KR20200078985A - 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버 - Google Patents

세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버 Download PDF

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Abstract

본 발명은 제1a출입구를 개폐하는 세미오토도어판을 자동으로 록킹/언록킹하고 작업자가 언록킹된 상태에서 수동으로 열고 들어가는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 관한 것이다.

Description

세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버{chamber of producing display panel with semi-auto door}
본 발명은 제1a출입구를 개폐하는 세미오토도어판을 자동으로 록킹/언록킹하고 작업자가 언록킹된 상태에서 수동으로 열고 들어가는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 관한 것이다.
종래 전후 이동되는 밀폐판을 포함하는 도어밸브가 특허문헌에 공지된 것이 제안되어 있다.
도 21은 서로 인접한 2개의 챔버 중 일측 챔버의 격벽(10)을 도시한 것으로서, 격벽(10)에는 반도체 소자 등을 이송시키기 위한 개구부(11, 도 23 참조)가 형성되며, 격벽(10)에는 개구부(11)를 개폐시키기 위한 도어밸브가 구비된다.
상기 도어밸브는, 도어 어셈블리(100) 및 이동모듈(50a, 50b)을 포함하며, 도어 어셈블리(100)는 도 22에 도시된 바와 같이 밀폐판(110)과, 개폐모듈(120)을 포함한다.
밀폐판(110)은 개구부(11)를 선택적으로 개방 또는 밀폐하도록 구비되는 구성요소이며, 적어도 개구부(11) 이상의 면적을 가지도록 형성되어 개구부(11)를 밀폐시킬 수 있다.
개폐모듈(120)은 밀폐판(110)의 후방에 구비되며, 밀폐판(110)을 전후 방향으로 이동시키는 구동력을 제공한다. 즉 밀폐판(110)은 개폐모듈(120)의 구동력에 의해 후방으로 이동 시 개구부(11)를 개방시키게 되며, 전방으로 이동 시에는 개구부(11)를 밀폐시킬 수 있다.
개폐모듈(120)은, 밀폐판(110)을 전후 이동시키는 구동력을 발생시키는 밀폐판구동부(122)와, 밀폐판구동부(122) 및 밀폐판(110)을 연결하여 밀폐판구동부(122)의 구동력을 밀폐판(110)에 전달하는 연결샤프트(123)를 포함한다.
그리고 밀폐판구동부(122)는 실린더 형태로 형성되며, 연결샤프트(123)를 전후 이동시킴에 따라 밀폐판(110)의 전후 변위를 조절할 수 있도록 형성된다.
그러나, 통상 챔버 내에서 유지보수를 위해 작업자가 들어가면 외부로부터의 공기가 유입되지 못하게 밀폐판(110)을 밀폐시킨 상태로 작업을 하는데, 개폐모듈(120)에 이상이 발생하거나 내부에서 급히 빠져나올 일이 발생했을 때 대처할 방안이 전혀 없다.
한국등록특허 제10-1857438호
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 세미오토도어판을 둘레를 따라 밀폐/해제를 자동으로 록킹/언록킹시켜 잠금/해제 속도를 높인 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 청구항 1에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버는, 박스형상의 챔버본체; 상기 챔버본체의 일측판에 형성된 제1a출입구를 개폐하는 세미오토도어모듈을 포함하되, 상기 세미오토도어모듈은, 상기 제1a출입구를 개폐하는 세미오토도어판; 상기 세미오토도어판이 상기 일측벽에 대해 선회 가능하게 지지하는 힌지부; 상기 세미오토도어판을 상기 일측벽에 대해 가압/해제시켜 오토 록킹/언록킹하는 오토 잠금부; 상기 오토 잠금부를 구동 제어하는 제어부;를 포함하여, 상기 오토 잠금부의 언록킹 상태에서 수동으로 상기 세미오토도어판을 여닫는다.
본 발명의 청구항 2에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 오토 잠금부는 상기 제1a출입구의 가장자리를 따라 설치되어 상기 제어부의 구동 제어되는 실린더; 상기 실린더에 설치되어 전후이송 및 회전되는 피스톤; 상기 피스톤과 평행하게 배치된 채 상기 세미오토도어판의 가장자리를 가압/해제시키는 누름봉; 상기 피스톤과 상기 누름봉을 연결하는 연결바;를 포함한다.
본 발명의 청구항 3에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 세미오토도어판을 수동으로 록킹/언록킹하는 매뉴얼 잠금부가 더 설치되고, 상기 매뉴얼 잠금부의 록킹/언록킹 신호가 상기 제어부에 입력된다.
본 발명의 청구항 4에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 세미오토도어판에 형성된 제2a출입구를 상기 본체챔버의 내부에서 수동으로 개폐하는 비상용 매뉴얼도어를 더 포함한다.
본 발명의 청구항 5에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 비상용 매뉴얼도어는 상기 제2a출입구를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어판과, 상기 세미오토도어판에 대해 상기 비상용 매뉴얼도어판을 선회 가능하게 지지하는 비상용 힌지부와, 상기 세미오토도어판에 대해 상기 비상용 매뉴얼도어판을 록킹/언록킹시키는 비상 밀폐용 연동핸들을 포함하되, 상기 비상 밀폐용 연동핸들은 비상 밀폐용 핸들의 핸들레버와 인접한 비상 밀폐용 핸들의 핸들레버를 연결하는 비상 핸들연결바로 이루어져, 상기 비상 핸들연결바의 작동으로 상기 비상 밀폐용 핸들과 인접한 비상 밀폐용 핸들이 동시에 록킹 또는 언록킹된다.
본 발명의 청구항 6에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 챔버본체의 측벽은 골격을 이루는 프레임과, 상기 프레임의 외측에 설치되는 측판을 포함한다.
본 발명의 청구항 7에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 챔버본체의 측판의 일부에 투명 유기발광 디스플레이(TOLED; Transparent OLED) 유닛이 더 설치되어 있다.
본 발명의 청구항 8에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 챔버본체의 다른 측판의 일부에 전기변색 유리판(EC Glass; ElectroChromic Glass) 유닛이 더 설치되어 있다.
본 발명의 청구항 9에 기재된 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버에 있어서, 상기 챔버본체의 상측에 장비용 팬필터유닛(EFU; Equipment Fan Filter Unit)이 더 수납되되, 상기 장비용 팬필터유닛(EFU; Equipment Fan Filter Unit)은 서랍 방식으로 출납되는 필터부와, 상기 필터부의 필터와 이격되게 위쪽에 배치되는 흡입팬과, 상기 필터부의 출납구를 개폐하는 개폐판을 포함한다.
본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
다수의 오토 잠금부를 동시에 자동으로 록킹/언록킹하여 하나하나 록킹/언록킹 하지 않아 개폐속도를 높일 수 있다.
또한, 세미오토도어판을 수동으로 록킹/언록킹 하는 매뉴얼 잠금부가 더 설치됨으로써, 문제 발생으로 세미오토도어판의 록킹이 해제되더라도 매뉴얼 잠금부가 잠겨있어 밀폐가 바로 해제되지 않는 이중 잠금 효과를 얻는다.
세미오토도어판의 제2a출입구를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어가 더 설치됨으로써, 설령 세미오토도어모듈의 고장 등으로 작동되지 않더라도 내부에서 유지보수하는 작업자가 직접 비상용 매뉴얼도어를 열고 제2a출입구를 통해 안전하게 외부로 탈출할 수 있다.
또한, 비상 밀폐용 핸들의 핸들레버와 인접한 비상 밀폐용 핸들의 핸들레버를 연결한 비상 핸들연결바를 작동시킴으로써, 비상 밀폐용 핸들과 인접한 비상 밀폐용 핸들을 동시에 록킹 또는 언록킹 시켜 하나하나 록킹/언록킹 하는 것에 비해 그 밀폐/해제가 신속하게 이루어진다.
또한, 매뉴얼 도어판을 수동으로 록킹/언록킹 하는 매뉴얼 잠금부가 더 설치됨으로써, 다수의 밀폐용 핸들 중 어느 하나라도 언록킹 되더라도 매뉴얼 잠금부가 잠겨있어 밀폐가 바로 해제되지 않는 이중 잠금 효과를 얻는다.
한편, 오토도어모듈로 제1출입구의 개폐가 자동화로 인한 작업 편의성을 증가시킨다.
오토도어판의 제2출입구를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어와, 제2출입구와 마주하는 제3출입구가 개폐용 이송부에 설치됨으로써, 설령 오토도어모듈의 고장 등으로 작동되지 않더라도 내부에서 유지보수하는 작업자가 직접 매뉴얼도어를 열고 제2출입구와 제3출입구를 통해 안전하게 외부로 탈출할 수 있다.
다른 한편, 필터와 흡입팬 사이에 이격을 둠으로써, 흡입팬으로 흡입되는 질소의 필터 개구률(80% 정도)을 높여 층류(LAMINAR FLOW)를 향상시킨다.
한편, 골격인 프레임의 외측에 플레이트를 용접하여 챔버본체를 구현함으로써, 챔버본체의 자체 강성 증가, 챔버 외부로 보강 리브인 프레임이 보이지 않기 때문에 외관이 깔끔하다.
다른 한편, 챔버본체의 일부 측벽에 TOLED를 적용하여 기존 PLC기반의 운영 및 제어방식을 PC 및 WINDOW 기반의 운영&제어방식으로 변경하여, Custom 가능한 화면분할, 여분 화면의 공간적 활용 가능, 시스템 운영시 내부 장비 운전 확인 가능 및 간접 설치로 인한 내부 실링(Sealing) 구조 개선 등의 잇점이 있다.
한편, 챔버본체의 다른 측벽 일부에 EC Glass(ElectroChromic Glass)판이 적용됨으로써, 빛에 민감한 검사기 쪽에 빛 투과율을 낮추면서 작업시 외부에서 내부 작업자와 장비상태를 볼 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버를 양측에서 바라본 사시도.
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2의 정면도.
도 5 및 도 6은 챔버본체를 개략적으로 도시한 결합 및 분리 사시도.
도 7 및 도 8은 도 3의 오토도어모듈만 분리 도시한 정면도 및 배면도.
도 9는 도 8의 사시도.
도 10 및 도 11은 도 7의 좌측면도로서, 오토도어판의 밀폐 및 해제된 상태도.
도 12는 도 7의 오토도어모듈이 우측으로 슬라이딩한 정면도.
도 13은 도 8-8선을 취하여 본 단면도.
도 14는 도 9의 상태에서 매뉴얼도어가 열린 배면 사시도.
도 15는 도 14의 15-15선을 취하여 본 단면도.
도 16은 밀폐용 핸들의 작용을 보여주는 간략도.
도 17은 TOLED 유닛을 분리 도시한 개략 사시도.
도 18은 EC 유리판 유닛을 분리 도시한 개략 사시도.
도 19는 EFU의 개략 사시도.
도 20은 도 19의 필터 개구률을 보여주는 평면도.
도 21, 도 22a 및 도 22b은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버의 세미오토도어모듈만 도시한 사시도, 정면도 및 배면도.
도 23 및 도 24는 세미오토도어모듈의 세미오토도어판이 열린 사시도 및 정면도.
도 25 및 도 26은 세미오토도어모듈의 매뉴얼도어판이 열린 사시도 및 배면도.
도 27 및 도 28은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버용 매뉴얼 도어모듈만 도시한 정면 및 배면 사시도.
도 29 및 도 30은 도 27 및 도 28의 매뉴얼 도어판이 열린 정면 및 배면 사시도.
도 31 및 도 32는 도 27 및 도 28의 비상용 매뉴얼 도어판이 열린 정면 및 배면 사시도.
도 33은 종래 도어밸브가 구비된 챔버의 후방을 나타낸 도.
도 34는 도 33의 도어 어셈블리의 구조를 나타낸 도.
도 35은 도 33의 도어 어셈블리를 개방한 모습을 나타낸 도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제1실시예(오토 도어)
도 1 및 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버를 양측에서 바라본 사시도이고, 도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2의 정면도이고, 도 5 및 도 6은 챔버본체를 개략적으로 도시한 결합 및 분리 사시도이고, 도 7 및 도 8은 도 3의 오토도어모듈만 분리 도시한 정면도 및 배면도이고, 도 9는 도 8의 사시도이고, 도 10 및 도 11은 도 7의 좌측면도로서, 오토도어판의 밀폐 및 해제된 상태도이고, 도 12는 도 7의 오토도어모듈이 우측으로 슬라이딩한 정면도이고, 도 13은 도 8-8선을 취하여 본 단면도이고, 도 14는 도 9의 상태에서 매뉴얼도어가 열린 배면 사시도이고, 도 15는 도 14의 15-15선을 취하여 본 단면도이고, 도 16은 밀폐용 핸들의 작용을 보여주는 간략도이고, 도 17은 TOLED 유닛을 분리 도시한 개략 사시도이고, 도 18은 EC 유리판 유닛을 분리 도시한 개략 사시도이고, 도 19는 EFU의 개략 사시도이다.
본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버(200)는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버본체(300)와, 챔버본체(300)의 일측판(330a)에 형성된 제1출입구(301)를 개폐하는 오토도어모듈(400)을 포함한다.
챔버본체(300)는 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 박스 형상으로서, 골격(리브)을 이루는 다수의 프레임(310)과, 프레임(310)의 외측면에 설치되는 측판(330a~330d)들로 이루어진다.
프레임(310)은 스테인리스 재질의 각관이 바람직하다.
측판(330a~330d)도 스테인리스 재질의 판으로서, 프레임(310)의 외면에 용접에 고정되어, 챔버본체(300) 자체 강성 증가와 외부로 프레임(310)이 보이지 않아 외관이 깔끔하다.
제1출입구(301)는 측판(330a)에 형성되어 있다.
오토도어모듈(400)은 도 7 내지 도 15에 도시한 바와 같이, 오토도어판(410)과, 오토도어판(410)을 전후 및 좌우로 이송시켜 제1출입구(301)를 개폐시키는 개폐용 이송부(430)와, 개폐용 이송부(430)를 구동 제어하는 제어부(320 또는 M)와, 오토도어판(410)에 형성된 제2출입구(411)를 본체챔버(300)의 내부에서 수동으로 개폐시키는 비상용 매뉴얼도어(470)와, 개폐용 이송부(430)에 형성된 제3출입구(452)를 포함한다.
제1출입구(301)는 유지보수를 위한 통상의 출입구이고, 제2,3출입구(411)(452)는 오토도어모듈(400)의 고장 시 비상용 출입구이다.
오토도어판(410)은 사각형상으로서, 그 내측 가장자리가 출입구(301)의 외측 가장자리에 밀착되어 닫는다.
개폐용 이송부(430)는 오토도어판(410)을 전후 및 좌우로 이송하는 개폐용 전후 이송부(440) 및 좌우 이송부(450)를 포함한다.
개폐용 전후 이송부(440)는 오토도어판(410)에 설치되는 피스톤(441)과, 피스톤(441)을 전후로 이송시키는 실린더(443)로 구성된다.
실린더(443)의 구동으로 피스톤(441)의 전후에 따라 오토도어판(410)이 출입구(301)를 밀폐 또는 해제시킨다.
즉, 도 10은 피스톤(441)의 전진으로 오토도어판(410)이 제1출입구(301)를 밀폐시킨 상태이고, 도 11은 피스톤(441)의 후진으로 제1출입구(301)의 밀폐를 해제시킨 상태이다.
개폐용 좌우 이송부(450)는 실린더(443)가 장착되는 좌우이송판(451)과, 좌우이송판(451)의 상하측을 좌우로 가이드레일부(453)와, 가이드레일부(453)의 상하측 중 어느 하나에 설치되는 구동부(미도시)로 이루어진다.
좌우이송판(451)은 제3출입구(452)가 형성된 4각 틀로 구성되어 있다.
이것은 오토도어판(410)이 밀폐된 상태에서 문제가 생겨 열리지 않는 경우, 챔버본체(300)의 내부에서 매뉴얼도어(470)를 열고, 도 14와 같이 제2출입구(411)와 제3출입구(452)로 나와야 하기 때문이다.
가이드레일부(453)은 제1출입구(301)의 상하측 측판(330a)에 가로방향으로 설치되어 있다.
구동부(미도시)는 통상의 LM가이드 형태로서, 가이드레일부(443)의 가이드레일에 설치되는 이송너트(미도시)와, 상기 이송너트(미도시)와 체결되는 스크루봉(미도시)과, 스크루봉(미도시)에 회전동력을 전달하는 모터(미도시)로 이루어진다.
따라서, 도 11과 같이 오토도어판(410)이 후진한 상태에서 좌우이송판(451)을 도 12와 같이 우측으로 이송하면, 제1출입구(301)가 완전히 열리게 된다.
좌우이송판(451)은 상기 이송너트(미도시)에 설치된다.
오토도어판(410)에는 비상용 매뉴얼도어(470)가 더 실치되는 게 바람직하다.
비상용 매뉴얼도어(470)는 도 14에 도시한 바와 같이, 오토도어판(410)에 형성된 제2출입구(411)를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어판(471)과, 오토도어판(410)에 대해 비상용 매뉴얼도어판(471)을 선회 가능하게 지지하는 비상용 힌지부(473)와, 오토도어판(410)에 대해 비상용 매뉴얼도어판(471)을 록킹/언록킹 시키는 비상용 밀폐용 연동핸들(480)을 포함한다.
비상용 힌지부(473)는 경첩과 유사하게 오토도어판(410)과 비상용 매뉴얼도어판(471)의 일측에 설치된다.
비상용 밀폐용 연동핸들(480)은 도 8에 도시한 바와 같이, 비상용 밀폐용 핸들(481)의 핸들레버(481a)와 인접한 비상용 밀폐용 핸들(483)의 핸들레버(483a)를 연결하는 비상용 핸들연결바(485)로 이루어져, 비상용 핸들연결바(485)의 작동으로 비상용 밀폐용 핸들(481)과 인접한 비상용 밀폐용 핸들(483)이 동시에 록킹 또는 언록킹된다.
비상용 밀폐용 핸들(481)(483) 각각은 오토도어판(410)의 둘레를 따라 소정 간격마다 설치되는 비상용 피잠금편(482)(484)과, 비상용 매뉴얼도어판(471)의 둘레에 소정 간격마다 설치되어 비상용 피잠금부(482)(484)에 대해 록킹/언록킹 되는 비상용 잠금부(485)(486)를 포함한다.
비상용 잠금부(485)(486)는 도 16에 도시한 바와 같이, 비상용 매뉴얼도어판(471)에 설치되는 비상용 브라켓(B)과, 비상용 브라켓(B)의 전방에 배치되어 비상용 피잠금부(482)(484)에 걸리거나 해제되는 비상용 잠금편(L)과, 비상용 잠금편(L)이 비상용 브라켓(B)의 상측에 선회 가능하게 지지시키는 비상용 제1힌지축(H1)과, 비상용 핸들레버(481a)(483a)가 비상용 브라켓(B)의 상측에 선회 가능하게 지지되는 비상용 제2힌지축(H2)을 포함한다.
따라서, 도 16과 같이 비상용 핸들레버(481a)(483a)의 선단이 비상용 잠금편(L)의 후단을 밀고 있는 록킹 상태(실선)에서 비상용 핸들연결바(485)를 잡고 비상용 제2힌지축(H2)을 중심으로 비상용 핸들레버(481a)(483a)를 위로 향하게 선회시키면, 비상용 잠금편(L)의 밀린 상태가 해제되면서 비상용 제1힌지축(H1)을 중심으로 잠시 위로 올라갔다가 비상용 잠금편(L)의 선단이 아래로 선회되어(점선) 록킹이 해제된다.
다시 비상용 핸들연결바(485)를 잡고 비상용 제2힌지축(H2)을 중심으로 비상용 핸들레버(481a)(483a)를 아래로 향하게 선회시키면, 비상용 핸들레버(481a)(483a)의 선단이 비상용 잠금편(L)의 후단을 들어올리며 비상용 피잠금부(482)(484)에 걸려 록킹된다.
제어부(320 또는 M)는 도 1에 도시한 바와 같이 모니터 패널(M) 또는 투명 유기발광 디스플레이(TOLED; Transparent OLED) 유닛(320)으로 구현 가능하다.
모니터 패널(M)은 통상의 제어부로서 챔버 외부에 설치한다.
유기발광 디스플레이(TOLED; Transparent OLED) 유닛(320)은 도 1, 도 2 및 도 17에 도시한 바와 같이, 챔버본체(300)의 측판(330a)의 일부에 설치되어 있다.
TOLED 유닛(320)은 도 17에 도시한 바와 같이, TOLED(321)와, TOLED(321)의 배면에 설치되는 씰링용 무정전 PVC판(323)과, TOLED(321)의 전면 테두리와 씰링용 무정전 PVC판(323)의 배면 테두리를 눌러 측판(330a)에 설치되는 TOLED누름판(325) 및 씰링용 무정전 누름판(327)으로 이루어진다.
TOLED 유닛(320)을 적용하여 기존 PLC기반의 운영&제어방식을 PC&WINDOW 기반의 운영&제어방식으로 변경하여, Custom 가능한 화면분할, 여분 화면의 공간적 활용 가능, 시스템 운영시 내부 장비 운전 확인 가능, 간접 설치로 인한 내부 Sealing 구조 개선 등의 잇점이 있다.
다른 한편, 도 1, 도 6 및 도 18에 도시한 바와 같이, 챔버본체(300)의 측벽(330c)에 전기변색 유리판(EC Glass; ElectroChromic Glass) 유닛(340)이 더 설치되는 것이 바람직하다.
EC 유리판(341)은 전기적 성질을 이용하여 외부 전압을 인가하면, 산화 반응에 의해 재료의 색상이 변화되는 현상을 이용한다.
전기변색 유리판(EC Glass; ElectroChromic Glass) 유닛(340)은 도 18에 도시한 바와 같이, 한 장 또는 그 이상의 EC 유리판(341)과, EC 유리판(341)의 배면에 설치되는 PDLCD 보호용 PVC(343)와, EC 유리판(341)과 PDLCD 보호용 PVC(343)가 설치되는 바디 알루미늄 플레이트(345)로 구성되어 있다.
EC 유리판(341)의 개수는 투과율에 따라 설정되는데, 투과율을 낮추기 위해서는 이중으로 설치하여 최고 1% 투과율을 0.1% 투과율로 낮춘다.
전기변색 유리판(EC Glass; ElectroChromic Glass) 유닛(340)은 특히 빛에 민감한 검사기 쪽에 빛 투과율을 낮추면서 작업시 외부에서 내부 작업자와 장비상태를 볼 수 있게 투과율을 조정할 수 있다.
또 다른 한편, 도 19에 도시한 바와 같이, 챔버본체(300)의 상측에 장비용 팬필터유닛(EFU; Equipment Fan Filter Unit)(350)이 더 수납되어 있다.
장비용 팬필터유닛(EFU; Equipment Fan Filter Unit)(350)은 서랍 방식으로 출납되는 필터부(351)와, 필터부(351)의 필터(351a)와 이격되게 위쪽에 배치되는 수평식 흐름 방식의 흡입팬(353)과, 필터부(351)의 출납구(354)를 개폐하는 개폐판(355)을 포함한다.
필터부(351)는 슬라이딩 되는 트레이(351b)와, 이 트레이(351b)의 상면에 설치되는 필터(351a)로 이루어진다.
이와 같이, 한 장의 필터(351a) 위에 흡입팬(353)이 이격되게 배치됨으로써, 흡입되는 질소가 도 20(b)에 도시한 바와 같이 필터(351a)의 거의 전면적을 통과하는 팬 개구률이 80% 정도이다.
만약 한 장의 필터(351a) 위에 흡입팬(353)이 분리되지 않고 배치되면, 도 20(a)과 같이 흡입팬(353)의 크기만큼 투과되어, 팬 개구률이 50~60% 정도로서 효율이 낮다.
필터부(351)가 서랍 방식으로 인출됨으로써, 필터(351a)의 교환 등 유지보수가 편리하다.
제2실시예(세미오토도어)
도 21, 도 22a 및 도 22b는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버의 세미오토도어모듈만 도시한 사시도, 정면도 및 배면도이고, 도 23 및 도 24는 세미오토도어모듈의 세미오토도어판이 열린 사시도 및 정면도이고, 도 25 및 도 26은 세미오토도어모듈의 매뉴얼도어판이 열린 사시도 및 배면도이다.
제2실시예는 제1실시예와 그 구조 및 기능은 거의 유사하지만, 오토도어모듈(300) 대신 세미오토도어모듈(500)가 설치되거나, 도 2 및 도 4와 같이 다른 측판에 세미오토도어모듈(500)이 더 실치된 것으로서, 이하에서는 세미오토도어모듈(500)에 대해 자세히 설명하고 제1실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버(200)는 도 2, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 챔버본체(300)와, 챔버본체(300)의 일측판(330b)에 형성된 제1a출입구(301a)를 개폐하는 세미오토도어모듈(500)을 포함한다.
세미오토도어모듈(500)은 도 21 내지 도 24에 도시한 바와 같이, 제1a출입구(301a)를 개폐하는 세미오토도어판(510)과, 세미오토도어판(510)이 일측판(330b)에 대해 선회 가능하게 지지하는 힌지부(515)와, 세미오토도어판(510)을 일측판(330b)에 대해 가압/해제시켜 오토 록킹/언록킹 하는 오토 잠금부(530)와, 오토 잠금부(530)의 오토 록킹/언록킹을 구동 제어하는 제어부(320 또는 M)를 포함하여, 오토 잠금부(530)의 언록킹 상태에서 수동으로 세미오토도어판(510)을 여닫는다.
세미오토도어판(510)에는 손잡이(511)가 설치되는 게 세미오토도어판(510)의 수동 여닫이를 위해 편리하다.
힌지부(515)는 경첩 형태로 세미오토도어판(510)과 측판(330b)에 선회 가능하게 설치된다.
오토 잠금부(530)는 제1a출입구(301a)의 가장자리를 따라 설치되는 실린더(531)와, 실린더(531)에 설치되어 전후이송 및 회전되는 피스톤(533)과, 피스톤(533)과 평행하게 배치되는 누름봉(535)과, 피스톤(533)과 누름봉(535)을 연결하는 연결바(537)를 포함한다.
실린더(531)는 제어부(320 또는 M)의 구동 제어되는 것으로, 피스톤(533)의 전후 직선왕복운동과 회전운동을 순차로 작동되는 리니어 겸용 로터리 실린더이다.
피스톤(533)은 전후이송에 따라 누름봉(535)이 세미오토도어판(510)을 가압하여 록킹하거나 해제하여 언록킹하게 한다.
언록킹 상태에서 피스톤(533)을 90도 회전시키면, 누름봉(535)도 함께 회전하여 세미오토도어판(510)에서 완전히 벗어난다. 이 상태에서 작업자가 세미오토도어판(510)의 손잡이(511)를 잡고 열고 들어가면 된다.
누름봉(535)은 세미오토도어판(510)의 가장자리를 눌러 가압하여 오토 록킹 하거나 떨어져 해제하여 오토 언록킹 시킨다.
특히 누름봉(535)의 언록킹은 세미오토도어판(510)의 잠금을 해제한 것뿐이지 여는 것은 작업자가 직접 연다(open).
이와 같은 오토 잠금부(530)는 측면 또는 상하에서 볼 때 ㄷ자 형상으로 배치되어 있다.
한편, 세미오토도어판(510)에는 매뉴얼 잠금부(520)가 더 설치될 수 있다.
매뉴얼 잠금부(520)는 세미오토도어판(510)에 설치되는 걸쇠(521)와, 측판(330b)에 설치되어 상기 걸쇠(521)가 걸리는 피걸쇠(523)로 이루어진다.
걸쇠(521)가 피걸쇠(523)에 삽입된 상태에서 키로 잠그거나 열면, 이 키의 신호가 제어부(320 또는 M)에 전달되면 실린더(531)를 구동 제어한다.
또한, 제어부(320 또는 M)의 오작동으로 오토 잠금부(530)의 록킹이 해제되더라도 매뉴얼 잠금부(520)가 록킹하고 있는 2중 록킹/언록킹 구조로 안전하다.
다른 한편, 세미오토도어판(510)에도 제1실시예의 비상용 매뉴얼도어(470)가 설치되는 게 바람직하다.
즉, 제1실시예의 오토도어판(410)과 마찬가지로 제2실시에의 매뉴얼 도어(470)도 도 25 및 도 26에 도시한 바와 같이, 세미오토도어판(410)에 형성된 제2a출입구(411a)를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어판(471)과, 세미오토도어판(510)에 대해 비상용 매뉴얼도어판(471)을 선회 가능하게 지지하는 비상용 힌지부(473)와, 세미오토도어판(510)에 대해 비상용 매뉴얼도어판(471)을 록킹/언록킹 시키는 비상용 밀폐용 연동핸들(480)을 포함한다.
제3실시예(매뉴얼 도어)
도 27 및 도 28은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버의 매뉴얼 도어모듈만 도시한 정면 및 배면 사시도이고, 도 29 및 도 30은 도 27 및 도 28의 매뉴얼 도어판이 열린 정면 및 배면 사시도이다.
제3실시예는 제2실시예와 그 구조 및 기능은 거의 유사하지만, 세미오토도어모듈(500) 대신 매뉴얼도어(600)가 설치되거나, 도 2 및 도 4와 같이 동일한 측판에 매뉴얼도어(600)가 더 실치된 것이다.
또한, 제3실시예의 매뉴얼도어(600) 및 비상용 매뉴얼도어(470)는 제2실시예의 비상용 매뉴얼도어(470)와 그 구조 및 기능이 같다.
본 발명의 또한 다른 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 챔버(200)는 도 2, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 챔버본체(300)와, 챔버본체(300)의 일측판(330b)에 형성된 제1b출입구(301b)를 개폐하는 매뉴얼도어(600)를 포함한다.
매뉴얼도어(600)는 제2실시예의 비상용 매뉴얼도어(470)와 마찬가지로 도 27, 도 29 및 도 30에 도시한 바와 같이, 제1b출입구(301b)를 개폐하는 매뉴얼도어판(610)과, 매뉴얼도어판(610)이 일측판(330b)에 대해 선회 가능하게 지지하는 힌지부(615)와, 일측판(330b)의 둘레를 따라 매뉴얼도어판(610)을 록킹/언록킹 시키는 밀폐용 연동핸들(630)을 포함한다.
밀폐용 연동핸들(630)은 제2실시예의 비상 밀폐용 연동핸들(480)과 마찬가지로, 밀폐용 핸들(631)의 핸들레버(631a)와 인접한 밀폐용 핸들(633)의 핸들레버(633a)를 연결하는 핸들연결바(635)로 이루어져, 핸들연결바(635)의 작동으로 밀폐용 핸들(631)과 인접한 밀폐용 핸들(633)이 동시에 록킹 또는 언록킹된다.
밀폐용 연동핸들(630)의 자세한 구조 및 기능은 비상 밀폐용 연동핸들(480)과 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
매뉴얼도어(600)에는 제2실시예의 매뉴얼 잠금부(520)와 마찬가지로, 매뉴얼도어판(610)을 측판(330b)에 대해 수동으로 록킹/언록킹 하는 매뉴얼 잠금부(520)가 더 설치되어 있다.
또한, 매뉴얼도어판(610)에는 제2실시예와 마찬가지로, 도 31 및 도 32에 도시한 바와 같이, 제2b출입구(411b)를 본체챔버(300)의 내부에서 수동으로 개폐하는 비상용 매뉴얼도어(470)가 더 설치되어 있다.
비상용 매뉴얼도어(470)는 매뉴얼도어판(610)에 형성된 제2b출입구(411b)를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어판(471)과, 매뉴얼도어판(610)에 대해 비상용 매뉴얼도어판(471)을 선회 가능하게 지지하는 비상용 힌지부(473)와, 매뉴얼도어판(610)에 대해 비상용 매뉴얼도어판(471)을 록킹/언록킹 시키는 비상용 밀폐용 연동핸들(480)을 포함한다.
제3실시예의 비상용 밀폐용 연동핸들(480)의 자세한 구조 및 기능은 제1,2실시예의 비상용 밀폐용 연동핸들(480)와 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
200 : 챔버 300 : 챔버본체
301,301a,301b ; 출입구 330a~300d : 측판
320 : TOLED유닛 340 : EC Glass 유닛
350 : EFU 400 : 오토도어모듈
410 : 오토도어판 430 : 개폐 이송부
440 : 개폐용 전후 이송부 450 : 개폐용 좌우 이송부
470 : 비상용 매뉴얼도어 471 : 비상용 매뉴얼도어판
473 : 비상용 힌지부 480 : 비상 밀폐용 연동핸들
431,483 : 비상 밀폐용 핸들 431a,483b : 비상용 핸들레버
485 : 비상용 핸들연결바 500 : 세미오토도어모듈
510 : 세미오토도어판 520 : 매뉴얼 잠금부
530 : 오토 잠금부 531 : 실린더
533 : 피스톤 535 : 누름봉
537 : 연결바 600 : 매뉴얼도어
610 : 매뉴얼도어판 615 : 힌지부
630 : 밀폐용 연동핸들 631,633 : 밀폐용 연동핸들
631a,633a : 핸들레버 635 : 핸들연결바

Claims (9)

  1. 박스형상의 챔버본체; 상기 챔버본체의 일측판에 형성된 제1a출입구를 개폐하는 세미오토도어모듈을 포함하되,
    상기 세미오토도어모듈은, 상기 제1a출입구를 개폐하는 세미오토도어판; 상기 세미오토도어판이 상기 일측벽에 대해 선회 가능하게 지지하는 힌지부; 상기 세미오토도어판을 상기 일측벽에 대해 가압/해제시켜 오토 록킹/언록킹하는 오토 잠금부; 상기 오토 잠금부를 구동 제어하는 제어부;를 포함하여,
    상기 오토 잠금부의 언록킹 상태에서 수동으로 상기 세미오토도어판을 여닫는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 오토 잠금부는 상기 제1a출입구의 가장자리를 따라 설치되어 상기 제어부의 구동 제어되는 실린더; 상기 실린더에 설치되어 전후이송 및 회전되는 피스톤; 상기 피스톤과 평행하게 배치된 채 상기 세미오토도어판의 가장자리를 가압/해제시키는 누름봉; 상기 피스톤과 상기 누름봉을 연결하는 연결바;를 포함하는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 세미오토도어판을 수동으로 록킹/언록킹하는 매뉴얼 잠금부가 더 설치되고,
    상기 매뉴얼 잠금부의 록킹/언록킹 신호가 상기 제어부에 입력되는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세미오토도어판에 형성된 제2a출입구를 상기 본체챔버의 내부에서 수동으로 개폐하는 비상용 매뉴얼도어를 더 포함하는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 비상용 매뉴얼도어는 상기 제2a출입구를 개폐하는 비상용 매뉴얼도어판과, 상기 세미오토도어판에 대해 상기 비상용 매뉴얼도어판을 선회 가능하게 지지하는 비상용 힌지부와, 상기 세미오토도어판에 대해 상기 비상용 매뉴얼도어판을 록킹/언록킹시키는 비상 밀폐용 연동핸들을 포함하되,
    상기 비상 밀폐용 연동핸들은 비상 밀폐용 핸들의 핸들레버와 인접한 비상 밀폐용 핸들의 핸들레버를 연결하는 비상 핸들연결바로 이루어져,
    상기 비상 핸들연결바의 작동으로 상기 비상 밀폐용 핸들과 인접한 비상 밀폐용 핸들이 동시에 록킹 또는 언록킹되는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 챔버본체의 측벽은 골격을 이루는 프레임과, 상기 프레임의 외측에 설치되는 측판을 포함하는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 챔버본체의 측판의 일부에 투명 유기발광 디스플레이(TOLED; Transparent OLED) 유닛이 더 설치되는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 챔버본체의 다른 측판의 일부에 전기변색 유리판(EC Glass; ElectroChromic Glass) 유닛이 더 설치되는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 챔버본체의 상측에 장비용 팬필터유닛(EFU; Equipment Fan Filter Unit)이 더 수납되되,
    상기 장비용 팬필터유닛(EFU; Equipment Fan Filter Unit)은 서랍 방식으로 출납되는 필터부와, 상기 필터부의 필터와 이격되게 위쪽에 배치되는 흡입팬과, 상기 필터부의 출납구를 개폐하는 개폐판을 포함하는 세미오토도어를 갖는 디스플레이 패널 제조용 챔버.
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