KR20200080757A

KR20200080757A - 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법

Info

Publication number: KR20200080757A
Application number: KR1020180170547A
Authority: KR
Inventors: 김유신; 김정환
Original assignee: (주)티디엘
Priority date: 2018-12-27
Filing date: 2018-12-27
Publication date: 2020-07-07
Also published as: KR102153536B1

Abstract

금속 메쉬의 상면 및 하면에 제1실리콘 조성물을 코팅하는 제1코팅 단계; 상기 제1코팅된 금속 메쉬의 상면 및 하면에 코로나 처리를 수행하는 단계; 상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 상면에 제2실리콘 조성물을 코팅하는 제2코팅 단계; 및 상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 하면에 제3실리콘 조성물을 코팅하는 제3코팅 단계를 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법이 개시된다.

Description

금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법{Method for manufacturing metal mesh based silicon sheet}

금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법에 관한 것이다.

전자 패키징 시 사용되는 접착제는 그 사용 형태에 따라 필름과 페이스트 형태로 구분되며, 도전 입자의 포함 여부에 따라 전도성, 이방 전도성, 비전도성 접착제로 구분된다. 일반적으로는 이방 전도성 필름(anisotropic conductive film: ACF), 이방 전도성 페이스트(anisotropic conductive paste: ACP), 비전도성 필름(non-conductive film: NCF) 및 비전도성 페이스트(non-conductive paste: NCP)로 구분된다.

특히, 이방 전도성 필름을 이용한 전자 부품간의 접속 방법은 기존의 땜납 공정을 대체하는 공정으로 친환경적이고, 미세 도전 입자를 사용하여 전기적 접속이 이루어지므로 극미세 전극 피치(pitch)의 구현이 가능한 장점들이 있다.

이러한 장점들 덕분에 이방 전도성 필름은 스마트카드, LCD, PDP, 유기 EL 등의 디스플레이 패키징, 컴퓨터, 휴대용 전화기, 차량용 네이게이션, 자동차의 지문 인식 센서, 통신 시스템 등의 패키징에 그 활용 범위를 넓혀가고 있다.

이방 전도성 필름은 일반적으로 열에 의해 경화되는 열 경화성 수지와 도전 입자를 포함한다. 따라서, 이방 전도성 필름을 이용하여 두 매체를 접속할 경우, 열 경화성 수지의 특성상 일정한 온도, 압력 및 시간이 주어져야 하기 때문에 열압착 수단에 의해 접촉면을 열압착시키는 방법을 이용하였다. 이때, 열압착 수단에 의한 피압착부 및 피압착부 이외의 부품의 손상을 방지하기 위해 완충시트를 사용하고 있다.

종래 완충시트로는 테플론 시트가 사용되고 있으나, 복원력의 부족으로 동일점 반복 압착 사용이 불가하여 1회의 압착만 가능한 문제가 있었다.

다른 완충시트로는 다회 반복 압착이 가능한 탄소 함유 실리콘 시트가 있으나, 압착 후 이물질이 남거나 잘 찢어지는 문제가 있었다.

또 다른 완충시트로는 내열성이 높은 폴리이미드 필름의 일면 또는 양면에 실리콘 수지를 코팅한 복합시트가 있으나, 상기 복합시트는 감김 현상 및 분리 현상이 나타나는 문제가 있고, 이에 따라 접속하려는 매체들이 흔들리거나 한 방향으로 쏠리는 문제가 있었다.

또 다른 완충시트로는 유리 섬유 표면에 테플론이 코팅된 유리섬유 시트가 있으나, 시트 표면이 거칠어 시트 폭이 높고 잘 찢어지는 문제가 있었다.

대한민국 공개특허 제10-2005-0017324호

본 발명은 상술한 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 고열의 압착 수단을 견딜 수 있고, 다회 반복 압착이 가능하고, 압착 후 이물질이 남거나 찢어지지 않으며, 감김 현상 및 분리 현상이 억제된 신규한 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법을 제공하고자 한다. 그러나, 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

1. 일 측면에 따르면, 금속 메쉬의 상면 및 하면에 제1실리콘 조성물을 코팅하는 제1코팅 단계;

상기 제1코팅된 금속 메쉬의 상면 및 하면에 코로나 처리를 수행하는 단계;

상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 상면에 제2실리콘 조성물을 코팅하는 제2코팅 단계; 및

상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 하면에 제3실리콘 조성물을 코팅하는 제3코팅 단계를 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.

2. 상기 1에서, 상기 금속 메쉬는 SUS 메쉬를 포함할 수 있다.

3. 상기 1 또는 2에서, 상기 제1실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 실리콘 화합물 20 내지 40중량% 및 잔량의 용매를 포함할 수 있다.

4. 상기 1 내지 3 중 어느 하나에서, 상기 제1코팅 두께는 20 내지 30㎛일 수 있다.

5. 상기 1 내지 4 중 어느 하나에서, 상기 제2실리콘 조성물 및 상기 제3실리콘 조성물 각각은,

25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물 50 내지 70중량%;

25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물 10 내지 20중량%;

25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물 10 내지 20중량%;

경화제 1 내지 10중량%; 및

잔량의 용매를 포함할 수 있다.

6. 상기 1 내지 5 중 어느 하나에서, 상기 제2코팅 속도가 상기 제3코팅 속도 보다 더 빠를 수 있다.

7. 상기 1 내지 6 중 어느 하나에서, 상기 제2코팅 두께는 60 내지 100㎛일 수 있다.

8. 상기 1 내지 7 중 어느 하나에서, 상기 제3코팅 두께는 60 내지 100㎛일 수 있다.

9. 상기 1 내지 8 중 어느 하나에서, 상기 제3코팅 단계 이후에, 70 내지 90℃의 온도에서 12 내지 48시간 동안 건조하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 구현예에 따른 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법으로 제조된 금속 메쉬 기반 실리콘 시트는 고열의 압착 수단을 견딜 수 있고, 다회 반복 압착이 가능하고, 압착 후 이물질이 남거나 찢어지지 않으며, 감김 현상 및 분리 현상이 나타나지 않는 효과를 갖는다.

도 1은 실시예 1의 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 30회 열압착 후의 사진을 나타낸다.
도 2는 비교예 1의 종래 실리콘 시트의 15회 열압착 후의 사진을 나타낸다.
도 3은 비교예 2의 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 20회 열압착 후의 사진을 나타낸다.
도 4는 비교예 3의 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 20회 열압착 후의 사진을 나타낸다.

본 명세서 중 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 명세서 중 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

명세서에서 수치범위를 나타내는 "a 내지 b" 에서 "내지"는 ≥a 이고 ≤b으로 정의한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법은 금속 메쉬의 상면 및 하면에 제1실리콘 조성물을 코팅하는 제1코팅 단계, 상기 제1코팅된 금속 메쉬의 상면 및 하면에 코로나 처리를 수행하는 단계, 상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 상면에 제2실리콘 조성물을 코팅하는 제2코팅 단계, 및 상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 하면에 제3실리콘 조성물을 코팅하는 제3코팅 단계를 포함할 수 있다.

이하, 각 단계를 보다 상세히 설명한다.

먼저, 금속 메쉬의 상면 및 하면에 제1실리콘 조성물을 코팅하는 제1코팅 단계를 수행할 수 있다. 상기 제1코팅에 의해 금속 메쉬 표면의 거칠기가 감소될 수 있다.

금속 메쉬는, 예를 들어 철(Fe), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 텅스텐(W), 스텐레스 스틸(stainless steel, SUS), 니켈(Ni), 주석(Sn), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 티타늄(Ti), 아연(Zn), 갈륨(Ga) 중 어느 하나 이상의 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 금속 메쉬는 SUS 메쉬일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제1실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 실리콘 화합물 20 내지 40중량%(예를 들면, 약 30중량%) 및 잔량의 용매를 포함할 수 있다. 상기 실리콘 화합물로는 LSR(liquid silicon rubber)을 사용할 수 있으며, 예를 들어 시판 중인 상품명 RBL-9110(다우코닝社), LSR2670(모멘티브社) 등을 사용할 수 있다. 용매로는 에탄올, 톨루엔 등을 사용할 수 있다.

제1코팅은, 예를 들어 그라비아 코팅, 콤마 코팅, 슬립 코팅 등을 사용하여 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제1코팅은, 예를 들어 0.5 내지 2M/min의 속도로 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제1코팅 두께는, 예를 들어 20 내지 30㎛일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제1코팅 후, 제1실리콘 조성물을 건조 및 경화하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 예를 들어 100 내지 130℃(예를 들면, 약 110℃)의 온도에서 3 내지 7초(예를 들면, 3 내지 5초)간 건조하고, 150 내지 200℃(예를 들면, 약 160℃)의 온도에서 5 내지 9초(예를 들면, 5 내지 7초)간 경화하는 단계를 더 포함할 수 있다.

이후, 제1코팅된 금속 메쉬의 상면 및 하면에 코로나 처리를 수행할 수 있다. 상기 코로나 처리에 의해 제2코팅시 제2실리콘 조성물과의 접착력이 향상될 수 있으며, 제2코팅된 제2실리콘 조성물의 갈라짐 방지, 탄성력 향상 등의 효과를 가질 수 있다. 또한, 상기 코로나 처리에 의해 제3코팅시 제3실리콘 조성물과의 접착력이 향상될 수 있으며, 제3코팅된 제3실리콘 조성물의 갈라짐 방지, 탄성력 향상 등의 효과를 가질 수 있다.

코로나 처리는 제1코팅된 금속 메쉬의 상면 및/또는 하면이, 예를 들어 40 내지 60dyne/cm(예를 들어, 50 내지 60dyne/cm)의 표면장력을 갖도록 수행될 수 있다.

그 다음, 코로나 처리된 금속 메쉬의 상면에 제2실리콘 조성물을 코팅하는 제2코팅 단계를 수행할 수 있다.

제2실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물 50 내지 70중량%, 25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물 10 내지 20중량%, 25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물 10 내지 20중량%, 경화제 1 내지 10중량% 및 잔량의 용매를 포함할 수 있다.

25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물로는 LSR(liquid silicon rubber)을 사용할 수 있으며, 예를 들어 시판 중인 상품명 RBL-9110(다우코닝社), LSR2670(모멘티브社) 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물로는, 예를 들어 시판 중인 상품명 KR2042(신에츠社), LSR Top Coat(모멘티브社) 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물로는, 예를 들어 시판 중인 상품명 X-32-2846, CZY0200 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

경화제로는, 예를 들어 백금 경화제, 이소시아네이트 경화제 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

용매로는, 예를 들어 에탄올, 톨루엔 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제2실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물, 25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물 및 25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물을 함께 포함함으로써, 제2실리콘 조성물의 점도, 경화온도 등을 제어함과 동시에 경화 후에 실리콘 시트가 우수한 내구성, 강도 등을 갖게 할 수 있다.

일 구현예에 따르면, 25℃에서의 제1실리콘 화합물의 점도가 25℃에서의 제2실리콘 화합물의 점도보다 더 클 수 있다.

일 구현예에 따르면, 제1실리콘 화합물과 제2실리콘 화합물의 25℃에서의 점도 차이는 8 내지 10cP일 수 있다. 상기 범위에서, 밀착성 및 혼합성이 우수할 수 있다.

제2실리콘 조성물은 제1실리콘 화합물, 제2실리콘 화합물, 제3실리콘 화합물 및 용매를 회분식 반응기 내에서 상온에서 4 내지 8시간(예를 들면, 약 6시간) 동안 100 내지 500 RPM으로 혼합한 후, 경화제를 첨가하여 상온에서 1 내지 3시간(예를 들면, 약 2시간) 동안 100 내지 500 RPM으로 혼합하여 제조될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제2코팅은, 예를 들어 0.5 내지 1M/min의 속도로 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제2코팅 두께는, 예를 들어 60 내지 100㎛일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제2코팅 후, 제2실리콘 조성물을 건조 및 경화하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 예를 들어 100 내지 130℃(예를 들면, 약 110℃)의 온도에서 3 내지 7초(예를 들면, 3 내지 5초)간 건조하고, 150 내지 200℃(예를 들면, 약 170℃)의 온도에서 5 내지 9초(예를 들면, 5 내지 7초)간 경화하는 단계를 더 포함할 수 있다.

그 다음, 코로나 처리된 금속 메쉬의 하면에 제3실리콘 조성물을 코팅하는 제3코팅 단계를 수행하여 금속 메쉬 기반의 실리콘 시트를 제조할 수 있다.

제3실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물 50 내지 70중량%, 25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물 10 내지 20중량%, 25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물 10 내지 20중량%, 경화제 1 내지 10중량% 및 잔량의 용매를 포함할 수 있다.

제3실리콘 조성물에서의 제1실리콘 화합물, 제2실리콘 화합물, 제3실리콘 화합물, 경화제 및 용매에 대한 설명은 제2실리콘 조성물에서의 제1실리콘 화합물, 제2실리콘 화합물, 제3실리콘 화합물, 경화제 및 용매에 대한 설명을 참조하여 이해될 수 있다.

제3실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물, 25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물 및 25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물을 함께 포함함으로써, 제3실리콘 조성물의 점도, 경화온도 등을 제어함과 동시에 경화 후에 실리콘 시트가 우수한 내구성, 강도 등을 갖게 할 수 있다.

제3실리콘 조성물은 제1실리콘 화합물, 제2실리콘 화합물, 제3실리콘 화합물 및 용매를 회분식 반응기 내에서 상온에서 4 내지 8시간(예를 들면, 약 6시간) 동안 100 내지 500 RPM으로 혼합한 후, 경화제를 첨가하여 상온에서 1 내지 3시간(예를 들면, 약 2시간) 동안 100 내지 500 RPM으로 혼합하여 제조될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제3코팅은 제2코팅에 비해 더 낮은 코팅 속도로 수행될 수 있으며, 이러한 경우 제2코팅된 상면의 말림 현상을 방지할 수 있다.

제3코팅은, 예를 들어 0.1 내지 0.5M/min 미만의 속도로 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제3코팅 두께는, 예를 들어 60 내지 100㎛일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

제3코팅 후, 제3실리콘 조성물을 건조 및 경화하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 예를 들어 100 내지 130℃(예를 들면, 약 110℃)의 온도에서 3 내지 7초(예를 들면, 3 내지 5초)간 건조하고, 150 내지 200℃(예를 들면, 약 170℃)의 온도에서 5 내지 9초(예를 들면, 5 내지 7초)간 경화하는 단계를 더 포함할 수 있다.

이후, 제3코팅에 의해 형성된 상기 금속 메쉬 기반의 실리콘 시트를 건조하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이러한 경우, 각 코팅층(즉, 제2 및 제3 코팅층)이 안정화될 수 있고, 각 코팅층으로부터 발생하는 냄새 등을 제거할 수 있다.

건조 단계는 70 내지 90℃(예를 들면, 약 80℃)의 온도에서 12 내지 48시간(예를 들면, 약 24시간) 동안 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

상술한 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법으로 제조된 금속 메쉬 기반 실리콘 시트는 고열의 압착 수단을 견딜 수 있고, 다회 반복 압착이 가능하고, 압착 후 이물질이 남거나 찢어지지 않으며, 감김 현상 및 분리 현상 또한 나타나지 않는 우수한 효과를 갖는다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.

여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.

실시예

실시예 1

SUS 메쉬 표면에 실리콘 화합물(RBL-9110, 다우코닝社) 30중량% 및 에탄올 용매 70중량%를 혼합한 제1실리콘 조성물을 1M/min의 속도로 약 20~30㎛ 두께로 제1코팅한 후, 110℃에서 5초간 건조시킨 후, 160℃에서 7초간 경화시켰다.

이후, 제1코팅한 SUS 메쉬의 상면 및 하면이 각각 약 50 내지 60dyne/cm의 표면장력을 갖도록 코로나 처리하였다.

이후, 코로나 처리한 SUS 메쉬 상면에 제1실리콘 화합물 LSR2670(모멘티브社) 57중량%, 제2실리콘 화합물 LSR Top Coat(모멘티브社) 14.25중량%, 제3실리콘 화합물 X-32-2846(다우코닝社) 14.25중량%, 에탄올 용매 9.5중량% 및 백금 경화제(CP-100, 다우코닝社) 5중량%를 혼합한 제2실리콘 조성물을 0.5M/min의 속도로 약 60~100㎛ 두께로 제2코팅한 후, 130℃에서 5초간 건조시킨 후, 170℃에서 7초간 경화시켰다.

이후, 코로나 처리한 SUS 메쉬 하면에 제1실리콘 화합물 LSR2670(모멘티브社) 57중량%, 제2실리콘 화합물 LSR Top Coat(모멘티브社) 14.25중량%, 제3실리콘 화합물 X-32-2846(다우코닝社) 14.25중량%, 에탄올 용매 9.5중량% 및 백금 경화제(CP-100, 다우코닝社) 5중량%를 혼합한 제3실리콘 조성물을 0.4M/min의 속도로 약 60~100㎛ 두께로 제3코팅한 후, 130℃에서 5초간 건조시킨 후, 170℃에서 7초간 경화시켰다.

그 다음, 코팅이 완료된 SUS 메쉬를 오븐기에서 80℃에서 24시간 동안 건조시켜 금속 메쉬 기반 실리콘 시트를 제조하였다.

비교예 1

금속 메쉬를 비포함한 종래 실리콘 시트를 사용하였다.

비교예 2

제1코팅을 수행하지 않은 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법을 사용하여 금속 메쉬 기반 실리콘 시트를 제조하였다.

비교예 3

코로나 처리를 수행하지 않은 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법을 사용하여 금속 메쉬 기반 실리콘 시트를 제조하였다.

평가예: 반복 압착 시험

상기 실시예 1 및 비교예 1 내지 3의 시트에 대하여 압착 툴(상부 툴의 온도: 약 400℃, 하부 툴의 온도: 약 90℃)을 사용하여 3.5MPa의 압력으로 10초 동안 한 구간을 반복적으로 압착한 뒤, 시트가 찢어지는지 여부, 실리콘 시트가 금속 메쉬로부터 분리되는지 여부를 육안으로 관찰하였다.

도 1은 본 발명의 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법에 따라 제조된 실시예 1의 시트를 30회 열압착한 이후의 사진이고, 도 2는 금속 메쉬를 비포함한 비교예 1의 시트를 15회 열압한착 이후의 사진이고, 도 3은 제1코팅을 수행하지 않은 비교예 2의 시트를 20회 열압착한 이후의 사진이고, 도 4는 코로나 처리를 수행하지 않은 비교예 3의 시트를 20회 열압착한 이후의 사진이다.

도 1 내지 도 4를 통해 확인할 수 있는 바와 같이, 본 발명의 금속 메쉬 기반 실리콘 시트는 30회의 열압착 후에도 시트의 찢어짐이나 분리가 일어나지 않아 내구성이 우수함을 알 수 있었다. 반면, 금속 메쉬를 비포함한 비교예 1의 시트는 15회의 열압착 후에 시트가 찢어져 내구성이 매우 좋지 않음을 알 수 있었다. 또한, 제1코팅 또는 코로나 처리를 수행하지 않은 비교예 2 또는 비교예 3의 시트는 20회의 열압착 후에 시트가 찢어지고 실리콘 시트가 금속 메쉬로부터 분리되어 내구성이 좋지 않음을 알 수 있었다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

금속 메쉬의 상면 및 하면에 제1실리콘 조성물을 코팅하는 제1코팅 단계;
상기 제1코팅된 금속 메쉬의 상면 및 하면에 코로나 처리를 수행하는 단계;
상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 상면에 제2실리콘 조성물을 코팅하는 제2코팅 단계; 및
상기 코로나 처리된 금속 메쉬의 하면에 제3실리콘 조성물을 코팅하는 제3코팅 단계를 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 금속 메쉬는 SUS 메쉬를 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1실리콘 조성물은 25℃에서 액상인 실리콘 화합물 20 내지 40중량% 및 잔량의 용매를 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1코팅 두께는 20 내지 30㎛인, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제2실리콘 조성물 및 상기 제3실리콘 조성물 각각은,
25℃에서 액상인 제1실리콘 화합물 50 내지 70중량%;
25℃에서 액상이고, 상기 제1실리콘 화합물과 상이한 점도를 갖는 제2실리콘 화합물 10 내지 20중량%;
25℃에서 고상인 제3실리콘 화합물 10 내지 20중량%;
경화제 1 내지 10중량%; 및
잔량의 용매를 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제2코팅 속도가 상기 제3코팅 속도보다 더 빠른, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제2코팅 두께는 60 내지 100㎛이고,
상기 제3코팅 두께는 60 내지 100㎛인, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제3코팅 단계 이후에, 70 내지 90℃의 온도에서 12 내지 48시간 동안 건조하는 단계를 더 포함하는, 금속 메쉬 기반 실리콘 시트의 제조 방법.