KR20210044161A - 지환성 아크릴유도체의 제조 방법 - Google Patents

지환성 아크릴유도체의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물은 지환성 아크릴레이트 화합물을 포함하되 부반응물인 아민 유도체를 포함하지 않는다.

Description

지환성 아크릴유도체의 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING ALICYCLIC ACRYLATE DERIVATIVES}
본 발명은 지환성 아크릴유도체의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 부반응물로써 아민 유도체의 생성을 억제할 수 있는 지환성 아크릴유도체의 제조 방법에 관한 것이다.
포토레지스트는 이미지의 기판에의 전사에 사용되는 광감수성 물질이다. 포토레지스트 코팅층이 기판 상에 형성된 상태에서 광원에 노출되면 기판의 선택적 처리를 허용하는 릴리프 이미지를 제공할 수 있게 된다.
상기의 포토레지스트는 다양한 방식으로 합성한 다양한 종류가 존재하나 그중에서 알코올류 화합물과 메타크릴산 클로라이드(Methacryloyl chloride)를 반응시켜 지환성 아크릴유도체를 합성하는 방식이 널리 사용되고 있다.
상기 반응에서 트라이에틸아민 (Triethylamine)을 중화제로서 사용하는 것이 일반적인데 이 경우 부반응물로써 다양한 형태의 아민 유도체의 생성이 수반되는바 제품의 품질에 악영향을 줄 수 있다는 문제점이 있었다.
이에, 아민 유도체의 생성을 억제하여 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 새로운 형태의 지환성 아크릴유도체 제조방법에 대한 필요성이 대두되었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 부반응물인 아민 유도체의 생성을 억제할 수 있는 지환성 아크릴유도체를 제조 방법을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물은 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물과 식(I)로 표시되는 화합물을 반응시켜 합성한 식 (Ⅱ)로 표시되는 지환성 아크릴 유도체를 포함하되 식 (Ⅲ) 또는 식 (Ⅳ)로 표시되는 부반응물인 아민 유도체를 포함하지 않는다.
Figure pat00001
(I)
Figure pat00002
(Ⅱ)
Figure pat00003
(Ⅲ)
Figure pat00004
(Ⅳ)
여기에서, R2는 탄소수 C1 - C10의 선형 또는 분기형의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나, R4는 할로겐화 원소, 알콕시, (메타)아크릴레이트 중 어느 하나이고, Z는 지환식 탄화수소기를 형성하는 3-5개의 탄소 원자이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 지환식 탄화수소기를 포함하는
화합물은
Figure pat00005
일 수 있다. 여기에서, X는 할로겐 원소이고, Y는 1족 또는 2족의 금속성 원소이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물은, 이음이온성 화합물과 식
Figure pat00006
으로 표시되는 화합물을 반응시켜 합성한 것일 수 있다. 여기에서, R2는 탄소수 C1 - C10의 선형 또는 분기형의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나, R3는 C1~C8 알콕시, 무수물, 할로겐화 원소 중 어느 하나이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 식
Figure pat00007
으로 표시되는 화합물은 메틸이소부틸레이트(Methyl isobutylate)일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 중화제로서 트라이에틸아민(triethylamine)의 부재하 상기 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물과 상기 식(I)로 표시되는 화합물을 반응시켜 합성한 식 (Ⅱ)로 표시되는 지환성 아크릴레이트 화합물을 합성할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 지환성 아크릴유도체 제조 방법은 이음이온(dianion)성 화합물과 하기식 (Ⅴ)로 표시되는 화합물을 반응시켜 하기식 (Ⅵ)로 표시되는 화합물을 합성하는 단계 및
Figure pat00008
(Ⅴ)
Figure pat00009
(Ⅵ)
식 (Ⅵ)의 화합물을 식 (Ⅶ)의 화합물과 반응시켜 식(Ⅷ)의 지환성 아크릴레이트 화합물을 합성하는 단계를 포함한다.
Figure pat00010
(Ⅶ)
Figure pat00011
(Ⅷ)
여기에서, R2는 탄소수 C1 - C10의 선형 또는 분기형의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나, R3는 C1~C8 알콕시, 무수물, 할로겐화 원소 중 어느 하나, R4는 할로겐화 원소, 알콕시, 메타아크릴레이트 중 어느 하나이고, 이며 X는 할로겐족 원소, Y는 1족 또는 2족의 금속성 원소이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 식 (Ⅴ)의 화합물은 메틸 이소부틸레이트(Methyl isobutylate)일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 식 (Ⅵ)의 화합물은 Z는 지환식 탄화수소기를 형성하는 4개의 탄소원자이고 R2는 이소프로필일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 식 (Ⅵ)의 화합물로의 전환률은 95%이상이고, 상기 식 (Ⅷ) 90% 이상일 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트용 화합물의 제조방법은 원료의 전환률이 높고, 수율이 높으며 알코올을 따로 분리하는 과정을 거치지 않아 공정이 간단하며 경제적이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
또한, 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함될 수 있다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
본 발명의 일시예에 따른 지환성 아크릴유도체 제조방법은 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물로부터 지환성 아크릴유도체를 합성하는 과정을 포함한다.
이하에서는 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물을 합성하는 고리화 반응을 제1 반응이라고 하고 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물로부터 지환성 아크릴유도체를 합성하는 반응을 제2 반응이라고 한다.
제1 반응인 고리화 반응과 제2 반응인 지환성 아크릴유도체 합성 반응은 순차적으로 진행된다. 구체적으로 제1 반응과 제2 반응은 하나의 반응 용기 내에서 연속적으로 진행될 수 있다.
이하에서는 지환성 아크릴유도체를 제조하기 위한 제1 반응과 제2 반응을 상세하게 설명하도록 한다.
제1 반응 : 고리화 반응
본 발명의 일 실시예에 따른 지환성 아크릴유도체를 제조하기 위한 고리화 반응은 이음이온성(dianion) 화합물과 금속성 양이온간의 반응으로 진행된다.
여기에서 이음이온성 화합물은 하기의 화학식 1 또는 화학식 2로 표시될 수 있다.
Figure pat00012
Figure pat00013
여기에서, X는 할로겐화 원소, Y는 1족 또는 2족의 금속성 원소, R1은 탄소수 C3-C7의 알킬기 중 어느 하나일 수 있다. 바람직하게, X는 염소, 브롬 요오드 중 하나일 수 있고 Y는 리튬, 마그네슘 중 하나이며 R1은 탄소수 4개의 알킬기일 수 있다.
이음이온성 화합물이 화학식 1로 표시되는 화합물인 경우 이음이온성 화합물은 1,4-디클로로부탄, 1,4-디브로모부탄, 1,4-디아이오딘부탄 중 어느 하나와 마그네슘 시약을 반응시켜 수득한 화합물일 수 있다.
이를 반응식으로 표시하면 다음과 같다.
Figure pat00014
또는 이음이온성 화합물이 화학식 2로 표시되는 화합물인 경우 이음이온성 화합물은 화합물은 1,4-디클로로부탄, 1,4-디브로모부탄, 1,4-디아이오딘부탄 중 어느 하나와 리튬 시약을 반응시켜 수득한 화합물일 수 있다.
이를 반응식으로 표시하면 다음과 같다
Figure pat00015
상술한 이음이온성 화합물이 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물과 반응하면 고리화 반응이 진행된다.
Figure pat00016
여기에서, R2는 탄소수 C1 내지 C10의 선형(linear) 또는 분기형(branched)의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나이고, R3는 C1~C8 알콕시, 무수물, 할로겐화 원소 중 어느 하나일 수 있다.
바람직하게, 화학식 3으로 표시되는 화합물은 화학식 4로 표시되는 메틸 이소부틸레이트(Methyl isobutylate)일 수 있다.
Figure pat00017
상기 고리화 반응을 통해 생성된 화합물은 화학식 5로 표시될 수 있다.
Figure pat00018
여기에서, Z는 탄소원자와 함께 탄소수 3~5개의 지환식 탄화수소기를 형성하는데 필요한 복수개의 탄소원자를 의미한다. 바람직하게, 화학식 5로 표시되는 고리 화합물은 R2가 이소프로필, 메틸, 에틸, t-부틸 중 어느 하나이고 Y는 Mg이며 Z는 4개의 지환식 탄화수소인 1-isopropyl-cycloopentanok(IPCPOH)일 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따라 출발 물질인 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 화합물로부터 생성된 화학식 5로 표시되는 고리 화합물로의 전환율은 90% 이상일 수 있다. 바람직하게는, 화학식 5로 표현되는 화합물로의 전환률은 95%일 수 있다.
상술한 전환률은 화학식 5에 따른 화합물을 산으로 처리한 후 가스 크로마토그래피 분석을 수행한 결과, 화학식 5에 따른 화합물이 차지하는 질량비를 의미한다.
구체적으로, 화학식 5에 따른 화합물의 질량을 메틸 이소부틸레이트와 화학식 5에 따른 화합물 그리고 이 밖의 부반응물의 질량의 합으로 나눈 비율을 의미한다.
상기 과정을 통해 제1 반응인 고리화 반응이 종료되면 동일한 반응 용기 내에서 연속적으로 제2 반응인 지환성 아크릴유도체 합성 반응이 개시된다. 이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 반응을 상세하게 설명하도록 한다.
제2 반응 : 지환성 아크릴유도체 합성 반응
제1 반응인 고리화 반응의 생성물인 화학식 5로 표시되는 화합물은 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물과 반응한다.
Figure pat00019
여기에서, R4는 할로겐화 원소, 알콕시, 메타아크릴레이트 중 하나일 수 있다. 바람직하게는 화학식 6으로 표시되는 화합물은 알킬(메트)아크릴레이트, 디(메트)아크릴안하이드라이드, 아크릴로일 클로라이드 중 하나일 수 있다.
지환성 아크릴유도체 합성 반응은 화학식 5로 표시되는 화합물과 염산 및 화화식 6에 따른 화합물을 반응시킬 경우 에스테르화(esterification) 반응이 진행되어 하기 화학식 7로 표시되는 지환성 아크릴유도체가 생성된다. 이때, 화학식7로 표시되는 화합물의 순도를 높이기 위해 후속적인 분리 공정 또는 분별 증류 공정이 더 수행될 수도 있다.
Figure pat00020
상술한 방법으로 제조된 최종산물인 화학식 7에 따른 화합물의 전환률은 90%이상일 수 있다. 여기에서, 전환률은 가스 크로마토그래피 분석법을 이용하여 측정한 화학식 7에 따르는 화합물의 질량을 화학식 5에 따른 화합물과 화학식 7에 따른 화합물 및 이 밖의 부반응물의 질량의 합으로 나눈 비율을 의미한다.
다만, 본 발명에 따른 지환성 아크릴유도체 제조 방법은 출발물질로서 알코올류 화합물 및 메타아크롤로일 클로라이드와 중화제로서 트라이에틸아민 (Triethylamine)을 사용하지 않음으로 하기 화학식 8 및 화학식 9로 표시되는 아민 유도체의 생성을 억제할 수 있다.
Figure pat00021
Figure pat00022
본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 지환식 아크릴유도체를 포함하는 조성물에는 상기 화학식 8 또는 화학식 9로 표시되는 화합물이 200ppm이하로 포함될 수 있다. 바람직하게는, 화학식 8 또는 화학식 9로 표시되는 화합물이 포함되지 않을 수 있다.
이하에서는, 구체적인 실시예 및 비교예를 통하여 본 발명을 보다 상세히 설명하도록 한다. 다만, 본 발명에 따른 화합물들은 하기 실시예 또는 비교예로 제한되지는 않는다.
실시예 1: 본 발명의 지환성 아크릴유도체 제조방법
마그네슘(0.50mol, 12.2g)과 무수 THF 120g을 넣고 잘 섞은 후, 1,4-디클로로부탄(1,4-Dichlorobutane) (0.23mol, 29.6g)을 66oC에서 2시간 동안 적가 하였다. 적가 후 1,4-디클로로부탄을 모두 소진 시키기 위해 66oC에서 3시간 동안 교반하였다. 그리냐르 시약을 생성하고, 온도를 10oC까지 낮추었다. 메틸 이소부틸래이트(Methyl isobutylate) (0.17mol, 17.0g)을 1시간 동안 적가 후 1시간 동안 교반 하였다. 고리화 반응을 통해 화학식 5의 화합물을 생성한 후, 20~25oC에서 in-situe로 메타크릭 안하이드라이드(Methacylic anhydride)(0.42mol, 64.2g)을 0.5h 동안 적가 후 25oC에서 2시간 동안 반응시켜 1-이소프로필사이클로펜틸 메타크릴래이트(1-isopropylcyclopenthyl methacrylate) 를 수득하였다.
이때, 부반응물로서 화학식 8 및 화학식 9로 표시되는 화합물을 검출되지 않았다.
실시예 2 : 본 발명의 지환성 아크릴유도체 제조방법
마그네슘(0.50mol, 12.2g)과 무수 THF 240g을 넣고 잘 섞은 후, 1,4-디브로모부탄(1,4-Dibromobutane)(0.23mol, 50.3g)를 45~55oC에서 2시간 동안 적가 하였다. 적가 후 1,4-디브로모부탄 모두 소진 시키기 위해 45~55oC에서 2시간 동안 교반하였다. 그리냐르 시약을 생성하고, 온도를 0oC까지 낮추었다. 메틸 이소부틸래이트(Methyl isobutylate) (0.17mol, 17.0g)을 1시간 동안 적가 후 1시간 동안 교반 하였다. 고리화 반응을 통해 화학식 5의 화합물을 생성한 후, 20~25oC에서 in-situe로 메타크릭 안하이드라이드(Methacylic anhydride)(0.42mol, 64.2g)을 0.5h 동안 적가 후 25oC에서 10시간 동안 반응시켜 1-이소프로필사이클로펜틸 메타크릴래이트(1-isopropylcyclopenthyl methacrylate) 를 수득하였다.
이때, 부반응물로서 화학식 8 및 화학식 9로 표시되는 화합물을 검출되지 않았다.
비교예 1 : 사이클릭 케톤을 이용한 제조방법
지환성 아크릴유도체는 다음과 같은 과정을 통해 제조될 수도 있다.
Figure pat00023
구체적으로, 마그네슘(0.25mol, 6.1g)과 무수 THF 180g을 넣고 잘 섞은 후, 2-브로모프로판(2-bromopropane)(0.25mol, 30.7g)을 45~55oC에서 1시간 동안 적가 하였다. 적가 후 2-브로모프로판을 모두 소진 시키기 위해 45~55oC에서 2시간 동안 교반하였다. 그리냐르 시약을 생성하고, 온도를 0oC까지 낮추었다. 사이클릭 케톤(0.17mol, 14.0g)을 30분 동안 적가 후 1시간 30분 동안 교반 하였다. 첨가 반응을 통해 화학식 5의 화합물(여기에서, Y는 마그네슘이고 X는 브롬이다)을 생성한 후, 20~25℃에서 in-situe로 메타크릭 안하이드라이드(Methacylic anhydride)(0.21mol, 32.9g)을 0.5h 동안 적가 후 25℃에서 10시간 동안 반응시켜 1-이소프로필사이클로펜틸 메타크릴래이트(1-isopropylcyclopenthyl methacrylate) 를 수득하였다.
이 후, 본 발명의 제조방법과 사이클릭 케톤을 이용한 방법과 전환률 및 수율을 비교하였다. 이의 결과를 표 1에 나타내었다.
화학식 5로 표시되는 화합물로의 전환률(conversion%)
(화학식 5에서 R2는 이소프로필이고, Z는 4개의 지환식 탄화수소, Y는 마그네슘, X는 염소 또는 브롬이다.)		 본 발명의 지환성 아크릴유도체로의 전환률
실시예 1 95.0% 92.1%
실시예 2 96.8% 90.1%
비교예 1 5.1% 15.7%
비교예 2 : 알코올류 화합물을 이용한 제조방법
지환성 아크릴유도체의 제조 방법은 다음과 같은 과정을 통해 제조될 수도 있다.
Figure pat00024
1-이소프로필시클로펜탄올(1.36mol, 175.0g), 메타크릴로일클로라이드(2.05mol, 214.0g)과 메틸렌클로라이드 1050g을 넣고 잘 섞은 후, 반응물을 냉각시켰다. 그리고 나서 TEA(2.73mol, 276.2g)를 0.5시간 동안 적가 하였다. 적가 후 1-Isopropylcyclopentanol을 모두 소진 시키기 위해 overnightd로 반응시켜 1-이소프로필사이클로펜틸 메타크릴래이트(1-isopropylcyclopenthyl methacrylate) 를 수득하였다. 상기 반응으로 생성된 부산물과 그 함량은 다음과 같다
Figure pat00025
Figure pat00026
 IPCPMA
Sample
Figure pat00027
Figure pat00028
% % % %
TEA 0.044 0.075 아민 유도체
검출량		 0.299 0.132
부반응물인 아민 유도체 검출량은 가스 크로마토그래피 방식을 이용하여 측정하였으며 세부적인 분석조건은 다음과 같다.
분석 조건:
컬럼관: HP-5
Inlet: Initial temperature150℃, Pressure 5.70psi, Split ratio 50: 1 Split flow 50.6 mL/min
Oven temperature: 80~290℃
DETECTOR: FID 310℃
본 실시예와 관련된 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상기된 기재의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 방법들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물과 식(I)로 표시되는 화합물을 반응시켜 합성한 식 (Ⅱ)로 표시되는 지환성 아크릴유도체를 포함하되 식 (Ⅲ) 또는 식 (Ⅳ)로 표시되는 부반응물인 아민 유도체를 포함하지 않는 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물.
    Figure pat00029
    (I)
    Figure pat00030
    (Ⅱ)
    Figure pat00031
    (Ⅲ)
    Figure pat00032
    (Ⅳ)
    (여기에서, R2는 탄소수 C1 - C10의 선형 또는 분기형의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나, R4는 할로겐화 원소, 알콕시, (메타)아크릴레이트 중 어느 하나이고, Z는 지환식 탄화수소기를 형성하는 3-5개의 탄소 원자이다.)
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물은
    Figure pat00033
    인 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물.
    (여기에서, X는 할로겐 원소이고, Y는 1족 또는 2족의 금속성 원소이다.)
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물은,
    이음이온성 화합물과 식
    Figure pat00034
    으로 표시되는 화합물을 반응시켜 합성한 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물.
    (여기에서, 2는 탄소수 C1 - C10의 선형 또는 분기형의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나, R3는 C1~C8 알콕시, 무수물, 할로겐화 원소 중 어느 하나이다.)
  4. 제3항에 있어서,
    상기 식
    Figure pat00035
    으로 표시되는 화합물은 메틸이소부틸레이트(Methyl isobutylate)인 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물.
  5. 제1항에 있어서,
    중화제로서 트라이에틸아민 (Triethylamine)의 부재하 상기 지환식 탄화수소기를 포함하는 화합물과 상기 식(I)로 표시되는 화합물을 반응시켜 식 (Ⅱ)로 표시되는 지환성 아크릴레이트 화합물을 합성하는 지환성 아크릴유도체를 포함하는 조성물.
  6. 이음이온(dianion)성 화합물과 하기식 (Ⅴ)로 표시되는 화합물을 반응시켜 하기식 (Ⅵ)로 표시되는 화합물을 합성하는 단계;
    Figure pat00036
    (Ⅴ)
    Figure pat00037
    (Ⅵ)
    식 (Ⅵ)의 화합물을 식 (Ⅶ)의 화합물과 반응시켜 식(Ⅷ)의 지환성 아크릴레이트 화합물을 합성하는 단계를 포함하는 지환성 아크릴유도체 제조 방법.
    Figure pat00038
    (Ⅶ)
    Figure pat00039
    (Ⅷ)
    여기에서, R2는 탄소수 C1 - C10의 선형 또는 분기형의 알킬기, 방향족 화합물 중 어느 하나, R3는 C1~C8 알콕시, 무수물, 할로겐화 원소 중 어느 하나, R4는 할로겐화 원소, 알콕시, (메타)아크릴레이트 중 어느 하나이고, 이며 X는 할로겐족 원소, Y는 1족 또는 2족의 금속성 원소이다.
  7. 화합물(VI)를 수소원자 양성자화를 통하여 지환성 알코올(IX)을 합성하는 방법.
    Figure pat00040
    (IX)
  8. 제6항에 있어서,
    상기 식 (Ⅴ)의 화합물은 메틸 이소부틸레이트(Methyl isobutylate)인 지환성 아크릴유도체 제조 방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 식 (Ⅵ)의 화합물은 Z는 지환식 탄화수소기를 형성하는 4개의 탄소원자이고 R2는 이소프로필인 지환성 아크릴유도체 제조 방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 식 (Ⅵ)의 화합물로의 전환률은 95%이상이고, 상기 식 (Ⅷ)의 화합물로의 90% 이상인 지환성 아크릴유도체 제조 방법.
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