증착 마스크(10)에서는, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)이 접착 또는 접합되어 있지 않다. 증착 마스크(10)의 외주부에 있어서는, 마스크 본체(110)와 프레임부(121) 사이에 간극이 노출되어 있으므로, 외부로부터의 힘에 의해 마스크 본체(110)가 변형되거나, 또는 마스크 프레임(120)으로부터 박리되는 경우가 있다. 이 현상은, 마스크 본체(110)와 프레임부(121)가 접착 또는 접합되어 있지 않은 면적이 커질수록 발생할 가능성이 높아진다. 한편, 증착 마스크(10A)에서는, 증착 마스크(10A)의 외주부에 있어서, 마스크 본체(110A)와 프레임부(121)가 접착 또는 접합되어 있지 않은 면적이 작아지도록 마스크 본체(110A)가 마련되어 있다. 그 때문에, 마스크 본체(110A)가 변형되거나 또는 마스크 프레임(120)으로부터 박리되는 현상이 발생하기 어렵다.
이상, 본 실시 형태의 변형예에 관한 증착 마스크(10A)에 의하면, 피증착 기판과 접하는 마스크 본체(110A)의 제2 면(110A-2)에 버를 갖지 않는다. 그 때문에, 피증착 기판이 버에 의해 손상되는 일이 없다. 또한, 마스크 본체(110A)가, 마스크 프레임(120)보다 작아지도록 마련되어 있으므로, 증착 마스크(10A)의 외주부에 있어서, 마스크 본체(110A)가 변형되거나 또는 마스크 프레임(120)으로부터 박리되기 어렵다. 따라서, 증착 마스크(10A)를 사용하여 제조된 표시 장치는, 증착 공정에 의한 불량이 저감되어, 수율이 향상된다.
<제2 실시 형태>
도 3a 내지 도 3g를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법에 대해 설명한다.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 제1 전기 주조 공정을 설명하는 도면이다.
먼저, 도 3a에 도시하는 바와 같이, 지지 기판(210)의 제1 면(210-1) 위에 금속층(220)을 형성하고, 금속층(220) 위에 소정의 패턴을 갖는 포토레지스트층(230)을 형성한다.
지지 기판(210)은, 증착 마스크(10)의 제조 공정에 있어서, 각 층을 지지할 수 있다. 그 때문에, 지지 기판(210)은 강성 기판인 것이 바람직하다. 증착 마스크(10)의 제조 공정에는, 지지 기판(210)을 가열하는 공정이 포함된다. 가열 처리에 의해 지지 기판(210)이 팽창 또는 축소되면, 지지 기판(210) 위에 형성되는 포토레지스트층(230)의 위치 어긋남이 발생할 뿐만 아니라, 응력에 의해 박리되는 경우도 있다. 그 때문에, 증착 마스크(10)의 제조 공정을 안정시키기 위해서도, 지지 기판(210)은 열팽창 계수가 작은 강성 기판인 것이 더욱 바람직하다. 지지 기판(210)의 재료로서는, 예를 들어 스테인리스(SUS304 또는 SUS430 등), 42 알로이, 인바, 슈퍼 인바 또는 스테인리스 인바 등이다.
금속층(220)은, 제1 전기 주조 공정에 있어서의 하지 금속으로서 기능할 수 있다. 금속층(220)의 재료로서는, 예를 들어 니켈 또는 니켈 합금이다. 금속층(220)은 스퍼터링 등에 의해 형성할 수 있다.
또한, 금속층(220)은 최종적으로는 분리되어 제거된다. 그 때문에, 금속층(220)을 분리시키기 쉽게 하기 위해, 금속층(220) 위에 박리층이 마련되어도 된다. 이 경우, 박리층을 박리함으로써 금속층(220)을 용이하게 분리할 수 있다. 또한, 박리층 자신이 도전성을 갖고 있어도 된다.
증착 마스크(10)는, 전기 주조가 아닌, 무전해 도금을 사용하여 제조할 수도 있다. 이 경우, 금속층(220) 대신에 절연층을 사용할 수도 있다.
포토레지스트층(230)은, 제1 전기 주조 공정에 있어서의 마스크로서 기능할 수 있다. 포토레지스트층(230)은, 소정의 막 두께를 갖도록 금속층(220) 위에 하나 또는 복수의 감광성 드라이 필름 레지스트를 배치하고, 열압착에 의해 형성된다. 감광성 드라이 필름 레지스트는, 포지티브형 또는 네가티브형 중 어느 것이어도 된다. 또한, 이하에서는, 감광성 드라이 필름이 네가티브형인 것으로서 설명한다.
포토레지스트층(230)은, 증착 마스크(10)의 마스크 본체(110)의 개구 패턴에 대응하는 패턴을 갖는다. 포토레지스트층(230)의 패턴은, 포토리소그래피에 의해 형성할 수 있다. 즉, 포토레지스트층(230)의 패턴은, 드라이 필름 레지스트에 포토마스크를 밀착시키고, 자외선을 조사하여 드라이 필름을 노광시키고, 미노광 부분을 용해 제거함으로써 형성할 수 있다.
다음으로, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 포토레지스트층(230)을 마스크로 하여 제1 도금층(240)을 형성한다. 제1 도금층(240)은, 전기 주조에 의해 형성할 수 있다. 구체적으로는, 금속층(220) 및 포토레지스트층(230)을 소정의 조건으로 건욕한 전기 주조조에 넣고, 포토레지스트층(230)에 덮여 있지 않은 금속층(220)의 표면으로부터, 포토레지스트층(230)의 막 두께를 초과하지 않을 정도의 높이까지 금속 도금을 형성한다. 제1 도금층(240)의 재료로서는, 예를 들어 니켈 또는 니켈 및 코발트의 합금 등이다.
다음으로, 도 3c에 도시하는 바와 같이, 포토레지스트층(230)을 박리한다. 포토레지스트층(230)은 예를 들어 아민계의 박리액에 의해 박리할 수 있다.
포토레지스트층(230)을 박리하기 전에, 전기 주조에 의해 형성된 제1 도금층(240)을 연마해도 된다. 제1 도금층(240)을 연마함으로써, 제1 도금층(240)의 표면을 평탄화할 수 있다.
또한, 제1 도금층(240)은 증착 마스크(10)의 마스크 본체(110)에 대응한다. 그 때문에, 이하에서는, 편의상, 제1 도금층(240)을 마스크 본체(110)로서 설명한다.
도 3d 및 도 3e는 마스크 프레임 밀착 공정을 설명하는 도면이다.
도 3d에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110)의 개구 영역(111) 위에 보호층(250)을 형성한다. 보호층(250)은 후술하는 공정에 의해 발생하는 파티클이 개구 영역(111)의 개구(113)로 들어가, 개구(113)가 폐색되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 보호층(250)은 후술하는 제2 전기 주조 공정에 있어서의 마스크로서 기능할 수 있다.
보호층(250)은, 포토레지스트층(230)과 마찬가지의 재료를 사용할 수 있다. 또한, 보호층(250)은 포토레지스트층(230)과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다.
다음으로, 도 3e에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110) 위에 마스크 프레임(120)을 배치한다. 마스크 프레임(120)은 프레임부(121) 및 가로대부(122)가 마스크 본체(110)의 개구 영역(111)과 중첩되지 않도록 배치된다. 즉, 마스크 프레임(120)은 마스크 본체의 비개구 영역(112) 위에 배치된다. 또한, 지지 기판(210)의 제2 면(210-2)에 임시 고정구(260)를 배치한다. 마스크 프레임(120) 및 임시 고정구(260)를 배치하는 순서는 특별히 한정되지 않는다. 마스크 프레임(120)을 배치한 후에 임시 고정구(260)를 배치해도 되고, 임시 고정구(260)를 배치한 후에 마스크 프레임(120)을 배치해도 된다.
임시 고정구(260)는, 자력에 의해 마스크 프레임(120)을 마스크 본체(110)에 밀착시킬 수 있다. 그 때문에, 임시 고정구(260)는 강자성체를 포함한다. 강자성체로서, 예를 들어 사마륨 및 코발트를 함유하는 사마륨 코발트 자석, 철, 니켈 및 코발트를 함유하는 알니코 자석 또는 네오디뮴, 철 및 붕소를 함유하는 네오디뮴 자석 등을 사용할 수 있다. 또한, 임시 고정구(260)는, 페라이트 자석, 전자석 또는 플라스틱 자석 등을 사용할 수도 있다.
임시 고정구(260)는, 평탄면인 지지 기판(210)의 제2 면(210-2)에 배치된다는 점에서, 임시 고정구(260)의 형상은 지지 기판(210)의 제2 면(210-2)과 밀착할 수 있도록 평판상인 것이 바람직하다. 단, 임시 고정구(260)는 평판상에 한정되지 않는다. 임시 고정구(260)는, 지지 기판(210)의 제2 면(210-2)의 형상을 따른 형상이면 된다.
임시 고정구(260)의 크기는 특별히 한정되지 않는다. 임시 고정구(260)의 크기는, 마스크 본체(110) 및 마스크 프레임(120)의 크기를 고려하여 적절하게 결정할 수 있다. 임시 고정구(260)는 마스크 본체(110) 또는 마스크 프레임(120)보다 커도 되고 작아도 된다. 단, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)의 프레임부(121)가 밀착될 수 있도록, 임시 고정구(260)는 마스크 본체(110)를 사이에 두고 적어도 마스크 프레임(120)의 프레임부(121)와 중첩되는 것이 바람직하다.
임시 고정구(260)의 자력을 조정하는 경우, 지지 기판(210)과 임시 고정구(260) 사이에, 지지 기판(210)과 임시 고정구(260)의 거리를 조정하는 스페이서가 배치되어 있어도 된다. 스페이서는, 평판상, 봉상, 또는 구상 등, 다양한 형상이 가능하다. 단, 스페이서는, 지지 기판(210)의 제2 면(210-2) 내에 있어서, 지지 기판(210)과 임시 고정구(260)가 일정한 거리를 유지하도록 배치될 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 스페이서는 금속이어도 되고, 절연체여도 된다. 또한, 스페이서는 임시 고정구(260)에 마련되어 있어도 된다.
도 3f는 제2 전기 주조 공정을 설명하는 도면이다.
도 3f에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)을 접속하는 제2 도금층(270)을 형성한다. 제2 도금층(270)은 금속층(220) 또는 마스크 프레임(120)에 통전하는 전기 주조에 의해 형성할 수 있다. 제2 도금층(270)은 제1 도금층(240)과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다.
제2 도금층(270)은 마스크 본체(110)의 비개구 영역(112) 위에 마련되고, 마스크 본체(110)와 마스크 프레임(120)의 측면을 접속한다. 즉, 제2 도금층(270)은 증착 마스크(10)의 접속부(130)에 대응한다. 그 때문에, 이하에서는, 편의상, 제2 도금층(270)을 접속부(130)로서 설명한다.
도 3g 및 도 3h는 지지 기판 분리 공정을 설명하는 도면이다.
도 3g에 도시하는 바와 같이, 보호층(250)을 박리한다. 보호층(250)은 포토레지스트층(230)과 마찬가지의 방법으로 박리할 수 있다.
다음으로, 도 3h에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(110)로부터, 지지 기판(210), 금속층(220) 및 임시 고정구(260)를 분리한다. 먼저, 지지 기판(210)으로부터 임시 고정구(260)를 분리한다. 임시 고정구(260)는 자력에 의해 지지 기판(210)에 고정되어 있을 뿐이다. 그 때문에, 임시 고정구(260)에 물리적인 힘을 가하여 지지 기판(210)으로부터 떼어냄으로써, 임시 고정구(260)는 용이하게 지지 기판(210)으로부터 분리할 수 있다. 또한, 임시 고정구(260)를 분리한 후, 마스크 본체(110)로부터 지지 기판(210) 및 금속층(220)을 분리한다. 지지 기판(210) 및 금속층(220)은 동시에 분리되어도 되고, 지지 기판(210)을 분리한 후, 금속층(220)이 분리되어도 된다.
이상의 공정에 의해, 마스크 프레임(120) 및 접속부(130)가 마스크 본체(110)와 중첩되는 증착 마스크(10)를 제작할 수 있다.
또한, 증착 마스크(10)의 제조 방법에 있어서의 공정의 순서는, 상술한 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 3d에 도시한 보호층(250)의 형성은, 도 3e에 도시한 마스크 프레임(120)을 마스크 본체에 밀착시킨 후에 행해도 된다. 또한, 도 3g에 도시한 보호층(250)의 박리는, 도 3h에 도시한 지지 기판(210)의 분리 후에 행해도 된다.
여기서, 비교를 위해, 도 5a 내지 도 5e를 참조하여 종래의 증착 마스크(30)의 제조 방법에 대해 설명한다. 증착 마스크(30)는, 마스크 본체(310), 마스크 프레임(320) 및 접속부(330)를 포함한다. 또한, 종래의 증착 마스크(30)의 제조 방법의 설명에 있어서, 증착 마스크(10)의 제조 방법과 마찬가지의 공정에 대해서는 설명을 생략하는 경우가 있다.
도 5a 내지 도 5e는 종래의 증착 마스크(30)의 제조 방법을 도시하는 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 마스크 프레임 밀착 공정을 설명하는 도면이다.
도 5a에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(310)의 개구 영역(311) 위에 보호층(250)을 형성한다. 마스크 본체(310)는, 개구 영역(311)뿐만 아니라, 비개구 영역(312)에도 개구가 마련되어 있다. 개구 영역(311)의 개구는 보호층에 의해 덮인다. 한편, 비개구 영역(312)의 개구는, 보호층(250)에 의해 덮여 있지 않다. 마스크 본체(310)는, 지지 기판(210) 및 금속층(220)을 사용하여 마스크 본체(110)와 마찬가지로 형성할 수 있으므로, 여기서는 설명을 생략한다.
다음으로, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(310)의 비개구 영역(312) 위에 접착층(280)을 마련하고, 접착층(280) 위에 마스크 프레임(320)을 접착한다. 접착층(280)은 후술하는 공정에서 제거되므로, 완전히 경화되지 않아도 된다. 접착층(280)의 재료로서는, 예를 들어 아세트산비닐 수지, 에틸렌아세트산비닐 수지, 에폭시 수지, 시아노아크릴레이트 수지, 또는 아크릴 수지 등을 사용할 수 있다. 또한, 접착층(280)의 재료로서는, 드라이 필름 레지스트를 사용할 수도 있다. 접착층(280)의 재료로서 드라이 필름 레지스트를 사용하는 경우, 드라이 필름 레지스트를 약하게 노광시켜 두어도 된다. 드라이 필름 레지스트를 노광시켜 둠으로써, 후술하는 공정에 있어서 드라이 필름 레지스트를 제거하기 쉽게 할 수 있다.
도 5c는 제2 전기 주조 공정을 설명하는 도면이다.
도 5c에 도시하는 바와 같이, 마스크 본체(310)와 마스크 프레임(320)을 접속하는 제2 도금층(290)을 형성한다. 제2 도금층(290)은, 증착 마스크(10)의 제2 도금층(270)과 마찬가지로 형성할 수 있다. 제2 도금층(290)은, 비개구 영역(312)의 개구를 메우도록 마련되므로, 제2 도금층(290)은 금속층(220)과 접한다. 또한, 제2 도금층(290)은 마스크 본체(310)의 비개구 영역(312)의 상면 및 측면과, 마스크 프레임(320)을 접속한다. 즉, 제2 도금층(290)은 증착 마스크(30)의 접속부(330)에 대응한다. 그 때문에, 이하에서는, 편의상, 제2 도금층(290)을 접속부(330)로서 설명한다.
도 5d 및 도 5e는 지지 기판 분리 공정을 설명하는 도면이다.
도 5d에 도시하는 바와 같이, 보호층(250)을 박리한다.
다음으로, 도 5e에 도시하는 바와 같이, 지지 기판(210) 및 금속층(220)을 분리한다. 금속층(220)의 분리에 있어서, 마스크 프레임(320)과 중첩되는 금속층(220)의 영역에서는, 금속층(220)뿐만 아니라, 마스크 본체(310)의 일부 및 접착층(280)도 박리된다. 그 결과, 마스크 프레임(320)의 하방에 간극(340)이 형성되지만, 마스크 본체(310)와 융착되어 있던 접속부(330)가 파괴(예를 들어, 전단 파괴 등)되면, 버(331)가 발생한다. 또한, 금속층(220)과 마스크 본체(310)의 간극에 접속부(330)가 형성되어 있는 경우도 있고, 이 경우도 마찬가지로 버(331)가 발생한다. 버(331)는, 금속층(220)의 박리와 함께 형성되므로, 버(331)는 마스크 본체(310)의 제2 면(310-2)에 돌출되어 형성된다.
버(331)가 발생하면, 증착 마스크(30)를 피증착 기판에 밀착시킬 수 없다. 이 경우, 증착 마스크(30)와 피증착 기판 사이에 간극이 발생하므로, 피증착 기판의 증착 패턴은, 증착 마스크(30)의 개구 패턴보다 폭이 큰 것이 된다. 그 결과, 표시 장치의 화소 사이의 혼색이나 발광 흐려짐 등의 문제가 발생한다.
한편, 본 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법에서는, 금속층(220)이 박리될 때, 마스크 본체(110)를 박리하지 않는다. 그 때문에, 증착 마스크(10)에서는, 종래의 증착 마스크(30)에서 형성되어 있던 버(331)가 형성되지 않는다.
이상, 본 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법에 의하면, 피증착 기판과 접하는 마스크 본체(110)의 제2 면(110-2)에 버가 형성되지 않는다. 그 때문에, 피증착 기판이 버에 의해 손상되는 일이 없다. 따라서, 증착 마스크(10)를 사용하여 제조된 표시 장치는, 증착 공정에 의한 불량이 저감되어, 수율이 향상된다.
<변형예>
임시 고정구(260)는, 마스크 본체(110) 또는 마스크 프레임(120)과 거의 동일한 크기의 평판상에 한정되지 않는다. 이하에서는, 도 4a 내지 도 4c를 참조하여, 임시 고정구(260)의 형상의 몇 가지의 예에 대해 설명한다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법에서 사용하는 임시 고정구(260A)의 평면도이다.
임시 고정구(260A)는, 마스크 프레임(120)의 형상에 대응하는 형상을 갖고, 제1 고정부(261A) 및 제2 고정부(262A)를 포함한다. 즉, 임시 고정구(260A)는, 마스크 프레임(120)의 프레임부(121)를 고정하는(프레임부(121)를 마스크 본체(110)에 밀착시키는) 제1 고정부(261A) 및 마스크 프레임(120)의 가로대부(122)를 고정하는(가로대부(122)를 마스크 본체에 밀착시키는) 제2 고정부(262A)를 포함한다. 또한, 임시 고정구(260A)는, 격자상으로 배치된 제2 고정부(262A)에 의해 구획화된 개구(263A)를 포함한다.
임시 고정구(260A)의 제1 고정부(261A) 및 제2 고정부(262A)의 각각의 폭은, 마스크 프레임(120)의 프레임부(121) 및 가로대부(122)의 폭과 동일해도 되고, 작아도 되고, 또는 커도 된다. 또한, 임시 고정구(260A)의 제2 고정부(262A)의 수는, 마스크 프레임(120)의 가로대부(122)의 수와 동일해도 되고, 적어도 되고, 또는 많아도 된다.
또한, 지지 기판(210)의 제2 면에, 임시 고정구(260A)의 형상에 대응하는 홈을 마련하여, 임시 고정구(260A)가 끼워 맞추어지도록 해도 된다. 이 경우, 지지 기판(210)에 대해 임시 고정구(260A)의 위치가 고정되므로, 마스크 프레임(120)의 위치 정렬이 안정된다.
본 변형예에 관한 임시 고정구(260A)에 의하면, 마스크 프레임(120)의 형상에 맞추어 자력을 발생시킬 수 있으므로, 마스크 프레임(120)과 마스크 본체(110)를 안정적으로 밀착시킬 수 있다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법에서 사용하는 임시 고정구(260B)의 평면도이다.
임시 고정구(260B)는, 복수로 분할된 제1 고정부(261B) 및 제2 고정부(262B)를 포함한다. 제1 고정부(261B)의 형상은, 제2 고정부(262B)의 형상과 달라도 된다.
제2 고정부(262B)의 형상은, 직사각형에 한정되지 않는다. 제2 고정부(262B)의 형상은, 원형, 타원형, 또는 다각형 등이어도 된다. 또한, 제2 고정부(262B)는 모두 동일한 형상은 아니며, 다른 형상이 포함되어 있어도 된다.
또한, 임시 고정구(260B)의 제1 고정부(261B) 및 제2 고정부(262B), 그리고 제2 고정부(262B)끼리는 동일한 재료여도 되고, 다른 재료여도 된다. 제1 고정부(261B) 또는 제2 고정부(262B)를 다른 재료로 함으로써, 자력을 조정할 수 있다.
제2 고정부(262B)는, 마스크 프레임(120)의 가로대부(122)와 중첩되어 배치되는 것이 바람직하지만, 제2 고정부(262B)의 배치는 이것에 한정되지 않는다. 제2 고정부(262B)는, 제1 고정부(261B)와 일체화되어 있지 않으므로, 마스크 프레임(120)과 마스크 본체(110)의 밀착 상태에 따라서 자유롭게 배치할 수 있다.
본 변형예에 관한 임시 고정구(260B)에 의하면, 임시 고정구(260B)의 제1 고정부(261B)를 사용하여 마스크 프레임(120)의 프레임부(121)를 마스크 본체(110)와 밀착시킬 수 있다. 그리고 나서, 임시 고정구(260B)의 제2 고정부(262B)를 사용하여 마스크 프레임(120)의 가로대부(122)와 마스크 본체(110)의 밀착 상태의 변동을 조정할 수 있다.
도 4c는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 증착 마스크(10)의 제조 방법에서 사용하는 임시 고정구(260C)의 평면도이다.
임시 고정구(260C)는, 복수로 분할된 제1 고정부(261C) 및 제2 고정부(262C)를 포함한다. 제1 고정부(261C)의 형상은 제2 고정부(262C)의 형상과 달라도 된다. 또한, 제1 고정부(261C) 및 제2 고정부(262C), 그리고 제2 고정부(262C)끼리는 연결부(264C)에 의해 연결되어 있다.
연결부(264C)는, 제1 고정부(261C) 또는 제2 고정부(262C)를 연결할 수 있으면 되며, 제1 고정부(261C) 및 제2 고정부(262C)의 재료와 달라도 된다. 연결부(264C)의 재료는 금속 또는 수지 등을 사용할 수 있다. 또한, 연결부(264C)는 스프링 또는 스프링과 같은 탄성체를 사용할 수도 있다. 연결부(264C)가 탄성체인 경우, 제2 고정부(262C)의 배치를 조정할 수 있다.
본 변형예에 관한 임시 고정구(260C)에 의하면, 제1 고정부(261C) 및 제2 고정부(262C)가 연결부(264C)에 의해 연결되어 있으므로, 마스크 프레임(120)과 마스크 본체(110)를 안정적으로 밀착시킬 수 있다. 그리고 나서, 제2 고정부(262C)의 배치를 조정함으로써, 마스크 프레임(120)의 가로대부(122)와 마스크 본체(110)의 밀착 상태의 변동을 미세 조정할 수 있다.
본 발명의 실시 형태로서 상술한 각 실시 형태는, 서로 모순되지 않는 한, 적절하게 조합하여 실시할 수 있다. 또한, 각 실시 형태를 기초로 하여, 당업자가 적절하게 구성 요소의 추가, 삭제 혹은 설계 변경을 행한 것, 또는 공정의 추가, 생략 혹은 조건 변경을 행한 것도, 본 발명의 요지를 구비하고 있는 한, 본 발명의 범위에 포함된다.
상술한 각 실시 형태의 양태에 의해 초래되는 작용 효과와는 상이한 다른 작용 효과라도, 본 명세서의 기재로부터 명확한 것, 또는 당업자에게 있어서 용이하게 예측할 수 있는 것에 대해서는 당연히 본 발명에 의해 초래되는 것이라고 해석된다.
10, 10A: 증착 마스크
110, 110A: 마스크 본체
110-1: 제1 면
110-2, 110A-2: 제2 면
111: 개구 영역
112: 비개구 영역
113: 개구
120: 마스크 프레임
121: 프레임부
122: 가로대부
130: 접속부
210: 지지 기판
210-1: 제1 면
210-2: 제2 면
220: 금속층
230: 포토레지스트층
240: 제1 도금층
250: 보호층
260, 260A, 260B, 260C: 임시 고정구
261A, 261B, 261C: 제1 고정부
262A, 262B, 262C: 제2 고정부
263A: 개구
264C: 연결부
270: 제2 도금층
30: 증착 마스크
280: 접착층
290: 제2 도금층
310: 마스크 본체
310-2: 제2 면
311: 개구 영역
312: 비개구 영역
320: 마스크 프레임
330: 접속부
331: 버
340: 간극
110, 110A: 마스크 본체
110-1: 제1 면
110-2, 110A-2: 제2 면
111: 개구 영역
112: 비개구 영역
113: 개구
120: 마스크 프레임
121: 프레임부
122: 가로대부
130: 접속부
210: 지지 기판
210-1: 제1 면
210-2: 제2 면
220: 금속층
230: 포토레지스트층
240: 제1 도금층
250: 보호층
260, 260A, 260B, 260C: 임시 고정구
261A, 261B, 261C: 제1 고정부
262A, 262B, 262C: 제2 고정부
263A: 개구
264C: 연결부
270: 제2 도금층
30: 증착 마스크
280: 접착층
290: 제2 도금층
310: 마스크 본체
310-2: 제2 면
311: 개구 영역
312: 비개구 영역
320: 마스크 프레임
330: 접속부
331: 버
340: 간극
Claims (14)
- 지지 기판의 제1 면에 개구 패턴을 갖는 마스크 본체를 형성하고,
상기 마스크 본체의 위에 마스크 프레임을 배치하고,
상기 지지 기판의 상기 제1 면과 반대측인 제2 면에 강자성체를 포함하는 임시 고정구를 배치하고, 상기 임시 고정구의 자력에 의해 상기 마스크 본체에 상기 마스크 프레임을 밀착시키고,
상기 마스크 본체와 상기 마스크 프레임을 접속하는 접속부를 형성하고,
상기 마스크 본체로부터 상기 임시 고정구 및 상기 지지 기판을 분리하는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 마스크 본체 및 상기 접속부는, 전기 주조에 의해 형성되는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 임시 고정구는, 평판상인, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 임시 고정구는, 복수 배치되는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 임시 고정구는, 제1 형상을 갖는 제1 고정부와, 제2 형상을 갖는 제2 고정부를 포함하는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제5항에 있어서,
상기 제1 형상은, 상기 마스크 프레임의 프레임부의 형상에 대응하고,
상기 제2 형상은, 상기 마스크 프레임의 가로대부의 형상에 대응하는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제5항에 있어서,
상기 제1 고정부의 재료는, 상기 제2 고정부의 재료와 다른, 증착 마스크의 제조 방법. - 제5항에 있어서,
상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부가 연결부에 의해 연결되어 있는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제8항에 있어서,
상기 연결부는 탄성체를 포함하는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 강자성체는, 철, 알루미늄, 사마륨, 코발트, 및 니켈 중 적어도 하나를 포함하는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 증착 마스크는, 상기 마스크 본체와 상기 마스크 프레임이 중첩되는, 증착 마스크의 제조 방법. - 개구 패턴을 갖는 마스크 본체와,
상기 마스크 본체와 중첩되는 마스크 프레임과,
상기 마스크 본체와 상기 마스크 프레임을 접속하는 접속부를 포함하고,
상기 마스크 본체와 상기 마스크 프레임이 직접 접하는, 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 마스크 프레임은, 상기 마스크 본체의 제1 면에 마련되고,
상기 마스크 본체의 상기 제1 면과 반대측인 제2 면으로부터 바라본 평면으로 보아, 상기 마스크 본체와 상기 마스크 프레임이 중첩되는, 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 마스크 프레임은, 상기 마스크 본체의 제1 면에 마련되고,
상기 마스크 프레임은, 프레임부와, 상기 프레임부의 내측에 있으며 격자상으로 배치된 가로대부를 포함하고,
상기 마스크 본체의 상기 제1 면과 반대측인 제2 면으로부터 바라본 평면으로 보아, 상기 가로대부가 상기 마스크 본체에 의해 덮여 있는, 증착 마스크.
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|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal |