KR20230094360A - 비히클의 티칭 방법 - Google Patents

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강옥경
박노재
이준호
이성현
이성호
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세메스 주식회사
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Abstract

비히클의 티칭 방법은 비히클이 주행 레일을 따라 주행하며 하우징을 수송하고, 하우징에 구비된 표시부가 하우징이 안착되는 안착면에 안착 위치를 표시하며, 하우징에 구비된 이미지 획득부가 안착 위치에 대응하는 이미지를 획득하고, 이미지를 획득하는 타이밍에서의 이미지 획득부의 위치인 제1 위치를 기준하여 하우징이 안착 위치에 안착하기 위해 수평 방향으로 이동하는 제1 거리를 산출하며, 안착 위치, 제1 위치 및 제1 위치에서 안착면에 내린 수선의 발의 위치인 제2 위치에 기초하여 제1 거리를 보정한 제2 거리를 산출할 수 있다.

Description

비히클의 티칭 방법{TEACHING METHOD FOR VIHICLE}
본 발명은 비히클의 티칭 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 비히클이 대상물을 이적재하기 위한 위치를 티칭하는 비히클의 티칭 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 실리콘 웨이퍼와 같은 기판 상에 증착, 포토리소그래피, 식각, 등의 다양한 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 상기와 같은 반도체 제조 공정에서 상기 기판은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 반송 장치에 의해 제조 공정 설비들 사이에서 운반될 수 있다. 또한, 상기 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라 다양한 종류의 자재들이 상기 OHT 장치에 의해 운반될 수 있으며 이를 통해 제조 공정의 자동화가 구현되고 있다.
예를 들면, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 배치되는 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 비히클을 포함할 수 있으며, 상기 비히클은 대상물, 예를 들면 복수의 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 수납 용기를 파지하기 위한 핸드 유닛을 구비할 수 있다.
구체적으로, 상기 클린룸의 천장에는 상기 주행 레일들이 기 설정된 경로를 따라 배치될 수 있으며 상기 비히클 은 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛을 포함할 수 있다. 또한, 상기 비히클은 상기 핸드 유닛을 승강 시키기 위한 호이스트 유닛을 구비할 수 있으며, 상기 핸드 유닛은 복수의 벨트들에 의해 상기 호이스트 유닛에 현수될 수 있다.
한편, 상기 OHT 장치의 사용을 위해서는 상기 비히클이 상기 대상물의 이적재 동작을 위한 티칭 작업이 요구된다. 상기 티칭 작업은 작업자에 의해 수작업으로 이루어질 수 있으며 상기 대상물이 놓여지는 안착면, 예를 들면, 반도체 제조 설비의 로드 포트 등에 대한 상기 대상물의 이적재를 위한 좌표가 상기 티칭 작업에서 설정될 수 있다.
본 발명의 과제는 티칭 정밀도를 향상 시킬 수 있는 티칭 방법을 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법은 비히클이 주행 레일을 따라 주행하며 하우징을 수송하고, 상기 하우징에 구비된 표시부가 상기 하우징이 안착되는 안착면에 안착 위치를 표시하며, 상기 하우징에 구비된 이미지 획득부가 상기 안착 위치에 대응하는 이미지를 획득하고, 상기 이미지를 획득하는 타이밍에서의 상기 이미지 획득부의 위치인 제1 위치를 기준하여 상기 하우징이 상기 안착 위치에 안착하기 위해 수평 방향으로 이동하는 제1 거리를 산출하며, 상기 안착 위치, 상기 제1 위치 및 상기 제1 위치에서 상기 안착면에 내린 수선의 발의 위치인 제2 위치에 기초하여 상기 제1 거리를 보정한 제2 거리를 산출할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 거리는 하기 수학식 1을 만족시킬 수 있다.
<수학식 1>
Figure pat00001
(상기 수학식 1에서 X는 상기 제1 거리를 의미하고, H는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치를 연결한 거리를 의미하고, θ는 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치 및 상기 안착 위치에 각각 그은 반직선들의 사잇각을 의미한다.)
실시예들에 있어서, 상기 제2 거리는 하기 수학식 2를 만족시킬 수 있다.
<수학식 2>
Figure pat00002
(상기 수학식 2에서 X'는 상기 제2 거리를 의미한다.)
실시예들에 있어서, 상기 비히클의 티칭 방법은 상기 하우징이 상기 수평 방향으로 상기 제2 거리만큼 이동하고, 상기 하우징이 상기 안착 위치에 안착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법에 따르면, 비히클이 수송하는 하우징이 안착을 위해 이동해야 할 거리를 보다 정확히 산출할 수 있다. 따라서, 티칭 정밀도를 향상시킬 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법을 나타내는 순서도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 비히클의 티칭 방법을 사용하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법을 나타내는 순서도이고, 도 2 및 도 3은 도 1의 비히클의 티칭 방법을 사용하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 비히클의 티칭 방법(1000)은 비히클(100)이 이송하는 대상물(미도시)을 이적재 하기 위한 위치를 티칭하기 위해 사용될 수 있다. 상기 대상물의 예로는 FOUP, FOSB, 매거진, EUV 포드 등을 들 수 있다.
구체적으로, 비히클의 티칭 방법(1000)은 비히클(100)이 주행 레일(10)을 따라 주행하며 하우징(200)을 수송하고(S100), 하우징(200)에 구비된 표시부(210)가 하우징(200)이 안착되는 안착면(20)에 안착 위치(30)를 표시하며(S200), 하우징(200)에 구비된 이미지 획득부(220)가 안착 위치(30)에 대응하는 이미지를 획득하고(S300), 상기 이미지를 획득하는 타이밍(T)에서의 상기 이미지 획득부(220)의 위치인 제1 위치(P1)를 기준하여 하우징(200)이 안착 위치(30)에 안착하기 위해 수평 방향으로 이동하는 제1 거리(X)를 산출하며(S400), 안착 위치(30), 제1 위치(P1) 및 제1 위치(P1)에서 안착면(20)에 내린 수선의 발의 위치인 제2 위치(P2)에 기초하여 제1 거리(X)를 보정한 제2 거리(X')를 산출하고(S500), 하우징(200)이 상기 수평 방향으로 제2 거리(X')만큼 이동하며(S600), 하우징(200)이 안착 위치(30)에 안착될 수 있다(S700).
이하에서, 비히클의 티칭 방법(1000)을 상세히 설명하기 위하여 비히클(100)을 먼저 설명하기로 한다.
비히클(100)은 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140) 및 핸드 유닛(150)을 포함하고, 상기 대상물을 파지하여 이송할 수 있다.
주행 유닛(110)은 주행 레일(10)을 따라 이동할 수 있다. 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 휠(112)이 구비될 수 있다. 주행 휠(112)은 별도의 구동부에 의해 회전할 수 있다. 따라서, 비히클(100)이 주행 레일(10)을 따라 주행할 수 있다. 예들 들면, 비히클(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.
한편, 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 이에 따라, 주행 레일(10)의 분기 지점에서 비히클(100)의 주행 방향을 조절될 수 있다.
프레임 유닛(120)은 주행 유닛(110)의 하부면에 고정된다. 프레임 유닛(120)은 상기 대상물을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 대상물이 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
슬라이드 유닛(130)은 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 슬라이드 유닛(130)은 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
호이스트 유닛(140)은 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비 된다. 호이스트 유닛(140)은 도 3에 도시된 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 핸드 유닛(150)을 승강시킬 수 있다.
핸드 유닛(150)은 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 대상물을 고정한다. 상기 대상물은 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 X축 방향으로 이동하며, 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다.
이하에서, 비히클(100)에 관한 설명에 이어서 비히클의 티칭 방법(1000)을 다시 설명하기로 한다.
먼저, 비히클(100)이 주행 레일(10)을 따라 주행하며 하우징(200)을 수송할수 있다(S100).
하우징(200)은 비히클(100)의 핸드 유닛(150)에 파지될 수 있다. 일 예로, 하우징(200)은 상기 대상물과 유사한 형태를 가질 수 있으며, 하우징(200)의 상부에는 핸드 유닛(150)이 용이하게 파지할 수 있도록 플랜지가 구비될 수 있다.
다음으로, 하우징(200)에 구비된 표시부(210)가 하우징(200)이 안착되는 안착면(20)에 안착 위치(30)를 표시할 수 있다(S200).
일 예로, 안착면(20)은 로드 포트의 상부면이거나, 상기 대상물을 임시로 수용하는 버퍼 장치의 스테이지의 상부면일 수 있다.
표시부(210)는 하우징(200)의 중심부에 위치할 수 있다. 따라서, 표시부(220)가 하우징(200)이 안착되는 안착 위치(30)를 정확하게 안착면(20)에 표시할 수 있다.
일 예로, 표시부(210)는 레이저 레벨기일 수 있다. 상기 레이저 레벨기는 레이저 표시를 상기 안착면(20)에 생성할 수 있다. 이 경우, 상기 레이저 표시가 안착 위치(30)를 나타낼 수 있다.
다음으로, 하우징(200)에 구비된 이미지 획득부(220)가 안착 위치(30)에 대응하는 상기 이미지를 획득할 수 있다(S300). 예컨대, 도 2는 이미지 획득부(220)가 안착 위치(30)에 대응하는 상기 이미지를 획득하는 타이밍(T)을 도시하고 있다.
일 예로, 이미지 획득부(220)는 안착면(20)의 상기 이미지를 획득하기 위한 카메라와 조명 기구를 포함할 수 있다.
다음으로, 상기 이미지를 획득하는 타이밍(T)에서의 이미지 획득부(220)의 위치인 제1 위치(P1)를 기준하여 하우징(200)이 안착 위치(30)에 안착하기 위해 상기 수평 방향으로 이동하는 제1 거리(X)를 산출할 수 있다(S400).
일 예로, 제1 거리(X)는 이미지 획득부(220)와 연결된 제어부(미도시)가 산출할 수 있다.
제1 거리(X)는 하기 수학식 1을 만족시킬 수 있다.
<수학식 1>
Figure pat00003
상기 수학식 1에서 H는 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2)를 연결한 거리를 의미하고, θ는 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2) 및 상기 안착 위치(30)에 각각 그은 반직선들의 사잇각을 의미할 수 있다. 일 예로, θ는 9.9°일 수 있다.
상기 수학식 1은 이미지 획득부(220)가 상기 이미지를 획득하는 방식에 따른 식일 수 있다. 다시 말하면, 상기 수학식 1을 만족시키는 제1 거리(X)는 하우징(20)이 안착을 위해 상기 수평 방향으로 이동해야 할 거리와 차이가 있으므로, 제1 거리(X)를 보정할 필요가 있다.
다음으로, 안착 위치(30), 제1 위치(P1) 및 제1 위치(P1)에서 안착면(20)에 내린 수선의 발의 위치인 제2 위치(P2)에 기초하여 제1 거리(X)를 보정한 제2 거리(X')를 산출할 수 있다(S500).
일 예로, 제2 거리(X')는 이미지 획득부(220)와 연결된 상기 제어부(미도시)가 산출할 수 있다.
제2 거리(X')는 하기 수학식 2을 만족시킬 수 있다.
<수학식 2>
Figure pat00004
상기 수학식 2에 따르면, 제2 거리(X')는 도 2가 나타내는 타이밍(T)을 기준으로 하우징(200)이 안착을 위해 상기 수평 방향으로 이동해야 할 거리를 의미할 수 있다.
다음으로, 하우징(200)이 상기 수평 방향으로 제2 거리(X')만큼 이동할 수 있다(S600).
다음으로, 하우징(200)이 안착 위치(30)에 안착될 수 있다(S700).
상술한 바와 같이, 상기 수학식 1을 만족시키는 제1 거리(X)는 하우징(200)이 안착을 위해 상기 수평 방향으로 이동해야 할 거리와 차이가 있으므로, 제1 거리(X)를 보정할 필요가 있다.
상술한 바와 같이, 비히클의 티칭 방법(1000)은 제1 거리(X)를 제2 거리(X')으로 보정할 수 있으므로, 도 2가 나타내는 타이밍(T)을 기준으로 하우징(200)이 안착을 위해 상기 수평 방향으로 이동해야 할 거리를 보다 정확히 산출할 수 있다. 따라서, 티칭 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000 : 비히클의 티칭 방법 10 : 주행 레일
20 : 안착면 30 : 안착 위치
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
112 : 주행 휠 120 : 프레임 유닛
130 : 슬라이드 유닛 140 : 호이스트 유닛
150 : 핸드 유닛 200 : 하우징
210 : 표시부 220 : 이미지 획득부

Claims (4)

  1. 비히클이 주행 레일을 따라 주행하며 하우징을 수송하는 단계;
    상기 하우징에 구비된 표시부가 상기 하우징이 안착되는 안착면에 안착 위치를 표시하는 단계;
    상기 하우징에 구비된 이미지 획득부가 상기 안착 위치에 대응하는 이미지를 획득하는 단계;
    상기 이미지를 획득하는 타이밍에서의 상기 이미지 획득부의 위치인 제1 위치를 기준하여 상기 하우징이 상기 안착 위치에 안착하기 위해 수평 방향으로 이동하는 제1 거리를 산출하는 단계; 및
    상기 안착 위치, 상기 제1 위치 및 상기 제1 위치에서 상기 안착면에 내린 수선의 발의 위치인 제2 위치에 기초하여 상기 제1 거리를 보정한 제2 거리를 산출하는 단계를 포함하는 비히클의 티칭 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 거리는 하기 수학식 1을 만족시키는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
    수학식 1
    Figure pat00005

    (상기 수학식 1에서 X는 상기 제1 거리를 의미하고, H는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치를 연결한 거리를 의미하고, θ는 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치 및 상기 안착 위치에 각각 그은 반직선들의 사잇각을 의미한다.)
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 거리는 하기 수학식 2를 만족시키는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.
    수학식 2
    Figure pat00006

    (상기 수학식 2에서 X'는 상기 제2 거리를 의미한다.)
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 하우징이 상기 수평 방향으로 상기 제2 거리만큼 이동하는 단계; 및
    상기 하우징이 상기 안착 위치에 안착되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 티칭 방법.


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