KR20200107404A - 디스플레이 패널 검사장치 - Google Patents

디스플레이 패널 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20200107404A
KR20200107404A KR1020190026492A KR20190026492A KR20200107404A KR 20200107404 A KR20200107404 A KR 20200107404A KR 1020190026492 A KR1020190026492 A KR 1020190026492A KR 20190026492 A KR20190026492 A KR 20190026492A KR 20200107404 A KR20200107404 A KR 20200107404A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display panel
reference pattern
camera
monitor
phase
Prior art date
Application number
KR1020190026492A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102199314B1 (ko
Inventor
이상윤
강성용
이현식
Original Assignee
(주) 인텍플러스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 인텍플러스 filed Critical (주) 인텍플러스
Priority to KR1020190026492A priority Critical patent/KR102199314B1/ko
Priority to CN201911308754.2A priority patent/CN111665260B/zh
Priority to TW108148173A priority patent/TWI719784B/zh
Publication of KR20200107404A publication Critical patent/KR20200107404A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102199314B1 publication Critical patent/KR102199314B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/063—Illuminating optical parts
    • G01N2201/0636—Reflectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것이다. 모니터는 주기적인 기준 패턴을 생성해서 검사대상인 디스플레이 패널의 표면에 대해 전반사 임계각보다 큰 입사각으로 비춘다. 카메라는 디스플레이 패널의 표면에 기준 패턴이 비춰진 상태에서 디스플레이 패널의 표면으로부터 반사되는 이미지를 획득한다. 컨트롤러는 모니터에 의해 기준 패턴을 1주기 내에서 일정 각도만큼씩 위상 이동시켜가면서 카메라에 의해 이미지를 순차적으로 획득한 후, 획득된 이미지들을 기반으로 디스플레이 패널의 표면에 대한 위상과 기울기를 산출함에 따라 디스플레이 패널의 표면에 대한 불량 여부를 판별한다.

Description

디스플레이 패널 검사장치{Apparatus for inspecting display panel}
본 발명은 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 패널의 외관 불량을 검사하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 스마트폰, 노트북 컴퓨터, 텔레비전, 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이 패널이 널리 이용되고 있다. 이러한 디스플레이 패널로는 LCD(Liquid Crystal Display) 패널, OLED(Organic Light Emitting Diode) 패널 등이 있다.
한편, 디스플레이 패널의 생산 과정에서 디스플레이 패널의 표면에 스크래치(scratch), 크랙(crack), 치핑(chipping) 등과 같은 외관 불량이 발생할 수 있다. 특히, OLED 패널은 표면이 플렉시블한 기판으로 구성되어 경도가 낮으므로 표면이 눌려져 덴트(dent) 등과 같은 외관 불량이 발생할 수도 있다. 따라서, 디스플레이 패널의 생산 현장에서는 디스플레이 패널의 외관 불량을 검사하기 위한 공정이 실시된다.
그런데, 종래에 작업자가 육안으로 검사하는 경우, 작업자의 숙련도 등의 개인차로 인하여 불량 검출의 신뢰성이 떨어지고, 작업자들이 불량 검출을 위하여 장시간 집중하여 작업을 하는 경우 눈이 피로하게 되어 생산성이 저하되는 문제가 있다.
본 발명의 과제는 디스플레이 패널의 외관 불량 검출을 자동화하여 생산성을 향상시킬 수 있고 불량 검출의 신뢰도를 높일 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공함에 있다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치는 모니터와, 카메라, 및 컨트롤러를 포함한다. 모니터는 주기적인 기준 패턴을 생성해서 검사대상인 디스플레이 패널의 표면에 대해 전반사 임계각보다 큰 입사각으로 비춘다. 카메라는 디스플레이 패널의 표면에 기준 패턴이 비춰진 상태에서 디스플레이 패널의 표면으로부터 반사되는 이미지를 획득한다. 컨트롤러는 모니터에 의해 기준 패턴을 1주기 내에서 일정 각도만큼씩 위상 이동(phase shifting)시켜가면서 카메라에 의해 이미지를 순차적으로 획득한 후, 획득된 이미지들을 기반으로 디스플레이 패널의 표면에 대한 위상과 기울기를 산출함에 따라 디스플레이 패널의 표면에 대한 불량 여부를 판별한다.
여기서, 컨트롤러는 모니터에 의해 기준 패턴을 90°만큼씩 위상 이동시켜가면서 카메라에 의해 4개의 이미지들을 순차적으로 획득할 수 있다.
그리고, 디스플레이 패널 검사장치는 디스플레이 패널의 표면으로부터 반사되는 빛을 받아서 반사시키는 미러를 포함하며, 카메라는 미러에 의해 반사되는 빛을 받도록 배치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 디스플레이 패널의 외관 불량 검출을 자동화하여 생산성을 향상시킬 수 있고 불량 검출의 신뢰도를 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치에 대한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치를 일부 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 2에 대한 사시도이다.
도 4는 기준 패턴을 90°만큼씩 위상 이동시켜가면서 순차적으로 획득한 이미지들의 예를 나타낸 사진이다.
도 5는 도 4에 도시된 이미지들을 기반으로 구해진 위상 이미지 및 기울기 이미지를 나타낸 사진이다.
본 발명에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치에 대한 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치를 일부 나타낸 구성도이다. 도 3은 도 2에 대한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치(100)는 모니터(110)와, 카메라(120), 및 컨트롤러(130)를 포함한다.
모니터(110)는 주기적인 기준 패턴(111)을 생성해서 검사대상인 디스플레이 패널(10)의 표면을 비춘다. 여기서, 디스플레이 패널(10)은 OLED 패널에 해당할 수 있으나, LCD 패널 등에 해당할 수도 있다. 디스플레이 패널(10)은 검사될 표면이 상방을 향한 상태로 검사 스테이지(101)의 XY 수평면에 안착된 경우, 모니터(110)는 디스플레이 패널(10)의 상측에서 설정 입사각으로 기준 패턴(111)을 비추도록 배치될 수 있다. 검사 스테이지(101)는 검사 프레임(102)에 고정되어 지지될 수 있으며, 모니터(110)는 검사 프레임(102)에 고정되어 지지될 수 있다.
기준 패턴(111)은 상대적으로 밝은 띠와 상대적으로 어두운 띠가 교번해서 배열된 형태로 이루어질 수 있다. 밝은 띠와 어두운 띠는 각각 일정 주기를 갖는다. 모니터(110)는 LCD 장치 또는 OLED 장치 등과 같은 평면 디스플레이 장치로 이루어짐으로써, 면광원 형태로 디스플레이 패널(10)의 표면 전체에 걸쳐 기준 패턴(111)을 비출 수 있다. 모니터(110)는 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 외관 검사시 기준 패턴(111)을 1주기 내에서 일정 각도만큼씩 위상 이동시키도록 컨트롤러(130)에 의해 제어된다.
디스플레이 패널(10)은 표면을 통해 빛을 투과시키도록 구성되어 있으므로, 모니터(110)로부터 디스플레이 패널(10)의 표면으로 입사되는 기준 패턴(111)은 전반사되어 카메라(120)로 제공될 필요가 있다. 이를 위해, 모니터(110)는 기준 패턴(111)을 디스플레이 패널(10)의 표면에 대해 전반사 임계각보다 큰 입사각(α)으로 비춘다. 기준 패턴(111)의 입사각(α)은 커질수록 기준 패턴(111)의 전반사가 잘 이루어질 수 있으나, 디스플레이 패널 검사장치(100)의 풋프린트(Footprint)가 증가하게 된다. 디스플레이 패널(10)이 OLED 패널인 경우, 기준 패턴(111)의 입사각(α)은 55 ~ 57°로 설정될 수 있다.
카메라(120)는 디스플레이 패널(10)의 표면에 기준 패턴(111)이 비춰진 상태에서 디스플레이 패널(10)의 표면으로부터 반사되는 이미지를 획득한다. 기준 패턴(111)은 디스플레이 패널(10)의 표면에 비춰지면 디스플레이 패널(10)의 표면 형상에 따라 영향을 받아 변형될 수 있다. 카메라(120)는 변형된 기준 패턴에 대한 이미지를 획득함으로써, 디스플레이 패널(10)의 표면 형상을 역으로 구할 수 있게 한다.
카메라(120)는 CCD 카메라(charge-coupled device camera) 등으로 각각 이루어질 수 있다. CCD 카메라는 전하 결합 소자(CCD)를 사용하여 이미지를 전기 신호로 변환하는 장치이다. 카메라(120)는 디스플레이 패널(10)의 표면으로부터 반사되는 빛을 렌즈를 거쳐 전달받을 수 있다.
카메라(120)는 디스플레이 패널 검사장치(100)의 풋프린트를 최소화할 수 있게 모니터(110)와 함께 디스플레이 패널(10)의 한쪽에 배치될 수 있다. 예를 들어, 모니터(110)가 디스플레이 패널(10)의 왼쪽에 배치되는 경우, 카메라(120)는 디스플레이 패널(10)의 왼쪽에서 모니터(100)보다 높게 배치될 수 있다. 이 경우, 미러(140)는 디스플레이 패널(10)의 표면으로부터 반사되는 빛을 받아서 카메라(120)로 반사시킬 수 있다.
미러(140)는 디스플레이 패널(10)을 사이에 두고 모니터(110)의 반대쪽에 배치된다. 미러(140)는 반사면이 모니터(110) 쪽을 향한 상태로 수직으로 세워져 배치될 수 있다. 미러(140)는 검사 프레임(102)에 고정되어 지지될 수 있다. 카메라(120)는 미러(140)에 의해 반사되는 빛을 받도록 배치될 수 있다. 카메라(120)는 수광축이 수평면에 대해 설정 각도(β)로 경사진 상태로 브래킷 등을 매개로 검사 프레임(102)에 고정될 수 있다. 기준 패턴(111)의 입사각(α)이 56°인 경우, 카메라(120)의 수광축 각도(β)는 34°를 이룰 수 있다.
컨트롤러(130)는 모니터(110)에 의해 기준 패턴(111)을 1주기 내에서 일정 각도만큼씩 위상 이동(phase shifting)시켜가면서 카메라(120)에 의해 이미지를 순차적으로 획득한 후, 획득된 이미지들을 기반으로 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 위상과 기울기를 산출함에 따라 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 불량 여부를 판별한다.
디스플레이 패널(10)의 표면에 스크래치, 크랙, 치핑, 덴트 등과 같은 외관 불량이 있는 경우, 컨트롤러(130)에 의해 산출되어 구현된 위상 이미지와 기울기 이미지에 외관 불량 영역이 나타나게 된다. 컨트롤러(130)는 위상 이미지와 기울기 이미지를 처리해서 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 불량 여부를 판별하게 된다.
예를 들어, 컨트롤러(130)는 위상 이미지와 기울기 이미지에 대해 레이블링(labeling) 기법을 이용하여 외관 불량 영역을 검출할 수 있다. 레이블링은 이미지의 모든 화소를 탐색하여 4-연결성(4-connected)이나 8-연결성(8-connected) 등으로 연결 관계를 이용함으로써, 번호를 매기는 방법으로 각 객체를 구분하는 방법이다.
컨트롤러(130)는 레이블링을 거친 위상 이미지 데이터 및 기울기 이미지 데이터를 기반으로 배경 영역과 외관 불량 영역을 구분하는 과정을 통해 외관 불량 영역을 검출할 수 있다. 컨트롤러(130)는 외관 불량 영역이 검출되면 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 불량이 존재하는 것으로 판단한다. 이때, 컨트롤러(130)는 AND 연산을 통해 위상 이미지 데이터와 기울기 이미지 데이터 모두로부터 외관 불량 영역이 검출되면 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 불량이 존재하는 것으로 판단할 수 있다. 컨트롤러(130)는 제어프로그램을 수행할 수 있는 적어도 하나의 프로세서로 구성될 수 있다.
한편, 컨트롤러(130)는 모니터(110)에 의해 기준 패턴(111)을 90°만큼씩 위상 이동시켜가면서 카메라(120)에 의해 4개의 이미지들을 순차적으로 획득할 수 있다. 예를 들어, 컨트롤러(130)는 모니터(110)에 의해 기준 패턴(111)을 90°만큼씩 위상 이동시켜가면서 카메라(120)에 의해 4개의 이미지들을 순차적으로 획득하는 경우, 4개의 이미지의 밝기 값은 하기 수학식 1과 같이 표현된다.
Figure pat00001
여기서, x, y는 공간 변수(spatial variables)이다.
Figure pat00002
는 기준 패턴의 평균 밝기 값이다.
Figure pat00003
는 기준 패턴의 가시도(visibility)이다.
Figure pat00004
는 측정하고자 하는 위상 값이다.
Figure pat00005
는 기준 패턴을 δ만큼, 즉 90°씩 이동시킨 것을 의미한다.
상기 수학식 1에 표현된 4개의 이미지의 밝기 값들인,
Figure pat00006
,
Figure pat00007
,
Figure pat00008
,
Figure pat00009
을 삼각함수 동치값의 계산에 의해 변환한 후, 연립 방정식을 풀면, 하기 수학식 2와 같이 디스플레이 패널 표면의 각 지점에 대한 위상
Figure pat00010
을 구할 수 있다.
Figure pat00011
이렇게 구해진 위상
Figure pat00012
을 위상과 기울기의 관계를 나타내는 하기 수학식 3에 대입하면, 기울기를 구할 수 있다.
Figure pat00013
여기서,
Figure pat00014
,
Figure pat00015
는 각각 국소 위치(
Figure pat00016
)의 x축 및 y축 기울기이고, h는 데이터 간격, N는 데이터 개수이다.
예를 들어, 디스플레이 패널(10)의 표면에 외관 불량이 있는 경우, 컨트롤러(130)가 모니터(110)에 의해 기준 패턴(111)을 90°만큼씩 위상 이동시켜가면서 카메라(120)에 의해 4개의 이미지들을 순차적으로 획득하면, 획득된 이미지들은 도 4의 (a), (b), (c), (d)에 도시된 바와 같이 나타날 수 있다.
컨트롤러(130)는 획득된 이미지들을 기반으로 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 위상과 기울기를 산출하면, 위상 이미지는 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 구해지고, 기울기 이미지는 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 구해질 수 있다. 도 5의 (a) 및 (b)에 도시된 바에 따르면, 위상 이미지와 기울기 이미지 상에 불량 영역(DZ)이 나타나 있음을 확인할 수 있다. 컨트롤러(130)는 위상 이미지와 기울기 이미지를 전술한 예와 같이, 처리해서 디스플레이 패널(10)의 표면에 대한 불량 여부를 판별하게 된다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치(100)에 의하면, 디스플레이 패널(10)의 외관 불량 검출을 자동화하여 생산성을 향상시킬 수 있고 불량 검출의 신뢰도를 높일 수 있게 된다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10..디스플레이 패널
110..모니터
111..기준 패턴
120..카메라
140..미러
130..컨트롤러

Claims (3)

  1. 주기적인 기준 패턴을 생성해서 검사대상인 디스플레이 패널의 표면에 대해 전반사 임계각보다 큰 입사각으로 비추는 모니터;
    상기 디스플레이 패널의 표면에 기준 패턴이 비춰진 상태에서 상기 디스플레이 패널의 표면으로부터 반사되는 이미지를 획득하는 카메라; 및
    상기 모니터에 의해 기준 패턴을 1주기 내에서 일정 각도만큼씩 위상 이동(phase shifting)시켜가면서 상기 카메라에 의해 이미지를 순차적으로 획득한 후, 획득된 이미지들을 기반으로 상기 디스플레이 패널의 표면에 대한 위상과 기울기를 산출함에 따라 상기 디스플레이 패널의 표면에 대한 불량 여부를 판별하는 컨트롤러;
    를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 상기 모니터에 의해 기준 패턴을 90°만큼씩 위상 이동시켜가면서 상기 카메라에 의해 4개의 이미지들을 순차적으로 획득하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널의 표면으로부터 반사되는 빛을 받아서 상기 카메라로 반사시키는 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
KR1020190026492A 2019-03-07 2019-03-07 디스플레이 패널 검사장치 KR102199314B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190026492A KR102199314B1 (ko) 2019-03-07 2019-03-07 디스플레이 패널 검사장치
CN201911308754.2A CN111665260B (zh) 2019-03-07 2019-12-18 显示面板检查装置
TW108148173A TWI719784B (zh) 2019-03-07 2019-12-27 顯示面板檢查裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190026492A KR102199314B1 (ko) 2019-03-07 2019-03-07 디스플레이 패널 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200107404A true KR20200107404A (ko) 2020-09-16
KR102199314B1 KR102199314B1 (ko) 2021-01-06

Family

ID=72381442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190026492A KR102199314B1 (ko) 2019-03-07 2019-03-07 디스플레이 패널 검사장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102199314B1 (ko)
CN (1) CN111665260B (ko)
TW (1) TWI719784B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022177049A1 (ko) * 2021-02-19 2022-08-25 삼성전자(주) 테스트 장치의 표면 불량을 검출하는 전자장치 및 그 제어방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080090208A (ko) * 2007-04-04 2008-10-08 한국과학기술원 임계각 및 표면 플라스몬 공명각의 동시 측정 장치 및 방법
JP2009092426A (ja) * 2007-10-04 2009-04-30 Nippon Steel Corp 表面検査方法及び表面検査装置
KR20110087551A (ko) * 2010-01-26 2011-08-03 주식회사 고영테크놀러지 형상 검사장치 및 형상 검사방법
KR20170000647A (ko) * 2015-06-24 2017-01-03 연세대학교 산학협력단 다중모드 영상을 확보하는 영상정보 획득장치 및 그 방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4645068B2 (ja) * 2004-06-04 2011-03-09 旭硝子株式会社 表面形状の検査方法および検査装置
JP4685971B2 (ja) * 2009-09-24 2011-05-18 株式会社ケー・デー・イー 検査システム及び検査方法
JP6013819B2 (ja) * 2012-07-17 2016-10-25 倉敷紡績株式会社 表面形状検査装置及び表面形状検査方法
US10811323B2 (en) * 2016-03-01 2020-10-20 Asml Netherlands B.V. Method and apparatus to determine a patterning process parameter
JP6265253B1 (ja) * 2016-12-15 2018-01-24 オムロン株式会社 検査装置および検査方法
JP6584454B2 (ja) * 2017-06-14 2019-10-02 キヤノン株式会社 画像処理装置及び方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080090208A (ko) * 2007-04-04 2008-10-08 한국과학기술원 임계각 및 표면 플라스몬 공명각의 동시 측정 장치 및 방법
JP2009092426A (ja) * 2007-10-04 2009-04-30 Nippon Steel Corp 表面検査方法及び表面検査装置
KR20110087551A (ko) * 2010-01-26 2011-08-03 주식회사 고영테크놀러지 형상 검사장치 및 형상 검사방법
KR20170000647A (ko) * 2015-06-24 2017-01-03 연세대학교 산학협력단 다중모드 영상을 확보하는 영상정보 획득장치 및 그 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022177049A1 (ko) * 2021-02-19 2022-08-25 삼성전자(주) 테스트 장치의 표면 불량을 검출하는 전자장치 및 그 제어방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN111665260A (zh) 2020-09-15
TWI719784B (zh) 2021-02-21
TW202033955A (zh) 2020-09-16
KR102199314B1 (ko) 2021-01-06
CN111665260B (zh) 2023-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006242886A (ja) 表面疵検査装置
WO2018137233A1 (en) Optical inspection system
JP2012078144A (ja) 透明体シート状物の表面欠陥検査装置
KR20110078958A (ko) 엘시디 패널 외관 검사장치
TWI495867B (zh) Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method
CN109856155A (zh) 一种基于偏振光的液晶显示屏表面检测装置及方法
JPWO2007132925A1 (ja) 表面検査装置
KR102199314B1 (ko) 디스플레이 패널 검사장치
JP6482710B1 (ja) 外観検査装置及び検査システム
KR20130143226A (ko) 도광판 검사장치
CN116818785B (zh) 一种基于机器视觉的缺陷检测方法、系统及介质
US10942132B2 (en) Apparatus and method for inspecting glass substrate
TW202129269A (zh) 基於雷射的夾雜物偵測系統及方法
JP2009097977A (ja) 外観検査装置
JP2012237585A (ja) 欠陥検査方法
KR20100093213A (ko) 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그방법
JP2009287980A (ja) 外観検査装置
WO2023164809A1 (zh) 曲面基板气泡检测方法及检测系统
KR20110119079A (ko) 기판검사장치 및 기판검사방법
KR101188404B1 (ko) 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법
KR20190052516A (ko) 표면 검사 장치
KR20190001789A (ko) 멀티 광학 디스플레이 검사 장치
CN114324344A (zh) 行扫描用非郎伯表面检查系统
JPH08304295A (ja) 表面欠陥検出方法および装置
JP5948974B2 (ja) 表面欠陥検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant