KR20210138344A - 비히클의 티칭 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

비히클의 티칭 장치는, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 핸드 유닛에 파지 가능하도록 구비되는 하우징과, 상기 하우징에 구비되며, 상기 비히클에 의해 이송되는 대상물이 안착되는 안착면에 구비된 기준점에 대해 상기 하우징의 안착 위치를 확인하기 위해 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 표시부 및 상기 하우징 및 상기 안착면에 구비되며, 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키기 위한 진동 감쇠부를 포함할 수 있다.

Description

비히클의 티칭 장치 및 방법{Apparatus and method for teaching of a vehicle}
본 발명은 비히클의 티칭 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클이 대상물을 이적재하기 위한 위치를 티칭하는 비히클의 티칭 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 실리콘 웨이퍼와 같은 기판 상에 증착, 포토리소그래피, 식각, 등의 다양한 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 상기와 같은 반도체 제조 공정에서 상기 기판은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 반송 장치에 의해 제조 공정 설비들 사이에서 운반될 수 있다. 또한, 상기 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라 다양한 종류의 자재들이 상기 OHT 장치에 의해 운반될 수 있으며 이를 통해 제조 공정의 자동화가 구현되고 있다.
예를 들면, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 배치되는 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 비히클을 포함할 수 있으며, 상기 비히클은 대상물, 예를 들면 복수의 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 수납 용기를 파지하기 위한 핸드 유닛을 구비할 수 있다.
구체적으로, 상기 클린룸의 천장에는 상기 주행 레일들이 기 설정된 경로를 따라 배치될 수 있으며 상기 비히클은 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛을 포함할 수 있다. 또한, 상기 비히클은 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 구비할 수 있으며, 상기 핸드 유닛은 복수의 벨트들에 의해 상기 호이스트 유닛에 현수될 수 있다.
한편, 상기 OHT 장치의 사용을 위해서는 상기 비히클이 상기 대상물의 이적재 동작을 위한 티칭 작업이 요구된다. 상기 티칭 작업은 작업자에 의해 수작업으로 이루어질 수 있으며 상기 대상물이 놓여지는 안착면, 예를 들면, 반도체 제조 설비의 로드 포트 등에 대한 상기 대상물의 이적재를 위한 좌표가 상기 티칭 작업에서 설정될 수 있다.
그러나, 작업자의 숙련도에 따라 티칭 좌표에 편차가 발생될 수 있으며 아울러 상당한 시간이 소요되기 때문에 이에 대한 개선이 요구되고 있다. 특히, 상기 핸드 유닛이 현수된 상태이므로 좌우 진동이 발생될 수 있고 이 경우 티칭 정밀도가 크게 저하될 수 있다.
본 발명은 티칭 정밀도를 작업 시간과 정밀도를 향상시킬 수 있는 비히클의 티칭 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 비히클의 티칭 장치는, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 핸드 유닛에 파지 가능하도록 구비되는 하우징과, 상기 하우징에 구비되며, 상기 비히클에 의해 이송되는 대상물이 안착되는 안착면에 구비된 기준점에 대해 상기 하우징의 안착 위치를 확인하기 위해 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 표시부 및 상기 하우징 및 상기 안착면에 구비되며, 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키기 위한 진동 감쇠부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 진동 감쇠부는, 상기 기준점이 노출되도록 상기 안착면에 구비되고, 상기 하우징을 수용하기 위한 가이드들이 상방으로 연장하는 지그와, 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 어느 하나에 구비되는 영구 자석들 및 상기 영구 자석들과 대응하도록 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 나머지 하나에 구비되는 금속판들을 포함하고, 상기 하우징이 상기 지그에 수용될 때 상기 영구 자석들과 상기 금속판들 사이에 발생하는 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 하우징의 수평 방향 진동이 감쇠된 후 상기 지그를 상기 안착면으로부터 제거하기 위해 상기 지그는 상기 안착면에 착탈 가능하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 티칭 지그는, 상기 하우징에 구비되며, 상기 기준점과 상기 하우징의 안착 위치가 표시된 상기 안착면의 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득부 및 상기 이미지로부터 상기 하우징의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출하고, 상기 이격 거리를 이용하여 상기 하우징의 안착 위치가 보정되도록 상기 비히클을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기준점은 상기 안착면의 중앙 부위에 구비되는 기준 눈금일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 안착면에는 상기 대상물의 정렬을 위한 정렬 핀들이 구비되고, 상기 기준점은 상기 정렬 핀들 중 하나일 수 있다.
본 발명에 따른 비히클의 티칭 방법은, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 핸드 유닛에 하우징을 장착하는 단계와, 상기 비히클을 동작시켜 상기 하우징을 상기 비히클에 의해 이송되는 대상물이 안착되는 안착면의 상방에 위치시키는 단계와, 상기 안착면에 구비된 기준점에 대해 상기 하우징의 안착 위치를 확인하기 위해 상기 하우징에 구비된 표시부로 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 단계 및 상기 하우징의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 이용하여 상기 하우징의 안착 위치를 보정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 티칭 방법은, 상기 하우징을 상기 안착면의 상방에 위치시키는 단계 이후에, 상기 하우징 및 상기 안착면에 구비되는 진동 감쇠부를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 진동 감쇠부는, 상기 기준점이 노출되도록 상기 안착면에 구비되고, 상기 하우징을 수용하기 위한 가이드들이 상방으로 연장하는 지그, 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 어느 하나에 구비되는 영구 자석들 및 상기 영구 자석들과 대응하도록 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 나머지 하나에 구비되는 금속판들을 포함하고, 상기 하우징이 상기 지그에 수용될 때 상기 영구 자석들과 상기 금속판들 사이에 발생하는 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 티칭 방법은, 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키는 단계 이후에, 상기 지그를 상기 안착면으로부터 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 티칭 방법은, 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 단계 이후에, 상기 하우징에 구비되는 이미지 획득부를 이용하여 상기 기준점과 상기 하우징의 안착 위치가 표시된 상기 안착면의 이미지를 획득하는 단계를 더 포함하고,
상기 하우징의 안착 위치를 보정하는 단계는, 상기 이미지로부터 상기 하우징의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기준점은 상기 안착면의 중앙 부위에 구비되는 기준 눈금일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 안착면에는 상기 대상물의 정렬을 위한 정렬 핀들이 구비되고, 상기 기준점은 상기 정렬 핀들 중 하나일 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 안착면의 상기 하우징의 안착 위치 표시가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 이용하여 상기 하우징의 안착 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 티칭 작업의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한 상기 영구 자석들과 상기 금속판들을 포함하는 상기 진동 감쇠부를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 신속하게 감쇠시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 티칭 작업에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
상술한 바와 같이 상기 비히클의 티칭 작업이 상기 티칭 방법 및 장치를 이용하여 수행될 수 있으므로 작업자의 수작업에 의존하는 종래 기술과 비교하여 티칭 정밀도가 크게 상승될 수 있으며 아울러 티칭 작업에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 진동 감쇠부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 안착면에 레이저 표시가 생상된 상태를 설명하기 위한 평명도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진동 감쇠부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 안착면에 레이저 표시가 생상된 상태를 설명하기 위한 평명도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 비히클의 티칭 장치(200)는 비히클(100)이 이송하는 대상물(미도시)을 이적재하기 위한 위치를 티칭하기 위해 사용될 수 있다. 상기 대상물의 예로는 FOUP, FOSB, 매거진, EUV 포드 등을 들 수 있다.
상기 비히클(100)은 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140) 및 핸드 유닛(150)을 포함하고, 상기 대상물을 파지하여 이송할 수 있다.
상기 주행 유닛(110)은 상기 주행 레일(10)을 따라 이동한다. 상기 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 휠(112)가 구비된다. 상기 주행 휠(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.
한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)이 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 대상물을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 대상물이 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. 상기 호이스트 유닛(140)은 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛(150)을 승강시킬 수 있다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 대상물을 고정한다.
상기 대상물은 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 X축 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다.
상기 티징 장치(200)는 하우징(210), 표시부(220), 진동 감쇠부(230), 이미지 획득부(240) 및 제어부(250)를 포함할 수 있다.
상기 하우징(210)은 상기 비히클(100)의 상기 핸드 유닛(150)에 파지 가능하도록 구비된다. 일 예로, 상기 하우징(210)은 상기 대상물과 유사한 형태를 가질 수 있으며, 상기 하우징(210)의 상부에는 상기 핸드 유닛(150)이 용이하게 파지할 수 있도록 플랜지가 구비될 수 있다.
상기 표시부(220)는 상기 하우징(210)에 구비되며, 상기 비히클(100)에 의해 이송되는 상기 대상물이 안착되는 안착면(20)에 상기 하우징(210)의 안착 위치를 표시할 수 있다.
일 예로, 상기 안착면(20)은 로드 포트의 상부면이거나, 상기 대상물을 임시로 수용하는 버퍼 장치의 스테이지의 상부면일 수 있다.
상기 표시부(220)는 상기 하우징(210)의 중심부에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 표시부(220)가 상기 하우징(210)의 안착 위치를 정확하게 상기 안착면(20)에 표시할 수 있다.
일 예로, 상기 표시부(220)는 레이저 레벨기일 수 있다. 상기 레이저 레벨기는 레이저 표시를 상기 안착면(20)에 생성할 수 있다.
상기 표시부(220)에 의해 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 안착면(20)에 표시되면, 상기 안착면(20)에 표시된 기준점에 대해 상기 하우징(210)의 안착 위치를 확인할 수 있다.
일 예로, 상기 기준점은 상기 안착면(20)의 중앙 부위에 구비되는 기준 눈금(22)일 수 있다.
다른 예로, 상기 안착면(20)에는 상기 대상물의 정렬을 위한 정렬 핀(24)들이 구비되고, 상기 기준점은 상기 정렬 핀(24)들 중 하나일 수 있다.
상기 진동 감쇠부(230)는 상기 하우징(210) 및 상기 안착면(20)에 구비되며, 상기 하우징(210)의 수평 방향 진동을 감쇠시킬 수 있다.
상기 진동 감쇠부(230)는 지그(232), 영구 자석(234)들 및 금속판(236)들을 포함할 수 있다.
상기 지그(232)는 상기 안착면(20)에 구비되며, 상기 핸드 유닛(150)에 파지되어 하강하는 상기 하우징(210)을 수용하기 위해 상방으로 연장하는 가이드(233)들을 포함할 수 있다. 상기 가이드(233)들은 상기 지그(232)의 전후좌우에 각각 하나씩 구비되는 것이 바람직하나, 상기 지그(232)의 둘레를 따라 연속적으로 구비될 수 있다.
상기 지그(232)는 상기 안착면(20)에 구비된 상기 기준점을 가리지 않고 노출할 수 있다.
상기 영구 자석(234)들은 상기 하우징(210)의 측면들 및 상기 가이드(233)들 중 어느 하나에 구비될 수 있다.
상기 금속판(236)들은 상기 영구 자석(234)들과 대응하도록 상기 하우징(210)의 상기 측면들 및 상기 가이드(233)들 중 나머지 하나에 구비될 수 있다.
상기 하우징(210)이 상기 핸드 유닛(150)에 파지되어 상기 벨트(142)에 매달린 상태이므로, 상기 하우징(210)이 상기 지그(232)에 수용될 때 상기 하우징(210)이 수평 방향으로 흔들림이 발생할 수 있다.
상기 하우징(210)이 상기 지그(232)에 수용된 상태에서 상기 수평 방향으로 흔들리거나 진동하면, 상기 영구 자석(234)들의 자력이 상기 금속판(236)들에 기전력을 발생시키고, 상기 기전력에 의해 맴돌이 전류(Eddy Current)가 발생한다. 상기 맴돌이 전류의 크기는 상기 기전력과 상기 금속판(236)들의 전기 저항에 의해 결정된다. 상기 금속판(236)들의 전기 저항이 작을수록 동일한 기전력에 대해 큰 전류가 발생하므로, 상기 금속판(236)들은 전기 저항이 낮은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 맴돌이 전류는 역으로 상기 영구 자석(234)들에 반발하는 방향의 자기장을 발생시키며, 상기 자기장이 상기 영구 자석(234)들의 자기장과 상호작용하면서 상기 영구 자석(234)들이 상기 지그(232)의 내부에서 상기 수평 방향으로 진동하는 것을 방해한다. 따라서, 상기 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징(210)의 상기 수평 방향 진동을 신속하게 감쇠할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 상기 수평 방향 진동을 감쇠하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
상기 지그(232)는 상기 안착면(20)에 착탈 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징(210)의 수평 방향 진동이 감쇠되면 상기 지그(232)를 상기 안착면(20)으로부터 제거할 수 있다.
상기 맴돌이 전류가 발생하는 동안, 상기 맴돌이 전류로 인해 상기 하우징(210)이 상기 지그(232)의 중심으로 이동하게 된다. 이 경우, 상기 하우징(210)의 안착 위치가 실제 안착 위치와 다를 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 안착 위치를 정확하게 확인하기 어렵다.
상기 지그(232)가 제거되면, 상기 영구 자석(232)들과 상기 금속판(236)들 사이에 상기 맴돌이 전류가 발생하지 않으므로, 상기 하우징(210)이 원 위치로 이동하게 되고 상기 하우징(210)의 안착 위치가 실제 안착 위치와 동일해질 수 있다.
상기 이미지 획득부(240)는 상기 하우징(210)에 구비되며, 상기 기준점과 상기 하우징(210)의 안착 위치가 표시된 상기 안착면(20)의 이미지를 획득할 수 있다.
일 예로, 상기 이미지 획득부(240)는 상기 안착면(20)의 이미지를 획득하기 위한 카메라와 조명 기구를 포함할 수 있다.
상기 제어부(250)는 상기 이미지 획득부(240)로부터 상기 안착면(20)의 이미지에 대한 정보를 전달받는다. 또한, 상기 제어부(250)는, 상기 이미지로부터 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출하고, 상기 이격 거리를 이용하여 상기 비히클(100)을 제어하여 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 안착면(20)의 기준 위치에 안착되도록 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있다. 일 예로, 상기 제어부(250)가 상기 비히클(100)의 구동 유닛(110) 및 슬라이드 유닛(130)을 제어하여 상기 하우징(210)의 위치를 수평 방향으로 이동하여 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 상기 안착 위치를 상기 안착면(20)의 상기 기준 위치와 일치시킬 수 있다.
일 예로, 상기 제어부(250)는 상기 하우징(210)에 구비될 수 있다. 이때, 상기 제어부(250)는 상기 이미지 획득부(240)로부터 상기 안착면(20)의 이미지에 대한 정보를 직접 전달받을 수 있고, 상기 비히클(100)을 무선 통신을 통해 제어할 수 있다.
다른 예로, 상기 제어부(250)는 상기 하우징(210)과 별도로 구비될 수 있다. 이때, 상기 제어부(250)는 상기 이미지 획득부(240)로부터 무선 통신을 통해 상기 안착면(20)의 이미지에 대한 정보를 전달받을 수 있고, 상기 비히클(100)을 무선 통신을 통해 제어할 수 있다.
이와 달리, 상기 이미지 획득부(240)와 상기 제어부(250)를 구비하지 않고, 작업자가 육안으로 상기 안착면(20)을 확인하고, 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출하고 상기 이격 거리를 이용하여 상기 비히클(100)을 직접 제어하여 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 안착면(20)의 기준 위치에 안착되도록 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 상기 안착 위치를 상기 안착면(20)의 상기 기준 위치와 일치시킬 수 있다.
상기 안착면(20)에서 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 이용하여 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있으므로, 상기 비히클의 티칭 작업의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하여 비히클의 티징 장치(200)를 이용하여 상기 비히클의 티칭 방법을 설명한다.
먼저, 주행 레일(10)을 따라 주행하는 비히클(100)의 핸드 유닛(150)에 상기 티칭 장치(200)의 하우징(210)을 장착한다. (S110)
상기 비히클(100)을 동작시켜 상기 하우징(210)을 상기 비히클(100)에 의해 이송되는 대상물이 안착되는 안착면(20)의 상방에 위치시킨다. (S120)
상기 비히클(100)의 동작에 따라 슬라이드 유닛(130)이 수평 이동하거나 호이스트 유닛(140)이 상기 핸드 유닛(150)을 하강하여 상기 하우징(210)이 상기 안착면(20)의 상방에 위치할 수 있다. 이때, 상기 하우징(210)은 상기 티칭 장치(200)의 지그(232)에 수용되는 높이에 위치할 수 있다.
다음으로, 상기 하우징(210) 및 상기 안착면(20)에 구비되는 진동 감쇠부(230)를 이용하여 상기 하우징(210)의 수평 방향 진동을 감쇠시킨다. (S130)
구체적으로, 상기 진동 감쇠부(230)는 상기 지그(232), 영구 자석(234)들 및 금속판(236)들을 포함할 수 있다.
상기 지그(232)는 상기 안착면(20)에 구비되며, 상기 핸드 유닛(150)에 파지되어 하강하는 상기 하우징(210)을 수용하기 위해 상방으로 연장하는 가이드(233)들을 포함할 수 있다. 상기 가이드(233)들은 상기 지그(232)의 전후좌우에 각각 하나씩 구비되는 것이 바람직하나, 상기 지그(232)의 둘레를 따라 연속적으로 구비될 수 있다.
상기 지그(232)는 상기 안착면(20)에 구비된 기준점을 가리지 않고 노출할 수 있다.
일 예로, 상기 기준점은 상기 안착면(20)의 중앙 부위에 구비되는 기준 눈금(22)일 수 있다.
다른 예로, 상기 안착면(20)에는 상기 대상물의 정렬을 위한 정렬 핀(24)들이 구비되고, 상기 기준점은 상기 정렬 핀(24)들 중 하나일 수 있다.
상기 영구 자석(234)들은 상기 하우징(210)의 측면들 및 상기 가이드(233)들 중 어느 하나에 구비될 수 있다.
상기 금속판(236)들은 상기 영구 자석(234)들과 대응하도록 상기 하우징(210)의 상기 측면들 및 상기 가이드(233)들 중 나머지 하나에 구비될 수 있다.
상기 하우징(210)이 상기 핸드 유닛(150)에 파지되어 상기 벨트(142)에 매달린 상태이므로, 상기 하우징(210)이 상기 지그(232)에 수용될 때 상기 하우징(210)이 수평 방향으로 흔들림이 발생할 수 있다.
상기 하우징(210)이 상기 지그(232)에 수용될 때 상기 영구 자석(232)들과 상기 금속판(236)들 사이에 맴돌이 전류가 발생한다. 상기 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징(210)의 상기 수평 방향 진동을 신속하게 감쇠할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 상기 수평 방향 진동을 감쇠하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
상기 하우징(210)의 상기 수평 방향 진동이 감쇠되면, 상기 지그(232)를 상기 안착면(20)으로부터 제거한다. (S140)
상기 맴돌이 전류가 발생하는 동안, 상기 맴돌이 전류로 인해 상기 하우징(210)이 상기 지그(232)의 중심으로 이동하게 된다. 이 경우, 상기 하우징(210)의 안착 위치가 실제 안착 위치와 다를 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 안착 위치를 정확하게 확인하기 어렵다.
상기 지그(232)가 제거되면, 상기 영구 자석(232)들과 상기 금속판(236)들 사이에 상기 맴돌이 전류가 발생하지 않으므로, 상기 하우징(210)이 원 위치로 이동하게 되고 상기 하우징(210)의 안착 위치가 실제 안착 위치와 동일해질 수 있다.
이후, 상기 안착면(20)에 구비된 상기 기준점에 대해 상기 하우징(210)의 안착 위치를 확인하기 위해 상기 하우징(210)에 구비된 표시부(220)로 상기 안착면(20)에 상기 하우징(210)의 안착 위치를 표시한다. (S150)
일 예로, 상기 표시부(220)는 레이저 레벨기일 수 있으며, 상기 레이저 레벨기는 상기 하우징(210)의 안착 위치를 나타내는 레이저 표시를 상기 안착면(20)에 생성할 수 있다.
상기 안착면(20)에 상기 하우징(210)의 안착 위치가 표시되면, 상기 하우징(210)에 구비되는 이미지 획득부(240)를 이용하여 상기 기준점과 상기 하우징(210)의 안착 위치가 표시된 상기 안착면(210)의 이미지를 획득한다. (S160)
이후, 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 이용하여 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정한다. (S170)
구체적으로, 상기 티칭 장치(200)의 제어부(250)가 상기 이미지 획득부(240)로부터 상기 안착면(20)의 이미지에 대한 정보를 전달받고, 상기 이미지로부터 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출한다. 이후, 상기 제어부(250)가 상기 이격 거리를 이용하여 무선 통신을 통헤 상기 비히클(100)을 제어하여 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 안착면(20)의 기준 위치에 안착되도록 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있다. 일 예로, 상기 제어부(250)가 상기 비히클(100)의 구동 유닛(110) 및 슬라이드 유닛(130)을 제어하여 상기 하우징(210)의 위치를 수평 방향으로 이동하여 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 상기 안착 위치를 상기 안착면(20)의 상기 기준 위치와 일치시킬 수 있다.
이와 달리, 상기 이미지 획득부(240)를 이용하여 상기 안착면(210)의 이미지를 획득하지 않고, 작업자가 육안으로 상기 안착면(20)을 확인하고, 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출하고 상기 이격 거리를 이용하여 상기 비히클(100)을 직접 제어하여 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 안착면(20)의 기준 위치에 안착되도록 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(210)의 상기 안착 위치를 상기 안착면(20)의 상기 기준 위치와 일치시킬 수 있다.
상기 안착면(20)에서 상기 하우징(210)의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 이용하여 상기 하우징(210)의 안착 위치를 보정할 수 있으므로, 상기 비히클의 티칭 작업의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 비히클의 티칭 작업이 상기 티칭 방법 및 장치를 이용하여 수행될 수 있으므로 상기 티칭 정밀도가 크게 상승될 수 있으며 아울러 상기 티칭 작업에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
112 : 주행 휠 120 : 프레임 유닛
130 : 슬라이드 유닛 140 : 호이스트 유닛
150 : 핸드 유닛 200 : 티칭 장치
210 : 하우징 220 : 표시부
230 : 진동 감쇠부 232 : 지그
233 : 가이드 234 : 영구 자석
236 : 금속판 240 : 이미지 획득부
250 : 제어부 10 : 주행 레일
20 : 안착면

Claims (13)

  1. 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 핸드 유닛에 파지 가능하도록 구비되는 하우징;
    상기 하우징에 구비되며, 상기 비히클에 의해 이송되는 대상물이 안착되는 안착면에 구비된 기준점에 대해 상기 하우징의 안착 위치를 확인하기 위해 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 표시부; 및
    상기 하우징 및 상기 안착면에 구비되며, 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키기 위한 진동 감쇠부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진동 감쇠부는,
    상기 기준점이 노출되도록 상기 안착면에 구비되고, 상기 하우징을 수용하기 위한 가이드들이 상방으로 연장하는 지그;
    상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 어느 하나에 구비되는 영구 자석들; 및
    상기 영구 자석들과 대응하도록 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 나머지 하나에 구비되는 금속판들을 포함하고,
    상기 하우징이 상기 지그에 수용될 때 상기 영구 자석들과 상기 금속판들 사이에 발생하는 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 하우징의 수평 방향 진동이 감쇠된 후 상기 지그를 상기 안착면으로부터 제거하기 위해 상기 지그는 상기 안착면에 착탈 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하우징에 구비되며, 상기 기준점과 상기 하우징의 안착 위치가 표시된 상기 안착면의 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득부; 및
    상기 이미지로부터 상기 하우징의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출하고, 상기 이격 거리를 이용하여 상기 하우징의 안착 위치가 보정되도록 상기 비히클을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기준점은 상기 안착면의 중앙 부위에 구비되는 기준 눈금인 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 안착면에는 상기 대상물의 정렬을 위한 정렬 핀들이 구비되고, 상기 기준점은 상기 정렬 핀들 중 하나인 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 장치.
  7. 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 핸드 유닛에 하우징을 장착하는 단계;
    상기 비히클을 동작시켜 상기 하우징을 상기 비히클에 의해 이송되는 대상물이 안착되는 안착면의 상방에 위치시키는 단계;
    상기 안착면에 구비된 기준점에 대해 상기 하우징의 안착 위치를 확인하기 위해 상기 하우징에 구비된 표시부로 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 단계;
    상기 하우징의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 이용하여 상기 하우징의 안착 위치를 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 하우징을 상기 안착면의 상방에 위치시키는 단계 이후에,
    상기 하우징 및 상기 안착면에 구비되는 진동 감쇠부를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키는 단계를 더 포함하는 비히클의 티칭 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 진동 감쇠부는, 상기 기준점이 노출되도록 상기 안착면에 구비되고, 상기 하우징을 수용하기 위한 가이드들이 상방으로 연장하는 지그, 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 어느 하나에 구비되는 영구 자석들 및 상기 영구 자석들과 대응하도록 상기 하우징의 측면들 및 상기 가이드들 중 나머지 하나에 구비되는 금속판들을 포함하고,
    상기 하우징이 상기 지그에 수용될 때 상기 영구 자석들과 상기 금속판들 사이에 발생하는 맴돌이 전류를 이용하여 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 하우징의 수평 방향 진동을 감쇠시키는 단계 이후에,
    상기 지그를 상기 안착면으로부터 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
  11. 제7항에 있어서, 상기 안착면에 상기 하우징의 안착 위치를 표시하는 단계 이후에,
    상기 하우징에 구비되는 이미지 획득부를 이용하여 상기 기준점과 상기 하우징의 안착 위치가 표시된 상기 안착면의 이미지를 획득하는 단계를 더 포함하고,
    상기 하우징의 안착 위치를 보정하는 단계는, 상기 이미지로부터 상기 하우징의 안착 위치가 상기 기준점으로부터 이격된 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
  12. 제7항에 있어서, 상기 기준점은 상기 안착면의 중앙 부위에 구비되는 기준 눈금인 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
  13. 제7항에 있어서, 상기 안착면에는 상기 대상물의 정렬을 위한 정렬 핀들이 구비되고, 상기 기준점은 상기 정렬 핀들 중 하나인 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
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