KR20190011890A - Air knife and dust cleaning apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

In order to solve above problems, the present invention provides an air knife and a dust removal apparatus including the air knife generating fine vibration in high-pressure air injected in non-contact with an object and spraying ionized air so as to effectively remove dust from the surface of the object. The air knife according to an embodiment of the present invention includes a housing having an air inlet and an air outlet; a nozzle unit formed at one side of the housing and jetting the air introduced into the air inlet to the surface of the object to remove dust adhering to the surface of the object; a dust collecting part formed on the other side of the housing and discharging air and dust injected from the nozzle part through the discharge port to an object; and an ionizer provided inside the nozzle unit for ionizing the air discharged to the nozzle unit.

Description

에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치 {AIR KNIFE AND DUST CLEANING APPARATUS HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an air knife,

본 발명은 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고압의 공기를 분사하며 발생하는 진동을 이용하여 대상물의 분진을 제거하는 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air knife and a dust removing apparatus including the air knife, and more particularly, to an air knife for removing dust from an object using vibration generated by jetting air at a high pressure and a dust removing apparatus including the same .

근래 들어 정보기술분야의 발전에 따라 디스플레이분야 및 집적회로 분야에서 많은 기술 발전이 이루어지고 있으며, 이를 위해 사용되는 소자도 초박화, 경량화가 진행되고 있다.Recently, with the development of the information technology field, many technological advances have been made in the fields of display and integrated circuits, and the elements used for this are also becoming thinner and lighter.

이 같은 디스플레이 장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP) 등의 평판 디스플레이 장치(Flat Panel Display)가 널리 사용된다.As a specific example of such a display device, a flat panel display device such as a liquid crystal display device (LCD) or a plasma display panel device (PDP) is widely used.

이들 디스플레이 장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.These display devices are excellent in performance of thinning, light weight, and low power consumption, and are rapidly replacing conventional CRTs (cathode ray tubes).

한편, 디스플레이 장치는 여러 종류의 유리기판 또는 광학필름(Flexible Printed Circuit Board) 등을 포함하며, 이들에 분진이 부착될 경우 미관상의 품질 문제 및 공정상의 문제를 발생하므로, 분진을 제거하는 공정이 요구된다.On the other hand, the display device includes various types of glass substrates or optical films (Flexible Printed Circuit Boards), and when dust is adhered to them, a cosmetic quality problem and a process problem are caused. Therefore, do.

또한, 반도체 공정에서는 집적회로가 웨이퍼 형태로 제조되고 있으며, 이러한 웨이퍼는 제조공정중 표면에 부착되는 이물질 등의 분진을 제거하는 공정이 필수적으로 요구된다.In the semiconductor process, the integrated circuit is manufactured in the form of a wafer, and a process for removing dust such as foreign substances adhering to the surface during the manufacturing process is indispensably required.

이와 같이, 필름이나, 기판, 웨이퍼 등의 대상물에 부착되는 이물질 등의 분진을 제거하기 위해서는 다양한 세정방식이 사용될 수 있고, 비접촉식이며, 건식 세정기술의 일례로, 공기를 분사하여 이물질을 제거하는 기술이 널리 사용된다.As described above, various cleaning methods can be used to remove dust such as foreign matter adhering to objects such as a film, a substrate, and a wafer. Examples of the non-contact type dry cleaning technology include a technique of removing foreign substances by spraying air Is widely used.

한편, 종래의 디스플레이 제조공정이나, 반도체 공정은 초박화, 정밀화됨에 따라 더욱 작은 크기의 분진을 제거하기 위한 기술의 개발이 요구되고 있다.On the other hand, as the conventional display manufacturing process and the semiconductor process are becoming thinner and more precise, it is required to develop a technique for removing dust having a smaller size.

이에 따라 종래의 분진 제거 장치는 미세 분진의 제거를 위해, 대상물로 분사되는 공기를 더욱 고압으로 분사하는 방안이 제안되었다.Accordingly, in the conventional dust removing apparatus, in order to remove fine dust, there has been proposed a method of spraying the air to be sprayed as the object at a higher pressure.

그러나, 종래의 분진 제거 장치는 공기를 고압으로 분사하기 위해서는, 고압의 공기를 공급하는 송풍장치의 크기 및 압력이 증가해야 하는 기술적 한계가 있고, 운용비용도 크게 증가하고 있는 실정이며, 이에 따라 분진 제거 장치의 운용비용을 최소화하면서도 미세 분진을 더욱 효과적으로 제거하기 위한 기술의 필요성이 더욱 증가하고 있다.However, in the conventional dust removing apparatus, there is a technical limit to increase the size and pressure of a blower for supplying air at a high pressure in order to inject air at a high pressure, and the operating cost is greatly increased, There is a growing need for techniques to more effectively remove fine dust while minimizing the operating cost of the removal device.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 대상물과 비접촉되며 분사되는 고압의 공기에 미세한 진동을 발생시키고, 공기를 이온화하여 분사토록 하여 대상물 표면에 고착되는 분진을 효과적으로 제거하도록 한 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an air knife for generating fine vibration in high-pressure air which is in non-contact with an object to be sprayed and which effectively ionizes air to spray dust attached to the surface of the object, and And to provide a dust removing device which is capable of preventing dust from being generated.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 에어 나이프는 공기 유입구 및 배출구가 형성된 하우징; 상기 하우징의 일측에 형성되며, 상기 공기 유입구로 유입된 공기를 대상물의 표면으로 분사하여 상기 대상물 표면에 고착된 분진을 탈락시키는 노즐부; 상기 하우징의 타측에 형성되어, 상기 배출구를 통해 상기 노즐부에서 대상물로 분사된 공기 및 분진을 배출하는 집진부; 및 상기 노즐부 내측에 제공되며 상기 노즐부로 배출되는 공기를 이온화시키는 이오나이져(ionizer); 를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an air knife comprising: a housing having an air inlet and an outlet; A nozzle unit formed at one side of the housing and jetting the air introduced into the air inlet to the surface of the object to remove dust adhering to the surface of the object; A dust collecting part formed on the other side of the housing and discharging air and dust injected from the nozzle part through the discharge port to an object; And an ionizer provided inside the nozzle unit for ionizing the air discharged to the nozzle unit; .

또한, 상기 노즐부는 상기 하우징의 중앙부에 형성되고, 상기 집진부는 상기 노즐부의 양측에 배치될 수 있다.The nozzle unit may be formed at a central portion of the housing, and the dust collecting unit may be disposed at both sides of the nozzle unit.

또한, 상기 집진부는 상기 하우징의 중앙부에 형성되고, 상기 노즐부는 상기 집진부의 양측에 배치될 수 있다.The dust collecting unit may be formed at a central portion of the housing, and the nozzle unit may be disposed at both sides of the dust collecting unit.

여기서, 상기 노즐부는 중앙부측으로 경사지게 배치되어 공기가 분사되는 노즐팁을 포함할 수 있다.Here, the nozzle unit may include a nozzle tip which is arranged to be inclined toward the center side and through which air is injected.

또한, 상기 하우징은 외측둘레에 상기 대상물에 인접하게 연장되어 공기의 배출을 차단하는 공기차단부를 포함할 수 있다.In addition, the housing may include an air blocking portion extending around the outer periphery of the housing to block the discharge of air.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 분진 제거 장치는 전술된 에어 나이프; 및 상기 에어 나이프로 공기를 공급하는 송풍펌프;를 포함한다.Further, the dust removing device according to another embodiment of the present invention may further include the above-described air knife; And an air blowing pump for supplying air to the air knife.

또한, 상기 송풍펌프는 상기 에어 나이프로 공급되는 공기의 이물질을 여과하는 여과필터를 더 포함할 수 있다.The air blowing pump may further include a filtration filter for filtering foreign matter of air supplied to the air knife.

또한, 상기 에어 나이프의 배출구에 연결되어 배출되는 분진을 집진하는 집진필터를 더 포함할 수 있다.The air knife may further include a dust filter connected to an outlet of the air knife for dust collection.

본 발명에 따른 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치는 디스플레이 제조공정이나, 반도체 제조공정 등에서 사용되는 각종 필름이나, 기판, 웨이퍼 등에 부착되는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있고, 이외에도 종이, 섬유, 알루미늄 필름, 라미네이트 등과 같은 다양한 대상물 표면에 부착되는 미세 분진을 효과적으로 제거할 수 있다.The air knife according to the present invention and the dust removing device including the same can effectively remove foreign substances adhered to various films, substrates, and wafers used in a display manufacturing process, a semiconductor manufacturing process, etc., , Laminates, and the like, can effectively be removed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치의 에어 나이프를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치의 에어 나이프의 단면도.
도 4의 (a)와 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치에 의해 분진이 제거되기 전, 후의 대상물을 도시한 도면이다.
도 5의 (a)와 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치에 의해 분진이 제거되기 전, 후의 다른 대상물을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분진 제거 장치의 에어 나이프의 단면도.1 is a perspective view of a dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing an air knife of a dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a sectional view of an air knife of a dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 (a) and 4 (b) are views showing an object before and after dust is removed by the dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 (a) and 5 (b) are views showing other objects before and after dust is removed by the dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a sectional view of an air knife of a dust removing apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명을 더 쉽게 이해하기 위해 편의상 특정 용어를 본원에 정의한다. 본원에서 달리 정의하지 않는 한, 본 발명에 사용된 과학 용어 및 기술 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미를 가질 것이다. 또한, 문맥상 특별히 지정하지 않는 한, 단수 형태의 용어는 그것의 복수 형태도 포함하는 것이며, 복수 형태의 용어는 그것의 단수 형태도 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Certain terms are hereby defined for convenience in order to facilitate a better understanding of the present invention. Unless otherwise defined herein, scientific and technical terms used in the present invention shall have the meanings commonly understood by one of ordinary skill in the art. Also, unless the context clearly indicates otherwise, the singular form of the term also includes plural forms thereof, and plural forms of the term should be understood as including its singular form.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치의 에어 나이프를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치의 에어 나이프의 단면도이다.2 is a perspective view illustrating an air knife of a dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective view of an embodiment of the present invention Sectional view of the air knife of the dust removing device according to the second embodiment of the present invention.

이하에서는, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치를 설명한다.Hereinafter, a dust removing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치(100)는 대상물(P)의 분진을 제거하기 위한 장치로, 대상물(P)에 공기를 분사하여 분진을 제거하는 에어 나이프(110)와, 에어 나이프(110)로 고압의 공기를 공급하는 송풍펌프(150)를 포함할 수 있다.A dust removing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is an apparatus for removing dust of an object P and includes an air knife 110 for spraying air to the object P to remove dust, And a blowing pump 150 for supplying high-pressure air to the blowing fan 110.

본 실시예에서 에어 나이프(110)는 대상물(P)의 일면에 부착된 분진을 제거하도록 배치될 수 있다.In this embodiment, the air knife 110 may be arranged to remove dust attached to one surface of the object P. [

한편, 에어 나이프(110)의 배치 구조는 본 실시예에 한정되지 않으며, 생산 라인의 시스템에 따라 다양한 형태로 변형될 수 있다. 일례로, 에어 나이프(110)는 대상물(P)의 양면을 마주 보도록 각각 설치될 수 있고, 이에 따라 대상물(P)의 양면에 부착된 분진을 동시에 제거할 수 있다.On the other hand, the arrangement structure of the air knife 110 is not limited to this embodiment, and can be modified into various forms according to the system of the production line. For example, the air knife 110 can be installed so as to face both sides of the object P, thereby simultaneously removing dust attached to both sides of the object P.

구체적으로, 에어 나이프(110)는 하우징(112)과, 노즐부(114), 집진부(116) 및 이오나이져(ionizer)(120)를 포함할 수 있다.Specifically, the air knife 110 may include a housing 112, a nozzle portion 114, a dust collecting portion 116, and an ionizer 120.

하우징(112)은, 송풍펌프(150)로부터 공급되는 공기가 유입되는 공기 유입구 및 대상물(P)에 분사된 공기의 배출을 위한 배출구가 형성될 수 있다. 하우징(112)은, 분진을 제거할 대상물(P)과 인접하게 배치될 수 있고, 일측에 형성된 공기 유입구로부터 고압의 공기가 공급될 수 있다.The housing 112 may be formed with an air inlet through which the air supplied from the air blowing pump 150 flows and an outlet through which the air injected to the object P is discharged. The housing 112 can be disposed adjacent to the object P from which the dust is to be removed, and high-pressure air can be supplied from the air inlet formed at one side.

공기 유입구는 송품펌프(150)와 연결된 배관(152)을 매개로 고압의 공기가 공급될 수 있다.The air inlet may be supplied with high-pressure air via a piping 152 connected to the delivery pump 150.

또한, 하우징(112)은 다른 일측에 공기 유입구로부터 공급된 고압의 공기가 배출되는 공기 배출구가 형성될 수 있다. 공기 배출구에는 배관(154)이 연결되어 공기를 배출할 수 있다.In addition, the housing 112 may have an air outlet through which the high-pressure air supplied from the air inlet is discharged to the other side. A pipe 154 is connected to the air discharge port to discharge air.

이러한 하우징(112)은 대상물(P)이 배치되는 방향으로 공기 유입부로부터 공급된 고압의 공기를 대상물(P)의 표면으로 분사하는 노즐부(114)가 마련될 수 있다. 바람직하게는 노즐부(114)는 대상물(P)의 진행하는 방향과 직교하는 방향으로 배치될 수 있으며, 이러한 배치에 의해 대상물(P)의 전체 영역으로 공기를 분사할 수 있다.The housing 112 may be provided with a nozzle unit 114 for jetting high-pressure air supplied from the air inflow portion to the surface of the object P in the direction in which the object P is disposed. Preferably, the nozzle unit 114 may be disposed in a direction perpendicular to the advancing direction of the object P, and air can be jetted to the entire area of the object P by this arrangement.

노즐부(114)는 고압의 공기를 대상물(P)의 표면으로 분사할 수 있으며, 고압의 공기가 대상물(P)에 부딪히는 과정에서 대상물(P) 표면의 분진을 탈락시킬 수 있다.The nozzle unit 114 can jet high pressure air to the surface of the object P and can eliminate dust on the surface of the object P in the process of high pressure air colliding with the object P. [

또한, 하우징(112)의 타측에는 노즐부(114)에서 분사된 고압의 공기를 분진과 함께 흡입하는 집진부(116)가 마련될 수 있다.Further, a dust collecting unit 116 may be provided on the other side of the housing 112 to suck high-pressure air injected from the nozzle unit 114 together with dust.

집진부(116)는 고압의 공기와 분진을 흡입한 후, 이를 공기 배출구를 통해 하우징(112) 외부로 배출할 수 있다.The dust collecting unit 116 can suck high-pressure air and dust, and then discharge the dust to the outside of the housing 112 through an air outlet.

또한, 본 실시예에서 노즐부(114)의 내측에는 노즐부(114)를 통해 대상물(P)로 분사되는 공기를 이온화시키는 이오나이져(120)가 제공될 수 있다.In this embodiment, an ionizer 120 for ionizing the air injected to the object P through the nozzle unit 114 may be provided inside the nozzle unit 114.

일반적으로 공기의 원자는 가운데 핵의 양성자(+)와, 그 주변을 돌고 있는 전자(-)를 포함하며, 양성자(+)와 전자(-)은 동일한 개수로 이루어지며, 전기적으로 중성 상태를 유지할 수 있다.In general, the atoms of air contain the protons (+) in the middle nucleus and the electrons (-) that circulate around them. The protons (+) and electrons (-) are of the same number, .

한편, 공기는 이오나이져(120)에 의해 분사되는 과정에서 전기적인 충격에 의해 원자 중 어느 하나로부터 전자(-)가 분리될 수 있으며, 전자가 분리된 원자는 전체적으로 (+)성질을 띤 양이온 상태로 변할 수 있다. 또한, 원자로 분리된 전자(-)는 다른 원자와 결합되며 (-)성질을 띤 음이온 상태로 변할 수 있다.On the other hand, the air can be separated from any one of the atoms by an electric shock in the process of being sprayed by the ionizer 120, and the atoms separated by electrons are totally (+) positive cations State. In addition, the electrons (-) separated by the atoms can be combined with other atoms and changed into negative (-) anion states.

이와 같이, 노즐부(114)에서 분사되는 공기는 이오나이져(120)에 의해 양이온 또는 음이온으로 이온화된 상태로 분사될 수 있으며, 대상물(P) 표면에 부착된 분진과 전기적으로 결합되며 중성화되는 과정에서 대상물(P)로부터 분진을 쉽게 이탈시킬 수 있다.As described above, the air injected from the nozzle unit 114 can be injected in a state of being ionized with positive ions or negative ions by the ionizer 120, and is electrically coupled with dust attached to the surface of the object P and neutralized Dust can easily be removed from the object P in the process.

또한, 노즐부(114)는 이온화된 공기를 대상물(P)에 분사하는 과정에서, 일부 공기는 이온화되고, 일부 공기는 이온화가 이루어지지 않을 수도 있으며, 이들 공기의 입자에 의한 분진과의 결합력 등에 의해 미세한 입자무게의 차이가 발생할 수 있고, 이들 공기가 혼합된 상태로 대상물(P)에 분사됨에 따라 미세한 진동을 발생시킬 수 있다.In addition, in the process of spraying the ionized air to the object P, some of the air may be ionized, and some of the air may not be ionized. In addition, And a minute vibration can be generated as the air is injected into the object P in a mixed state.

한편, 노즐부(114)는 대상물(P)로 분사되는 공기의 압력 및 이에 따라 발생하는 미세한 진동을 이용하여 1차적으로 대상물(P)로부터 분진을 분리시켜 이탈된 상태로 만들 수 있고, 이와 같이 대상물(P)로부터 분리된 분진은 2차적으로 노즐부(114)에서 분사되어 집진부(116)로 유동하는 흐름 및 집진부(116)의 흡입력에 의해 집진되며 제거될 수 있다.On the other hand, the nozzle unit 114 can separate the dust from the object P primarily by using the pressure of the air injected to the object P and the minute vibration generated thereby, The dust separated from the object P can be collected and removed by the flow that is secondarily injected from the nozzle unit 114 and flows to the dust collecting unit 116 and the suction force of the dust collecting unit 116. [

이를 위해, 집진부(116)는 내부가 음압으로 유지될 수 있으며, 이에 따라 노즐부(114)에서 분사된 공기가 다시 집진부(116)로 쉽게 빨려 들어갈 수 있다.For this, the inside of the dust collecting unit 116 can be maintained at a negative pressure, so that the air injected from the nozzle unit 114 can be sucked back into the dust collecting unit 116 easily.

집진부(116)에서 배출되는 분진을 포함하는 공기는 공기 배출구에 연결된 배관(154)을 통해 배출되는데, 이 배관(154)에는 공기중의 분진을 여과하기 위한 집진필터(170)가 구비될 수 있다.Air including dust discharged from the dust collecting unit 116 is discharged through a pipe 154 connected to an air discharge port and the dust collecting filter 170 for filtering dust in the air may be provided in the pipe 154 .

또한, 본 실시예에서 노즐부(114)로 공급되는 공기는 공기 유입구에 연결된 배관(152)에 제공된 여과필터(160)를 통과하여 공급될 수 있으며, 이에 따라 대상물(P)로 분진이 제거된 깨끗한 공기가 분사될 수 있다.In this embodiment, the air supplied to the nozzle unit 114 can be supplied through the filtration filter 160 provided in the pipe 152 connected to the air inlet, thereby removing dust from the object P Clean air can be sprayed.

한편, 본 실시예에서 송풍펌프(150)는 링블러워(ring blower) 등을 포함할 수 있고, 이러한 송풍펌프(150)는 배관을 매개로 에어 나이프(110)의 공기 유입구와 연결될 수 있다.In the present embodiment, the blowing pump 150 may include a ring blower or the like, and the blowing pump 150 may be connected to the air inlet of the air knife 110 through a pipe.

송풍펌프(150)는 에어 나이프(110)로 공급되는 공기의 압력을 측정하기 위한 압력센서와, 공기의 속도를 조절하기 위한 컨트롤러를 포함할 수 있다. 또한 송풍펌프(150)는 인버터 방식으로 제어될 수 있으며, 압력센서 및 컨트롤러에 제어되는 공기의 속도에 따라 에어 나이프(110)로 공급되는 공기의 압력 및 공기의 공급량을 조절할 수 있다.The air blowing pump 150 may include a pressure sensor for measuring the pressure of the air supplied to the air knife 110 and a controller for adjusting the speed of the air. In addition, the blowing pump 150 can be controlled by an inverter method, and the pressure of the air supplied to the air knife 110 and the supply amount of air can be adjusted according to the speed of air controlled by the pressure sensor and the controller.

또한, 송풍펌프(150)는 배관의 일측에 에어 나이프(110)로 공급되는 공기의 이물질을 여과하는 여과필터(160) 및 소음의 제거를 위한 소음기가 설치될 수 있다.The air blowing pump 150 may include a filtering filter 160 for filtering foreign matter of air supplied to the air knife 110 at one side of the pipe and a silencer for removing noise.

여과필터(160)는 송풍펌프(150)에 의해 에어 나이프(110)로 공급되는 공기에 포함된 분진 등의 이물질을 여과할 수 있다. 송풍펌프(150)에서 공급되는 공기는 여과필터(160)를 통과하는 과정에서 분진 등의 이물질이 제거된 청정 공기의 상태로 에어 나이프(110)로 공급될 수 있다.The filtration filter 160 can filter foreign matter such as dust contained in the air supplied to the air knife 110 by the blowing pump 150. The air supplied from the air blowing pump 150 can be supplied to the air knife 110 in the state of clean air from which foreign substances such as dust are removed in the process of passing through the filter 160. [

도 3을 참고하면, 본 실시예에서 노즐부(114)는 하우징(112)의 중앙부에 형성될 수 있다. 또한, 집진부(116)는 노즐부(114)의 양측에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3, the nozzle unit 114 may be formed at the center of the housing 112 in this embodiment. Further, the dust collecting section 116 may be disposed on both sides of the nozzle section 114.

또한, 노즐부(114)는 중앙부 측으로 경사지게 배치되는 노즐팁(115)을 포함할 수 있다. 노즐팁(115)은, 중앙부측으로 공기의 분사를 유도할 수 있다.In addition, the nozzle portion 114 may include a nozzle tip 115 which is disposed obliquely to the center portion side. The nozzle tip 115 can guide air to the center side.

한편, 하우징(112)의 중앙부에는 집진부(116)가 배치될 수 있고, 집진부(116)는 노즐부(114)에서 중앙부로 분사되는 공기를 집진하여 배출할 수 있다.Meanwhile, a dust collecting portion 116 may be disposed at the center of the housing 112, and the dust collecting portion 116 may collect and discharge the air injected from the nozzle portion 114 to the center portion.

또한, 본 실시예에서 노즐부(114)는 하우징(112)의 양측에 위치할 경우, 노즐부(114)의 분사되는 공기량의 밸런스를 다르게 설정할 수 있다. 일례로, 노즐부(114)는 대상물(P)이 이동하는 방향의 역방향에서 분사되는 공기의 압력이, 대상물(P)이 이동하는 방향으로 분사되는 공기의 압력보다 더 크게 분사될 수 있다.In this embodiment, when the nozzle unit 114 is positioned on both sides of the housing 112, the balance of the amount of air injected from the nozzle unit 114 can be set to be different. For example, the nozzle portion 114 may be configured such that the pressure of the air injected in the direction opposite to the direction in which the object P moves is greater than the pressure of the air injected in the direction in which the object P moves.

또한, 본 실시예에서 노즐부(114)에 제공되는 노즐팁(115)은 각도를 가변할 수 있도록 설치될 수 있다.Also, in this embodiment, the nozzle tip 115 provided to the nozzle unit 114 can be installed to vary the angle.

노즐팁(115)은, 분사되는 공기의 압력이나, 대상물(P)의 이송 속도 등을 고려하여 설치되는 각도를 가변할 수 있다.The angle of the nozzle tip 115 can be varied in consideration of the pressure of the air to be sprayed, the conveying speed of the object P, and the like.

일례로, 노즐팁(115)은 양단부가 힌지 등의 회전연결부재로 하우징(112)의 내측에 회전가능하게 연결될 수 있다. 노즐팁(115)은 공기의 분사되는 방향을 안내할 수 있도록 소정의 돌출된 연장부를 포함할 수 있고, 이 연장부의 단부에는 공기의 배출을 위한 슬릿홈이 형성될 수 있다.For example, both ends of the nozzle tip 115 may be rotatably connected to the inside of the housing 112 by a rotational connecting member such as a hinge. The nozzle tip 115 may include a predetermined protruding extension for guiding the direction in which the air is injected, and a slit groove for exhausting air may be formed at an end of the protrusion.

이와 같이 본 실시예의 분진 제거 장치(100)는, 하우징(112)의 양측에서 분사된 고압의 공기가 대상물(P)에 부착된 분진을 이탈시킨 후, 집진부(116)로 배출되는 구조를 통해 분진을 효과적으로 제거할 수 있다.As described above, the dust removing apparatus 100 of the present embodiment removes dust adhered to the object P by the high-pressure air jetted from both sides of the housing 112, and then discharges dust to the dust collecting unit 116, Can be effectively removed.

또한, 하우징(112)은 하단부의 외측둘레에 공기의 배출을 차단하기 위한 공기차단부(130)가 제공될 수 있다.In addition, the housing 112 may be provided with an air blocking portion 130 for blocking the exhaust of air around the outer periphery of the lower end portion.

공기차단부(130)는 하우징(112)의 하단부에 설치되어 대상물(P)에 인접하게 연장될 수 있으며, 대상물(P)과의 틈새를 최소화하여 노즐부(114)에서 분사된 공기가 외부로 누출되는 것을 차단할 수 있다.The air blocking portion 130 may be provided at the lower end of the housing 112 and may extend adjacent to the object P so as to minimize the gap with the object P so that the air injected from the nozzle portion 114 is discharged to the outside Leakage can be blocked.

일례로, 공기차단부(130)는 하우징(112)의 하단부 둘레에 설치되는 다수의 브러쉬를 포함할 수 있다. 또한, 공기차단부(130)는 브러쉬 외에도 소정의 탄성을 갖는 고무패드 등으로 제공되는 것도 가능하다.For example, the air cut-off portion 130 may include a plurality of brushes installed around the lower end of the housing 112. In addition to the brushes, the air blocking portion 130 may be provided with a rubber pad having a predetermined elasticity.

공기차단부(130)의 구성은 다양하게 변형될 수 있으며, 하우징(112)의 주변부로 누출되는 공기를 차단하기 위한 다양한 형태나 재질 등이 사용될 수 있다.The structure of the air blocking portion 130 may be variously modified, and various shapes and materials for blocking the air leaking to the peripheral portion of the housing 112 may be used.

또한, 본 실시예의 분진 제거 장치(100)는, 종이, 필름, 섬유, 알루미늄 필름, 라미네이트 필름 등의 대상물(P)에 부착된 분진 등을 효과적으로 제거할 수 있으며, 약 5㎛ 이상의 입자크기를 갖는 분진 등을 제거할 수 있다.The dust removing apparatus 100 of the present embodiment is capable of effectively removing dust and the like adhering to the object P such as paper, film, fiber, aluminum film, laminate film and the like, Dust and the like can be removed.

또한, 본 실시예의 분진 제거 장치(100)는, 별도의 소모품이 사용되지 않고, 비접촉식으로 이루어져 대상물(P)의 표면에 스크래치 및 성막 손상 등을 일으키지 않는다.Further, the dust removing apparatus 100 of the present embodiment does not use any consumable item but is made of a non-contact type, and does not cause scratches or film damage on the surface of the object P.

도 4의 (a)와 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치(100)에 의해 분진이 제거되기 전, 후의 대상물(P)을 도시한 도면이다.4A and 4B are views showing an object P before and after dust is removed by the dust removing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

대상물(P)의 표면에, 도 4의 (a)와 같이, 약 1.6㎛ 크기의 스페이서 비즈를 드라이 살포하여 분진을 부착시킨 후, 이를 제거하는 실험이 진행될 수 있다.As shown in Fig. 4A, a spacer beads having a size of about 1.6 mu m may be dry-sprayed on the surface of the object P to attach dust, and then an experiment for removing the dust may be performed.

본 실시예에서 분진 제거 장치(100)의 에어 나이프(110)는 노즐부(114)와 대상물(P)과의 간격이 약 1.5mm 이격되게 배치될 수 있다.The air knife 110 of the dust removing apparatus 100 may be disposed such that the gap between the nozzle unit 114 and the object P is spaced apart by about 1.5 mm.

또한, 송풍펌프(150)는 노즐부(114)에서 분사되는 공기의 토출압력이 약 14kpa로 유지되도록 공기를 분사하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the air blowing pump 150 inject air so that the discharge pressure of the air jetted from the nozzle unit 114 is maintained at about 14 kpa.

일례로, 대상물(P)은 액정용 유리기판(320mmX420mm)이 사용될 수 있으며, 반송 속도 100mm/sec로 이송될 수 있다.For example, the object P may be a glass substrate for liquid crystal (320 mm x 420 mm) and may be transported at a transporting speed of 100 mm / sec.

대상물(P)은 분진 제거 장치(100)에서 에어 나이프(110)를 통과하는 과정에서, 표면에 부착된 분진 등이 제거될 수 있다. 이때, 도 4의 (b)를 참고하면, 약 1.6㎛ 크기의 스페이서 비즈가 모두 제거된 것을 확인할 수 있다.In the process of passing the object P through the air knife 110 in the dust removing apparatus 100, dust or the like attached to the surface of the object P may be removed. At this time, referring to FIG. 4 (b), it can be seen that all the spacer beads having a size of about 1.6 탆 are removed.

도 5의 (a)와 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 제거 장치(100)에 의해 분진이 제거되기 전, 후의 다른 대상물(P)을 도시한 도면이다.5 (a) and 5 (b) are views showing another object P before and after dust is removed by the dust removing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

다음으로 대상물(P)의 표면에, 도 5의 (a)와 같이, 약 1.6 내지 50㎛ 크기의 이물질이 부착된 대상물(P)의 분진을 제거하는 실험이 진행될 수 있다.Next, as shown in Fig. 5 (a), an experiment may be performed on the surface of the object P to remove dust of the object P to which foreign matter having a size of about 1.6 to 50 탆 is attached.

본 실시예에서 분진 제거 장치(100)의 에어 나이프(110)는 노즐부(114)와 대상물(P)과의 간격이 약 1.5mm 이격되게 배치될 수 있다.The air knife 110 of the dust removing apparatus 100 may be disposed such that the gap between the nozzle unit 114 and the object P is spaced apart by about 1.5 mm.

또한, 송풍펌프(150)는 노즐부(114)에서 분사되는 공기의 토출압력이 약 14kpa로 유지되도록 공기를 분사하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the air blowing pump 150 inject air so that the discharge pressure of the air jetted from the nozzle unit 114 is maintained at about 14 kpa.

일례로, 대상물(P)은 액정용 유리기판(320mmX420mm)이 사용될 수 있으며, 반송 속도 100mm/sec로 이송될 수 있다.For example, the object P may be a glass substrate for liquid crystal (320 mm x 420 mm) and may be transported at a transporting speed of 100 mm / sec.

대상물(P)은 분진 제거 장치(100)에서 에어 나이프(110)를 통과하는 과정에서, 표면에 부착된 분진 등이 제거될 수 있다. 이때, 도 5의 (b)를 참고하면, 약 1.6 내지 50㎛ 크기의 이물질이 모두 제거된 것을 확인할 수 있다.In the process of passing the object P through the air knife 110 in the dust removing apparatus 100, dust or the like attached to the surface of the object P may be removed. At this time, referring to FIG. 5 (b), it can be seen that foreign matter having a size of about 1.6 to 50 μm is completely removed.

한편, 본 실시예에서 에어 나이프(110)는 하우징(112)의 양측에 노즐부(114)가 배치되고, 중앙부에는 노즐부(114)에서 분사된 공기를 배출하는 집진부(116)가 배치되는 것으로 설명하고 있으나, 에어 나이프(110)의 구성은 한정되지 않으며 다양하게 변형될 수 있다.In the present embodiment, the air knife 110 is provided with a nozzle portion 114 on both sides of the housing 112, and a dust collecting portion 116 for discharging the air injected from the nozzle portion 114 is disposed at the center portion However, the configuration of the air knife 110 is not limited and may be variously modified.

일례로, 에어 나이프(110)는 하나의 노즐부(114)와 하나의 집진부(116)로 구성되는 것도 가능하다.For example, the air knife 110 may be composed of one nozzle portion 114 and one dust collecting portion 116.

또한, 에어 나이프(210)는 도 6에 도시된 바와 같이, 노즐부(214)는 하나로 제공되고, 집진부(216)는 2개로 제공되는 것도 가능하다.6, the air knife 210 may be provided with one nozzle unit 214 and the dust collection unit 216 may be provided with two nozzles.

구체적으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 분진 제거 장치(200)의 에어 나이프(210)의 단면도인 도 6을 참고하면, 분진 제거 장치(200)는 송풍펌프(250)와 에어 나이프(210)를 포함할 수 있다.6, the dust removing apparatus 200 includes a blowing pump 250 and an air knife 210. The blowing pump 250 is connected to the air knife 210 of the dust removing apparatus 200, . ≪ / RTI >

에어 나이프(210)는 송풍펌프(250)로부터 고압의 공기가 공급될 수 있다.The air knife 210 can be supplied with high-pressure air from the air blowing pump 250.

한편, 에어 나이프(210)는 송풍펌프(250)로부터 공기가 공급되는 하우징(212)을 포함할 수 있고, 노즐부(214)는 하우징(212)의 중앙부에 제공되어 대상물(P)로 고압의 공기를 분사할 수 있다.The air knife 210 may include a housing 212 to which air is supplied from the air blowing pump 250. The nozzle 214 may be provided at a central portion of the housing 212 so that the object P may be a high- Air can be sprayed.

노즐부(214)의 내측에는 이오나이져(120)가 제공될 수 있으며, 분사되는 공기를 이온화하여 분사할 수 있다.An ionizer 120 may be provided on the inner side of the nozzle unit 214, and the air to be injected may be ionized and injected.

한편, 집진부(216)는 노즐부(214)의 양측에 배치될 수 있으며, 노즐부(214)에서 대상물(P)로 분사되며 분진을 제거한 공기를 집진하여 외부로 배출할 수 있다.Meanwhile, the dust collecting unit 216 may be disposed on both sides of the nozzle unit 214, and may collect the dust-removed air that is sprayed to the object P from the nozzle unit 214 and discharge it to the outside.

이상, 본 발명에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention.

100: 분진 제거 장치 110: 에어 나이프
112: 하우징 114: 노즐부
115: 노즐팁 116: 집진부
120: 이오나이져 130: 공기차단부
150: 송풍펌프 160: 여과필터
170: 집진필터100: dust removing device 110: air knife
112: housing 114: nozzle part
115: nozzle tip 116:
120: ionizer 130: air blocking part
150: blower pump 160: filtration filter
170: dust filter

Claims (8)

공기 유입구 및 배출구가 형성된 하우징;
상기 하우징의 일측에 형성되며, 상기 공기 유입구로 유입된 공기를 대상물의 표면으로 분사하여 상기 대상물 표면에 고착된 분진을 탈락시키는 노즐부;
상기 하우징의 타측에 형성되어, 상기 배출구를 통해 상기 노즐부에서 대상물로 분사된 공기 및 분진을 배출하는 집진부; 및
상기 노즐부 내측에 제공되며 상기 노즐부로 배출되는 공기를 이온화시키는 이오나이져(ionizer);
를 포함하는 에어 나이프.
A housing having an air inlet and an outlet;
A nozzle unit formed at one side of the housing and jetting the air introduced into the air inlet to the surface of the object to remove dust adhering to the surface of the object;
A dust collecting part formed on the other side of the housing and discharging air and dust injected from the nozzle part through the discharge port to an object; And
An ionizer provided inside the nozzle unit for ionizing the air discharged to the nozzle unit;
.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐부는 상기 하우징의 중앙부에 형성되고,
상기 집진부는 상기 노즐부의 양측에 배치되는 에어 나이프.
The method according to claim 1,
The nozzle unit is formed at a central portion of the housing,
Wherein the dust collecting portion is disposed on both sides of the nozzle portion.
청구항 1에 있어서,
상기 집진부는 상기 하우징의 중앙부에 형성되고,
상기 노즐부는 상기 집진부의 양측에 배치되는 에어 나이프.
The method according to claim 1,
The dust collecting part is formed at a central portion of the housing,
And the nozzle portion is disposed on both sides of the dust collecting portion.
청구항 3에 있어서,
상기 노즐부는 중앙부측으로 경사지게 배치되며, 각도의 조절이 가능토록 설치되는 노즐팁을 포함하는 에어 나이프.
The method of claim 3,
Wherein the nozzle portion is inclined toward the center portion and includes a nozzle tip provided so as to adjust the angle.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하우징은 외측둘레에 상기 대상물에 인접하게 연장되어 공기의 배출을 차단하는 공기차단부를 포함하는 에어 나이프.
The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the housing includes an air cut-off portion extending outwardly adjacent to the object to block the discharge of air.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 따른 에어 나이프; 및
상기 에어 나이프로 공기를 공급하는 송풍펌프;
를 포함하는 분진 제거 장치.
An air knife according to any one of claims 1 to 4; And
A blowing pump for supplying air to the air knife;
.
청구항 6에 있어서,
상기 송풍펌프는 상기 에어 나이프로 공급되는 공기의 이물질을 여과하는 여과필터를 더 포함하는 분진 제거 장치.
The method of claim 6,
Wherein the air blowing pump further comprises a filtration filter for filtering foreign matter of air supplied to the air knife.
청구항 6에 있어서,
상기 에어 나이프의 배출구에 연결되어 배출되는 분진을 집진하는 집진필터를 더 포함하는 분진 제거 장치.The method of claim 6,
And a dust filter connected to an outlet of the air knife for dust collection.
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