KR20060110041A - 실러 도포 검사장치 및 그 방법 - Google Patents

실러 도포 검사장치 및 그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20060110041A
KR20060110041A KR1020050032177A KR20050032177A KR20060110041A KR 20060110041 A KR20060110041 A KR 20060110041A KR 1020050032177 A KR1020050032177 A KR 1020050032177A KR 20050032177 A KR20050032177 A KR 20050032177A KR 20060110041 A KR20060110041 A KR 20060110041A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sealer
inspection
coating
distance measuring
measuring sensor
Prior art date
Application number
KR1020050032177A
Other languages
English (en)
Inventor
김병조
Original Assignee
현대자동차주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대자동차주식회사 filed Critical 현대자동차주식회사
Priority to KR1020050032177A priority Critical patent/KR20060110041A/ko
Publication of KR20060110041A publication Critical patent/KR20060110041A/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 실러 도포 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로서 특히, 저점도 및 고점도로 도포되고 있는 글라스 실러의 정상 도포 여부를 검사 및 판별하기 위한 것으로, 글라스(40)에 실러(A)를 도포하는 노즐(11)이 설치된 도포건(10)과; 상기 도포건(10)의 일측에 설치되어, 상기 도포되는 실러(A)의 폭 내에서 중앙측과 주변측에 거리측정센서(21, 22)가 구비되는 검사부(20)와; 상기 도포건(10)과 검사부(20)를 제어하는 제어부(30)를 포함하여 구성되어, 열이 발생되지 않는 저점도의 실러에도 적용 가능하고, 실러의 폭과 높이를 동시에 측정하여 도포된 실러의 품질을 알 수 있도록 하는 것이다.
실러, 글라스, 도포, 검사, 거리측정센서.

Description

실러 도포 검사장치 및 그 방법 {Method and apparatus for examining sealer application}
도 1은 본 발명의 실러 도포 검사장치의 일 실시예를 나타내는 개략도,
도 2는 본 발명의 실러 도포 검사장치의 검사원리를 나타내는 개념도,
도 3은 본 발명의 중앙측 거리측정센서의 측정값을 나타내는 그래프,
도 4는 본 발명의 도포의 끊김이 발생한 경우를 나타내는 도,
도 5 내지 도 6은 본 발명의 도포 불량이 발생한 경우를 나타내는 도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 도포건 11 : 노즐
20 : 검사부 21 : 중앙측 거리측정센서
22 : 주변측 거리측정센서 30 : 제어부
40 : 글라스
본 발명은 실러 도포 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로서 특히, 저점도 및 고점도로 도포되고 있는 글라스 실러의 정상 도포 여부를 검사 및 판별하기 위한 것으로, 열이 발생되지 않는 저점도의 실러에도 적용 가능하고, 실러의 폭과 높이를 동시에 측정하여 도포된 실러의 품질을 알 수 있도록 하는 실러 도포 검사장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 글라스에 실러를 도포함에 있어서, 실러의 정상 도포 여부를 검사 및 판별하는 시스템이 사용 중에 있다.
현재까지 글라스 실러 검사에 다양한 방법이 강구되고 적용되어 왔고, 최근에는 열적외선 카메라를 이용하여 글라스 실러의 도포 상태를 검사하는 방법이 적용되었다.
그러나 상기와 같은 열적외선 카메라를 이용한 글라스 실러의 도포 검사방법은 고온의 고점도 실러에만 사용이 가능하였고, 열이 발생되지 않는 저점도(저온) 실러의 검사는 수행할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기의 결점을 해소하기 위한 것으로, 열이 발생되지 않는 저점도의 실러에도 적용 가능하고, 실러의 폭과 높이를 동시에 측정하여 도포된 실러의 품질을 알 수 있도록 하는 실러 도포 검사장치 및 그 방법을 제공하고자 한다.
이러한 본 발명은, 글라스에 실러를 도포하는 노즐이 설치된 도포건과; 상기 도포건의 일측에 설치되어, 상기 도포되는 실러의 폭 내에서 중앙측과 주변측에 거리측정센서가 구비되는 검사부와; 상기 도포건과 검사부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성함으로써 달성된다.
상기 장치를 이용하여 실러 도포를 검사하는 방법에 있어서, 본 발명은, 도포건을 이용하여 도포하는 제 1단계와; 상기 도포과정과 동시에 또는 도포가 완료된 후 검사부를 이용하여 검사를 수행하는 제 2단계와; 상기 중앙측 거리측정센서의 측정값이 거리측정센서로부터 도포된 실러 중앙의 적정 높이의 거리의 허용치를 초과하거나, 상기 주변측 거리측정센서의 측정값이 거리측정센서로부터 도포된 실러 주변의 적정 높이의 거리의 허용치를 초과하는 경우, 이상을 경보하는 제 3단계를 포함하여 구성함으로써 달성된다.
본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실러 도포 검사장치의 일 실시예를 나타내는 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실러 도포 검사장치의 검사원리를 나타내는 개념도로서, 본 발명은, 글라스(40)에 실러(A)를 도포하는 노즐(11)이 설치된 도포건(10)과; 상기 도포건(10)의 일측에 설치되어, 상기 도포되는 실러(A)의 폭 내에서 중앙측과 주변측에 거리측정센서(21, 22)가 구비되는 검사부(20)와; 상기 도포건(10)과 검사부(20)를 제어하는 제어부(30)를 포함하여 구성되는 것을 그 기술상의 특징으로 한다.
경우에 따라서, 상기 검사부(20)는 상기 도포건(10)과 방향성을 달리하여 설치하여, 일차적으로 도포건(10)을 이용하여 실러(A)를 도포한 후, 상기 검사부(20)를 거리측정센서(21, 22)가 하측방향을 향하도록 회전시킨 후 검사과정을 실시할 수도 있다. 이는 실러(A) 도포과정에서 글라스(40)의 모서리 측에서는 도포건(10)의 도포가 검사부(20)의 검사과정에 간섭을 일으킬 수 있기 때문이다.
상기 검사부(20)의 거리측정센서(21, 22)는 투수광 일체형 레이저 센서를 사용하는 것이 바람직하다. 이는 레이저 발광부에 수광부가 함께 구비되어, 반사광의 세기를 전압값으로 받아들여 거리를 측정할 수 있는 것이다.
이때, 상기 검사부(20)의 검사는, 도 2에서와 같이, 중앙측 거리측정센서(21)에서 상기 도포되는 실러(A)의 높이를 측정하고, 주변측 거리측정센서(22)에서 상기 도포되는 실러(A)의 폭을 측정하여, 상기 실러(A)가 산 모양을 이룰 때에 정상으로 판단하도록 하는 것이다.
도 3은 본 발명의 중앙측 거리측정센서의 측정값을 나타내는 그래프이고, 도 4 내지 도 6은 본 발명의 도포 불량이 발생한 경우의 측정값을 나타내는 도로서, 이하, 상기 도 1 내지 도 6을 참고하여 본 발명의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 상기한 바와 같이, 글라스에 도포되는 실러의 상태를 검사함에 있어서, 실러의 도포와 함께 실시간으로 또는 실러의 도포 과정이 완료된 후에 거리측정센서(21, 22)가 구비된 검사부(20)를 이용하여 도포된 실러의 높이와 폭을 측정함으로써, 도포된 상태를 검사할 수 있도록 하는 것이다.
도 2에서 도시하는 바와 같이, 본 발명의 거리측정센서(21, 22)를 이용한 실러의 검사는, 중앙측 거리측정센서(21)가 실러(A)의 높이를 검사하고, 주변측 거리측정센서(22)가 실러(A)의 폭을 검사하게 되는데, 이때 실러의 도포가 정상이라면 레이저 센서를 사용하는 경우, 그 측정값은 도 3과 같은 상태가 된다.
즉, 중앙측 레이저 센서(22)로부터 실러의 정상까지의 거리가 d 라면, 측정값이 d 내지 d + α(허용 오차) 인 경우는 정상으로 판별한다.
그러나 도 4와 같이 실러가 중간에 끊기는 도포 불량이 발생하는 경우에는 도 4의 하단의 형태와 같은 측정값이 측정된다. 즉, 도포가 끊겨 실러가 없는 상태에서는 그 거리 측정값이 d + α값 보다 크게 측정되는 것이다.
이러한 경우에는 경고를 발생하여 도포를 중단하거나, 해당 부분의 도포를 다시 하는 등으로 도포 불량을 보정한다.
한편, 도 5에서와 같이, 실러가 적당한 폭으로 도포가 되지 않는 이상이 발생한 경우, 주변부 거리측정센서(22)의 측정값은 도 6과 같은 상태가 된다. 즉, 적 정 수준으로 도포가 된 상태라면 측정값이 c (도 2 참고)가 되어야 할 것이나, 측정값이 허용치 d + α를 넘어선 d + a의 값이 측정되는 것이다.
이때는 주변부 거리측정센서(22)의 해당 위치에 실러가 도포되지 않은 상태를 나타내게 되는 것이다.
상기 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 설명하기 위한 일례로서, 본 발명의 범위는 상기의 도면이나 실시예에 한정되지 않는다.
이상과 같은 본 발명은 열이 발생되지 않는 저점도의 실러에도 적용 가능하고, 실러의 폭과 높이를 동시에 측정하여 도포된 실러의 품질을 알 수 있도록 하는 효과가 있는 것이다.

Claims (5)

  1. 글라스에 실러를 도포하는 노즐이 설치된 도포건과;
    상기 도포건의 일측에 설치되어, 상기 도포되는 실러의 폭 내에서 중앙측과 주변측에 거리측정센서가 구비되는 검사부와;
    상기 도포건과 검사부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 실러 도포 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 검사부는 상기 도포건과 방향성을 달리하여 설치되는 것을 특징으로 하는 실러 도포 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 검사부의 거리측정센서는 투수광 일체형 레이저 센서인 것을 특징으로 하는 실러 도포 검사장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 검사부의 검사는, 상기 도포되는 실러의 폭과 높이를 측정하여, 상기 실러가 산 모양을 이룰 때에 정상으로 판단하도록 하는 것을 특징으로 하는 실러 도포 검사장치.
  5. 제 1항의 장치를 이용한 실러 도포 검사방법에 있어서,
    도포건을 이용하여 도포하는 제 1단계와;
    상기 도포과정과 동시에 또는 도포가 완료된 후 검사부를 이용하여 검사를 수행하는 제 2단계와;
    상기 중앙측 거리측정센서의 측정값이 거리측정센서로부터 도포된 실러 중앙의 적정 높이의 거리의 허용치를 초과하거나, 상기 주변측 거리측정센서의 측정값이 거리측정센서로부터 도포된 실러 주변의 적정 높이의 거리의 허용치를 초과하는 경우, 이상을 경보하는 제 3단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 실러 도포 검사방법.
KR1020050032177A 2005-04-19 2005-04-19 실러 도포 검사장치 및 그 방법 KR20060110041A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050032177A KR20060110041A (ko) 2005-04-19 2005-04-19 실러 도포 검사장치 및 그 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050032177A KR20060110041A (ko) 2005-04-19 2005-04-19 실러 도포 검사장치 및 그 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060110041A true KR20060110041A (ko) 2006-10-24

Family

ID=37616028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050032177A KR20060110041A (ko) 2005-04-19 2005-04-19 실러 도포 검사장치 및 그 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060110041A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101387840B1 (ko) * 2009-01-15 2014-04-22 도요타지도샤가부시키가이샤 도포 시공막의 폭의 검사 방법 및 상기 검사 방법에 사용하는 검사 장치
KR102139221B1 (ko) 2019-06-18 2020-07-29 아진산업(주) 실러 품질 검사 장치
CN116804611A (zh) * 2023-08-22 2023-09-26 宁德时代新能源科技股份有限公司 检测设备的自动评估方法和系统

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101387840B1 (ko) * 2009-01-15 2014-04-22 도요타지도샤가부시키가이샤 도포 시공막의 폭의 검사 방법 및 상기 검사 방법에 사용하는 검사 장치
KR102139221B1 (ko) 2019-06-18 2020-07-29 아진산업(주) 실러 품질 검사 장치
CN116804611A (zh) * 2023-08-22 2023-09-26 宁德时代新能源科技股份有限公司 检测设备的自动评估方法和系统
CN116804611B (zh) * 2023-08-22 2024-01-26 宁德时代新能源科技股份有限公司 检测设备的自动评估方法和系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5043316B2 (ja) レーザ加工モニタリング装置
KR20090021717A (ko) 원형 선재 광학결함 검출장치 및 방법
US7549337B2 (en) Method for inspecting peeling in adhesive joint
JP2007044739A (ja) レーザ加工モニタリング装置
JP2006105976A (ja) ディスプレイパネルの生産プロセスにおける異物検査方法
JP2006058294A (ja) 基板に形成されたパターンの検査方法、及びこれを行うための検査装置
JP2006247681A (ja) レーザ加工用モニタリング装置
BR102016023428B1 (pt) método e sistema de inspeção de ligação a laser
JP2007054881A (ja) レーザ加工モニタリング装置
KR20060110041A (ko) 실러 도포 검사장치 및 그 방법
JP6071519B2 (ja) ガス漏洩検知システム
JP2011523701A (ja) 基板の品質検査装置及びその検査方法
TW200643411A (en) Inspection device and inspection method
KR20090045579A (ko) 레이저센서를 이용한 차량용 실러 도포 검사 시스템
KR20160073785A (ko) 레이저 가공 시스템 및 이를 이용한 레이저 가공 방법
JP2008157753A (ja) 検査装置、アニール装置、および検査方法
JP2010110796A (ja) レーザ加工モニタリング方法および装置
JP6597981B2 (ja) 表面検査装置の異常判定方法とその表面検査装置
KR101345105B1 (ko) 습식공정 모니터링 장치 및 모니터링 방법
KR20210088296A (ko) 인샤워 나이프 검사 처리 장치
JP2005302827A (ja) レーザ発振器診断装置及びレーザ発振器診断装置を備えたレーザ加工機
JP2001183256A (ja) コーティング膜検査装置及び検査方法
JP3201296B2 (ja) 金属材の欠陥検出装置の診断方法および欠陥火花模擬光源
KR20090054137A (ko) Cis 센서 모듈을 이용한 광학필름 결함 검사장치
KR100649298B1 (ko) 마스크 레지스트레이션 측정 장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination