KR20200089398A - 레이저 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20200089398A KR1020190006026A KR20190006026A KR20200089398A KR 20200089398 A KR20200089398 A KR 20200089398A KR 1020190006026 A KR1020190006026 A KR 1020190006026A KR 20190006026 A KR20190006026 A KR 20190006026A KR 20200089398 A KR20200089398 A KR 20200089398A
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Abstract

본 발명은, 피처리물을 안착시킬 수 있는 지지부, 지지부의 상부에 설치되며 지지부에 대해 상대 이동이 가능한 본체부, 본체부를 관통하도록 형성되며, 내부가 하방으로 개방되고, 레이저 빔의 진행 경로를 제공하는 관통부, 관통부의 상단부에 장착되고, 레이저 빔을 통과시키는 윈도우, 관통부의 내벽면면에 다층 배기구조로 형성되는 복수개의 흡인부 및 관통부의 하단부를 둘러싸도록 본체부의 하면에 제공되어 커튼 가스를 분사할 수 있는 가스 블로우부를 포함하는 레이저 처리 장치와, 이를 이용한 레이저 처리 방법으로서, 레이저를 이용하여 피처리물을 처리하는 중 발생하는 이물을 원활하게 배기시킬 수 있는 레이저 처리 장치 및 방법이 제시된다.

Description

레이저 처리 장치 및 방법{LASER PROCESSING APPARATUS AND METHOD}
본 발명은 레이저 처리 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저를 이용하여 피처리물을 처리하는 중에 발생하는 이물을 효과적으로 배기시킬 수 있는 레이저 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 장치는 기판에 박막적층, 이온주입 및 열처리 등의 각종 단위 공정을 반복하여, 기판에 원하는 회로의 동작특성을 가지는 소자를 형성하는 방식으로 제조된다. 이러한 반도체 및 디스플레이 장치의 제조 중에, 필요에 따라 기판을 복수개로 절단하게 된다.
예컨대 기판의 절단은 스테이지, 오픈 챔버, 레이저 광원 및 스캐너 등을 이용하여 대기 중에서 수행될 수 있다. 기판을 절단하는 중에 기판과 오픈 챔버는 상대적으로 움직인다. 이에 따라, 기판과 오픈 챔버 사이에 기류가 형성된다. 기판과 오픈 챔버 사이에 형성된 기류에 의해, 기판을 절단하는 과정에서 생성되는 흄과 파티클이 대기중으로 비산되거나, 오픈 챔버의 내벽 및 윈도우에 부착될 수 있다.
본 발명의 배경이 되는 기술은 하기의 특허문헌에 게재되어 있다.
KR 10-2002-0047480 A KR 10-1483759 B1
본 발명은 레이저를 이용하여 대기 중의 피처리물을 처리할 때 발생하는 이물을 효과적으로 배기시킬 수 있는 레이저 처리 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 따른 레이저 처리 장치는, 상면에 피처리물을 안착시킬 수 있는 지지부; 상기 지지부의 상부에 설치되며 상기 지지부에 대해 상대 이동이 가능한 본체부; 상기 본체부를 관통하도록 형성되며 내부가 하방으로 개방되고, 레이저 빔의 진행 경로를 제공하는 관통부; 상기 관통부의 상단부에 장착되고, 상기 레이저 빔을 통과시키는 윈도우; 상기 관통부의 내벽면면에 다층 배기구조로 형성되는 복수개의 흡인부; 및 상기 관통부의 하단부를 둘러싸도록 상기 본체부의 하면에 제공되어 커튼 가스를 분사할 수 있는 가스 블로우부;를 포함한다.
상기 가스 블로우부를 둘러싸도록 상기 본체부의 하면에 제공되어 상기 커튼 가스를 회수할 수 있는 가스 회수부;를 포함할 수 있다.
상기 복수개의 흡인부는 상기 관통부의 내벽면면의 복수 높이에 제공되어 다층을 형성하고, 각 층을 이루는 흡인부는, 상기 관통부의 내벽면면의 둘레를 따라 연장된 슬릿을 포함하거나, 상기 관통부의 내벽면면의 둘레를 따라 나열된 복수의 홀을 포함할 수 있다.
상기 복수개의 흡인부는, 상기 관통부의 내벽면의 제1높이에 형성되는 제1흡인부; 상기 관통부의 내벽면의 제2높이에 형성되는 제2흡인부;를 포함하고, 상기 제2높이는 상기 제1높이보다 높고, 상기 제1높이 및 상기 제2높이는 상기 레이저 빔의 입사에 의해 상기 피처리물로부터 비산되는 이물의 무게에 따라 정해질 수 있다.
상기 제1흡인부는 상기 관통부가 관통된 방향과 교차하는 일방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성되고, 상기 제2흡인부는 상기 일방향과 교차하는 타방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성될 수 있다.
상기 제1흡인부 및 상기 제2흡인부 각각은 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다.
상기 제1흡인부 및 상기 제2흡인부 각각은 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 라운드 형태의 내부면을 가지며, 상하방향의 절단면 면적이 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 증가할 수 있다.
상기 관통부는 상단부에 확장부가 구비되고, 상기 복수개의 흡인부는, 상기 확장부와 연통하는 제3흡인부;를 포함할 수 있다.
상기 제3흡인부는 상기 일방향의 양측 및 상기 타방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성될 수 있다.
상기 제3흡인부는 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 수평하게 형성될 수 있다.
상기 확장부는 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 상기 관통부의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면으로부터 이격되는 측면 및 상기 관통부의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면과 상기 측면을 연결하는 밑면에 의해 정의되고, 상기 밑면은 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다.
상기 복수개의 흡인부 및 상기 가스 블로우부를 외부의 유틸리티 라인 및 커튼 가스 공급원과 각각 연결시키는 복수개의 밸브; 상기 관통부의 내부에서 상하방향 및 둘레방향 중 선택된 적어도 어느 한 방향으로 나열된 복수의 영역별로 흡인 유량을 각기 조절할 수 있도록 상기 복수개의 밸브의 작동을 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.
상기 관통부의 내벽면면 및 상기 복수개의 흡인부의 내부면 중 적어도 어느 하나에 면에 코팅되고, 레이저 빔의 입사에 의해 상기 피처리물로부터 비산되는 이물이 부착되는 것을 방지하는 코팅막;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 레이저 처리 방법은, 피처리물을 마련하는 과정; 상하방향으로 관통부가 형성된 본체부를 상기 피처리물의 상부에 위치시키는 과정; 상기 관통부를 통하여 상기 피처리물에 레이저 빔을 조사하여 피처리물을 처리하는 과정; 상기 관통부의 내벽면면에 다층 배기구조로 제공된 복수개의 흡인부를 이용하여 상기 관통부와 상기 피처리물 사이의 이물을 배기하는 과정; 및 상기 본체부의 하면에 제공된 가스 블로우부를 이용하여 상기 관통부의 하단부를 둘러싸도록 커튼 가스를 분사하는 과정;을 포함한다.
상기 본체부의 하면에 상기 가스 블로우부를 감싸도록 제공된 가스 회수부를 이용하여 상기 커튼 가스의 적어도 일부를 회수하는 과정;을 포함할 수 있다.
상기 이물을 배기하는 과정은, 상기 관통부의 내벽면면의 복수 높이에 제공되어 다층을 이루는 상기 복수개의 흡인부 중, 제1높이에서 상기 관통부가 관통된 방향과 교차하는 일방향으로 마주보는 제1흡인부와 제2높이에서 상기 일방향과 교차하는 타방향으로 마주보는 제2흡인부로 상기 관통부의 내부를 흡인하여, 상기 관통부의 내부에 나선형의 상승류를 형성하는 과정;을 포함할 수 있다.
상기 이물을 배기하는 과정은, 상기 관통부의 중심부를 상하방향으로 지나는 중심축을 중심으로 상기 관통부의 내부에 방사상으로 형성된 복수개의 분면 영역에 배치되는 상기 복수개의 흡인부로 상기 관통부의 내부를 흡인하며 각 분면 영역별 이물의 배기 속도를 조절하는 과정; 상기 이물을 상기 관통부의 중심부로 유도하며 수직하게 상승시키거나, 상기 이물을 원하는 방향으로 편중시키며 경사지게 상승시키는 과정;을 포함할 수 있다.
상기 이물을 배기하는 과정은, 상기 관통부의 내부에서 상하방향으로 나열된 복수개의 영역에 배치되는 상기 복수개의 흡인부로 상기 관통부의 내부를 흡인하며 각 영역별 이물의 배기 속도를 조절하는 과정; 상기 관통부의 내부에서 상기 이물의 상승 속도를 조절하는 과정;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 대기 중의 피처리물에 레이저를 조사하여 피처리물을 처리하는 중에 피처리물의 처리 영역에서 발생하는 이물을 효과적으로 배기시킬 수 있다.
예컨대 레이저를 이용하여 필름 디스플레이를 절단하는 공정에 적용되면, 관통부가 마련된 챔버부의 하측에 기판을 마련한 후, 관통부를 통하여 필름 디스플레이에 레이저 빔을 조사하며 필름 디스플레이를 절단하는 동안, 필름 디스플레이의 절단부에서 발생하는 흄 및 파티클을 관통부의 내벽면면에 제공된 복수개의 흡인부로 흡인할 수 있다. 이때, ? 및 파티클을 효과적으로 흡인하기 위하여 관통부의 내부에 나선형의 상승류를 형성할 수 있다.
더욱 구체적으로, 관통부의 내벽면면의 복수 높이에 제공되어 다층을 형성하되 상하방향으로 서로 엇갈리게 배치된 복수개의 흡인부로 관통부의 내부를 흡인하여, 관통부의 내부에 나선형의 상승류를 형성할 수 있다. 이때, 관통부의 내부로 흡인된 흄 및 파티클을 관통부의 중심부로 유도하여 수직하게 상승시킬 수 있다. 또는, 관통부의 내부로 흡인된 흄 및 파티클을 관통부의 내부에서 원하는 방향으로 편중시키며 경사지게 상승시킬 수 있다. 이후, 복수개의 흡인부 및 이와 연결된 유틸리티 라인을 통하여 관통부 내의 흄 및 파티클을 원활하게 배기시킬 수 있다.
이로부터 흄 및 파티클이 필름 디스플레이에 부착되거나 관통부의 내벽면에 부착되거나 관통부의 내부에서 불규칙하게 이동하며 레이저 빔에 간섭하는 것을 원활하게 방지할 수 있다. 또한, 흄 및 파티클이 대기 중에 유출되는 것을 원천 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부를 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부를 도시한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 흡인부의 다층 구조를 도시한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부 내부의 유동 특성을 도시한 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시 예의 변형 예에 따른 챔버부 내부의 유동 특성을 도시한 그래프이다.
도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 챔버부를 도시한 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 도면은 과장될 수 있고, 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치 및 방법은, 레이저를 이용하여 피처리물을 처리하는 중에 발생하는 이물을 효과적으로 흡인 및 배기시킬 수 있는 기술적인 특징을 제시한다.
본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치 및 방법은, 레이저를 이용한 필름 디스플레이의 절단 공정에 사용될 수 있다.
여기서, 필름 디스플레이는 얇은 투명 필름상에 디스플레이 모듈을 형성하여 영상을 표시할 수 있도록 제작된 필름 형태의 차세대 디스플레이로서, 휘어짐 및 절단이 가능하다.
물론, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치 및 방법은 레이저를 이용한 다양한 피처리물의 처리 공정에도 활용될 수 있다.
이하, 필름 디스플레이의 절단 공정을 기준으로 하여, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치 및 방법을 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치를 개략적으로 도시한 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부를 개략적으로 도시한 개략도이다. 또한, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부를 수직 절단하여 그 내부의 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다. 또한, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부에 제공된 흡인부의 다층 구조('다층 배기구조' 혹은 '다중 배기구조'라고 한다)를 도시한 개념도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치는, 상면에 피처리물을 안착시킬 수 있는 지지부(20), 및 지지부(20)의 상부에 설치되는 챔버부(300)를 포함한다.
여기서, 챔버부(300)는, 지지부(20)의 상부에 설치되며, 지지부(20)에 대해 상대 이동이 가능한 본체부(310), 본체부(310)를 관통하도록 형성되며 내부가 하방으로 개방되고, 레이저 빔(L)의 진행 경로를 제공하는 관통부(330), 관통부(330)의 상단부에 장착되고, 레이저 빔(L)을 통과시키는 윈도우(320), 관통부(330)의 내벽면에 다층 배기구조로 형성되는 복수개의 흡인부(350, 360, 370), 및 관통부(330)의 하단부를 둘러싸도록 본체부(310)의 하면에 제공되어 커튼 가스(a)를 분사할 수 있는 가스 블로우부(340)를 포함한다.
챔버부(300)는 관통부(330)의 하단부를 둘러싸도록 본체부(310)의 하면에 제공되어 커튼 가스(a)를 회수할 수 있는 가스 회수부(380)를 더 포함할 수 있다.
또한, 챔버부(300)는 복수개의 흡인부(350, 360, 370), 가스 회수부(380) 및 가스 블로우부(340)를 외부의 유틸리티 라인(미도시) 및 커튼 가스 공급원(미도시)와 각각 연결시키는 복수개의 밸브(미도시)를 더 포함할 수 있다.
또한, 챔버부(300)는 관통부(330)의 내부에서 상하방향 및 둘레방향 중 선택된 적어도 어느 한 방향으로 나열된 복수 영역별로 흡인 유량을 각기 조절할 수 있도록 복수개의 밸브의 작동을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
또한, 챔버부(300)는 관통부(330)의 내벽면 및 복수개의 흡인부(350, 360, 370)의 내부면 중 적어도 어느 하나에 면에 코팅되고, 레이저 빔(L)의 입사에 의해 피처리물(S)로부터 비산되는 이물(f)이 부착되는 것을 방지하는 코팅막(미도시)을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 챔버부(300)를 오픈 챔버 또는 다층 배기 오픈 챔버라고 지칭할 수 있다.
한편, 레이저 처리 장치는, 상면에 지지부(20)가 설치되는 테이블(10), 챔버부(300)의 상부에 설치되며, 레이저 빔(L)을 윈도우(320)에 입사시킬 수 있는 광학부(40), 및 광학부(40)를 향하여 레이저 빔(L)을 발진시키는 레이저 광원부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
피처리물(S)은 필름 디스플레이('플렉서블 디스플레이'라고도 한다)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 피처리물(S)은 각종 전자 소자가 제조되는 공정이 진행 중이거나 종료된 필름 디스플레이를 포함할 수 있다. 물론, 피처리물(S)은 평판 디스플레이 제조용 글라스 기판이나 반도체 소자 제조용 실리콘 기판 등 다양할 수 있다.
피처리물(S)은 지지부(20)의 상면에 안착될 수 있다. 또한, 피처리물(S)은 예컨대 스팟 형태로 조사되는 레이저 빔(L)에 의해 다양한 형상 예컨대 격자 형상으로 절단되어 복수개의 피처리물(S)로 제조될 수 있다.
레이저 빔(L)을 이용하여 피처리물(S)을 절단할 때, 레이저 빔(L)에 의한 열과 피처리물(S) 간의 화학 작용에 의한 이물(f)이 다량 생성될 수 있다. 이물(f)은 예컨대 흄(fume) 및 파티클(particle)을 포함할 수 있다. 이물(f)은 대기 중으로 발산되기 전에 챔버부(300)의 관통부(330) 내로 흡입될 수 있고, 이어서, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)를 통하여 예컨대 챔버부(300)의 외부에 마련된 유틸리티 라인(미도시)으로 배기될 수 있다.
지지부(20)는 상면에 피처리물(S)이 안착될 수 있도록 형성된 판 타입의 스테이지를 포함할 수 있다. 예컨대 지지부(20)는 테이블(10)상에 설치되고, 위치가 고정될 수 있다. 또는, 지지부(20)는 복수의 방향 예컨대 x축, y축 및 z축 방향으로 이동 가능하도록 테이블(10)상에 설치될 수 있다. 이때, x축 방향은 좌우방향, y축 방향은 전후방향, z축 방향은 상하방향일 수 있다. 여기서, 좌우방향과 전후방향을 통칭하여 수평방향이라 한다. 또한, 상하방향은 다른 표현으로 수직방향 또는 높이방향이라 할 수 있다. 상술한 지지부(20)는 레이저 빔(L)의 진행 경로에 피처리물(S)을 위치시킬 수 있다.
광학부(40)는 예컨대 스캐너를 포함할 수 있다. 광학부(40)는 축 회전이 가능한 복수의 미러 및 렌즈를 구비할 수 있다. 광학부(40)는 챔버부(300)의 상부에 설치되며, 레이저 광원부로부터 방출되는 레이저 빔(L)을 윈도우(320)로 입사시킬 수 있다.
레이저 광원부는 챔버부(300)의 외부에 설치될 수 있다. 레이저 광원부는 예컨대 엑시머 레이저 광원을 이용하여 펄스 레이저 광을 생성하여 스팟 빔 형태로 발진시킬 수 있다. 레이저 광원부에서 광학부(40)를 향하여 발진된 레이저 빔(L)은 광학부(40)를 경유하여 챔버부(300)의 윈도우(320)로 진행 경로가 안내되며, 윈도우(320)를 통과하고 관통부(330)의 내부를 따라 진행하여 피처리물(S)에 입사될 수 있다. 피처리물(S)은 레이저 빔(L)의 입사에 의해 다양한 형태로 절단할 수 있다. 한편, 레이저 빔(L)은 이용하고자 하는 펄스 레이저 광의 파장에 따라 KrF 엑시머 레이저와 ArF 엑시머 레이저 등 다양한 종류의 것이 채용될 수 있다.
본체부(310)는 지지부(10)의 상부에 설치될 수 있다. 본체부(310)는 대기 중에 위치할 수 있다. 본체부(310)는 지지부(10)에 대해 상대 이동이 가능하다. 예컨대 지지부(10)가 이동 가능하게 설치되면 본체부(310)는 고정 설치되거나 이동 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 지지부(10)가 고정 설치되면 본체부(310)는 복수의 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 본체부(310)는 내부가 하방으로 개방될 수 있다. 본체부(310)는 하방으로 개방된 내부 공간인 관통부(330)를 이용하여 레이저 빔(L)을 피처리물(S)로 안내할 수 있다. 또한, 본체부(310)는 관통부(330)를 통하여, 피처리물(S)의 처리 예컨대 절단 중에 발생되는 이물(f)을 흡입할 수 있다. 이때, 관통부(330)로 흡입되는 이물(f)은 복수개의 흡인부(350, 360, 370)를 통하여 배기될 수 있다. 이때, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)는 관통부(330)의 관통 방향 예컨대 상하방향으로 서로 엇갈리게 배치될 수 있다. 이에, 관통부(330)의 내부에 나선형의 상승류가 형성될 수 있다.
본체부(310)는 복수개의 플레이트 부재(311, 312, 313, 314, 315, 316)가 상하방향으로 적층되어 형성될 수 있다. 복수개의 플레이트 부재는 탈착 가능하게 장착될 수 있다. 즉, 복수개의 플레이트 부재는 탈부착이 용이할 수 있다.
복수개의 플레이트 부재는 제1 플레이트(311), 제2 플레이트(312), 제3 플레이트(313), 제4 플레이트(314), 제5 플레이트(315) 및 제6 플레이트(316)를 포함할 수 있다. 제1플레이트(311)의 상부에 제2 플레이트(312) 내지 제6 플레이트(316)가 순서대로 적층될 수 있다. 물론, 복수개의 플레이트 부재의 개수 및 순서는 다양할 수 있다.
관통부(330)는 본체부(310)의 일측을 상하방향으로 관통하도록 형성될 수 있다. 관통부(330)는 광학부(40)의 하측에 위치할 수 있고, 광학부(40)와 상하방향으로 정렬될 수 있다. 관통부(330)는 상단부가 본체부(310)의 상면에 위치하고, 하단부가 본체부(310)의 하면에 위치할 수 있다. 이때, 관통부(330)의 상단부에는 윈도우(320)가 장착될 수 있다. 윈도우(320)는 레이저 빔(L)을 통과시킬 수 있다. 관통부(330)의 하단부는 하방으로 개방될 수 있다. 즉, 관통부(330)는 내부가 하방으로 개방될 수 있다. 관통부(330)는 레이저 빔(L)을 피처리물(S)에 안내할 수 있다.
관통부(330)의 형상은 예컨대 상하방향으로 연장된 사각형 통 형상일 수 있다. 물론, 관통부(330)의 형상은 상하방향으로 연장된 원형 통 형상을 포함하여 다양할 수 있다.
관통부(330)가 사각형 통 형상일 경우, 관통부(330)의 내벽면은 일방향 벽체면들(331) 및 타방향 벽체면들(332)를 포함할 수 있다. 일방향 벽체면들(331)은 일방향으로 서로 마주보는 벽체면들이고, 타방향 벽체면들(332)은 타방향으로 서로 마주보는 벽체면들이다. 일방향 및 타방향은 예컨대 전후방향 및 좌우방향일 수 있다. 일방향 타방향을 통칭하여 수평방향이라 할 수 있다. 수평방향과 교차하는 방향을 상하방향이라 할 수 있다. 상하방향은 관통부(330)가 관통된 방향일 수 있다. 일방향 및 타방향은 관통부(330)가 관통된 방향과 교차하는 방향일 수 있다.
관통부(330)가 원형 통 형상일 경우, 관통부(330)의 내벽면은 하나의 벽체면을 포함할 수 있다.
관통부(330)는 상단부에 확장부가 구비될 수 있다. 확장부는 관통부(330)의 상단부에 오목하게 형성될 수 있다. 확장부의 수평방향 폭은 확장부를 제외한 관통부(330)의 나머지 부분의 수평방향 폭보다 클 수 있다.
확장부는 관통부(330)의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면으로부터 이격되는 측면 및 관통부(330)의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면과 확장부의 측면을 연결하는 밑면에 의해 정의될 수 있다. 여기서, 관통부(330)의 중심에서 외측을 향하는 방향으로 관통부(330)의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면과 확장부의 측면이 상호 이격될 수 있다. 확장부의 측면의 상부에 윈도우(320)가 장착될 수 있다. 확장부의 밑면은 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 확장부의 밑면 형상 예컨대 테이퍼진 밑면 형상에 의하여, 확장부로 이물(f) 및 커튼 가스(a)의 유입이 원활할 수 있다.
복수개의 흡인부(350, 360, 370)는 관통부(330)의 내벽면에 다층 배기구조로 형성될 수 있다. 다층 배기구조는 복수개의 흡인부(350, 360, 370)가 상하방향으로 복수의 층을 이루도록 형성되는 구조를 의미한다. 다층 배기구조로 형성된 복수개의 흡인부(350, 360, 370)로 관통부(330)의 내부를 흡인함으로써, 피처리물(S)상의 이물(f)과 커튼 가스(a)와 공기가 혼합된 혼합 가스를 관통부(330)의 하부에서 관통부(330)의 상부로 연속적으로 끌어 올리며 관통부(330)의 내벽면측으로 단계적으로 당길 수 있고, 이를 복수 높이에서 다층을 형성하는 복수개의 흡인부(350, 360, 370)가 흡인할 수 있다.
즉, 커튼 가스(a) 및 공기와 함께 관통부(330)로 유입된 이물(f)은 다층 배기구조로 형성된 복수개의 흡인부(350, 360, 370)에 의하여 관통부(330)의 내부에서 다중 예컨대 2중, 3중 또는 4중으로 배기될 수 있으며, 이에, 소량의 커튼 가스(a)로도 이물(f)의 배기 효과를 향상시킬 수 있다.
상술한 것처럼, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)는 관통부(330)의 내벽면의 복수 높이에 제공되어 다층을 형성할 수 있다. 즉, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)는 상하방향으로 상호 이격될 수 있다. 이때, 각 층을 이루는 흡인부는 관통부(330)의 내벽면의 둘레를 따라 연장된 슬릿을 포함하거나, 관통부(330)의 내벽면의 둘레를 따라 나열된 복수의 홀을 포함할 수 있다.
이하에서는, 각 층을 이루는 흡인부가 슬릿을 포함하는 것을 기준으로, 실시 예를 설명한다. 한편, 후술하는 슬릿의 기술적 특징은 각 층을 이루는 흡인부가 복수의 홀을 포함하는 경우에도 동일하게 적용될 수 있다.
복수개의 흡인부(350, 360, 370)는, 관통부(330)의 내벽면의 제1높이에 형성되는 제1흡인부(350), 관통부(330)의 내벽면의 제2높이에 형성되는 제2흡인부(360)를 포함할 수 있다. 이때, 제2높이가 제1높이보다 높을 수 있다.
또한, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)는 제2흡인부(360)의 상측으로 이격되며 관통부(330)의 상단부에 구비된 확장부와 연통하는 제3흡인부(370)를 포함할 수 있다. 즉, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)는 3층 배기구조일 수 있다. 물론, 다층 배기구조의 층의 개수는 3층 외에도 다양할 수 있다.
제1높이 및 제2높이는 관통부(330)의 하단부의 높이를 기준으로 하는 높이로서, 제1높이는 제2높이보다 낮다. 제1높이 및 제2높이는 레이저 빔(L)의 입사에 의해 피처리물(S)로부터 비산되는 이물(f)의 무게에 따라 정해질 수 있다. 예컨대 제1높이는 흄의 무게에 따라 정해지는데, 흄이 원활하게 흡인될 수 있는 소정의 높이로 정해질 수 있다. 제2높이는 파티클의 무게에 따라 정해지는데, 파티클이 원활하게 흡인될 수 있는 소정의 높이로 정해질 수 있다.
예컨대 이물(f)이 발생할 때, 파티클이 흄보다 입자 크기 및 무게가 크기 때문에, 파티클이 흄보다 높은 높이로 비산될 수 있다. 따라서, 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)의 높이를 다르게 하여, 각각의 높이에서 흄 및 파티클을 각기 원활하게 흡인할 수 있다. 이처럼 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)는 역할이 다를 수 있다. 제1흡인부(350)는 제1높이에서 흄을 원활하게 흡인할 수 있고, 제2흡인부(360)는 제2높이에서 파티클을 원활하게 흡인할 수 있다.
제1흡인부(350)는 일방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1흡인부(350)는 일방향 벽체면들(331)에 각각 형성될 수 있다. 제1흡인부(350)는 일방향 벽체면들(331)을 일방향으로 관통하도록 형성되는 제1슬릿, 관통부(330)의 외측을 감싸도록 본체부(310)의 내부에 형성되는 제1배기실(352) 및 제1배기실(352)과 제1슬릿을 연결시키는 제1통로(351)를 포함할 수 있다.
제1슬릿은 일방향 벽체면들(331)의 제3플레이트(313) 영역을 관통하도록 형성될 수 있다. 제1슬릿은 관통부(330)의 둘레방향으로 연장될 수 있다. 더욱 상세하게는, 제1슬릿은 타방향으로 길게 연장될 수 있다. 제1슬릿을 제1통로(351)의 입구라고 지칭할 수 있다.
제1통로(351)는 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1통로(351)은 일방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 제1통로(351)는 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 라운드 형태의 내부면을 가질 수 있다. 예컨대 제1통로(351)의 상면과 하면이 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 라운드 형태의 곡면일 수 있다. 이 곡면에 의하여, 제1통로(351)의 내부로 이물(f) 및 커튼 가스(a)를 더욱 원활하게 흡인할 수 있다. 즉, 제1통로(351)의 상술한 구조에 의하여 제1통로(351)의 상면과 하면이 관통부(330)의 내부의 상승 기류와 완만한 각도를 이룰 수 있고, 이에, 제1통로(351)의 내부로 이물(f)을 안정적으로 흡인할 수 있다.
제1통로(351)의 수직 종단면 형상은 타방향으로 길이가 긴 직사각형 슬릿의 형상일 수 있다. 제1통로(351)의 수직 횡단면 형상은 포물선 형상 이를테면 라운드진 형상일 수 있다. 이때, 포물선 형상은 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 포물선 형상일 수 있다.
한편, 제1통로(351)의 상하방향의 절단면 면적은 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 증가할 수 있다. 이에, 제1통로(351)의 입구인 제1슬릿을 통하여 다량의 이물(f)을 원활하게 흡인할 수 있다. 이때, 상하방향의 절단면 면적은 수직 횡단면을 의미할 수 있다.
제1배기실(352)은 제3플레이트(313)의 내부에 예컨대 링 형상으로 형성될 수 있다. 제1배기실(352)은 일측이 제1통로(351)과 연통하고, 타측이 외부의 유틸리티 라인에 연결될 수 있다. 제1배기실(352)은 유틸리티 라인에 의하여 내부에 부압이 형성될 수 있다. 부압에 의해, 제1통로(351)가 관통부(330)의 내부를 흐르는 커튼 가스(a)와 이물(f)을 흡입할 수 있다. 이때, 유틸리티 라인은 제어부(미도시)의 제어에 의하여 제1배기실(352)의 내부에 형성되는 부압의 크기를 조절할 수 있다. 구체적으로, 제어부가 유틸리티 라인과 제1배기실(352) 사이를 연결하는 밸브의 개도를 조절하여, 제1배기실(352)의 내부에 형성되는 부압의 크기를 조절할 수 있다.
한편, 제3플레이트(313)와 제4플레이트(314)의 분리 시에 제1배기실(352)의 내부가 노출될 수 있다. 이에, 제1배기실(352)의 점검 및 정비가 용이할 수 있다.
제2흡인부(360)는 타방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2흡인부(360)는 타방향 벽체면들(332)에 각각 형성될 수 있다. 제2흡인부(360)는 타방향 벽체면들(332)을 타방향으로 관통하도록 형성되는 제2슬릿, 관통부(330)의 외측을 감싸도록 본체부(310)의 내부에 형성되는 제2배기실(362) 및 제2배기실(362)과 제2슬릿을 연결시키는 제2통로(361)를 포함할 수 있다.
제2슬릿은 타방향 벽체면들(332)의 제4플레이트(314) 영역을 관통하도록 형성될 수 있다. 제2슬릿은 관통부(330)의 둘레방향으로 연장될 수 있다. 더욱 상세하게는, 제2슬릿은 일방향으로 길게 연장될 수 있다. 제2슬릿을 제2통로(361)의 입구라고 지칭할 수 있다.
제2통로(361)는 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2통로(361)는 타방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 제2통로(361)는 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 라운드 형태의 내부면을 가질 수 있다. 예컨대 제2통로(361)의 상면과 하면이 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 라운드 형태의 곡면일 수 있다. 제2통로(361)의 상술한 구조에 의하여, 제2통로(361)의 상면과 하면이 관통부(330)의 내부의 상승 기류와 완만한 각도를 이루며, 제1통로(351)의 내부로 이물(f) 및 커튼 가스(a)를 더욱 원활하게 흡인할 수 있다.
제2통로(361)의 수직 종단면 형상은 일방향으로 길이가 긴 직사각형 슬릿의 형상일 수 있다. 제2통로(361)의 수직 종단면 크기는 제1통로(351)의 수직 종단면 크기와 상이할 수도 있다. 제2통로(361)의 수직 횡단면 형상은 포물선 형상 이를테면 라운드진 형상일 수 있다. 여기서, 포물선 형상은 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 포물선 형상일 수 있다. 이때, 제2통로(361)의 수직 횡단면 형상과 제1통로(351)의 수직 횡단면 형상은 포물선의 곡률이 상이할 수 있다. 이에, 복수 높이에서의 이물(f)의 유동 특성을 다르게 제어할 수 있다. 제2통로(361)의 상하방향의 절단면 면적은 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 증가할 수 있다. 이에, 제2통로(361)의 입구인 제2슬릿으로 다량의 이물(f)을 원활하게 흡인할 수 있다.
제2배기실(362)은 제4플레이트(314)의 내부에 예컨대 링 형상으로 형성될 수 있다. 제2배기실(362)은 일측이 제2통로(361)과 연통하고, 타측이 외부의 유틸리티 라인에 연결될 수 있다. 제2배기실(362)은 유틸리티 라인에 의하여 내부에 부압이 형성될 수 있다. 부압에 의해, 제2통로(361)가 관통부(330)의 내부를 흐르는 커튼 가스(a)와 이물(f)을 흡입할 수 있다. 이때, 유틸리티 라인은 제어부(미도시)의 제어에 의하여 제2배기실(362)의 내부에 형성되는 부압의 크기를 조절할 수 있다. 구체적으로, 제어부가 유틸리티 라인과 제2배기실(362) 사이를 연결하는 밸브의 개도를 조절함으로써, 제2배기실(362)의 내부에 형성되는 부압의 크기를 조절할 수 있다. 이때, 제1배기실(252)와 제2배기실(362)의 내부의 부압의 크기를 별도로 조절할 수 있다.
한편, 제4플레이트(314)와 제5플레이트(315)의 분리 시에 제2배기실(362)의 내부가 노출될 수 있다. 이에, 제2배기실(362)의 점검 및 정비가 용이할 수 있다.
이처럼 제1흡입부(350)와 제2흡입부(360)는 서로 다른 벽체면들에 서로 다른 높이로 제공될 수 있다. 이러한 구조로 제공된 제1흡입부(350)와 제2흡입부(360)로 관통부(330)의 내부를 흡인하여 나선형의 상승류를 형성할 수 있다. 이러한 나선 형상의 상승 기류에 의해 이물(f)을 원활하게 상승시키며 각 흡인부에서 흡인할 수 있다.
제1흡인부(350) 및 제2흡인부(360)는 그 높이에 따라 흡인 유량을 별도로 제어할 수 있다. 이를테면 제어부로 밸브의 개도를 제어하여 제1흡입부(350)와 제2흡입부(360)의 흡인 유량을 조절함으로써, 관통부(330)의 내부에서 이물(f)의 흐름을 다양하게 조절할 수 있다.
예컨대 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)의 흡인 유량을 동일하게 하여 관통부(330)의 내부의 중심부로 이물(f)을 모아주며 수직하게 상승시킬 수 있다. 또한, 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)의 흡인 유량을 다르게 하여 이물(f)을 원하는 벽체면측으로 편중시켜 경사지게 상승시킬 수 있다.
더 나아가, 일방향의 양측에서 서로 마주보는 제1흡인부(350) 중 선택된 어느 하나의 유량을 상대적으로 증가시키거나, 타방향의 양측에서 서로 마주보는 제2흡인부(360) 중 선택된 어느 하나의 유량을 상대적으로 증가시킴으로써, 이물(f)이 관통부(330)의 내부에서 상승할 때, 이물(f)을 원하는 방향으로 편중시킬 수 있다.
이처럼 제1흡인부(350) 및 제2흡인부(360)는 관통부(330)로 유입된 이물(f)의 상승 방향을 원활하게 제어할 수 있다. 또한, 이물(f)에 의하여 피처리물(S)에 가해지는 열 데미지의 방향도 원하는 방향으로 조절할 수 있다.
그 밖에도 다양한 방식으로 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)의 흡인 유량을 조절할 수 있고, 이에, 관통부(330)의 내벽면의 원하는 벽체면측으로 이물(f)을 편중시킬 수 있다.
제3흡인부(370)는 제2흡인부(360)의 상측으로 이격되고, 확장부에 연통할 수 있다. 제3흡인부(370)는 윈도우(320)의 하면 부근의 이물(f) 및 커튼 가스(a)를 원활하게 흡인할 수 있다. 제3흡인부(370)는 일방향의 양측 및 타방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성될 수 있다.
제3흡인부(370)는 확장부의 측면을 수평방향으로 관통하도록 형성되는 제3슬릿, 확장부의 외측을 감싸도록 본체부(310)의 내부에 형성되는 제3배기실(372), 및 제3슬릿과 제3배기실(372)을 연결시키는 제3통로(371)을 포함할 수 있다.
제3통로(371)의 입구가 제3슬릿일 수 있다. 제3슬릿은 관통부(330)의 내벽면의 둘레방향 예컨대 일방향과 타방향을 연결한 방향으로 연장될 수 있다.
제3통로(371)는 제5플레이트(315) 내지 제6플레이트(316)의 내부에서 수평방향으로 연장될 수 있다. 즉, 제3통로(371)는 관통부(330)의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 수평하게 형성될 수 있다.
제3통로(371)는 제1흡인부(350) 및 제2흡인부(360)에서 흡인되지 못한 흄 및 파티클을 전방위에서 고르게 흡인할 수 있다. 이때, 제3통로(371)가 확장부를 통하여 관통부(330)의 내부를 흡인함으로써, 흄 및 파티클을 더욱 안정적으로 흡인할 수 있다.
제3배기실(372)은 제5플레이트(315) 또는 제6플레이트(316)의 내부에 예컨대 링 형상으로 형성될 수 있다. 제3배기실(372)은 일측이 제3슬릿(371)과 연통하고, 타측이 밸브를 통하여 외부의 유틸리티 라인에 연결될 수 있다. 제3배기실(372)은 유틸리티 라인에 의해 내부에 부압이 형성될 수 있다. 부압에 의해 제3통로(371)가 관통부(330)의 내부를 흐르는 커튼 가스(a)와 이물(f)을 흡입할 수 있다. 이때, 유틸리티 라인과 제3배기실(372)을 연결한 밸브의 개도를 제어부로 제어하여 제3배기실(372)의 내부에 형성하는 부압의 크기를 조절할 수 있다. 이때, 제1배기실(252)과 제2배기실(362)과 제3배기실(372)의 내부의 부압의 크기를 각기 별도로 조절할 수 있다.
한편, 제5플레이트(315)와 제6플레이트(316)의 분리 시에 제3배기실(372)의 내부가 노출될 수 있다. 이에, 제3배기실(372)의 점검 및 정비가 용이할 수 있다.
관통부(330)의 하부로 흡입된 이물(f)과 커튼 가스(a)와 공기의 혼합 가스는 관통부(330)의 상부로 상승하며 나선형의 상승류를 형성한다. 상승류는 일부가 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)에서 차례로 흡인되고, 그 나머지가 제3흡인부(370)에서 모두 흡인된다.
이때, 제1흡인부(350)와 제2흡인부(360)와 제3흡인부(370)의 흡인 유량을 조절함으로써, 상승류를 관통부(330)의 중심부로 모아주거나 원하는 방향으로 편중시킬 수 있고, 상승류의 상승 속도를 관통부(330)의 높이별로 같거나 다르게 조절할 수 있다. 이에, 관통부(330)의 내부로부터 복수개의 흡인부(350, 360, 370)로 이물(f)을 원활하게 흡인할 수 있고, 관통부(330)의 내벽면 및 윈도우(320)의 하면에 이물(f)의 부착이 방지될 수 있다.
가스 블로우부(340)는 본체부(310)의 하면에 제공될 수 있고, 관통부(330)의 하단부를 둘러쌀 수 있고, 커튼 가스(a)를 분사할 수 있다. 가스 블로우부(340)는 본체부(310)의 하면을 경사지게 관통하도록 형성되고, 본체부(310)의 내부로 경사지게 연장되는 가스 분사관(341) 및 관통부(330)를 둘러싸도록 본체부(310)의 내부에 링 형상으로 형성되고, 가스 분사관(341)과 연통하는 가스 분사실(342)을 포함할 수 있다.
가스 분사관(341)은 관통부(330)의 하단부의 둘레방향으로 연장되거나 나열될 수 있다. 즉, 하나의 가스 분사관(341)이 관통부(330)의 하단부의 둘레방향으로 연장될 수 있고, 또는, 복수의 가스 분사관(341)이 관통부(330)의 하단부의 둘레방향으로 나열될 수 있다. 가스 분사관(341)은 커튼 가스(a)를 관통부(330)의 하단부의 중심부측으로 분사할 수 있도록, 관통부(330)의 하단부의 중심부를 향하여 하향 경사지게 연장될 수 있다. 가스 분사관(341)은 한겹 이상 형성될 수 있다. 예컨대 가스 분사관(341)은 관통부(330)의 하단부의 외측을 둘러싸며 복수겹 예컨대 두겹으로 형성될 수 있다.
가스 분사실(342)은 일측이 가스 분사관(341)에 연결될 수 있고, 타측이 외부의 커튼 가스 공급원(미도시)에 연결될 수 있다. 가스 분사실(342)는 커튼 가스 공급원으로부터 커튼 가스(a)를 공급받을 수 있다. 커튼 가스(a)는 본체부(300)의 하방으로 경사지게 분사되어 이물(f)을 관통부(330)의 하단부의 중심부측으로 모아주며, 관통부(330)의 하부로 이물(f)을 유입시키는 역할을 한다.
커튼 가스 공급원과 가스 분사실(342) 사이를 연결하는 밸브의 개도를 제어부로 조절하여, 가스 분사실(342)로 공급되는 커튼 가스(a)의 공급 압력과 공급 유량을 조절할 수 있다.
이때, 가스 분사관(341)을 통하여 피처리물(s)에 분사된 커튼 가스(a)가 피처리물(S)을 진동시키지 않을 정도의 공급 압력과 유량으로 가스 분사실(342)의 내부로 공급되는 커튼 가스(a)의 공급 압력 및 유량을 조절할 수 있다.
한편, 가스 분사관(341)을 통하여 피처리물(s)에 분사된 커튼 가스(a)는 일부가 피처리물(S)의 상면을 타고 흐르며 관통부(330)의 외측으로 분기될 수 있다.
가스 회수부(380)는 가스 블로우부(340)를 둘러싸도록 본체부(310)의 하면에 제공되며, 커튼 가스(a)를 회수할 수 있다. 가스 회수부(380)는, 가스 분사관(341)의 외측에서 본체부(310)의 하면을 관통하고, 본체부(310)의 내부로 경사지게 연장되는 가스 회수관(381), 및 가스 분사실(342)를 둘러싸도록 본체부(310)의 내부에 링 형상으로 형성되는 가스 회수실(382)을 포함할 수 있다.
가스 회수관(381)은 관통부(330)의 하단부의 둘레방향으로 연장 또는 나열될 수 있다. 가스 회수관(381)은 피처리물(S)의 표면을 따라 분기되어 관통부(330)의 외측으로 흐르는 커튼 가스(a)의 일부를 흡입할 수 있다. 가스 회수관(381)은 수직 횡단면이 직각삼각형 형상일 수 있다. 직각삼각형 형상의 수직 횡단면의 빗변이 가스 분사관(341)을 향할 수 있다.
가스 회수실(382)은 일측이 가스 회수관(381)에 연결될 수 있고, 타측이 밸브를 통하여 외부의 유틸리티 라인에 연결될 수 있다. 가스 회수실(382)은 유틸리티 라인에 의하여 내부에 부압이 형성될 수 있다. 부압에 의해 가스 회수관(381)이 피처리물(S)의 상면을 타고 관통부(330)의 외측으로 흐르는 커튼 가스(a)룰 흡입할 수 있다. 유틸리티 라인과 가스 회수실(382) 사이의 밸브의 개도를 조절하여, 가스 회수실(382)의 내부에 형성되는 부압의 크기를 조절할 수 있다. 이때, 제어부로 밸브의 개도를 조절할 수 있다.
한편, 제1배기실(252), 제2배기실(362), 제3배기실(372)과 가스 회수실(382)의 내부의 부압의 크기는 각기 별도로 조절될 수 있다.
제어부(미도시)는 관통부(330)의 내부에서 상하방향 및 둘레방향 중 선택된 적어도 어느 하나의 방향으로 나열된 복수 영역별로 흡인 유량을 각기 조절할 수 있도록 복수개의 흡인부(350, 360, 370), 가스 회수부(380) 및 가스 블로우부(340)를 외부의 유틸리티 라인 및 커튼 가스 공급원과 연결시키는 밸브들의 작동을 제어할 수 있다.
즉, 제어부는 제1흡인부(350), 제2흡인부(360), 제3흡인부(370) 및 가스 회수부(380)의 흡인 유량을 별도로 제어할 수 있고, 또한, 이들의 전체 흡인 유량에 맞춰서 가스 블로우부(340)로 공급되는 커튼 가스(a)의 유량을 조절할 수 있다.
구체적으로, 제어부의 흡인 유량 조절 방식은 예컨대 복수개의 흡인부(350, 360, 370) 및 가스 회수부(380)와 유틸리티 라인 사이를 연결하는 각 밸브(미도시)의 개도를 조절하는 방식이 적용될 수 있다. 또한, 제어부의 커튼 가스(a) 유량 조절 방식은 예컨대 가스 블로우부(340)와 커튼 가스 공급원 사이를 연결하는 밸브의 개도를 조절하는 방식이 적용될 수 있다.
상하방향으로 나열된 복수 영역은 관통부(330)의 하단부에서 제2슬릿(361)이 형성된 높이까지의 제1영역, 제2슬릿(361)이 형성된 높이에서 제1슬릿(351)이 형성된 높이까지의 제2영역, 및 제2슬릿(361)이 형성된 높이에서 윈도우(320)의 하면의 높이까지의 제3영역을 포함할 수 있다. 이러한 제1영역, 제2영역 및 제3영역을 합하면 관통부(330)의 상하방향의 전체 영역이 될 수 있다.
제어부는 관통부(330)의 내부로 유입되는 혼합 가스의 전체 유량을 각 영역별로 같은 비율 또는 다른 비율로 할당하여, 그에 해당하는 흡인 유량으로 작동하도록 밸브의 개도를 제어할 수 있다. 즉, 제어부는 각 흡인부들과 연결된 밸브들의 개도를 각각 조절하여 각 흡인부들이 배치된 각 영역의 흡인 유량을 조절할 때, 각 영역의 흡인 유량을 서로 다르게 조절하거나, 서로 같게 조절할 수 있다.
이에, 상승류의 상승 속도가 관통부(330)의 높이에 따라 다양하게 조절될 수 있다. 예컨대 혼합 가스가 관통부(330)의 내부에서 상승할 때, 피처리물(S)과 가까운 높이에서 느리게 상승하고, 높이가 높아질수록 상승 속도가 빨라질 수 있다. 또한, 혼합 가스가 관통부(330)의 내부에서 상승할 때, 피처리물(s)과 가까운 높이에서 빠르게 상승하고, 높이가 높이질수록 상승 속도가 느려질 수 있다. 물론, 이 외에도 혼합 가스의 상승 다양한 패턴이 존재할 수 있다.
둘레방향으로 나열된 복수 영역은 관통부(330)의 중심부를 상하방향으로 지나는 중심축(미도시)을 중심으로 하여 관통부(330)의 내부에 방사상으로 형성된 복수개의 분면 영역을 포함할 수 있다.
복수개의 분면 영역은 예컨대 1사분면 영역, 2사분면 영역, 3사분면 영역 및 4사분면 영역을 포함할 수 있다. 이들 분면 영역을 합하면 관통부(330)의 내부의 전체 영역이 될 수 있다. 1사분면 영역은 일방향 벽체면(331) 중 어느 하나와 접하고, 2사분면 영역은 타방향 벽체면(332) 중 어느 하나와 접하고, 3사분면 영역은 일방향 벽체(331) 중 나머지 하나와 접하고, 4사분면 영역은 타방향 벽체(332) 중 나머지 하나와 접할 수 있다.
제어부는 관통부(330)의 내부로 유입되는 혼합 가스의 전체 유량을 각 분면 영역별로 같은 비율 또는 다른 비율로 할당하여, 그에 해당하는 흡인 유량으로 작동하도록 밸브의 개도를 제어할 수 있다. 이에, 관통부(330)의 내부에서 상승류의 상승 방향을 조절할 수 있다. 즉, 혼합 가스가 관통부(330)의 내부에서 상승할 때, 상술한 중심축을 따라 수직하게 상승할 수 있다. 또한, 혼합 가스가 관통부(330)의 내부에서 상승할 때, 복수개의 분면 영역 중 선택된 하나 이상의 분면 영역으로 치우치면서 경사지게 상승할 수 있다. 물론, 이 외에도 상승류의 상승 방향은 다양할 수 있다.
코팅막(미도시)은 관통부(330)의 내벽면 및 복수개의 흡인부(350, 360, 370)의 내부면에 코팅될 수 있다. 예컨대 이물(f) 중 흄은 글루(glue) 상태이므로 점착성이 강하다. 따라서, 흄이 관통부(330)의 내부에서 상승하는 중에 관통부(330)의 내벽면 및 복수개의 흡인부(350, 360, 370)의 내부면에 부착되는 것을 방지할 수 있도록, 코팅막이 형성될 수 있다. 코팅막에 의하여 관통부(330)의 내벽면 및 복수개의 흡인부(350, 360, 370)의 내부면에 흄에 의한 점착층이 형성되는 것을 원천 방지할 수 있고, 접착층에 의한 막힘 현상을 원천 방지할 수 있다.
코팅막은 플루오르(F) 및 규소(Si) 성분을 함유하는 코팅 재질을 포함할 수 있다. 예컨대 코팅막은 플루오르화규소 코팅 재질을 포함할 수 있다. 코팅막은 이온 쉴드 코팅 기법으로 형성될 수 있다.
도 5의 (a), (b), (c) 및 (d)는 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부 내부의 유동 특성을 도시한 그래프이다. 구체적으로, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부(300)의 내부를 흐르는 유동을 소정의 전산 유체 역학 프로그램을 이용하여 시뮬레이션하여 그 결과를 보여주는 그래프이다. 이때, 챔버부(300)의 내부 유동이 복잡하므로, 도 5의 (a), (b), (c) 및 (d)에 나누어 보여준다.
도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부(300)의 작동을 설명한다. 관통부(330)를 통하여 레이저 빔(L)을 피처리물(S)에 조사하여 피처리물(S)을 절단하는 과정에서, 복수개의 흡인부(350, 360, 370), 가스 블로우부(340) 및 가스 회수부(380)를 이용하여 피처리물(S)의 절단 영역 부근을 커튼 가스(a)로 가두고, 그 내부의 혼합 가스를 관통부(330)의 내부로 상승시킬 수 있다. 이에, 혼합 가스는 도 5의 (a) 내지 (d)에서 보여지는 복잡한 3차원 유동과 같은 입체적인 흐름을 보이며, 각각의 흡인부에 흡입되어 배기될 수 있다. 이때, 혼합 가스의 거동을 보면, 관통부(330)의 중심부를 중심으로 대칭하는 거동을 보이고, 하부에서 상부로 갈수록 유속이 느려지며 안정적으로 흡인부로 흡입되는 거동을 보이는 것을 확인할 수 있다.
이처럼 본 발명의 실시 예에 따른 챔버부(300)는 피처리물(S)상에 생성되는 이물(f)을 커튼 가스(a) 및 공기와 함께 관통부(330) 내로 흡입하여, 이물(f)의 외부 유출을 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시 예의 변형 예에 따른 챔버부 내부의 유동 특성을 도시한 그래프이다.
본 발명의 변형 예에 따른 레이저 처리 장치는 흡인부에 의한 관통부 내부의 배기구조가 다양할 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여, 본 발명의 변형 예에 따른 레이저 처리 장치를 설명한다. 이때, 본 발명의 변형 예에 따른 레이저 처리 장치는 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치와 대부분의 구성이 유사하므로, 중복되는 설명은 생략한다.
본 발명의 변형 예에 따르면, 복수개의 흡인부가 제1흡인부(350') 및 제3흡인부(370')를 포함할 수 있다. 즉, 관통부(330) 내의 배기 구조가 2중 배기구조로 형성될 수 있다. 이때, 가스 블로우부(340')에서 분사되는 커튼 가스의 유속, 복수의 흡인부(350', 370')에서 흡입하는 혼합 가스의 유속 및 가스 회수부(380')에서 회수하는 커튼 가스(a)의 유속이 실시 예에 비하여 줄어든 것을 확인할 수 있다.
즉, 본 발명의 변형 예에서는 실시 예의 3중 배기구조보다 배기구조가 단순화되기 때문에, 배기구조의 단순화에 따른 흡인 유량의 감소를 반영하여 가스 블로우부(340')에서 분사되는 커튼 가스의 유속이 실시 예에 비하여 줄일 수 있다.
이때, 본 발명의 비교 예에서는 배기구조를 단순화시키는 것에 의하여, 본체부(310')의 높이를 줄여 본체부(310')의 무게를 실시 예의 약 절반 수준으로 줄일 수 있는 장점이 있다.
이처럼 본 발명의 변형 예에서는 관통부 내부의 배기구조를 다양하게 변형시킬 수 있다.
도 1 내지 도 6를 참조하여 상기에서 본 발명의 실시 예 및 그 변형 예에 따른 레이저 처리 장치를 설명하였으나 본 발명은 하기의 제2실시 예를 포함하여 다양한 형식으로 구성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 챔버부를 도시한 개념도이다.
도 7을 참조하여, 본 발명의 제2실시 예에 따른 레이저 처리 장치를 설명한다. 이때, 본 발명의 제2실시 예에 따른 레이저 처리 장치는 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치와 구성이 유사하므로, 본 발명의 실시 예에 구분되는 본 발명의 제2실시 예에 따른 레이저 처리 장치의 특징을 설명한다.
본 발명의 제2실시 예에 따른 챔버부(300)는, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)와 상하방향으로 이격되며, 관통부(330)의 내벽면에서 돌출되고, 상방으로 실드 가스(aR)를 분사할 수 있는 복수개의 가스 레일 형성부(390)를 더 포함할 수 있다.
실드 가스(aR)는 막의 형태로 분사되며 관통부(330)의 내벽면을 보호할 수 있다. 실드 가스(aR)는 커튼 가스(a: ain, aout)와 동일한 가스가 사용될 수 있다. 예컨대 실드 가스(aR)는 불활성 가스 또는 공기가 사용될 수 있다.
복수개의 가스 레일 형성부(390)는 제1 내지 제3 가스 레일 형성부를 포함할 수 있다. 제1 가스 레일 형성부는 관통부(330)의 내부의 제1영역과 관통부(330)의 외부와의 경계 부근에 관통부(330)의 둘레 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 제2 가스 레일 형성부는 관통부(330)의 내부의 제1영역과 제2영역의 경계 부근에 관통부(330)의 둘레 방향으로 연장될 수 있다. 그리고 제3 가스 레일 형성부는 관통부(330)의 내부의 제2영역과 제3영역의 경계 부근에 관통부(330)의 둘레 방향으로 연장될 수 있다.
실드 가스(aR)는 가스 레일의 역할을 수행할 수 있다. 즉, 실드 가스(aR)가 없으면 관통부(330)의 내부의 혼합 가스가 관통부(330)의 내벽면 부근에서 0 의 속도에 수렴하게 된다.
하지만 실드 가스(aR)가 관통부(330)의 내벽면을 타고 흐르면, 관통부(330)의 내부의 혼합 가스가 관통부(330)의 내벽면 부근에서 실드 가스(aR)에 의해 상방으로 원활하게 상승할 수 있다. 이에, 관통부(330)의 내부의 혼합 가스의 유동이 더욱 원활할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 방법을 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 방법은, 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 처리 장치를 이용한 레이저 처리 방법으로서, 피처리물(S)을 마련하는 과정, 상하방향으로 관통부(330)가 형성된 본체부(310)를 피처리물(S)의 상부에 위치시키는 과정, 관통부(330)를 통하여 피처리물(S)에 레이저 빔(L)을 조사하여 피처리물(S)을 처리하는 과정, 관통부(330)의 내벽면에 다층 배기구조로 제공된 복수개의 흡인부(350, 360, 370)를 이용하여 관통부(330)와 피처리물(S) 사이의 이물(f)을 배기하는 과정, 및 본체부(310)의 하면에 제공된 가스 블로우부(340)를 이용하여 관통부(330)의 하단부를 둘러싸도록 커튼 가스(a)를 분사하는 과정을 포함한다.
또한, 레이저 처리 방법은, 본체부(310)의 하면에 가스 블로우부(340)를 감싸도록 제공된 가스 회수부(380)를 이용하여 커튼 가스(a)의 적어도 일부를 회수하는 과정을 포함할 수 있다.
우선, 지지부(10)의 상면에 피처리물(S)을 마련한다. 피처리물(S)은 필름 디스플레이를 포함할 수 있다. 물론, 피처리물(S)은 필름 디스플레이 외에 다양할 수 있다.
이후, 본체부(310)를 피처리물(S)의 상부에 위치시킨다. 이때, 피처리물(S)과 본체부(310)는 수 밀미미터 정도의 높이로 상호 이격될 수 있다. 또한, 본체부(310), 피처리물(S)은 광학부(40)에 상하방향으로 정렬될 수 있다.
이후, 레이저 광원부에서 레이저 빔(L)을 발진시키고, 광학부(40)를 이용하여 본체부(310) 측으로 레이저 빔(L)의 경로를 안내한다.
이후, 본체부(310)를 관통하도록 형성된 관통부(330)를 통하여 피처리물(S)에 레이저 빔(L)을 조사하여 피처리물(S)을 처리한다. 여기서, 피처리물(S)의 처리는 피처리물(S)의 절단을 포함할 수 있다. 이때, 레이저 빔(L)이 피처리물(S)에 입사하면서 발생하는 열과 피처리물(S)의 성분과의 화학 반응에 의하여 흄 및 파티클을 포함하는 이물(f) 발생할 수 있다.
이후, 피처리물(S)을 처리하는 과정 중에, 관통부(330)의 내벽면에 다층 배기구조로 형성된 복수개의 흡인부(350, 360, 370)을 이용하여 관통부(330)와 피처리물(S) 사이의 이물(f)을 배기한다. 이때, 본체부(310)의 하면에 제공된 가스 블로우부(340)를 이용하여 관통부(330)의 하단부를 둘러싸도록 커튼 가스(a)를 분사한다. 또한, 본체부(310)의 하면에 가스 블로우부(340)를 감싸도록 제공된 가스 회수부(380)를 이용하여 커튼 가스(a)의 적어도 일부를 회수한다.
즉, 레이저 빔(L)의 발진 시에, 피처리물(S)에서 발생하는 흄과 파티클을 커튼 가스(a)를 이용하여 모아주고, 관통부(330)의 내부로 흡입시켜 관통부(330)의 상부로 상승시키며, 복수개의 흡인부(350, 360, 370)을 통하여 복수 높이에서 이물(f)과 커튼 가스(a)를 다중으로 흡입하여, 관통부(330)의 내부에서 유틸리티 라인으로 배기시킨다.
이때, 관통부(330)의 내벽면의 복수 높이에 제공되어 다층을 이루는 복수개의 흡인부(350, 360, 370) 중, 제1높이에서 일방향으로 마주보는 제1흡인부(350)와 제2높이에서 타방향으로 마주보는 제2흡인부(360)로 관통부(330)의 내부를 흡인하여, 관통부(330)의 내부에 나선형의 상승류를 형성할 수 있다.
또한, 제어부로 복수개의 흡인부(350, 360, 370)와 유틸리티 라인을 연결시키는 각각의 밸브의 개도를 제어하여, 관통부(330)의 내부로 흡입된 이물(f)을 관통부(330)의 중심부로 유도하며 수직하게 상승시킬 수 있다.
구체적으로, 관통부(330)의 중심부를 상하방향으로 지나는 중심축(미도시)을 중심으로 관통부(330)의 내부에 방사상으로 형성된 복수개의 분면 영역에 배치되는 복수개의 흡인부(350, 360, 370)로 관통부(330)의 내부를 흡인하며 각 분면 영역별 이물의 배기 속도를 고르게 조절하여, 이물(f)을 관통부(330)의 중심부로 유도하며 수직하게 상승시킬 수 있다. 이때, 분면 영역은 관통구(330)의 내벽의 둘레를 따라 둘레방향으로 나열된 영역들일 수 있다.
또는, 제어부로 복수개의 흡인부(350, 360, 370)와 유틸리티 라인을 연결시키는 각각의 밸브의 개도를 제어하여, 이물(f)과 커튼 가스(a)를 관통부(330)의 내부에서 원하는 방향으로 편중시키며 경사지게 상승시키는 과정을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상술한 복수개의 분면 영역에 배치되는 복수개의 흡인부(350, 360, 370)로 관통부(330)의 내부를 흡인하며 각 분면 영역별 이물의 배기 속도를 상이하게 조절하여, 이물(f)을 관통부(330)의 내부에서 원하는 방향으로 편중시키며 경사지게 상승시킬 수 있다.
즉, 관통부(330)의 내부의 분면 영역별로 이물(f)의 배기 속도를 다양하게 조절함으로써, 이물(f)의 상승 방향을 원하는 방향으로 조절할 수 있다.
또한, 제어부로 복수개의 흡인부(350, 360, 370)와 유틸리티 라인을 연결시키는 각각의 밸브의 개도를 제어하여, 관통부(330)의 내부에서 상하방향을 나열된 복수의 영역별 이물(f)의 배기 속도를 조절할 수 있다.
즉, 관통부(330)의 내부에서 상하방향으로 나열된 복수개의 영역에 배치되는 복수개의 흡인부(350, 360, 370)로 관통부(330)의 내부를 흡인하며 각 영역별 이물의 배기 속도를 조절하여, 관통부(330)의 내부에서 이물(f)의 상승 속도를 조절할 수 있다.
이에, 관통부(330)의 내부의 이물(f)과 커튼 가스(a)의 흐름을 원하는 흐름을 형성하며, 복수개의 석셕부(350, 360, 370)를 통하여 이물(f)과 커튼 가스(a)를 원활하게 배기시킬 수 있다.
한편, 관통부(330)의 내부로 흡입되지 못하고 피처리물(S)의 상면을 따라 관통부(330)의 외부로 흐르는 흄과 파티클을 커튼 가스(a)와 함께 가스 회수부(380)에서 회수한다.
이후, 피처리물(S)의 처리 예컨대 절단이 완료되면, 레이저 빔(L)의 조사를 차단하고, 흡인부들과 가스 블로우부(340)와 가스 회수부(380)의 작동을 종료한다.
이후, 처리가 완료된 피처리물(S)을 다음 공정 설비로 이송하고, 다음 번 처리할 피처리물(S)을 지지부(10)에 안착시키고, 이후 과정들을 반복한다.
한편, 본 발명의 제2실시 예에 따른 레이저 처리 방법은, 이물을 배기하는 과정 중에, 흡인부들과 상호 이격되도록 관통부(330)의 내벽면에 제공된 복수개의 가스 레일 형성부(390)를 이용하여 관통부(330)의 내벽면을 따라서 실드 가스(aR)를 분사하는 과정을 포함할 수 있다. 이에, 관통부(330)의 내부에서 상승 중인 이물(f)과 커튼 가스(a)를 실드 가스(aR)를 이용하여 더욱 원활하게 상승시킬 수 있다.
본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이고, 본 발명의 제한을 위한 것이 아니다. 본 발명의 상기 실시 예에 개시된 구성과 방식은 서로 결합하거나 교차하여 다양한 형태로 변형될 것이고, 이 같은 변형 예들도 본 발명의 범주로 볼 수 있음을 주지해야 한다. 즉, 본 발명은 청구범위 및 이와 균등한 기술적 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10: 테이블 20: 지지부
300: 챔버부 310: 본체부
320: 윈도우 330: 관통부
340: 가스 블로우부 350: 제1흡인부
360: 제2흡인부 370: 제3흡인부
380: 가스 회수부 a: 커튼 가스

Claims (18)

  1. 상면에 피처리물을 안착시킬 수 있는 지지부;
    상기 지지부의 상부에 설치되며 상기 지지부에 대해 상대 이동이 가능한 본체부;
    상기 본체부를 관통하도록 형성되며 내부가 하방으로 개방되고, 레이저 빔의 진행 경로를 제공하는 관통부;
    상기 관통부의 상단부에 장착되고, 상기 레이저 빔을 통과시키는 윈도우;
    상기 관통부의 내벽면면에 다층 배기구조로 형성되는 복수개의 흡인부; 및
    상기 관통부의 하단부를 둘러싸도록 상기 본체부의 하면에 제공되어 커튼 가스를 분사할 수 있는 가스 블로우부;를 포함하는 레이저 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가스 블로우부를 둘러싸도록 상기 본체부의 하면에 제공되어 상기 커튼 가스를 회수할 수 있는 가스 회수부;를 포함하는 레이저 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수개의 흡인부는 상기 관통부의 내벽면면의 복수 높이에 제공되어 다층을 형성하고,
    각 층을 이루는 흡인부는, 상기 관통부의 내벽면면의 둘레를 따라 연장된 슬릿을 포함하거나, 상기 관통부의 내벽면면의 둘레를 따라 나열된 복수의 홀을 포함하는 레이저 처리 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수개의 흡인부는,
    상기 관통부의 내벽면의 제1높이에 형성되는 제1흡인부;
    상기 관통부의 내벽면의 제2높이에 형성되는 제2흡인부;를 포함하고,
    상기 제2높이는 상기 제1높이보다 높고,
    상기 제1높이 및 상기 제2높이는 상기 레이저 빔의 입사에 의해 상기 피처리물로부터 비산되는 이물의 무게에 따라 정해지는 레이저 처리 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1흡인부는 상기 관통부가 관통된 방향과 교차하는 일방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성되고,
    상기 제2흡인부는 상기 일방향과 교차하는 타방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성되는 레이저 처리 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1흡인부 및 상기 제2흡인부 각각은 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성되는 레이저 처리 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제1흡인부 및 상기 제2흡인부 각각은 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사진 라운드 형태의 내부면을 가지며, 상하방향의 절단면 면적이 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 증가하는 레이저 처리 장치.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 관통부는 상단부에 확장부가 구비되고,
    상기 복수개의 흡인부는,
    상기 확장부와 연통하는 제3흡인부;를 포함하는 레이저 처리 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제3흡인부는 상기 일방향의 양측 및 상기 타방향의 양측에서 상호 마주보도록 형성되는 레이저 처리 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제3흡인부는 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 수평하게 형성되는 레이저 처리 장치.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 확장부는 관통부의 중심에서 외측을 향하는 방향으로 상기 관통부의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면으로부터 이격되는 측면 및 상기 관통부의 상단부를 제외한 나머지의 내벽면과 상기 측면을 연결하는 밑면에 의해 정의되고,
    상기 밑면은 관통부의 외측에서 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성되는 레이저 처리 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수개의 흡인부 및 상기 가스 블로우부를 외부의 유틸리티 라인 및 커튼 가스 공급원과 각각 연결시키는 복수개의 밸브;
    상기 관통부의 내부에서 상하방향 및 둘레방향 중 선택된 적어도 어느 한 방향으로 나열된 복수의 영역별로 흡인 유량을 각기 조절할 수 있도록 상기 복수개의 밸브의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 레이저 처리 장치.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 관통부의 내벽면면 및 상기 복수개의 흡인부의 내부면 중 적어도 어느 하나에 면에 코팅되고, 레이저 빔의 입사에 의해 상기 피처리물로부터 비산되는 이물이 부착되는 것을 방지하는 코팅막;을 포함하는 레이저 처리 장치.
  14. 피처리물을 마련하는 과정;
    상하방향으로 관통부가 형성된 본체부를 상기 피처리물의 상부에 위치시키는 과정;
    상기 관통부를 통하여 상기 피처리물에 레이저 빔을 조사하여 피처리물을 처리하는 과정;
    상기 관통부의 내벽면면에 다층 배기구조로 제공된 복수개의 흡인부를 이용하여 상기 관통부와 상기 피처리물 사이의 이물을 배기하는 과정; 및
    상기 본체부의 하면에 제공된 가스 블로우부를 이용하여 상기 관통부의 하단부를 둘러싸도록 커튼 가스를 분사하는 과정;을 포함하는 레이저 처리 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 본체부의 하면에 상기 가스 블로우부를 감싸도록 제공된 가스 회수부를 이용하여 상기 커튼 가스의 적어도 일부를 회수하는 과정;을 포함하는 레이저 처리 방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 이물을 배기하는 과정은,
    상기 관통부의 내벽면면의 복수 높이에 제공되어 다층을 이루는 상기 복수개의 흡인부 중, 제1높이에서 상기 관통부가 관통된 방향과 교차하는 일방향으로 마주보는 제1흡인부와 제2높이에서 상기 일방향과 교차하는 타방향으로 마주보는 제2흡인부로 상기 관통부의 내부를 흡인하여, 상기 관통부의 내부에 나선형의 상승류를 형성하는 과정;을 포함하는 레이저 처리 방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 이물을 배기하는 과정은,
    상기 관통부의 중심부를 상하방향으로 지나는 중심축을 중심으로 상기 관통부의 내부에 방사상으로 형성된 복수개의 분면 영역에 배치되는 상기 복수개의 흡인부로 상기 관통부의 내부를 흡인하며 각 분면 영역별 이물의 배기 속도를 조절하는 과정;
    상기 이물을 상기 관통부의 중심부로 유도하며 수직하게 상승시키거나, 상기 이물을 원하는 방향으로 편중시키며 경사지게 상승시키는 과정;을 포함하는 레이저 처리 방법.
  18. 청구항 16에 있어서,
    상기 이물을 배기하는 과정은,
    상기 관통부의 내부에서 상하방향으로 나열된 복수개의 영역에 배치되는 상기 복수개의 흡인부로 상기 관통부의 내부를 흡인하며 각 영역별 이물의 배기 속도를 조절하는 과정;
    상기 관통부의 내부에서 상기 이물의 상승 속도를 조절하는 과정;을 포함하는 레이저 처리 방법.
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