KR20210004182A - 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치 - Google Patents

흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20210004182A
KR20210004182A KR1020190080181A KR20190080181A KR20210004182A KR 20210004182 A KR20210004182 A KR 20210004182A KR 1020190080181 A KR1020190080181 A KR 1020190080181A KR 20190080181 A KR20190080181 A KR 20190080181A KR 20210004182 A KR20210004182 A KR 20210004182A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure gas
inkjet head
head
fume
panel
Prior art date
Application number
KR1020190080181A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102291011B1 (ko
Inventor
김명진
양진우
최기훈
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190080181A priority Critical patent/KR102291011B1/ko
Publication of KR20210004182A publication Critical patent/KR20210004182A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102291011B1 publication Critical patent/KR102291011B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
    • H01L21/67225—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process comprising at least one lithography chamber

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 액적토출과정에서 발생되는 흄이 헤드쪽으로 유입되는 것을 방지하기 위한 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 액적을 토출하는 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드가 삽입되어 고정되는 헤드패널; 상기 잉크젯 헤드를 감싸고 상기 헤드패널의 상부를 밀폐시키는 밀폐커버를 포함하는액적토출장치를 제공한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 잉크젯 헤드가 동작할 때 흄성분이 잉크젯 헤드 쪽으로 유입되는 것이 방지되기 때문에 헤드오염 및 헤드 상부의 기판 및 밸드 등의 장비 손상을 방지할 수 있다.

Description

흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치{Liquid drop ejecting apparatus having structure for preventing fume inflow}
본 발명은 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치에 관한 것이며, 구체적으로 액적토출과정에서 발생되는 흄이 헤드쪽으로 유입되는 것을 방지하기 위한 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치에 관한 것이다.
LCD 등의 디스플레이 장치를 제조하기 위해서 배향막의 형성이나 UV잉크를 도포할 경우, 또는 기판상에 컬러필터를 도포할 경우 등 액적을 토출하기 위해 잉크젯 설비를 많이 이용하고 있다.
잉크젯 헤드 내부에는 액적을 토출시키기 위한 노즐이 구비되어 있고 상기 노즐은 압전센서 등을 이용하여 구동된다.
도 1을 참조하면, 잉크젯 헤드(10)는 헤드패널(20)에 삽입되어 고정되며, 잉크젯 헤드 상부에는 액적 공급을 제어하기 위한 밸브 및 케이블 커넥터 등이 연결된다. 이러한 구조에서 잉크젯 헤드와 헤드패널 사이에는 잉크젯 헤드 설치 및 조정작업을 위한 개구부가 형성된다.
이러한 상태에서 잉크젯 장치를 가동하면 액적이 토출되는 과정에서 흄(fume,증기)이 발생되고, 상기 흄이 상기 개구부를 통해 잉크젯 헤드 모듈로 유입된다. 이렇게 유입된 흄은 케이블 및 기판을 손상시키고 잉크젯 헤드의 오염을 유발시킬 우려가 크다. 또한, 유입된 흄 성분이 고착화되어 노즐을 막거나 손상을 줄 염려가 크다.
따라서, 상기 흄이 잉크젯 헤드쪽으로 유입되는 것을 방지해야 할 필요성이 커지고 있다.
특허문헌 : 공개특허공보 제10-2013-0015612호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것이며, 구체적으로 액적으로 정확하게 토출시키면서 발생되는 흄이 잉크젯 헤드쪽으로 유입되는 것을 방지할 수 있는 구조를 제공하기 위한 것이다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 액적을 토출하는 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드가 삽입되어 고정되는 헤드패널; 상기 잉크젯 헤드를 감싸고 상기 헤드패널의 상부를 밀폐시키는 밀폐커버를 포함하는액적토출장치를 제공한다.
상기 액적토출장치는 상기 밀폐커버 내부로 압력기체를 공급하는 압력기체공급부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 밀폐커버의 상단에는 외부로부터의 압력기체를 내부로 통과시키는 압력기체관통부가 구비되며, 상기 압력기체관통부를 통해 상기 압력기체가 아래방향으로 이송되는 것이 바람직하다.
상기 압력기체공급부에는 상기 압력기체를 넓은 범위로 분사시키는 확산노즐이 구비된 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 잉크젯 헤드가 동작할 때 흄성분이 잉크젯 헤드 쪽으로 유입되는 것이 방지되기 때문에 헤드오염 및 헤드 상부의 기판 및 밸드 등의 장비 손상을 방지할 수 있다.
또한, 외부의 이물질로부터 잉크젯 헤드 모듈을 보호하여 장비의 내구성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 의한 잉크젯 헤드 모듈을 나타내는 구성도;
도 2는 본 발명에 의한 잉크젯 헤드 모듈을 나타내는 구성도;
도 3은 잉크젯 헤드의 상부에서 바라본 예시도;
도 4는 본 발명에 의한 잉크젯 헤드 모듈의 다른 실시예를 나타내는 구성도.
본 발명의 실시예의 구성 및 작용에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치는 잉크젯 헤드(100), 헤드패널(500), 밸브(200), 커넥터(400), 밀폐커버(600), 밀폐커버제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.
상기 잉크젯 헤드(100)는 액정등이 저장되어 있는 탱크로부터 기판에 액정을 도포하는 역할을 한다. 상기 기판은 액정표시패널의 컬러필터기판 또는 박막트랜지스터 기판일 수 있으며, 액정은 컬러필터기판 또는 박막트랜지스터기판의 전면에 도포될 수 있다.
도 3은 도2의 위쪽(A)에서 바라본 도면이다. 이와 같이 본 실시예에 의한 잉크젯 헤드는 헤드패널(500)에 의하여 병렬적으로 복수 개가 일정 간격으로 배치될 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드(100)는 측면으로 돌출된 헤드고정부(110)를 통해 헤드패널(500)에 고정될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드(100)의 상부에는 밸브(200) 및 커넥터(400)가 구비되며, 입력관(210) 및 배출관(220)이 연결된다.
상기 밸브(200)는 액정이나 약액이 잉크젯 헤드(100)의 내부로 들어가는 것을 제어한다. 즉, 상기 밸브(200)는 잉크젯 헤드(100)를 통해 토출되는 액정이나 약액이 일정량으로 공급될 수 있도록 제어하는 역할을 한다.
상기 커넥터(400)는 잉크젯 헤드(100)에 전기적인 신호를 입력하여 주는 역할을 한다. 즉, 상기 커넥터(400)는 압전소자와 같은 전기신호에 의해 작동되는 부품들에게 정해진 전기신호를 입력시켜 주어 잉크젯 헤드가 정확하게 작동될 수 있도록 한다.
상기 밀폐커버(600)는 알루미늄 재질로 구비될 수 있으며, 상기 잉크젯 헤드(100)를 감싸고 헤드패널의 상부를 밀폐시키는 역할을 한다. 즉, 상기 밀폐커버는 직육면체 형상으로 이루어질 수 있으며, 헤드패널과 결합될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 밀폐커버(600)의 일측에는 밀폐커버의 내부압력을 높일 수 있는 압력기체공급부(610)가 구비될 수 있다. 상기 압력기체공급부(610)는 밀폐커버 내측으로 공기나 질소와 같은 기체를 공급하여 주는 역할을 하며, 외부 펌프와 연결되어 압력기체를 밀폐커버 내부로 공급하여 줄 수 있다. 상황에 따라, 상기 압력기체공급부(610)에는 팬이 설치될 수도 있다.
상기 압력기체공급부(610)의 주변에는 씰부재가 설치되어 밀폐효과를 극대화할 수 있다.
상기 압력기체공급부(610)는 밀폐커버(600)의 상면에 구비되어 압력기체를 아래방향으로 이송시키는 것이 바람직하다. 즉, 상기 밀폐커버(600)의 상면에는 압력기체를 내부로 통과시키는 중공의 압력기체관통부가 형성되며, 상기 압력기체공급부는 상기 압력기체관통부를 통해 압력기체를 밀폐커버 내부로 이송시킨다.
한편, 상기 입력관(210) 및 배출관(220)과 밀폐커버의 관통 부분에도 배관밀폐부(620)가 구비되며, 커넥터 관통 부분에도 커넥터밀폐부(630)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 압력기체공급부(610)에는 밀폐커버(600) 내부로 공급되는 압력기체를 넓은 범위로 확산시킬 수 있는 확산노즐(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 확산노즐은 한쪽 방향에서 분사되는 압력기체에 의하여 밀폐커버 내부의 압력이 불균일화되는 것을 방지하여 밀폐커버(600) 내부의 압력을 균일화함으로써 효율적인 제어를 용이하게 한다.
상기 밀폐커버(600)로 인하여 잉크젯 헤드가 작동할 때, 발생되는 흄이 다시 잉크젯 헤드쪽으로 유입되는 것이 차단되어 내구성이 향상되는 효과가 있다.
도 4를 참조하면, 상기 압력기체공급부(610)에는 압력기체분사관(650)이 밀폐커버 내부로 연장될 수 있다. 잉크젯 헤드쪽으로 유입되는 흄은 주로 잉크젯 헤드와 헤드패널 사이의 개구부(550)를 통해 유입되기 때문에 상기 압력기체분사관(650)의 끝단은 상기 잉크젯 헤드와 헤드패널 사이의 개구부에 인접하게 설치된다. 이러한 구성은 적은 양의 압력기체로 효율적인 흄의 차단이 이루어질수 있도록 한다.
한편, 상기 압력기체공급부(610)에는 통과되는 압력기체의 온도를 상승시키기 위한 히터가 구비될 수 있다. 외부에 비해 상승된 온도의 압력기체는 밀폐커버 내부의 압력을 강한 기류없이 상승시켜 잉크젯 헤드를 통해 토출되는 액적에는 영향이 없이 흄과 같은 이물질이 내부로 유입되는 것이 효과적으로 차단된다.
상기 밀폐커버의 내부에는 압력센서가 구비되며, 밀폐커버제어부는 압력센서에 의한 압력데이터를 전송받아 압력기체공급부를 제어할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 의한 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치의 작동과정에 대해 설명한다.
액적토출장치의 작동이 시작되면, 제어부에 의해 잉크젯 헤드가 정해진 위치로 움직이기 시작한다. 그리고, 잉크탱크에 저장된 액정과 같은 토출액이 입력관을 통해 잉크젯 헤드로 입력된다.
그러면, 잉크젯 헤드 내의 압전소자가 커넥터로부터의 전기신호를 입력받아 움직이면서 잉크젯 헤드의 노즐을 작동시켜 토출액을 기판으로 토출시킨다. 이와 함께, 밀폐커버제어부에서는 압력기체공급부를 통해 압력기체가 밀폐커버 내부로 주입될 수 있도록 한다.
밀폐커버 내부로 주입된 압력기체에 의하여 밀폐커버 내부의 압력이 외부보다 상승하여 밀폐커버 외부의 이물질들이 밀폐커버 내부로 유입되는 것이 차단된다. 예를 들어, 잉크젯 헤드에서 토출되는 토출액에 의해 발생되는 흄이 다시 밀폐커버 내부로 유입되는 것이 방지된다.
밀폐커버제어부에서는 밀폐커버 내부에 구비된 압력센서로부터의 데이터를 전송받아 일정 압력범위를 유지하도록 압력기체공급부를 제어한다. 즉, 밀폐커버제어부에서는 압력기체로 인하여 잉크젯 헤드에서 토출되는 토출액이 영향을 받지 않으면서 흄과 같은 이물질이 유입되지 않도록 하는 범위에서 압력기체공급부를 제어하여야 한다.
이때, 확산노즐을 통해 밀폐커버 내부로 주입되는 압력기체로 인한 밀폐커버 내부의 압력이 균일화되는 것이 바람직하며, 압력기체의 방향은 상단에서 아래방향으로 향하는 것이 바람직하다.
상기에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 잉크젯 헤드 200 : 밸브
210 : 입력관 220 : 배출관
300 : 커넥터 500 : 헤드패널
600 : 밀폐커버 610 : 압력기체공급부

Claims (4)

  1. 액적을 토출하는 잉크젯 헤드;
    상기 잉크젯 헤드가 삽입되어 고정되는 헤드패널;
    상기 잉크젯 헤드를 감싸고 상기 헤드패널의 상부를 밀폐시키는 밀폐커버를 포함하는 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 액적토출장치는 상기 밀폐커버 내부로 압력기체를 공급하는 압력기체공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 밀폐커버의 상단에는 외부로부터의 압력기체를 내부로 통과시키는 압력기체관통부가 구비되며, 상기 압력기체관통부를 통해 상기 압력기체가 아래방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 압력기체공급부에는 상기 압력기체를 넓은 범위로 분사시키는 확산노즐이 구비된 것을 특징으로 하는 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치.
KR1020190080181A 2019-07-03 2019-07-03 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치 KR102291011B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190080181A KR102291011B1 (ko) 2019-07-03 2019-07-03 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190080181A KR102291011B1 (ko) 2019-07-03 2019-07-03 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210004182A true KR20210004182A (ko) 2021-01-13
KR102291011B1 KR102291011B1 (ko) 2021-08-18

Family

ID=74142431

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190080181A KR102291011B1 (ko) 2019-07-03 2019-07-03 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102291011B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050024180A (ko) * 2003-09-01 2005-03-10 세이코 엡슨 가부시키가이샤 잉크젯 헤드유닛 및 이를 내장하는 프린터
JP2008093849A (ja) * 2006-10-06 2008-04-24 Canon Inc 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
JP2009298076A (ja) * 2008-06-16 2009-12-24 Kishu Giken Kogyo Kk インクジェットプリンタのヘッドカバー装置
KR101634685B1 (ko) * 2014-12-24 2016-06-30 주식회사 선익시스템 노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템
JP2016137672A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 理想科学工業株式会社 インクジェット印刷装置
KR20180097425A (ko) * 2017-02-23 2018-08-31 엑스와이지프린팅, 인크. 잉크젯헤드 보호장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050024180A (ko) * 2003-09-01 2005-03-10 세이코 엡슨 가부시키가이샤 잉크젯 헤드유닛 및 이를 내장하는 프린터
JP2008093849A (ja) * 2006-10-06 2008-04-24 Canon Inc 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
JP2009298076A (ja) * 2008-06-16 2009-12-24 Kishu Giken Kogyo Kk インクジェットプリンタのヘッドカバー装置
KR101634685B1 (ko) * 2014-12-24 2016-06-30 주식회사 선익시스템 노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템
JP2016137672A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 理想科学工業株式会社 インクジェット印刷装置
KR20180097425A (ko) * 2017-02-23 2018-08-31 엑스와이지프린팅, 인크. 잉크젯헤드 보호장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR102291011B1 (ko) 2021-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7216782B2 (en) Dispenser for discharging liquid material
US7335604B2 (en) Thin-film coating apparatus
KR101430742B1 (ko) 처리액 토출 장치
KR101937349B1 (ko) 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치
JP2007061784A (ja) 液状体の吐出装置および液状体の吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法
JP4266963B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法とその製造装置
JP3915789B2 (ja) カラーフィルタ基板の製造方法
KR102291011B1 (ko) 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치
KR102621740B1 (ko) 잉크젯 방식 액체토출모듈 및 그 탈포 방법
KR102218379B1 (ko) 액정 측정 유닛 및 이를 포함하는 액정 토출 장치
JP3994915B2 (ja) 電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電子機器の製造方法
KR20060079069A (ko) 액정 분사 장치
JP3895669B2 (ja) ノズル保護手段を備えた液晶滴下装置
KR102232668B1 (ko) 액 공급 유닛, 이를 가지는 기판처리장치 및 방법
JP2006189791A (ja) 液晶噴射装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法
KR102068003B1 (ko) 잉크젯 방식 액체토출모듈
KR102131021B1 (ko) 액체 저장 장치 및 이를 구비한 액체 디스펜싱 장치
KR20200093440A (ko) 잉크 토출 장치 및 잉크 토출 방법
KR102218378B1 (ko) 기판 처리 장치
US20120001970A1 (en) Droplet ejection device and droplet ejection method
JP4123052B2 (ja) 液滴吐出装置
KR102218380B1 (ko) 기판 처리 장치 및 세정 방법
KR101818426B1 (ko) 액정 토출 장치
KR20090097333A (ko) 기판 처리 시스템의 유체 공급 장치
KR101797444B1 (ko) 헤드 세정 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant