KR20210064997A

KR20210064997A - Frame integrated mask and frame

Info

Publication number: KR20210064997A
Application number: KR1020190171369A
Authority: KR
Inventors: 이유진
Original assignee: 주식회사 오럼머티리얼
Priority date: 2019-11-26
Filing date: 2019-12-20
Publication date: 2021-06-03

Abstract

The present invention relates to a frame-integrated mask and a frame. According to the present invention, the frame-integrated mask is a frame-integrated mask for OLED pixel formation in which a plurality of masks and a frame for supporting the masks are integrally formed. The frame comprises: an edge frame unit including a hollow region; a plurality of grid bars having at least both ends connected to the edge frame unit; and a mask cell sheet unit having a plurality of mask cell regions along at least one direction of a first direction and a second direction, wherein the mask cell sheet unit is connected to the edge frame unit. Each mask is connected to an upper part of the mask cell sheet unit. A grid bar is disposed on at least a portion of a lower part of the mask cell sheet unit to support the mask cell sheet unit.

Description

Frame-integrated mask and frame {FRAME INTEGRATED MASK AND FRAME}

본 발명은 프레임 일체형 마스크 및 프레임에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 마스크 셀 시트부가 처지는 것을 방지할 수 있는 프레임 일체형 마스크 및 프레임에 관한 것이다.The present invention relates to a frame-integrated mask and frame. More particularly, it relates to a frame-integrated mask and a frame capable of preventing the mask cell sheet portion from sagging when manufacturing the frame-integrated mask.

OLED 제조 공정에서 화소를 형성하는 기술로, 박막의 금속 마스크(Shadow Mask)를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 FMM(Fine Metal Mask) 법이 주로 사용된다.As a technology for forming pixels in the OLED manufacturing process, the FMM (Fine Metal Mask) method is mainly used to deposit an organic material at a desired location by attaching a thin metal mask to the substrate.

기존의 OLED 제조 공정에서는 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용한다. 마스크 하나에는 디스플레이 하나에 대응하는 셀이 여러개 구비될 수 있다. 또한, 대면적 OLED 제조를 위해서 여러 개의 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 고정시킬 수 있는데, 프레임에 고정하는 과정에서 각 마스크가 평평하게 되도록 인장을 하게 된다. 마스크의 전체 부분이 평평하게 되도록 인장력을 조절하는 것은 매우 어려운 작업이다. 특히, 각 셀들을 모두 평평하게 하면서, 크기가 수 내지 수십 ㎛에 불과한 마스크 패턴을 정렬하기 위해서는, 마스크의 각 측에 가하는 인장력을 미세하게 조절하면서, 정렬 상태를 실시간으로 확인하는 고도의 작업이 요구된다.In the existing OLED manufacturing process, the mask is manufactured in the form of a stick or plate, and then the mask is welded and fixed to the OLED pixel deposition frame. A plurality of cells corresponding to one display may be provided in one mask. In addition, for large-area OLED manufacturing, multiple masks can be fixed to the OLED pixel deposition frame, and in the process of fixing to the frame, each mask is stretched so that it is flat. Adjusting the tension so that the entire part of the mask is flat is a very difficult task. In particular, in order to align a mask pattern with a size of only a few to several tens of μm while flattening each cell, a high-level operation of checking the alignment state in real time while finely adjusting the tensile force applied to each side of the mask is required. do.

그럼에도 불구하고, 여러 개의 마스크를 하나의 프레임에 고정시키는 과정에서 마스크 상호간에, 그리고 마스크 셀들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 있었다. 또한, 마스크를 프레임에 용접 고정하는 과정에서 마스크 막의 두께가 너무 얇고 대면적이기 때문에 하중에 의해 마스크가 쳐지거나 뒤틀어지는 문제점, 용접 과정에서 용접 부분에 발생하는 주름, 번짐(burr) 등에 의해 마스크 셀의 정렬이 엇갈리게 되는 문제점 등이 있었다.Nevertheless, in the process of fixing a plurality of masks to one frame, there is a problem in that the masks are not well aligned with each other and between the mask cells. In addition, in the process of welding and fixing the mask to the frame, since the thickness of the mask film is too thin and large, the mask is sagging or distorted by load, and wrinkles and burrs occurring in the welding part during the welding process. There were problems such as misalignment of the alignment.

초고화질의 OLED의 경우, 현재 QHD 화질은 500~600 PPI(pixel per inch)로 화소의 크기가 약 30~50㎛에 이르며, 4K UHD, 8K UHD 고화질은 이보다 높은 ~860 PPI, ~1600 PPI 등의 해상도를 가지게 된다. 이렇듯 초고화질의 OLED의 화소 크기를 고려하여 각 셀들간의 정렬 오차를 수 ㎛ 정도로 감축시켜야 하며, 이를 벗어나는 오차는 제품의 실패로 이어지게 되므로 수율이 매우 낮아지게 될 수 있다. 그러므로, 마스크가 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고, 정렬을 명확하게 할 수 있는 기술, 마스크를 프레임에 고정하는 기술 등의 개발이 필요한 실정이다.In the case of ultra-high-definition OLEDs, the current QHD image quality is 500-600 PPI (pixel per inch), with a pixel size of about 30-50 μm, and 4K UHD and 8K UHD high-definition are higher than this: ~860 PPI, ~1600 PPI, etc. has a resolution of As such, in consideration of the pixel size of the ultra-high-definition OLED, the alignment error between each cell should be reduced to about several μm, and an error outside of this may lead to product failure, resulting in a very low yield. Therefore, there is a need to develop a technology capable of preventing deformation such as sagging or twisting of the mask, and clarifying alignment, and a technology of fixing the mask to a frame.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 마스크 셀 시트부가 처지는 것을 방지할 수 있는 프레임 일체형 마스크 및 프레임을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a frame-integrated mask and a frame that can prevent the mask cell sheet from sagging when manufacturing a frame-integrated mask. do it with

또한, 본 발명은, 프레임에서 마스크 셀 시트부의 정렬을 명확하게 하여 마스크를 프레임에 부착할 때 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있는 프레임 일체형 마스크 및 프레임을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a frame-integrated mask and frame that can prevent deformation when attaching the mask to the frame by clarifying the alignment of the mask cell sheet portion in the frame.

본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 OLED 화소 형성용 프레임 일체형 마스크로서, 프레임은, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 테두리 프레임부에 적어도 양단이 연결되는 복수의 그리드 바; 및 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고, 각각의 마스크는 마스크 셀 시트부의 상부에 연결되며, 그리드 바는 마스크 셀 시트부의 적어도 하부 일부에 배치되어 마스크 셀 시트부를 지지하는, 프레임 일체형 마스크에 의해 달성된다.The above object of the present invention is to provide a frame-integrated mask for forming an OLED pixel in which a plurality of masks and a frame supporting the mask are integrally formed, the frame comprising: an edge frame portion including a hollow region; a plurality of grid bars having at least both ends connected to the edge frame portion; and a mask cell sheet portion having a plurality of mask cell regions along at least one of the first direction and the second direction and connected to the edge frame portion, wherein each mask is connected to an upper portion of the mask cell sheet portion, The grid bar is achieved by a frame-integrated mask, which is disposed on at least a lower portion of the mask cell sheet portion to support the mask cell sheet portion.

마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고, 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고, 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부;를 포함하고, 그리드 바는 제1 그리드 시트부, 제2 그리드 시트부 중 적어도 어느 하나에 대응하는 형상을 가지고 마스크 셀 시트부의 하부를 지지할 수 있다.The mask cell sheet unit includes: an edge sheet unit; at least one first grid sheet portion extending in a first direction and having both ends connected to the edge sheet portion; and at least one second grid sheet portion extending in a second direction perpendicular to the first direction, intersecting the first grid sheet portion, and having both ends connected to the edge sheet portion, wherein the grid bar includes the first grid It has a shape corresponding to at least one of the sheet part and the second grid sheet part and may support the lower part of the mask cell sheet part.

복수의 그리드 바가 교차되고, 각각의 그리드 바의 양단은 테두리 프레임부에 부착될 수 있다.A plurality of grid bars may cross each other, and both ends of each grid bar may be attached to the edge frame part.

테두리 프레임부에 복수의 삽입홈이 형성되고, 삽입홈에 그리드 바의 양단이 끼워질 수 있다.A plurality of insertion grooves are formed in the edge frame portion, and both ends of the grid bar may be fitted into the insertion grooves.

그리드 바는, 마스크 셀 시트부의 두께보다 두껍고, 제1 그리드 시트부 또는 제2 그리드 시트부의 폭보다 좁을 수 있다.The grid bar may be thicker than the mask cell sheet portion and narrower than the width of the first grid sheet portion or the second grid sheet portion.

제1 그리드 시트부, 제2 그리드 시트부 중 적어도 어느 하나의 길이 방향에 수직하는 단면 형상은, 삼각형, 사다리꼴이거나, 또는, 단면 형상의 변, 모서리 중 적어도 하나가 라운딩진 삼각형, 사다리꼴이고, 그리드 바의 길이 방향에 수직하는 단면 형상은, 삼각형, 사다리꼴이거나, 또는, 단면 형상의 변, 모서리 중 적어도 하나가 라운딩진 삼각형, 사다리꼴일 수 있다.A cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of at least one of the first grid sheet portion and the second grid sheet portion is a triangle or a trapezoid, or a triangle or trapezoid in which at least one of the sides and corners of the cross-sectional shape is rounded, and the grid The cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the bar may be a triangle or a trapezoid, or a triangle or trapezoid in which at least one of a side and a corner of the cross-sectional shape is rounded.

각각의 마스크는 각각의 마스크 셀 영역에 대응되게 마스크 셀 시트부의 상부에 연결될 수 있다.Each mask may be connected to an upper portion of the mask cell sheet portion to correspond to each mask cell region.

그리고, 본 발명의 상기의 목적은, 복수의 OLED 화소 형성용 마스크를 지지하기 위한 프레임으로서, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 테두리 프레임부에 적어도 양단이 연결되는 복수의 그리드 바; 및 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고, 마스크 셀 시트부의 적어도 하부 일부에 그리드 바가 배치되어 마스크 셀 시트부를 지지하는, 프레임에 의해 달성된다.And, the above object of the present invention, as a frame for supporting a mask for forming a plurality of OLED pixels, the frame portion comprising a hollow region; a plurality of grid bars having at least both ends connected to the edge frame portion; and a mask cell sheet portion having a plurality of mask cell regions along at least one of the first direction and the second direction and connected to the edge frame portion, wherein a grid bar is disposed on at least a lower portion of the mask cell sheet portion to provide a mask It is achieved by the frame, which supports the cell seat part.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 마스크 셀 시트부가 처지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, there is an effect that can prevent the mask cell sheet portion from sagging when manufacturing the frame-integrated mask.

또한, 본 발명에 따르면, 프레임에서 마스크 셀 시트부의 정렬을 명확하게 하여 마스크를 프레임에 부착할 때 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to prevent deformation when attaching the mask to the frame by clarifying the alignment of the mask cell sheet portion in the frame.

도 1은 종래의 마스크를 프레임에 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 2는 종래의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임을 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 여러 실시예에 따른 마스크가 프레임에 부착된 형태를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 이용한 OLED 화소 증착 장치를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic diagram showing a process of attaching a conventional mask to a frame.
2 is a front view and a side cross-sectional view showing a frame-integrated mask according to an embodiment of the related art.
3 is a front view and a side cross-sectional view showing a frame-integrated mask according to an embodiment of the present invention.
4 is a front view and a side cross-sectional view showing a frame according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are schematic views showing a manufacturing process of a frame according to an embodiment of the present invention.
7 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating a form in which a mask is attached to a frame according to various embodiments of the present invention.
8 is a schematic diagram illustrating an OLED pixel deposition apparatus using a frame-integrated mask according to an embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0010] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0023] Reference is made to the accompanying drawings, which show by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain shapes, structures, and characteristics described herein with respect to one embodiment may be embodied in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. In addition, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, the following detailed description is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if properly described, is limited only by the appended claims, along with all scope equivalents to those as claimed. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions in various aspects, and the length, area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, in order to enable those of ordinary skill in the art to easily practice the present invention, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 마스크(10)를 프레임(20)에 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다.1 is a schematic diagram illustrating a process of attaching a conventional mask 10 to a frame 20 .

종래의 마스크(10)는 스틱형(Stick-Type) 또는 판형(Plate-Type)이며, 도 1의 스틱형 마스크(10)는 스틱의 양측을 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용할 수 있다. 마스크(10)의 바디(Body)[또는, 마스크 막(11)]에는 복수의 디스플레이 셀(C)이 구비된다. 하나의 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응한다. 셀(C)에는 디스플레이의 각 화소에 대응하도록 화소 패턴(P)이 형성된다.The conventional mask 10 is a stick-type or plate-type, and the stick-type mask 10 of FIG. 1 can be used by welding and fixing both sides of the stick to the OLED pixel deposition frame. A plurality of display cells C are provided in the body of the mask 10 (or the mask film 11 ). One cell C corresponds to one display such as a smart phone. A pixel pattern P is formed in the cell C to correspond to each pixel of the display.

도 1의 (a)를 참조하면, 스틱 마스크(10)의 장축 방향으로 인장력(F1~F2)을 가하여 편 상태로 사각틀 형태의 프레임(20) 상에 스틱 마스크(10)를 로딩한다. 스틱 마스크(10)의 셀(C1~C6)들은 프레임(20)의 틀 내부 빈 영역 부분에 위치하게 된다.Referring to FIG. 1A , the stick mask 10 is loaded on the frame 20 in the form of a square frame in a flat state by applying tensile forces F1 to F2 in the long axis direction of the stick mask 10 . The cells C1 to C6 of the stick mask 10 are located in the blank area inside the frame 20 of the frame 20 .

도 1의 (b)를 참조하면, 스틱 마스크(10)의 각 측에 가하는 인장력(F1~F2)을 미세하게 조절하면서 정렬을 시킨 후, 스틱 마스크(10) 측면의 일부를 용접(W)함에 따라 스틱 마스크(10)와 프레임(20)을 상호 연결한다. 도 1의 (c)는 상호 연결된 스틱 마스크(10)와 프레임의 측단면을 나타낸다.Referring to Figure 1 (b), after aligning while finely adjusting the tensile force (F1 ~ F2) applied to each side of the stick mask 10, a part of the side of the stick mask 10 is welded (W). Accordingly, the stick mask 10 and the frame 20 are interconnected. Figure 1 (c) shows a cross-section of the stick mask 10 and the frame interconnected.

스틱 마스크(10)의 각 측에 가하는 인장력(F1~F2)을 미세하게 조절함에도 불구하고, 마스크 셀(C1~C3)들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 나타난다. 가령, 셀(C1~C6)들의 패턴 간에 거리가 상호 다르게 되거나, 패턴(P)들이 비뚤어지는 것이 그 예이다. 스틱 마스크(10)는 복수의 셀(C1~C6)을 포함하는 대면적이고, 수십 ㎛ 수준의 매우 얇은 두께를 가지기 때문에, 하중에 의해 쉽게 쳐지거나 뒤틀어지게 된다. 또한, 각 셀(C1~C6)들을 모두 평평하게 하도록 인장력(F1~F2)을 조절하면서, 각 셀(C1~C6)들간의 정렬 상태를 현미경을 통해 실시간으로 확인하는 것은 매우 어려운 작업이다. 크기가 수 내지 수십 ㎛인 마스크 패턴(P)이 초고화질 OLED의 화소 공정에 악영향을 미치지 않도록 하기 위해서는, 정렬 오차가 3㎛를 초과하지 않는 것이 바람직하다. 이렇게 인접하는 셀 사이의 정렬 오차를 PPA(pixel position accuracy)라 지칭한다.Although the tensile forces F1 to F2 applied to each side of the stick mask 10 are finely adjusted, there is a problem that the mask cells C1 to C3 are not well aligned with each other. For example, the distance between the patterns of the cells C1 to C6 is different from each other, or the patterns P are skewed, for example. Since the stick mask 10 has a large area including a plurality of cells C1 to C6 and has a very thin thickness of several tens of μm, it is easily sagged or twisted by a load. In addition, it is very difficult to check the alignment state between the cells C1 to C6 in real time through a microscope while controlling the tensile force F1 to F2 to flatten all the cells C1 to C6. In order to prevent the mask pattern P having a size of several to several tens of μm from adversely affecting the pixel process of the ultra-high-definition OLED, it is preferable that the alignment error does not exceed 3 μm. This alignment error between adjacent cells is referred to as pixel position accuracy (PPA).

이에 더하여, 복수의 스틱 마스크(10)들을 프레임(20) 하나에 각각 연결하면서, 복수의 스틱 마스크(10)들간에, 그리고 스틱 마스크(10)의 복수의 셀(C~C6)들간에 정렬 상태를 명확히 하는 것도 매우 어려운 작업이고, 정렬에 따른 공정 시간이 증가할 수밖에 없게 되어 생산성을 감축시키는 중대한 이유가 된다.In addition, while connecting the plurality of stick masks 10 to one frame 20 , the alignment state between the plurality of stick masks 10 and between the plurality of cells C to C6 of the stick mask 10 , respectively It is also a very difficult task to clarify, and the process time according to alignment is inevitably increased, which is a significant reason for reducing productivity.

한편, 스틱 마스크(10)를 프레임(20)에 연결 고정시킨 후에는, 스틱 마스크(10)에 가해졌던 인장력(F1~F2)이 프레임(20)에 역으로 장력(tension)을 작용할 수 있다. 이러한 장력이 프레임(20)을 미세하게 변형시킬 수 있고, 복수의 셀(C~C6)들간에 정렬 상태가 틀어지는 문제가 발생할 수 있다.On the other hand, after the stick mask 10 is connected and fixed to the frame 20 , the tensile forces F1 to F2 applied to the stick mask 10 may reversely act on the frame 20 . Such tension may slightly deform the frame 20 , and a problem of misalignment between the plurality of cells C to C6 may occur.

이에, 본 발명은 마스크(100)가 프레임(200)과 일체형 구조를 이룰 수 있게 하는 프레임(200) 및 프레임 일체형 마스크를 제안한다. 프레임(200)에 일체로 형성되는 마스크(100)는 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형이 방지되고, 프레임(200)에 명확히 정렬될 수 있다.Accordingly, the present invention proposes a frame 200 and a frame-integrated mask that allows the mask 100 to form an integrated structure with the frame 200 . The mask 100 integrally formed with the frame 200 is prevented from being deformed such as sagging or twisting, and can be clearly aligned with the frame 200 .

도 2는 종래의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도 및 측단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도[도 3의 (a)] 및 측단면도[도 3의 (b)]이다. 도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임을 나타내는 정면도[도 4의 (a)] 및 측단면도[도 4의 (b)]이다.2 is a front view and a side cross-sectional view showing a frame-integrated mask according to an embodiment of the related art. 3 is a front view [FIG. 3 (a)] and a side cross-sectional view [FIG. 3 (b)] showing a frame-integrated mask according to an embodiment of the present invention. 4 is a front view [FIG. 4 (a)] and a side cross-sectional view [FIG. 4 (b)] showing a frame according to an embodiment of the present invention.

본 명세서에서는 아래에서 프레임 일체형 마스크의 구성을 간단히 설명하나, 프레임 일체형 마스크의 구조, 제조 과정은 한국특허출원 제2018-0016186호의 내용이 전체로서 산입된 것으로 이해될 수 있다.In this specification, the configuration of the frame-integrated mask will be briefly described below, but it can be understood that the structure and manufacturing process of the frame-integrated mask are included in the contents of Korean Patent Application No. 2018-0016186 as a whole.

도 2 내지 도 4을 참조하면, 프레임 일체형 마스크는, 복수의 마스크(100) 및 하나의 프레임(200)을 포함할 수 있다. 다시 말해, 복수의 마스크(100)들을 각각 하나씩 프레임(200)에 부착한 형태이다. 이하에서는, 설명의 편의상 사각 형태의 마스크(100)를 예로 들어 설명하나, 마스크(100)들은 프레임(200)에 부착되기 전에는 양측에 클램핑되는 돌출부를 구비한 스틱 마스크 형태일 수 있으며, 프레임(200)에 부착된 후에 돌출부가 제거될 수 있다.2 to 4 , the frame-integrated mask may include a plurality of masks 100 and one frame 200 . In other words, a plurality of masks 100 are attached to the frame 200 one by one. Hereinafter, for convenience of explanation, the mask 100 having a rectangular shape will be described as an example, but the masks 100 may be in the form of a stick mask having protrusions clamped on both sides before being attached to the frame 200 , and the frame 200 . ) after being attached to the protrusion can be removed.

각각의 마스크(100)에는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성되며, 하나의 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있다. 하나의 마스크 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응할 수 있다.A plurality of mask patterns P may be formed on each mask 100 , and one cell C may be formed on one mask 100 . One mask cell C may correspond to one display such as a smart phone.

마스크(100)는 인바(invar), 슈퍼 인바(super invar), 니켈(Ni), 니켈-코발트(Ni-Co) 등의 재질일 수도 있다. 마스크(100)는 압연(rolling) 공정 또는 전주 도금(electroforming)으로 생성한 금속 시트(sheet)를 사용할 수 있다.The mask 100 may be made of invar, super invar, nickel (Ni), nickel-cobalt (Ni-Co), or the like. The mask 100 may use a metal sheet produced by a rolling process or electroforming.

프레임(200)은 복수의 마스크(100)를 부착시킬 수 있도록 형성된다. 프레임(200)은 열변형을 고려하여 마스크와 동일한 재질로 구성되는 것이 바람직하다. 프레임(200)은 대략 사각 형상, 사각틀 형상의 테두리 프레임부(210)를 포함할 수 있다. 테두리 프레임부(210)의 내부는 중공 형태일 수 있다.The frame 200 is formed so that a plurality of masks 100 can be attached thereto. The frame 200 is preferably made of the same material as the mask in consideration of thermal deformation. The frame 200 may include an edge frame portion 210 having a substantially rectangular shape or a rectangular frame shape. The inside of the edge frame part 210 may have a hollow shape.

이에 더하여, 프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하며, 테두리 프레임부(210)에 연결되는 마스크 셀 시트부(220)를 포함할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)로 구성될 수 있다. 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)는 동일한 시트에서 구획된 각 부분을 지칭하며, 이들은 상호간에 일체로 형성된다.In addition, the frame 200 may include a plurality of mask cell regions CR, and may include a mask cell sheet unit 220 connected to the edge frame unit 210 . The mask cell sheet unit 220 may include an edge sheet unit 221 and first and second grid sheet units 223 and 225 . The edge sheet portion 221 and the first and second grid sheet portions 223 and 225 refer to partitioned portions of the same sheet, and they are integrally formed with each other.

테두리 프레임부(210)의 두께는 마스크 셀 시트부(220)의 두께보다 두꺼운 수mm 내지 수cm의 두께로 형성될 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 프레임부(210)의 두께보다는 얇지만, 마스크(100)보다는 두꺼운 약 0.1mm 내지 1mm 정도로 두께일 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭은 약 1~5mm 정도로 형성될 수 있다.The thickness of the edge frame part 210 may be formed to a thickness of several mm to several cm thicker than the thickness of the mask cell sheet part 220 . The mask cell sheet part 220 is thinner than the thickness of the edge frame part 210 , but may have a thickness of about 0.1 mm to 1 mm thicker than the mask 100 . The width of the first and second grid sheet parts 223 and 225 may be about 1 to 5 mm.

평면의 시트에서 테두리 시트부(221), 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)가 점유하는 영역을 제외하여, 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)이 제공될 수 있다. In the flat sheet, a plurality of mask cell regions CR: CR11 to CR56 may be provided except for regions occupied by the edge sheet part 221 and the first and second grid sheet parts 223 and 225 .

프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하고, 각각의 마스크(100)는 각각 하나의 마스크 셀(C)이 마스크 셀 영역(CR)에 대응되도록 부착될 수 있다. 마스크 셀(C)은 프레임(200)의 마스크 셀 영역(CR)에 대응하고, 더미의 일부 또는 전부가 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착될 수 있다. 이에 따라, 마스크(100)와 프레임(200)이 일체형 구조를 이룰 수 있게 된다.The frame 200 includes a plurality of mask cell regions CR, and each mask 100 may be attached such that one mask cell C corresponds to the mask cell region CR. The mask cell C corresponds to the mask cell region CR of the frame 200 , and a part or all of the dummy may be attached to the frame 200 (the mask cell sheet unit 220 ). Accordingly, the mask 100 and the frame 200 can form an integrated structure.

하지만, 보다 많은 마스크 셀 영역(CR)을 구비할 수 있도록, 마스크 셀 시트부(220)가 대면적화 됨에 따라, 마스크 셀 영역(CR)이 하중에 의해 처지게 되는 문제점이 발생한다. 도 2의 (c)를 참조하면, 이상적인 마스크 셀 시트부(220)는 점선 L1에 맞도록 팽팽하게 수평 상태를 유지하여야 한다. 하지만, 마스크 셀 시트부(220)[또는, 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)]의 부분이 하중에 의해 처지게 되어 점선 L2와 같이 되는 문제점이 나타날 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)의 테두리 부분에서 중심 부분으로 갈수록 하중에 의한 변형은 더욱 커질 수 있다. 따라서, 프레임(200)의 정렬 오차에 의해 마스크(100)가 부착된 후에 마스크 셀(C) 및 마스크 패턴(P)들의 정렬 오차는 더욱 커지게 된다.However, as the mask cell sheet 220 increases in area to provide more mask cell regions CR, there is a problem in that the mask cell region CR sags due to a load. Referring to (c) of FIG. 2 , the ideal mask cell sheet part 220 should be kept in a taut, horizontal state to fit the dotted line L1 . However, a portion of the mask cell sheet portion 220 (or the first and second grid sheet portions 223 and 225 ) may be sagged by a load, resulting in a problem in which the dotted line L2 is displayed. Deformation due to load may increase from the edge of the mask cell sheet 220 toward the center. Accordingly, after the mask 100 is attached due to the alignment error of the frame 200 , the alignment error of the mask cells C and the mask patterns P becomes larger.

따라서, 본 발명은 마스크 셀 시트부(220)의 처짐 감소를 위해 마스크 셀 시트부(220)의 하부에 그리드 바(230)를 적용한 것을 특징으로 한다.Accordingly, the present invention is characterized in that the grid bar 230 is applied to the lower portion of the mask cell sheet 220 to reduce sagging of the mask cell sheet 220 .

도 3 및 도 4를 다시 참조하면, 프레임(200)은 복수의 그리드 바(230: 231, 232)가 연결될 수 있다. 그리드 바(230)는 각각이 프레임(200)의 테두리 프레임부(210)에 적어도 양단이 연결될 수 있다. 또는 복수의 그리드 바(230)가 일체로 연결된 하나의 결합체가 테두리 프레임부(210)에 연결될 수도 있다. 그리드 바(230)의 재질은 프레임(200) 및 마스크(100)와 동일한 인바, 슈퍼 인바 등을 채용할 수 있다. 그리하여, 그리드 바(230)가 프레임(200), 마스크(100) 등의 프레임 일체형 마스크의 각 구성요소와 동일한 열적 거동을 할 수 있어 변형을 방지하게 된다.3 and 4 again, the frame 200 may be connected to a plurality of grid bars 230 (231 and 232). At least both ends of each of the grid bars 230 may be connected to the edge frame part 210 of the frame 200 . Alternatively, a single assembly in which a plurality of grid bars 230 are integrally connected may be connected to the edge frame unit 210 . The grid bar 230 may be made of the same material as the frame 200 and the mask 100 , such as Invar, Super Invar, or the like. Thus, the grid bar 230 can have the same thermal behavior as each component of the frame-integrated mask, such as the frame 200 and the mask 100 , thereby preventing deformation.

그리드 바(230)는 마스크 셀 시트부(220)의 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)에 대응하는 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 복수의 그리드 바(230)가 상호 교차하고, 교차한 그리드 바(230)에 의해서도 마스크 셀 영역(CR)이 제공될 수 있다. 한편, 그리드 바(230)는 마스크 셀 시트부(220)의 하부를 지지하는 목적의 범위 내에서는 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)와 반드시 대응하는 형태로 형성되지 않고, 제1 그리드 시트부(223), 제2 그리드 시트부(225) 중 하나와 대응하는 형태로 형성될 수도 있다.The grid bar 230 may be formed in a shape corresponding to the first and second grid sheet parts 223 and 225 of the mask cell sheet part 220 . Accordingly, the plurality of grid bars 230 may intersect each other, and the mask cell region CR may be provided by the intersecting grid bars 230 . Meanwhile, the grid bar 230 is not necessarily formed in a shape corresponding to the first and second grid sheet parts 223 and 225 within the range of the purpose of supporting the lower portion of the mask cell sheet part 220 , and the first grid It may be formed in a shape corresponding to one of the sheet portion 223 and the second grid sheet portion 225 .

또한, 그리드 바(230)는 마스크 셀 시트부(220)가 하중으로 인해 처지는 것을 방지할 수 있도록, 마스크 셀 시트부(220)보다 강성이 높은 것이 바람직하다. 또한, 강성 보완을 위해 마스크 셀 시트부(220)보다 두꺼운 것이 바람직하며, 탄성력이 높은 상태를 가지도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 그리드 바(230)의 폭은, 마스크 셀 시트부(220)의 하부에서 마스크 셀 시트부(220)를 지지하면서도 유기물 소스(600)가 통과하는 경로를 방해하지 않기 위해서, 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭보다 좁게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the grid bar 230 preferably has a higher rigidity than the mask cell sheet 220 so as to prevent the mask cell sheet 220 from sagging due to a load. In addition, it is preferable to have a thickness thicker than the mask cell sheet 220 in order to compensate for rigidity, and it is preferable to have a high elastic force. In addition, the width of the grid bar 230 may be adjusted to support the mask cell sheet 220 under the mask cell sheet 220 while not obstructing the path through which the organic material source 600 passes. It is preferable to be formed narrower than the width of the grid sheet portions 223 and 225 .

도 3 및 도 4에서는 그리드 바(230)에 수직하는 단면 형상이 사각형인 것으로 도시되어 있으나, 사각형 외에, 삼각형, 사다리꼴 또는 또는 변, 모서리 중 적어도 하나가 라운딩진 삼각형, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)도 수직하는 단면 형상이 그리드 바(230)와 동일할 수 있다. 이에 따라, 테이퍼(역테이퍼) 형상의 마스크 패턴(P)과 더불어, 제1, 2 그리드 시트부(223, 225) 및 그리드 바(230)의 형상까지 유기물 소스(600)의 새도우 이펙트(Shadow Effect)를 방지하는데 기여할 수 있는 효과가 있다.3 and 4 , the cross-sectional shape perpendicular to the grid bar 230 is illustrated as a quadrangle, but in addition to a quadrangle, a triangular shape, a trapezoidal shape, or a triangular shape or a trapezoidal shape in which at least one of sides and corners is rounded. The first and second grid sheet parts 223 and 225 may also have the same vertical cross-sectional shape as the grid bar 230 . Accordingly, the shadow effect of the organic material source 600 up to the shape of the first and second grid sheet parts 223 and 225 and the grid bar 230 as well as the mask pattern P having a tapered (reverse taper) shape. ), which can contribute to preventing

도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임(200)의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.5 and 6 are schematic views showing a manufacturing process of the frame 200 according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 5의 (a)를 참조하면, 테두리 프레임부(210)를 준비한다. 테두리 프레임부(210)는 중공 영역(R)을 포함한 사각 틀 형상일 수 있다.First, referring to (a) of FIG. 5 , the edge frame part 210 is prepared. The edge frame part 210 may have a rectangular frame shape including the hollow region R.

다음으로, 도 5의 (b)를 참조하면, 테두리 프레임부(210)에 복수의 삽입홈(211, 212)을 형성할 수 있다. 삽입홈(211, 212)은 테두리 프레임부(210)를 기계 가공, 워터 젯 등의 공지의 가공 방식을 사용하여 형성할 수 있다. 다만, 삽입홈(211, 212)은 그리드 바(230: 231, 232)의 양단이 딱 맞게 끼워질 수 있는 폭, 깊이로 형성하는 것이 바람직하다. 경우에 따라서, 그리드 바(230: 231, 232)가 테두리 프레임부(210)에 바로 연결이 가능하면, 삽입홈(211, 212)을 형성하는 과정은 생략할 수도 있다. 또한, 제1 방향의 그리드 바(231) 또는 제2 방향의 그리드 바(232)만을 테두리 프레임부(210)에 연결되는 경우라면, 이에 대응하는 삽입홈(211, 212)만을 형성할 수도 있다.Next, referring to FIG. 5B , a plurality of insertion grooves 211 and 212 may be formed in the edge frame portion 210 . The insertion grooves 211 and 212 may be formed using a known processing method such as machining, water jet, or the like for the edge frame portion 210 . However, it is preferable that the insertion grooves 211 and 212 have a width and a depth so that both ends of the grid bars 230: 231 and 232 can fit snugly. In some cases, if the grid bars 230 ( 231 , 232 ) can be directly connected to the edge frame part 210 , the process of forming the insertion grooves 211 and 212 may be omitted. In addition, if only the grid bar 231 in the first direction or the grid bar 232 in the second direction is connected to the edge frame unit 210, only the corresponding insertion grooves 211 and 212 may be formed.

다음으로, 도 5의 (c)를 참조하면, 그리드 바(230: 231, 232)를 제공할 수 있다. 각각의 그리드 바(231, 232)를 테두리 프레임부(210)에 연결할 수 있다.Next, referring to FIG. 5C , grid bars 230 ( 231 and 232 ) may be provided. Each of the grid bars 231 and 232 may be connected to the edge frame unit 210 .

또는, 제1 방향 및 이에 수직하는 제2 방향의 그리드 바(231, 232)들이 교차된 구성체를 제공할 수 있다. 복수의 그리드 바(230: 231, 232)를 서로 수직하게 교차되도록 연결한 구성체를 만든 후에 테두리 프레임부(210)에 연결할 수도 있고, 각각의 그리드 바(230: 231, 232)를 순차적으로 테두리 프레임부(210)에 연결할 수도 있다.Alternatively, a structure in which the grid bars 231 and 232 in the first direction and the second direction perpendicular thereto are crossed may be provided. After making a structure in which the plurality of grid bars 230: 231 and 232 are vertically intersected with each other, they may be connected to the border frame unit 210, and each grid bar 230: 231, 232 is sequentially connected to the border frame It can also be connected to the unit 210 .

일 실시예에 따르면, 그리드 바(230: 231, 232)를 상호 용접하여 교차점을 형성하고, 이들을 연결한 구성체를 제조할 수 있다. 용접 후, 마?? 셀 시트부(220)가 지지될 그리드 바(230)의 상부면은 소정의 면삭 공정이 수행될 수 있다.According to an embodiment, the grid bars 230: 231 and 232 are welded to each other to form an intersection, and a structure connecting them may be manufactured. After welding, do?? A predetermined chamfering process may be performed on the upper surface of the grid bar 230 on which the cell sheet part 220 is to be supported.

다른 실시예에 따르면, 그리드 바(230: 231, 232)의 중간에 홈을 형성할 수 있다. 홈의 개수는 교차점의 개수에 대응할 수 있다. 그리드 바(231) 또는 그리드 바(232)의 하나에 홈이 형성되고, 나머지 그리드 바(230)를 홈에 끼워서 상호 연결을 할 수 있다.According to another embodiment, a groove may be formed in the middle of the grid bars 230 ( 231 and 232 ). The number of grooves may correspond to the number of intersection points. A groove is formed in one of the grid bar 231 or the grid bar 232 , and the other grid bars 230 may be inserted into the groove to be interconnected.

다음으로, 도 5의 (d)를 참조하면, 그리드 바(230)의 양단을 테두리 프레임부(210)에 연결할 수 있다. 테두리 프레임부(210)의 삽입홈(211, 212)에 그리드 바(230)를 끼워서 연결할 수 있다. 또는, 삽입홈(211, 212)에 그리드 바(230)를 끼운 후 용접을 통해 일체로 연결할 수 있다. 또는, 삽입홈(211, 212)을 형성함이 없이, 테두리 프레임부(210)에 곧바로 그리드 바(230)의 양단을 용접하여 연결할 수도 있다. 테두리 프레임부(210)와 그리드 바(230)는 동일한 재질을 가지고 일체로 연결될 수 있다.Next, referring to FIG. 5D , both ends of the grid bar 230 may be connected to the edge frame part 210 . The grid bar 230 may be inserted into the insertion grooves 211 and 212 of the edge frame part 210 to be connected. Alternatively, the grid bar 230 may be inserted into the insertion grooves 211 and 212 and then integrally connected through welding. Alternatively, both ends of the grid bar 230 may be directly welded to the edge frame portion 210 without forming the insertion grooves 211 and 212 . The edge frame part 210 and the grid bar 230 may be integrally connected with the same material.

다음으로, 도 6의 (a)를 참조하면, 도 5의 (d)에서 테두리 프레임부(210)와 그리드 바(230)를 연결한 상태에서, 그리드 바(230)는 마스크 셀 시트부(220)의 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)와 대응하는 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 그리드 바(230)에 의해서도 복수의 마스크 셀 영역(CR)이 구비될 수 있다.Next, referring to FIG. 6A , in the state in which the border frame part 210 and the grid bar 230 are connected in FIG. 5D , the grid bar 230 is the mask cell sheet part 220 . ) may have a shape corresponding to the first and second grid sheet parts 223 and 225 . Accordingly, a plurality of mask cell regions CR may be provided even by the grid bar 230 .

다음으로, 도 6의 (b)를 참조하면, 마스크 셀 시트부(220)를 제조할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 압연, 전주도금 또는 그 외의 막 형성 공정을 사용하여 평면의 시트를 제조한 후, 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 마스크 셀 영역(CR) 부분을 제거함에 따라 제조할 수 있다.Next, referring to FIG. 6B , the mask cell sheet part 220 may be manufactured. The mask cell sheet part 220 is manufactured by manufacturing a flat sheet using rolling, electroplating, or other film forming process, and then removing the mask cell region CR part through laser scribing, etching, etc. can do.

이어서, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210) 및 그리드 바(230)에 대응할 수 있다. 대응시키는 과정에서, 마스크 셀 시트부(220)의 모든 측을 인장(F1~F4)하여 마스크 셀 시트부(220)를 평평하게 편 상태로 테두리 시트부(221)를 테두리 프레임부(210)에 대응하고, 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)를 그리드 바(230)에 대응할 수 있다. 한 측에서도 여러 포인트[도 6의 (b)의 예로, 1~3포인트]로 마스크 셀 시트부(220)를 잡고 인장할 수 있다. 한편, 모든 측이 아니라, 일부 측 방향을 따라 마스크 셀 시트부(220)를 인장(F1, F2) 할 수도 있다.Subsequently, the mask cell sheet part 220 may correspond to the edge frame part 210 and the grid bar 230 . In the process of matching, all sides of the mask cell sheet part 220 are stretched (F1 to F4) to flatten the mask cell sheet part 220, and the edge sheet part 221 is attached to the edge frame part 210. Correspondingly, the first and second grid sheet parts 223 and 225 may correspond to the grid bar 230 . One side may also hold the mask cell sheet 220 at several points (eg, 1 to 3 points in FIG. 6(b) ) and tension it. Meanwhile, the mask cell sheet unit 220 may be stretched (F1, F2) along some lateral directions instead of all sides.

다음으로, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210) 및 그리드 바(230)에 대응하면, 마스크 셀 시트부(220)의 테두리 시트부(221)를 용접(W)하여 부착할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)가 테두리 프레임부(210)에 견고하게 부착될 수 있도록, 모든 측을 용접(W)하는 것이 바람직하다. 또한, 그리드 바(230)에 대응하는 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 부분도 용접(W)하여 부착할 수 있다. 용접(W) 부분은 라인(line) 또는 스팟(spot) 형태로 생성될 수 있으며, 마스크 셀 시트부(220)와 동일한 재질을 가지고 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220)를 일체로 연결하는 매개체가 될 수 있다.Next, when the mask cell sheet part 220 corresponds to the edge frame part 210 and the grid bar 230 , the edge sheet part 221 of the mask cell sheet part 220 may be welded (W) to attach it. have. It is preferable to weld (W) all sides so that the mask cell sheet part 220 can be firmly attached to the edge frame part 210 . In addition, portions of the first and second grid sheet parts 223 and 225 corresponding to the grid bar 230 may also be attached by welding (W). The weld (W) portion may be formed in the form of a line or a spot, and has the same material as the mask cell sheet 220 and integrates the edge frame 210 and the mask cell sheet 220 together. It can be a medium that connects

한편, 테두리 프레임부(210)에 평면의 시트를 대응하고, 인장/부착한 후에 평면의 시트에 마스크 셀 영역(CR)을 형성하는 공정을 수행하여 프레임(200)의 제조를 완료할 수도 있다.Meanwhile, the frame 200 may be manufactured by performing a process of forming the mask cell region CR on the flat sheet after the flat sheet corresponds to the edge frame portion 210 and is stretched/attached.

이처럼, 그리드 바(230)는 마스크 셀 시트부(220)보다 뛰어난 강성을 가지면서 마스크 셀 시트부(220)의 하부를 지지하므로, 마스크 셀 시트부(220)가 하중에 의한 처짐없이 팽팽한 상태를 유지하며 테두리 프레임부(210)[및 그리드 바(230)] 상에 부착되도록 할 수 있는 효과가 있다.As such, since the grid bar 230 supports the lower portion of the mask cell sheet portion 220 while having greater rigidity than the mask cell sheet portion 220 , the mask cell sheet portion 220 maintains a taut state without sagging due to a load. There is an effect that can be attached to the frame portion 210 (and the grid bar 230) while maintaining.

도 7은 본 발명의 여러 실시예에 따른 마스크가 프레임에 부착된 형태를 나타내는 부분 확대 단면도이다.7 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating a form in which a mask is attached to a frame according to various embodiments of the present invention.

일 예로, 도 7의 (a)를 참조하면, 제1 그리드 시트부(223)의 단면은 사각형, 그리드 바(231)의 단면은 사다리꼴로 도시되어 있다. 그리드 바(231)는 측면이 기울어지게 형성됨에 따라, 유기물 소스가 대각선 방향으로 마스크(100)에 진입(OP)할 수 있도록 유도할 수 있다. 이에 따라, 새도우 이펙트에 의한 화소의 불균일 증착을 방지할 수 있다.For example, referring to FIG. 7A , a cross-section of the first grid sheet unit 223 is illustrated as a quadrangle, and a cross-section of the grid bar 231 is illustrated as a trapezoid. As the side of the grid bar 231 is formed to be inclined, the organic material source may be induced to enter (OP) the mask 100 in a diagonal direction. Accordingly, it is possible to prevent non-uniform deposition of pixels due to the shadow effect.

다른 예로, 도 7의 (b)를 참조하면, 제1 그리드 시트부(223)의 단면은 사다리꼴, 그리드 바(231)의 단면은 삼각형으로 도시되어 있다. 제1 그리드 시트부(223)뿐만 아니라 그리드 바(231)까지 측면이 기울어지게 형성됨에 따라, 유기물 소스가 대각선 방향으로 마스크(100)에 진입(OP)하기가 더 용이하도록 유도할 수 있다. 이에 따라, 새도우 이펙트에 의한 화소의 불균일 증착을 더욱 방지할 수 있다. 새도우 이펙트를 방지하는 목적의 범위 내에서는, 제1 그리드 시트부(223) 및 그리드 바(231)의 단면 형상은 삼각형, 사다리꼴, 사각형을 조합하여 구성할 수 있다.As another example, referring to FIG. 7B , a cross-section of the first grid sheet part 223 is illustrated as a trapezoid, and a cross-section of the grid bar 231 is illustrated as a triangle. As not only the first grid sheet part 223 but also the grid bar 231 are formed to be inclined, the organic material source may be induced to more easily enter (OP) the mask 100 in the diagonal direction. Accordingly, it is possible to further prevent non-uniform deposition of pixels due to the shadow effect. Within the scope of the purpose of preventing the shadow effect, the cross-sectional shapes of the first grid sheet part 223 and the grid bar 231 may be configured by combining a triangle, a trapezoid, and a quadrangle.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크(100, 200)를 이용한 OLED 화소 증착 장치(1000)를 나타내는 개략도이다.8 is a schematic diagram illustrating an OLED pixel deposition apparatus 1000 using the frame-integrated masks 100 and 200 according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, OLED 화소 증착 장치(1000)는, 마그넷(310)이 수용되고, 냉각수 라인(350)이 배설된 마그넷 플레이트(300)와, 마그넷 플레이트(300)의 하부로부터 유기물 소스(600)를 공급하는 증착 소스 공급부(500)를 포함한다.Referring to FIG. 8 , the OLED pixel deposition apparatus 1000 includes a magnet plate 300 in which a magnet 310 is accommodated and a coolant line 350 is disposed, and an organic material source 600 from a lower portion of the magnet plate 300 . ) and a deposition source supply unit 500 for supplying the .

마그넷 플레이트(300)와 소스 증착부(500) 사이에는 유기물 소스(600)가 증착되는 유리 등의 대상 기판(900)이 개재될 수 있다. 대상 기판(900)에는 유기물 소스(600)가 화소별로 증착되게 하는 프레임 일체형 마스크(100, 200)[또는, FMM]이 밀착되거나 매우 근접하도록 배치될 수 있다. 마그넷(310)이 자기장을 발생시키고 자기장에 의해 대상 기판(900)에 밀착될 수 있다.A target substrate 900 such as glass on which the organic source 600 is deposited may be interposed between the magnet plate 300 and the source deposition unit 500 . The frame-integrated masks 100 and 200 [or FMMs] that allow the organic material source 600 to be deposited for each pixel may be disposed in close contact with or very close to each other on the target substrate 900 . The magnet 310 may generate a magnetic field and may be in close contact with the target substrate 900 by the magnetic field.

증착 소스 공급부(500)는 좌우 경로를 왕복하며 유기물 소스(600)를 공급할 수 있고, 증착 소스 공급부(500)에서 공급되는 유기물 소스(600)들은 프레임 일체형 마스크(100, 200)에 형성된 패턴(P)을 통과하여 대상 기판(900)의 일측에 증착될 수 있다. 프레임 일체형 마스크(100, 200)의 패턴(P)을 통과한 증착된 유기물 소스(600)는 OLED의 화소(700)로서 작용할 수 있다.The deposition source supply unit 500 may supply the organic material source 600 while reciprocating left and right paths, and the organic material sources 600 supplied from the deposition source supply unit 500 may include patterns P formed on the frame-integrated masks 100 and 200 . ) and may be deposited on one side of the target substrate 900 . The deposited organic material source 600 passing through the pattern P of the frame-integrated masks 100 and 200 may act as the pixel 700 of the OLED.

새도우 이펙트(Shadow Effect)에 의한 화소(700)의 불균일 증착을 방지하기 위해, 프레임 일체형 마스크(100, 200)의 패턴은 경사지게 형성(S)[또는, 테이퍼 형상(S)으로 형성]될 수 있다. 경사진 면을 따라서 대각선 방향으로 패턴을 통과하는 유기물 소스(600)들도 화소(700)의 형성에 기여할 수 있으므로, 화소(700)는 전체적으로 두께가 균일하게 증착될 수 있다.In order to prevent non-uniform deposition of the pixel 700 due to the shadow effect, the pattern of the frame-integrated masks 100 and 200 may be inclined (S) (or formed in a tapered shape (S)). . Since the organic material sources 600 passing through the pattern in a diagonal direction along the inclined surface may also contribute to the formation of the pixel 700 , the pixel 700 may be deposited to have a uniform thickness as a whole.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.Although the present invention has been illustrated and described with reference to preferred embodiments as described above, it is not limited to the above-described embodiments and is not limited to the above-described embodiments, and various methods can be made by those of ordinary skill in the art to which the invention pertains without departing from the spirit of the present invention. Transformation and change are possible. Such modifications and variations are intended to fall within the scope of the present invention and the appended claims.

100: 마스크
110: 마스크 막, 마스크 금속막
200: 프레임
210: 테두리 프레임부
220: 마스크 셀 시트부
221: 테두리 시트부
223: 제1 그리드 시트부
225: 제2 그리드 시트부
230: 그리드 바
C: 셀, 마스크 셀
CR: 마스크 셀 영역
P: 마스크 패턴100: mask
110: mask film, mask metal film
200: frame
210: border frame portion
220: mask cell sheet portion
221: border sheet portion
223: first grid sheet portion
225: second grid sheet portion
230: grid bar
C: cell, mask cell
CR: mask cell area
P: mask pattern

Claims

A frame-integrated mask for forming an OLED pixel in which a plurality of masks and a frame supporting the masks are integrally formed, comprising:
frame is,
an edge frame unit including a hollow region;
a plurality of grid bars having at least both ends connected to the edge frame portion; and
A mask cell sheet portion having a plurality of mask cell regions along at least one of the first direction and the second direction and connected to the edge frame portion
including,
Each mask is connected to the upper part of the mask cell sheet,
The grid bar is disposed on at least a lower portion of the mask cell sheet portion to support the mask cell sheet portion, the frame-integrated mask.

According to claim 1,
The mask cell sheet unit includes: an edge sheet unit; at least one first grid sheet portion extending in a first direction and having both ends connected to the edge sheet portion; and at least one second grid sheet part extending in a second direction perpendicular to the first direction, intersecting the first grid sheet part, and having both ends connected to the edge sheet part;
The grid bar has a shape corresponding to at least one of the first grid sheet portion and the second grid sheet portion and supports the lower portion of the mask cell sheet portion, the frame-integrated mask.

According to claim 1,
a plurality of grid bars intersect,
Both ends of each grid bar are attached to the edge frame portion, the frame-integrated mask.

4. The method of claim 3,
A frame-integrated mask in which a plurality of insertion grooves are formed in the edge frame portion, and both ends of the grid bar are fitted into the insertion grooves.

3. The method of claim 2,
The frame-integrated mask, wherein the grid bar is thicker than a thickness of the mask cell sheet portion and narrower than a width of the first grid sheet portion or the second grid sheet portion.

3. The method of claim 2,
A cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of at least one of the first grid sheet portion and the second grid sheet portion is a triangle or a trapezoid, or a triangle or trapezoid in which at least one of the sides and corners of the cross-sectional shape is rounded,
A cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the grid bar is a triangle or a trapezoid, or at least one of a side and a corner of the cross-sectional shape is a rounded triangle or trapezoid.

According to claim 1,
Each mask is connected to an upper portion of the mask cell sheet portion corresponding to each mask cell region, the frame-integrated mask.

A frame for supporting a mask for forming a plurality of OLED pixels, comprising:
an edge frame unit including a hollow region;
a plurality of grid bars having at least both ends connected to the edge frame portion; and
A mask cell sheet portion having a plurality of mask cell regions along at least one of the first direction and the second direction and connected to the edge frame portion
including,
The grid bar is disposed on at least a lower portion of the mask cell sheet portion to support the mask cell sheet portion.