KR20200101582A - 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법 및 몰리브덴 와이어 세선 세척 공정 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법에 관한 것으로서, 몰리브덴 와이어를 신선하는 신선공정, 신성된 와이어를 방적기를 이용하여 메쉬를 형성하는 방적하는 방적공정 및 상기 방적공정을 통해 형성된 메쉬를 후처리하는 후처리 공정을 포함한다. 상기 신신공정과 방적공정 사이에 신선된 몰리브덴 와이어를 세척하는 전해연마세척공정 및 초음파세척공정을 더 포함하며, 상기 전해연마세척공정은 직류 및 교류 전해를 포함하며, 와이어를 지지하는 카본 전극을 사용하는 것 특징으로 한다.
Description
본 발명은 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법 및 몰리브덴 와이어 세선 세척 공정에 관한 것으로서, 반도체 증착용 ALN Heater에 사용되는 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법 및 몰리브덴 와이어 세선 세척 공정에 관한 것이다.
첨단 마이크로 칩은, 스마트폰, 컴퓨터, 공장 자동화, 최첨단 마이크로 프로세서, 메모리, 증착, 식각, 제거, 세척 공정 중 증착공장에 Heater가 사용된다. 이중 증착 설비는 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD), 원자층증착(Atomic Layer Deposition, ALD)등이 있으며, 증착 방법은 칩에서 접점이나 전극, 플러그와 같은 전도성 부분을 형성하는 데 사용된다.
증착용 ALN Heater은 Aluminum Nitride 소결 방식으로 이루어지며, Mo Wire 열선을 이용하며 구체적으로 Mo Wire Mesh를 이용한 전기저항 가열 방식으로 이루어진다.
본 발명은 정밀한 세선을 통한 고정밀 와이어 메쉬를 제공하고, 나아가 꼬임이나 끊긴 부분이 존재하지 않으며, 이물질에 의한 오염 및 균열을 방지하고, 표면 변색의 문제를 해소하는 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 발명은 상술한 목적을 달성하기 위하여 몰리브덴 와이어를 신선하는 신선공정, 신성된 와이어를 방적기를 이용하여 메쉬를 형성하는 방적하는 방적공정 및 상기 방적공정을 통해 형성된 메쉬를 후처리하는 후처리 공정을 포함한다. 상기 신신공정과 방적공정 사이에 신선된 몰리브덴 와이어를 세척하는 전해연마세척공정 및 초음파세척공정을 더 포함하며, 상기 전해연마세척공정은 직류 및 교류 전해를 포함하며, 와이어를 지지하는 카본 전극을 사용하는 것 특징으로 한다.
본 발명은 몰리브덴 와이어를 신선하는 신선공정, 신성된 와이어를 방적기를 이용하여 메쉬를 형성하는 방적하는 방적공정 및 상기 방적공정을 통해 형성된 메쉬를 후처리하는 후처리 공정을 포함하며, 신성공정을 통하여 정밀한 세선을 제공하며, 정밀 방적을 통하여 고정밀 와이어 메쉬를 제공하고, 나아가 꼬임이나 끊긴 부분이 존재하지 않으며, 세척 및 후처리 공정을 통하여 이물질에 의한 오염 및 균열을 방지하고, 표면 변색의 문제를 해소하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰리브덴 와이어의 전해연마세척 및 초음파 세척 공정을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰리브덴 와이어의 전해연마세척 및 초음파 세척 공정을 나타낸다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등 물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명은 몰리브덴 와이어를 신선하는 신선공정;
신성된 와이어를 방적기를 이용하여 메쉬를 형성하는 방적하는 방적공정; 및
상기 방적공정을 통해 형성된 메쉬를 후처리하는 후처리 공정;을 기본적으로 포함한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰리브덴 와이어의 전해연마세척 및 초음파 세척 공정을 나타내며, 상기 신신공정과 방적공정 사이에 신선된 몰리브덴 와이어를 세척하는 전해연마세척공정 및 초음파세척공정을 더 포함하며, 상기 전해연마세척공정은 직류 및 교류 전해를 포함하며, 와이어를 지지하는 카본 전극을 사용하는 것 특징으로 한다.
또한, 1㎥규격 Mo Mesh 전용 열처리로를 통하여 열처리 되어지며, 초음파 세척 설비를 통하여 불순물을 제거하고, 검사 측정장비를 통하여 불순물 여부를 정밀 검사를 수행한다.
[개선전]
[개선후]
본 발명에 의해 개선된 와이어 메쉬는 위 결과와 같이 표면의 흠집 내지는 손상이 최소화 된 것을 확인할 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일 개로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Claims (1)
- 몰리브덴 와이어를 신선하는 신선공정;
신성된 와이어를 방적기를 이용하여 메쉬를 형성하는 방적하는 방적공정; 및
상기 방적공정을 통해 형성된 메쉬를 후처리하는 후처리 공정;을 포함하되,
상기 신신공정과 방적공정 사이에 신선된 몰리브덴 와이어를 세척하는 전해연마세척공정 및 초음파세척공정을 더 포함하며,
상기 전해연마세척공정은 직류 및 교류 전해를 포함하며, 와이어를 지지하는 카본 전극을 사용하는 것 특징으로 하는 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법.
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| KR1020190019587A KR20200101582A (ko) | 2019-02-20 | 2019-02-20 | 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법 및 몰리브덴 와이어 세선 세척 공정 |
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| KR1020190019587A KR20200101582A (ko) | 2019-02-20 | 2019-02-20 | 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법 및 몰리브덴 와이어 세선 세척 공정 |
Publications (1)
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| KR1020190019587A KR20200101582A (ko) | 2019-02-20 | 2019-02-20 | 몰리브덴 와이어 메쉬 제조 방법 및 몰리브덴 와이어 세선 세척 공정 |
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| KR (1) | KR20200101582A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115627468A (zh) * | 2022-10-14 | 2023-01-20 | 广东冀安筛网有限公司 | 一种不锈钢丝网的制备方法 |
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2019
- 2019-02-20 KR KR1020190019587A patent/KR20200101582A/ko unknown
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