KR20210095552A - Base attached blade - Google Patents

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KR20210095552A
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convex portion
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KR1020200174928A
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타카히로 이시이
케이치 카이
요시노리 야구치
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

Provided is a base-attached blade in which a base and a blade are firmly coupled. A disk-shaped base and an annular blade having an opening part in the center are provided. The base has an annular convex portion protruding from the surface of the base, the blade has a concave portion formed toward the outer peripheral edge side from the side exposed in the opening part, and the base and the blade are attached through the first adhesive attached to the surface of the base in a state where the convex part is fitted into the opening part. The base-attached blade is filled in the concave portion and bonded by a second adhesive which has penetrated into the gap between the convex portion and the side surface.

Description

베이스 부착 블레이드{BASE ATTACHED BLADE}Blade with base {BASE ATTACHED BLADE}

본 발명은, 피가공물의 절삭에 이용되는 베이스 부착 블레이드에 관한 것이다.The present invention relates to a blade with a base used for cutting a workpiece.

IC(Integrated Circuit), LSI(Large Scale Integration) 등의 디바이스가 복수 형성된 반도체 웨이퍼를 분할하는 것에 의해, 디바이스를 각각 구비한 복수의 디바이스 칩이 제조된다. 또한, 기판 상에 실장된 복수의 디바이스 칩을 수지로 이루어지는 밀봉재(몰드 수지)로 피복하여 형성된 패키지 기판을 분할하는 것에 의해, 몰드 수지로 덮인 디바이스 칩을 각각 구비한 복수의 패키지 디바이스가 제조된다. 디바이스 칩이나 패키지 디바이스는, 휴대 전화나 퍼스널 컴퓨터로 대표되는 다양한 전자 기기에 탑재된다.By dividing a semiconductor wafer in which a plurality of devices such as integrated circuit (IC) and large scale integration (LSI) are formed, a plurality of device chips each having devices are manufactured. Further, by dividing the package substrate formed by covering the plurality of device chips mounted on the substrate with a sealing material (mold resin) made of a resin, a plurality of package devices each having the device chips covered with the mold resin are manufactured. A device chip and a packaged device are mounted in various electronic apparatuses typified by a cellular phone and a personal computer.

반도체 웨이퍼나 패키지 기판의 분할에는, 절삭 장치가 이용된다. 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 환형의 블레이드로 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛을 구비한다. 블레이드를 회전시켜, 유지 테이블에 의해 유지된 피가공물에 절입시키는 것에 의해, 피가공물이 절삭, 분할된다.A cutting device is used for division|segmentation of a semiconductor wafer and a package board|substrate. The cutting device includes a holding table for holding a workpiece, and a cutting unit for cutting the workpiece with an annular blade. By rotating the blade and cutting into the workpiece held by the holding table, the workpiece is cut and divided.

피가공물의 절삭에 이용되는 블레이드로서는, 다이아몬드 등으로 이루어지는 지립이 니켈 도금 등에 의해 고정된 절삭날을 구비한 허브 타입의 블레이드나, 지립이 금속, 세라믹스, 수지 등으로 이루어지는 본드재에 의해 고정된 환형의 절삭날로 이루어지는 워셔 타입의 블레이드가 이용된다. 피가공물을 절삭할 때에는, 피가공물의 재질 등에 따라 적절한 블레이드가 적절하게 선택된다.As a blade used for cutting a workpiece, a hub-type blade having a cutting edge in which abrasive grains made of diamond are fixed by nickel plating or the like, or annular in which abrasive grains are fixed by a bond material made of metal, ceramics, resin, etc. A washer-type blade made of a cutting edge of When cutting a workpiece, an appropriate blade is appropriately selected according to the material or the like of the workpiece.

허브 타입의 블레이드는, 원반 형상의 베이스와, 베이스의 외주 가장자리를 따라 형성된 절삭날이 일체가 되어 구성되고 있고, 절삭 유닛이 구비한 회전축(스핀들)의 선단부에 고정된 블레이드 마운트에 장착된다. 또한, 워셔 타입의 블레이드는, 블레이드 마운트가 구비한 플랜지부(고정 플랜지)와, 고정 플랜지와 함께 블레이드를 사이에 끼워 넣는 탈착 플랜지에 의해, 회전축의 선단부에 장착된다.The hub-type blade has a disk-shaped base and a cutting edge formed along the outer periphery of the base as one body, and is mounted on a blade mount fixed to the tip of a rotating shaft (spindle) provided in the cutting unit. In addition, the washer-type blade is attached to the front end of the rotating shaft by a flange portion (fixed flange) provided with the blade mount and a detachable flange that sandwiches the blade together with the fixing flange.

상기와 같이, 허브 타입의 블레이드와 워셔 타입의 블레이드에서는 회전축으로의 장착 방법이 상이하며, 회전축에 고정되는 블레이드 마운트의 형상, 치수 등도 블레이드의 종류에 따라 상이하다. 그 때문에, 예컨대 회전축의 선단부에 장착된 허브 타입의 블레이드를 워셔 타입의 블레이드로 교환할 때에는, 블레이드 마운트도 교환할 필요가 있어, 블레이드의 교환 작업이 번잡하게 된다.As described above, in the hub-type blade and the washer-type blade, the mounting method on the rotating shaft is different, and the shape and size of the blade mount fixed to the rotating shaft are also different depending on the type of the blade. For this reason, for example, when replacing a hub-type blade attached to the tip of the rotating shaft with a washer-type blade, it is necessary to also replace the blade mount, which makes the replacement operation of the blade complicated.

따라서, 최근에는, 워셔 타입의 블레이드가 원반 형상의 베이스에 접착된 베이스 부착 블레이드가 제안되고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이 베이스 부착 블레이드를 이용하면, 허브 타입의 블레이드용의 블레이드 마운트에 워셔 타입의 블레이드를 장착하는 것이 가능해져, 블레이드의 교환 작업이 간이화된다.Accordingly, in recent years, a blade with a base in which a washer-type blade is adhered to a disk-shaped base has been proposed (see, for example, Patent Document 1). If this base-attached blade is used, it becomes possible to mount a washer-type blade to a blade mount for a hub-type blade, thereby simplifying the blade replacement operation.

일본 공개특허공보 제2012-135833호Japanese Patent Laid-Open No. 2012-135833

상기한 베이스 부착 블레이드는, 개별적으로 형성된 베이스와 블레이드를 일체화시키는 것에 의해 제조된다. 구체적으로는, 베이스의 한쪽의 면에 접착제를 도포한 후, 베이스의 한쪽의 면과 블레이드의 한쪽의 면을 대향시키고, 베이스와 블레이드를 접착제를 통해 서로 부착한다. 이에 의해, 베이스와 블레이드가 접합되어 일체화한다.The above-described base-attached blade is manufactured by integrating the separately formed base and the blade. Specifically, after applying an adhesive to one side of the base, one side of the base and one side of the blade are opposed, and the base and the blade are attached to each other through the adhesive. Thereby, the base and the blade are joined and integrated.

상기한 공정을 거쳐 얻어진 베이스 부착 블레이드에서는, 블레이드가 베이스의 한쪽의 면에만 부착되지만, 이 상태에서는 베이스와 블레이드의 접합의 강도가 불충분한 경우가 있다. 특히, 베이스에 두꺼운 블레이드가 고정되는 경우에는, 블레이드를 베이스의 한쪽의 면에 도포된 접착제만에 의해 베이스와 블레이드를 견고하게 일체화시키는 것이 곤란한 경우가 많다.In the blade with a base obtained through the above process, the blade is attached to only one surface of the base, but in this state, the strength of bonding between the base and the blade may be insufficient. In particular, when a thick blade is fixed to the base, it is often difficult to firmly integrate the blade with the base by only the adhesive applied to one side of the base.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 베이스와 블레이드가 견고하게 결합된 베이스 부착 블레이드의 제공을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of this problem, and an object of the present invention is to provide a base-attached blade in which a base and a blade are firmly coupled.

본 발명의 일 양태에 의하면, 원반 형상의 베이스와, 중앙에 개구부를 구비한 환형의 블레이드를 구비하고, 상기 베이스는, 상기 베이스의 표면으로부터 돌출하는 환형의 볼록부를 구비하고, 상기 블레이드는, 상기 개구부에서 노출하는 측면으로부터 외주 가장자리 측을 향해 형성된 오목부를 구비하고, 상기 베이스와 상기 블레이드는, 상기 볼록부가 상기 개구부에 감입된 상태에서, 상기 베이스의 상기 표면에 부착한 제1 접착제를 통해 부착되고, 상기 오목부에 충전되어 상기 볼록부와 상기 측면의 간극에 침투한 제2 접착제에 의해 접합되고 있는 베이스 부착 블레이드가 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a disc-shaped base and an annular blade having an opening in the center, the base having an annular convex portion protruding from the surface of the base, the blade comprising: and a concave portion formed from a side exposed in the opening toward an outer peripheral edge side, wherein the base and the blade are attached through a first adhesive attached to the surface of the base in a state where the convex portion is fitted into the opening, , a base-attached blade filled in the concave portion and joined by a second adhesive penetrating into the gap between the convex portion and the side surface.

또한, 바람직하게는, 상기 베이스의 상기 표면측 중 상기 볼록부가 형성되지 않은 영역에, 상기 제1 접착제가 충전되는 홈이 형성되고 있다. 또한, 바람직하게는, 상기 제1 접착제의 재료와 상기 제2 접착제의 재료는 동일, 또는, 상기 제2 접착제는 상기 제1 접착제보다 점도가 낮다.Further, preferably, a groove in which the first adhesive is filled is formed in a region where the convex portion is not formed on the surface side of the base. Also, preferably, the material of the first adhesive and the material of the second adhesive are the same, or the second adhesive has a lower viscosity than the first adhesive.

본 발명의 일 양태와 관련되는 베이스 부착 블레이드에서는, 베이스와 블레이드가, 베이스의 표면에 부착한 제1 접착제를 통해 부착되고, 아울러 블레이드의 오목부에 충전되어 베이스의 볼록부와 블레이드의 측면의 간극에 침투한 제2 접착제에 의해 접합된다. 이에 의해, 베이스와 블레이드가 견고하게 결합된 베이스 부착 블레이드를 얻을 수 있다.In the blade with a base according to an aspect of the present invention, the base and the blade are attached via a first adhesive adhered to the surface of the base, and are filled in the concave portion of the blade, and the gap between the convex portion of the base and the side surface of the blade It is joined by the second adhesive that has penetrated into it. Thereby, a base-attached blade in which the base and the blade are firmly coupled can be obtained.

도 1은 베이스 부착 블레이드를 도시하는 분해 단면도이다.
도 2는 베이스와 블레이드가 결합되는 모습을 도시하는 단면도이다.
도 3은 베이스와 블레이드가 결합된 베이스 부착 블레이드를 도시하는 단면도이다.
도 4는 블레이드의 오목부에 접착제가 충전된 베이스 부착 블레이드를 도시하는 단면도이다.
도 5는 홈이 형성된 베이스와 블레이드가 결합된 베이스 부착 블레이드를 도시하는 단면도이다.
도 6은 절삭 장치를 도시하는 사시도이다.
도 7은 절삭 유닛을 도시하는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an exploded sectional view which shows the blade with a base.
2 is a cross-sectional view showing a state in which the base and the blade are coupled.
Fig. 3 is a cross-sectional view showing the base-attached blade in which the base and the blade are coupled.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing the base-attached blade in which the concave portion of the blade is filled with adhesive.
Fig. 5 is a cross-sectional view showing a grooved base and a base-attached blade in which the blade is coupled.
6 is a perspective view showing a cutting device.
7 is a perspective view showing a cutting unit.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 우선, 본 실시 형태와 관련되는 베이스 부착 블레이드의 구성예에 대해 설명한다. 도 1은, 베이스 부착 블레이드(2)를 도시하는 분해 사시도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to an accompanying drawing. First, a configuration example of the blade with a base according to the present embodiment will be described. 1 : is an exploded perspective view which shows the blade 2 with a base.

베이스 부착 블레이드(2)는, 원반 형상의 베이스(4)와, 환형의 블레이드(6)를 구비한다. 베이스(4)는, 예컨대 알루미늄 합금 등의 금속으로 이루어지고, 서로 대략 평행한 제1 면(표면)(4a) 및 제2 면(이면)(4b)과, 외주 가장자리(외주면)(4c)를 구비한다. 또한, 베이스(4)의 중앙에는, 베이스(4)를 제1 면(4a)으로부터 제2 면(4b)까지 관통하는 원기둥 형상의 개구부(4d)가 설치되고 있다.The base-attached blade 2 includes a disk-shaped base 4 and an annular blade 6 . The base 4 is made of, for example, a metal such as an aluminum alloy, and has a first surface (surface) 4a and a second surface (rear surface) 4b that are substantially parallel to each other, and an outer peripheral edge (outer peripheral surface) 4c. be prepared Moreover, in the center of the base 4, the cylindrical opening part 4d which penetrates the base 4 from the 1st surface 4a to the 2nd surface 4b is provided.

베이스(4)의 제1 면(4a) 측에는, 제1 면(4a)으로부터 블레이드(6) 측으로 돌출하는 환형의 볼록부(4e)가, 개구부(4d)를 둘러싸도록 설치되고 있다. 볼록부(4e)는, 개구부(4d)의 윤곽을 따라 미리 정해진 폭으로 형성되고 있고, 제1 면(4a)과 대략 수직인 외주면(4f)을 구비한다.On the first surface 4a side of the base 4, an annular convex portion 4e protruding from the first surface 4a toward the blade 6 is provided so as to surround the opening 4d. The convex part 4e is formed with a predetermined width along the outline of the opening part 4d, and is provided with the outer peripheral surface 4f substantially perpendicular|vertical to the 1st surface 4a.

블레이드(6)는, 다이아몬드, 입방정 질화 붕소(cBN: cubic Boron Nitride) 등으로 이루어지는 지립을, 금속, 세라믹스, 수지 등으로 이루어지는 본드재로 고정하는 것에 의해 환형으로 형성된다. 또한, 블레이드(6)에 포함되는 지립이나 본드재의 재질은, 베이스 부착 블레이드(2)의 사양 등에 따라 적절하게 선택된다.The blade 6 is formed in an annular shape by fixing abrasive grains made of diamond, cubic boron nitride (cBN) or the like with a bonding material made of metal, ceramics, resin, or the like. In addition, the material of the abrasive grain and the bonding material contained in the blade 6 is suitably selected according to the specification of the blade 2 with a base, etc.

블레이드(6)는, 서로 대략 평행한 제1 면(표면)(6a) 및 제2 면(이면)(6b)과, 제1 면(6a) 및 제2 면(6b)에 접속된 외주 가장자리(외주면)(6c)를 구비한다. 또한, 블레이드(6)의 중앙에는, 블레이드(6)를 제1 면(6a)으로부터 제2 면(6b)까지 관통하는 원기둥 형상의 개구부(6d)가 설치되고 있다. 개구부(6d)는, 개구부(6d)에서 노출하는 블레이드(6)의 측면(내주면)(6e)을 획정하고 있다.The blade 6 has a first face (surface) 6a and a second face (rear face) 6b that are substantially parallel to each other, and an outer peripheral edge connected to the first face 6a and the second face 6b ( outer peripheral surface) 6c. Moreover, in the center of the blade 6, the cylindrical opening 6d which penetrates the blade 6 from the 1st surface 6a to the 2nd surface 6b is provided. The opening 6d defines a side surface (inner peripheral surface) 6e of the blade 6 exposed by the opening 6d.

또한, 블레이드(6)는, 블레이드(6)의 측면(6e)으로부터 외주 가장자리(6c) 측을 향해 형성된 복수의 오목부(6f)를 가진다. 복수의 오목부(6f)는, 블레이드(6)의 제1 면(6a)으로부터 제2 면(6b)에 이르도록 형성되고, 측면(6e)의 원주 방향을 따라 대략 등간격으로 배치되고 있다. 도 1에서는, 블레이드(6)에 8개의 오목부(6f)가 형성된 예를 나타내고 있다.Further, the blade 6 has a plurality of concave portions 6f formed from the side surface 6e of the blade 6 toward the outer peripheral edge 6c side. The plurality of concave portions 6f are formed so as to extend from the first surface 6a to the second surface 6b of the blade 6, and are arranged at substantially equal intervals along the circumferential direction of the side surface 6e. In FIG. 1, the example in which the eight recessed parts 6f were formed in the blade 6 is shown.

베이스(4)와 블레이드(6)를 결합하는 것에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 일체화한 베이스 부착 블레이드(2)를 얻을 수 있다. 도 2는, 베이스(4)와 블레이드(6)가 결합되는 모습을 도시하는 단면도이다.By coupling the base 4 and the blade 6, the blade 2 with a base in which the base 4 and the blade 6 are integrated can be obtained. 2 is a cross-sectional view showing a state in which the base 4 and the blade 6 are coupled.

베이스(4)와 블레이드(6)를 결합할 때는, 우선, 베이스(4)의 제1 면(4a)에 제1 접착제(부착용 접착제)를 부착시킨다. 구체적으로는, 베이스(4)의 제1 면(4a) 중 볼록부(4e)보다 베이스(4)의 반경 방향 외측에 위치하는 영역에, 제1 접착제를 부착시킨다. 예컨대, 제1 면(4a)에 시트형의 접착제(접착 시트)를 부착해도 좋고, 제1 면(4a)에 에폭시 수지계의 접착제 등을 도포해도 좋다. 또한, 제1 접착제는 블레이드(6)에 부착시켜도 좋다.When bonding the base 4 and the blade 6, first, a first adhesive (adhesive for attachment) is attached to the first surface 4a of the base 4 . Specifically, the first adhesive is attached to a region located outside the convex portion 4e in the radial direction of the first surface 4a of the base 4 in the radial direction. For example, a sheet-like adhesive (adhesive sheet) may be attached to the first surface 4a, or an epoxy resin-based adhesive or the like may be applied to the first surface 4a. Also, the first adhesive may be attached to the blade 6 .

그 후, 베이스(4)의 제1 면(4a)과 블레이드(6)의 제1 면(6a)을 대향시켜, 베이스(4)와 블레이드(6)를 제1 접착제를 통해 부착시킨다. 이에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 접합된다.Then, the first surface 4a of the base 4 and the first surface 6a of the blade 6 are opposed, and the base 4 and the blade 6 are attached through the first adhesive. Thereby, the base 4 and the blade 6 are joined.

여기서, 베이스(4)의 볼록부(4e)는, 블레이드(6)의 개구부(6d)에 대응하는 형상을 가진다. 구체적으로는, 볼록부(4e)는, 볼록부(4e)의 외주면(4f)의 직경과 블레이드(6)의 측면(6e)의 직경이 대략 동일하고, 외주면(4f)의 형상과 측면(6e)의 형상이 대략 일치하도록 형성되고 있다. 그리고, 베이스(4)와 블레이드(6)는, 베이스(4)의 볼록부(4e)가 블레이드(6)의 개구부(6d)에 감입되도록 부착된다. 이에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 서로 동심원 형상으로 배치되고, 베이스(4)와 블레이드(6)의 위치 맞춤이 실시된다.Here, the convex portion 4e of the base 4 has a shape corresponding to the opening 6d of the blade 6 . Specifically, as for the convex portion 4e, the diameter of the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e and the diameter of the side surface 6e of the blade 6 are approximately the same, and the shape of the outer peripheral surface 4f and the side surface 6e ) is formed to approximately match the shape. Then, the base 4 and the blade 6 are attached so that the convex portion 4e of the base 4 fits into the opening 6d of the blade 6 . Thereby, the base 4 and the blade 6 are mutually arrange|positioned concentrically, and the position alignment of the base 4 and the blade 6 is performed.

또한, 볼록부(4e)가 블레이드(6)의 개구부(6d)에 원활히 삽입되도록, 볼록부(4e)의 외주면(4f)의 직경은, 블레이드(6)의 측면(6e)의 직경보다 약간 작게 설정된다. 다만, 베이스(4)와 블레이드(6)의 고정밀의 위치 맞춤을 위해, 볼록부(4e)의 외주면(4f)의 직경과 블레이드(6)의 측면(6e)의 직경과의 차이는 100㎛ 이하인 것이 바람직하다.In addition, the diameter of the outer peripheral surface 4f of the convex part 4e is slightly smaller than the diameter of the side surface 6e of the blade 6 so that the convex part 4e is smoothly inserted into the opening 6d of the blade 6 . is set However, for high-precision positioning of the base 4 and the blade 6, the difference between the diameter of the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e and the diameter of the side surface 6e of the blade 6 is 100 μm or less. it is preferable

도 3은, 베이스(4)와 블레이드(6)가 결합된 베이스 부착 블레이드(2)를 도시하는 단면도이다. 베이스(4)의 볼록부(4e)가 블레이드(6)의 개구부(6d)에 감입된 상태에서, 베이스(4)와 블레이드(6)가 접합되고 일체화하는 것에 의해, 베이스 부착 블레이드(2)를 얻을 수 있다. 또한, 블레이드(6)의 외주 가장자리(6c)의 직경은, 베이스(4)의 외주 가장자리(4c)의 직경보다 크다. 그 때문에, 베이스(4)와 블레이드(6)를 접합시키면, 블레이드(6)의 외주 가장자리(6c)는 베이스(4)의 외주 가장자리(4c)보다 베이스(4)의 반경 방향 외측에 배치되고, 외주 가장자리(4c)로부터 돌출한 상태가 된다.Fig. 3 is a cross-sectional view showing the base-attached blade 2 to which the base 4 and the blade 6 are coupled. In a state where the convex portion 4e of the base 4 is fitted into the opening 6d of the blade 6, the base 4 and the blade 6 are joined and integrated, whereby the blade 2 with the base is formed. can be obtained In addition, the diameter of the outer peripheral edge 6c of the blade 6 is larger than the diameter of the outer peripheral edge 4c of the base 4 . Therefore, when the base 4 and the blade 6 are joined, the outer peripheral edge 6c of the blade 6 is disposed radially outside the base 4 than the outer peripheral edge 4c of the base 4, It will be in the state which protruded from the outer peripheral edge 4c.

또한, 볼록부(4e)의 높이(제1 면(4a)으로부터의 돌출량)는, 블레이드(6)의 두께 이하인 것이 바람직하다. 이 경우, 볼록부(4e)를 블레이드(6)의 개구부(6d)에 삽입해도, 볼록부(4e)가 블레이드(6)의 제2 면(6b) 측으로부터 돌출하지 않는다. 이에 의해, 회전축(40)에 고정된 블레이드 마운트(44)(도 7 참조)에 베이스 부착 블레이드(2)를 장착할 때, 볼록부(4e)가 블레이드 마운트(44)와 접촉하여 베이스 부착 블레이드(2)의 장착을 방해하는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is preferable that the height (the amount of protrusion from the 1st surface 4a) of the convex part 4e is less than the thickness of the blade 6 . In this case, even when the projection 4e is inserted into the opening 6d of the blade 6 , the projection 4e does not protrude from the side of the second surface 6b of the blade 6 . Thereby, when mounting the base-attached blade 2 to the blade mount 44 (refer to Fig. 7) fixed to the rotating shaft 40, the convex portion 4e comes into contact with the blade mount 44 to bring the base-attached blade ( 2) can be prevented from interfering with the installation.

다음에, 베이스(4)에 부착된 블레이드(6)의 오목부(6f)에 제2 접착제(충전용 접착제)를 충전한다. 도 4는, 블레이드(6)의 오목부(6f)에 제2 접착제(8)가 충전된 베이스 부착 블레이드(2)를 도시하는 단면도이다. 제2 접착제(8)로서는, 예컨대 아크릴 수지계나 에폭시 수지계의 접착제가 이용된다.Next, the concave portion 6f of the blade 6 attached to the base 4 is filled with a second adhesive (adhesive for filling). 4 is a cross-sectional view showing the blade 2 with a base in which the second adhesive 8 is filled in the recessed portion 6f of the blade 6 . As the second adhesive 8, for example, an acrylic resin or epoxy resin adhesive is used.

또한, 제2 접착제(8)의 재료는, 베이스(4)와 블레이드(6)의 부착에 이용한 제1 접착제의 재료와 동일해도 좋고, 상이해도 좋다. 제1 접착제와 제2 접착제로 재료가 상이한 경우에는, 제2 접착제(8)로서, 제1 접착제보다 점도가 낮고 유동성이 높은 접착제를 이용하는 것이 바람직하다.In addition, the material of the 2nd adhesive agent 8 may be the same as that of the 1st adhesive agent used for attachment of the base 4 and the blade 6, and may be different. When the materials of the first adhesive and the second adhesive are different, as the second adhesive 8, an adhesive having a lower viscosity and higher fluidity than that of the first adhesive is preferably used.

여기서, 베이스(4)의 볼록부(4e)와 블레이드(6)의 측면(6e)의 사이에는, 예컨대 50㎛ 이하의 근소한 간극이 형성되고 있다. 그리고, 오목부(6f)에 제2 접착제(8)를 충전하면, 제2 접착제(8)가 모세관 현상에 의해 볼록부(4e)의 외주면(4f)과 블레이드(6)의 측면(6e)의 간극을 유동하여, 상기 간극에 제2 접착제(8)가 침투한다. 그 결과, 외주면(4f)과 측면(6e)의 간극에 충전된 제2 접착제(8)에 의해, 외주면(4f)과 측면(6e)이 접합된다.Here, between the convex portion 4e of the base 4 and the side surface 6e of the blade 6, a slight gap of, for example, 50 µm or less is formed. Then, when the concave portion 6f is filled with the second adhesive 8, the second adhesive 8 is formed by capillary action between the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e and the side surface 6e of the blade 6 By flowing the gap, the second adhesive 8 penetrates into the gap. As a result, the outer peripheral surface 4f and the side surface 6e are joined by the second adhesive 8 filled in the gap between the outer peripheral surface 4f and the side surface 6e.

제2 접착제(8)가 볼록부(4e)와 측면(6e)의 간극에 침투하면, 베이스(4)의 제1 면(4a)과 블레이드(6)의 제1 면(6a)이 제1 접착제에 의해 접합될 뿐만 아니라, 또한, 볼록부(4e)와 측면(6e)이 제2 접착제(8)에 의해 접합된다. 이에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 견고하게 접합된다.When the second adhesive 8 penetrates into the gap between the convex portion 4e and the side surface 6e, the first surface 4a of the base 4 and the first surface 6a of the blade 6 are bonded to the first adhesive In addition to being joined by the second adhesive 8 , the convex portion 4e and the side surface 6e are also joined by the second adhesive 8 . Thereby, the base 4 and the blade 6 are firmly joined.

특히, 블레이드(6)가 두꺼운 경우에는, 블레이드(6)의 두께에 따라 베이스(4)의 볼록부(4e)의 높이(돌출량)를 증가시키는 것에 의해, 외주면(4f)과 측면(6e)의 접합 영역을 넓게 할 수 있다. 이에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 보다 견고하게 접합된다. 예컨대, 볼록부(4e)의 높이는 블레이드(6)의 두께와 대략 동일하게 설정된다.In particular, when the blade 6 is thick, by increasing the height (protrusion amount) of the convex portion 4e of the base 4 according to the thickness of the blade 6, the outer peripheral surface 4f and the side surface 6e can widen the junction area. Thereby, the base 4 and the blade 6 are joined more firmly. For example, the height of the convex portion 4e is set to be approximately equal to the thickness of the blade 6 .

제2 접착제(8)가 충전되는 오목부(6f)의 수, 위치(간격), 형상, 크기 등은, 오목부(6f)에 충전된 제2 접착제(8)가 모세관 현상에 의해 볼록부(4e)와 측면(6e)의 간극의 전역에 걸쳐 침투하도록 설정된다. 다만, 오목부(6f)가 과도하게 크면, 블레이드(6)의 강도에 영향을 미칠 우려가 있다. 그 때문에, 오목부(6f)의 깊이는, 블레이드(6)의 폭(외주 가장자리(6c)와 측면(6e)과의 거리)의 1/4 이하인 것이 바람직하다.The number, position (gap), shape, size, etc. of the concave portions 6f filled with the second adhesive 8 are determined by the second adhesive 8 filled in the concave portion 6f by capillary action. It is set to penetrate over the entire gap between 4e) and the side surface 6e. However, if the concave portion 6f is excessively large, there is a risk of affecting the strength of the blade 6 . Therefore, the depth of the recessed portion 6f is preferably 1/4 or less of the width of the blade 6 (distance between the outer peripheral edge 6c and the side surface 6e).

상기한 바와 같이, 본 실시 형태와 관련되는 베이스 부착 블레이드(2)에서는, 베이스(4)와 블레이드(6)가, 베이스(4)의 제1 면(4a)에 부착한 제1 접착제를 통해 부착되며, 아울러 블레이드(6)의 오목부(6f)에 충전되어 베이스(4)의 볼록부(4e)와 블레이드(6)의 측면(6e)의 간극에 침투한 제2의 접착제에 의해 접합된다. 이에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 견고하게 결합된 베이스 부착 블레이드(2)를 얻을 수 있다.As described above, in the blade 2 with a base according to the present embodiment, the base 4 and the blade 6 are attached via the first adhesive attached to the first surface 4a of the base 4 . In addition, the second adhesive is filled in the concave portion 6f of the blade 6 and penetrated into the gap between the convex portion 4e of the base 4 and the side surface 6e of the blade 6 to be joined by the second adhesive. Thereby, it is possible to obtain the base-attached blade 2 in which the base 4 and the blade 6 are firmly coupled.

또한, 상기에서는, 베이스(4)와 블레이드(6)가 제1 접착제를 통해 부착된 후에, 블레이드(6)의 오목부(6f)에 제2 접착제(8)가 충전되는 경우에 대해 설명했지만, 베이스(4)와 블레이드(6)의 접합의 방법은 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 베이스(4)와 블레이드(6)가 부착된 때에, 블레이드(6)의 오목부(6f)에 접착제가 충전되어도 좋다.In addition, in the above, after the base 4 and the blade 6 are attached via the first adhesive, the case where the concave portion 6f of the blade 6 is filled with the second adhesive 8 has been described, The method of joining the base 4 and the blade 6 is not limited thereto. For example, when the base 4 and the blade 6 are attached, the concave portion 6f of the blade 6 may be filled with an adhesive.

구체적으로는, 베이스(4)와 블레이드(6)를 부착할 때, 베이스(4)의 제1 면(4a) 중 블레이드(6)의 오목부(6f)와 겹치는 영역(제1 영역)에는, 제1 면(4a)의 다른 영역(제2 영역)보다 다량의 제1 접착제가 도포된다. 이 상태에서 베이스(4)와 블레이드(6)가 부착되면, 제1 영역에 도포된 제1 접착제가 블레이드(6)의 오목부(6f)에 충전된다. 그리고, 오목부(6f)에 충전된 제1 접착제가 모세관 현상에 의해 볼록부(4e)의 외주면(4f)과 블레이드(6)의 측면(6e)의 간극을 유동하여, 상기 간극에 제1 접착제가 침투한다.Specifically, when attaching the base 4 and the blade 6, among the first surfaces 4a of the base 4, in the region (the first region) overlapping the concave portion 6f of the blade 6, A larger amount of the first adhesive is applied than the other areas (second areas) of the first surface 4a. When the base 4 and the blade 6 are attached in this state, the first adhesive applied to the first area is filled in the recessed portion 6f of the blade 6 . Then, the first adhesive filled in the concave portion 6f flows through the gap between the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e and the side surface 6e of the blade 6 due to capillary action, and the first adhesive is filled in the gap. is infiltrating

상기한 방법을 이용하는 경우, 제1 접착제의 일부가 도 4에 도시하는 제2 접착제(8)에 상당한다. 그 때문에, 제1 접착제의 재료와 제2 접착제(8)의 재료가 동일하게 된다. 또한, 제1 접착제가 볼록부(4e)의 외주면(4f)과 블레이드(6)의 측면(6e)의 간극에 침투하기 쉽게 하기 위해, 제1 접착제로서 유동성이 높은 접착제(예컨대, 아크릴 수지계나 에폭시 수지계의 접착제)를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 베이스(4)의 제1 면(4a)의 제1 영역에 도포되는 제1 접착제의 양은, 블레이드(6)의 오목부(6f)에 제1 접착제가 충전되도록 적절하게 조정된다.When the above-described method is used, a part of the first adhesive corresponds to the second adhesive 8 shown in FIG. 4 . Therefore, the material of the first adhesive agent and the material of the second adhesive agent 8 are the same. In addition, in order to make it easier for the first adhesive to penetrate into the gap between the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e and the side surface 6e of the blade 6, an adhesive having high fluidity as the first adhesive (for example, an acrylic resin or epoxy resin) It is preferable to use a resin adhesive). In addition, the amount of the first adhesive applied to the first region of the first surface 4a of the base 4 is appropriately adjusted so that the concave portion 6f of the blade 6 is filled with the first adhesive.

또한, 상기에서는, 베이스(4)와 블레이드(6)를 부착할 때, 평면형으로 형성된 베이스(4)의 제1 면(4a)에 제1 접착제가 도포되는 예에 대해 설명했다. 다만, 베이스(4)에는 제1 접착제가 충전되는 홈이 형성되고 있어도 좋다. 도 5는, 홈(4g)이 형성된 베이스(4)와 블레이드(6)가 결합된 베이스 부착 블레이드(2)를 도시하는 단면도이다.In addition, in the above, when attaching the base 4 and the blade 6, an example in which the first adhesive is applied to the first surface 4a of the base 4 formed in a flat shape has been described. However, the base 4 may be provided with a groove in which the first adhesive is filled. Fig. 5 is a cross-sectional view showing the base 4 in which the groove 4g is formed and the blade 2 with the base in which the blade 6 is engaged.

도 5에 있어서, 베이스(4)의 제1 면(4a) 측에는, 환형의 홈(4g)이 형성되고 있다. 예컨대 홈(4g)은, 볼록부(4e)를 둘러싸도록, 제1 면(4a)으로부터 제2 면(4b) 측을 향해 형성되고 있다. 홈(4g)의 외주 가장자리(홈(4g)의 폭 방향에 있어서의 일단부)는 베이스(4)의 외주 가장자리(4c)에 이르지 않고, 홈(4g)의 내주 가장자리(홈(4g)의 폭 방향에 있어서의 타단부)는, 볼록부(4e)의 외주면(4f)에 이르고 있다.In FIG. 5 , an annular groove 4g is formed on the first surface 4a side of the base 4 . For example, the groove|channel 4g is formed toward the 2nd surface 4b side from the 1st surface 4a so that the convex part 4e may be enclosed. The outer peripheral edge of the groove 4g (one end in the width direction of the groove 4g) does not reach the outer peripheral edge 4c of the base 4, but the inner peripheral edge of the groove 4g (the width of the groove 4g) The other end in the direction) reaches the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e.

또한, 홈(4g)의 구체적인 형상에 제한은 없다. 예컨대 베이스(4)에는, 1개의 띠 모양의 홈(4g)이 베이스(4)의 원주 방향을 따라 연속적으로 형성되어도 좋고, 복수의 홈(4g)이 베이스(4)의 원주 방향을 따라 대략 등간격으로 형성되어도 좋다.In addition, there is no restriction|limiting on the specific shape of the groove|channel 4g. For example, in the base 4 , one strip-shaped groove 4g may be continuously formed along the circumferential direction of the base 4 , and a plurality of grooves 4g may be formed approximately along the circumferential direction of the base 4 . It may be formed at intervals.

베이스(4)와 블레이드(6)를 부착할 때(도 2 참조), 홈(4g)에는 제1 접착제(부착용 접착제)(10)가 충전된다. 제1 접착제(10)의 양은 홈(4g)의 체적에 맞추어 조정되고, 홈(4g)에 충전된 제1 접착제(10)의 표면은, 베이스(4)의 제1 면(4a)과 대략 동일 평면 상에 위치된다.When attaching the base 4 and the blade 6 (see Fig. 2), the first adhesive (adhesive for attachment) 10 is filled in the groove 4g. The amount of the first adhesive 10 is adjusted to fit the volume of the groove 4g, and the surface of the first adhesive 10 filled in the groove 4g is approximately equal to the first surface 4a of the base 4 located on a plane.

여기서, 홈(4g) 중 블레이드(6)의 오목부(6f)와 겹치는 영역에는, 제1 접착제(10)가 베이스(4)의 제1 면(4a)으로부터 돌출하도록 도포된다. 이 영역에 도포되는 제1 접착제(10)의 양은, 베이스(4)의 제1 면(4a)으로부터 돌출하는 제1 접착제(10)의 체적이, 블레이드(6)의 오목부(6f)의 체적 이상이 되도록 조정된다.Here, in the region of the groove 4g overlapping the recess 6f of the blade 6 , the first adhesive 10 is applied so as to protrude from the first surface 4a of the base 4 . The amount of the first adhesive 10 applied to this region is the volume of the first adhesive 10 protruding from the first face 4a of the base 4 and the volume of the recessed portion 6f of the blade 6 adjusted to be greater.

이 상태에서, 베이스(4)의 제1 면(4a) 측과 블레이드(6)의 제1 면(6a) 측을 부착하면, 베이스(4)와 블레이드(6)가 제1 접착제(10)를 통해 접합되며, 아울러 베이스(4)의 제1 면(4a)으로부터 돌출하는 제1 접착제(10)가 블레이드(6)의 오목부(6f)에 충전된다. 그리고, 오목부(6f)에 충전된 제1 접착제(10)가 모세관 현상에 의해 볼록부(4e)의 외주면(4f)과 블레이드(6)의 측면(6e)의 간극을 유동하여, 상기 간극에 제1 접착제(10)가 침투한다.In this state, when the first surface (4a) side of the base (4) and the first surface (6a) side of the blade (6) are attached, the base (4) and the blade (6) adhere the first adhesive (10) The first adhesive 10 , which is bonded through and protrudes from the first surface 4a of the base 4 , is filled in the recessed portion 6f of the blade 6 . Then, the first adhesive 10 filled in the concave portion 6f flows through the gap between the outer peripheral surface 4f of the convex portion 4e and the side surface 6e of the blade 6 by capillary action, The first adhesive 10 penetrates.

상기와 같이, 홈(4g)의 내부에 제1 접착제(10)를 충전하면, 홈(4g)이 형성되지 않은 베이스(4)의 제1 면(4a)에 제1 접착제(10)를 도포하는 경우와 비교하여, 제1 접착제(10)와 베이스(4)의 접촉 면적이 증대한다. 이에 의해, 제1 접착제(10)의 베이스(4)에 대한 접착력을 강하게 할 수 있다. 또한, 제1 접착제(10)를 홈(4g)에 충전하는 것에 의해, 베이스(4)와 블레이드(6)가 부착될 때, 제1 접착제(10)가 눌러져 퍼져서, 베이스(4)의 외주 가장자리(4c)의 외측으로 비어져 나오는 것을 방지할 수 있다.As described above, when the first adhesive 10 is filled in the groove 4g, the first adhesive 10 is applied to the first surface 4a of the base 4 in which the groove 4g is not formed. Compared with the case, the contact area between the first adhesive 10 and the base 4 is increased. Thereby, the adhesive force with respect to the base 4 of the 1st adhesive agent 10 can be strengthened. Further, by filling the groove 4g with the first adhesive 10, when the base 4 and the blade 6 are attached, the first adhesive 10 is pressed and spread, and the outer peripheral edge of the base 4 is (4c) can be prevented from protruding outward.

다만, 홈(4g)이 형성되는 영역은 적절하게 변경할 수 있다. 예컨대 홈(4g)은, 홈(4g)의 내주 가장자리가 블레이드(6)의 오목부(6f)과 겹치지 않도록 형성되어도 좋다. 이 경우에는, 홈(4g)에 제1 접착제(10)를 충전하고 베이스(4)와 블레이드(6)를 부착한 후, 별도 블레이드의 오목부(6f)에 제2 접착제(8)를 충전한다.However, the region in which the groove 4g is formed may be appropriately changed. For example, the groove 4g may be formed so that the inner peripheral edge of the groove 4g does not overlap the concave portion 6f of the blade 6 . In this case, the first adhesive 10 is filled in the groove 4g, the base 4 and the blade 6 are attached, and the second adhesive 8 is filled in the concave portion 6f of the separate blade. .

상기한 베이스 부착 블레이드(2)는, 절삭 장치에 장착되어, 피가공물을 절삭한다. 이하, 베이스 부착 블레이드(2)를 이용하여 피가공물을 절삭하는 절삭 장치의 구성예에 대해 설명한다. 도 6은, 피가공물(11)을 절삭하는 절삭 장치(20)를 도시하는 사시도이다.The above-described base-attached blade 2 is attached to a cutting device to cut a workpiece. Hereinafter, the structural example of the cutting device which cuts a to-be-processed object using the blade 2 with a base is demonstrated. 6 : is a perspective view which shows the cutting device 20 which cuts the to-be-processed object 11. As shown in FIG.

절삭 장치(20)에 의해 절삭되는 피가공물(11)의 예로서는, IC, LSI 등의 디바이스가 복수 형성된 반도체 웨이퍼나, CSP(Chip Size Package) 기판, QFN(Quad Flat Non-leaded Package) 기판 등의 패키지 기판을 들 수 있다. 다만, 피가공물(11)의 종류, 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대, 피가공물(11)은 유리, 사파이어, 세라믹스, 수지, 금속 등으로 이루어지는 원반 형상 또는 직방체형의 기판 등이라도 좋다.Examples of the workpiece 11 to be cut by the cutting device 20 include a semiconductor wafer in which a plurality of devices such as IC and LSI are formed, a CSP (Chip Size Package) substrate, a QFN (Quad Flat Non-leaded Package) substrate, etc. A package substrate is mentioned. However, there is no limitation on the type, material, shape, structure, size, etc. of the to-be-processed object 11 . For example, the workpiece 11 may be a disk-shaped or rectangular parallelepiped substrate made of glass, sapphire, ceramics, resin, metal, or the like.

절삭 장치(20)는, 절삭 장치(20)를 구성하는 각 구성 요소를 지지하는 베이스(22)를 구비하고, 베이스(22)의 상방에는 베이스(22)의 상면 측을 덮는 커버(24)가 설치되고 있다. 커버(24)의 내부에는, 피가공물(11)의 가공이 실시되는 공간(처리 공간)이 형성되고 있고, 이 공간에는, 베이스 부착 블레이드(2)가 장착되는 절삭 유닛(26)이 배치되고 있다. 절삭 유닛(26)에는 이동 기구(도시하지 않음)가 접속되고 있고, 이 이동 기구는 절삭 유닛(26)을 Y축 방향(인덱싱 이송 방향, 전후 방향) 및 Z축 방향(수직 방향, 상하 방향)을 따라 이동시킨다.The cutting device 20 includes a base 22 for supporting each component constituting the cutting device 20 , and above the base 22 , a cover 24 covering the upper surface side of the base 22 is provided. is being installed Inside the cover 24, a space (processing space) in which the workpiece 11 is processed is formed, and a cutting unit 26 to which the blade with a base 2 is mounted is disposed in this space. . A moving mechanism (not shown) is connected to the cutting unit 26 , and this moving mechanism moves the cutting unit 26 in the Y-axis direction (indexing feed direction, front-rear direction) and Z-axis direction (vertical direction, up-down direction). move along

절삭 유닛(26)의 하방에는, 피가공물(11)을 유지하는 유지 테이블(척 테이블)(28)이 설치되고 있다. 유지 테이블(28)의 상면은 피가공물(11)을 유지하는 유지면을 구성하고 있고, 이 유지면은, 유지 테이블(28)의 내부에 형성된 흡인로(도시하지 않음)를 통해 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되고 있다. 피가공물(11)을 유지 테이블(28)의 유지면 상에 배치한 상태에서, 유지면에 흡인원의 부압을 작용시키면, 피가공물(11)이 유지 테이블(28)에 의해 흡인 유지된다.Below the cutting unit 26, a holding table (chuck table) 28 for holding the workpiece 11 is provided. The upper surface of the holding table 28 constitutes a holding surface for holding the workpiece 11 , and this holding surface is sucked by an ejector or the like through a suction path (not shown) formed inside the holding table 28 . It is connected to a circle (not shown). When the negative pressure of the suction source is applied to the holding surface in a state in which the workpiece 11 is placed on the holding surface of the holding table 28 , the workpiece 11 is sucked and held by the holding table 28 .

유지 테이블(28)에는 이동 기구(도시하지 않음)가 접속되고 있고, 이 이동 기구는 유지 테이블(28)을 X축 방향(가공 이송 방향, 좌우 방향)을 따라 이동시킨다. 또한, 유지 테이블(28)에는 회전 기구(도시하지 않음)가 접속되고 있고, 이 회전 기구는 유지 테이블(28)을 Z축 방향과 대략 평행한 회전축의 주위로 회전시킨다.A moving mechanism (not shown) is connected to the holding table 28 , and this moving mechanism moves the holding table 28 along the X-axis direction (processing feed direction, left-right direction). Moreover, a rotating mechanism (not shown) is connected to the holding table 28, and this rotating mechanism rotates the holding table 28 around a rotating shaft substantially parallel to the Z-axis direction.

베이스(22)의 전방의 모서리부에는, 카세트 엘리베이터(30)가 설치되고 있다. 카세트 엘리베이터(30)의 상면에는, 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 카세트(32)가 재치된다. 카세트 엘리베이터(30)는 승강 가능하게 구성되어 있고, 카세트(32)로부터의 피가공물(11)의 반출 또는 카세트(32)로의 피가공물(11)의 반입이 적절히 진행되도록, 카세트(32)의 높이(Z축 방향에 있어서의 위치)를 조정한다. 또한, 커버(24)의 전면(24a) 측에는, 유저 인터페이스가 되는 터치 패널식의 모니터(34)가 설치되고 있다.A cassette elevator 30 is provided at the front corner of the base 22 . A cassette 32 capable of accommodating a plurality of workpieces 11 is placed on the upper surface of the cassette elevator 30 . The cassette elevator 30 is configured to be able to move up and down, and the height of the cassette 32 so that the unloading of the workpiece 11 from the cassette 32 or the loading of the workpiece 11 into the cassette 32 proceeds appropriately. (position in the Z-axis direction) is adjusted. In addition, on the front side 24a side of the cover 24, the touch panel type monitor 34 used as a user interface is provided.

절삭 장치(20)를 구성하는 각 구성 요소(절삭 유닛(26), 절삭 유닛(26)에 접속된 이동 기구, 유지 테이블(28), 유지 테이블(28)에 접속된 이동 기구 및 회전 기구, 카세트 엘리베이터(30), 모니터 등)는 제어 유닛(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 제어 유닛은 컴퓨터 등에 의해 구성되며, 절삭 장치(20)의 구성 요소의 동작을 제어한다.Each component constituting the cutting device 20 (cutting unit 26, moving mechanism connected to cutting unit 26, holding table 28, moving and rotating mechanism connected to holding table 28, cassette The elevator 30, monitor, etc.) are connected to a control unit (not shown). The control unit is constituted by a computer or the like, and controls the operation of the components of the cutting device 20 .

도 7은 절삭 유닛(26)을 도시하는 사시도이다. 절삭 유닛(26)은 Y축 방향을 따라 배치된 원통 형상의 회전축(스핀들)(40)을 구비한다. 회전축(40)은 원통 형상의 하우징(42)에 수용되어 있다. 회전축(40)의 선단부(일단부)는 하우징(42)의 외부에 노출되어 있으며, 회전축(40)의 선단부에는 블레이드 마운트(44)가 고정되어 있다. 또한, 회전축(40)의 기단부(타단측)에는 회전축(40)을 회전시키는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다.7 is a perspective view showing the cutting unit 26 . The cutting unit 26 has a cylindrical rotating shaft (spindle) 40 disposed along the Y-axis direction. The rotating shaft 40 is accommodated in a cylindrical housing 42 . The front end (one end) of the rotary shaft 40 is exposed to the outside of the housing 42 , and a blade mount 44 is fixed to the front end of the rotary shaft 40 . In addition, a rotation driving source (not shown) such as a motor for rotating the rotation shaft 40 is connected to the base end (the other end side) of the rotation shaft 40 .

블레이드 마운트(44)는, 원반 형상의 플랜지부(46)와, 플랜지부(46)의 표면(46a)의 중앙으로부터 돌출하는 원통형의 지지축(48)을 구비한다. 플랜지부(46)의 외주부의 표면(46a) 측에는, 표면(46a)으로부터 돌출하는 환형의 볼록부(46b)가 설치되고 있다. 볼록부(46b)는, 그 선단에 선단면(46c)을 구비하고 있고, 선단면(46c)은 표면(46a)과 대략 평행하게 형성되고 있다.The blade mount 44 includes a disk-shaped flange portion 46 and a cylindrical support shaft 48 protruding from the center of the surface 46a of the flange portion 46 . On the surface 46a side of the outer peripheral portion of the flange portion 46, an annular convex portion 46b protruding from the surface 46a is provided. The convex portion 46b has a distal end face 46c at its distal end, and the distal end face 46c is formed substantially parallel to the surface 46a.

지지축(48)의 선단부의 외주면에는 나사부(48a)가 형성되고 있고, 이 나사부(48a)에는 환형의 고정 너트(50)가 체결된다. 고정 너트(50)의 중앙에는, 고정 너트(50)를 두께 방향으로 관통하는 원기둥 형상의 개구부(50a)가 형성되고 있다. 개구부(50a)는 지지축(48)과 대략 동일 직경으로 형성되고, 개구부(50a)에는 지지축(48)의 나사부(48a)에 대응하는 나사 홈이 설치되고 있다.A threaded portion 48a is formed on the outer peripheral surface of the distal end of the support shaft 48, and an annular fixing nut 50 is fastened to the threaded portion 48a. In the center of the fixing nut 50 , a cylindrical opening 50a penetrating the fixing nut 50 in the thickness direction is formed. The opening 50a is formed to have substantially the same diameter as the support shaft 48 , and a screw groove corresponding to the threaded portion 48a of the support shaft 48 is provided in the opening 50a .

베이스 부착 블레이드(2)의 베이스(4)의 개구부(4d)에 지지축(48)을 삽입하면, 베이스 부착 블레이드(2)가 블레이드 마운트(44)에 장착된다. 이 상태에서, 지지축(48)의 나사부(48a)에 고정 너트(50)를 체결하면, 블레이드(6)가 베이스(4)의 제1 면(4a)(도 1 등 참조)과 플랜지부(46)의 볼록부(46b)의 선단면(46c)에 의해 협지된다. 이와 같이 하여, 회전축(40)의 선단부에 베이스 부착 블레이드(2)가 고정된다.When the support shaft 48 is inserted into the opening 4d of the base 4 of the base attachment blade 2 , the base attachment blade 2 is mounted to the blade mount 44 . In this state, when the fixing nut 50 is fastened to the threaded portion 48a of the support shaft 48, the blade 6 moves the first surface 4a of the base 4 (see FIG. 1, etc.) and the flange portion ( It is pinched|interposed by the front-end surface 46c of the convex part 46b of 46. As shown in FIG. In this way, the base-attached blade 2 is fixed to the distal end of the rotating shaft 40 .

절삭 유닛(26)에 베이스 부착 블레이드(2)가 장착된 상태에서, 회전축(40)을 회전 구동원에 의해 회전시키면, 베이스 부착 블레이드(2)가 회전축(40)의 축심을 중심으로 회전한다. 그리고, 유지 테이블(28)(도 6 참조)에 의해 유지된 피가공물(11)에, 회전하는 베이스 부착 블레이드(2)의 블레이드(6)를 절입시키는 것에 의해, 피가공물(11)이 절삭된다.When the rotating shaft 40 is rotated by a rotation driving source in a state in which the base-attached blade 2 is mounted on the cutting unit 26 , the base-attached blade 2 rotates around the axis of the rotating shaft 40 . And the to-be-processed object 11 is cut by making the blade 6 of the rotating base blade 2 cut into the to-be-processed object 11 hold|maintained by the holding table 28 (refer FIG. 6). .

또한, 상기 실시 형태와 관련되는 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, the structure, method, etc. which concern on the said embodiment can be implemented by changing suitably, unless it deviates from the scope of the objective of this invention.

2 베이스 부착 블레이드 4 베이스
4a 제1 면(표면) 4b 제2 면(이면)
4c 외주 가장자리(외주면) 4d 개구부
4e 볼록부 4f 외주면
4g 홈 6 블레이드
6a 제1 면(표면) 6b 제2 면(이면)
6c 외주 가장자리(외주면) 6d 개구부
6e 측면(내주면) 6f 오목부
8 제2 접착제 10 제1 접착제(부착용 접착제)
20 절삭 장치 22 베이스
24 커버 24a 전면
26 절삭 유닛 28 유지 테이블(척 테이블)
30 카세트 엘리베이터 32 카세트
34 모니터 40 회전축(스핀들)
42 하우징 44 블레이드 마운트
46 플랜지부 46a 표면
46b 볼록부 46c 선단면
48 지지축 48a 나사부
50 고정 너트 50a 개구부
11 피가공물 2 Blade with base 4 Base
4a 1st side (surface) 4b 2nd side (back side)
4c perimeter edge (periphery) 4d opening
4e convex portion 4f outer circumferential surface
4g groove 6 blades
6a 1st side (surface) 6b 2nd side (back side)
6c perimeter edge (periphery) 6d opening
6e Side (inner peripheral surface) 6f Concave
8 Second Adhesive 10 First Adhesive (Adhesive for Adhesive)
20 Cutting device 22 Base
24 cover 24a front
26 Cutting unit 28 Retaining table (Chuck table)
30 Cassette Elevator 32 Cassette
34 Monitor 40 Rotation axis (spindle)
42 housing 44 blade mount
46 Flange part 46a surface
46b convex part 46c front end
48 Support shaft 48a threaded part
50 retaining nut 50a opening
11 Workpiece

Claims (4)

원반 형상의 베이스와, 중앙에 개구부를 구비한 환형의 블레이드를 구비하고,
상기 베이스는, 상기 베이스의 표면으로부터 돌출하는 환형의 볼록부를 구비하고,
상기 블레이드는, 상기 개구부에서 노출하는 측면으로부터 외주 가장자리 측을 향해 형성된 오목부를 구비하고,
상기 베이스와 상기 블레이드는, 상기 볼록부가 상기 개구부에 감입된 상태에서, 상기 베이스의 상기 표면에 부착한 제1 접착제를 통해 부착되고, 상기 오목부에 충전되어 상기 볼록부와 상기 측면의 간극에 침투한 제2 접착제에 의해 접합되고 있는 것을 특징으로 하는 베이스 부착 블레이드.A disk-shaped base and an annular blade having an opening in the center,
The base has an annular convex portion protruding from the surface of the base,
The blade is provided with a concave portion formed toward the outer peripheral edge side from the side exposed in the opening,
The base and the blade are attached through a first adhesive attached to the surface of the base in a state in which the convex portion is fitted into the opening, and are filled in the concave portion to penetrate the gap between the convex portion and the side surface. A blade with a base, which is joined by a second adhesive. 제1항에 있어서,
상기 베이스의 상기 표면측 중 상기 볼록부가 형성되지 않은 영역에, 상기 제1 접착제가 충전되는 홈이 형성되고 있는 것을 특징으로 하는 베이스 부착 블레이드.According to claim 1,
and a groove in which the first adhesive is filled is formed in a region where the convex portion is not formed on the surface side of the base. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 접착제의 재료와 상기 제2 접착제의 재료는 동일한 것을 특징으로 하는 베이스 부착 블레이드.3. The method of claim 1 or 2,
The base-attached blade, characterized in that the material of the first adhesive and the material of the second adhesive are the same. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 접착제는 상기 제1 접착제보다 점도가 낮은 것을 특징으로 하는 베이스 부착 블레이드.3. The method of claim 1 or 2,
The second adhesive has a lower viscosity than the first adhesive.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012135833A (en) 2010-12-27 2012-07-19 Disco Corp Cutting blade

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5895317A (en) 1996-12-18 1999-04-20 Norton Company Wheel hub for longer wheel life
JP2008302435A (en) 2007-06-05 2008-12-18 Torisutaa:Kk Cutting blade and blade manufacturing method
CN107405612B (en) 2015-12-28 2020-09-15 丰田自动车株式会社 Cluster-supported catalyst and method for producing same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012135833A (en) 2010-12-27 2012-07-19 Disco Corp Cutting blade

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