KR20220120613A - 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버 - Google Patents

Abstract

게이트 밸브 모듈은 개구부를 포함하는 제1 지지 부재와, 개구부를 개폐하는 밀폐판과, 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되어, 밀폐판을 수직 방향을 따라 상하 이동하는 제1 구동부와, 밀폐판을 수평 방향을 따라 전후 이동하는 제2 구동부를 포함한다.

Description

게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버

실시예는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버에 관한 것이다.

반도체나 디스플레이의 제조 공정에 적용되는 글로브박스 또는 밀폐 챔버는 외부와 차단되어 그 내부 공간을 특정 가스 분위기로 유지되도록 밀폐해야 한다.

밀폐 챔버에 반도체용 웨이퍼나 디스플레이용 패널 등과 같은 가공 대상 재공품(goods in process)이 출입된다. 이러한 가공 대상 재공품의 출입의 제어하기 위한 게이트 밸브가 밀페 챔버에 구비된다. 게이트 밸브는 재공품을 밀폐 챔버와 외부 또는 밀폐 챔버와 다른 밀폐 챔버 사이로 이송하기 위해 밸브를 개폐하여 밀폐 챔버 내의 기밀상태가 유지시킨다.

종래의 게이트 밸브는 다수의 구성 부품들이 직접 밀폐 챔버의 벽체에 개별적으로 장착되므로, 게이트 밸브의 조립이 복잡한 문제점이 있었다.

한편, 최근 반도체나 디스플레이가 대용량화, 대면적화되고 있고, 이러한 대용량화, 대면적화에 따라 밀폐 챔버뿐만 아니라 게이트 밸브의 크기도 대형화되고 있으며, 또한 출입하는 재공품의 위치에 따라 게이트 밸브의 장착 위치도 다양해지고 있다.

이와 같이 게이트 밸브의 장착 위치가 변경되는 경우, 그 변경된 위치로 게이트 밸브의 다양한 구성 요소를 개별적으로 장착해야 하므로, 게이트 밸브의 설치와 유지 보수에 어려움이 있다.

아울러, 게이트 밸브의 다양한 구성 요소가 부피가 커지고 하중이 늘어나, 이러한 구성 요소에 의해 벽체에 가해지는 불균일한 부하 때문에 시간이 경과함에 따라 벽체가 휘어지는 현상이 발생되어 밀폐 챔버의 밀폐 성능이 저하된다. 이러한 경우, 게이트 밸브를 벽체에 밀폐하더라도 게이트 밸브와 벽체에 접하지 접촉이 되지 않아, 밀폐 챔버의 밀폐 불량을 야기한다.

실시예는 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

실시예는 장착이 용이한 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.

실시예는 밀폐 성능을 향상시킬 수 있는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.

실시예는 벽체의 휘어짐을 방지할 수 있는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.

실시예는 장착 위치의 변경에 즉각적으로 대응할 수 있는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 실시예의 일 측면에 따르면, 게이트 밸브 모듈은, 개구부를 포함하는 제1 지지 부재; 상기 개구부를 개폐하는 밀폐판; 상기 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되어, 상기 밀폐판을 수직 방향을 따라 상하 이동하는 제1 구동부; 및 상기 밀폐판을 수평 방향을 따라 전후 이동하는 제2 구동부를 포함한다.

밀폐 챔버는, 제1 개구부를 포함하는 벽체; 및 게이트 밸브 모듈을 포함한다. 상기 게이트 밸브 모듈은, 상기 벽체에 체결되고, 제2 개구부를 포함하는 지지 부재; 상기 제2 개구부를 개폐하는 밀폐판; 상기 지지 부재의 일 측면 상에 설치되어, 상기 밀폐판을 수직 방향을 따라 상하 이동하는 제1 구동부; 및 상기 밀폐판을 수평 방향을 따라 전후 이동하는 제2 구동부를 포함한다.

실시예에 따른 밀폐 챔버의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 다양한 구성 요소들, 즉 부품들을 모듈화한 게이트 밸브 모듈이 밀폐 챔버에 체결됨으로써, 게이트 밸브 모듈의 장착이 용이한 장점이 있다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 게이트 밸브 모듈의 제1 지지 부재의 전면이 밀폐 챔버에 체결되어 게이트 밸브 모듈의 하중이 밀폐 챔버에 분산되므로, 밀폐 챔버의 벽체가 휘어지지 않게 되어 밀폐 성능이 향상될 수 있다는 장점이 있다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 게이트 밸브 모듈이 밀폐 챔버에 장착되는 위치가 변경되더라도 게이트 밸브 모듈이 모듈화되어 해당 게이트 모듈을 새로 변경된 위치에 체결하면 되므로, 장착 위치의 변경에 즉각적으로 대응할 수 있다는 장점이 있다.

실시예의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 실시예의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한다.
도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한다.
도 3은 도어 어셈블리를 도시한다.
도 4는 도어 어셈블리의 일부분을 확대한 도면이다.
도 5는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 측면도이다.
도 6은 도어 어셈블리와 스토퍼의 관계를 보여준다.
도 7은 도 6의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 8은 밀폐판에 설치된 밀폐 부재를 도시한다.
도 9 내지 도 12는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈이 닫힘 상태로 동작하는 모습을 보여준다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “B 및(와) C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속＇되는 경우도 포함할 수 있다. 또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐만아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

실시예에서, 밀폐 챔버의 벽체에 게이트 밸브 모듈이 체결될 수 있다. 게이트 밸브 모듈의 제어에 의해 벽체의 개구부가 개폐되어, 반도체용 웨이퍼나 디스플레이용 패널이 밀폐 챔버 안으로 이송되거나 밀폐 챔버 내에서 외부로 이송될 수 있다. 즉, 반도체용 웨이퍼나 디스플레이용 패널의 이송시에는 게이트 밸브 모듈이 개방 상태로 동작되고, 그 외의 경우에는 게이트 밸브 모듈이 닫힘 상태로 동작될 수 있다.

실시예에 따르면, 게이트 밸브 모듈은 다양한 구성 요소, 예컨대 제1 지지 부재, 제1 구동부, 밀폐판, 제2 지지 부재, 제2 구동부 등이 모듈화되어, 단일 제품으로 구성될 수 있다. 이와 같이 단일 제품으로 구성된 게이트 밸브 모듈은 운반이 용이할 뿐만 아니라 밀폐 챔버의 벽체에 체결하여 게이트 밸브의 개폐 기능이 용이하게 수행될 수 있다.

따라서, 실시예의 게이트 밸브 모듈은 벽체에 조립이나 장착이 용이하다.

실시예의 게이트 밸브 모듈은 벽체에 면대면으로 접촉되어 체결되어, 게이트 밸브 모듈의 하중이 벽체에 골고루 퍼지도록 하여 벽체의 휘어짐을 방지할 수 있어 밀폐 성능을 향상시킬 수 있다.

실시예의 게이트 밸브 모듈은 단일 제품으로 구성되어 장착 위치의 변경시에 해당 게이트 밸브 모듈만 해당 위치에 장착하면 되므로, 장착 위치의 변경에 즉각적으로 대응할 수 있다.

도 1은 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시하고, 도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한다. 도 3은 도어 어셈블리를 도시하고, 도 4는 도어 어셈블리의 일부분을 확대한 도면이다. 도 5는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 측면도이다. 도 6은 도어 어셈블리와 스토퍼의 관계를 보여주고, 도 7은 도 6의 A 영역을 확대한 도면이다. 도 8은 밀폐판에 설치된 밀폐 부재를 도시한다.

도 1 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 밀폐 챔버(10)의 벽체(20)에 게이트 밸브 모듈(100)이 체결될 수 있다.

밀폐 챔버(10)는 복수의 프레임과 복수의 벽체로 구성될 수 있다. 즉, 복수의 프레임을 서로 간에 연결하고, 벽체를 이들 프레임에 체결하여 밀폐 챔버(10)가 제작될 수 있다.

이러한 복수의 벽체 중 적어도 하나의 벽체(20)는 재공품의 이송이 가능한 개구부(22)를 포함할 수 있다. 개구부(22)는 재공품의 사이즈보다 큰 사이즈를 가져, 재공품이 해당 개구부(22)를 통해 밀폐 챔버(10) 내 또는 밀폐 챔버(10) 외로 용이하게 이송될 수 있다.

실시예의 게이트 밸브 모듈(100)은 제1 지지 부재(110), 제1 구동부(120) 및 도어 어셈블리(130)를 포함할 수 있다.

일 예로, 제1 지지 부재(110)는 밀폐 챔버(10)의 복수의 벽체 중 적어도 하나의 벽체(20)에 체결될 수 있다. 이러한 경우, 제1 지지 부재(110)의 사이즈는 벽체(20)의 사이즈와 동일하거나 작을 수 있다. 제1 지지 부재(110)의 사이즈가 클수록 제1 지지 부재(110)가 벽체(20)에 체결되는 면적이 커져, 게이트 밸브 모듈(100)의 하중을 벽체(20)의 넓은 면적에 분산시켜 게이트 밸브 모듈(100)의 하중으로 인한 벽체(20)의 휘어짐을 방지할 수 있다.

예컨대, 제1 지지 부재(110)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 지지 부재(110)는 우수한 강도를 갖는 재질로 형성될 수 있다. 제1 지지 부재(110)는 예컨대, 스테인레스 스틸, 알루미늄이나 알루미늄 합금으로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 지지 부재(110)는 지지 플레이트, 지지판, 지지 프레임 등으로 불릴 수 있다.

제1 지지 부재(110)가 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 지지 부재(110)의 제1 측면과 제1 측면의 반대인 제2 측면 모두 평면을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 제1 측면은 밀폐 챔버(10)의 벽체(20)에 마주보는 면이고, 제2 측면은 제1 구동부(120)가 체결되는 면일 수 있다. 제1 지지 부재(110)는 평면을 갖는 벽체(20)에 면대면으로 접하여 체결될 수 있다.

한편, 제1 지지 부재(110)가 벽체(20)로 대체될 수도 있다. 즉, 제1 지지 부재(110)가 직접 프레임들에 체결될 수 있다. 이러한 경우, 벽체(20)가 생략되고, 제1 지지 부재(110)가 직접 프레임들에 체결되므로, 조립이 더욱 더 용이할 수 있다. 아울러, 벽체(20)의 개구부(22)와 도어 어셈블리(130)의 개구부(112)가 서로 대응되도록 도어 어셈블리(130)가 벽체(20)와 위치 조정할 필요가 없다.

예컨대, 제1 구동부(120)는 제1 지지 부재(110)의 제2 측면 상에 설치되어, 도어 어셈블리(130)를 수직 방향을 따라 상하 이동시킬 수 있다. 예컨대, 제1 구동부(120)에 의해 도어 어셈블리(130)가 수직 방향을 따라 상승될 수 있다. 예컨대, 제1 구동부(120)에 의해 도어 어셈블리(130)가 수직 방향을 따라 하강할 수 있다.

제1 구동부(120)는 제1 실린더(121), 제2 실린더(122), 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)를 포함할 수 있다.

예컨대, 제1 실린더(121)와 제1 샤프트(123)는 제1-1 구동부에 포함되고, 제2 실린더(122)와 제2 샤프트(124)는 제1-2 구동부에 포함될 수 있다.

예컨대, 제1 실린더(121)는 제1 지지 부재(110)의 제2 측면 상에 설치되고, 제2 실린더(122)는 제1 지지 부재(110)의 제2 측면 상에 설치되고 제1 실린더(121)로부터 이격될 수 있다. 예컨대, 제1 실린더(121)는 제1 지지 부재(110)의 일측 끝단에 인접하여 설치되고, 제2 실린더(122)는 제1 지지 부재(110)의 타측 끝단에 인접하여 설치될 수 있다. 예컨대, 제1 지지 부재(110)의 사이즈가 벽체(20)의 사이즈와 동일한 경우, 제1 실린더(121)는 벽체(20)의 일측 끝단에 인접한 영역에 대응하는 제1 지지 부재(110)의 제1 영역에 설치되고, 제2 실린더(122)는 벽체(20)의 타측 끝단에 인접한 영역에 대응하는 제1 지지 부재(110)의 제2 영역에 설치될 수 있다. 예컨대, 제1 실린더(121) 및 제2 실린더(122)는 제1 지지 부재(110)의 제1 측면의 반대인 제2 측면 상에 쳬결될 수 있다. 제1 지지 부재(110)의 제1 측면은 벽체(20)에 마주보는 면일 수 있다.

예컨대, 제1 실린더(121) 및 제2 실린더(122)는 개구부(112)보다 아래에 배치될 수 있다.

예컨대, 제1 실린더(121)는 제1 샤프트(123)를 수직 방향을 따라 상하 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 제1 샤프트(123)는 제1 실린더(121)에서 수직 방향을 따라 상하 이동될 수 있다. 제1 샤프트(123)의 일 측은 제1 실린더(121)의 내측에 위치되고, 제1 샤프트(123)의 타 측은 제1 실린더(121)의 외측에 위치될 수 있다. 이에 따라, 제1 샤프트(123)의 타 측이 제1 실린더(121)에 의해 수직 방향을 따라 상승됨에 따라 제1 샤프트(123)의 일 측의 일부가 제1 실린더(121)의 내측으로부터 외측으로 상승될 수 있다.

예컨대, 제2 실린더(122)는 제2 샤프트(124)를 수직 방향을 따라 상하 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 제2 샤프트(124)는 제2 실린더(122)에서 수직 방향을 따라 상하 이동될 수 있다. 제2 샤프트(124)의 일 측은 제2 실린더(122)의 내측에 위치되고, 제2 샤프트(124)의 타 측은 제2 실린더(122)의 외측에 위치될 수 있다. 이에 따라, 제2 샤프트(124)의 타 측이 제2 실린더(122)에 의해 수직 방향을 따라 상승됨에 따라 제2 샤프트(124)의 일 측의 일부가 제2 실린더(122)의 내측으로부터 외측으로 상승될 수 있다.

제1 실린더(121) 및 제2 실린더(122) 각각은 공기를 이용하여 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)를 구동시킬 수 있다.

예컨대, 제1 실린더(121)는 제2 실린더(122)와 동일한 형상 및/또는 동일한 사이즈를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 제1 샤프트(123)는 제2 샤프트(124)와 동일한 형상 및/또는 동일한 길이를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 따라서, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 수직 방향을 따라 상승되었을 때, 제1 샤프트(123)의 끝단의 최대 상승 지점과 제2 샤프트(124)의 끝단의 최대 상승 지점은 동일할 수 있다.

제1 실린더(121)와 제2 실린더(122)는 동시에 구동되고, 이에 따라 제1 샤프트(123)와 제2 샤프트(124) 또한 동시에 상하 이동될 수 있다.

제2 샤프트(124)는 제1 샤프트(123)로부터 이격되며, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124) 각각은 제1 지지 부재(110)의 제2 측면으로부터 이격될 수 있다. 이에 따라, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 상하 이동되더라도, 제1 지지 부재(110)의 제2 측면과 접촉되지 않아, 해당 접촉으로 인한 불량을 방지할 수 있다.

도어 어셈블리(130)는 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 체결될 수 있다. 따라서, 제1 실린더(121) 및 제2 실린더(122) 각각에 의해 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 상하 이동되는 경우, 도어 어셈블리(130) 또한 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 의해 상하 이동될 수 있다. 예컨대, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 상승되는 경우, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 의해 도어 어셈블리(130) 또한 상승될 수 있다. 예컨대, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 하강되는 경우, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 의해 도어 어셈블리(130) 또한 하강될 수 있다.

도어 어셈블리(130)는 제2 지지 부재(140), 제2 구동부(150) 및 밀폐판(160)을 포함할 수 있다.

제2 지지 부재(140)는 제2 구동부(150) 및 밀폐판(160)을 지지할 수 있다.

예컨대, 제2 지지 부재(140)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제2 지지 부재(140)는 우수한 강도를 갖는 재질로 형성될 수 있다. 제2 지지 부재(140)는 스테인레스 스틸, 알루미늄이나 알루미늄 함금으로 형성될 수 있다. 예컨대, 제2 지지 부재(140)는 지지 플레이트, 지지판, 지지 프레임 등으로 불릴 수 있다.

제2 지지 부재(140)는 제1 브라켓(141)을 이용하여 제1 샤프트(123)의 상측에 체결되고, 제2 브라켓(142)을 이용하여 제2 샤프트(124)의 상측에 체결될 수 있다.

예컨대, 제1 브라켓(141)의 일 측은 제2 지지 부재(140)의 일 측에 체결되고, 제1 브라켓(141)의 타 측은 제1 샤프트(123)의 상측에 체결될 수 있다. 예컨대, 제2 브라켓(142)의 일 측은 제2 지지 부재(140)의 타 측에 체결되고, 제2 브라켓(142)의 타 측은 제2 샤프트(124)의 상측에 체결될 수 있다.

이에 따라, 제2 지지 부재(140)는 제1 브라켓(141) 및 제2 브라켓(142)를 통해 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 체결되어, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)의 상하 이동에 연동될 수 있다. 즉, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 상승되면, 제2 지지 부재(140)도 상승될 수 있다. 예컨대, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 하강되면, 제2 지지 부재(140)도 하강될 수 있다.

제2 구동부(150)는 제2 지지 부재(140)에 설치될 수 있다. 예컨대, 제2 구동부(150)는 밀폐판(160)을 수평 방향을 따라 전후 이동시킬 수 있다. 이러한 경우, 밀폐판(160)은 제2 구동부(150)에는 체결되지만, 제2 지지 부재(140)에는 체결되지 않을 수 있다. 따라서, 밀폐판(160)은 제2 구동부(150)에 의해서만 전후 이동될 수 있다.

제2 구동부(150)는 복수의 실린더(151) 및 복수의 샤프트(155)를 포함할 수 있다.

예컨대, 복수의 실린더(151)는 제2 지지 부재(140)의 길이 방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 이러한 경우, 복수의 실린더(151)는 서로 간에 이격되어 배치될 수 있다. 복수의 실린더(151)는 제2 지지 부재(140)에 체결될 수 있다. 예컨대, 복수의 실린더(151)의 일부분은 제2 지지 부재의 외측에 배치되고, 복수의 실린더(151)의 다른 일부분은 제2 지지 부재를 관통할 수 있다. 이러한 경우, 복수의 실린더(151)의 일부분은 예컨대, 브라켓(163 내지 165)을 이용하여 제2 지지 부재(140)에 체결될 수 있다.

예컨대, 복수의 실린더(151)의 다른 일부분이 관통되도록 제2 지지 부재(140)는 복수의 홀(미도시)이 형성될 수 있다. 예컨대, 복수의 실린더(151)의 다른 일부분은 제2 지지 부재(140)의 복수의 홀을 관통하고, 복수의 실린더(151)의 일부분은 브라켓(163 내지 165)를 이용하여 제2 지지 부재(140)에 체결될 수 있다.

브라켓(163)은 제2 지지 부재(140)의 상측에서 수평 방향, 즉 제2 지지 부재(140)의 길이 방향을 따라 제2 지지 부재(140)에 체결될 수 있다. 브라켓(164)는 제2 지지 부재(140)의 하측에서 수평 방향, 즉 제2 지지 부재(140)의 길이 방향을 따라 제2 지지 부재(140)에 체결될 수 있다. 브라켓(163)과 브라켓(164)는 서로 간에 이격되어 배치될 수 있다. 브라켓(165)는 브라켓(163)과 브라켓(164) 사이에서 제2 지지 부재(140)에 체결될 수 있다. 예컨대, 브라켓(165)는 브라켓(163)과 브라켓(164) 사이에서 수직 방향으로 배치될 수 있다. 따라서, 복수의 실린더(151)의 일부분은 브라켓(163 내지 165)에 의해 둘러싸여지고, 브라켓(163 내지 165)에 체결될 수 있다.

복수의 샤프트(155) 각각은 복수의 실린더(151)에 의해 제2 지지 부재(140)를 관통한 복수의 실린더(151)의 다른 부분의 내측에서 수평 방향을 따라 전후 이동될 수 있다. 예컨대, 복수의 샤프트(155)는 밀폐판(160)과 체결될 수 있다. 이에 따라, 밀폐판(160)은 복수의 샤프트(155)와 함께 전후 이동될 수 있다.

예컨대, 복수의 실린더(151)에 의해 복수의 샤프트(155)가 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 향해 전방으로 이동되는 경우, 밀폐판(160)도 함께 전방으로 이동되어 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 폐쇄시킬 수 있다. 예컨대, 복수의 실린더(151)에 의해 복수의 샤프트(155)가 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)로부터 멀어지도록 후방으로 이동되는 경우, 밀폐판(160)도 함께 후방으로 이동되어 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방될 수 있다.

한편, 제1 구동부(120)가 먼저 동작된 후 제2 구동부(150) 가 동작될 수 있다. 예컨대, 제1 구동부(120)의 동작에 의해 제1 및 제2 실린더(121, 122) 각각이 제1 및 제2 샤프트(123, 124)를 수직 방향을 따라 상승되어 밀폐판(160)을 포함하는 도어 어셈블리(130)도 함께 상승될 수 있다. 이어서, 제2 구동부(150)의 동작에 의해 복수의 실린더(151) 각각이 샤프트(155)를 통해 밀폐판(160)를 수평 방향을 따라 전방으로 이동되어, 밀폐판(160)에 의해 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)가 폐쇄되어 결국 벽체(20)의 개구부(22)가 폐쇄될 수 있다. 이와 관련하여, 보다 상세한 동작은 나중에 설명한다.

밀폐판(160)은 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 개폐시키기 위한 부재일 수 있다.

예컨대, 밀폐판(160)은 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 밀폐판(160)은 우수한 강도를 갖는 재질로 형성될 수 있다. 밀폐판(160)은 스테인레스 스틸, 알루미늄이나 알루미늄 함금으로 형성될 수 있다.

예컨대, 밀폐판(160)은 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 사이즈보다 큰 사이즈를 가져, 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 안전하게 폐쇄시킬 수 있다.

예컨대, 밀폐판(160)은 제2 지지 부재(140)이 사이즈보다 작은 사이즈를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

도 8에 도시한 바와 같이, 밀폐판(160)의 일 측면에 밀폐 부재(170)가 설치될 수 있다. 밀폐판(160)의 일 측면은 제1 지지 부재(110)와 마주보는 면일 수 있다.

예컨대, 밀폐 부재(170)는 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 둘레에 인접한 제1 지지 부재(110)의 인접 영역에 대응하는 밀폐판(160)의 일 측면 상에 설치될 수 있다. 즉, 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 폐쇄하는 경우, 밀폐판(160)의 일 측면에 설치된 밀폐 부재(170)가 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 둘레이 인접한 인접 영역에 접할 수 있다.

도시되지 않았지만, 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 둘레에 인접한 인접 영역에 대응하는 밀폐판(160)의 일 측면에 그루부가 형성되고, 이 그루부에 밀폐 부재(170)가 삽입 및 고정될 수 있다.

예컨대, 밀폐판(160)은 밀폐판(160)의 외측 가장자리를 따라 배치된 폐루프 형상을 가질 수 있다.

밀폐판(160)은 복수의 지지 핀(161)과 복수의 가이드부(162)를 이용하여 제2 지지 부재(140)에 지지될 수 있다.

예컨대, 가이드부(162)는 제2 지지 부재(140)의 후면, 즉 밀폐판(160)과 마주보는 제2 지지 부재(140)의 전면의 반대인 면에 설치될 수 있다. 가이드부(162)는 제2 지지 부재(140)의 후면에 체결될 수 있다. 예컨대, 가이드부(162)는 내부가 비어 있는 홀을 가질 수 있다. 제2 지지 부재(140)는 가이드부(162)의 홀에 대응되는 홀을 가질 수 있다.

예컨대, 지지 핀(161)의 일 측은 밀폐판(160)의 후면, 즉 제1 지지 부재(110)와 마주보는 밀폐판(160)의 전면의 반대인 면에 체결되고, 지지 핀(161)의 타 측은 제2 지지 부재(140)의 홀 및 가이드부(162)의 홀에 삽입될 수 있다.

예컨대, 밀폐판(160)은 제2 지지 부재(140)의 홀 및 가이드부(162)의 홀에 삽입된 지지 핀(161)에 의해 수평 방향을 따라 자유롭게 전후 이동 가능하다. 예컨대, 밀폐판(160)는 2 지지 부재(140)의 홀 및 가이드부(162)의 홀에 삽입된 지지 핀(161)에 의해 제2 지지 부재(140)에 지지될 수 있다. 따라서, 밀폐판(160)복수의 실린더(151)에 의해 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 향해 전방 이동되는 경우, 가이드부(162)의 홀 내에서 지지 핀(161) 또한 수평 방향을 따라 전방으로 이동될 수 있다. 예컨대, 복수의 실린더(151)에 의해 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)로부터 멀어지도록 후방 이동되는 경우, 가이드부(162)의 홀 내에서 지지 핀(161) 또한 수평 방향을 따라 후방으로 이동될 수 있다.

실시예의 게이트 밸브 모듈(100)은 가이드 부재(181, 182)를 포함할 수 있다.

가이드 부재는 제1 가이드 부재(181)와 제2 가이드 부재(182)를 포함할 수 있다.

예컨대, 제1 가이드 부재(181)는 제1 지지 부재(110)의 제2 측면의 제1 영역에 설치되고, 제2 가이드 부재(182)는 제1 지지 부재(110)의 제2 측면의 제2 영역에 설치될 수 있다. 예컨대, 제2 영역은 제1 영역으로부터 이격되므로, 제2 가이드 부재(182) 또한 제1 가이드 부재(181)로부터 이격될 수 있다.

예컨대, 제1 가이드 부재(181)는 제1 샤프트(123)에 인접하여 배치되고, 제1 샤프트(123)에 평행하게 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 가이드 부재(182)는 제2 샤프트(124)에 인접하여 배치되고, 제2 샤프트(124)에 평행하게 배치될 수 있다.

제1 가이드 부재(181)와 제2 가이드 부재(182)는 개구부(112)를 사이에 두고 평행하게 배치될 수 있다. 예컨대, 제1 가이드 부재(181)는 개구부(112)의 일측에 배치되고, 제2 가이드 부재(182)는 개구부(112)의 타측에 배치될 수 있다.

예컨대, 제1 가이드 부재(181)과 제2 가이드 부재(182)에 따라 도어 어셈블리(130)가 상승하는 경우, 도어 어셈블리(130)는 개구부(112)에 대응되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우, 도어 어셈블리(130)와 개구부(112)는 서로 중첩될 수 있다. 구체적으로, 밀폐판(160)와 개구부(112)는 서로 중첩될 수 있다. 예컨대, 제1 가이드 부재(181)과 제2 가이드 부재(182)에 따라 도어 어셈블리(130)가 하강하는 경우, 도어 어셈블리(130)는 개구부(112)보다 낮게 위치될 수 있다. 즉, 도어 어셈블리(130)가 개구부(112)에 대응되지 않으며 도어 어셈블리(130)와 개구부(112)가 서로 중첩되지 않을 수 있다.

예컨대, 제1 가이드 부재(181) 및 제2 가이드 부재(182) 각각은 수직 방향을 따라 장축을 갖는 가이드 레일일 수 있다.

제2 지지 부재(140)는 제1 이동부(183) 및 제2 이동부(184) 각각을 이용하여 제1 가이드 부재(181) 및 제2 가이드 부재(182)를 따라 상하 이동될 수 있다.

예컨대, 제1 이동부(183)는 제2 지지 부재(140)의 일 측에 체결되어 제1 가이드 부재(181)를 따라 상하 이동될 수 있다. 예컨대, 제2 이동부(184)는 제2 지지 부재(140)의 타 측에 체결되어 제2 가이드 부재(182)를 따라 상하 이동될 수 있다.

예컨대, 제1 이동부(183)의 일 측은 제2 지지 부재(140)의 일 측에 고정되고, 제1 이동부(183)의 타 측은 제1 가이드 부재(181)에 슬라이딩 방식으로 체결될 수 있다. 이에 따라, 제1 구동부(120)에 의해 제2 지지 부재(140)에 고정된 제1 이동부(183)가 제1 가이드 부재(181)를 따라 상하로 슬라이딩 이동됨에 따라, 제2 지지 부재(140)가 수직 방향을 따라 상하 이동될 수 있다.

예컨대, 제2 이동부(184)의 일 측은 제2 지지 부재(140)의 타 측에 고정되고, 제2 이동부(184)의 타 측은 제2 가이드 부재(182)에 슬라이딩 방식으로 체결될 수 있다. 이에 따라, 제 1구동부에 의해 제2 지지 부재(140)에 고정된 제2 이동부(184)가 제2 가이드 부재(182)를 따라 상하로 슬라이딩 이동됨에 따라, 제2 지지 부재(140)가 수직 방향을 따라 상하 이동될 수 있다.

실시예의 게이트 밸브 모듈(100)은 적어도 하나 이상의 스토퍼(190, 191)를 포함할 수 있다. 도면에는 2개의 스토퍼(190, 191)이 도시되고 있지만, 1개의 스토퍼 또는 3개 이상의 스토퍼가 구비될 수도 있다.

스토퍼(190, 191)는 밀폐판(160)이 소정 높이에서 상승을 멈추도록 하기 위한 부재일 수 있다.

도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 스토퍼(190, 191)는 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)보다 높게 위치될 수 있다. 예컨대, 제1 스토퍼(190)는 개구부(112)보다 높은 제1 지지 부재(110)의 제1 영역에 설치될 수 있다. 예컨대, 제2 스토퍼(191)는 개구부(112)보다 높은 제1 지지 부재(110)의 제2 영역에 설치될 수 있다. 제1 지지 부재(110)의 제1 영역과 제1 지지 부재(110)의 제2 영역은 서로 이격되므로, 제1 스토퍼(190)와 제2 스토퍼(191)는 서로 간에 이격될 수 있다.

예컨대, 스토퍼(190, 191)의 하측은 적어도 개구부(112)보다 높게 위치될 수 있다.

제1 실린더(121) 및 제2 실린더(122) 각각에 의해 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 수직 방향을 따라 상승되면, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 체결된 도어 어셈블리(130)의 밀폐판(160)도 상승될 수 있다. 밀폐판(160)이 상승되다가 소정 높이이 되는 경우, 밀폐판(160)의 상면이 스토퍼(190, 191)의 하면에 접하여 밀폐판(160)이 스토퍼(190, 191)에 의해 더 이상 상승하지 않게 된다.

밀폐판(160)이 상승된 소정 높이는 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 폐쇄하기 위한 최적의 높이일 수 있다. 밀폐판(160)의 상면은 스토퍼(190, 191)의 하면과 면접촉될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 스토퍼(190, 191)의 하측은 하면이 평평한 원형 플레이트를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 스토퍼(190, 191)의 하측은 탄성을 갖는 재질, 예컨대 고무 재질이나 플라스틱 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

만일 스토퍼(190, 191)가 구비되지 않는 경우, 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 폐쇄하기 위한 최적의 높이에서 밀폐판(160)이 멈춰지도록 하는 것이 어렵다. 이러한 경우, 밀폐판(160)이 최적의 높이보다 더 높게 상승되는 경우, 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112) 모두를 폐쇄하지 못하고 개구부(112)의 일부가 외부에 노출되어 밀폐 불량이 발생될 수 있다.

따라서, 실시예에 따르면, 스토퍼(190, 191)에 의해 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)에 대응되는 위치에서 멈춰지므로, 이후에 밀폐판(160)이 전방을 이동되어 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)가 안전하게 폐쇄되어 밀폐 불량을 방지할 수 있다.

[닫힘 상태 동작]

도 9 내지 도 12는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈이 닫힘 상태로 동작하는 모습을 보여준다.

도 9에 도시한 바와 같이, 제1 구동부(120)의 동작에 의해 도어 어셈블리(130)가 수직 방향을 따라 하강되어 도어 어셈블리(130)가 개구부(112)보다 아래에 위치될 수 있다.

예컨대, 재공품이 밀폐 챔버(도 1의 10)와 외부 또는 밀폐 챔버(10)와 다른 밀폐 챔버 사이로 이동되는 경우, 도어 어셈블리(130)가 개구부(112)부터 아래에 위치될 수 있다.

예컨대, 재공품의 이송이 완료된 경우, 도어 어셈블리(130)를 이용하여 개구부(112)가 폐쇄될 수 있다.

이를 위해, 도 10에 도시한 바와 같이, 제1 구동부(120)의 동작에 의해 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 수직 방향을 따라 상승될 수 있다. 즉, 제1 실린더(121)에 의해 제1 샤프트(123)가 수직 방향을 따라 상승되고, 제2 실린더(122)에 의해 제2 샤프트(124)가 수직 방향을 따라 상승될 수 있다.

도어 어셈블리(130)은 제2 지지 부재(140), 밀폐판(160) 및 제2 구동부(150)를 포함할 수 있다.

예컨대, 제1 브라켓(141)에 의해 제2 지지 부재(140)의 일측과 제1 샤프트(123)가 체결될 수 있다. 제2 브라켓(142)에 의해 제2 지지 부재(140)의 타측과 제2 샤프트(124)가 체결될 수 있다.

따라서, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)가 수직 방향을 따라 상승되는 경우, 제1 샤프트(123) 및 제2 샤프트(124)에 체결된 도어 어셈블리(130), 구체적으로 제2 지지 부재(140) 또한 상승될 수 있다.

예컨대, 제2 지지 부재(140)는 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)에 대응하는 위치에 도달할 때까지 상승될 수 있다. 즉, 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)에 대응하는 위치에 도달하는 경우, 밀폐판(160)의 상면은 스토퍼(190, 191)의 하면에 접할 수 있다. 예컨대, 밀폐판(160)이 더 이상 상승되지 못하므로, 제2 지지 부재(140) 또한 더 이상 상승되지 않게 되고, 이에 따라 제1 구동부(120)의 동작이 중지될 수 있다. 이에 따라, 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치에서 멈춰질 수 있다.

스토퍼(190, 191)에 의해 제2 지지 부재(140)가 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)에 대응하는 위치에서 멈춰진 경우, 도 11에 도시한 바와 같이, 밀폐판(160)은 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)로부터 후방으로 이격되어 위치될 수 있다.

도 12에 도시한 바와 같이, 제2 구동부(150)의 동작에 의해 밀폐판(160)이 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 향해 전방으로 이동될 수 있다, 즉, 제2 지지 부재(140)에 체결된 복수의 실린더(151)에 의해 복수의 샤프트(155)가 전방으로 이동되고, 복수의 샤프트(155)에 체결된 밀폐판(160)이 전방으로 이동될 수 있다. 이러한 경우, 밀폐판(160)은 제2 지지 부재(140)으로부터 멀어지고, 제1 지지 부재(110)에 가까워질 수 있다. 밀폐판(160)이 전방으로 이동됨에 따라 밀폐판(160)에 체결된 복수의 지지 핀(161)이 복수의 가이드부(162)에 의해 가이드되어 전방으로 이동될 수 있다. 즉, 밀폐판(160)은 복수의 지지 핀(161) 및 복수의 가이드부(162)에 의해 제2 지지 부재(140)에 지지되면서 전방을 이동될 수 잇다.

밀폐판(160)은 전방으로 이동되어 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)에 접하고, 밀폐판(160)이 지속적으로 가압됨으로써 밀폐판(160)에 의해 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)가 폐쇄되어 밀폐 챔버(도 1의 10)가 외부와 차단될 수 있다.

제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 폐쇄는 재공품이 밀폐 챔버(도 1의 10)와 외부 또는 밀폐 챔버(10)와 다른 밀폐 챔버 사이로 이동되기 위해 다시 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)를 개방할 때까지 지속될 수 있다.

한편, 도 9 내지 도 12에서는 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 폐쇄 동작을 설명하였다.

제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 개방 동작은 도 9 내지 도 12에서는 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)의 폐쇄 동작과 반대로 진행될 수 있다.

도 1 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방되기 위해, 먼저 제2 구동부(150)의 동작에 의해 밀폐판(160)이 수평 방향을 따라 후방으로 이동될 수 있다. 즉, 복수의 실린더(151)에 의해 복수의 샤프트(155)에 체결된 밀폐판(160)이 후방으로 이동될 수 있다. 이러한 경우, 밀폐판(160)은 제1 지지 부재(110)로부터 멀어지고 제2 지지 부재(140)에 가까워질 수 있다. 밀폐판(160)이 제2 지지 부재(140)에 인접하여 멈춰질 수 있다. 밀폐판(160)이 제2 지지 부재(140)에 접할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

제1 구동부(120)의 동작에 의해 밀폐판(160)을 포함하는 도어 어셈블리(130)이 수직 방향을 따라 하강될 수 있다. 즉, 제1 및 제2 실린더(121, 122)에 의해 제1 및 제2 샤프트(123, 124)에 체결된 제2 지지 부재(140)가 수직 방향을 따라 하강될 수 있다. 이러한 경우, 지지 핀(161) 및 가이드부(162)에 의해 제2 지지 부재(140)에 의해 지지된 밀폐판(160) 또한 하강될 수 있다.

제1 및 제2 샤프트(123, 124)는 하강되어 제1 및 제2 실린더(121, 122) 내부로 삽입될 수 있다. 제1 및 제2 샤프트(123, 124)의 상측이 제1 및 제2 실린더(121, 122)의 상측에 인접되는 위치에서 제1 및 제2 샤프트(123, 124)가 멈춰질 수 있다. 이에 따라, 도어 어셈블리(130)는 제1 지지 부재(110)의 개구부(112)보다 낮게 위치되어, 재공품이 개구부(112)를 통해 이송되더라도, 이 재공품이 도어 어셈블리(130)에 의해 방해되지 않을 수 있다.

실시예는 외부와 차단되어 특정 가스 분위기로 유지되어야 하는 분야에 적용될 수 있다. 예컨대, 실시예는 반도체나 디스플레이 분야에 적용될 수 있지만, 이에 한정하지는 않는다.

Claims (20)

1. 개구부를 포함하는 제1 지지 부재;
   상기 개구부를 개폐하는 밀폐판;
   상기 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되어, 상기 밀폐판을 수직 방향을 따라 상하 이동하는 제1 구동부; 및
   상기 밀폐판을 수평 방향을 따라 전후 이동하는 제2 구동부를 포함하는
   게이트 밸브 모듈.
2. 제1항에 있어서,
   상기 밀폐판은 상기 개구부의 사이즈보다 큰 플레이트 형상을 갖는
   게이트 밸브 모듈.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 지지 부재와 마주하는 상기 밀폐판의 일 측면 상에 설치된 밀폐 부재를 포함하는
   게이트 밸브 모듈.
4. 제3항에 있어서,
   상기 밀폐 부재는
   상기 개구부의 둘레에 인접한 상기 제1 지지 부재의 인접 영역에 대응하는 상기 밀폐판의 일 측면 상에 설치되는
5. 제1항에 있어서,
   상기 밀폐판 및 상기 제2 구동부를 지지하는 제2 지지 부재를 포함하는
   게이트 밸브 모듈.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제2 구동부는 상기 제2 지지 부재에 설치되고,
   상기 밀폐판은 상기 제2 구동부에 체결되어 전후 이동되는
   게이트 밸브 모듈.
7. 제6항에 있어서,
   상기 제2 구동부는,
   상기 제2 지지 부재에 설치된 복수의 실린더 및
   상기 복수의 실린더 각각에서 전후 이동되는 샤프트를 포함하고,
   상기 밀폐판은 상기 샤프트에 체결되는
   게이트 밸브 모듈.
8. 제7항에 있어서,
   상기 실린더는 상기 제2 지지 부재를 관통하여 설치되는
   게이트 밸브 모듈.
9. 제5항에 있어서,
   상기 제1 구동부는,
   상기 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되는 상기 제1 실린더;
   상기 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되고, 상기 제1 실린더로부터 이격되는 제2 실린더;
   상기 제1 실린더에서 상하 이동되는 제1 샤프트; 및
   상기 제2 실린더에서 상하 이동되는 제2 샤프트를 포함하는
   게이트 밸브 모듈.
10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 지지 부재의 일 측과 상기 제1 샤프트의 상측 각각에 체결되는 제1 브라켓; 및
    상기 제2 지지 부재의 타 측과 상기 제2 샤프트의 상측 각각에 체결되는 제2 브라켓을 포함하는
    게이트 밸브 모듈.
11. 제5항에 있어서,
    상기 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되는 가이드 부재; 및
    상기 제2 지지 부재에 체결되어 상기 가이드 부재를 따라 상하 이동되는 이동부를 포함하는
    게이트 밸브 모듈.
12. 제11항에 있어서,
    상기 가이드 부재는,
    상기 수직 방향을 따라 장축을 갖는 가이드 레일을 포함하는
    게이트 밸브 모듈.
13. 제11항에 있어서,
    상기 이동부는 상기 제1 지지 부재의 일 측면과 상기 밀폐판의 일 측면 사이에 위치되는
14. 제11항에 있어서,
    상기 가이드 부재는,
    상기 제1 지지 부재의 일 측면의 제1 영역에 설치되는 제1 가이드 부재; 및
    상기 제1 지지 부재의 일 측면의 제1 영역으로부터 이격된 제2 영역에 설치되는 제2 가이드 부재를 포함하는
    게이트 밸브 모듈.
15. 제14항에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 제2 지지 부재의 일 측에 체결되어 상기 제1 가이드 부재를 따라 상하 이동되는 제1 이동부; 및
    상기 제2 지지 부재의 타 측에 체결되어 상기 제2 가이드 부재를 따라 상하 이동되는 제2 이동부를 포함하는
    게이트 밸브 모듈.
16. 제1항에 있어서,
    상기 제1 지지 부재의 일 측면 상에 설치되어, 상기 밀폐판의 상승을 멈추도록 하는 적어도 하나 이상의 스토퍼를 포함하는
    게이트 밸브 모듈.
17. 제16항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 제1 지지 부재의 일 측면으로부터 이격되는
    게이트 밸브 모듈.
18. 제1 개구부를 포함하는 벽체; 및
    게이트 밸브 모듈을 포함하고,
    상기 게이트 밸브 모듈은,
    상기 벽체에 체결되고, 제2 개구부를 포함하는 지지 부재;
    상기 제2 개구부를 개폐하는 밀폐판;
    상기 지지 부재의 일 측면 상에 설치되어, 상기 밀폐판을 수직 방향을 따라 상하 이동하는 제1 구동부; 및
    상기 밀폐판을 수평 방향을 따라 전후 이동하는 제2 구동부를 포함하는
    밀폐 챔버.
19. 제18항에 있어서,
    상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부보다 작은 밀폐 챔버.
20. 제18항에 있어서,
    상기 지지 부재는 상기 벽체에 면대면으로 접하여 체결되는
    밀폐 챔버.

Images