KR101634685B1 - 노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 노즐젯 헤드 모듈은, 노즐젯 시스템에 구비되어 기판에 패턴을 형성하는 노즐젯 헤드 모듈로서, 용액을 배출하는 배출구를 구비한 노즐; 및 노즐을 감싸도록 결합되며, 노즐로부터 배출된 용액이 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하는 역류 방지부;를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 노즐에 의해 기판 패턴 형성 공정 중 역류 방지부를 이용하여 노즐로부터 배출되는 용액 중 일부가 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지할 수 있어 용액 방울의 낙하 또는 노즐의 배출구의 막힘 현상을 방지할 수 있고 이를 통해 기판 패턴 형성의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템{Nozzle jet head module and nozzle jet system having the same}
노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템이 개시된다. 보다 상세하게는, 노즐에 의해 기판 패턴 형성 공정 중 역류 방지부를 이용하여 노즐로부터 배출되는 용액 중 일부가 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지할 수 있어 용액 방울의 낙하 또는 노즐의 배출구의 막힘 현상을 방지할 수 있는 노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템이 개시된다.
잉크젯 프린팅 장치는, 잉크젯 헤드를 이용하여 인쇄용 잉크의 미소한 액적을 인쇄 매체, 예컨대 인쇄 용지 상의 원하는 위치에 토출시켜서 인쇄용지의 표면에 소정 색상의 화상을 인쇄하는 장치이다. 이러한 잉크젯 프린팅 장치는 최근에 (LCD; Liquid Crystal Diplay)와 유기발광소자(OLED; Organic Light Emitting Device) 등과 같은 평판 디스플레이 분야, 전자종이(E-Paper) 등과 같은 플렉시블 디스플레이 분야, 금속 배선 등과 같은 인쇄 전자공학(Printed electronics) 분야, 및 유기 박막트랜지스터(OTFT; Organic Thin Film Transistor) 등과 같은 다양한 분야로 응용 범위가 확대되고 있다.
이러한 잉크젯 프린팅 장치가 디스플레이 분야나 인쇄 전자공학 분야에 적용되는 데 있어서 공정 기술상 가장 중요한 기술적 과제 중의 하나가 고 해상도를 구현하는 것이고 초정밀 프린팅을 구현하는 것이다.
한편 종래의 잉크젯 프린팅 장치는 노즐젯 헤드와 잉크젯 헤드로 구성된다. 이 중 노즐젯 헤드는 노즐을 통하여 잉크와 같은 용액을 배출하여 기판에 패턴을 형성한다.
그런데, 종래의 잉크젯 프린팅 장치에 있어서는, 노즐로부터 배출된 용액이 기판을 향하여 배출되지만 이 중 극히 일부가 노즐의 외부를 따고 올라와 방울을 형성하여 공정 중 떨어지는 문제가 발생될 수 있다. 아울러 기판 패턴 형성 공정을 잠시 멈춘 상황에서는 노즐 외부를 타고 올라가는 용액이 다시 흘러내려 노즐의 팁, 즉 노즐의 분사구를 막는 문제도 발생될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 목적은, 노즐에 의해 기판 패턴 형성 공정 중 역류 방지부를 이용하여 노즐로부터 배출되는 용액 중 일부가 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지할 수 있어 용액 방울의 낙하 또는 노즐의 배출구의 막힘 현상을 방지할 수 있고 이를 통해 기판 패턴 형성의 신뢰성을 향상시킬 수 있는, 노즐젯 헤드 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 노즐젯 헤드 모듈은, 노즐젯 시스템에 구비되어 기판에 패턴을 형성하는 노즐젯 헤드 모듈로서, 용액을 배출하는 배출구를 구비한 노즐; 및 상기 노즐을 감싸도록 결합되며, 상기 노즐로부터 배출된 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하는 역류 방지부;를 포함할 수 있으며, 이러한 구성에 의해서, 노즐에 의해 기판 패턴 형성 공정 중 역류 방지부를 이용하여 노즐로부터 배출되는 용액 중 일부가 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지할 수 있어 용액 방울의 낙하 또는 노즐의 배출구의 막힘 현상을 방지할 수 있고 이를 통해 기판 패턴 형성의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
일측에 따르면, 상기 역류 방지부는, 상기 노즐에 대응되는 형상을 가지며, 상기 배출구에 대응하는 부분이 관통구로 마련되는 방지몸체; 및 상기 방지몸체에 장착되며, 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하기 위해 상기 노즐의 배출구 방향으로 기체를 유입시키는 기체 유입부재를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 역류 방지부는, 상기 방지몸체에 장착되며, 상기 기체 유입부재에 의해 유입된 상기 기체를 다시 상기 노즐의 배출구의 반대 방향으로 다시 회수하는 기체 회수부재를 더 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 노즐의 외벽 및 상기 방지몸체의 내벽 사이에는 상기 방지몸체에 상기 노즐을 고정시키기 위한 원형의 고정 디스크가 적어도 하나 구비될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 고정 디스크는 상기 기체 유입부재로부터 유입되는 상기 기체가 상기 노즐의 상기 배출구까지 다다른 후 상기 기체 회수부재에 의해 회수될 수 있도록 메쉬망 타입으로 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 기체 유입부재를 통해 유입되는 상기 기체는 질소(N2)일 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 노즐젯 시스템은, 기판이 로딩되는 스테이지를 갖는 수평 프레임과, 상기 수평 프레임에 장착되는 장착 프레임을 구비하는 몸체부; 상기 장착 프레임에 장착되어 상기 기판에 패턴을 형성하는 노즐젯 헤드 모듈; 및 상기 장착 프레임에 장착되어 상기 노즐젯 헤드 모듈에 의해 패턴 처리된 부분 중 이상이 있는 부분을 처리해주는 잉크젯 헤드 모듈;를 포함하며, 상기 노즐젯 헤드 모듈은, 용액을 배출하는 배출구를 구비한 노즐; 및 상기 노즐을 감싸도록 결합되며, 상기 노즐로부터 배출된 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하는 역류 방지부;를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 역류 방지부는, 상기 노즐에 대응되는 형상을 가지며, 상기 배출구에 대응하는 부분이 관통공으로 마련되는 방지몸체; 상기 방지몸체에 장착되며, 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하기 위해 상기 노즐의 배출구 방향으로 기체를 유입시키는 기체 유입부재; 및 상기 방지몸체에 장착되며, 상기 기체 유입부재에 의해 유입된 상기 기체를 다시 상기 노즐의 배출구의 반대 방향으로 다시 회수하는 기체 회수부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 노즐에 의해 기판 패턴 형성 공정 중 역류 방지부를 이용하여 노즐로부터 배출되는 용액 중 일부가 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지할 수 있어 용액 방울의 낙하 또는 노즐의 배출구의 막힘 현상을 방지할 수 있고 이를 통해 기판 패턴 형성의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐젯 헤드 모듈을 구비한 노즐젯 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 노즐젯 헤드 모듈의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 노즐젯 헤드 모듈의 역류 방지부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 역류 방지부에 노즐이 삽인되는 구조를 도시한 도면이다.
도 5는 도 2에 도시된 고정 디스크를 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시에에 따른 노즐젯 헤드 모듈을 구비한 노즐젯 시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 노즐젯 헤드 모듈의 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 노즐젯 헤드 모듈의 역류 방지부를 설명하기 위한 도면이며, 도 4는 도 2에 도시된 역류 방지부에 노즐이 삽인되는 구조를 도시한 도면이고, 도 5는 도 2에 도시된 고정 디스크를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐젯 시스템(100)은, 틀을 형성하는 몸체부(110)와, 기판(W)에 패턴을 형성하는 노즐젯 헤드 모듈(200)과, 기판(W)에 형성된 패턴의 이미지를 촬영하는 촬영부(140)와, 패턴에서 이상(defect)이 있는 부분을 처리해주는 잉크젯 헤드 모듈(130)과, 기판(W)에 대한 패턴 형성 전 프리 테스트(pre-test)가 시행되는 서브 스테이지(150)와, 상기 헤드 모듈(200, 130)들의 토출량을 측정하는 측정부(185) 그리고 헤드 모듈(200, 130)들을 세정하는 세정부(170, 180)들을 포함할 수 있다.
이러한 구성에 의해서 기판(W)에 대한 패턴 형성을 정확하면서도 효율성 있게 수행할 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 본 실시예의 몸체부(110)는, 기판(W)이 로딩되는 스테이지(112)를 갖는 수평 프레임(111)과, 수평 프레임(111)에 장착되는 장착 프레임(115)을 포함할 수 있다. 여기서, 수평 프레임(111)은 사각판 형상을 가지며, 그 위에는 다수의 구성이 배치된다. 스테이지(112)를 비롯한 서브 스테이지(150) 그리고 세정부(170, 180) 등이 장착된다.
장착 프레임(115)은 전술한 수평 프레임(111)에 대해 전후방으로 이동 가능하도록 장착된다. 도면 상에서는 그 이동 구조에 대해서는 도시하지는 않았지만, 수평 프레임(111)의 양단부의 상면을 따라 전후 방향으로 길게 레일이 형성될 수 있고, 기립 부분의 하단부에는 레일에 이동 가능한 구조로 마련됨으로써 수평 프레임(111)에 대해 장착 프레임(115)이 전체적으로 전후 방향으로 이동할 있다.
한편, 본 실시예의 노즐젯 헤드 모듈(200)은, 장착 프레임(115)에 장착되어 기판(W)에 패턴을 형성하는 부분이다. 이러한 노즐젯 헤드 모듈(200)은 다수의 노즐과 이를 감싸는 케이스를 가지며, 다수의 노즐이 하방으로 노출되는 구조를 갖는다. 이에 대해서는 자세히 후술하기로 한다.
노즐젯 헤드 모듈(200)은 스테이지(112)에 로딩되는 기판(W)에 패턴을 형성하는데, 이를 위해서 노즐젯 헤드 모듈(200)의 위치 제어가 가능하다. 전술한 것처럼, 수평 프레임(111)에 대해 장착 프레임(115)을 이동시킴으로써 장착 프레임(115)의 위치를 기판(W)의 상부로 이동시킬 수 있고, 이어서 장착 프레임(115)에 대해 노즐젯 헤드 모듈(200)을 측방으로 이동시킴으로써 원하는 위치에 노즐젯 헤드 모듈(200)을 정확하게 이동시킬 수 있다. 그리고 이를 통해 기판(W)에 패턴을 형성할 수 있는 것이다.
다만, 노즐젯 헤드 모듈(200)을 이용하여 기판(W)에 패턴을 형성하기 전에, 메인-테스트 조건을 설정하기 위해 즉 공정 조건을 확인하기 위해, 노즐젯 헤드 모듈(200)에 의한 패턴 형성의 프리-테스트를 실행한다.
이를 위해, 본 실시예의 노즐젯 시스템(100)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 수평 프레임(111)의 측부 상면에 서브 스테이지(150)가 구비되고, 서브 스테이지(150)의 인접 영역에 드롭 모니터(160) 및 이와 광학적으로 상호 작용하는 광원(165)이 장착될 수 있다.
노즐젯 헤드 모듈(200)로부터 서브 스테이지(150)에 패턴을 예비적으로 형성하는데, 이 때 드롭 모니터(160)와 광원(165)의 광학적인 상호 작용에 의해 공정 조건을 확인할 수 있다.
한편, 본 실시예의 촬영부(140)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 장착 프레임(115)의 중앙 부분에 장착될 수 있다. 장착 프레임(115)의 이동에 의해 스테이지(112)에 놓인 기판(W)의 상부에 촬영부(140)가 위치될 수 있으며, 따라서 기판(W)에 형성된 패턴을 촬영하여 기판(W)의 패턴 검사를 할 수 있다.
본 실시예의 잉크젯 헤드 모듈(130)은, 촬영부(140)에 의해 패턴 검사 후 이상이 있는 패턴의 부분을 처리하는 역할을 한다. 노즐젯 헤드 모듈(200)에 의해 기판(W)에 패턴을 형성한 후 촬영부(140)에 의해 패턴 검사를 수행하는데, 이 때 이상이 있는 부분이 있는 경우 잉크젯 헤드 모듈(130)을 통해 이상이 있는 패턴을 처리함으로써 기판(W)에 대한 패턴 형성의 정확성을 얻을 수 있다.
한편, 기판(W)에 대한 패턴 형성을 반복적으로 하다 보면, 노즐젯 헤드 모듈(200) 및 잉크젯 헤드 모듈(130)의 토출 부분이 오염될 수 있고, 이로 인해 손수 헤드 모듈(200, 130)들의 세정을 하는 경우 공정 조건이 달라져 정확한 패턴의 형성이 어려워질 수 있었다.
따라서, 본 실시예의 노즐젯 시스템(100)은, 노즐젯 헤드 모듈(200) 및 잉크젯 헤드 모듈(130)의 세정을 자동으로 수행하기 위하여, 노즐젯 세정부(170) 및 잉크젯 세정부(180)를 더 포함할 수 있다. 노즐젯 헤드 모듈(200) 및 잉크젯 헤드 모듈(130)의 각각의 세정부(170, 180)로의 이동은 전술한 것처럼 수평 프레임(111)에 대한 장착 프레임(115)의 전후방 이동 및 장착 프레임(115)에 대한 헤드 모듈들의 측방 이동에 의해 가능하다.
그리고, 잉크젯 헤드 모듈(130)로부터 다른 용액을 토출하여 패턴에 이상이 있는 부분을 처리할 때, 잉크젯 헤드 모듈(130)로부터 토출되는 용액의 양의 최적값을 구하기 위해, 본 실시예의 시스템(100)은 용액의 토출량을 측정하는 측정부(185)를 더 포함할 수 있다.
한편, 전술한 것처럼, 노즐젯 헤드 모듈(200)은 기판(W)에 패턴을 형성하는 역할을 한다. 노즐젯 헤드 모듈(200)은, 도시하지는 않았지만, 복수 개의 노즐(220)과, 노즐(220)과 각각 연결된 용액 공급부를 구비할 수 있다. 이러한 구성에 의해서, 용액 공급부로부터 노즐(220)로 제공된 용액을 노즐(220)의 배출구(221)를 통해 기판(W)으로 배출시킬 수 있고, 이를 통해 기판(W)에 패턴을 형성할 수 있는 것이다.
그런데, 종래에는, 전술한 것처럼, 기판(W) 패턴 형성 공정 중 노즐(220)을 통해 배출되는 용액 중 극히 일부가 노즐(220)의 외벽을 타고 올라가는 현상이 발생되었고, 이것이 방울이 되어 낙하되는 문제가 발생될 수 있었다. 아울러, 공정이 잠시 중단되는 시간에 용액이 다시 흘러내려 노즐(220)의 배출구(221)를 막는 현상도 발생될 수 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 본 실시예의 노즐젯 헤드 모듈(200)은, 도 2 내지 도 4에 도시된 것처럼, 각각의 노즐(220)에 착탈 가능하게 결합되어 노즐(220)의 외벽을 타고 용액이 흐르는 것을 방지하는 역류 방지부(250)를 더 포함한다.
본 실시예의 역류 방지부(250)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 노즐(220)을 전체적으로 감싸는 형상을 가지며, 노즐(220)의 배출구(221)에 대응되는 부분은 관통구(253)가 형성되어 있다. 따라서 노즐(220)의 배출구(221)를 통해 배출되는 용액은 역류 방지부(250)의 관통구(253)를 통해 기판(W) 방향으로 제공될 수 있다.
보다 상세하게는, 본 실시예의 역류 방지부(250)는, 도 2 및 도 3을 참조하면, 관통구(253)가 형성된 방지몸체(251)와, 방지몸체(251)에 장착되며 용액이 노즐(220)의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하기 위해 노즐(220)의 배출구(221) 방향(도 2의 화살표 A 방향)으로 기체(N2)를 유입시키는 기체 유입부재(261)와, 기체 유입부재(261)에 의해 유입된 기체를 다시 노즐(220)의 배출구(221)의 반대 방향(화살표 B 방향)으로 회수하는 기체 회수부재(265)를 포함할 수 있다.
기체 유입부재(261)는 도 2에 도시된 것처럼, 방지몸체(251)의 상단 커버부재(252)에 장착되어 방지몸체(251)의 내부 공간으로 기체를 유입시킨다. 이 때 기체의 방향은 노즐(220)의 배출구(221) 방향, 즉 도 2 에서 하방을 향하게 된다.
따라서 기판(W) 패턴 형성 공정 중 노즐(220)이 용액을 통해 배출될 때 일부가 노즐(220)의 외벽을 타고 올라오더라도 기체 유입부재(261)를 통해 하방으로 기체를 불어줌으로써 용액이 타고 올라오는 것을 저지할 수 있고 아울러 방울 등이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
다만, 용액이 배출구(221)를 통해 기판(W) 방향으로 배출될 때 기체의 세기가 강하면 용액의 배출 방향에 영향을 끼칠 수 있으므로 용액의 배출 방향에 영향이 미치지 않은 범위 내에서 기체는 유입될 수 있다.
한편, 기체 유입부재(261)를 통해 유입되는 기체는 질소(N2) 기체인데, 이 기체가 배출구(221)를 통해 기판(W) 방향으로 제공되는 경우 기판(W) 패턴 형성에 영향을 끼칠 수 있으므로, 본 실시예의 역류 방지부(250)는 기판 회수부재(265)를 더 구비하여 기체를 다시 회수할 수 있다.
본 실시예의 기판 회수부재(265)는, 도 2 및 도 3에 도시된 것처럼, 방지몸체(251)의 상단 커버부재(252)에 결합되되, 기판 회수부재(265)에 비해 더 내측에 결합될 수 있다. 이러한 기판 회수부재(265)는 흡입부에 연결되어 흡입부로부터 제공되는 흡입력을 방지몸체(251) 내부 공간의 기체를 빨아들인다.
다만, 이때 기체 유입부재(261)를 통해 유입되는 기체가 노즐(220)의 배출구(221)에 인접하기까지 제공되었다가 기체 회수부재(265)를 통해 회수되어야 하므로 기체 유입부재(261)가 기체를 유입시키는 세기에 비해 상대적으로 작은 세기로 기체의 흡입이 이루어져야 한다.
이를 통해, 노즐(220)로부터 배출되는 용액이 노즐(220)의 외벽을 따라 올라오는 것을 방지할 수 있음은 물론 기체 유입부재(261)에 의해 유입되는 기체를 다시 기체 회수부재(265)가 회수함으로써 노즐(220)로부터 배출되는 용액이 기판(W) 방향으로 정확하게 낙하될 수 있도록 한다.
한편, 본 실시예의 노즐젯 헤드 모듈(200)은, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 역류 방지부(250) 내에서 노즐(220)의 위치가 견고히 유지되도록 복수 개의 고정 디스크(270)를 더 포함한다.
본 실시예의 고정 디스크(270)는, 원형의 디스크 형상으로 마련된다. 고정 디스크(270)의 외경은 방지몸체(251)의 내경에 대응되고, 고정 디스크(270)의 내경은 노즐(220)의 외경에 대응된다. 따라서 노즐(220)이 고정 디스크(270)에 끼워지는 형태를 가지고, 고정 디스크(270)가 방지몸체(251)에 끼워지는 형태를 가지는 것이며, 이를 통해 방지몸체(251) 내에서 노즐(220)이 견고하게 고정될 수 있는 것이다.
이러한 고정 디스크(270)는, 도 5에 도시된 것처럼, 메쉬망 구조를 갖는다. 즉 전면에 걸쳐 홀(271)이 형성되어 있는 것이다. 따라서 기체 유입부재(261)에 의해 유입된 기체가 노즐(220) 방향으로 향할 수 있고 반대로 기체 회수의 과정도 원활하게 이루어질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐(220)에 의해 기판(W) 패턴 형성 공정 중 역류 방지부(250)를 이용하여 노즐(220)로부터 배출되는 용액 중 일부가 노즐(220)의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지할 수 있어 용액 방울의 낙하 또는 노즐(220)의 배출구(221)의 막힘 현상을 방지할 수 있고 이를 통해 기판(W) 패턴 형성의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 노즐젯 시스템
110 : 몸체부
130 : 잉크젯 헤드 모듈
140 : 촬영부
150 : 서브 스테이지
200 : 노즐젯 헤드 모듈
220 : 노즐
221 : 배출구
250 : 역류 방지부
251 : 방지몸체
253 : 상단 커버부재
261 : 기체 유입부재
265 : 기체 회수부재
270 : 고정 디스크

Claims (8)

  1. 노즐젯 시스템에 구비되어 기판에 패턴을 형성하는 노즐젯 헤드 모듈에 있어
    서,
    용액을 배출하는 배출구를 구비한 노즐; 및
    상기 노즐을 감싸도록 결합되며, 상기 노즐로부터 배출된 상기 용액이 상기
    노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하는 역류 방지부를 포함하여 구성되며,
    상기 역류 방지부는,
    상기 노즐에 대응되는 형상을 가지며, 상기 배출구에 대응하는 부분이 관통
    구로 마련되는 방지몸체; 및
    상기 방지몸체에 장착되며, 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는
    것을 방지하기 위해 상기 노즐의 배출구 방향으로 기체를 유입시키는 기체 유입부재를 포함하며,
    상기 역류 방지부는,
    상기 방지몸체에 장착되며, 상기 기체 유입부재에 의해 유입된 상기 기체를 다시 상기 노즐의 배출구의 반대 방향으로 다시 회수하는 기체 회수부재를 더 포함하는 노즐젯 헤드 모듈.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 노즐의 외벽 및 상기 방지몸체의 내벽 사이에는 상기 방지몸체에 상기 노즐을 고정시키기 위한 원형의 고정 디스크가 적어도 하나 구비되는 노즐젯 헤드 모듈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고정 디스크는 상기 기체 유입부재로부터 유입되는 상기 기체가 상기 노즐의 상기 배출구까지 다다른 후 상기 기체 회수부재에 의해 회수될 수 있도록 메쉬망 타입으로 형성되는 노즐젯 헤드 모듈.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기체 유입부재를 통해 유입되는 상기 기체는 질소(N2)인 노즐젯 헤드 모듈.
  7. 기판이 로딩되는 스테이지를 갖는 수평 프레임과, 상기 수평 프레임에 장착되는 장착 프레임을 구비하는 몸체부;
    상기 장착 프레임에 장착되어 상기 기판에 패턴을 형성하는 노즐젯 헤드 모듈; 및
    상기 장착 프레임에 장착되어 상기 노즐젯 헤드 모듈에 의해 패턴 처리된 부분 중 이상이 있는 부분을 처리해주는 잉크젯 헤드 모듈을 포함하여 구성되며,
    상기 노즐젯 헤드 모듈은,
    용액을 배출하는 배출구를 구비한 노즐; 및
    상기 노즐을 감싸도록 결합되며, 상기 노즐로부터 배출된 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하는 역류 방지부를 포함하여 구성되며,
    상기 역류 방지부는,
    상기 노즐에 대응되는 형상을 가지며, 상기 배출구에 대응하는 부분이 관통공으로 마련되는 방지몸체;
    상기 방지몸체에 장착되며, 상기 용액이 상기 노즐의 외벽을 타고 올라오는 것을 방지하기 위해 상기 노즐의 배출구 방향으로 기체를 유입시키는 기체 유입부재; 및
    상기 방지몸체에 장착되며, 상기 기체 유입부재에 의해 유입된 상기 기체를 다시 상기 노즐의 배출구의 반대 방향으로 다시 회수하는 기체 회수부재를 포함하는 노즐젯 시스템.
  8. 삭제
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KR20210004182A (ko) * 2019-07-03 2021-01-13 세메스 주식회사 흄유입방지구조를 갖는 액적토출장치

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