KR20150088495A - Air Injection Type Washer with Function of Particle Scattering Prevention - Google Patents

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KR20150088495A
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Abstract

An air injection type washer is disclosed. The present invention comprises: an injection port injecting air on a cleaning target surface; and a collection port installed to be adjacent to the injection port, wherein a particle scattered from the cleaning target surface by air injected from the injection port flows. According to the present invention, a particle blowing by the air injection type washer is scattered to the outside of a cleaning target surface, thereby preventing a cause of secondary contamination which can not be predicted or controlled.

Description

파티클의 비산 방지 기능이 구비된 공기 분사식 세정기{Air Injection Type Washer with Function of Particle Scattering Prevention}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an air injection type washer having a particle scattering prevention function,

본 발명은 공기 분사식 세정기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 공기 분사식 세정기를 휴대한 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 파티클의 수량을 측정 및 관리할 수 있도록 하는 공기 분사식 세정기에 관한 것이다. The present invention relates to an air spray type scrubber, and more particularly, to an air spray type scrubber capable of preventing particles blown by an air jet type scrubber from scattering outside a surface to be cleaned to cause secondary contamination which can not be predicted or controlled In addition, the present invention relates to an air jet type cleaning device that allows a user carrying an air jet type cleaning device to easily remove particles from a surface of a specific product or equipment, and to measure and manage the quantity of particles.

일반적으로 평판 디스플레이 제조에 사용되는 대형의 유리기판은 세정수를 이용하여 세정한 후 빠르게 건조를 하지 않으면 그 세정수에 의한 물얼룩이 유리기판 상에 남아 이후의 제조과정에서 결함으로 작용하게 되며, 이와 같은 대면적의 기판을 건조시키기 위하여 그 기판에 CDA(Clean dry air)를 분사하는 에어 나이프가 일반적으로 사용되고 있다.Generally, a large glass substrate used for manufacturing a flat panel display is remained on the glass substrate due to the cleaning water, and then acts as a defect in the subsequent manufacturing process. Air knives for spraying clean dry air (CDA) onto the substrate in order to dry the same large-area substrate are generally used.

또한, 이와 같은 에어 나이프는 평판 디스플레이 제조뿐만 아니라, 반도체 웨이퍼 및 회로 기판 제조, 클린룸 등에서 다양하게 사용되고 있다.In addition, such an air knife is widely used not only for flat panel display manufacturing, but also for semiconductor wafer, circuit board manufacturing, and clean room.

한편, 에어 나이프는 일반적으로 상부에 공기 공급포트가 마련되고, 하부측에 마련된 슬릿형의 노즐을 통해 공기 공급포트를 통해 공급된 공기를 분사하는 구조를 가지고 있다.On the other hand, the air knife generally has an air supply port at an upper portion thereof and a structure for spraying air supplied through an air supply port through a slit-shaped nozzle provided at the lower side.

또한, 에어 나이프는 이와 같은 건조 기능 뿐만 아니라, 공기에 포함된 입자성 불순물인 파티클(Particle)을 공기를 통해 불어냄으로써 그 자체로서 세정의 기능을 수행하기도 한다.In addition, the air knife functions not only as a drying function but also as a cleaning function itself by blowing particles, which are particulate impurities contained in air, through air.

한편, 이와 같이 에어 나이프를 세정의 용도로 사용하는 경우에 블로잉(Blowing) 처리되는 파티클은 주변으로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 된다는 문제점이 있다.On the other hand, in the case where the air knife is used for cleaning purposes, the particles subjected to the blowing process are scattered around, which causes secondary contamination which can not be predicted or controlled.

따라서, 본 발명의 목적은, 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 공기 분사식 세정기를 휴대한 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 파티클의 수량을 측정 및 관리할 수 있도록 하는 공기 분사식 세정기를 제공함에 있다.Therefore, it is an object of the present invention to provide an air-jet type cleaning device that can prevent particles that are blown by an air-jet type cleaning device from being scattered outside a surface to be cleaned, thereby preventing secondary contamination that can not be predicted or controlled, The present invention provides an air jet type scrubber that allows a user carrying a cleaner to easily remove particles from the surface of a specific product or equipment, etc., at various sites while measuring and managing the quantity of particles.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기는, 클리닝 대상면에 공기를 분사하는 분사구; 및 상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 분사구로부터 분사된 공기에 의해 상기 클리닝 대상면으로부터 비산되는 파티클이 유입되는 회수구를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an air jet type scrubber comprising: a jet port for jetting air to a surface to be cleaned; And a recovery port installed adjacent to the ejection port and through which the particles scattered from the surface to be cleaned are introduced by the air ejected from the ejection port.

바람직하게는, 상기 회수구의 입구에 설치되며, 상기 파티클의 상기 회수구로의 유입을 유도하는 유도구를 더 포함한다.Preferably, the apparatus further includes an oiling tool installed at an inlet of the collection port to induce the introduction of the particles into the collection port.

또한, 상기 공기 분사식 세정기의 하부에 설치되며, 상기 파티클이 상기 클리닝 대상면 밖으로 비산되는 것을 방지하는 차단재를 더 포함한다.The apparatus further includes a barrier disposed at a lower portion of the air injection type scrubber to prevent the particles from scattering out of the cleaning target surface.

또한, 상기 회수구에 설치되며, 상기 회수구로 유입된 파티클을 흡입하는 흡기구를 더 포함한다.The apparatus may further include an intake port installed in the recovery port and adapted to suck the particles introduced into the recovery port.

또한, 상기 흡기구에 설치되며, 상기 흡기구를 통해 흡입된 파티클의 수량을 측정하는 파티클 센서를 더 포함한다.The particle sensor further includes a particle sensor installed at the inlet port for measuring the quantity of particles sucked through the inlet port.

또한, 상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 플라즈마 세정기를 더 포함한다.The plasma cleaner further includes a plasma cleaner installed adjacent to the jetting port for cleaning the surface to be cleaned.

또한, 상기 흡기구로 흡입된 상기 파티클의 샘플 취득을 위해 싸이클론 흡입 방식이 적용되는 것을 특징으로 한다.Further, a cyclone suction method is applied to obtain a sample of the particles sucked into the inlet.

또한, 상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 초음파 진동자를 더 포함한다.The ultrasonic diagnostic apparatus further includes an ultrasonic transducer provided adjacent to the injection port for cleaning the surface to be cleaned.

또한, 상기 분사구에 설치되며, 상기 분사구를 통해 분사되는 공기에 의해 발생하는 정전기를 제거하는 이온화 장치를 더 포함한다.The apparatus may further include an ionization device installed in the injection port to remove static electricity generated by the air injected through the injection port.

본 발명에 따르면, 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있게 된다.According to the present invention, particles blown by the air jet type scrubber can be scattered outside the surface to be cleaned, thereby preventing secondary contamination which can not be predicted or controlled.

아울러, 본 발명에 따르면, 공기 분사식 세정기를 휴대한 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 해당 파티클의 수량을 측정 및 관리할 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, a user carrying an air spraying type cleaner can easily remove particles from the surface of a specific product or equipment, and at the same time, can measure and manage the quantity of the particles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 분사식 세정기의 구조를 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기의 구조를 나타내는 도면,
도 3는 도 1 및 도 2에서의 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기에 구비된 분사구의 측면 구조를 나타내는 도면, 및
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기의 구조를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing a structure of an air jet type scrubber according to an embodiment of the present invention;
2 is a view showing the structure of an air jet type scrubber according to another embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a side view of the jetting port provided in the air jet type scrubber according to the present invention in FIGS. 1 and 2, and FIG.
4 is a view showing the structure of an air jet type scrubber according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is to be noted that the same elements among the drawings are denoted by the same reference numerals whenever possible. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 다른 공기 분사식 세정기(100)는 분사구(110), 회수구(130), 유도구(150), 차단재(170), 및 흡기구(190)를 포함한다.1 is a view showing a structure of an air jet cleaner 100 according to an embodiment of the present invention. 1, the air injection type scrubber 100 according to an embodiment of the present invention includes a jetting port 110, a recovery port 130, a hydraulic tool 150, a barrier 170, and an air inlet 190 do.

분사구(110)는 송풍구(113)를 통해 공급받은 공기를 길이 방향(지면 방향)으로 길게 형성된 슬릿형 노즐을 이용하여 클리닝 대상면(10)에 분사함으로써, 클리닝 대상면(10)에 위치하는 파티클 등에 대한 블로잉 처리를 하는 기능을 수행한다.The injection port 110 injects the air supplied through the air outlet 113 onto the surface to be cleaned 10 by using a slit-shaped nozzle formed long in the longitudinal direction And the like.

한편, 회수구(130)는 분사구(110)의 양 측면에 인접하여 설치되며, 분사구(110)에 의해 블로잉 처리된 파티클은 클리닝 대상면(10)의 외부로 비산되지 않고, 회수구(130)의 내부로 유입되게 된다. 이와 같은 회수구(130)는 통형 구조로서 분사구(110)와 일체로서 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)를 구성하게 된다.The collecting port 130 is provided adjacent to both sides of the jetting port 110. The particles blown by the jetting port 110 are not scattered to the outside of the cleaning target surface 10, As shown in FIG. Such a recovery port 130 constitutes an air injection type scrubber 100 according to the present invention as a tubular structure and integral with the injection port 110.

아울러, 본 발명을 실시함에 있어서, 회수구(130)의 내부로 유입된 파티클은 회수구(130)의 상부에 설치된 흡기구(190)를 통해 외부로 배출되도록 함이 바람직할 것이다.In addition, in carrying out the present invention, it is preferable that the particles introduced into the collection port 130 are discharged to the outside through the intake port 190 installed in the upper part of the collection port 130.

아울러, 분사구(110)에 의해 블로잉 처리된 파티클이 분사구(110)에 의해 분사되는 공기와 함께 회수구(130)의 내부로 용이하게 유입될 수 있도록, 도 1에서와 같이 회수구(130)의 파티클이 유입되는 입구의 크기가 확장되도록 하는 유도구(150)를 설치함이 바람직할 것이다.In order to allow the particles blown by the jetting port 110 to flow easily into the inside of the recovery port 130 together with the air jetted by the jetting port 110, It may be preferable to provide a fluidic tool 150 that allows the size of the inlet through which the particles are introduced to expand.

뿐만 아니라, 분사구(110)에 의해 블로잉 처리된 파티클이 회수구(130)로 유입되지 않고, 클리닝 대상면(10) 밖으로 비산되는 것을 방지하기 위해서, 도 1에서와 같이 공기 분사식 세정기(100)의 하부 외곽부에는 실리콘 또는 고무 재질의 차단재(170)를 설치함이 바람직할 것이다.1, in order to prevent the particles blown by the jetting ports 110 from being scattered out of the cleaning target surface 10 without flowing into the recovery port 130, It is preferable to provide a barrier material 170 made of silicone or rubber on the lower outer frame.

그에 따라, 사용자가 분사구(110)를 이용한 파티클의 블로잉 처리를 하기 전에 차단재(170)를 클리닝 대상면(10)에 밀착시킴으로써, 차단재(170)를 이용하여 클리닝 대상면(10)의 주변을 에워싼 상태에서 분사구(110)를 통해 블로잉 작업을 하게 되면, 블로잉 처리된 파티클이 클리닝 대상면(10) 밖으로 비산되는 것이 차단재(170)에 의해 방지되게 되며, 그에 따라, 파티클은 모두 회수구(130)로 유입될 수 있게 된다.The barrier member 170 is brought into close contact with the surface to be cleaned 10 before the user performs the blowing process of the particle using the jetting port 110 so that the periphery of the surface 10 to be cleaned When the blowing operation is performed through the injection port 110 in a cheap state, the blocking material 170 is prevented from scattering the blown-processed particles out of the surface to be cleaned 10, . ≪ / RTI >

아울러, 본 발명을 실시함에 있어서는, 흡기구(190)의 단부 또는 흡기구(190)의 내부에 파티클 센서(미도시)를 설치함으로써, 클리닝 대상면(10)의 블로잉 처리를 통해 비산되는 파티클의 수량을 동시에 측정하고, 사용자가 이와 같은 파티클 수량 정보를 관리할 수 있도록 함이 바람직할 것이다.In addition, in carrying out the present invention, a particle sensor (not shown) may be provided at the end of the intake port 190 or inside the intake port 190 to reduce the amount of particles scattered through the blowing treatment of the surface- It is preferable to measure them simultaneously so that the user can manage such particle quantity information.

이와 같은 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)는 휴대용 제품으로 제작됨으로써, 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 측정할 수 있도록 함이 바람직할 것이다.The air jet cleaner 100 according to the present invention may be manufactured as a portable product so that the user can easily remove and measure particles on the surface of a specific product or equipment at various sites.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 2을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)는 도 1에서의 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)에서와 동일하게 분사구(110), 회수구(130), 유도구(150), 차단재(170), 및 흡기구(190)를 포함한다.2 is a view showing the structure of an air jet cleaner 100 according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the air injection type scrubber 100 according to another embodiment of the present invention includes an injection port 110, a recovery port 110, (130), oil tool (150), barrier (170), and air inlet (190).

한편, 도 2에서의 공기 분사식 세정기(100)는 도 1에서와는 달리 분사구(110)가 수직 방향으로 경사진 상태로 설치되어 있으며, 이와 같은 경사형 분사구(110)를 통해 블로잉 처리되는 파티클은 한 쪽 방향으로만 비산되게 된다.2, the jetting port 110 is vertically inclined. Unlike the jetting port 100 shown in FIG. 2, the jetting port 110 of the air- Direction.

따라서, 도 2에서의 공기 분사식 세정기(100)는 도 1에서와는 달리 분사구(110)의 일측에만 회수구(130), 유도구(150), 및 차단재(170)가 구비되는 것으로도 동일한 기능을 달성할 수 있게 된다.2, the air injection type scrubber 100 has the same function as the one having the recovery port 130, the oil tool 150, and the barrier 170 in only one side of the injection port 110 .

도 3는 도 1 및 도 2에서의 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)에 구비된 분사구(110)의 측면 구조를 나타내는 도면이다. 도 3에서와 같이 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)에 구비된 분사구(110)는 넓은 분사 폭을 가지도록, 길이 방향으로 길게 형성된 슬릿형 분사 노즐 구조를 구비하고 있다.FIG. 3 is a view showing a side structure of the injection port 110 provided in the air injection type scrubber 100 according to the present invention in FIGS. 1 and 2. FIG. As shown in FIG. 3, the jetting port 110 provided in the air jet type scrubber 100 according to the present invention has a slit-shaped jetting nozzle structure formed to be long in the longitudinal direction so as to have a wide jetting width.

아울러, 도 3에서와 같이 분사구(110-1)는 단부에 구비된 체결부(115)를 통해 다른 분사구(110-2)와 길이 방향으로 연속 결합이 가능하게 됨으로써, 사용자는 필요에 따라 분사구(110)에 의한 분사의 폭을 확장시킬 수 있게 된다.3, the injection port 110-1 can be continuously coupled with the other injection port 110-2 in the longitudinal direction through the coupling part 115 provided at the end, The width of the injection by the nozzles 110 can be extended.

한편, 분사구(110)의 단부에서의 체결 구조는 홈과 그루브를 이용한 슬라이딩 결합 방식 등의 다양한 방법이 적용될 수 있을 것이다.Meanwhile, the fastening structure at the end of the injection port 110 may be implemented by various methods such as a sliding coupling method using a groove and a groove.

이와 같이, 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)의 분사구(110-1)에 구비된 체결부(115)는 다른 공기 분사식 세정기(100)의 분사구(110-2)에 구비된 체결부(115)와 결합됨으로써, 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)는 다른 공기 분사식 세정기(100)와 길이 방향으로 연속적으로 결합된 상태에서 사용가능하게 된다.The coupling part 115 provided at the injection port 110-1 of the air injection type washer 100 according to the present invention is connected to the coupling part 115 provided at the injection port 110-2 of the other air injection type washer 100, So that the air-spraying washer 100 according to the present invention can be used in a state in which it is continuously connected to other air-spraying washer 100 in the longitudinal direction.

한편, 본 발명을 실시함에 있어서는, 클리닝 대상면(10)을 플라즈마를 이용하여 추가 세정할 수 있도록 플라즈마 세정기(미도시)를 분사구(110)의 측면에 결합 설치할 수도 있을 것이다.Meanwhile, in implementing the present invention, a plasma cleaner (not shown) may be coupled to the side surface of the jetting port 110 so that the surface to be cleaned 10 can be further cleaned using plasma.

아울러, 본 발명을 실시함에 있어서는, 흡기구(190)에 연결설치됨으로써 공기와 함께 파티클이 흡기구(190)를 통해 흡입되도록 하는 흡입 장치를 설치함에 있어서는, 싸이클론 흡입 방식으로 구동하는 진공 펌프를 구비한 흡입 장치를 설치함이 바람직할 것이며, 이 경우에는 원심력으로 공기를 회전시키면서 파티클을 흡입함으로써 흡입된 파티클을 아래로 가라앉히는 방식으로 파티클을 수집할 수 있게 되고, 이와 같이 수집된 파티클은 흡입 장치 내부에 설치된 파티클 센서에 의해 측정된다.In addition, when the present invention is implemented, a suction device connected to the suction port 190 for allowing the particles to be sucked through the suction port 190 is provided. The suction device includes a vacuum pump driven by a cyclone suction method In this case, it is possible to collect the particles in a manner such that the particles are sucked down by sucking the particles while rotating the air by the centrifugal force, and the particles thus collected are collected in the suction device As shown in FIG.

또한, 본 발명을 실시함에 있어서는, 분사구(110)의 측면에 초음파 진동자를 추가로 결합 설치할 수도 있을 것이며, 이 경우에 초음파 진동자의 진동에 의한 기계적 진동 에너지는 분사구(110)를 통해 공급되는 공기를 매질로 하여 클리닝 대상면(10)에 전달됨으로써, 클리닝 대상면(10)의 세정 효과를 더욱 증진시킬 수 있게 된다.In this case, the mechanical vibration energy due to the vibration of the ultrasonic vibrator may cause the air supplied through the injection port 110 to flow through the nozzle hole 110, The cleaning effect of the cleaning target surface 10 can be further enhanced by being transmitted to the cleaning target surface 10 as a medium.

뿐만 아니라, 본 발명을 실시함에 있어서는, 도 4에서와 같이 분사구(110)에 구비된 송풍구(113)에 이온화 장치(ionizer:180)를 추가로 설치함으로써, 분사구(110)를 통해 분사되는 공기에 의해 발생하는 정전기가 제거되도록 할 수도 있을 것이다.4, an ionizer 180 is additionally provided in the air outlet 113 provided in the jetting port 110, so that air introduced through the jetting port 110 So that the static electricity generated by the static electricity can be removed.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 응용예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 응용예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.

또한, 본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
Furthermore, the terms used in the present invention are used only to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

10: 클리닝 대상면, 100: 공기 분사식 세정기,
110: 분사구, 113: 송풍구,
115: 체결부, 130: 회수구,
150: 유도구, 170: 차단재,
180: 이온화 장치, 190: 흡기구. 10: surface to be cleaned, 100: air jet type scrubber,
110: jetting port, 113: blowing port,
115: fastening part, 130:
150: oil tool, 170: barrier material,
180: ionization device, 190: intake port.

Claims (9)

클리닝 대상면에 공기를 분사하는 분사구; 및
상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 분사구로부터 분사된 공기에 의해 상기 클리닝 대상면으로부터 비산되는 파티클이 유입되는 회수구
를 포함하는 공기 분사식 세정기.
A jet port for jetting air onto a surface to be cleaned; And
And a recovery unit installed adjacent to the ejection orifice for ejecting particles scattered from the surface to be cleaned by the air ejected from the ejection orifice,
And an air injection type scrubber.
제1항에 있어서,
상기 회수구의 입구에 설치되며, 상기 파티클의 상기 회수구로의 유입을 유도하는 유도구를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
The method according to claim 1,
Further comprising an oiling tool installed at an inlet of the collection port to guide the particles into the collection port.
제1항에 있어서,
상기 공기 분사식 세정기의 하부에 설치되며, 상기 파티클이 상기 클리닝 대상면 밖으로 비산되는 것을 방지하는 차단재를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
The method according to claim 1,
Further comprising: a barrier disposed at a lower portion of the air injecting type scrubber to prevent the particles from scattering out of the surface to be cleaned.
제1항에 있어서,
상기 회수구에 설치되며, 상기 회수구로 유입된 파티클을 흡입하는 흡기구를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
The method according to claim 1,
And a suction port installed in the recovery port and adapted to suction particles introduced into the recovery port.
제4항에 있어서,
상기 흡기구에 설치되며, 상기 흡기구를 통해 흡입된 파티클의 수량을 측정하는 파티클 센서를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
5. The method of claim 4,
And a particle sensor installed at the inlet port for measuring a quantity of particles sucked through the inlet port.
제1항에 있어서,
상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 플라즈마 세정기를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
The method according to claim 1,
And a plasma cleaner installed adjacent to the jetting port for cleaning the surface to be cleaned.
제4항에 있어서,
상기 흡기구로 흡입된 상기 파티클의 샘플 취득을 위해 싸이클론 흡입 방식이 적용되는 것인 공기 분사식 세정기.
5. The method of claim 4,
And a cyclone suction method is applied to obtain a sample of the particles sucked into the intake port.
제1항에 있어서,
상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 초음파 진동자를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.The method according to claim 1,
And an ultrasonic vibrator provided adjacent to the jetting port for cleaning the surface to be cleaned. 제1항에 있어서,
상기 분사구에 설치되며, 상기 분사구를 통해 분사되는 공기에 의해 발생하는 정전기를 제거하는 이온화 장치를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.The method according to claim 1,
And an ionization device installed in the jetting port to remove static electricity generated by the air injected through the jetting port.
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