KR20050047313A - 박막 형성용 프린팅 설비 - Google Patents

박막 형성용 프린팅 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20050047313A
KR20050047313A KR1020030081123A KR20030081123A KR20050047313A KR 20050047313 A KR20050047313 A KR 20050047313A KR 1020030081123 A KR1020030081123 A KR 1020030081123A KR 20030081123 A KR20030081123 A KR 20030081123A KR 20050047313 A KR20050047313 A KR 20050047313A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
printing
thin film
substrate
drying
Prior art date
Application number
KR1020030081123A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101035850B1 (ko
Inventor
정진구
최준후
이동원
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020030081123A priority Critical patent/KR101035850B1/ko
Priority to US10/991,185 priority patent/US7410251B2/en
Publication of KR20050047313A publication Critical patent/KR20050047313A/ko
Priority to US12/176,865 priority patent/US7703911B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101035850B1 publication Critical patent/KR101035850B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

박막 형성 공정 시간을 줄이기 위한 박막 형성용 프린팅 설비가 개시되어 있다. 상술한 설비는 박막 형성 공정이 수행되는 프린팅 챔버와, 박막이 형성된 기판을 제공받고, 박막을 건조시키기 위해 적어도 2개의 건조 챔버를 포함한다. 따라서, 기판에 형성되는 박막의 오염 없이, 박막 형성 공정의 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

박막 형성용 프린팅 설비{PRINTING EQUIPMENTS FOR FORMING A THIN LAYER}
본 발명은 박막 형성용 프린팅 설비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 박막 형성 공정 시간을 줄이기 위한 박막 형성용 프린팅 설비에 관한 것이다.
현재 개발된 여러 가지 평판 디스플레이장치 가운데 액정표시장치는 다른 디스플레이장치에 비하여 얇고 가벼우며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖추고 있는 동시에 음극선관에 가까운 화상표시가 가능하기 때문에 모바일(Mobile) 기기에서 대형 TV에 이르기까지 다양한 전자 장치에 광범위하게 사용되고 있다.
상기 액정표시장치는 각 화소를 스위칭하는 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor) 및 화소전극이 형성된 TFT 기판과, 컬러필터 및 공통 전극이 형성된 컬러필터 기판 및 두 기판 사이에 밀봉된 액정을 포함하는 액정표시패널 및 상기 액정표시패널에 광을 제공하는 백라이트 어셈블리로 구성된다.
여기서, 상기 TFT 기판에서 패턴 형성을 위한 포토 레지스트막, 메탈의 층간 절연막, 광을 소정의 파장을 갖는 광으로 필터링 하는 컬러필터, 기판에서 평탄화를 위한 오버 코팅막 및 블랙 매트릭스(Black Matrix 또는 B/M)막들은 모두 유기물질로 이루어진 박막으로 형성된다.
상기 박막은 통상적으로 잉크젯 프린팅 방식으로 유기물질을 도포한 후 건조 챔버 내에서 건조됨으로서 형성된다. 도 1은 종래의 박막 형성용 잉크젯 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같은 잉크젯 프린팅 설비(50)는 크게 1개의 잉크젯 프린팅 챔버(10)와 1개의 버퍼 챔버(20)와 1개의 건조 챔버(30)를 포함한다. 상술한 구성을 갖는 잉크젯 프린팅 설비(50)의 가장 큰 문제점은 기판 상에 유기물을 도포하는 프린팅 시간보다 기판에 도포된 유기물을 건조하는 시간이 더 길기 때문에 박막을 형성하는 공정에서 병목현상이 발생하게 된다.
또한, 상기 박막을 가열하여 건조시키는 공정이 수행되는 건조 챔버(30)는 다수개의 기판이 안착되어 건조 공정이 수행되도록 다수개의 기판 스테이지(40)가 형성되어 있다. 이 때문에 박막 건조 공정이 수행되는 동안 다수개의 기판 스테이지(40)에 안착되는 기판들의 일부는 완전히 건조되지 않아 발생되는 오염 현상이 나타난다. 즉, 기판들에 형성된 박막이 완전히 건조되기 전에 건조된 기판의 일부를 이송할 경우 건조 환경의 변화로 박막에 오염이 발생되는 것이다.
따라서, 상기 박막이 형성된 기판들 전부가 완전히 건조된 이후에 이송되어야 하기 때문에 박막 형성 공정의 스루풋이 감소되는 문제점이 발생한다.
또한, 기판에 형성된 박막을 진공상태 하에서 건조시킬 경우 발생되는 문제점은 더욱 심각하다. 이는 박막이 형성된 기판을 진공상태 하에서 건조시킬 경우 기판 전부가 건조되기 전에 기판을 꺼낼 수 없기 때문에 공정의 스루풋이 감소되는 문제점이 발생한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판들에 형성된 박막의 건조 시간을 감소시킬 수 있는 구조를 갖는 박막 형성용 프린팅 설비를 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특성에 따른 박막 형성용 프린팅 설비는, 기판에 박막 형성 공정이 수행되는 프린팅 챔버와 상기 박막이 형성된 기판을 제공받으며, 상기 박막을 건조시키기 위해 적어도 2개의 건조 챔버를 포함하고 있다.
또한, 상기 목적을 실현한기 위한 다른 하나의 특성에 따른 박막 형성용 프린팅 설비는, 기판에 박막 형성 공정이 수행되는 프린팅 챔버; 상기 프린팅 챔버의 측면에 구비되고, 박막이 형성된 기판을 제공받는 버퍼 챔버; 상기 버퍼 챔버의 제1 측면에 구비되고, 상기 버퍼 챔버로부터 박막이 형성된 기판을 제공받으며, 상기 기판에 형성된 박막을 건조시키기 위해 독립적으로 제어되는 적어도 2개의 건조 챔버; 및 상기 버퍼 챔버의 제2 측면에 구비되고, 상기 박막이 건조된 기판을 제공받는 쿨링 챔버를 포함한다.
이러한 박막 형성용 프린팅 설비에 의하면, 독립적으로 제어가 가능한 적어도 2개 이상의 건조 챔버가 구비되어 있기 때문에 기판의 오염없이 박막 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면 및 실시예들을 참조하여, 본 발명을 상세히 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 패널의 유기막을 형성하기 위한 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이고, 도 3은 본 발명의 프린팅 설비에 포함되어 있는 잉크젯 프린터를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 2에 도시된 본 발명의 프린팅 설비(200)는 액정 표시 패널을 형성하는데 적용되는 박막 즉, 모든 유기막을 형성하는데 적용되는 장치로서 소정의 패턴들이 형성된 유리 기판 상에 유기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하기 위한 공정이 수행되는 프린팅 챔버(110), 유기막이 형성된 유리 기판을 이송하기 위한 버퍼 챔버(150), 상기 유기막이 형성된 기판을 건조시키기 위한 2개의 건조 챔버(160a, 160b)를 포함하는 구조를 갖는다.
프린팅 챔버(110)는 유리 기판의 도입 및 배출이 가능하고, 진공 상태 또는 대기압 이상의 가압 상태를 유지할 수 있는 구조를 가지고 있다. 프린팅 챔버(110)는 버퍼 챔버(150)의 제1 측면에 체결되고, 상기 유리 기판에 유기물질을 잉크젯 방식으로 도포하는 잉크젯 프린터(130)을 포함하고 있다.
잉크젯 프린터(130)은 도 3에 도시된 바와 같이 유리 기판(W)을 지지하는 스테이지(stage;120), 유리 기판(W)을 지지하고 있는 스테이지(120)를 유기물질을 도포하는 방향으로 이송하는 이송장치(122), 상기 유기막을 형성하기 위한 유기물질을 저장하는 저장탱크(124) 및 저장탱크(124)로부터 제공되는 상기 유기물질을 유리 기판(W) 상에 분사하는 분사장치(246)를 포함한다.
여기서, 분사장치(246)는 저장탱크(230)로부터 제공되는 유기물질을 유리 기판(W) 상의 TFT 기판 형성영역 또는 컬러필터 기판 형성 영역에 분사하기 위한 n개의 헤드 유닛(도시하지 않음)을 포함하고 있다.
버퍼 챔버(150)는 유리 기판의 도입 및 배출이 가능하고, 프린팅 챔버(110) 또는 2개의 건조 챔버(160a,160b) 내부의 분위기와 동일한 분위기를 유지할 수 있는 구조가지고 있으며, 프린팅 챔버(110)와 제1 건조 챔버(160a) 및 제2 건조 챔버(160b)의 일측면에 각각 면접되도록 위치되어 있다.
즉, 버퍼 챔버(150)는 프린팅 챔버(110), 제1 건조 챔버(160a) 및 제2 건조챔버(160b)에 각각 체결되는 상태를 갖는다. 버퍼 챔버(150)는 프린팅 챔버(110)에서 유기막이 도포된 유리 기판을 제1 건조 챔버(160a) 또는 제2 건조 챔버(160b)로 유입될 수 있는 구조 및 제1 건조 챔버(160a) 또는 제2 건조 챔버(160b)에 존재하는 유리 기판을 프린팅 챔버(110)내로 제공할 수 있는 구조를 갖는다.
도면에 도시되어 있지는 않지만, 상기 버퍼 챔버 내에는 유기막이 도포된 유리 기판을 제1 건조 챔버 및 제2 건조 챔버로 이송하고, 제1 및 제2 건조 챔버에서 건조 공정이 수행된 기판을 다음 공정을 수행하기 위한 공정 챔버로 이송하는 이송암이 구비되어 있다.
제1 건조 챔버(160a) 및 제2 건조 챔버(160b)는 유기막이 형성된 유리 기판이 유입 또는 배출되고, 버퍼 챔버(150)의 제2 측면에 적층된 상태로 체결되어 있다. 그리고, 제1 건조 챔버(160a) 및 제2 건조 챔버(160b)에는 적어도 1개의 유리 기판을 지지하기 위한 적어도 1개의 기판 스테이지(170)가 각각 구비되어 있다. 본 제1 실시예에서는 제1 건조 챔버(160a) 및 제2 건조 챔버(160b)에는 각각 2개의 기판 스테이지(170)가 구비되어 있다.
또한, 제1 건조 챔버(160a) 및 제2 건조 챔버(160b)에는 상기 기판 스테이지 상(170)에 지지되어 있는 유리 기판에 형성된 유기막을 건조시키기 위한 열을 제공하는 히터(180)가 구비되어 있다.
따라서, 상술한 구조를 갖는 프린팅 설비(200)는 독립적으로 제어가 가능한 적어도 2개 이상의 건조 챔버들을 가지고 있기 때문에 유기막의 건조 공정시 기판의 오염 발생을 억제하며, 기판에 형성된 유기막의 건조 시간을 효과적으로 단축시킬 수 있다.
이상에서는 액정 표시 패널에 유기막을 형성하는 것을 설명하였으나, 당업자라면 유기전계 발광 표시 장치에 유기막을 형성할 수도 있다.
또한, 이상에서는 상기 프린팅 챔버가 유기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 공정을 수행하는 것을 설명하였으나, 무기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 공정을 수행할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시패널의 유기막을 형성하기 위한 잉크젯 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 4에 도시된 바와 같은, 프린팅 설비(300)는 소정의 패턴들이 형성된 유리기판 상에 유기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 공정이 수행되는 프린팅 챔버(210), 유기막이 형성된 유리 기판을 이송하기 위한 버퍼 챔버(250), 상기 유기막이 형성된 기판을 건조시키기 위한 4개의 건조 챔버(260)를 포함하는 구조를 갖는다. 상기 프린팅 챔버(210)는 유기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 것을 일례로 설명하였으나, 당업자라면 상기 프린팅 챔버가 무기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하도록 구현할 수도 있다.
프린팅 챔버(210)는 유리 기판의 도입 및 배출이 가능하고, 진공 상태 또는 대기압 이상의 가압 상태를 유지할 수 있는 구조를 가지고 있다. 또한, 프린팅 챔버(210)는 버퍼 챔버(250)의 제1 측면에 체결되고, 상기 유리 기판에 유기물질을 잉크젯 방식으로 도포하는 잉크젯 프린터(130)를 포함한다. 여기서, 잉크젯 프린터(130)는 상기 제1 실시예의 도 3에서 설명하였으므로 그 설명은 생략한다.
버퍼 챔버(250)는 유리 기판의 도입 및 배출이 가능하고, 프린팅 챔버(210) 또는 4개의 건조 챔버(260) 내부의 분위기와 동일한 분위기를 유지할 수 있는 구조를 가지고 있다. 여기서, 4개의 건조 챔버(260)는 제1 내지 제4 건조 챔버(260a,260b,260c,260d)이다.
버퍼 챔버(250)는 프린팅 챔버(210), 4개의 건조 챔버(260)와 각각 체결되고, 프린팅 챔버(210)에서 유기막 형성 공정이 수행된 유리 기판이 제1, 제2, 제3 및 제4 건조 챔버(260a,260b,260c,260d)로 각각 유입될 수 있는 구조를 갖는다.
이때 도면에 도시되어 있지는 않지만, 상기 버퍼 챔버 내에는 유기막 형성공정이 수행된 유리 기판을 제1 내지 제4 건조 챔버(260a,260b,260c,260d)로 이송하고, 제1 내지 제4 건조 챔버(260a,260b,260c,260d)에서 건조 공정이 수행된 유리 기판을 다음 공정을 수행하기 위한 공정 챔버(도시하지 않음)로 이송하는 이송암을 포함한다.
제1 내지 제4 건조 챔버(260a,260b,260c,260d)는 유기막이 형성된 유리 기판이 유입 또는 배출되고, 건조 챔버 내부를 진공 상태로 유지할 수 있도록 가스 배출부(275)가 형성된다. 도면에 도시하지 않았지만, 상기 가스 배출부에는 건조 챔버 내부의 압력을 설정하기 위한 진공 펌프 및 밸브가 형성된다.
여기서, 제1 내지 제4 건조 챔버(260a,260b,260c,260d)는 적층된 상태로 배치되며, 버퍼 챔버(250)의 제3 측면에 체결된 상태를 갖고, 적어도 1개의 유리 기판을 지지하기 위해 적어도 1개의 기판 스테이지(270)가 각각 구비되어 있다. 본 발명의 제2 실시예에서는 각각의 건조 챔버마다 1개의 기판 스테이지(270)가 구비된다.
따라서, 상술한 구조를 갖는 프린팅 설비(300)는 독립적으로 제어가 가능한 4개의 건조 챔버들을 가지고 있기 때문에 건조 공정시 기판의 오염 발생을 억제하며, 기판에 형성된 유기막의 건조 시간을 효과적으로 단축시킬 수 있다.
이상에서는 액정 표시 패널에 유기막을 형성하는 것을 설명하였으나, 당업자라면 유기전계 발광 표시 장치 등에 채용되는 유기막을 형성할 수도 있다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시패널의 유기막을 형성하기 위한 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 5에 도시된 바와 같은, 프린팅 설비(400)는 소정의 패턴들이 형성된 유리기판 상에 유기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하기 위한 프린팅 챔버(310), 유기막이 형성된 유리 기판을 이송하기 위한 버퍼 챔버(350), 상기 유기막이 형성된 기판을 건조시키기 위한 8개의 건조 챔버(360) 및 쿨링 챔버(390)를 포함하는 구조를 갖는다. 상기 프린팅 챔버(210)는 유기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 것을 일례로 설명하였으나, 당업자라면 상기 프린팅 챔버가 무기막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하도록 구현할 수도 있다.
프린팅 챔버(310)는 유리 기판의 도입 및 배출이 가능하고, 진공 상태 또는 대기압 이상의 가압 상태를 유지할 수 있는 구조를 가지고 있다. 또한, 프린팅 챔버(310)는 버퍼 챔버(350)의 측면에 체결되고, 상기 유리 기판에 유기물질을 잉크젯 방식으로 도포하는 잉크젯 프린터(130)를 포함하고 있다. 여기서, 잉크젯 프린터(310)는 상기 제1 실시예의 도 3에서 설명하였으므로 그 설명은 생략한다.
버퍼 챔버(350)는 유리 기판의 도입 및 배출이 가능하고, 프린팅 챔버(310) 또는 상기 8개의 건조 챔버(360) 내부의 분위기와 동일한 분위기를 유지할 수 있는 구조 갖는다. 여기서, 8개의 건조 챔버(360)는 제1 내지 제8 건조 챔버(360a, 360b, 360c, 360d, 360e, 360f, 360g, 360h)이다.
즉, 버퍼 챔버(350)는 프린팅 챔버(310)와 8개의 건조 챔버(360)가 각각 체결되며, 프린팅 챔버(310)에서 형성된 유기막이 도포된 유리 기판이 버퍼 챔버(350)를 통하여 8개의 건조 챔버(360)로 유입될 수 있는 구조를 갖는다.
이때 도면에 도시되어 있지는 않지만, 상기 버퍼 챔버 내에는 프린팅 챔버 위치한 유기막이 도포된 유리 기판을 건조 챔버로 이송하고, 8개의 건조 챔버(360)에서 건조 공정이 수행된 유기막이 형성된 기판을 다음 공정을 수행하기 위한 공정 챔버 또는 쿨링 챔버(390)로 이송하는 이송암이 구비되어 있다.
제1 내지 제4 건조 챔버(360a, 360b, 360c, 360d)는 상기 버퍼 챔버의 제2 측면에 적층된 상태로 배치되고, 유기막이 형성된 유리 기판이 유입 또는 배출되는 구조를 가지고 있다. 그리고, 제5 내지 제8 건조 챔버(360e, 360f, 360g, 360h)는 적층된 상태로 배치되며, 버퍼 챔버(350)의 제3 측면에 각각 체결되어 있다.
상기 8개의 건조 챔버(360)에는 독립적으로 제어가 가능하도록 1개의 기판 스테이지(370)가 각각 구비되어 있고, 기판 스테이지 상에 지지되어 있는 유리 기판의 유기막을 건조시키기 위한 열을 제공하는 히터(도시하지 않음)가 구비되어 있다.
이상에서는 액정 표시 패널에 유기막을 형성하는 것을 설명하였으나, 당업자라면 유기전계 발광 표시 장치 등에 채용되는 유기막을 형성할 수도 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 박막 형성용 프린팅 설비는 액정 표시 장치에 적용되는 박막을 도포 및 건조하여 형성하는 장치로서, 독립적으로 제어가 가능한 적어도 2개의 건조 챔버를 포함하고 있다. 상기 독립적으로 제어가 가능한 적어도 2개의 건조 챔버는 박막에 포함된 용매를 완전히 건조시킴으로서 상기 박막에 잔류하는 용매에 의해 발생되는 오염을 방지할 수 있다.
또한, 건조 챔버로 제공되는 기판을 순서대로 건조시킨 이후 다른 공정 챔버로 이송하는 공정이 원활하게 수행되기 때문에 박막 형성 공정의 병목현상을 방지할 수 있어 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
이상에서 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 박막 형성용 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시패널의 유기막을 형성하기 위한 박막 형성용 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 3은 본 발명의 프린팅 설비에 포함되어 있는 잉크젯 프린터를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시패널의 유기막을 형성하기 위한 박막 형성용 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시패널의 유기막을 형성하기 위한 프린팅 설비를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110, 210, 310 : 프린팅 챔버 130 : 잉크젯 프린터
150, 250, 350 : 버퍼 챔버 160, 260, 360 : 건조 챔버
170, 270, 370 : 기판 스테이지 180 : 히터
275 : 가스 배출구 200, 300, 4000 : 프린팅 설비

Claims (12)

  1. 기판 상에 박막 형성 공정이 수행되는 프린팅 챔버; 및
    상기 박막이 형성된 기판을 제공받고, 상기 박막을 건조시키는 적어도 2개 이상의 건조 챔버를 포함하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프린팅 챔버는 상기 기판 상에 박막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 잉크젯 프린터를 포함하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  3. 제1항에 있어서, 상기 프린팅 챔버와 상기 건조 챔버 사이에는 상기 박막이 형성된 기판들을 상기 건조 챔버로 이송하는 버퍼 챔버가 구비된 것을 특징으로 하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  4. 제3항에 있어서, 상기 버퍼 챔버는 상기 프린팅 챔버 및 상기 건조 챔버에 로딩된 기판을 이송하는 이송암을 포함하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  5. 제1항에 있어서, 상기 건조 챔버는 독립적으로 각각 제어되며, 적어도 하나의 기판 스테이지를 포함하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  6. 제1항에 있어서, 상기 건조 챔버는 상기 기판에 열을 제공하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  7. 제1항에 있어서, 상기 건조 챔버에는 내부를 진공상태로 유지하는 공기 배출부가 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  8. 제1항에 있어서, 상기 박막은 포토 레지스트막, 층간 절연막, 레드 컬러필터, 블루 컬러필터, 그린 컬러필터, 화이트 컬러필터, 오버 코팅막 및 블랙 매트릭스층으로 이루어진 유기막중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  9. 기판에 박막 형성 공정이 수행되는 프린팅 챔버;
    상기 프린팅 챔버의 측면에 구비되고, 박막이 형성된 기판을 제공받는 버퍼 챔버;
    상기 버퍼 챔버의 제1 측면에 구비되고, 상기 버퍼 챔버로부터 박막이 형성된 기판을 제공받으며, 상기 기판에 형성된 박막을 건조시키기 위해 독립적으로 제어되는 적어도 2개 이상의 건조 챔버; 및
    상기 버퍼 챔버의 제2 측면에 구비되고, 상기 박막이 건조된 기판을 제공받는 쿨링 챔버를 포함하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  10. 제9항에 있어서, 상기 프린팅 챔버는 상기 기판 상에 박막을 잉크젯 프린팅 방식으로 형성하는 잉크젯 프린터를 포함하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  11. 제9항에 있어서, 상기 건조 챔버는 상기 기판에 열을 제공하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 형성용 프린팅 설비.
  12. 제9항에 있어서, 상기 건조 챔버에는 내부를 진공상태로 유지하는 공기 배출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 형성용 프린팅 설비.
KR1020030081123A 2003-11-17 2003-11-17 박막 형성용 프린팅 설비 KR101035850B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030081123A KR101035850B1 (ko) 2003-11-17 2003-11-17 박막 형성용 프린팅 설비
US10/991,185 US7410251B2 (en) 2003-11-17 2004-11-17 Apparatus for forming a thin film using an inkjet printing method
US12/176,865 US7703911B2 (en) 2003-11-17 2008-07-21 Apparatus for forming a thin film using an inkjet printing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030081123A KR101035850B1 (ko) 2003-11-17 2003-11-17 박막 형성용 프린팅 설비

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050047313A true KR20050047313A (ko) 2005-05-20
KR101035850B1 KR101035850B1 (ko) 2011-05-19

Family

ID=34567773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030081123A KR101035850B1 (ko) 2003-11-17 2003-11-17 박막 형성용 프린팅 설비

Country Status (2)

Country Link
US (2) US7410251B2 (ko)
KR (1) KR101035850B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100654605B1 (ko) * 2005-05-24 2006-12-08 태화일렉트론(주) 평판표시기용 글라스 가공을 위한 다단 진공 챔버 장치
KR101878084B1 (ko) * 2013-12-26 2018-07-12 카티바, 인크. 전자 장치의 열 처리를 위한 장치 및 기술
US11338319B2 (en) 2014-04-30 2022-05-24 Kateeva, Inc. Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating
US11489119B2 (en) 2014-01-21 2022-11-01 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for electronic device encapsulation
US11633968B2 (en) 2008-06-13 2023-04-25 Kateeva, Inc. Low-particle gas enclosure systems and methods
US11975546B2 (en) 2008-06-13 2024-05-07 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US12018857B2 (en) 2008-06-13 2024-06-25 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101272328B1 (ko) * 2005-12-14 2013-06-07 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템 및 이를 이용한 박막 트랜지스터표시판의 제조 방법
US9048344B2 (en) 2008-06-13 2015-06-02 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US10442226B2 (en) 2008-06-13 2019-10-15 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US8899171B2 (en) 2008-06-13 2014-12-02 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US9604245B2 (en) 2008-06-13 2017-03-28 Kateeva, Inc. Gas enclosure systems and methods utilizing an auxiliary enclosure
US8383202B2 (en) * 2008-06-13 2013-02-26 Kateeva, Inc. Method and apparatus for load-locked printing
US9120344B2 (en) 2011-08-09 2015-09-01 Kateeva, Inc. Apparatus and method for control of print gap
KR102016871B1 (ko) * 2011-08-09 2019-08-30 카티바, 인크. 하향 인쇄 장치 및 방법
US9343678B2 (en) * 2014-01-21 2016-05-17 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for electronic device encapsulation
US9909022B2 (en) 2014-07-25 2018-03-06 Kateeva, Inc. Organic thin film ink compositions and methods
JP6570147B2 (ja) 2014-11-26 2019-09-04 カティーバ， インコーポレイテッド 環境的に制御されたコーティングシステム
WO2017039857A1 (en) * 2015-08-31 2017-03-09 Kateeva, Inc. Di- and mono(meth)acrylate based organic thin film ink compositions
EP3377234A4 (en) 2015-11-16 2019-08-07 Kateeva, Inc. SYSTEMS AND METHOD FOR THE THERMAL PROCESSING OF A SUBSTRATE
CN105702871B (zh) * 2016-02-02 2020-03-31 西安交通大学 一种利用溶液抽气通气法制备钙钛矿太阳能电池中钙钛矿薄膜的方法
CN105702870A (zh) * 2016-02-02 2016-06-22 西安交通大学 一种利用溶液抽气法制备钙钛矿太阳能电池中钙钛矿薄膜的方法
US20230276685A9 (en) * 2016-08-26 2023-08-31 Najing Technology Corporation Limited Manufacturing method for light emitting device, light emitting device, and hybrid light emitting device
WO2018195066A2 (en) 2017-04-21 2018-10-25 Kateeva, Inc. Compositions and techniques for forming organic thin films
CN109534686A (zh) * 2018-12-04 2019-03-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 烘烤箱

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4751528A (en) * 1987-09-09 1988-06-14 Spectra, Inc. Platen arrangement for hot melt ink jet apparatus
ES2092222T3 (es) * 1992-05-01 1996-11-16 Hewlett Packard Co Sistema soplante calentado en una impresora de chorro de tinta de color.
KR0180344B1 (ko) * 1995-10-18 1999-04-15 김광호 반도체 웨이퍼의 건조장치
KR970030519A (ko) * 1995-11-16 1997-06-26 김광호 웨이퍼의 건조장치
US6283589B1 (en) * 1998-04-29 2001-09-04 Creo Srl Resolution ink jet printing
JP2000056474A (ja) * 1998-08-05 2000-02-25 Tokyo Electron Ltd 基板処理方法
JP3711226B2 (ja) * 2000-02-23 2005-11-02 大日本印刷株式会社 真空乾燥装置および真空乾燥方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100654605B1 (ko) * 2005-05-24 2006-12-08 태화일렉트론(주) 평판표시기용 글라스 가공을 위한 다단 진공 챔버 장치
US11633968B2 (en) 2008-06-13 2023-04-25 Kateeva, Inc. Low-particle gas enclosure systems and methods
US11975546B2 (en) 2008-06-13 2024-05-07 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US12018857B2 (en) 2008-06-13 2024-06-25 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
KR101878084B1 (ko) * 2013-12-26 2018-07-12 카티바, 인크. 전자 장치의 열 처리를 위한 장치 및 기술
US10468279B2 (en) 2013-12-26 2019-11-05 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for thermal treatment of electronic devices
US11107712B2 (en) 2013-12-26 2021-08-31 Kateeva, Inc. Techniques for thermal treatment of electronic devices
US11489119B2 (en) 2014-01-21 2022-11-01 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for electronic device encapsulation
US11338319B2 (en) 2014-04-30 2022-05-24 Kateeva, Inc. Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating

Also Published As

Publication number Publication date
US20080273072A1 (en) 2008-11-06
US7703911B2 (en) 2010-04-27
US20050104945A1 (en) 2005-05-19
KR101035850B1 (ko) 2011-05-19
US7410251B2 (en) 2008-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101035850B1 (ko) 박막 형성용 프린팅 설비
US7273637B2 (en) Thin film, thin film manufacturing method, thin film manufacturing apparatus, organic EL device, organic EL device manufacturing method and electronic equipment
KR100453990B1 (ko) 기밀 챔버에서의 접속 라인의 관통 구조 및 이것을 구비한 토출 장치, 액정 표시 장치의 제조 방법, 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법, 전자 방출 장치의 제조 방법, ｐｄｐ 장치의 제조 방법, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 유기 ｅｌ의 제조 방법, 스페이서 형성 방법, 금속 배선 형성 방법, 렌즈 형성 방법, 레지스트 형성 방법 및 광확산체 형성 방법
CN100481570C (zh) 有机电致发光装置及其电子装置
TW558508B (en) Discharge method and its apparatus, electro-optic device, method and apparatus for manufacturing the device, color filter, method and apparatus for manufacturing the filter, device with substrate, and method and apparatus for manufacturing the device
JP4396607B2 (ja) 膜形成方法、有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法、有機エレクトロルミネセンス装置及び電子機器
CN1992157B (zh) 显示装置的制造装置及显示装置的制造方法
US7459176B2 (en) Apparatus and method for fabricating functional film
JP2005152884A (ja) 液滴供給設備、これを用いた表示装置の製造方法。
JP2006210496A (ja) 基板乾燥装置、およびこれを備えた基板処理システム、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
US20060159841A1 (en) Liquid composition, electro-optic device and method for manufacturing the same, organic electroluminescent device and method for manufacturing the same
KR100497816B1 (ko) 건조 장치 및 이것을 구비하는 워크 처리 장치
JP2006260779A (ja) 電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器
JP2006204997A (ja) 基板乾燥装置、およびこれを備えた基板処理システム、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
CN100502030C (zh) 有机电致发光装置及其电子装置
JP2004330136A (ja) 液状膜の乾燥方法、有機ｅｌパネルの製造方法、電気光学パネルの製造方法及び電子機器の製造方法、並びに液状膜の乾燥装置、電気光学パネル、電気光学装置及び電子機器
JP2006260778A (ja) 基板処理装置
JP2005172316A (ja) 減圧乾燥装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP2006210682A (ja) 基板乾燥装置、基板処理システム、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2004335351A (ja) 電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電気光学装置の製造方法及び電子機器の製造方法
KR100666534B1 (ko) 레이져 전사방법을 사용하는 대면적 유기박막 증착장치
JP4453251B2 (ja) 描画作業ライン
JP2007109602A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子、及びそれを備えた有機ｅｌディスプレイ
JP2005322436A (ja) 有機ｅｌ素子の製造方法及び装置、並びに有機ｅｌ素子
JP2009066468A (ja) 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee