KR20200096199A - Spray apparatus and method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 분사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 등의 대상물을 세정하기 위해서 유체를 분사하는 분사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an injection device and method, and more particularly, to an injection device and method for injecting a fluid to clean an object such as a substrate.
일반적으로, OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Lipuid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등을 이용한 평판형 디스플레이 장치들은 화질이 우수하고, 비교적 저전력을 사용한다는 점에서 널리 사용되고 있다.In general, flat panel display devices using OLED (Organic Light Emitting Diodes), LCD (Lipuid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), ELD (Electro luminescent Display), VFD (Vacuum Fluorescent Display), etc. However, it is widely used in that it uses relatively low power.
이러한, 평판형 디스플레이 장치들은 유리 기판이나 필름 기판이나 반도체 기판 등의 기판에 수많은 공정들을 수행하여 제작되는 것으로서, 그 과정 상에서 먼지나 기판 조각이나 금속 조각 등 각종 파티클이나 부산물이나 폴리머나 유기물이나 미생물 등의 이물질들이 발생될 수 있다.These flat panel display devices are manufactured by performing numerous processes on a substrate such as a glass substrate, a film substrate, or a semiconductor substrate, and in the process, various particles, by-products, polymers, organic substances, microorganisms, etc. Foreign substances may be generated.
이러한 이물질들을 세정을 위하여, 종래에는 브러쉬나 초음파 진동 등과 같은 물리적인 힘을 이용한 물리적인 방법이 있었다.In order to clean these foreign substances, conventionally, there has been a physical method using a physical force such as a brush or ultrasonic vibration.
그러나, 이러한 물리적인 세정 방법은 기판의 표면에 미세한 스크레치가 발생되거나 기판이 파손되는 등의 문제점들이 있었다.However, this physical cleaning method has problems such as fine scratches or damage to the surface of the substrate.
한편, 대한민국 특허등록 제10-0724696호에 기재된 바와 같이, 물을 분사하여 세정을 수행하는 물 분사부와 물이 분사되기 이전에 상기 세정 목적물의 세정 대상 부위에 설정된 압력을 갖는 스팀을 분사하여 초기적 세정을 행하는 스팀 분사부를 이용한 습식 세정 장치가 개발된 바 있다.On the other hand, as described in Korean Patent Registration No. 10-0724696, a water spray unit that performs cleaning by spraying water and a steam having a set pressure on the area to be cleaned of the object to be cleaned before water is sprayed, A wet cleaning device using a steam injection unit for red cleaning has been developed.
그러나, 이러한 종래의 세정 장치는 분사된 유체에 의해 기판으로부터 순간적으로 분리된 이물질들이 액막을 따라 부유하다가 기판의 다른 영역이나 다른 기판이나 다른 장비에 흡착되어 재오염시킬 수 있고, 오히려 오염물을 분산시켜서 불량 영역이 확장되거나 다른 기판이나 다른 장비에 악영향을 끼치는 등의 문제점이 있었다.However, in such a conventional cleaning apparatus, foreign matters that are momentarily separated from the substrate by the sprayed fluid may float along the liquid film and then be adsorbed to other areas of the substrate or other substrates or other equipment to recontaminate. Rather, the contaminants are dispersed. There are problems such as expansion of the defective area or adversely affecting other substrates or other equipment.
또한, 이러한 종래의 세정 장치는 대형 기판에 폭 전체에 걸쳐서 유체를 균일하게 분사하지 못하여 세정의 균일도가 떨어지고, 노즐의 형상이 일체형상으로 형성되어 제작이 어렵고, 이로 인하여 장비의 제조 비용과 시간이 증대되는 등의 문제점들이 있었다.In addition, such a conventional cleaning device does not uniformly spray the fluid over the entire width of a large substrate, so that the uniformity of cleaning is lowered, and the shape of the nozzle is formed in an integral shape, making it difficult to manufacture, thereby reducing the manufacturing cost and time of the equipment. There were problems such as increasing.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 분사부와 흡입부가 근접되도록 블록체에 형성하여 기판으로부터 분리된 이물질을 신속하게 흡입함으로써 기판의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있고, 여러 개의 블록들로 이루어진 블록체를 이용하여 제작이 용이하고, 대형 기판이라도 균일한 압력으로 골고루 유체를 분사할 수 있게 하는 분사 장치 및 방법을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The idea of the present invention is to solve these problems, by forming a block body so as to be close to the injection unit and the suction unit to quickly suck foreign substances separated from the substrate, thereby recontaminating the substrate or propagating the contamination to other substrates or equipment. It is to provide a spraying device and method that can prevent and can be easily manufactured by using a block body composed of several blocks, and can spray fluid evenly with a uniform pressure even on a large substrate. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 반사 장치는, 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되며, 상기 블록체는, 베이스 블록; 상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및 상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;을 포함할 수 있다.A reflective device according to the present invention for solving the above problem includes: an injection unit for injecting a first fluid or a mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed to an object; And a suction unit configured to suck foreign substances separated from the object by the first fluid or the mixed fluid, wherein the injection unit and the suction unit are formed in a block body including at least one block, and the block body Is, the base block; An injection unit forming block assembled on the base block and having the injection unit formed on a surface opposite to the base block; And a suction unit forming block assembled on the injection unit forming block and having the suction unit formed on a surface facing the injection unit forming block.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 베이스 블록은, 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성되고, 상기 분사부 형성 블록은, 전체적으로 단면이 하부가 상기 베이스 블록을 따라 올라오다가 상기 베이스 블록과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부가 형성되도록 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 방향으로 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록의 상부 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부가 형성되며, 상기 흡입부 형성 블록은, 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부가 형성될 수 있다.In addition, according to the present invention, the base block is generally formed in a straight cross-section, and the injection unit forming block has a lower cross-section as a whole rises along the base block, 1 A first bent portion is formed in a shape that is first bent in a direction away from the base block so that a fluid dispersion receiving portion is formed, and a second bent portion is formed in a shape in which the upper portion is secondly bent in the upper direction of the base block, The suction unit forming block may have a third bent portion in a shape in which a cross section is first bent below the injection unit forming block as a whole.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 블록체는, 상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 고정시킬 수 있도록 조립된 상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 가압하는 블록 고정체; 상기 제 2 유체 공급부와 연결되도록 상기 베이스 블록에 형성되는 제 2 유체 공급관; 상기 제 1 유체 분산 수용부와 연결되도록 상기 분사부 형성 블록에 형성되는 제 1 유체 공급관; 및 상기 흡입부와 연결되도록 상기 흡입부 형성 블록에 형성되는 흡입관;을 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the block body includes the base block, the injection unit forming block, and the suction unit, and the base block assembled to fix the injection unit forming block and the suction unit forming block. A block fixture for pressing the block; A second fluid supply pipe formed in the base block to be connected to the second fluid supply unit; A first fluid supply pipe formed in the injection unit forming block to be connected to the first fluid dispersion receiving unit; And a suction pipe formed in the suction part forming block to be connected to the suction part.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 분사부는, 상기 제 1 유체가 유입되는 제 1 유체 유입구가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구를 통해 유입된 상기 제 1 유체가 골고루 분산되도록 제 1 폭을 갖는 제 1 유체 분산 수용부; 상기 제 1 유체 분산 수용부의 상기 제 1 유체가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭으로 형성되는 혼합 유체 토출부; 및 상기 제 1 유체 분산 수용부와 상기 혼합 유체 토출부 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체와 상기 제 1 유체의 상기 혼합 유체가 상기 혼합 유체 토출부로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부로 상기 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급부;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the injection unit includes a first fluid inlet through which the first fluid is introduced, and a first fluid having a first width so that the first fluid introduced through the first fluid inlet is evenly distributed. A fluid dispersion receiving unit; A mixed fluid discharge unit formed to have a second width narrower than the first width so that the first fluid of the first fluid dispersion receiving unit can be discharged at high pressure; And the second fluid discharging unit formed between the first fluid dispersion receiving unit and the mixed fluid discharging unit, and allowing the mixed fluid of the second fluid and the first fluid to be discharged to the mixed fluid discharging unit. It may include; a second fluid supply unit for supplying a fluid.
또한, 본 발명에 따른 분사 장치는, 상기 제 1 유체 분산 수용부의 내부에 형성되고, 상기 제 1 유체와 충돌되어 상기 제 1 유체를 골고루 분산시키는 분산체;를 더 포함할 수 있다.In addition, the injection device according to the present invention may further include a dispersion formed inside the first fluid dispersion receiving portion and colliding with the first fluid to evenly distribute the first fluid.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 유체는 적어도 스팀, 순수 스팀, 압축 건조 공기(compressed dry air, CDA), 세정액 스팀 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지고, 상기 제 2 유체는 적어도 물, 순수, 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.In addition, according to the present invention, the first fluid is formed by selecting at least one of steam, pure steam, compressed dry air (CDA), cleaning liquid steam, and combinations thereof, and the second fluid May be made by selecting at least one of water, pure water, compressed dry air, cleaning liquid, and combinations thereof.
또한, 본 발명에 따른 분사 장치는, 상기 대상물의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체의 전방 또는 상기 전방 및 후방에 설치되고, 상기 이물질을 부유시키는 액막을 형성하기 위해서 상기 대상물 상에서 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 결집시킬 수 있도록 상기 대상물에 제 3 유체를 분사하는 제 3 유체 액막 형성 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, the injection device according to the present invention is installed in front of the block body or at the front and rear of the block body based on the traveling direction of the object, and the first fluid or the first fluid on the object to form a liquid film floating the foreign matter It may further include a third fluid film forming apparatus for injecting a third fluid to the object so as to collect the mixed fluid.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치는, 내부에 상기 제 3 유체를 수용하는 제 3 유체 수용 공간이 형성되고, 복수개의 분사홀이 형성되는 내통; 및 상기 내통을 둘러싸는 형상으로 상기 내통과 이격되게 형성되고, 상기 분사홀과 어긋난 위치에 분사 슬릿이 형성되는 외통;을 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the third fluid film forming apparatus includes: an inner cylinder in which a third fluid receiving space is formed to receive the third fluid, and a plurality of injection holes are formed; And an outer cylinder that surrounds the inner cylinder and is formed to be spaced apart from the inner cylinder, and in which a jet slit is formed at a position displaced from the jet hole.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치는, 상기 외통의 상기 분사 슬릿의 분사 각도를 조절하는 각도 조절 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the third fluid film forming apparatus may further include an angle adjusting device for adjusting a spray angle of the spray slit of the outer cylinder.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 분사 방법은, 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되며, 상기 블록체는, 베이스 블록; 상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및 상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;을 포함하는 분사 장치를 이용한 분사 방법에 있어서, 상기 분사부를 이용하여 상기 대상물에 상기 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합된 상기 혼합 유체를 분사하는 단계; 및 상기 흡입부를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 단계;를 포함할 수 있다.On the other hand, the injection method according to the spirit of the present invention for solving the above problems, the injection unit for injecting a first fluid or a mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed to an object; And a suction unit configured to suck foreign substances separated from the object by the first fluid or the mixed fluid, wherein the injection unit and the suction unit are formed in a block body including at least one block, and the block body Is, the base block; An injection unit forming block assembled on the base block and having the injection unit formed on a surface opposite to the base block; And a suction unit forming block assembled on the injection unit forming block and having the suction unit formed on an opposite surface opposite to the injection unit forming block, wherein the object using the injection unit Spraying the first fluid or the mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed; And suctioning foreign substances separated from the object by the first fluid or the mixed fluid using the suction unit.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 기판에 유체를 분사하는 분사부와 유체에 의해 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부가 서로 근접되도록 일체화된 블록체에 형성되어 기판으로부터 분리된 이물질을 신속하게 흡입함으로써 기판의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있고, 여러 개의 블록들로 이루어진 블록체를 이용하여 제작이 용이하고, 대형 기판이라도 균일한 압력으로 골고루 유체를 분사할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to some embodiments of the present invention made as described above, foreign matter separated from the substrate by being formed in an integrated block body such that the injection unit for injecting fluid onto the substrate and the suction unit for suctioning foreign matter separated by the fluid It is possible to prevent re-contamination of the substrate or the propagation of contamination to other substrates or equipment by rapidly inhaling the material, and it is easy to manufacture by using a block body made of several blocks, and even a large substrate with uniform pressure It has the effect of spraying. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치를 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는 도 1의 분사 장치의 부품 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 분사 장치의 단면도이다.
도 4는 도 1의 분사 장치의 부분 절개 사시도이다.
도 5는 도 1의 분사 장치의 작동 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 1의 분사 장치의 제 3 유체 액막 형성 장치를 나타내는 확대 단면도이다. 1 is an external perspective view showing an injection device according to some embodiments of the present invention.
2 is an exploded perspective view of parts of the injection device of FIG. 1.
3 is a cross-sectional view of the injection device of FIG. 1.
4 is a partially cut-away perspective view of the injection device of FIG. 1.
5 is a cross-sectional view showing an operating state of the injection device of FIG. 1.
6 is an enlarged cross-sectional view showing a third fluid-liquid film forming apparatus of the injection device of FIG.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those of ordinary skill in the art, and the following examples may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is as follows. It is not limited to the Examples. Rather, these embodiments are provided to make the present disclosure more faithful and complete, and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. In addition, the thickness or size of each layer in the drawings is exaggerated for convenience and clarity of description.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is used to describe a specific embodiment and is not intended to limit the present invention. As used herein, singular forms may include plural forms unless the context clearly indicates otherwise. Also, as used herein, "comprise" and/or "comprising" specifies the presence of the mentioned shapes, numbers, steps, actions, members, elements and/or groups thereof. And does not exclude the presence or addition of one or more other shapes, numbers, actions, members, elements and/or groups.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing ideal embodiments of the present invention. In the drawings, for example, depending on manufacturing techniques and/or tolerances, variations of the illustrated shape can be expected. Therefore, the embodiments of the inventive concept should not be construed as being limited to the specific shape of the region shown in the present specification, but should include, for example, a change in shape caused by manufacturing.
이하, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)를 나타내는 외관 사시도이고, 도 2는 도 1의 분사 장치(100)의 부품 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 분사 장치(100)의 단면도이고, 도 4는 도 1의 분사 장치(100)의 부분 절개 사시도이다.1 is an external perspective view showing an
먼저, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)는, 크게 프레임(110)과, 분사부(10) 및 흡입부(20)를 포함할 수 있다.First, as shown in Figs. 1 to 4, the
예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(110)은, 상기 분사부(10)와 상기 흡입부(20)가 형성되는 후술될 블록체(B)를 기판 등의 대상물(S) 상에 일정한 거리로 이격되도록 지지할 수 있도록 충분한 내구성과 강도를 갖는 구조체로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 볼트나 나사 등 각종 고정구들을 이용하여 서로 조립되는 각종 수평 부재와 수직 부재 및 경사 부재들로 이루어질 수 있다.For example, as shown in Figs. 1 to 4, the
그러나, 이러한 상기 프레임(110)은 도면에 국한되지 않고, 상기 대상물(S)의 형태나 설치 규격이나 설치 환경 등에 따라서 매우 다양하게 구성될 수 있다. However, the
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분사부(10)는, 상기 대상물(S)에 제 1 유체(1) 또는 상기 제 1 유체(1)와 제 2 유체(2)가 혼합된 혼합 유체(4)를 분사할 수 있는 것으로서, 상기 블록체(B)의 일부분에 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 1 to 4, the
여기서, 예컨대, 상기 제 1 유체(1)는 적어도 스팀, 순수 스팀(deionized water steam), 압축 건조 공기(compressed dry air, CDA) 또는 알콜 성분이나 유기물 성분 등이 포함된 세정액 스팀 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.Here, for example, the first fluid 1 is at least steam, deionized water steam, compressed dry air (CDA), or cleaning liquid steam containing an alcohol component or an organic component, and combinations thereof It can be achieved by selecting any one or more.
또한, 상기 제 2 유체(2)는 적어도 물, 순수(deionized water), 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.In addition, the
따라서, 예컨대, 상기 분사부(10)에 의해서 상기 순수 스팀은 상기 순수와 혼합되어 고압으로 상기 대상물(S)의 표면에 분사될 수 있다.Thus, for example, the pure steam may be mixed with the pure water by the
그러나, 상기 제 1 유체(1)와 상기 제 2 유체(2)는 이에 반드시 국한되지 않고, 고압의 질소 가스나, 아르곤 가스이나, 청정 공기나 압축 건조 공기 등이 적용될 수 있다.However, the first fluid 1 and the
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 흡입부(20)는, 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)에 의해 상기 대상물(S)로부터 분리된 이물질(P)을 흡입하는 것으로서, 상기 분사부(10)로부터 근접된 상기 블록체(B)의 다른 부분에 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 1 to 4, the
즉, 상기 분사부(10)와 상기 흡입부(20)는 적어도 하나 이상(도면에서는 3개)의 블록(B1)(B2)(B3)을 포함하는 블록체(B)에 서로 나란하게 형성될 수 있다.That is, the
여기서, 상기 분사부(10)와 상기 흡입부(20)는 상기 대상물(S)의 진행 방향 또는 상기 대상물(S)의 표면에 전체적으로 수직한 방향으로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.Here, the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분사부(10)는, 상기 제 1 유체(1)가 유입되는 제 1 유체 유입구(10a)가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구(10a)를 통해 유입된 상기 제 1 유체(1)가 골고루 분산되도록 제 1 폭(W1)을 갖는 제 1 유체 분산 수용부(10-1)와, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)의 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭(W1) 보다 좁은 제 2 폭(W2)으로 형성되는 혼합 유체 토출부(10-2) 및 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)와 상기 혼합 유체 토출부(10-2) 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체(2)와 상기 제 1 유체(1)의 상기 혼합 유체(4)가 상기 혼합 유체 토출부(10-2)로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부(10-2)로 상기 제 2 유체(2)를 공급하는 제 2 유체 공급부(10-3)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIGS. 3 and 4, the
또한, 예컨대, 상기 분사부(10)는, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)의 내부에 형성되고, 상기 제 1 유체(1)와 충돌되어 상기 제 1 유체(1)를 골고루 분산시키는 분산체(T)를 더 포함할 수 있다.In addition, for example, the
이러한 상기 분산체(T)는 상기 제 1 유체(1)의 유동 방향과 수직을 이루는 전후 방향 또는 좌우 방향으로 길게 형성되는 것이 가능하다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.The dispersion (T) may be formed to be long in a front-rear direction or a left-right direction perpendicular to the flow direction of the first fluid (1). However, it is not necessarily limited thereto.
따라서, 상기 제 1 유체(1)는 상기 제 1 유체 유입구(10a)를 거쳐서 상기 분산체(T)와 충돌되어 골고루 분산되고, 이러한, 균일하게 분산된 상기 제 1 유체(1)는 상기 제 2 유체 공급부(10-3)를 통해 상기 제 2 유체(2)와 합쳐지고, 합쳐진 고압의 상기 혼합 유체(4)가 상기 혼합 유체 토출부(10-2)를 통해 상기 대상물(S) 방향으로 토출될 수 있다.Accordingly, the first fluid 1 collides with the dispersion T through the first
한편, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 블록체(B)는, 베이스 블록(B1)과, 상기 베이스 블록(B1)에 조립되고, 상기 베이스 블록(B1)과 대향되는 대향면(F1)에 상기 분사부(10)가 형성되는 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 분사부 형성 블록(B2)에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록(B2)과 대향되는 대향면(F2)에 상기 흡입부(20)가 형성되는 흡입부 형성 블록(B3)을 포함할 수 있다.On the other hand, for example, as shown in Figs. 1 to 4, the block body (B) is assembled to the base block (B1), the base block (B1), the base block (B1) and facing A face (F2) that is assembled to the injection unit forming block (B2) on which the injection unit (10) is formed on the surface (F1) and the injection unit forming block (B2) and faces the injection unit forming block (B2) A suction part forming block B3 in which the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 블록(B1)은, 제작이 쉽고 상기 분사부 형성 블록(B2)이 쉽게 조립될 수 있도록 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성될 수 있다.More specifically, for example, as shown in Figs. 3 and 4, the base block (B1) is formed in a straight cross section so that it is easy to manufacture and the injection unit forming block (B2) can be easily assembled. Can be.
또한, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분사부 형성 블록(B2)은, 전체적으로 단면이 하부가 상기 베이스 블록(B1)을 따라 올라오다가 상기 베이스 블록(B1)과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부(A)가 형성되도록 상기 베이스 블록(B1)으로부터 멀어지는 방향으로 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부(R1)가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록(B1)의 상부 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부(R2)가 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 3 and 4, the spray part forming block B2 has a lower cross section as a whole as the bottom rises along the base block B1 and between the base block B1. A first bent portion (R1) is formed in a shape that is first bent in a direction away from the base block (B1) so that the first fluid dispersion receiving portion (A) is formed, and the upper portion thereof is the base block (B1). The second bent portion R2 may be formed in a second bent shape in the upper direction of.
또한, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 흡입부 형성 블록(B3)은, 상기 흡입부(20)가 흡입 압력을 형성할 수 있도록 협폭된 제 3 폭(W3)을 갖고, 균일한 흡입을 위해서 확폭된 흡입 압력 형성 공간(D)이 형성될 수 있도록 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록(B2)의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부(R3)가 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 3 and 4, the suction unit forming block (B3) has a narrow third width (W3) so that the
따라서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 블록(B1)에 상기 분사부 형성 블록(B2)이 용이하게 조립될 수 있고, 상기 분사부 형성 블록(B2)에 상기 흡입부 형성 블록(B3)이 용이하게 조립될 수 있다.Therefore, as shown in Figs. 3 and 4, the injection unit forming block B2 can be easily assembled to the base block B1, and the suction unit forming block is at the injection unit forming block B2. (B3) can be easily assembled.
그러므로, 이러한 상기 블록체(B)는 나사나 볼트 등으로 조립될 수 있는 3개 이상의 블록(B1)(B2)(B3)들로 이루어질 수 있기 때문에 내부에 복잡한 유로를 쉽게 형성할 수 있고, 다양한 형태의 각재를 절삭하여 쉽게 조립할 수 있으며, 부품의 파손이나 내부 세정시, 각각의 블록(B1)(B2)(B3)들을 쉽게 분해하여 교체하거나 세정할 수 있다.Therefore, since the block body (B) can be made of three or more blocks (B1) (B2) (B3) that can be assembled with screws or bolts, it is possible to easily form a complex flow path therein, and It can be easily assembled by cutting the shape of the square material, and when the parts are damaged or internally cleaned, each block (B1, B2, and B3) can be easily disassembled and replaced or cleaned.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 블록체(B)는, 상기 베이스 블록(B1)과, 상기 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 흡입부 형성 블록(B3)을 고정시킬 수 있도록 조립된 상기 베이스 블록(B1)과, 상기 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 흡입부 형성 블록(B3)을 가압하는 블록 고정체(120)를 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in Figs. 1 to 4, the block body (B) fixes the base block (B1), the injection unit forming block (B2) and the suction unit forming block (B3). It may further include a
따라서, 상기 블록 고정체(120)를 조립하여 상기 베이스 블록(B1)과, 상기 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 흡입부 형성 블록(B3)을 견고하게 고정시킬 수 있다.Accordingly, by assembling the
또한, 상기 블록체(B)는, 상기 제 2 유체 공급부(10-3)와 연결되도록 상기 베이스 블록(B1)에 형성되는 제 2 유체 공급관(P2)과, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)와 연결되도록 상기 분사부 형성 블록(B2)에 형성되는 제 1 유체 공급관(P1) 및 상기 흡입부(20)와 연결되도록 상기 흡입부 형성 블록(B3)에 형성되는 흡입관(P3)을 더 포함할 수 있다.In addition, the block body (B) includes a second fluid supply pipe (P2) formed in the base block (B1) to be connected to the second fluid supply unit (10-3), and the first fluid dispersion receiving portion (10). -1) a first fluid supply pipe (P1) formed in the injection unit forming block (B2) to be connected to, and a suction pipe (P3) formed in the suction unit forming block (B3) to be connected to the suction unit (20). It may contain more.
따라서, 상기 제 1 유체(1)는 상기 제 1 유체 공급관(P1)을 통해서 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)로 공급될 수 있고, 상기 제 2 유체(2)는 상기 제 2 유체 공급관(P2)을 통해서 상기 제 2 유체 공급부(10-3)로 공급될 수 있으며, 상기 혼합 유체(4)에 의해 상기 대상물(S)로부터 분리된 이물질(P)은 상기 대상물(S)을 재오염시키기 전에 상기 흡입관(P3)을 통해서 신속하게 외부로 배출될 수 있다.Accordingly, the first fluid 1 may be supplied to the first fluid dispersion receiving part 10-1 through the first fluid supply pipe P1, and the
여기서, 상기 제 2 유체(2)는 분기관(P4)을 이용하여 복수개의 상기 제 2 유체 공급관(P2)으로 분기되어 공급될 수 있고, 상기 이물질(P)은 합기관(P5)을 통해서 복수개의 상기 흡입관(P3)들로부터 합기되어 회수될 수 있다.Here, the
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)는, 상기 대상물(S)의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체(B)의 전방 또는 상기 전방 및 후방에 설치되고, 상기 이물질(P)을 부유시키는 액막(W)을 형성하기 위해서 상기 대상물(S) 상에서 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)를 결집시킬 수 있도록 상기 대상물(S)에 제 3 유체(3)를 분사하는 제 3 유체 액막 형성 장치(30)를 더 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 1 to 4, the
도 6은 도 1의 분사 장치(100)의 제 3 유체 액막 형성 장치(30)를 나타내는 확대 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the third fluid-liquid
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치(30)는, 제 3 유체 공급관(P6)과 연결되고, 내부에 상기 제 3 유체(3)를 수용하는 제 3 유체 수용 공간(C)이 형성되며, 복수개의 분사홀(H)이 형성되는 내통(31) 및 상기 내통(31)을 둘러싸는 형상으로 상기 내통(31)과 이격되게 형성되고, 상기 분사홀(H)과 어긋난 위치에 분사 슬릿(33)이 형성되는 외통(32)을 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 6, the third fluid
또한, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치(30)는, 상기 외통(32)의 상기 분사 슬릿(33)의 분사 각도를 조절하는 각도 조절 장치(34)를 더 포함할 수 있다.In addition, as shown in Figs. 1 to 6, the third fluid
이러한, 상기 각도 조절 장치(34)는 기준 눈금과 대비하여 상기 분사 슬릿(33)의 상기 분사 각도를 눈금으로 조절할 수 있는 각도 조절 노브가 적용될 수 있다. 따라서, 작업자는 상기 각도 조절 노브의 각도를 조절하여 상기 분사 슬릿(33)의 분사 각도를 조절할 수 있다. 이외에도 각도 조절 모터를 설치하여 자동으로 각도를 조절하는 것도 가능하다.The
따라서, 상기 제 3 유체(3)는 상기 제 3 유체 수용 공간(C)으로부터 상기 내통(32)에 형성된 복수개의 상기 분사홀(H)을 통해서 1차로 그 압력을 균일하게 분산될 수 있고, 상기 분사홀(H)과 어긋난 위치에 형성된 상기 외통(32)의 상기 분사 슬릿(33)을 통해서 2차로 압력이 균일화되어 상기 대상물(S)의 표면에 상기 액막(W)을 형성할 수 있다. 여기서, 이러한 상기 제 3 유체(3)는 적어도 물, 순수(deionized water), 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다. 그러나 이에 반드시 국한되지 않고, 고압의 질소 가스나, 아르곤 가스이나, 청정 공기나 압축 건조 공기 등이 적용될 수 있다.Therefore, the pressure of the
도 5는 도 1의 분사 장치(100)의 작동 상태를 나타내는 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing an operating state of the
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 상기 대상물(S)의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체(B)의 전방 및 후방에 각각 설치된 상기 제 3 유체 액막 형성 장치(30)를 이용하여 상기 이물질(P)을 부유시키는 상기 액막(W)이 형성되면, 상기 제 1 유체(1)와 상기 제 2 유체(2)가 합쳐진 상기 혼합 유체(4)가 상기 분사부(10)를 통해 상기 대상물(S) 방향으로 고압으로 토출될 수 있다.As shown in FIGS. 1 to 5, when explaining the operation process of the
이러한, 상기 혼합 유체(4)의 압력에 의해서 상기 대상물(S)로부터 상기 이물질(P)이 분리될 수 있고, 분리된 상기 이물질(P)은 상기 대상물(S)을 재오염시킬 수 없도록 이웃하는 상기 흡입부(20)를 통해서 신속하게 흡입될 수 있다.The foreign material (P) can be separated from the object (S) by the pressure of the mixed fluid (4), and the separated foreign material (P) is neighboring so that the object (S) cannot be recontaminated. It can be quickly sucked through the
그러므로, 기판 등의 상기 대상물(S)에 유체를 분사하는 상기 분사부(10)와 유체에 의해 분리된 상기 이물질(P)을 흡입하는 상기 흡입부(20)가 서로 근접되도록 일체화된 상기 블록체(B)를 이용하여 상기 대상물(S)로부터 분리된 상기 이물질(P)을 신속하게 흡입함으로써 상기 대상물(S)의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있고, 3개의 블록들로 이루어진 상기 블록체(B)를 이용하여 제작이 용이하고, 블록들 간의 조립을 용이하여 블록들 사이에 형성된 슬릿 형태의 분사부의 제작 정밀도를 향상시킬 수 있어서 대형 기판이라도 균일한 압력으로 골고루 유체를 분사할 수 있다.Therefore, the block body integrated so that the
또한, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 필터 등을 이용하여 흡입된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체로부터 상기 이물질(P)을 분리하고, 정화된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 순환 펌프나 분배기 등으로 재순환시키는 상기 순환계(200)를 더 포함할 수 있다.In addition, the
한편, 이러한 본 발명의 분사 장치를 이용한 분사 방법은, 상기 분사부(10)를 이용하여 상기 대상물(S)에 상기 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합된 상기 혼합 유체를 분사하는 단계; 및 상기 흡입부(20)를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물(S)로부터 분리된 이물질(P)을 흡입하는 단계;를 포함할 수 있다.Meanwhile, in the spraying method using the spraying device of the present invention, the first fluid or the mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed into the object S using the
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 필터 등을 이용하여 흡입된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체로부터 상기 이물질(P)을 분리하고, 정화된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 재순환시키는 상기 순환계(200)를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 순환시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 3, the circulation system for separating the foreign matter P from the first fluid or the mixed fluid sucked using a filter or the like and recirculating the purified first fluid or the mixed fluid It may further include; circulating the first fluid or the mixed fluid by using (200).
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
S: 대상물
P: 이물질
1: 제 1 유체
2: 제 2 유체
3: 제 3 유체
4: 혼합 유체
10: 분사부
10a: 제 1 유체 유입구
10-1: 제 1 유체 분산 수용부
10-2: 혼합 유체 토출부
10-3: 제 2 유체 공급부
T: 분산체
20: 흡입부
B: 블록체
B1: 베이스 블록
B2: 분사부 형성 블록
B3: 흡입부 형성 블록
A: 제 1 유체 분산 수용부
R1: 제 1 절곡부
R2: 제 2 절곡부
R3: 제 3 절곡부
P1: 제 1 유체 공급관
P2: 제 2 유체 공급관
P3: 흡입관
P4: 분기관
P5: 합기관
P6: 제 3 유체 공급관
W: 액막
30: 제 3 유체 액막 형성 장치
31: 내통
32: 외통
33: 분사 슬릿
34: 각도 조절 장치
110: 프레임
120: 블록 고정체
100: 분사 장치
200: 순환계S: object
P: foreign matter
1: first fluid
2: second fluid
3: third fluid
4: mixed fluid
10: injection part
10a: first fluid inlet
10-1: first fluid dispersion receiving portion
10-2: mixed fluid discharge part
10-3: second fluid supply
T: dispersion
20: suction unit
B: Block body
B1: base block
B2: injection part forming block
B3: suction part forming block
A: first fluid dispersion receiving portion
R1: first bend
R2: second bend
R3: third bend
P1: first fluid supply pipe
P2: second fluid supply pipe
P3: suction pipe
P4: branch pipe
P5: Combination engine
P6: 3rd fluid supply pipe
W: evil
30: third fluid film forming apparatus
31: inner barrel
32: external cylinder
33: spray slit
34: angle adjustment device
110: frame
120: block fixture
100: injection device
200: circulatory system
Claims (8)
상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;
를 포함하고,
상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되며,
상기 블록체는,
베이스 블록;
상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및
상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;
을 포함하고,
상기 베이스 블록과 상기 분사부 형성 블록은 각각의 적어도 일부분이 서로 면접촉하여 조립되고,
상기 분사부 형성 블록과 상기 흡입부 형성 블록은 각각의 적어도 일부분이 서로 면접촉하여 조립되고,
상기 분사부는, 상기 베이스 블록과 상기 분사부 형성 블록 사이에 형성되고,
상기 흡입부는, 상기 분사부 형성 블록과 상기 흡입부 형성 블록 사이에 형성되고,
상기 베이스 블록은, 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성되고,
상기 분사부 형성 블록은,
전체적으로 단면이 하부가 상기 베이스 블록을 따라 올라오다가 상기 베이스 블록과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부가 형성되도록 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 방향으로 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록의 상부 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부가 형성되며,
흡입부 형성 블록은,
상기 흡입부가 흡입 압력을 형성할 수 있도록 협폭된 제 3 폭을 갖고, 균일한 흡입을 위해서 확폭된 흡입 압력 형성 공간이 형성될 수 있도록 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부가 형성되고,
상기 대상물의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체의 전방 또는 상기 전방 및 후방에 상기 블록체와 일체로 설치되고, 상기 이물질을 부유시키는 액막을 형성하기 위해서 상기 대상물 상에서 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 결집시킬 수 있도록 상기 대상물에 제 3 유체를 분사하는 제 3 유체 액막 형성 장치;
를 더 포함하는, 분사 장치.An injection unit for injecting a first fluid or a mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed to the object;
A suction unit configured to suck foreign substances separated from the object by the first fluid or the mixed fluid;
Including,
The injection unit and the suction unit are formed in a block body including at least one block,
The block body,
Base block;
An injection unit forming block assembled on the base block and having the injection unit formed on a surface opposite to the base block; And
A suction unit forming block assembled on the injection unit forming block and having the suction unit formed on a surface facing the injection unit forming block;
Including,
At least a portion of each of the base block and the injection unit forming block is assembled in surface contact with each other,
At least a portion of each of the injection unit forming block and the suction unit forming block is assembled in surface contact with each other,
The injection unit is formed between the base block and the injection unit forming block,
The suction unit is formed between the injection unit forming block and the suction unit forming block,
The base block is generally formed in a straight cross section,
The injection part forming block,
As a whole, a first bent portion is formed in a shape whose cross section is first bent in a direction away from the base block so that the first fluid dispersion receiving portion is formed between the base block and the lower portion thereof rising along the base block. A second bent portion is formed in a shape in which the upper portion is secondly bent in the upper direction of the base block,
The suction part forming block,
The suction unit has a narrow third width to form suction pressure, and the overall cross section is first bent from the bottom of the injection unit forming block so that an enlarged suction pressure forming space is formed for uniform suction The third bent portion is formed,
The first fluid or the mixed fluid is provided on the object to form a liquid film that is integrally installed with the block body in front of the block body or at the front and rear of the block body based on the moving direction of the object, and floats the foreign material. A third fluid film forming apparatus for injecting a third fluid onto the object so as to collect;
Including a further, injection device.
상기 블록체는,
상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 고정시킬 수 있도록 조립된 상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 가압하는 블록 고정체;
상기 제 2 유체 공급부와 연결되도록 상기 베이스 블록에 형성되는 제 2 유체 공급관;
상기 제 1 유체 분산 수용부와 연결되도록 상기 분사부 형성 블록에 형성되는 제 1 유체 공급관; 및
상기 흡입부와 연결되도록 상기 흡입부 형성 블록에 형성되는 흡입관;
을 더 포함하는, 분사 장치.The method of claim 1,
The block body,
A block fixture for pressing the base block, the injection unit forming block and the suction unit forming block, and the base block assembled to fix the injection unit forming block and the suction unit forming block;
A second fluid supply pipe formed in the base block to be connected to the second fluid supply unit;
A first fluid supply pipe formed in the injection unit forming block to be connected to the first fluid dispersion receiving unit; And
A suction pipe formed in the suction part forming block to be connected to the suction part;
Including a further, injection device.
상기 분사부는,
상기 제 1 유체가 유입되는 제 1 유체 유입구가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구를 통해 유입된 상기 제 1 유체가 골고루 분산되도록 제 1 폭을 갖는 제 1 유체 분산 수용부;
상기 제 1 유체 분산 수용부의 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭으로 형성되는 혼합 유체 토출부; 및
상기 제 1 유체 분산 수용부와 상기 혼합 유체 토출부 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체와 상기 제 1 유체의 상기 혼합 유체가 상기 혼합 유체 토출부로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부로 상기 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급부;
를 포함하는, 분사 장치. The method of claim 1,
The injection unit,
A first fluid dispersion receiving unit having a first fluid inlet through which the first fluid is introduced, and having a first width so that the first fluid introduced through the first fluid inlet is evenly distributed;
A mixed fluid discharge unit formed to have a second width narrower than the first width so that the first fluid or the mixed fluid of the first fluid dispersion receiving unit can be discharged at high pressure; And
The second fluid is formed between the first fluid dispersion receiving unit and the mixed fluid discharge unit, and the second fluid is provided to the mixed fluid discharge unit so that the mixed fluid of the second fluid and the first fluid can be discharged to the mixed fluid discharge unit. A second fluid supply unit for supplying;
Containing, injection device.
상기 제 1 유체 분산 수용부의 내부에 형성되고, 상기 제 1 유체와 충돌되어 상기 제 1 유체를 골고루 분산시키는 분산체;
를 더 포함하는, 분사 장치.The method of claim 3,
A dispersion formed inside the first fluid dispersion receiving portion and colliding with the first fluid to evenly distribute the first fluid;
Including a further, injection device.
상기 제 1 유체는 적어도 스팀, 순수(deionized water) 스팀, 압축 건조 공기(compressed dry air, CDA), 세정액 스팀 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지고, 상기 제 2 유체는 적어도 물, 순수, 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지는, 분사 장치.The method of claim 1,
The first fluid is formed by selecting at least one of steam, deionized water steam, compressed dry air (CDA), cleaning liquid steam, and combinations thereof, and the second fluid is at least water. , Pure water, compressed dry air, cleaning liquid, and any one or more of a combination thereof.
상기 제 3 유체 액막 형성 장치는,
내부에 상기 제 3 유체를 수용하는 제 3 유체 수용 공간이 형성되고, 복수개의 분사홀이 형성되는 내통; 및
상기 내통을 둘러싸는 형상으로 상기 내통과 이격되게 형성되고, 상기 분사홀과 어긋난 위치에 분사 슬릿이 형성되는 외통;
을 포함하는, 분사 장치.The method of claim 1,
The third fluid liquid film forming apparatus,
An inner cylinder having a third fluid receiving space formed therein to receive the third fluid, and having a plurality of injection holes formed therein; And
An outer cylinder that surrounds the inner cylinder and is formed to be spaced apart from the inner cylinder, and has a jet slit formed at a position deviated from the jet hole;
Containing, injection device.
상기 제 3 유체 액막 형성 장치는,
상기 외통의 상기 분사 슬릿의 분사 각도를 조절하는 각도 조절 장치;
를 더 포함하는, 분사 장치.The method of claim 6,
The third fluid liquid film forming apparatus,
An angle adjusting device for adjusting a spray angle of the spray slit of the outer cylinder;
Including a further, injection device.
상기 분사부를 이용하여 상기 대상물에 상기 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합된 상기 혼합 유체를 분사하는 단계; 및
상기 흡입부를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 단계;
를 포함하고,
상기 베이스 블록은, 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성되고,
상기 분사부 형성 블록은,
전체적으로 단면이 하부가 상기 베이스 블록을 따라 올라오다가 상기 베이스 블록과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부가 형성되도록 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 방향으로 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록의 상부 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부가 형성되며,
흡입부 형성 블록은,
상기 흡입부가 흡입 압력을 형성할 수 있도록 협폭된 제 3 폭을 갖고, 균일한 흡입을 위해서 확폭된 흡입 압력 형성 공간이 형성될 수 있도록 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부가 형성되는, 분사 방법. An injection unit for injecting a first fluid or a mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed to the object; And a suction unit configured to suck foreign substances separated from the object by the first fluid or the mixed fluid, wherein the injection unit and the suction unit are formed in a block body including at least one block, and the block body Is, the base block; An injection unit forming block assembled on the base block and having the injection unit formed on a surface opposite to the base block; And a suction part forming block assembled on the injection part forming block and having the suction part formed on a surface opposite to the injection part forming block, wherein at least a portion of each of the base block and the injection part forming block The injection unit forming block and the suction unit forming block are assembled in surface contact with each other, and at least a portion of each of the injection unit forming block and the suction unit forming block is assembled by surface contacting each other, and the injection unit is formed between the base block and the injection unit forming block, and the The suction unit is formed between the injection unit forming block and the suction unit forming block, and is integrally installed with the block body in front of the block body or at the front and rear sides of the object based on the moving direction of the object, In order to form a floating liquid film, a third fluid film forming device for injecting a third fluid to the object so as to collect the first fluid or the mixed fluid on the object; further comprising, a spraying method using an injection device In,
Spraying the first fluid or the mixed fluid in which the first fluid and the second fluid are mixed to the object using the injection unit; And
Suctioning foreign substances separated from the object by the first fluid or the mixed fluid using the suction unit;
Including,
The base block is generally formed in a straight cross section,
The injection part forming block,
As a whole, a first bent portion is formed in a shape whose cross section is first bent in a direction away from the base block so that the first fluid dispersion receiving portion is formed between the base block and the lower portion thereof rising along the base block. A second bent portion is formed in a shape in which the upper portion is secondly bent in the upper direction of the base block,
The suction part forming block,
The suction unit has a narrow third width to form suction pressure, and the overall cross section is first bent from the bottom of the injection unit forming block so that an enlarged suction pressure forming space is formed for uniform suction In which the third bent portion is formed, the injection method.
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