KR20210088296A - 인샤워 나이프 검사 처리 장치 - Google Patents

인샤워 나이프 검사 처리 장치 Download PDF

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KR20210088296A
KR20210088296A KR1020200001554A KR20200001554A KR20210088296A KR 20210088296 A KR20210088296 A KR 20210088296A KR 1020200001554 A KR1020200001554 A KR 1020200001554A KR 20200001554 A KR20200001554 A KR 20200001554A KR 20210088296 A KR20210088296 A KR 20210088296A
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shower knife
knife
shower
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김성호
신승원
김혜경
최효조
이병민
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세메스 주식회사
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Abstract

인샤워 나이프 검사 처리 장치는 발광부, 수광부, 및 판단부를 포함할 수 있다. 상기 발광부는 토출 노즐들이 일렬로 배치되는 인샤워 나이프의 일측 단부에서 상기 인샤워 나이프의 토출 노즐들로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저를 발광하도록 구비될 수 있다. 상기 수광부는 상기 인샤워 나이프의 타측 단부에서 상기 발광부로부터 발광되어 상기 약액을 경유하는 상기 레이저를 수광하도록 구비될 수 있다. 상기 판단부는 상기 인샤워 나이프의 일측 단부에서 타측 단부까지 상기 약액을 경유하는 상기 레이저에 대한 신호를 검출하고, 상기 신호가 상대적으로 다른 부분이 있을 경우 상기 신호가 다른 부분은 상기 약액이 비정상적으로 토출되는 비정상 토출 노즐인 것으로 판단하도록 구비될 수 있다.

Description

인샤워 나이프 검사 처리 장치{APPARATUS FOR INSPECTING AND MAINTAINING INSHOWER KNIFE}
본 발명은 인샤워 나이프 검사 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판 상에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 토출 노즐들이 일렬로 배치되는 인샤워 나이프에 대한 유지 보수를 실시간으로 수행하기 위한 인샤워 나이프 검사 처리 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 공정을 수행하고 있다. 기판 상에 토출되는 약액은 기판 전체 면적에 걸쳐 균일하게 토출되어야 한다.
기판 상에 약액의 토출은 주로 약액을 토출하는 토출 노즐들이 일렬로 배치되는 인샤워 나이프(inshower knife)를 사용함에 의해 달성할 수 있다. 인샤워 나이프의 토출 노즐들 중에서 약액이 비정상적으로 토출되는 비정상 토출 노즐이 있을 경우 약액은 기판 전체 면적에 걸쳐 균일하게 토출되지 못할 수 있다.
이에, 종래에도 인샤워 나이프의 토출 노즐들로부터 약액이 아무런 문제없이 토출되는 가에 대한 검사를 수시로 수행하고 있다.
그러나 비정상 토출 노즐에 대한 검사는 주로 육안으로 이루어지기 때문에 정확한 검사를 달성하기에는 한계가 있을 것이고, 비정상 토출 노즐에 대한 처리는 주로 필름 게이지를 이용하여 매뉴얼로 이루어지기 때문에 정확한 처리를 달성하기에 한계가 있을 것이고, 특히 인샤워 나이프를 구비하는 기판 처리 장치 자체를 다운시켜야 하는 문제점이 있다.
또한, 비정상 토출 노즐에 대한 확인을 실시간이 아닌 약액 토출에 따른 불량이 발생한 이후에 인지할 수 있기 때문에 신속한 처리가 불가능한 문제점이 있다.
KR 10-1952703 B1
본 발명의 일 과제는 인샤워 나이프의 토출 노즐들로부터 약액이 아무런 문제없이 토출되는 가에 대한 검사를 레이저를 사용하여 실시간으로 수행함과 아울러 비정상 토출 노즐이 있을 경우 장치 자체를 다운시키지 않고 실시간으로 처리할 수 있는 인샤워 나이프 검사 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치는 발광부, 수광부, 및 판단부를 포함할 수 있다. 상기 발광부는 토출 노즐들이 일렬로 배치되는 인샤워 나이프의 일측 단부에서 상기 인샤워 나이프의 토출 노즐들로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저를 발광하도록 구비될 수 있다. 상기 수광부는 상기 인샤워 나이프의 타측 단부에서 상기 발광부로부터 발광되어 상기 약액을 경유하는 상기 레이저를 수광하도록 구비될 수 있다. 상기 판단부는 상기 인샤워 나이프의 일측 단부에서 타측 단부까지 상기 약액을 경유하는 상기 레이저에 대한 신호를 검출하고, 상기 신호가 상대적으로 다른 부분이 있을 경우 상기 신호가 다른 부분은 상기 약액이 비정상적으로 토출되는 비정상 토출 노즐인 것으로 판단하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 인샤워 나이프가 상기 기판이 이송되는 길이 방향과 수직한 폭 방향을 따라 배치될 때, 상기 발광부는 상기 기판의 폭 방향의 일측 단부에 배치되게 구비되고, 상기 수광부는 상기 기판의 폭 방향의 타측 단부에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 비정상 토출 노즐로 이동하여 상기 비정상 토출 노즐을 세정하도록 구비되는 세정부를 더 포함하되, 상기 세정부는 상기 판단부로부터 상기 비정상 토출 노즐에 대한 정보를 전달받을 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치는 레이저를 사용하여 비정상 토출 노즐에 대한 검사를 수행할 수 있기 때문에 보다 정확한 검사를 달성할 수 있을 뿐만 아니라 보다 빠른 시간 내에 검사를 달성할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치는 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상 및 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치는 비정상 토출 노즐이 발생하여도 기판 처리 장치 자체를 다운시키지 않고 실시간으로 비정상 토출 노즐을 처리할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도 및 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1에서의 인샤워 나이프를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치에서의 정상 토출 노즐 및 비정상 토출 노즐에 대한 레이저 신호들을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 기판(10) 상에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 인샤워 나이프(11)를 검사 처리하기 위한 것으로써, 특히 인샤워 나이프(11)에 비정상 토출 노즐(23)이 존재하는 가에 대한 검사 및 비정상 토출 노즐(23)이 있을 경우 비정상 토출 노즐(23)을 세정 처리하기 위한 것이다.
도 2는 도 1에서의 인샤워 나이프를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 인샤워 나이프(11)에는 토출 노즐(21)들이 일렬로 배치될 수 있다. 즉, 인샤워 나이프(11)는 토출 노즐(21)들이 인샤워 나이프(11)의 길이 방향을 따라 일정 간격마다 일렬로 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
이는, 인샤워 나이프(11)에 토출 노즐(21)들이 일정 간격마다 일렬 배치되지 않을 경우 기판(10) 전체 면적에 걸쳐 약액을 균일하게 토출하지 못할 수 있기 때문이다.
그리고 인샤워 나이프(11)는 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는데 사용할 수 있을 뿐만 아니라 탈이온수 등과 같은 세정액을 토출하는데도 사용할 수 있다. 즉, 인샤워 나이프(11)는 약액을 토출하는 약액 토출 장치에 구비될 수 있을 뿐만 아니라 세정액 토출하는 세정 장치에도 구비될 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 인샤워 나이프(11)는 기판(10)이 이송되는 이송 방향인 길이 방향과 수직한 폭 방향을 따라 배치되게 구비될 수 있다.
이에, 인샤워 나이프(11)를 사용하는 약액의 토출 공정에서는 기판(10) 전체 면적에 걸쳐 균일하게 약액이 토출되도록 기판(10)의 폭 방향을 따라 배치된 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들로부터 언급한 길이 방향을 따라 이송하는 기판(10) 상으로 약액을 토출할 수 있다.
다만, 인샤워 나이프(11)에 일정 간각마다 일렬로 배치 구비되는 토출 노즐(21)들이 모두 정상적이어야만 기판(10) 전체 면적에 걸쳐 균일하게 약액이 토출될 수 있을 것이다.
따라서 언급한 바와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)를 사용하여 인샤워 나이프(11)에 비정상 토출 노즐(23)이 존재하는 가에 대한 검사 및 비정상 토출 노즐(23)이 있을 경우 비정상 토출 노즐(23)을 세정 처리하는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 발광부(13), 수광부(15), 판단부(17), 세정부(19) 등을 포함할 수 있다.
발광부(13)는 레이저를 조사하도록 구비될 수 있다. 즉, 발광부(13)는 레이저를 발광하도록 구비될 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)에서의 발광부(13)는 인샤워 나이프(11)의 일측 단부에서 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저를 발광하도록 구비될 수 있다. 특히, 토출이 이루어지는 약액을 향하여 레이저를 발광할 수 있어야 하기 때문에 발광부(13)는 인샤워 나이프(11)의 일측 단부 아래쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
수광부(15)는 레이저를 수광하도록 구비될 수 있다. 즉, 수광부(15)는 발광부(13)로부터 발광되는 레이저를 수광하도록 구비될 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)에서의 수광부(15)는 인샤워 나이프(11)의 타측 단부에서 발광부(13)로부터 발광되어 약액을 경유하는 레이저를 수광하도록 구비될 수 있다. 특히, 수광부(15)는 발광부(13)와 마주하면서 토출 노즐(21)들로부터 토출되는 약액을 경유하는 레이저를 수광해야 하기 때문에 인샤워 나이프(11)의 타측 단부 아래쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 인샤워 나이프(11)의 일측 단부 아래쪽에 발광부(13)를 구비함과 아울러 발광부(13)와 마주하도록 인샤워 나이프(11)의 타측 단부 아래쪽에 수광부(15)를 구비함으로써 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저를 발광 및 수광할 수 있을 것이고, 특히 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들로부터 토출되는 약액 전체를 경유하도록 레이저를 발광 및 수광할 수 있을 것이다.
또한, 발광부(13) 및 수광부(15)는 하나의 레이저 광선을 발광 및 수광하도록 구비될 수 있지만, 이와 달리 적어도 두 개의 레이저 광선을 발광 및 수광하도록 구비될 수도 있을 것이다. 적어도 두 개의 레이저 광선은 약액이 토출되는 방향과 수직하는 방향으로 발광 및 수광하도록 구비될 수 있는데, 특히 약액이 토출되는 방향과 수직하는 방향으로 커튼 형상을 갖게 레이저를 발광 및 수광하도록 구비될 수 있을 것이다.
그리도 비정상 토출 노즐(23)이 존재할 경우 비정상 토출 노즐(23)에 해당하는 기판(10)에서는 도 1에서의 도면 부호 12와 같이 갈라짐 현상 등과 같은 불량이 발생할 수 있음을 알 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 비정상 토출 노즐(23)이 존재하는 가를 검출 및 판단할 수 있어야 할 것이다.
판단부(17)는 레이저에 대한 신호를 검출하고, 검출한 레이저 신호에 따라 비정상 토출 노즐(23)인가를 판단하도록 구비될 수 있다. 즉, 인샤워 나이프(11)의 일측 단부에서 타측 단부까지 약액을 경유하는 레이저에 대한 신호를 검출하고, 신호가 상대적으로 다른 부분이 있을 경우 신호가 다른 부분은 약액이 비정상적으로 토출되는 비정상 토출 노즐(23)인 것으로 판단하도록 구비될 수 있는 것으로써, 특히 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들 각각으로부터 토출되는 약액들 각각에서의 레이저에 대한 신호를 검출하고, 검출한 레이저 신호들 각각으로부터 비정상 토출 노즐(23)인가를 판단하도록 구비될 수 있을 것이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치에서의 정상 토출 노즐 및 비정상 토출 노즐에 대한 레이저 신호들을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)에서의 언급한 판단부(17)를 사용한 레이저에 대한 신호의 판단 결과, 정상 토출 노즐(21)일 때의 레이저의 신호에 대한 발광 및 수광에 따른 파형과 비정상 토출 노즐(23)일 때의 레이저의 신호에 대한 발광 및 수광에 따른 파형이 서로 다름을 확인할 수 있고, 이로부터 판단부(17)는 비정상 토출 노즐(23)에 대한 검출 및 판단을 달성할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 약액을 경유하는 레이저에 대한 신호에 근거하여 비정상 토출 노즐(23)에 대한 검사를 수행할 수 있기 때문에 보다 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들 중에서 비정상 토출 노즐(23)이 존재하는 가를 보다 정확하게 검출 및 판단할 수 있을 뿐만 아니라 보다 빠른 시간 내에 검사를 달성할 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)를 사용한 검사 결과, 비정상 토출 노즐(23)이 존재할 경우 비정상 토출 노즐(23)을 정상 토출 노즐(21)로 만들어야 할 것이다. 특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 실시간으로 비정상 토출 노즐(23)을 정상 토출 노즐(21)로 만들어야 할 것이다.
세정부(19)는 언급한 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)를 사용한 검사 결과, 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들 중에서 비정상 토출 노즐(23)이 검출될 경우 비정상 토출 노즐(23)로 이동하여 비정상 토출 노즐(23)을 세정하도록 구비될 수 있다. 특히, 세정부(19)는 판단부(17)로부터 비정상 토출 노즐(23)에 대한 정보를 전달받도록 구비될 수 있다.
그리고 세정부(19)는 필름 블록 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 따라서 필름 블록이 이동 트레이를 따라 좌우 왕복 운동하며 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들 내부를 세정하도록 구비될 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 발광부(13) 및 수광부(15)에 의한 레이저의 발광 및 수광을 통하여 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들이 약액을 정상적으로 토출하는 가를 실시간으로 검사할 수 있고, 판단부(17)를 사용하여 레이저에 대한 신호로부터 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들 중에서 비정상 토출 노즐(23)을 실시간으로 검출 및 판단할 수 있고, 판단부(17)로부터 비정상 토출 노즐(23)에 대한 정보를 실시간으로 전달받는 세정부(19)를 사용하여 비정상 토출 노즐(23)에 대한 세정을 실시간으로 수행할 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치(100)는 인샤워 나이프(11)의 토출 노즐(21)들 중에서 비정상 토출 노즐(23)에 검출 및 판단 그리고 세정 모두를 실시간으로 수행할 수 있을 것이고, 더욱이 인샤워 나이프(11)를 구비하는 약액 토출 장치 또는 세정 장치 등과 같은 기판 처리 장치 자체를 다운시키지 않고도 언급한 비정상 토출 노즐(23)에 검출 및 판단 그리고 세정 모두를 실시간으로 수행할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치는 기판 상에 포토레지스트, 현상액 또는 세정액 등과 같은 약액을 토출하는 인샤워 나이프에 대한 유지 보수에 적용할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 인샤워 나이프 검사 처리 장치는 인샤워 나이프를 구비하는 기판 처리 장치를 제조 공정에 사용하는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 인샤워 나이프
13 : 발광부 15 : 수광부
17 : 판단부 19 : 세정부
21 : 토출 노즐 23 : 비정상 토출 노즐
100 : 검사 처리 장치

Claims (3)

  1. 토출 노즐들이 일렬로 배치되는 인샤워 나이프의 일측 단부에서 상기 인샤워 나이프의 토출 노즐들로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저를 발광하도록 구비되는 발광부;
    상기 인샤워 나이프의 타측 단부에서 상기 발광부로부터 발광되어 상기 약액을 경유하는 상기 레이저를 수광하도록 구비되는 수광부; 및
    상기 인샤워 나이프의 일측 단부에서 타측 단부까지 상기 약액을 경유하는 상기 레이저에 대한 신호를 검출하고, 상기 신호가 상대적으로 다른 부분이 있을 경우 상기 신호가 다른 부분은 상기 약액이 비정상적으로 토출되는 비정상 토출 노즐인 것으로 판단하도록 구비되는 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 인샤워 나이프 검사 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 인샤워 나이프가 상기 기판이 이송되는 길이 방향과 수직한 폭 방향을 따라 배치될 때, 상기 발광부는 상기 기판의 폭 방향의 일측 단부에 배치되게 구비되고, 상기 수광부는 상기 기판의 폭 방향의 타측 단부에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 인샤워 나이프 검사 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 비정상 토출 노즐로 이동하여 상기 비정상 토출 노즐을 세정하도록 구비되는 세정부를 더 포함하되, 상기 세정부는 상기 판단부로부터 상기 비정상 토출 노즐에 대한 정보를 전달받는 것을 특징으로 하는 인샤워 나이프 검사 처리 장치.
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