KR100654605B1 - 평판표시기용 글라스 가공을 위한 다단 진공 챔버 장치 - Google Patents

평판표시기용 글라스 가공을 위한 다단 진공 챔버 장치 Download PDF

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KR100654605B1
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Abstract

본 발명은 대형화된 LCD 글라스 다수개를 동시에 건조시키는 한편, LCD 글라스를 이송시키는 이송수단의 작동 반경을 확보하면서도 슬림화 가능한 LCD 글라스 건조를 위한 진공 챔버에 관한 것이다.
본 발명은, 다단의 진공실을 구비하여 동시 다발적으로 건조공정이 진행되도록 하는 챔버와; 전술한 각 진공실에 일측으로부터 슬라이딩되면서 인/출되고, LCD 글라스를 이송시키는 이송수단의 인/출 및 상/하 동작에 따른 행동반경을 제공하면서, 이송된 LCD 글라스를 지지하는 내측챔버와; 전술한 각 진공실 소정위치에 구비된 구동체에 의해 승강하면서 내측챔버를 밀폐하는 개폐수단과; 일측은 전술한 개폐수단에 연결되고, 타측은 외부에 별도 구비된 진공장치와 연결되어, 진공장치의 진공흡입에 의해 내측챔버 내부의 공기를 배출시키는 배기수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
이와 같이 된 본 발명은, 장치에 다단의 진공실을 구비시켜, 동시다발적으로 LCD 글라스를 건조시킬 수 있도록 함으로써, LCD 글라스의 건조 작업성을 향상시키는 한편, 챔버 내부의 공기를 진공 흡입을 통해 배출시켜, LCD 글라스 표면의 수분 또는 화학물질 및 챔버 내의 파티클을 외부로 배출시킬 수 있도록 함과 동시에, 각 진공실의 내측챔버를 인/출 가능하도록 하여 챔버 내부는 물론 내측챔버의 크리닝 작업이 용이하도록 함으로써, 챔버내의 청정성을 유지하도록 할 뿐 아니라, 부피의 확장없이도 LCD 글라스를 내측챔버로 인/출시키는 이송수단의 인/출 및 상/하 이동에 따른 작업반경을 충분히 확보하도록 하는 효과를 얻는다.

Description

평판표시기용 글라스 가공을 위한 다단 진공 챔버 장치{Multi Vacuum chamber System for drying of FPD glass}
도 1은 본 발명의 구성을 보인 측 단면도.
도 2는 본 발명 중 내측챔버와 인/출수단의 구성을 보인 정 단면도.
도 3은 본 발명인 내측챔버로 인/출되는 이송수단의 위치를 보인 정 단면도.
도 4는 본 발명의 인/출수단에 의해 인/출되는 내측챔버의 상태를 보인 부분 측 단면도.
도 5의 a 내지 e는 본 발명의 건조에 따른 동작 상태를 단계적으로 보인 부분 측 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
10 : 챔버 11 : 진공실
12 : 셔터 20 : 인/출수단
21 : 가이드프레임 22 : 롤러
30 : 내측챔버 31 : 본체
32 : 셔터 33 : 요철부
34 : 안착핀 40 : 개폐수단
41 : 구동체 42 : 차단판
43 : 흡입공 50 : 배기수단
51 : 덕트 52 : 흡입관
1 : 이송수단 G : LCD글라스
본 발명은 대형화된 LCD 글라스 다수개를 동시에 건조시키는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버 장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 글라스 제조공정에서 챔버는 글라스 표면의 수분을 제거하거나, 표면 가공을 위해 도포된 화학물질을 증발/건조시키기 위해 완전 밀폐 또는 반 밀폐된 공간을 제공하는 장치이다.
예컨대, LCD 글라스 제조공정에서 PR(감광막) 도포 후, PR내의 솔벤트를 진공을 이용하여 건조하여야 하는데, 이때, 진공 챔버 내로 LCD 글라스를 인입시킨 후, 건조시킨다.
이러한, 챔버 내부로 글라스를 인입/인출시키는 장치로는 글라스를 지지하면서 승강시키는 승강장치(리프트)와 로봇암 등이 있다.
그러나, LCD 글라스가 인입된 챔버 내부는 공간이 좁아서 LCD 글라스를 배출시키기 위한 로봇의 인입이 수월하지 못한 문제점이 있었다.
이를 해결하기 위해서는 챔버의 부피를 확장시켜야 하는데 이 경우, 작업 라인의 한정된 공간에서 많은 제약을 받게 되는 것이며, 이는 다단의 진공실을 갖는 챔버의 완성을 불가능하게 하는 요인이었다.
상기와 같은 문제점을 고려하여 창출한 본 발명의 목적은 대형화된 LCD 글라스 다수개를 동시에 건조시키는 한편, LCD 글라스를 이송시키는 이송수단의 작동 반경을 확보하면서도 슬림화 가능한 LCD 글라스 건조를 위한 다단 진공 챔버 장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 다단의 진공실을 구비하여 동시 다발적으로 건조공정이 진행되도록 하는 챔버와; 전술한 각 진공실에 일측으로부터 인/출수단으로 통해 슬라이딩되면서 인/출되고, LCD 글라스를 이송시키는 이송수단의 인/출 및 상/하 동작에 따른 행동반경을 제공하면서, 이송된 LCD글라스를 지지하는 내측챔버와; 전술한 각 진공실 소정위치에 구비된 구동체에 의해 승강하면서 내측챔버를 밀폐하는 개폐수단과; 일측은 전술한 개폐수단에 연결되고, 타측은 외부에 별도 구비된 진공장치와 연결되어, 진공장치의 진공흡입에 의해 내측챔버 내부의 공기를 배출시키는 배기수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
이와 같이 구성된 본 발명은 챔버에 다단의 진공실을 구비시켜, 동시다발적으로 또는 순차적으로 LCD 글라스를 인입 후, 건조시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버 내부의 공기를 진공장치의 진공 흡입을 통해 배출시켜, LCD 글라스 표면의 수분 또는 화학물질 및 챔버 내의 파티클을 외부로 배출시킬 수 있다.
또 한편, 본 발명은 각 진공실 내의 내측챔버가 인/출수단을 따라 슬리이딩되면서 인/출 가능하도록 되어, 챔버 내부는 물론, 내측챔버의 크리닝 작업이 용이하게 이루어지도록 한다.
끝으로, 본 발명은 부피의 확장없이도 LCD 글라스를 내측챔버로 인/출시키는 이송수단의 인/출 및 상/하 이동에 따른 작업반경을 충분히 확보할 수 있게 된다.
이와 같이 되는 본 발명 중 전술한 챔버는 예컨대, 일측이 개방되고, 개방된 부분을 셔터가 개폐시키도록 구성될 수 있다.
이때, 전술한 셔터는 구동장치에 의해 슬라이드 또는 회전 개폐되는 것일 수 있으며, 그밖에 공지된 모든 개폐수단이 적용될 수 있다.
한편, 본 발명 중 전술한 인/출수단은 예컨대, 전술한 챔버 내측에 구비되는 가이드프레임과; 전술한 가이드프레임을 따라 전술한 내측챔버가 슬라이드되도록 내측챔버의 하방에 구비되는 롤러를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 전술한 가이드프레임은 전술한 챔버의 바닥면 또는 측면에 구비될 수 있으며, 전술한 롤러는 내측챔버의 하부면 양측 또는 양 측면에 구비될 수 있다.
또 한편, 본 발명 중 전술한 내측챔버는 예컨대, 상부가 개방되고, 일측을 개폐하는 셔터가 구비된 본체와; 전술한 본체의 내측 바닥면에 LCD 글라스를 이송시키는 이송수단이 인/출되는 공간을 확보하도록 형성되는 요철부와; 전술한 요철부의 돌출되는 면에 구비되는 안착핀을 포함하여 구성될 수 있다.
또 한편, 본 발명 중 전술한 개폐수단은 예컨대, 각 진공실 의 상단에 구비 되는 한개 이상의 구동체와; 전술한 구동체의 단부에 연결되어 전술한 내측챔버의 개방된 상부로 접근/이탈하면서 내측챔버를 개폐시키되, 일측 면에서 타측 면으로 관통되면서 내측으로 연통되는 다수개의 흡입공이 형성된 차단판을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 전술한 구동체는 예컨대, 피스톤 동작하는 실린더일 수 도 있으며, 로드스크류를 정/역회전시키거나, 다수개가 연동하는 피니언을 회전시키는 모터일 수 도 있다.
또 한편, 본 발명 중 전술한 배기수단은 예컨대, 일측단은 전술한 진공장치와 연결되고, 타측단은 챔버 내부인 진공실로 인입되는 덕트와, 일측단은 덕트와 연결되고, 타측단은 전술한 개폐수단의 흡입공의 타측 면에 고정되는 신장 가능한 흡입관을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 전술한 흡입관은 예컨대, 개폐수단의 이동에 따라 신장 가능하도록 된 주름관일 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예를 첨부 도면을 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명은 첨부 도면 도 1 및내지 도 3에서 보는 바와 같이, 다단의 진공실(11)을 구비하여 동시 다발적으로 건조공정이 진행되도록 하는 챔버(10)와; 전술한 각 진공실(11) 하방에 구비되는 인/출수단(20)을 통해 슬라이딩되면서 인/출되고, LCD 글라스(G)를 이송시키는 이송수단(1)의 인/출 및 상/하 동작에 따른 행동반경을 제공하면서, 이송된 LCD글라스(G)를 지지하는 내측챔버(30)와; 전술한 각 진공실(11) 소정위치에 구비된 구동체(41)에 의해 승강하면서 내측챔버(30)를 밀폐하는 개폐수단(40)과; 일측은 전술한 개폐수단(40)에 연결되고, 타측은 외부에 별도 구비된 진공장치(60)와 연결되어, 진공장치(60)의 진공흡입에 의해 내측챔버(30) 내부의 공기를 배출시키는 배기수단(50)을 포함하여 구성된다.
여기서, 전술한 챔버(10)는 일측이 개방되고, 개방된 부분을 개폐하는 셔터(12)를 포함한다.
이때, 전술한 셔터(12)는 구동장치에 의해 슬라이드 또는 회전 개폐되는 것일 수 있으며, 그밖에 공지된 모든 개폐수단이 적용될 수 있다.
또한, 전술한 챔버(10)는 양측이 개방되고, 양측에 각각 셔터(12)가 포함되어, 일방으로 연속되는 이송라인 상에 설치할 수 도 있다.
이러한 셔터(12)는 챔버(10)의 각 진공실(11) 내부를 외부와 차단 밀폐시킨다.
한편, 전술한 인/출수단(20)은 첨부 도면 도 4에서 보는 바와 같이, 전술한 챔버(10) 내측에 구비되는 가이드프레임(21)과; 전술한 가이드프레임(21)을 따라 전술한 내측챔버(30)가 슬라이드되도록 내측챔버(30)의 하방에 구비되는 롤러(22)를 포함하여 구성된다.
여기서, 전술한 가이드프레임(21)은 전술한 챔버(10)의 각 진공실(11) 바닥면 또는 측면에 구비될 수 있으며, 전술한 롤러(22)는 내측챔버(30)의 하부면 양측 또는 양 측면에 구비된다.
이러한 본 발명은 전술한 가이드프레임(21)을 따라 전술한 내측챔버(30)를 인출하거나 인입시킬 수 있어, 챔버(10) 내부는 물론 내측챔버(30)를 청소하기가 수월하며, 분해 조립이 용이하여 유지 보수가 손쉬우며, 설치 및 운반이 용이하게 된다.
또 한편, 전술한 내측챔버(30)는 상부가 개방되고, 일측을 개폐하는 셔터(32)가 구비된 본체(31)와; 전술한 본체(31)의 내측 바닥면에 LCD 글라스(G)를 이송시키는 이송수단(1)이 인/출되는 공간을 확보하도록 형성되는 요철부(33)와; 전술한 요철부(33)의 돌출되는 면에 구비되는 안착핀(34)을 포함하여 구성된다.
여기서, 전술한 셔터(32)는 전술한 챔버(10)의 셔터(12)와 동일한 작동을 하며, 내측챔버(30)의 일측 또는 양측을 개폐시킨다.
또한, 전술한 요철부(33)는 이송수단(1)이 인/출되는 방향을 따라 다수개의 요철이 형성된 것으로, 요철의 홈 부분으로 전술한 이송수단(1)이 LCD 글라스(G)를 픽업한 상태에서 수평 인입 후, 수직 하강하면, LCD 글라스(G)가 요철부(33) 상부면에 구비된 안착핀(34)에 안착 되고, 이때, 이송수단(1)이 요철부(33)의 홈을 타고 수평으로 이동하여 내측챔버(30)와 챔버(10) 외부로 인출된다.
이와 같이, 내측챔버(30)의 안착핀(34)에 LCD 글라스(G)가 안착되면, 개폐수단(40)이 내측챔버(30)의 개방된 상부면을 개폐시키게 되는데, 전술한 개폐수단(40)에 대해 설명하면 다음과 같다.
전술한 개폐수단(40)은 전술한 각 진공실(11) 의 상단에 구비되는 한개 이상의 구동체(41)와; 전술한 구동체(41)의 단부에 연결되어 전술한 내측챔버(30)의 개방된 상부로 접근/이탈하면서 내측챔버(30)를 개폐시키되, 일측 면에서 타측 면 으로 관통되면서 내측으로 연통되는 다수개의 흡입공(43)이 형성된 차단판(42)을 포함하여 구성된다.
여기서, 전술한 구동체(41)는 피스톤 동작하는 실린더일 수 도 있으며, 로드스크류를 정/역회전시키거나, 다수개가 연동하는 피니언을 회전시키는 모터일 수 도 있다.
이러한, 개폐수단(40)은 LCD 글라스(G)가 안착된 내측챔버(30)의 상부면을 밀폐시키는 것으로, 전술한 구동체(41)가 작동하여 차단판(42)을 하강 상승시킴으로써, 내측챔버(40)의 밀폐가 가능하다.
이때, 내측챔버(40)의 일측 또는 양측을 밀폐시키는 셔터(32)의 밀폐 동작이 이루어지는 것은 당연하다.
또 한편, 전술한 배기수단(50)은 일측단은 전술한 진공장치(60)와 연결되고, 타측단은 전술한 챔버(10) 내부인 진공실(11)로 인입되는 덕트(51)와, 일측단은 덕트(51)와 연결되고, 타측단은 전술한 개폐수단(40)의 흡입공(43)에 고정되는 신장 가능한 흡입관(52)을 포함하여 구성된다.
여기서, 전술한 흡입관(52)은 전술한 개폐수단(40)의 이동에 따라 신장 가능하도록 된 주름관이다.
이러한 배기수단(50)은 전술한 진공장치(60)가 진공흡입하면, 내측챔버(30)와 개폐수단(40)에 의해 밀폐된 공간내에서 공기를 흡입하여 배출시키게 된다.
이때, 전술한 내측챔버(30)의 안착핀(34)에 안착된 LCD 글라스(G) 표면의 수분 또는 화학물질 및 파티클을 외부로 배출시키게 된다.
이와 같이 되는 본 발명의 전체적인 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명은 첨부 도면 도 5의 a)에서 보는 바와 같이, LCD 글라스(G)를 이송수단(1)이 챔버(10)의 진공실(11)에 탑제된 내측챔버(30)로 이송시킨다.
여기서, 이송수단(1)이 내측챔버(30)의 소정 위치에 정지하면, 첨부 도면 도 5의 b)에서 보는 바와 같이, 이송수단(1)은 하강하게 된다.
이때, 이송수단(1)은 내측챔버(30)의 요철부(33)의 홈으로 하강하며, 이 과정에서 LCD 글라스(G)는 요철부(33)의 돌출부분에 구비된 안착핀(34)에 안착된다.
이후, 첨부 도면 도 5의 c)에서 보는 바와 같이, 이송수단(1)이 내측챔버(30)에서 인출되어 챔버(10) 외부로 빠져 나가면, 각 셔터(12)(32)가 닫히고, 첨부 도면 도 5의 d)에서 보는 바와 같이, 개폐수단(40)의 구동체(41)가 작동하여 차단판(42)을 내측챔버(30)의 개방된 상부면으로 하강시켜 내측챔버(30)를 밀폐시킨다.
끝으로, 첨부 도면 도 5의 e)에서 보는 바와 같이, 진공장치(60)가 작동하여 밀폐된 내측챔버(30) 내의 공기를 진공흡입하여, 차단판(42)에 형성된 흡입공과(43)과 배기수단(50)인 흡입관(52) 및 덕트(51)를 거쳐 배출시킨다.
이와 같이 되는 본 발명은 챔버(10)에 다단의 진공실(11)을 구비시켜, 동시다발적으로 또는 순차적으로 LCD 글라스(G)를 인입 후, 건조시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 내측챔버(30) 내부의 공기를 진공장치(60)의 진공 흡입을 통해 배출시켜, LCD 글라스(G) 표면의 수분 또는 화학물질 및 챔버 내의 파티클을 외부로 배출시킬 수 있다.
또 한편, 본 발명은 각 진공실(11) 내의 내측챔버(30)가 인/출수단(20)을 따 라 슬리이딩되면서 인/출 가능하도록 되어, 챔버(10) 내부는 물론, 내측챔버(30)의 크리닝 작업이 용이하게 이루어지도록 한다.
끝으로, 본 발명은 부피의 확장없이도 LCD 글라스(G)를 내측챔버(30)로 인/출시키는 이송수단(1)의 인/출 및 상/하 이동에 따른 작업반경을 충분히 확보할 수 있게 된다.
이와 같이 하여서 된 본 발명은, 챔버에 다단의 진공실을 구비시켜, 동시다발적으로 LCD 글라스를 건조시킬 수 있도록 함으로써, LCD 글라스의 건조 작업성을 향상시키는 한편, 챔버 내부의 공기를 진공 흡입을 통해 배출시켜, LCD 글라스 표면의 수분 또는 화학물질 및 챔버 내의 파티클을 외부로 배출시킬 수 있도록 함과 동시에, 각 진공실의 내측챔버를 인/출 가능하도록 하여 챔버 내부는 물론 내측챔버의 크리닝 작업이 용이하도록 함으로써, 챔버내의 청정성을 유지하도록 할 뿐 아니라, 부피의 확장없이도 LCD 글라스를 내측챔버로 인/출시키는 이송수단의 인/출 및 상/하 이동에 따른 작업반경을 충분히 확보하도록 하는 효과를 얻는다.

Claims (8)

  1. LCD 글라스의 건조를 위한 챔버에 있어서, 다단의 진공실(11)을 구비하여 동시 다발적으로 건조공정이 진행되도록 하는 챔버(10)와; 상기 각 진공실(11) 하방에 구비되는 인/출수단(20)을 통해 슬라이딩되면서 인/출되고, LCD 글라스(G)를 이송시키는 이송수단(1)의 인/출 및 상/하 동작에 따른 행동반경을 제공하면서, 이송된 LCD글라스(G)를 지지하는 내측챔버(30)와; 상기 각 진공실(11) 소정위치에 구비된 구동체(41)에 의해 승강하면서 내측챔버(30)를 밀폐하는 개폐수단(40)과; 일측은 상기 개폐수단(40)에 연결되고, 타측은 외부에 별도 구비된 진공장치(60)와 연결되어, 진공장치(60)의 진공흡입에 의해 내측챔버(30) 내부의 공기를 배출시키는 배기수단(50)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 인/출수단(20)은 상기 챔버(10) 내측에 구비되는 가이드프레임(21)과; 상기 가이드프레임(21)을 따라 상기 내측챔버(30)가 슬라이드되도록 내측챔버(30)의 하방에 구비되는 롤러(22)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  3. 제 1항에 있어서, 내측챔버(30)는 상부가 개방되고, 일측을 개폐하는 셔터(32)가 구비된 본체(31)와; 상기 본체(31)의 내측 바닥면에 LCD 글라스(G)를 이송 시키는 이송수단(1)이 인/출되는 공간을 확보하도록 형성되는 요철부(33)와; 상기 요철부(33)의 돌출되는 면에 구비되는 안착핀(34)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 요철부(33)는 이송수단(1)이 인/출되는 방향을 따라 다수개의 요철이 형성되어 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 개폐수단(40)은 상기 각 진공실(11) 의 상단에 구비되는 한개 이상의 구동체(41)와; 상기 구동체(41)의 단부에 연결되어 상기 내측챔버(30)의 개방된 상부로 접근/이탈하면서 내측챔버(30)를 개폐시키되, 일측 면에서 타측 면으로 관통되면서 내측으로 연통되는 다수개의 흡입공(43)이 형성된 차단판(42)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  6. 제 1항에 있어서, 상기구동체(41)는 피스톤 동작하는 실린더로 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 배기수단(50)은 일측단은 상기 진공장치(60)와 연결되고, 타측단은 상기 챔버(10) 내부인 진공실(11)로 인입되는 덕트(51)와, 일측단은 덕트(51)와 연결되고, 타측단은 상기 개폐수단(40)의 흡입공(43)에 고정되는 신 장 가능한 흡입관(52)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 흡입관(52)은 상기 개폐수단(40)의 이동에 따라 신장 가능하도록 된 주름관으로 구성됨을 특징으로 하는 LCD 글라스의 건조를 위한 진공 챔버.
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