KR20210008416A - 기판 진공 처리 장치 및 기판을 진공 처리하는 방법 - Google Patents

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KR20210008416A
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개스톤 밴 뷰런
다니엘레 조르지
크리스찬 이글리
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에바텍 아크티엔게젤샤프트
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Abstract

본 발명은 진공 처리 배열(3)을 포함하는 기판 진공 처리 장치에 관한 것이다. 입력 로드 락 배열(1i)은 진공 처리 배열(3)을 향하여 그 내부로 들어가고 출력 로드 락 배열(1o)는 진공 처리 배열(3)로부터 이어진다. 두 개의 로드 락 배열(1i, 1o) 중 하나(1i)는 펌프(12ai, 12bi)에 의해 각각 펌핑되는 직렬로 연결된 두 개 이상의 로드 락(10ai, 10bi)을 포함한다.

Description

기판 진공 처리 장치 및 기판을 진공 처리하는 방법
본 발명은 기판 진공 처리 장치 및 기판을 진공 처리하는 방법에 관한 것이다.
기판 진공 처리 분야에서, 예를 들어, 다수의 처리 챔버들을 제공하는 진공 이송 챔버를 포함하는, 입력 로드 락 배열을 통해 주변 대기로부터 진공 처리 장치로 처리되지 않은 기판들을 이송하는 것이 일반적이다. 처리 챔버에서 기판들은 예를 들어, 에칭, 층 증착 등과 같은 하나 이상의 진공 처리 공정을 거친다. 처리된 기판은 진공 이송 챔버와 출력 로드 락 배열을 통해 주변 대기로 제거된다. 기판들은 각각의 입력 및 출력 컨베이어 배열에 의해 각각의 입력 및 출력 로드 락 배열을 통해 이송된다.
이에 따라 각각의 로드 락 배열은 단방향일 수 있는데, 즉, 입력 로드 락은 진공 처리 장치를 향해 기판을 독점적으로 이송하는 입력 컨베이어 배열에 의해 제공되고, 출력 로드 락 배열은 진공 처리 장치로부터 기판을 독점적으로 이송하는 출력 컨베이어 배열에 의해 제공된다. 대안으로, 진공 처리 장치를 향하여 및 이로부터 기판을 이송하는 컨베이어 배열에 의해 제공되는 양방향 로드 락 배열이 제공될 수 있다. 통상적으로 각각의 입력 및 출력 로드 락 배열은 각각의 단일 로드 락에 의해 실현된다.
정의:
본 설명 및 청구 범위에서 "로드-락"이라는 용어는 작동 중에 펌프에 작동 가능하게 연결되고 기판에 대한 하나 이상의 입력 밸브와 기판에 대한 하나 이상의 출력 밸브를 갖는 챔버이다.
로드 락 밸브 중 하나는 하나의 압력에서 챔버의 내부 대기를 대기로부터 제어 가능하게 분리하고, 로드 락 밸브 중 다른 하나는 다른 추가 압력에서 챔버의 내부 대기를 대기로부터 분리한다.
본 발명의 목적은 기판을 진공 처리하거나 진공 처리된 기판을 제조하는 대안적인 진공 처리 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면 이 목적은 하나 이상의 기판에 대한 진공 처리 배열을 포함하는 기판 진공 처리 장치에 의해 해결된다. 진공 처리 장치는 다수의 처리 챔버들을 제공하는 진공 이송 챔버를 포함한다. 입력 로드 락 배열이 제공되는데, 입력 컨베이어 배열과 협력하여 기판을 진공 이송 챔버로 이송한다. 따라서 이러한 입력 로드 락 배열은 입력 이송 방향에서 볼 때 진공 이송 챔버에서, 예를 들어, 주변 대기와 같은 더 높은 압력의 대기를 진공 이송 챔버의 낮은 압력, 진공 압력으로 연결(bridging)한다.
진공 이송 챔버로부터 출력 컨베이어 배열과 협력하는 출력 로드 락 배열이 추가로 제공된다. 따라서 이 출력 로드 락 배열은 출력 이송 방향에서 볼 때 진공 이송 챔버에서 낮은 압력의 대기, 즉 진공 압력과 예를 들어, 주변 대기와 같은 높은 압력의 대기를 연결한다.
이에 의해, 입력 및 출력 로드 락 배열 중 하나 이상은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려되는 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락을 포함한다. 진공 이송 챔버와 주변 대기 사이에 상호 연결되는 것은 하나 이상의 로드 락 배열이다.
따라서, 진공 이송 챔버를 향해 및/또는 이로부터 기판을 "로드 락킹(load-locking)"하는 것은, 각각의 단일 로드 락에 의한 "전체의" 로드 락 배열에 의해 연결(bridging)되는 차이와 비교하여, 더 작은 압력 차이들을 후속적으로 연결함으로써 수행된다.
이는 고려되는 로드 락에 의해 연결되는 압력 범위에서 작동하도록 특별히 선택된 펌프에 의해 각각의 로드 락이 펌핑될 수 있다는 이점을 갖는다. 예를 들어, 주변 대기와 통신하는 입력 로드 락 배열을 따라 고려하면, 제1 로드 락은 러프 펌프(rough pump)에 의해 펌핑되는 반면 후속 로드 락은 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)와 같은 고진공 펌프에 의해 펌핑될 수 있다.
단일 로드 락에 의해 실현된 각각의 로드 락 배열에 의해 연결되는 압력 차이와 비교하여, 장치의 처리량은 두 개 이상의 로드 락에 의해 연결되는 압력 차이가 감소한다는 사실로 인해 개선될 수 있다. 이로 인해 펌핑 시간이 단축되고 압력 균등화 시간이 단축된다. 또한, 각각의 장치에서 적어도 2 개의 로드 락의 부피가 최소화 될 수 있으며, 이는 추가적으로 펌핑 시간 및 압력 균등화 시간을 단축시킨다.
입력 및 출력 로드 락 배열 중 하나 이상을 2 개 이상의 로드 락으로 세분화함으로써 달성되는 추가 이점은 단일 로드 락 배열에서보다 기판이 더 긴 시간 범위 동안 더 낮은 압력, 특히 진공 압력에 노출된다는 것이다. 이는 기판이 진공 이송 챔버를 향해 제공될 때 또는 기판이 진공 처리 장치의 진공 이송 챔버로부터 제공될 때 기판 컨디셔닝을 개선한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 입력 및 출력 로드 락 배열은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 직렬(in series)로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 적어도 입력 로드 락 배열은 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하고, 입력 로드 락 배열의 2 개 이상의 로드 락 중 하나 이상은 출력 로드 락 배열의 로드 락이 아니다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 적어도 출력 로드 락 배열은 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하고, 출력 로드 락 배열의 2 개 이상의 로드 락 중 하나 이상은 입력 로드 락 배열의 로드 락이 아니다.
따라서, 입력 로드 락 배열의 적어도 2 개의 로드 락은 출력 로드 락 배열이 언급된 2 개 이상의 로드 락을 가지고 있는지 여부에 관계없이 입력 로드 락의 일부일 수 있다. 유사하게, 출력 로드 락 배열의 적어도 2 개의 로드 락은 입력 로드 락 배열이 언급된 로드 락의 2 개 이상을 가지고 있는지 여부에 관계없이 출력 로드 락 배열의 일부일 수 있다.
명백하게 입력 및 출력 로드 락 배열에 적용되는 로드 락은 양방향으로 제공되고, 특히 입력 및 출력 로드 락 배열 중 하나의 로드 락은 단방향으로 제공된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 입력 및 출력 로드 락 배열에 공통이다.
본 발명에 따른 장치에 대해 상술된 실시예의 일 실시예에서, 공통 로드 락은 각 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려되는 입력 및 출력 로드 락 배열에 두 개 이상의 로드 락 중 공통이 아닌 다른 로드 락보다 진공 이송 챔버에 더 가깝다.
진공 이송 챔버는 진공 이송 챔버에 더 가까운 직렬로 연결된 두 개 이상의 로드 락 중 하나의 로드 락에서 주변 대기압에 비해 더 낮은 압력을 갖는 분위기에서 작동하기 때문에, 낮은 압력 범위에서 작동하는 펌프, 예를 들어, 터보 펌프는 공통 로드 락에서 한 번만 제공될 수 있다. 언급된 2 개 이상의 로드 락이 직렬로 연결된 비-공통 로드 락은 러프 펌프(rough pumps)로 작동될 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 입력 및 출력 로드 락 배열은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 각각 포함한다.
따라서, 양 로드 락 배열은 진공 이송 챔버와 주변 대기 사이에서 상호 연결된다.
하나 이상의 로드 락이 입력 및 출력 로드 락 배열에 공통이고 입력 로드 락 배열의 2 개 이상의 로드 락 중 하나 이상이 출력 로드 락 배열에 공통적이지 않으며, 출력 로드 락 배열의 2 개 이상의 로드 락 배열 중 하나 이상은 입력 로드 락 배열에 공통적이지 않다.
따라서, 하나 이상의 공통 로드 락은 입력 및 출력 컨베이어 배열의 각각의 이송 경로를 따라 고려할 때, 공통 로드 락이 아닌 로드 락보다 진공 이송 챔버에 더 가깝게 위치된다.
언급한 바와 같이 공통 로드 락은 비-공통 로드 락보다 작은 압력 수준에서 압력 차이를 연결한다. 이는 예를 들어, 터보 펌프와 같이 더 까다로운 펌프가 공통 로드 락에 한 번 제공될 수있는 반면, 하나 이상의 비-공통 로드 락은 덜 까다로운 러프 펌프에 의해 제공될 수 있다는 사실로 이어진다.
본 발명에 따른 장치에 대해 상술된 실시예의 일 실시예에서, 직렬로 연결된 로드 락 중 적어도 하나가 기판 버퍼 스테이지(buffer stage)에 작동 가능하게 연결된다. 이것은 예를 들어, 진공 처리 장치 또는 기구의 이송 챔버로 및/또는 이로부터 기판을 페이스팅(pasting)하는 역할을 수행할 수 있게 한다. 페이스팅 기판들은 대기로 배출되지 않아 오염이 적고 취급 시간이 빨라진다는 이점이 있다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 추가적으로 다음 중 적어도 하나에 해당한다:
- 기판 처리 스테이션에 작동 가능하게 연결됨;
- 기판 버퍼에 작동 가능하게 연결됨;
- 가열 스테이션;
- 냉각 스테이션;
- 탈기 스테이션.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 각각은 펌프에 작동 가능하게 연결되고, 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 다른 로드 락보다 진공 이송 챔버에 더 가깝게 배치된, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 다른 로드 락에 작동적으로 연결된 펌프보다 낮은 압력 범위에서 작동하도록 구성된 펌프에 작동적으로 연결된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 단일 기판 또는 동시에 이송되는 단일 그룹의 기판들을 수용하도록 조정된다.
따라서 언급된 로드 락의 부피가 최적으로 작아져 펌핑 다운(pumping down) 시간 범위 또는 압력 균등화 시간 범위가 단축된다.
본 설명 및 "기판"을 취급하는 청구 범위에서 언급할 때마다, 이러한 "기판"은 각각의 컨베이어 배열의 각각의 기판 홀더에서 일반적으로 이송되는 기판들의 그룹일 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 입력 및 출력 로드 락 배열과 입력 및 출력 컨베이어 배열들은 직사각형 또는 정사각형 기판을 취급하도록 구성된다.
본 발명에 따른 장치에 대해 상술한 실시예들의 일 실시예에서, 직사각형 기판의 더 짧은 에지 또는 정사각형 기판의 에지는 400mm 이상 또는 600mm 이상이다.
본 발명에 따른 장치에 대해 상술된 실시예들의 일 실시예에서 더 짧은 에지는 최대 1100mm이다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서 직사각형 또는 정사각형 기판은 1400mm의 최대 에지 범위를 갖는다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 입력 및 출력 컨베이어 배열은 상기 기판의 에지에 배타적으로 수직하게 정사각형 또는 직사각형 기판을 이송하도록 구성된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 입력 및 출력 컨베이어 배열들 중 하나 이상은 이동 모드(translation mode)에서만 배타적으로 기판을 이송하도록 구성된다.
따라서 이동 모드에서만 기판을 이송할 때 기판이 이러한 방식으로 배타적으로 이송되고 기판의 모든 지점이 항상 동일한 이동 벡터를 받는다는 것을 알 수 있다. 따라서 기판의 각도 방향이 일정하게 유지된다.
이는 이송된 기판, 특히 정사각형 또는 직사각형 기판, 보다 일반적으로 비 원형 기판의 미리 결정되고 잘 제어된 정렬을 상당히 용이하게 한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 다른 하나보다 진공 이송 챔버에 더 가까운, 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 하나의 로드 락은, 각각의 컨베이어 배열의 경로를 따라 고려할 때, 제어된 가스 유동 바이패스(gasflow-bypass)에 의해 다른 로드 락에 직렬로 연결된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나를 향한 각각의 컨베이어 배열의 이송 방향 및 상기 하나의 로드 락으로부터 상기 각각의 컨베이어 배열의 이송 방향은 서로 수직이고, 각각의 컨베이어 배열은 상기 양 방향에 평행한 평면-자취(plane-locus)를 따라 연장되는 판형, 편평하거나 만곡된 기판들을 이송하도록 구성된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 기판은 판형이고, 편평하거나 만곡되어 있으며, 평면-자취를 따라 연장되며, 이에 따라 입력 및 출력 컨베이어 배열들은 판형 기판을 평면 자취에 평행한 방향으로만 배타적으로 이송하도록 구성된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 입력 및 출력 로드 락 배열은 일반적으로 T 또는 Y 형상의 풋 프린트로 구성되고, T 또는 Y의 하나의 측면 암을 따라 입력 로드 락 배열의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상의 로드 락으로 구성되고, T 또는 Y의 다른 측면 암을 따라 출력 로드 락 배열의 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 하나 이상의 로드 락으로 구성되고, 및 T 또는 Y의 중앙 암을 따라 직렬로 연결된 하나 이상의 공통의 양방향 로드 락으로 구성된다.
본 발명에 따른 장치의 상술된 실시예의 일 실시예에서, 공통 로드 락은 각각의 컨베이어 배열의 각각의 컨베이어 경로들을 따라 고려할 때 상기 측면 암들을 따르는 로드 락보다 진공 이송 챔버에 더 가깝다.
본 발명에 따른 장치에 대해 상술된 실시예들의 일 실시예에서, 진공 이송 챔버는 실린더 축 주위에 실린더형 자취를 한정하는 외벽을 갖는 수용부를 포함하고, 언급된 T 또는 Y의 중앙 암을 따르는 공통 로드 락은 실린더 축에 대해 반경 방향으로, 언급된 공통 로드 락을 통한 컨베이어 배열의 이송 경로들을 갖는 수용부의 외벽에 장착된다.
이에 의해 진공 이송 챔버 안팎으로 기판의 잘 제어된 정렬, 특히 정사각형 또는 직사각형 기판의 정렬, 보다 일반적으로 비 원형 기판의 정렬이 상당히 단순화된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 직렬로 연결된 2 개 이상의 로드 락 중 다른 것보다 진공 이송 챔버에 더 가까운 2 개 이상의 로드 락 중 하나의 로드 락은, 기본 압력이 O인 고진공 펌프, 바람직하게, 가장 크게는 0.001Pa의 기본 압력을 갖는 터보 분자 펌프에 작동적으로 연결된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 2 개 이상의 로드 락 중 다른 것보다 진공 이송 챔버에서 더 멀리 떨어져 있는 2 개 이상의 로드 락 중 하나의 로드 락은, 기본 압력이 0.1Pa 내지 1Pa 인 러프 펌프(rough pump)에 작동적으로 연결된다.
모순되지 않는 한, 언급된 본 발명에 따른 장치의 실시예 중 하나 이상은 본 발명에 따른 일반적인 장치 구조와 결합될 수 있다.
본 발명은 또한 본 발명에 따른 장치에 의해, 또는 언급된 하나 이상의 실시예에서 본 발명에 따른 장치에 의해 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 추가로 다음을 포함하는 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다:
- 제1 로드 락을 통해 주변 대기로부터 기판을 이송하는 단계
- 이어서, 기판을 제1 로드 락으로부터 하나 이상의 제2 로드 락을 통해 이송하는 단계;
- 기판을 하나 이상의 제2 로드 락으로부터 하나 이상의 처리 스테이션을 구비한 진공 이송 챔버로 이송하는 단계;
- 상기 진공 이송 챔버 내의 기판을 하나 이상의 진공 처리 스테이션 중 적어도 하나를 향해 이송하는 단계;
- 하나 이상의 진공 처리 스테이션에 의해 기판을 처리하는 단계;
- 출력 로드 락 배열을 통해 진공 이송 챔버로부터 처리된 기판을 이송하는 단계.
방금 언급한 방법의 일 변형에서, 처리된 기판을 진공 이송 챔버로부터 출력 로드 락 배열을 통해 이송하는 것은 다음을 포함한다:
- 처리된 기판을 진공 이송 챔버로부터 하나 이상의 제3 로드 락을 통해 이송하는 단계;
- 기판을 하나 이상의 제3 로드 락으로부터 제4 로드 락을 통해 주변 대기로 이송하는 단계.
방금 언급한 방법의 일 변형에서 제2 로드 락은 제 3로드 락과 공통되도록 선택된다.
본 발명은 추가로 다음을 포함하는 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다:
- 기판을 입력 로드 락 배열을 통해 하나 이상의 진공 처리 스테이션을 구비한 진공 이송 챔버로 이송하는 단계;
- 진공 이송 챔버 내의 기판을 하나 이상의 진공 처리 스테이션 중 하나를 향해 이송하는 단계;
- 하나 이상의 진공 처리 스테이션에 의해 기판을 처리하는 단계;
- 처리된 기판을 진공 이송 챔버로부터 하나 이상의 제2 로드 락을 통해 이송하는 단계;
- 기판을 하나 이상의 제2 로드 락으로부터 제1 로드 락을 통해 주변 대기로 이송하는 단계.
본 발명의 실시예는 이제 도면에 의해 더 설명될 것이다.
도면은 다음을 도시한다.
도 1은 본 발명의 원리에 의한 본 발명에 따른 장치의 일 실시예를 기능 블록/신호 흐름도에 의해 개략적으로 단순화하여 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1과 유사하게 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 및 도 2와 유사하게 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 3과 유사하게 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 4와 유사하게 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 5와 유사하게 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 6과 유사하게 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 7과 유사하게 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 8과 유사하게 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명에 따른 장치의 추가 실시예를 도 1 내지 9와 유사하게, 및 도 9로부터 출발하여 도시한 도면이다.
도 11은 현재 실시되는 본 발명에 따른 장치의 실시예를 평면도로 개략적으로 간략하게 도시한 도면이다.
도 12는 평면-자취를 따라 연장되고 장치의 일부 실시예들에서 제공되는 이송 방향에서, 본 발명에 따른 장치의 실시예에 의해 처리된 기판을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한, 진공 처리 배열 또는 장치에서 진공 이송 챔버(3)를 향하고 내부의 입력 로드 락 배열(1i)을 통해 기판을 로딩하는 것에 관한 본 발명의 원리를 개략적으로 도시한 도면이다.
기판(미도시)은 출력 로드 락 배열(1o)을 통해 진공 이송 챔버(3)로부터 언로드된다. 입력 로드 락 배열(1i)은 입력 주변 압력(pii)의 주변 입력 분위기(ATii)로부터 진공 이송 챔버(3)를 향하여 제공된다. 입력 로드 락 배열(1i)은 높은 주변 입력 압력(pii)에서 진공 이송 챔버(3)의 낮은 출력 진공 대기압(Poi)으로 압력 차이(Δp1i)를 연결한다.
출력 로드 락 배열(1o)은 진공 이송 챔버(3)에서 진공 압력(p'oi)으로부터 출력 대기 압력(poo)의 압력 차이(Δp1i)를 대기(AT00)에 연결한다. 입력 대기(ATii)는 언급한 바와 같이 주변 대기이다. 대부분의 경우, 반드시 그런 것은 아니지만 진공 압력 poi 및 p'oi는 적어도 유사하다.
진공 기판 처리 장치의 진공 이송 챔버(3)를 향하는 입력 이송 경로(Pi)를 따라, 단일 기판 또는 각각의 단일 다중 기판 캐리어(미도시) 상에서 동시에 이송되는 단일 그룹의 기판들을 이송하는 입력 컨베이어 배열(미도시)이 제공된다.
진공 이송 챔버(3)로부터의 출력 이송 경로(Po)를 따라 각각의 단일 또는 다중 기판 캐리어(미도시)상에서 단일 기판 또는 단일 그룹의 동시에 이송되는 기판을 이송하는 출력 이송 장치(미도시)가 제공된다.
지금까지 설명된 바와 같이, 장치는 공지된 장치와 대응된다. 이러한 공지 된 장치에서 입력 로드 락 배열 및 출력 로드 락 배열은 단일 로드 락으로 구성된다.
본 발명에 따르면, 입력 로드 락 배열(1i) 및 출력 로드 락 배열(1o) 중 하나 이상은 각각의 이송 경로(Pi 및/또는 Po)를 따라 직렬로 제공되는 두 개 이상의 로드 락을 포함한다. 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하는 로드 락 배열(들)은 진공 이송 챔버(3)와 주변 대기 사이에서 상호 연결되는데, 도 1에서 입력 로드 락 배열이다.
도 1의 실시예에 따르면, 입력 로드 락 배열에는 적어도 2 개의 로드 락(10ai 및 10bi)이 제공된다.
대부분의 응용 분야에서 두 개의 로드 락(lOai, lObi)만 제공하면 입력 로드 락 배열(1i)에서 압력 차이(Δp1i)를 연결하는데 충분하며/충분하거나 유사하게 또한 두 개 이상의 로드 락이 직렬로 제공되면, 출력 로드 락 배열(1o)에서 압력 차이(Δp1o)를 연결하는데 충분하다.
두 개 이상의 로드 락(10ai, 10bi,…) 을 제공함으로써, 각각의 전체 압력 차이(Δp1i 및/또는 Δp1o)은 - 적어도 두 개의 로드 락이 직렬로 제공되는 경우- 로드 락에서 특별히 연결된 압력 차이(Δp10ai 및/또는 Δp10bi 등)로 세분된다.
도 1과 후속 도면들의 표현에 따르면, 직렬로 직접 연결된 2 개의 로드 락은 각각 대면하는 로드 락 밸브와 함께 도시되는데, 이러한 대면하는 로드 락 밸브는 일반적으로 양 로드 락에 직렬로 공통인 하나의 공통 밸브에 의해 실현된다. 전체 장치의 기판 처리량은 단일 로드 락 입력 및/또는 출력 로드 락 배열이 있는 장치의 기판 처리량보다 낮을 필요가 없다. 이는 기판 처리량이 가장 긴 처리 시간으로 전체 처리 단계에 적용되는 기계 시계(machine clock)에 의해 통상적으로 제어되기 때문이다.
실제로 각각 처리 단계를 수행하는 로드 락(10ai,10bi,…)이 전체 압력 차이(Δp1i 및/또는 Δp1o)에 비해 작은 압력 차이를 연결하기 때문에, 펌프(12ai, 12bi)에 의한 각각의 로드 락(10ai, 10bi)의 펌핑은 로드 락 연결(bridging)(Δp1i 및/또는 Δp1o)을 펌핑하는 것보다 더 짧은 시간을 필요로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 다중 로드 개념은 단일 로드 락 배열 장치의 기판 처리량과 비교하여 기판 처리량을 감소시키지 않는다.
더욱이, 각각의 이송 경로(Pi 및/또는 Po)를 따라 진공 이송 챔버(3)에 더 가까이 위치한 직렬 로드 락의 펌프인 도 1의 펌프(12bi)는 진공 이송 챔버(3)에서 더 멀리 떨어져 있는 도 1의 12ai로 표시되는, 직렬로 연결된 로드 락 펌프보다 낮은 압력 수준에서 작동한다.
이는 직렬인 각각의 로드 락(10ai,10bi,…)에 적용할 수 있는데, 펌프는 각각의 압력 범위에서 최적으로 작동한다.
각각의 이송 경로(Pi 및/또는 Po)를 따라 추가로 고려하면, 직렬인 적어도 두 개의 로드 락(10ai,10bi,…) 각각은 진공 이송 챔버(3)에서 더 멀리 떨어져 있는 인접한 직렬의 로드 락에 의해 연결되는 압력 차이보다 더 낮은 압력으로만 압력 균등화(pressure-equalized)될 필요가 있다. 도 1에서 로드 락(10i)은 로드 락(10ai)이 작동하는 더 낮은 압력과 압력 균등화된다. 이는 균등화될 압력 차이가 작기 때문에 로드 락 기판 핸들링 밸브(14) 각각을 통해 수행될 수 있지만, 도 1에 따른 일 실시예에서는 각각의 제어 밸브(17)를 구비한 가스 유동 바이패스(15)를 통해 수행된다. 로드 락의 압력 균등화는 단일 로드 락인 로드 락 배열(1i 및/또는 1o)의 압력 균등화에 비해 더 짧은 시간 범위를 필요로 한다.
또한, 이송 경로(Pi 및/또는 Po)을 따라 각각의 기판 캐리어 상에서 일반적으로 이송되는 기판 또는 기판 그룹은 감압 하에서 더 오래 유지되는데, 입력 로드 락 배열(1i) 및/또는 출력 로드 락 배열(1o)을 통한 이송을 위한 시간 범위가 -직렬로 2 개 이상의 로드 락이 제공되는 경우에도- 예를 들어, 직렬 로드 락당 하나씩인, 하나 이상의 기계 시계를 필요로 하기 때문이다. 이것은 진공 처리 장치의 진공 이송 챔버(3)에 들어가기 전에 처리되지 않은 기판을 컨디셔닝(conditioning)하거나 진공 이송 챔버(3)에서 제거되는 처리된 기판을 재컨디셔닝하는 데 매우 유리할 수 있다.
도 1에 추가로 도시된 바와 같이, 적어도 2 개의 로드 락(10ai, 10bi) 중 하나인 일 실시예에서, 진공 이송 챔버(3)에 더 가까운 로드 락(10bi)은 기판 버퍼(19)에 작동적으로 연결될 수 있다. 이러한 기판 버퍼는 미리 결정된 순간에 진공 이송 챔버(3)에 공급되고 예를 들어, 각각의 출력 로드 락 배열(10)을 통해 제거되는 페이스트 기판들(pasting substrates)을 포함할 수 있다.
또한, 이들의 로드 락 기능에 대하여, 로드 락(10ai,10bi,…)은 기판 냉각, 가열, 가스 제거 기능에 맞게 조정될 수 있으며 추가 기판 처리 스테이션(미도시)에 작동적으로 연결될 수 있다.
이송 경로(Pi 및/또는 Pa)에 대한 컨베이어 배열은 각각의 개수의 기판 처리 로봇에 의해 실현된다.
예시로서:
ATii는 주변 대기이고 예를 들어, 2 개의 로드 락(lOai 및 lObi)만 제공되므로, 로드 락(10ai)은 예를 들어, 0.1 내지 1Pa의 기본 압력을 갖는 러프 펌프인 펌프(12ai)로 작동될 수 있다. 고진공 이송 챔버(3) 바로 위에 있는 로드 락(10bi)은 0.001 Pa 미만의 기본 압력으로 터보 펌프(12bi)에 의해 작동된다. 이에 따라, Δp10ai는 le5 Pa의 범위에 있을 수 있고, Δp10bi는 l Pa의 범위에 있을 수 있다.
도 1에 의해 설명된 개념 및 각각의 특성들 다음에 제시되는 바와 같이 장치의 추가 실시예에서도 유효하다.
도 2는 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1과 유사한 표현으로 도시하는데, 출력 로드 락 배열(lo)에만 각각의 펌프(12ao 및 12bo)를 구비한 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 배열(lOao 및 lObo)이 제공된다. 도 2의 다른 참조 번호는 도 l에서와 동일한 구성 요소들을 다룬다. 따라서, 실시예는 도 1의 실시예를 이해한 당업자에게 완전히 명백하다.
도 2의 실시예에서, AT00은 주변 대기이고, 예를 들어, 출력 로드 락 배열(10)을 따라 2 개의 로드 락 배열(10ao 및 lObo)만 제공되고, 또한, 진공 이송 챔버(3)는 고진공 이송 챔버이고, 도 1과 관련하여 주어진 실시예는 또한 도 2의 실시예에 유효할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1 및 2와 유사한 표현으로 도시하는데, 입력 로드 락 배열(1i) 및 출력 로드 락 배열(1o)는 본 발명에 따라, 즉, 각각 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락(10ai, 10bi 및 10ao, 10bo)으로 구현된다. 따라서, 도 3의 실시예는 도 1의 실시예와 도 2의 실시예의 조합이다. 대기 ATii과 AToo는 모두 주변 대기이다. 양 로드 락 배열은 각각 직렬로 연결된 두 개의 로드 락만으로 실현되며 진공 이송 챔버(3)는 다시 고진공 이송 챔버가 된다. 따라서 도 1 및 2에 도시된 실시예는 도 3의 실시예에서도 구현될 수 있다.
다음에 제시될 실시예에서, 로드 락 배열 중 하나의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 다른 로드 락 배열의 로드 락과 공통이다. 이것은 각각의 펌프가 있는 단일 로드 락이 입력 로드 락 배열 뿐만 아니라 출력 로드 락 배열에도 활용된다는 장점이 있다.
특히, 이러한 공통 로드 락이 직렬로 연결된 다른 로드 락보다 진공 이송 챔버(3)에 더 가깝다면, 언급된 하나의 로드 락 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 더 낮은 압력 범위에서 작동하는 더 까다로운 펌프가 필요하므로 이러한 펌프 중 하나를 절약할 수 있다.
따라서, 직렬로 연결된 공통 로드 락은 양방향으로 작동하는 로드 락이다.
도 4는 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1 내지 3과 유사한 표현으로 도시하는데, 입력 로드 락 배열(1i)의 직렬로 연결된 모든 적어도 2 개의 로드 락(10ai 및 10bi)은 출력 로드 락 배열(1o)의 직렬로 연결된 모든 적어도 2 개의 로드 락(10ao, 10bo)과 공통이다.
도 5는 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1 내지 4와 유사한 표현으로 도시하는데, 입력 로드 락 배열(1i)의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락(10ai 및 10bi) 중 진공 이송 챔버(3)에 더 가까운 직렬로 연결된 로드 락(10bi)은 출력 로드 락 배열(10)의 로드 락(10co)와 공통이다. 출력 로드 락 배열(10)은 로드 락(10co)과 같은 단 하나의 로드 락을 포함할 수 있다는 점에 유의한다. 이러한 구성은 예를 들어, 대기(AT00)가 예를 들어, 처리된 기판에 대한 진공 컨디셔닝 스테이션과 같은 저압 스테이션의 대기인 경우에 사용될 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1 내지 5와 유사한 표현으로 도시하는데, 출력 로드 락 배열(1o)의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락(10ao, 10bo)중 진공 이송 챔버(3)에 더 가까운 직렬로 연결된 로드 락(10bo)은 입력 로드 락 배열(1i)의 로드 락(10ci)과 공통이다. 입력 로드 락 배열(1i)은 로드 락(10ci)만을 포함할 수 있다는 점에 유의한다. 이러한 구성은 예를 들어, 대기(ATii)가 저압 스테이션, 예를 들어, 미처리 기판용 진공 탈기 스테이션의 대기인 경우에 사용될 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1 내지 6과 유사한 표현으로 도시하는데, 입력 로드 락 배열(1i)의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락(10ai, 10bi)중 진공 이송 챔버(3)에서 더 멀리 떨어진 로드 락(10ai)은 출력 로드 락 배열(1o)의 로드 락(10co)과 공통이다.
출력 로드 락 배열(1o)은 로드 락(10co)만을 포함할 수 있다는 점에 유의한다. 예를 들어, 진공 이송 챔버(3)를 구비한 장치 내에서의 마지막 처리 단계가 방금 입력되었지만 처리되지 않은 기판에서 수행되는 초기 프로세스 단계보다 더 높은 압력에서 수행된다면, 이러한 구성이 사용될 수 있다. 이러한 고압 공정 단계는 예를 들어, 진공 이송 챔버(3)에서 제거되기 전에 기판에 대한 냉각 단계 일 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 장치의 실시예를 도 1 내지 7과 유사한 표현으로 도시하는데, 출력 로드 락 배열(1o)의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락(lOai 및 lObo)중 진공 이송 챔버(3)에서 더 멀리 떨어진 로드 락(10ai)은 출력 로드 락 배열(10)의 로드 락(10co)과 공통이다. 직렬(10ai 및 10bo)로 연결된 2 개 이상의 로드 락 중 진공 이송 챔버(3)에서 더 멀리 떨어진 직렬 로드 락(lOao)은 입력 로드 락 배열(1i)의 로드 락(10ci)과 공통이다. 입력 로드 락 배열(1i)은 로드 락(10ci)만을 포함할 수 있다는 점에 유의한다.
만일 진공 이송 챔버(3)를 구비한 장치의 입력 처리 스테이션이 진공 이송 챔버(3)를 구비한 장치의 마지막 처리 스테이션보다 아직 처리되지 않은 기판상에서 더 높은 압력에서 작동하고, 그 이후에 기판이 챔버(3)를 떠난다면, 예를 들어, 이러한 구성이 사용될 수 있다. 입력 처리 스테이션은 예를 들어, 탈기 스테이션 일 수 있다.
도 9는 현재 실현되는 실시예들에 대한 일 실시예를 도 1 내지 8과 유사한 표현으로 도시한다. 입력 로드 락 배열(1i) 및 출력 로드 락 배열(1o)은 각각 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락(lOai, lObi 및 10ao,10bo)을 포함한다. 입력 이송 경로(Pi)를 따라 고려할 때 입력 로드 락 배열(1i)의 로드 락(10ai) 보다 진공 이송 챔버(3)에 더 가깝게 위치한 로드 락 10(bi)은 출력 이송 경로(Po)을 따라 고려할 때 출력 로드 락 배열(1o)의 로드 락(10ao)보다 진공 이송 챔버(3)에 더 가까운 출력 로드 락 배열(1o)의 로드 락(10bo)과 공통이다.
예를 들어, 터보 분자 펌프와 같이, 일반적인 양방향 로드 락(10bi, 10bo)을 펌핑하는 낮은 압력 범위에서 작동하는 까다로운 펌프 하나만 있거나, 비-공통 로드 락(lOai 및 lOao)은, 각각의 러프 펌프와 같이 더 높은 압력에서 작동하는 덜 까다로운 펌프에 의해 펌핑될 수 있다 .
특히 본 발명에 따른 장치에 의해 처리될 기판이 직사각형 또는 정사각형이고, 보다 일반적으로 원형이 아닌 경우, 기판이 하나의 로드 락에서 다음 로드 락으로 연속적으로 이송되고 마지막으로 회전없이 즉, 이동 모드에서 진공 이송 챔버(3)로 및 이로부터 이송되는 경우, 기판의 방향 배향을 정확하게 유지하는 것은 상당히 단순화된다.
도 9에 따른 실시예로부터 출발하여 도 10에 따른 실시예가 도 1 및 도 9 유사하게 실현된다. 직렬의 비-공통 로드 락(lOai)을 향하고 통과하며, 직렬의 공통 로드 락(lObi, lObo) 내로 통과하는 이송 경로(Pi) 및 직렬의 공통 로드 락(lObi, lObo)으로부터 직렬의 비-공통 로드 락(lOao)을 향하고 통과하는 이송 경로(Po)는 선형이고 평행하거나 정렬되어 있으며 직렬의 공통 로드 락(10bi, 10bo)에서 진공 이송 챔버(3)를 향해 또는 이로부터 공통된 양방향 이송 경로(Pi, Po)에 수직이다.
도 10에서 점선으로 도시된 기판(20)은 판 형상이고, 도 12에서 기판(20a)과 같이 편평할 수 있거나, 도 12에서 기판(20b)에 의해 예시된 바와 같이 만곡될 수 있고, 도 12에 도시된 바와 같이 평면 자취(E)를 따라 연장된다. 기판(20)은 경로(Pi, Po) 및 공통 경로(Pi, Po)에 평행한 연장된 표면으로 배향되고, 입력 로드 락 배열(1i)에 대한 입력과 진공 이송 챔버(3)에 대한 입력 사이에서 또는 출력 로드 락 배열(1o)의 입력과 출력 사이에서 회전될 필요가 없다.
진공 이송 챔버(3)가 도 12의 평면 자취(E)와 일치하거나 이와 평행한 기판의 이송 평면에 수직하게, 중심 축(A)주위에 실린더형 자취(L)를 한정하는 -예를 들어, 다각형 모양의- 외벽을 갖는 경우, 직렬의 로드 락(10bi, 10bo)은 선형 공통 경로(Pi, Po)의 방향이 축(A)에 대해 방사형이 되도록 언급된 벽에 장착된다. 종종 다중 스테이션 진공 이송 챔버(3)는 축(A) 주위에 실린더형 자취를 한정하는 벽을 갖는 수용부로 구성되며, 기판은 도 10의 화살표로 표시된 바와 같이 축(A) 둘레로, 하나의 처리 스테이션에서 다음 처리 스테이션으로 수용부 내에서 전달된다.
도 11은 현재 실시되는 본 발명에 따른 장치의 실시예를 평면도로 개략적으로 간략화게 도시한 도면이다.
주변 대기(ATii, AToo)에서 작동하는 하나 이상의 로봇을 갖는 로봇 장치(30)는 매거진 배열(magazine arrangement)(32)에서 입력 슬릿 밸브(34)를 통해 입력 로드 락 배열(1i)의 로드 락(10ai)으로, 예를 들어, 직사각형 또는 정사각형, 일반적으로 400x400mm 에서 최대 650x650mm까지, 또는 그보다 더 큰 범위에 있는 단일 플레이트 형 기판(20)(도 11에 미도시)을 처리한다. 로드 락(10ai)은 러프 펌프(12ai)에 의해 펌핑된다.
공통 로드 락(10bi, 10bo)의 양방향 로봇(38)은 로드 락(10ai)으로부터 로드 락(10ai) 및 공통 로드 락(10bi, 10bo)에 공통인 슬릿 밸브(36)를 통해 기판을 이송한다. 로봇(38)은 처리되지 않은 기판 트로프 슬릿 밸브(trough slit valve)(40)를 진공 이송 챔버(3)에 로딩하고 또한 슬릿 밸브(40)를 통해 진공 이송 챔버 배열(3)로부터 처리된 기판을 제거한다.
공통 로드 락(10bi, 10bo)의 처리된 기판은 로봇(38), 트로프 슬릿 밸브(42)에 의해 로드 락(10ao)으로, 그리고 로드 락(10ao)으로부터 로봇 장치(30)를 통해 그리고 슬릿 밸브(44)를 통해 대기 분위기(AT00)에서 매거진 배열(32)로 다시 이송된다. 밸브 제어 압력 균등화 바이패스(15)는 로드 락(10ai)에서 공통 로드 락(10bi, 10bo)으로, 공통 로드 락(10bi, 10bo)에서 로드 락(10ao)으로 제공된다.
로드 락(10ao)은 러프 펌프(12ao)에 의해 펌핑되고, 공통 로드 락(10bi, 10bo)은 터보 펌프(12com)에 의해 펌핑된다.
로드 락(10ai 및 10ao)에서 기판은 주변 압력에서 사전 진공(pre-vacuum) 상태로, 그리고 각각 반대로, 기판은 진공 이송 챔버(3)에서 작동되는 바와 같이 사전 진공에서 고진공으로 또는 그 반대로 공통 로드 락(10bi, 10bo) 내로 들어간다.
진공 이송 챔버(3)는 축(A)을 중심으로 그룹화된 5 개의 처리 스테이션(50)을 제공한다. 고진공 로봇(52)은 슬릿 밸브(40)로부터 그리고 슬릿 밸브(40)를 향해 그리고 하나의 처리 스테이션(50)으로부터 다른 처리 스테이션으로 기판을 제공한다. 도 10과 관련하여 설명된 바와 같이 이송 경로(Pi, Po) 및 공통의 양방향 이송 경로(Pi, Po)가 설정된다.

Claims (30)

  1. - 다수의 처리 챔버들을 제공하는 진공 이송 챔버를 포함하는 하나 이상의 기판을 대한 진공 처리 배열;
    - 상기 진공 이송 챔버로의 입력 컨베이어 배열을 구비한 입력 로드 락 배열;
    - 상기 진공 이송 챔버로부터의 출력 컨베이어 배열을 구비한 출력 로드 락 배열;
    을 포함하는 기판 진공 처리 장치로서,
    - 상기 입력 및 상기 출력 로드 락 배열 중 하나 이상은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하고, 상기 입력 로드 락 배열 및 상기 출력 로드 락 배열 중 하나 이상은 주변 대기와 상기 진공 이송 챔버 사이에서 상호 연결되는, 기판 진공 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 입력 및 상기 출력 로드 락 배열은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하는, 기판 진공 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 상기 입력 로드 락 배열은 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하고, 상기 입력 로드 락 배열의 상기 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 상기 출력 로드 락 배열의 로드 락이 아닌, 기판 진공 처리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 상기 출력 로드 락 배열은 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하고, 상기 출력 로드 락 배열의 상기 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 상기 입력 로드 락 배열의 로드 락이 아닌, 기판 진공 처리 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 상기 입력 로드 락 배열 및 상기 출력 로드 락 배열에 공통인, 기판 진공 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 적어도 2 개의 로드 락의 상기 공통 로드 락은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 상기 적어도 2 개의 로드 락 중 다른 로드 락보다 상기 진공 이송 챔버에 더 가까운, 기판 진공 처리 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입력 및 출력 로드 락 배열은 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락을 포함하고, 하나 이상의 로드 락은 상기 입력 및 상기 출력 로드 락 배열에 공통이며, 상기 입력 로드 락 배열의 상기 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 상기 출력 로드 락 배열에 공통이 아니며, 상기 출력 로드 락 배열의 상기 적어도 2 개의 로드 락 중 적어도 하나는 상기 입력 로드 락 배열에 공통이 아니며, 상기 하나 이상의 공통 로드 락은 상기 입력 및 상기 출력 컨베이어 배열의 경로를 따라 고려할 때, 비-공통 로드 락보다 상기 진공 이송 챔버에 더 가깝게 위치되는, 기판 진공 처리 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 직렬로 연결된 상기 로드 락 중 하나 이상은 기판 버퍼 스테이지(substrate buffer stage)에 작동적으로 연결되는, 기판 진공 처리 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 직렬로 연결된 상기 로드 락 중 하나 이상은 추가적으로 다음 중 하나인, 기판 진공 처리 장치.
    - 기판 처리 스테이션에 작동 가능하게 연결됨;
    - 기판 버퍼에 작동 가능하게 연결됨;
    - 가열 스테이션;
    - 냉각 스테이션;
    - 탈기 스테이션.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 각각은 펌프에 작동 가능하게 연결되고, 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 다른 로드 락보다 진공 이송 챔버에 더 가깝게 배치된, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 다른 로드 락에 작동적으로 연결된 펌프보다 낮은 압력 범위에서 작동하도록 구성된 펌프에 작동적으로 연결되는, 기판 진공 처리 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상은 단일 기판 또는 동시에 이송되는 단일 그룹의 기판들을 수용하도록 조정되는, 기판 진공 처리 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 입력 및 출력 로드 락 배열과 입력 및 출력 컨베이어 배열들은 직사각형 또는 정사각형 기판들을 취급하도록 구성된, 기판 진공 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서, 직사각형 기판의 더 짧은 에지 또는 정사각형 기판의 에지는 400mm 이상 또는 600mm 이상인, 기판 진공 처리 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 짧은 에지는 최대 1100mm인, 기판 진공 처리 장치.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 직사각형 또는 정사각형 기판은 1400mm의 최대 에지 범위를 갖는, 기판 진공 처리 장치.
  16. 제12항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입력 및 출력 컨베이어 배열은 상기 기판의 에지에 배타적으로 수직하게 기판을 이송하도록 구성되는, 기판 진공 처리 장치.
  17. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입력 및 출력 컨베이어 배열들 중 하나 이상은 이동 모드(translation mode)에서만 배타적으로 기판을 이송하도록 구성되는, 기판 진공 처리 장치.
  18. 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 다른 하나보다 진공 이송 챔버에 더 가까운, 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 하나의 로드 락은, 각각의 컨베이어 배열의 경로를 따라 고려할 때, 제어된 가스 유동 바이패스(gasflow-bypass)에 의해 다른 로드 락에 직렬로 연결되는, 기판 진공 처리 장치.
  19. 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나를 향한 각각의 컨베이어 배열의 이송 방향 및 상기 하나의 로드 락으로부터 상기 각각의 컨베이어 배열의 이송 방향은 서로 수직이고, 각각의 컨베이어 배열은 상기 양 방향에 평행한 평면-자취(plane-locus)를 따라 연장되는 판형, 편평하거나 만곡된 기판들을 이송하도록 구성되는, 기판 진공 처리 장치.
  20. 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 기판은 판형이고, 편평하거나 만곡되어 있으며, 평면-자취를 따라 연장되며, 상기 입력 및 출력 컨베이어 배열들은 판형 기판을 평면 자취에 평행한 방향으로만 배타적으로 이송하도록 구성되는, 기판 진공 처리 장치.
  21. 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입력 및 출력 로드 락 배열은 일반적으로 T 또는 Y 형상의 풋 프린트로 구성되고, T 또는 Y의 하나의 측면 암(arm)을 따라 상기 입력 로드 락 배열의 직렬로 연결된 적어도 2 개의 로드 락 중 하나 이상의 로드 락으로 구성되고, T 또는 Y의 다른 측면 암을 따라 출력 로드 락 배열의 직렬로 연결된 적어도 두 개의 로드 락 중 하나 이상의 로드 락으로 구성되고, 및 T 또는 Y의 중앙 암을 따라 직렬로 연결된 하나 이상의 공통의 양방향 로드 락으로 구성된, 기판 진공 처리 장치.
  22. 제21항에 있어서, 공통 로드 락은 상기 컨베이어 배열의 각각의 컨베이어 경로들을 따라 고려할 때, 상기 측면 암들을 따르는 로드 락보다 진공 이송 챔버에 더 가까운, 기판 진공 처리 장치.
  23. 제21항 또는 제22항에 있어서, 진공 이송 챔버는 실린더 축 주위에 실린더형 자취를 한정하는 외벽을 갖는 수용부를 포함하고, 상기 중앙 암을 따르는 공통 로드 락은 실린더 축에 대해 반경 방향으로, 상기 공통 로드 락을 통한 컨베이어 배열의 이송 경로들을 갖는 수용부의 외벽에 장착되는, 기판 진공 처리 장치.
  24. 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 직렬로 연결된 2 개 이상의 로드 락 중 다른 것보다 진공 이송 챔버에 더 가까운 2 개 이상의 로드 락 중 하나의 로드 락은, 고진공 펌프, 바람직하게, 가장 크게는 0.001Pa의 기본 압력을 갖는 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)에 작동적으로 연결되는, 기판 진공 처리 장치.
  25. 제1항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 컨베이어 배열의 이송 경로를 따라 고려할 때, 2 개 이상의 로드 락 중 다른 로드 락보다 진공 이송 챔버에서 더 멀리 떨어져 있는 2 개 이상의 로드 락 중 하나의 로드 락은, 기본 압력이 0.1Pa 내지 1Pa 인 러프 펌프(rough pump)에 작동적으로 연결되는, 기판 진공 처리 장치.
  26. 제1항 내지 제25항 중 어느 한 항에 따른 장치에 의해 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법.
  27. - 제1 로드 락을 통해 주변 대기로부터 기판을 이송하는 단계
    - 이어서, 기판을 제1 로드 락으로부터 하나 이상의 제2 로드 락을 통해 이송하는 단계;
    - 기판을 하나 이상의 제2 로드 락으로부터 하나 이상의 처리 스테이션을 구비한 진공 이송 챔버로 이송하는 단계;
    - 상기 진공 이송 챔버 내의 기판을 하나 이상의 진공 처리 스테이션 중 적어도 하나를 향해 이송하는 단계;
    - 하나 이상의 진공 처리 스테이션에 의해 기판을 처리하는 단계;
    - 출력 로드 락 배열을 통해 진공 이송 챔버로부터 처리된 기판을 이송하는 단계를 포함하는, 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법.
  28. - 기판을 입력 로드 락 배열을 통해 하나 이상의 진공 처리 스테이션을 구비한 진공 이송 챔버로 이송하는 단계;
    - 진공 이송 챔버 내의 기판을 하나 이상의 진공 처리 스테이션 중 하나를 향해 이송하는 단계;
    - 하나 이상의 진공 처리 스테이션에 의해 기판을 처리하는 단계;
    - 처리된 기판을 진공 이송 챔버로부터 하나 이상의 제2 로드 락을 통해 이송하는 단계;
    - 기판을 하나 이상의 제2 로드 락으로부터 제1 로드 락을 통해 주변 대기로 이송하는 단계를 포함하는, 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법.
  29. 제27항에 있어서, 처리된 기판을 진공 이송 챔버로부터 출력 로드 락 배열을 통해 이송하는 단계는,
    - 처리된 기판을 진공 이송 챔버로부터 하나 이상의 제3 로드 락을 통해 이송하는 단계;
    - 기판을 하나 이상의 제3 로드 락으로부터 제4 로드 락을 통해 주변 대기로 이송하는 단계를 포함하는, 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 제3 로드 락과 공통되는 상기 제2 로드 락을 선택하는 단계를 포함하는, 하나 이상의 기판을 진공 처리하는 방법 또는 하나 이상의 진공 처리된 기판을 제조하는 방법.
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