KR20200094635A - 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법 - Google Patents

절삭 장치의 원점 위치 등록 방법 Download PDF

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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 척 테이블의 유지면의 높이에 편차가 있어도 피가공물에 대한 고정밀도의 절입 깊이를 실현하는 것을 가능하게 하는 것.
(해결 수단) 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 척 테이블의 유지면에 소정의 두께의 다이싱 테이프를 유지하는 시트 유지 스텝 (ST1) 과, 척 테이블의 복수의 XY 좌표에서, 다이싱 테이프의 표면으로부터 절삭 유닛을 Z 축 방향으로 소정량 승강시켜, 절삭 블레이드로 다이싱 테이프를 완전 절단하지 않는 깊이의 절삭흔을 형성하는 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 과, XY 좌표에 대한 복수의 그 절삭흔의 길이를 카메라 유닛으로 검출하고, 절삭흔의 길이와 절삭 블레이드의 외경으로부터 절삭흔의 절입 깊이를 산출하고, 절입 깊이와 다이싱 테이프의 두께로부터 원점 위치를 XY 좌표에 대응시켜 산출하여 기억하는 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 을 구비한다.

Description

절삭 장치의 원점 위치 등록 방법{ORIGINAL POSITION REGISTERING METHOD FOR CUTTING APPARATUS}
본 발명은, 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 각종 판상물을 스핀들에 장착한 절삭 블레이드로 절삭하여, 원하는 깊이의 홈을 형성하거나 분할하거나 하는 가공이 알려져 있다. 예를 들어, 피가공물에 원하는 깊이의 홈을 양호한 깊이 정밀도로 형성하는 경우, 피가공물의 두께 (높이) 에 맞추어 절삭 블레이드의 높이를 제어하는 기술이 개발되어 있다.
더욱 정밀도를 양호하게 하려면, 절삭 블레이드의 날끝과 척 테이블의 유지면의 거리가 정확하게 제어될 필요가 있다. 절삭 블레이드의 선단 (하단) 과 척 테이블의 유지면이 접촉하는 점을 이른바 원점 위치로서 등록하고 (셋업), 그곳으로부터의 거리 (높이) 를 제어함으로써 절입 깊이를 제어하는 것이 일반적인 절삭 장치의 운용 방법이다. 그러나, 척 테이블은 두께 편차나 기울기가 있기 때문에, 1 개 지점의 원점 위치를 유지면 전체 면에 적용하는 것은, 절입 깊이의 정밀도에 오차가 생겨 버린다.
또, 스핀들을 산출 이송 방향 (Y 축 방향) 으로 이동시키는 유닛이나 척 테이블을 가공 이송 방향 (X 축 방향) 으로 이동시키는 유닛도 그 진직성 (眞直性) 에도 한계가 있기 때문에, 매우 높은 정밀도로 절입 깊이를 제어하고자 하는 경우, 척 테이블 전체 면에 있어서의 원점 위치를 등록하고, 그것에 맞추어 X, Y, Z 의 각 축의 이동을 보정시킬 필요가 있다.
이 때문에, 본 발명의 출원인은, 웨이퍼의 높이를 측정하고 그것에 기초하여 절입 깊이를 제어하는 가공 장치를 제안하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2016-207808호
전술한 가공 장치는, 척 테이블의 유지면의 높이에 편차가 있어도 피가공물에 대한 고정밀도의 절입 깊이를 실현하는 것이 요구되고 있다.
본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 척 테이블의 유지면의 높이에 편차가 있어도 피가공물에 대한 고정밀도의 절입 깊이를 실현하는 것을 가능하게 하는 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법을 제공하는 것이다.
상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 피가공물을 유지면에서 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 스핀들에 절삭 블레이드가 장착된 절삭 유닛과, 그 척 테이블과 그 절삭 유닛을 그 유지면과 평행한 X 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 X 축 이동 유닛과, 그 척 테이블과 그 절삭 유닛을 그 유지면과 평행하며 그 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 Y 축 이동 유닛과, 그 척 테이블과 그 절삭 유닛을 그 유지면과 직교하는 Z 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 Z 축 이동 유닛과, 그 유지면에 유지된 피가공물을 촬영하는 카메라 유닛과, 그 유지면과 그 절삭 블레이드의 선단이 접촉하는 절삭 유닛의 그 Z 축 방향의 높이를 원점 위치로 하고 그 유지면의 XY 좌표에 대응한 각각의 그 원점 위치를 등록하는 원점 위치 등록부와, 그 원점 위치 등록부에 등록된 정보에 기초하여 그 절삭 유닛의 그 Z 축 방향의 높이를 XY 좌표에 따라 보정하는 보정부를 구비하는 절삭 장치를 사용한 원점 위치의 등록 방법으로서, 그 척 테이블의 유지면에 소정의 두께의 시트를 유지하는 시트 유지 스텝과, 그 척 테이블의 복수의 XY 좌표에서, 그 시트의 표면으로부터 그 절삭 유닛을 그 Z 축 방향으로 소정량 승강시켜, 그 절삭 블레이드로 그 시트를 완전 절단하지 않는 깊이의 절삭흔을 형성하는 절삭흔 형성 스텝과, XY 좌표에 대한 복수의 그 절삭흔의 길이를 그 카메라 유닛으로 검출하고, 그 절삭흔의 길이와 그 절삭 블레이드의 외경으로부터 그 절삭흔의 절입 깊이를 산출하고, 그 절입 깊이와 그 시트의 두께로부터 그 원점 위치를 그 XY 좌표에 대응시켜 산출하여 기억하는 원점 위치 등록 스텝을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법에 있어서, 그 시트는, 외주가 환상의 프레임에 고정되어 있는 다이싱 테이프이고, 그 유지면은 그 다이싱 테이프에 덮여도 된다.
본 발명은, 척 테이블의 유지면의 높이에 편차가 있어도 피가공물에 대한 고정밀도의 절입 깊이를 실현하는 것을 가능하게 할 수 있다는 효과를 발휘한다.
도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법을 실시하는 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내어진 절삭 장치의 Z 축 방향 위치 검출 유닛의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3 은, 도 1 에 나타내어진 절삭 장치의 제어 유닛의 원점 위치 등록부가 원점 위치를 등록한 정보를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4 는, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다.
도 5 는, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 절삭흔 형성 스텝을 일부 단면에서 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 6 은, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 절삭흔 형성 스텝 중의 절삭 블레이드와 절삭흔 등을 모식적으로 나타내는 다이싱 테이프의 단면도이다.
도 7 은, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 절삭흔 형성 스텝 후의 다이싱 테이프의 평면도이다.
도 8 은, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 원점 위치 등록 스텝에 있어서 등록된 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.
〔실시형태 1〕
본 발명의 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법을 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법을 실시하는 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 도 1 에 나타내어진 절삭 장치의 Z 축 방향 위치 검출 유닛의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 3 은, 도 1 에 나타내어진 절삭 장치의 제어 유닛의 원점 위치 등록부가 원점 위치를 등록한 정보를 모식적으로 나타내는 도면이다.
실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 도 1 에 나타내는 절삭 장치 (1) 가 실시한다. 도 1 에 나타내어진 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 피가공물 (200) 을 절삭 (가공에 상당한다) 하는 가공 장치이다. 실시형태 1 에서는, 피가공물 (200) 은, 실리콘, 사파이어, 갈륨 등을 모재로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물 (200) 은, 표면 (201) 에 격자상으로 형성된 복수의 분할 예정 라인 (202) 에 의해 격자상으로 구획된 영역에 디바이스 (203) 가 형성되어 있다.
또, 본 발명의 피가공물 (200) 은, 중앙부가 박화 (薄化) 되고, 외주부에 후육부 (厚肉部) 가 형성된 이른바 TAIKO (등록 상표) 웨이퍼여도 되고, 웨이퍼 외에, 수지에 의해 봉지된 디바이스를 복수 가진 사각 형상의 패키지 기판, 세라믹스 기판, 페라이트 기판, 또는 니켈 및 철의 적어도 일방을 포함하는 기판 등이어도 된다. 실시형태 1 에 있어서, 피가공물 (200) 은, 이면 (204) 이 외주 가장자리에 환상의 프레임 (206) 이 장착된 다이싱 테이프 (205) 에 첩착 (貼着) 되어, 환상의 프레임 (206) 에 지지되어 있다.
도 1 에 나타내어진 절삭 장치 (1) 는, 피가공물 (200) 을 척 테이블 (10) 에서 유지하고 분할 예정 라인 (202) 을 따라 절삭 블레이드 (21) 로 절삭하는 장치이다. 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 (200) 을 유지면 (11) 에서 흡인 유지하는 척 테이블 (10) 과, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 을 절삭하는 절삭 블레이드 (21) 가 스핀들 (22) 에 장착된 절삭 유닛 (20) 과, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에서 유지된 피가공물 (200) 을 촬영하는 카메라 유닛 (30) 과, 제어 유닛 (100) 을 구비한다.
또, 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 을 유지면 (11) 과 평행한 X 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 X 축 이동 유닛 (40) 과, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 을 유지면 (11) 과 평행이며 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 Y 축 이동 유닛 (50) 과, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 을 유지면 (11) 과 직교하는 Z 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 Z 축 이동 유닛 (60) 을 적어도 구비한다. 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 유닛 (20) 을 2 개 구비한, 즉, 2 스핀들의 다이서, 이른바 페이싱 듀얼 타입의 절삭 장치 (1) 이다.
척 테이블 (10) 은, 원반 형상이며, 피가공물 (200) 을 유지하는 유지면 (11) 이 포러스 세라믹 등으로 형성되어 있다. 또, 척 테이블 (10) 은, X 축 이동 유닛에 의해 절삭 유닛 (20) 의 하방의 가공 영역과, 절삭 유닛 (20) 의 하방으로부터 이간하여 피가공물 (200) 이 반입출되는 반입출 영역에 걸쳐 X 축 이동 유닛 (40) 에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되며, 또한 회전 구동원에 의해 Z 축 방향과 평행한 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성되어 있다. 척 테이블 (10) 은, 도시되지 않은 진공 흡인원과 접속되어, 진공 흡인원에 의해 흡인됨으로써, 유지면 (11) 에 재치 (載置) 된 피가공물 (200) 을 흡인, 유지한다. 실시형태 1 에서는, 척 테이블 (10) 은, 다이싱 테이프 (205) 를 개재하여 피가공물 (200) 의 이면 (204) 측을 흡인, 유지한다. 또, 척 테이블 (10) 의 주위에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 환상의 프레임 (206) 을 클램프하는 클램프부 (12) 가 복수 형성되어 있다.
절삭 유닛 (20) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 을 절삭하는 절삭 블레이드 (21) 를 자유롭게 착탈할 수 있게 장착한 절삭 수단이다. 절삭 유닛 (20) 은, 각각, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 에 대해, Y 축 이동 유닛 (50) 에 의해 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되며, 또한, Z 축 이동 유닛 (60) 에 의해 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되어 있다.
일방의 절삭 유닛 (20) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이동 유닛 (50), Z 축 이동 유닛 (60) 등을 개재하여, 장치 본체 (2) 로부터 세워 형성한 문형 (門型) 의 지지 프레임 (3) 의 일방의 기둥부 (4) 에 형성되어 있다. 타방의 절삭 유닛 (20) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이동 유닛 (50), Z 축 이동 유닛 (60) 등을 개재하여, 지지 프레임 (3) 의 타방의 기둥부 (5) 에 형성되어 있다. 또한, 지지 프레임 (3) 은, 기둥부 (4, 5) 의 상단끼리를 수평보 (6) 에 의해 연결하고 있다.
절삭 유닛 (20) 은, Y 축 이동 유닛 (50) 및 Z 축 이동 유닛 (60) 에 의해, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 임의의 위치에 절삭 블레이드 (21) 를 위치시킬 수 있게 되어 있다. 절삭 유닛 (20) 은, Y 축 이동 유닛 (50) 및 Z 축 이동 유닛 (60) 에 의해 Y 축 방향 및 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성된 스핀들 하우징 (23) 과, 스핀들 하우징 (23) 에 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성되며 또한 모터에 의해 회전됨과 함께 선단에 절삭 블레이드 (21) 가 장착되는 스핀들 (22) 을 구비한다.
카메라 유닛 (30) 은, 절삭 유닛 (20) 과 일체적으로 이동하도록, 절삭 유닛 (20) 에 고정되어 있다. 카메라 유닛 (30) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 절삭 전의 피가공물 (200) 의 분할해야 할 영역을 촬영하는 촬상 소자를 구비하고 있다. 촬상 소자는, 예를 들어, CCD (Charge-Coupled Device) 촬상 소자 또는 CMOS (Complementary MOS) 촬상 소자이다. 카메라 유닛 (30) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 을 촬영하여, 피가공물 (200) 과 절삭 블레이드 (21) 의 위치 맞춤을 실시하는 얼라인먼트를 수행하기 위하는 등의 화상을 얻고, 얻은 화상을 제어 유닛 (100) 에 출력한다.
X 축 이동 유닛 (40) 은, 척 테이블 (10) 을 가공 이송 방향인 X 축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 을 상대적으로 X 축 방향을 따라 가공 이송하는 것이다. Y 축 이동 유닛 (50) 은, 절삭 유닛 (20) 을 산출 이송 방향인 Y 축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 을 상대적으로 Y 축 방향을 따라 산출 이송하는 것이다. Z 축 이동 유닛 (60) 은, 절삭 유닛 (20) 을 절입 이송 방향인 Z 축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 을 상대적으로 Z 축 방향을 따라 절입 이송하는 것이다.
X 축 이동 유닛 (40), Y 축 이동 유닛 (50) 및 Z 축 이동 유닛 (60) 은, 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성된 주지의 볼 나사 (51, 61), 볼 나사 (51, 61) 를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 펄스 모터 (52, 62) 및 척 테이블 (10) 또는 절삭 유닛 (20) 을 X 축 방향, Y 축 방향 또는 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 지지하는 주지의 가이드 레일 (53, 63) 을 구비한다.
또, 절삭 장치 (1) 는, 척 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치를 검출하기 위해 도시되지 않은 X 축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛 (20) 의 Y 축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시되지 않은 Y 축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 위치를 검출하기 위한 도 2 에 나타내는 Z 축 방향 위치 검출 유닛 (70) 을 구비한다. X 축 방향 위치 검출 유닛 및 Y 축 방향 위치 검출 유닛은, X 축 방향, 또는 Y 축 방향과 평행한 리니어 스케일과, X 축 이동 유닛 (40) 또는 Y 축 이동 유닛 (50) 에 의해 X 축 방향 또는 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되고 리니어 스케일의 눈금을 판독하는 판독 헤드에 의해 구성할 수 있다. X 축 방향 위치 검출 유닛, 및 Y 축 방향 위치 검출 유닛은, 판독 헤드가 판독한 리니어 스케일의 눈금을 나타내는 정보를 척 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치, 또는 절삭 유닛 (20) 의 Y 축 방향의 위치를 나타내는 정보로서 제어 유닛 (100) 에 출력한다.
실시형태 1 에 있어서, Z 축 방향 위치 검출 유닛 (70) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이동 유닛 (50) 에 의해 Y 축 방향으로 이동되는 이동 테이블 (54) (도 1 에 나타낸다) 등에 장착된 리니어 스케일 (71) 과, Z 축 이동 유닛 (60) 에 의해 절삭 유닛 (20) 과 일체로 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성된 판독 헤드 (72) 를 구비한다. 리니어 스케일 (71) 은, Z 축 방향으로 복수 형성된 눈금 (73) 을 구비한다. 판독 헤드 (72) 는, 리니어 스케일 (71) 의 판독 헤드 (72) 가 대향하는 눈금 (73) 을 판독한다. Z 축 방향 위치 검출 유닛 (70) 은, 판독 헤드 (72) 가 판독한 리니어 스케일 (71) 의 눈금 (73) 을 나타내는 정보를 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 위치로서 검출하고, 제어 유닛 (100) 에 출력한다. 또, 본 발명에서는, Z 축 방향 위치 검출 유닛 (70) 은, 볼 나사 (61) 를 축심 둘레로 회전시키는 펄스 모터 (62) 의 펄스수로 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 위치를 검출해도 된다.
또, 절삭 장치 (1) 는, 절삭 전후의 피가공물 (200) 을 Z 축 방향으로 간격을 두고 복수 수용하는 카세트 (81) 가 상면에 재치되며 또한 카세트 (81) 를 Z 축 방향으로 승강 이동시키는 카세트 엘리베이터 (80) 와, 절삭 후의 피가공물 (200) 을 세정하는 세정 유닛 (90) 과, 카세트 (81) 와 척 테이블 (10) 과 세정 유닛 (90) 사이에서 피가공물 (200) 을 반송하는 도시되지 않은 반송 유닛을 구비한다. 반송 유닛은, 절삭 전의 피가공물 (200) 을 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 미리 정해진 소정의 위치에 반송한다.
제어 유닛 (100) 은, 절삭 장치 (1) 의 상기 서술한 각 유닛을 각각 제어하여, 피가공물 (200) 에 대한 가공 동작을 절삭 장치 (1) 에 실시시키는 것이다. 구체적으로는, 제어 유닛 (100) 은, 반송 유닛에 절삭 가공 전의 피가공물 (200) 을 카세트 (81) 로부터 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에 반송시킨다. 제어 유닛 (100) 은, 척 테이블 (10) 에 피가공물 (200) 을 흡인 유지하고 클램프부 (12) 에 환상의 프레임 (206) 을 클램프시킨 후, X 축 이동 유닛 (40) 에 척 테이블 (10) 을 이동시켜, 카메라 유닛 (30) 에 척 테이블 (10) 상의 피가공물 (200) 을 촬영시킨다. 제어 유닛 (100) 은, 피가공물 (200) 과 절삭 블레이드 (21) 의 위치 맞춤을 실시하는 얼라인먼트를 수행하고, 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 를 분할 예정 라인 (202) 을 따라 상대적으로 이동시키면서 분할 예정 라인 (202) 에 절삭 블레이드 (21) 를 절입시킨다.
제어 유닛 (100) 은, 절삭 블레이드 (21) 를 모든 분할 예정 라인 (202) 에 절입시킨 후, 척 테이블 (10) 의 흡인 유지 및 클램프부 (12) 의 클램프를 해제하고, 반송 유닛에 척 테이블 (10) 상의 피가공물 (200) 을 세정 유닛 (90) 에 반송시킨다. 제어 유닛 (100) 은, 세정 유닛 (90) 에 피가공물 (200) 을 세정시키고, 반송 유닛에 세정 유닛 (90) 으로부터 피가공물 (200) 을 카세트 (81) 까지 반송시킨다.
제어 유닛 (100) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛 (100) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 절삭 장치 (1) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통해 절삭 장치 (1) 의 상기 서술한 각 유닛에 출력한다.
또, 제어 유닛 (100) 은, 가공 동작의 상태나 카메라 유닛 (30) 이 촬상한 화상 등을 표시하는 도시되지 않은 표시 유닛과, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 유닛이 접속되어 있다. 가공 내용 정보는, 기억 장치에 기억된다. 가공 내용 정보는, 절삭 블레이드 (21) 를 각 분할 예정 라인 (202) 에 절입시킬 때의 절삭 블레이드 (21) 의 절삭날의 날끝의 유지면 (11) 으로부터의 Z 축 방향의 높이가 포함된다. 표시 유닛은, 액정 표시 장치 등에 의해 구성된다. 입력 유닛은, 표시 유닛의 표시 화면에 형성된 터치 패널 또는 키보드 등의 외부 입력 장치 등에 의해 구성된다.
또, 제어 유닛 (100) 은, 원점 위치 등록부 (101) 와, 보정부 (102) 를 구비한다. 원점 위치 등록부 (101) 는, 유지면 (11) 의 XY 좌표에 대응한 각각의 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 원점 위치 (302) 의 정보 (300) (도 3 에 나타낸다) 를 등록하는 것이다. 또한, 원점 위치 (302) 란, 유지면 (11) 과 절삭 블레이드 (21) 의 날끝의 선단이 접촉하는 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 높이이며, 즉, 유지면 (11) 의 Z 축 방향의 높이를 나타내는 위치이다. 실시형태 1 에서는, 원점 위치 (302) 란, 유지면 (11) 과 절삭 블레이드 (21) 의 날끝의 선단이 접촉할 때에, Z 축 방향 위치 검출 유닛 (70) 이 검출하는 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 위치에 대응한 것이기도 하다.
또, 유지면 (11) 의 XY 좌표란, 유지면 (11) 의 미리 정해진 위치로부터의 X 축 방향 및 Y 축 방향의 거리로 정해지는 유지면 (11) 상의 좌표이다. 원점 위치 등록부 (101) 는, 유지면 (11) 의 미리 정해지며 또한 서로 상이한 복수의 위치 (301) 각각의 원점 위치 (302) 와 XY 좌표가 등록되어 있다. 즉, 원점 위치 등록부 (101) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 각 위치 (301) 각각의 XY 좌표와, 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 1 대 1 로 대응시킨 정보 (300) 를 등록한다.
또한, 실시형태 1 에서는, 유지면 (11) 의 중심의 위치 (301) (이하, 부호 301-1 로 나타낸다) 의 XY 좌표와, 위치 (301-1) 의 원점 위치 (302) (이하, 부호 302-1 로 나타낸다) 를 대응시키고 있다. 실시형태 1 에서는, 유지면 (11) 의 위치 (301-1) 로부터 Y 축 방향으로 제 1 거리 떨어진 위치 (301) (이하, 부호 301-2, 301-3 으로 나타낸다) 각각의 XY 좌표와, 각 위치 (301-2, 301-3) 각각의 원점 위치 (302) (이하, 부호 302-2, 302-3 으로 나타낸다) 를 대응시키고 있다. 실시형태 1 에서는, 유지면 (11) 의 위치 (301-1) 로부터 Y 축 방향으로 제 1 거리보다 긴 제 2 거리 떨어진 위치 (301) (이하, 부호 301-4, 301-5 로 나타낸다) 각각의 XY 좌표와, 각 위치 (301-4, 301-5) 각각의 원점 위치 (302) (이하, 부호 302-4, 302-5 로 나타낸다) 를 대응시키고 있다. 실시형태 1 에서는, 유지면 (11) 의 위치 (301-1) 로부터 X 축 방향으로 제 1 거리와 제 2 거리의 쌍방과 상이한 제 3 거리 떨어진 위치 (301) (이하, 부호 301-6, 301-7 로 나타낸다) 각각의 XY 좌표와, 각 위치 (301-6, 301-7) 각각의 원점 위치 (302) (이하, 부호 302-6, 302-7 로 나타낸다) 를 대응시키고 있다.
또한, 본 명세서에서는, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 끼리를 구별하지 않는 경우에는 부호 301 을 사용하고, 각 위치 (301) 끼리를 구별할 때에는 부호 301-1, 301-2, 301-3, 301-4, 301-5, 301-6, 301-7 을 사용한다. 유지면 (11) 의 각 위치 (301-1, 301-2, 301-3, 301-4, 301-5, 301-6, 301-7) 의 XY 좌표는, 미리 정해지고, 기억 장치에 기억되어 있다. 또, 본 명세서는, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 끼리를 구별하지 않는 경우에는 부호 302 를 사용하고, 각 원점 위치 (302) 끼리를 구별할 때에는 부호 302-1, 302-2, 302-3, 302-4, 302-5, 302-6, 302-7 을 사용한다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 각 원점 위치 (302-1, 302-2, 302-3, 302-4, 302-5, 302-6, 302-7) 는, 각 위치 (301-1, 301-2, 301-3, 301-4, 301-5, 301-6, 301-7) 중 어느 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 0 으로 하고, 어느 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 로부터의 Z 축 방향의 거리로 정해진다. 실시형태 1 에서는, 각 원점 위치 (302-1, 302-2, 302-3, 302-4, 302-5, 302-6, 302-7) 는, 위치 (301-1) 의 원점 위치 (302-1) 를 0 으로 하고, 위치 (301-1) 의 원점 위치 (302-1) 로부터의 Z 축 방향의 거리로 정해진다. 실시형태 1 에서는, 예를 들어, 원점 위치 (302) 가 원점 위치 (302-1) 보다 상방인 경우에는, 원점 위치 (302-2) 로부터의 플러스의 거리 (예를 들어, +1 ㎛ 등) 로 정해지고, 원점 위치 (302) 가 원점 위치 (302-1) 보다 하방인 경우에는, 원점 위치 (302-2) 로부터의 마이너스의 거리 (예를 들어, -1 ㎛ 등) 로 정해진다.
보정부 (102) 는, 원점 위치 등록부 (101) 에 등록된 도 3 에 나타내는 정보 (300) 에 기초하여, 피가공물 (200) 에 절삭 블레이드 (21) 를 절입시킬 때의 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 높이를 XY 좌표에 따라 보정하는 것이다. 즉, 보정부 (102) 는, 절삭 블레이드 (21) 를 각 분할 예정 라인 (202) 에 절입시킬 때에, 원점 위치 등록부 (101) 에 등록된 도 3 에 나타내는 정보 (300) 에 기초하여, Z 축 이동 유닛 (60) 을 제어하여, 기억 장치에 미리 기억된 절삭 블레이드 (21) 의 절삭날의 날끝의 유지면 (11) 으로부터의 Z 축 방향의 높이가 되도록, 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 높이를 조정하는 것이다. 보정부 (102) 는, 절삭 블레이드 (21) 가 분할 예정 라인 (202) 에 절입하고 있는 위치의 XY 좌표를 산출한다. 보정부 (102) 는, 원점 위치 등록부 (101) 에 등록된 도 3 에 나타내는 정보 (300) 에 기초하여, 절삭 블레이드 (21) 가 분할 예정 라인 (202) 에 절입하고 있는 위치의 원점 위치 (302) 를 산출하고, 산출한 원점 위치 (302) 에 기초하여, Z 축 이동 유닛 (60) 을 제어하여, 기억 장치에 미리 기억된 절삭 블레이드 (21) 의 절삭날의 날끝의 유지면 (11) 으로부터의 Z 축 방향의 높이가 되도록, 절삭 유닛 (20) 의 Z 축 방향의 높이를 조정한다.
예를 들어, 보정부 (102) 는, 도 3 에 나타내는 정보 (300) 에 기초하여, 절삭 블레이드 (21) 가 분할 예정 라인 (202) 에 절입하고 있는 위치의 원점 위치 (302) 가 원점 위치 (302-1) 보다 상방에 위치하면, 절삭 블레이드 (21) 가 분할 예정 라인 (202) 에 절입하고 있는 위치의 원점 위치 (302) 의 원점 위치 (302-1) 로부터의 Z 축 방향의 거리만큼, 절삭 유닛 (20) 을 상승시킨다. 보정부 (102) 는, 도 3 에 나타내는 정보 (300) 에 기초하여, 절삭 블레이드 (21) 가 분할 예정 라인 (202) 에 절입하고 있는 위치의 원점 위치 (302) 가 원점 위치 (302-1) 보다 하방에 위치하면, 절삭 블레이드 (21) 가 분할 예정 라인 (202) 에 절입하고 있는 위치의 원점 위치 (302) 의 원점 위치 (302-1) 로부터의 Z 축 방향의 거리만큼, 절삭 유닛 (20) 을 하강시킨다.
원점 위치 등록부 (101) 의 기능은, 정보 (300) 를 기억 장치가 기억함으로써 실현된다. 보정부 (102) 의 기능은, 제어 유닛 (100) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시함으로써 실현된다.
다음으로, 본 명세서는, 절삭 장치 (1) 의 제어 유닛 (100) 의 원점 위치 등록부 (101) 에 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 등록하는 방법, 즉, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법을 설명한다. 도 4 는, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다. 도 5 는, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 절삭흔 형성 스텝을 일부 단면에서 모식적으로 나타내는 측면도이다. 도 6 은, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 절삭흔 형성 스텝 중의 절삭 블레이드와 절삭흔 등을 모식적으로 나타내는 다이싱 테이프의 단면도이다. 도 7 은, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 절삭흔 형성 스텝 후의 다이싱 테이프의 평면도이다. 도 8 은, 도 4 에 나타내어진 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법의 원점 위치 등록 스텝에 있어서 등록된 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 도 1 에 나타내어진 절삭 장치 (1) 를 사용한 원점 위치 (302) 의 등록 방법으로서, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 시트 유지 스텝 (ST1) 과, 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 과, 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 을 구비한다. 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법에서는, 먼저, 오퍼레이터가, 시트인 다이싱 테이프 (205) 의 두께 (205-1) (도 5 및 도 6 에 나타내고, 특허 청구 범위에 기재된 소정의 두께에 상당한다) 를 나타내는 정보 및 절삭 블레이드 (21) 의 외경 (R) (도 5 및 도 6 에 나타낸다) 을 나타내는 정보를 제어 유닛 (100) 에 등록하고, 외주 가장자리에 환상의 프레임 (206) 이 첩착된 다이싱 테이프 (205) 를 카세트 (81) 에 수용하여, 카세트 (81) 를 카세트 엘리베이터 (80) 의 상면에 설치한다. 그 후, 제어 유닛 (100) 이, 오퍼레이터로부터의 원점 위치 (302) 의 등록 동작의 개시 지시를 받아들이면, 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 시트 유지 스텝 (ST1) 부터 순서대로 실시된다.
시트 유지 스텝 (ST1) 은, 유지면 (11) 에 다이싱 테이프 (205) 를 유지하는 스텝이다. 즉, 실시형태 1 에서는, 특허 청구의 범위에 기재된 시트는, 외주 가장자리가 환상의 프레임 (206) 에 첩착되어 고정된 다이싱 테이프 (205) 이다. 또한, 실시형태 1 에 있어서, 다이싱 테이프 (205) 의 두께 (205-1) 의 편차 (최대의 두께 (205-1) 와 최소의 두께 (205-1) 의 차) 는, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 정도의 면적에서는, 1 ㎛ 이하이다. 시트 유지 스텝 (ST1) 에서는, 절삭 장치 (1) 의 제어 유닛 (100) 은, 반송 유닛에 카세트 (81) 에 수용되며 또한 외주 가장자리에 환상의 프레임 (206) 이 첩착된 다이싱 테이프 (205) 를 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 미리 정해진 소정의 위치에 반송시킨다.
시트 유지 스텝 (ST1) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에 다이싱 테이프 (205) 를 흡인 유지시킴과 함께, 클램프부 (12) 에 환상의 프레임 (206) 을 클램프시킨다. 실시형태 1 에 있어서, 시트 유지 스텝 (ST1) 에서는, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 은, 다이싱 테이프 (205) 에 의해 덮여 있음과 함께, 유지면 (11) 에 다이싱 테이프 (205) 를 밀착시킨다. 그러면, 다이싱 테이프 (205) 의 표면인 상면 (305-2) 의 높이는, 유지면 (11) 의 높이에 따르게 된다. 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 으로 진행된다.
절삭흔 형성 스텝 (ST2) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 복수의 XY 좌표로 정해지는 각 위치 (301) 상에서, 다이싱 테이프 (205) 의 상면 (205-2) 으로부터 어느 일방의 절삭 유닛 (20) 을 Z 축 방향으로 소정량 승강시켜, 절삭 블레이드 (21) 로 다이싱 테이프 (205) 를 완전 절단하지 않는 절입 깊이 (H) (도 6 에 나타낸다) 의 절삭흔 (400) 을 형성하는 스텝이다. 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, X 축 이동 유닛 (40) 에 척 테이블 (10) 을 가공 영역을 향해 이동시켜, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 절삭 블레이드 (21) 를 절입시켜, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 절삭흔 (400) 을 형성한다. 이와 같이, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 피가공물 (200) 의 통상의 절삭 가공에서 사용하는 다이싱 테이프 (205) 에 절삭흔 (400) 을 형성한다.
절삭흔 형성 스텝 (ST2) 에 있어서, 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 절삭흔 (400) 을 형성할 때에는, 제어 유닛 (100) 은, 각 이동 유닛 (40, 50, 60) 등을 제어하여, 스핀들 (22) 에 의해 회전된 절삭 블레이드 (21) 를 각 위치 (301) 상이며 또한 Z 축 방향의 높이가 유지면 (11) 으로부터 미리 정해진 소정의 높이가 되는 위치에 위치시킨다. 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 에 있어서, 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 절삭흔 (400) 을 형성할 때에는, 제어 유닛 (100) 은, Z 축 이동 유닛 (60) 등을 제어하여, 절삭 블레이드 (21) 를 날끝의 선단이 다이싱 테이프 (205) 의 두께 방향의 중앙까지 절입하는 미리 정해진 소정의 이동량 하강시켜, 도 5 중에 점선 및 실선, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 (21) 의 날끝의 선단을 다이싱 테이프 (205) 의 두께 방향의 중앙까지 절입시킨 후, 상승시킨다.
즉, 절삭 블레이드 (21) 의 날끝의 선단이 다이싱 테이프 (205) 의 두께 방향의 중앙까지 절입하여 절삭흔 (400) 이 형성되었을 때의 절삭 블레이드 (21) 의 축심 (21-1) 의 Z 축 방향의 높이 (도 6 에 나타낸다) 는, 미리 정해져 있다. 이렇게 하여, 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 순서대로 절삭흔 (400) 을 형성한다. 절삭흔 형성 스텝 (ST2) 에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 유지면 (11) 의 모든 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 절삭흔 (400) 을 형성하면, 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 으로 진행된다.
원점 위치 등록 스텝 (ST3) 은, XY 좌표로 정해진 각 위치 (301) 에 형성된 복수의 절삭흔 (400) 의 X 축 방향의 길이 (D) (도 6 에 나타낸다) 를 카메라 유닛 (30) 으로 검출하고, 절삭흔 (400) 의 X 축 방향의 길이 (D) 와 절삭 블레이드 (21) 의 외경 (R) 으로부터 절삭흔 (400) 의 다이싱 테이프 (205) 의 상면 (205-2) 으로부터의 절입 깊이 (H) 를 산출한다. 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 은, 산출한 절입 깊이 (H) 와 다이싱 테이프 (205) 의 두께 (205-1) 로부터 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 XY 좌표에 대응시켜 산출하여, 원점 위치 등록부 (101) 에 기억시키는 스텝이다.
원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 산출하고, 산출한 원점 위치 (302) 를 각 위치 (301) 의 XY 좌표와 대응시켜, 전술한 정보 (300) 를 생성하고, 생성한 정보 (300) 를 원점 위치 등록부 (101) 에 등록한다. 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에 있어서, 제어 유닛 (100) 은, 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 산출할 때에는, 각 위치 (301) 상에 형성된 절삭흔 (400) 을 카메라 유닛 (30) 으로 촬영하고, 촬영한 화상으로부터 각 절삭흔 (400) 의 X 축 방향의 길이 (D) 를 산출하여 기억한다.
또, 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 미리 절삭 블레이드 (21) 의 외경 (R) 및 다이싱 테이프 (205) 의 두께 (205-1) 를 나타내는 정보를 기억하고 있기 때문에, 절삭 블레이드 (21) 의 외경을 R 로 하면, 하기의 식 1 에 기초하여, 제어 유닛 (100) 은, 각 위치 (301) 상의 절삭흔 (400) 을 형성하였을 때의 절삭 블레이드 (21) 의 축심 (21-1) 과 다이싱 테이프 (205) 의 상면 (205-2) 의 거리 (Z) (도 6 에 나타낸다) 를 산출한다.
Z ＝ {(R/2)2 － (D/2)2}1/2 ··· 식 1
원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 하기의 식 2 에 기초하여, 각 위치 (301) 상의 절삭흔 (400) 의 절입 깊이 (H) 를 산출한다.
H ＝ (R/2) － Z ··· 식 2
원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 산출한 거리 (Z), 절입 깊이 (H), 미리 정해진 절삭흔 (400) 이 형성되었을 때의 절삭 블레이드 (21) 의 축심 (21-1) 의 Z 축 방향의 높이, 및 미리 기억한 다이싱 테이프 (205) 의 두께 (205-1) 를 나타내는 정보에 기초하여, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 산출한다. 실시형태 1 에 있어서, 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 산출한 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 중 가장 상방에 위치하는 원점 위치 (302) 와 가장 하방에 위치하는 원점 위치 (302) 의 차를 산출하고, 산출한 차가, 미리 정해진 허용치 이하인지의 여부를 판정한다. 원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 가장 상방에 위치하는 원점 위치 (302) 와 가장 하방에 위치하는 원점 위치 (302) 의 차가 미리 정해진 허용치를 초과하고 있는 것으로 판정하면, 표시 유닛 등에서 오퍼레이터에게 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 정밀도가 피가공물 (200) 의 절삭 가공에 적합하지 않은 취지를 알린다.
원점 위치 등록 스텝 (ST3) 에서는, 제어 유닛 (100) 은, 가장 상방에 위치하는 원점 위치 (302) 와 가장 하방에 위치하는 원점 위치 (302) 의 차가 미리 정해진 허용치 이하인 것으로 판정하면, 각 위치 (301) 의 산출한 원점 위치 (302) 를 각 위치 (301) 의 XY 좌표와 대응시켜, 도 8 에 나타내는 정보 (300) 를 생성하고, 생성한 정보 (300) 를 원점 위치 등록부 (101) 에 등록한다. 또, 실시형태 1 에서는, 도 8 에 나타내는 정보 (300) 에 있어서, 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를, 위치 (301-1) 의 원점 위치 (302-1) 를 0 으로 하고, 위치 (301-1) 의 원점 위치 (302-1) 로부터의 Z 축 방향의 거리로 정한다.
실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 통상의 피가공물 (200) 의 절삭 가공에서 사용하는 다이싱 테이프 (205) 에 절삭 블레이드 (21) 로 Z 축 방향으로부터 절입시킨 절삭흔 (400) 을 형성하고, 절삭흔 (400) 의 길이 (D) 와 절삭 블레이드 (21) 의 외경 (R) 과 다이싱 테이프 (205) 의 두께 (205-1) 로부터, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 의 절삭 블레이드 (21) 의 날끝의 선단과 접촉하는 Z 축 방향의 원점 위치 (302) 를 산출한다. 이로써, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 유지면 (11) 의 복수의 위치 (301) 각각의 원점 위치 (302) 를 산출하고, 고정밀도의 절입 깊이를 실현하는 보정치의 산출에 이용할 수 있다. 그 결과, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 높이에 편차가 있어도 피가공물 (200) 에 대한 고정밀도의 절입 깊이를 실현하는 것을 가능하게 할 수 있다는 효과를 발휘한다.
또, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 를 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 실제로 절입시켜, 원점 위치 (302) 를 산출한다. 이로써, 산출된 원점 위치 (302) 는, 각 이동 유닛 (40, 50, 60) 의 롤링 등의 기계적인 오차를 포함하게 된다. 그 결과, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 등록한 정보 (300) 에 기초하여 보정부 (102) 가 보정하면서 피가공물 (200) 을 절삭 가공함으로써, 각 이동 유닛 (40, 50, 60) 의 롤링 등의 기계적인 오차의 범위보다 고정밀도로 피가공물 (200) 을 가공할 수 있다.
실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법은, 피가공물 (200) 의 가공 공정에서 가까이에 있으면서, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 정도의 면적에서는 두께 (205-1) 의 편차가 1 ㎛ 이하인 다이싱 테이프 (205) 를 이용하여, 유지면 (11) 의 각 위치 (301) 의 원점 위치 (302) 를 등록하기 위해, 비용이 들지 않는다는 효과도 있다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태 및 변형예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. 본 발명은, 각 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 를 각 위치 (301) 상의 다이싱 테이프 (205) 에 절입시켜, 각 절삭 유닛 (20) 마다 도 3 에 나타내는 정보 (300) 를 생성하여, 원점 위치 등록부 (101) 에 등록해도 된다. 이 경우, 등록된 각 정보 (300) 의 원점 위치 (302) 는, 대응하는 절삭 유닛 (20) 을 이동시키는 이동 유닛 (50, 60) 의 롤링 등의 기계적인 오차를 포함하게 되어, 고정밀도로 피가공물 (200) 을 가공할 수 있다.
1 : 절삭 장치
10 : 척 테이블
11 : 유지면
20 : 절삭 유닛
21 : 절삭 블레이드
22 : 스핀들
30 : 카메라 유닛
40 : X 축 이동 유닛
50 : Y 축 이동 유닛
60 : Z 축 이동 유닛
101 : 원점 위치 등록부
102 : 보정부
200 : 피가공물
205 : 다이싱 테이프 (시트)
205-1 : 두께 (소정의 두께)
205-2 : 상면 (표면)
206 : 환상의 프레임
300 : 정보
302, 302-1, 302-2, 302-3, 302-4, 302-5, 302-6, 302-7 : 원점 위치
400 : 절삭흔
H : 절입 깊이 (깊이)
D : 길이
R : 외경
ST1 : 시트 유지 스텝
ST2 : 절삭흔 형성 스텝
ST3 : 원점 위치 등록 스텝

Claims (2)

  1. 피가공물을 유지면에서 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 스핀들에 절삭 블레이드가 장착된 절삭 유닛과, 그 척 테이블과 그 절삭 유닛을 그 유지면과 평행한 X 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 X 축 이동 유닛과, 그 척 테이블과 그 절삭 유닛을 그 유지면과 평행하며 그 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 Y 축 이동 유닛과, 그 척 테이블과 그 절삭 유닛을 그 유지면과 직교하는 Z 축 방향으로 상대적으로 이동시키는 Z 축 이동 유닛과, 그 유지면에 유지된 피가공물을 촬영하는 카메라 유닛과, 그 유지면과 그 절삭 블레이드의 선단이 접촉하는 절삭 유닛의 그 Z 축 방향의 높이를 원점 위치로 하고 그 유지면의 XY 좌표에 대응한 각각의 그 원점 위치를 등록하는 원점 위치 등록부와, 그 원점 위치 등록부에 등록된 정보에 기초하여 그 절삭 유닛의 그 Z 축 방향의 높이를 XY 좌표에 따라 보정하는 보정부를 구비하는 절삭 장치를 사용한 원점 위치의 등록 방법으로서,
    그 척 테이블의 유지면에 소정의 두께의 시트를 유지하는 시트 유지 스텝과,
    그 척 테이블의 복수의 XY 좌표에서, 그 시트의 표면으로부터 그 절삭 유닛을 그 Z 축 방향으로 소정량 승강시켜, 그 절삭 블레이드로 그 시트를 완전 절단하지 않는 깊이의 절삭흔을 형성하는 절삭흔 형성 스텝과,
    XY 좌표에 대한 복수의 그 절삭흔의 길이를 그 카메라 유닛으로 검출하고, 그 절삭흔의 길이와 그 절삭 블레이드의 외경으로부터 그 절삭흔의 절입 깊이를 산출하고, 그 절입 깊이와 그 시트의 두께로부터 그 원점 위치를 그 XY 좌표에 대응시켜 산출하여 기억하는 원점 위치 등록 스텝을 구비하는, 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 시트는, 외주가 환상의 프레임에 고정되어 있는 다이싱 테이프이고, 그 유지면은 그 다이싱 테이프에 덮여 있는, 절삭 장치의 원점 위치 등록 방법.
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