KR20200028140A - Magnet coupling type gate valve system - Google Patents
Magnet coupling type gate valve system Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200028140A KR20200028140A KR1020180106435A KR20180106435A KR20200028140A KR 20200028140 A KR20200028140 A KR 20200028140A KR 1020180106435 A KR1020180106435 A KR 1020180106435A KR 20180106435 A KR20180106435 A KR 20180106435A KR 20200028140 A KR20200028140 A KR 20200028140A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- door
- magnetic body
- rotating
- type gate
- coupling type
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/0644—One-way valve
- F16K31/0668—Sliding valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/08—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid using a permanent magnet
- F16K31/086—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid using a permanent magnet the magnet being movable and actuating a second magnet connected to the closing element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자력을 이용하여 도어를 이동시키는 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic coupling type gate valve system, and more particularly, to a magnetic coupling type gate valve system for moving a door using magnetic force.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.In general, the chamber is an industrial facility facility used to manufacture advanced semiconductor devices, display devices, or other medical devices, such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, and OLED panels, which require a vacuum or high-clean working environment. The gate valve attached to the chamber serves as a doorway for the chamber, and is a type of device that opens a door to move a semiconductor chip or wafer into the chamber space and closes the door again to maintain an airtight state in the chamber.
한편, 이러한 종래 게이트 밸브는, 일반적으로 모터나 실린더를 구동 장치로 사용하는 것으로서, 이러한 모터나 실린더 등의 구동 장치들로부터 게이트 밸브의 내부 환경을 청정하게 유지할 수 있도록 벨로우즈관이나 오링 등을 이용하여 기밀을 유지하였으나, 이러한 벨로우즈관이나 오링 역시, 장시간 사용후 부품 노후화로 인하여 이물질이 발생될 수 있는 문제점들이 있었다.Meanwhile, such a conventional gate valve generally uses a motor or a cylinder as a driving device, and uses a bellows tube or an O-ring to keep the internal environment of the gate valve clean from driving devices such as a motor or a cylinder. Although the airtightness was maintained, these bellows pipes and O-rings also had problems that foreign substances could be generated due to aging of the components after long-term use.
이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 일본특허출원 제1993-350099호에 개시된 바와 같이, 게이트 밸브의 내부에 영구자석을 설치하고, 외부에 이와 대응되는 전자석을 이용하여 도어를 비접촉 방식으로 승하강시킬 수 있는 기술이 개발되었다.As a conventional technique for solving this, as disclosed in Japanese Patent Application No. 1993-350099, a permanent magnet is installed inside the gate valve, and the door is moved up and down in a non-contact manner using an electromagnet corresponding thereto. Technology that can be developed has been developed.
그러나, 이러한 종래의 영구자석과 전자석을 이용한 비접촉식 도어 이동 기술은, 영구자석에 비해 상대적으로 전자석의 자력 효율이 떨어져서 강력한 자력을 발생시키기 어렵고, 전자석은 코어나 코일이나 전원 장치나 제어부 등 필요한 부품의 개수가 너무 많아서 설치 비용이 증대되고, 차지하는 부피 역시 커지기 때문에 챔버와 챔버 사이에서 일반적으로 매우 협소한 게이트 밸브의 설치 공간에 적합하지 않았었던 문제점들이 있었다.However, such a conventional non-contact door movement technology using a permanent magnet and an electromagnet is difficult to generate a strong magnetic force due to a relatively low magnetic force efficiency of the electromagnet compared to the permanent magnet, and the electromagnet is required for core, coil, power supply or control parts. There were problems that were not suitable for the installation space of a very narrow gate valve between the chamber and the chamber because the installation cost is increased because the number is too large and the volume occupied is also large.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 영구자석의 개수와 배열을 늘려서 손쉽게 자력을 증대시킬 수 있으며, 부품의 개수나 전자석 제어 과정이 불필요하여 설비 비용과 설치 공간을 크게 절감할 수 있고, 밸브 하우징의 측면과 상면을 이용하여 공간 활용도를 높이며, 승하강 동작만이 아니라 도어 개폐 동작에서도 마그넷 커플링을 이용하여 밸브 하우징의 내부 청정도를 크게 향상시킬 수 있게 하는 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The idea of the present invention is to solve these problems, it is possible to easily increase the magnetic force by increasing the number and arrangement of permanent magnets, and the number of parts or the electromagnet control process is unnecessary, which greatly reduces facility cost and installation space. A magnetic coupling type gate valve that increases space utilization by using the side and top surfaces of the valve housing, and greatly improves the internal cleanliness of the valve housing by using the magnet coupling in the door opening / closing operation as well as the raising / lowering operation. In providing a system. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템은, 통로가 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐시키는 도어; 및 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시키는 도어 이동 장치;를 포함하고, 상기 도어 이동 장치는, 상기 밸브 하우징의 내부에 설치되고, 상기 도어와 연동되는 내부 자성체; 상기 밸브 하우징의 외부에 설치되고, 상기 내부 자성체와 대응되는 외부 자성체; 및 상기 밸브 하우징의 외부에 설치되고, 상기 내부 자성체가 자력에 의해 이동될 수 있도록 상기 외부 자성체를 축회전시키는 자성체 축회전 장치;를 포함할 수 있다.A magnet coupling type gate valve system according to the spirit of the present invention for solving the above problems includes: a valve housing in which a passage is formed; A door that opens and closes the passage; And a door moving device for moving the door in the passage direction, wherein the door moving device includes: an internal magnetic body installed in the valve housing and interlocked with the door; An external magnetic body installed outside the valve housing and corresponding to the internal magnetic body; And it is installed on the outside of the valve housing, the magnetic shaft rotating device for rotating the external magnetic body so that the inner magnetic body can be moved by a magnetic force; may include.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 이동되고, 상기 통로 대향 위치에서 통로 폐쇄 위치까지 제 2 방향으로 2차 이동되는 L 모션 도어일 수 있다.Further, according to the present invention, the door may be an L motion door that is primarily moved in the first direction from the standby position to the passage opposite position, and is secondly moved in the second direction from the passage opposite position to the passage closed position. .
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 이동 장치는, 상기 도어가 상기 2차 이동될 수 있도록 상기 1차 이동되는 헤드부와 상기 도어 사이에 작동 유체 라인에 의해 작동되는 실린더가 설치될 수 있다.Further, according to the present invention, in the door moving device, a cylinder operated by a working fluid line may be installed between the first moving head portion and the door so that the door can be moved secondarily.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 이동 장치는, 상기 도어가 상기 2차 이동시키는 자성체 회전 장치;를 더 포함하고, 상기 자성체 회전 장치는, 상기 도어에 설치된 랙기어와 맞물리는 피니언 기어와 연결되는 내부 회전형 자성체와 마그넷 커플링되어 상기 내부 회전형 자성체를 회전시키고, 상기 밸브 하우징의 외부에 설치되는 외부 회전형 자성체; 및 상기 외부 회전형 자성체를 회전시키는 회전형 액츄에이터;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door moving device further comprises a magnetic body rotating device for the door to move the secondary; the magnetic body rotating device is connected to a pinion gear engaged with a rack gear installed in the door An external rotating magnetic body which is magnet-coupled with the internal rotating magnetic body to rotate the internal rotating magnetic body, and is installed outside the valve housing; And a rotating actuator that rotates the external rotating magnetic body.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징의 일측에 복수개의 도어들이 대기할 수 있는 도어 교체 영역이 형성되고, 상기 밸브 하우징의 내부에서 도어 교체가 가능하도록 상기 도어는 헤드부로부터 착탈 가능하게 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, a door replacement area in which a plurality of doors can wait is formed on one side of the valve housing, and the door is detachably installed from the head so that the door can be replaced inside the valve housing. You can.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 외부 자성체는, 상기 밸브 하우징의 원통형 돌출부의 일측에 설치되고, 상기 돌출부의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-1 축회전 자성체 어레이;를 포함하고, 상기 자성체 축회전 장치는, 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이를 축회전시키는 제 1-1 자성체 축회전 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the external magnetic body is installed on one side of the cylindrical projection of the valve housing, is formed in a ring shape or an arc shape so as to correspond to the outer diameter surface of the projection, the magnetic force acting on the internal magnetic body Includes; 1-1 axis rotating magnetic body array that can be rotated to the axis of rotation of the projection so that the polarity of the change; The magnetic body axis rotating device, the 1-1 axis rotation to rotate the magnetic body array The 1-1 magnetic material shaft rotating device; may include.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 외부 자성체는, 상기 밸브 하우징의 원통형 돌출부의 타측에 설치되고, 상기 돌출부의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-2 축회전 자성체 어레이;를 더 포함하고, 상기 자성체 축회전 장치는, 상기 제 1-2 축회전 자성체 어레이를 축회전시키는 제 1-2 자성체 축회전 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the external magnetic body is installed on the other side of the cylindrical projection of the valve housing, is formed in a ring shape or an arc shape to correspond to the outer diameter surface of the projection, the magnetic force acting on the internal magnetic body The first and second axial rotating magnetic body arrays that can be axially rotated with the rotating shaft so that the polarity of the axial change can be further included, and the magnetic body axial rotating device, the first and second axial rotating magnetic body arrays axially rotating The first and second magnetic material shaft rotating device; may further include.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1-1 자성체 축회전 장치는, 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이의 외경면에 형성되는 종동 기어; 상기 종동 기어와 치합되어 상기 종동 기어를 구동시키는 구동 기어; 및 상기 구동 기어를 회전시키는 구동 모터;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the 1-1 magnetic axis rotating device, the driven gear formed on the outer diameter surface of the 1-1 axis rotating magnetic body array; A driving gear engaged with the driven gear to drive the driven gear; And a driving motor that rotates the driving gear.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 자성체 축회전 장치는, 상기 도어를 상기 1차 이동시킬 수 있는 제 1 자성체 축회전 장치; 및 상기 도어를 상기 2차 이동시킬 수 있는 제 2 자성체 축회전 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the magnetic body axial rotation device, the first magnetic body axial rotation device capable of first moving the door; And a second magnetic body axis rotation device capable of moving the door to the secondary position.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 이동 장치는, 상기 밸브 하우징의 내부에 설치되고, 상기 도어 또는 상기 도어가 설치된 가동대를 안내하는 도어 안내 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door moving device, a door guide device installed inside the valve housing, guiding the door or a movable base on which the door is installed may further include a.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 안내 장치는, 상기 도어를 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 안내하는 제 1 도어 안내 장치; 및 상기 도어를 상기 통로 대향 위치에서 통로 폐쇄 위치까지 제 2 방향으로 2차 안내하는 제 2 도어 안내 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door guide device comprises: a first door guide device for first guiding the door in a first direction from a standby position to a position opposite the passage; And a second door guide device for secondarily guiding the door from the position opposite the passage to the closed position of the passage in a second direction.
또한, 본 발명에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템은, 상기 내부 자성체가 상기 외부 자성체로부터 멀어지는 경우, 상기 도어를 준비 위치로 복귀시킬 수 있는 복귀 자성체;를 더 포함할 수 있다.In addition, the magnet coupling type gate valve system according to the present invention may further include a return magnetic body capable of returning the door to the ready position when the inner magnetic body is moved away from the outer magnetic body.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 내부 자성체 및 상기 외부 자성체는 영구 자석일 수 있다.Further, according to the present invention, the inner magnetic body and the outer magnetic body may be permanent magnets.
또한, 본 발명에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;를 더 포함할 수 있다.In addition, the magnet coupling type gate valve system according to the present invention may further include an identification device capable of identifying identification information of the door so that operation is allowed only when matching identification information.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 영구자석과 영구자석을 마그넷 커플링하여 비접촉식으로 도어를 이송시킬 수 있는 동시에, 영구자석의 개수와 배열을 늘려서 손쉽게 자력을 증대시킬 수 있으며, 부품의 개수나 전자석 제어 과정이 불필요하여 설비 비용과 설치 공간을 크게 절감할 수 있고, 밸브 하우징의 측면과 상면을 이용하여 공간 활용도를 높이며, 승하강(1차 이동) 동작만이 아니라 개폐(2차 이동) 동작에서도 마그넷 커플링을 이용하여 밸브 하우징의 내부 청정도를 크게 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to some embodiments of the present invention made as described above, the permanent magnet and the permanent magnet can be magnetically coupled to transfer the door in a non-contact manner, and at the same time, the number and arrangement of the permanent magnets can be increased to easily increase the magnetic force. , No need for the number of parts or the electromagnet control process, which can greatly reduce the equipment cost and installation space, increase the space utilization by using the side and top surfaces of the valve housing, and open and close as well as the operation of elevating (primary movement) Secondary movement) also has the effect of greatly improving the internal cleanliness of the valve housing using a magnet coupling. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 측단면도이다.
도 2는 도 1의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 하강 상태를 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 1의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 상승 상태를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 정면도이다.
도 5는 도 1의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어를 나타내는 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 및 자성체 회전 장치를 나타내는 측단면도이다.
도 7은 도 6의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 자성체 회전 장치를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 측단면도이다.
도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 측단면도이다.
도 11은 도 10의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 식별 과정의 일례를 나타내는 순서도이다.
도 12는 도 10의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 식별 과정의 다른 일례를 나타내는 순서도이다.
도 13은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 폐쇄 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 14는 도 13의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 개방 상태를 나타내는 사시도이다.
도 15는 도 13의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 나타내는 단면도들이다.
도 16은 도 13의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템의 제 2 자성체 축회전 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a magnet coupling type gate valve system according to some embodiments of the present invention.
FIG. 2 is a front view showing a door lowered state of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 1.
FIG. 3 is a front view showing a door rising state of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 1.
4 is a front view showing a magnet coupling type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
FIG. 5 is a front view showing the door of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 1.
6 is a side cross-sectional view illustrating a door and magnetic body rotating device of a magnet coupling type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
7 is a perspective view illustrating a magnetic material rotating device of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 6.
8 is a side cross-sectional view showing a magnet coupling type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
9 is a side cross-sectional view showing a magnet coupling type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
10 is a side cross-sectional view showing a magnet coupling type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
11 is a flowchart illustrating an example of a door identification process of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 10.
12 is a flowchart illustrating another example of the door identification process of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 10.
13 is a side cross-sectional view showing a door closed state of a magnet coupling type gate valve system according to some other embodiments of the present invention.
FIG. 14 is a perspective view showing a door open state of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 13.
15 is a cross-sectional view illustrating an operation process of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 13.
16 is a cross-sectional view illustrating a second magnetic body axial rotation device of the magnet coupling type gate valve system of FIG. 13.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those of ordinary skill in the art, and the following embodiments can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is as follows. It is not limited to the Examples. Rather, these embodiments are provided to make the present disclosure more faithful and complete, and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. In addition, the thickness or size of each layer in the drawings is exaggerated for convenience and clarity of explanation.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is used to describe a specific embodiment and is not intended to limit the present invention. As used herein, singular forms may include plural forms unless the context clearly indicates otherwise. Also, as used herein, “comprise” and / or “comprising” specifies the shapes, numbers, steps, actions, elements, elements and / or the presence of these groups. And does not exclude the presence or addition of one or more other shapes, numbers, actions, elements, elements and / or groups.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing ideal embodiments of the present invention. In the drawings, for example, depending on the manufacturing technology and / or tolerance, deformations of the illustrated shape can be expected. Therefore, embodiments of the inventive concept should not be interpreted as being limited to a specific shape of the region shown in this specification, but should include, for example, a change in shape resulting from manufacturing.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(100~600)들을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the magnetic coupling type
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 측단면도이고, 도 2는 도 1의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 하강 상태를 나타내는 정면도이고, 도 3은 도 1의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 상승 상태를 나타내는 정면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a magnet coupling type
먼저, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20) 및 도어 이동 장치(30)를 포함할 수 있다.First, as shown in Figures 1 to 3, the magnet coupling type
예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 적어도 하나의 통로(10a)가 형성될 수 있다.For example, the
여기서, 상기 밸브 하우징(10)은, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 일측 또는 양측에 상기 통로(10a)가 형성되는 구조체일 수 있다.Here, the
이러한 상기 밸브 하우징(10)은, 상술된 상기 도어(20) 및 상기 도어 이동 장치(30)를 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.The
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 실링 부재(S)가 설치되는 일종의 밸브체로서, 상기 도어(20)는 상기 통로(10a)의 형상에 대응되도록 상기 통로(10a)의 형상에 따라 형성될 수 있다. 여기서, 상기 실링 부재(S)는 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 밀봉 부재일 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, the
이러한, 상기 도어(20)는 이해를 구하기 위해 도시된 것으로, 도면에 국한되지 않고, 다양한 개수로 설치되거나 각종 실링 부재나 각종 관절 또는 힌지 구조물 등이 추가로 설치되는 등 매우 다양하게 적용될 수 있다.Such, the
또한, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 도어(20)를 상기 통로 방향으로 이동시키는 장치로서, 상기 밸브 하우징(10)의 외부에서 자력을 이용하여 상기 도어(20)를 이동시킬 수 있는 비접촉 방식의 마그네틱 장치일 수 있다. In addition, as shown in FIGS. 1 and 2, the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에 설치되고, 상기 도어(20)와 연동되는 내부 자성체(31)와, 상기 밸브 하우징(10)의 외부에 설치되고, 상기 내부 자성체(31)와 대응되는 외부 자성체(32) 및 상기 밸브 하우징(10)의 외부에 설치되고, 상기 내부 자성체(31)가 자력에 의해 이동될 수 있도록 상기 외부 자성체(32)를 축회전시키는 자성체 축회전 장치(33)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 1, the
이 때, 상기 내부 자성체(31) 및 상기 외부 자성체(32)는 자력을 강화하기 위해서 모두 초강력 영구 자석일 수 있다.At this time, the inner
또한, 상기 내부 자성체(31) 및 상기 외부 자성체(32)는 자력을 강화시킬 수 있도록 복수개가 나란히 배치되는 영구 자석 어레이가 적용될 수 있다.In addition, the inner
여기서, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 이동(리프팅 동작)되고, 상기 통로 대향 위치에서 통로 폐쇄 위치까지 제 2 방향으로 2차 이동(개폐 동작)되는 L 모션 도어일 수 있다.Here, as shown in FIG. 1, the
그러나, 이러한 상기 도어(20)는 반드시 L 모션 동작에만 국한되지 않고, L 모션 도어가 양쪽에 2개가 설치되는 T 모션 동작에도 적용될 수 있다.However, the
이를 위하여, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 도어(20)가 상기 2차 이동될 수 있도록 상기 1차 이동되는 헤드부(H)와 상기 도어(20) 사이에 작동 유체 라인(L)에 의해 작동되는 실린더(34)가 설치될 수 있다.To this end, the
또한, 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에 설치되고, 상기 도어(20) 또는 상기 도어(20)가 설치된 헤드부(H)를 안내하는 도어 안내 장치(40)를 더 포함할 수 있는 것으로서, 상기 도어 안내 장치(40)는, 상기 도어(20)를 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 안내하는 가이드봉이나 레일 등의 제 1 도어 안내 장치(41)를 포함할 수 있다.In addition, for example, as shown in Figure 1, the
따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 자성체 전후진 장치(33)가 상기 외부 자성체(32)를 승하강시키면 이와 마그넷 커플링된 상기 내부 자성체(31)가 자력에 의해 상기 제 1 도어 안내 장치(41)을 따라 승하강되면서 상기 도어(20)를 1차 이동(리프팅 동작)시킬 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 2, when the magnetic material forward /
이어서, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 작동 유체 라인(L)의 유체 압력에 의해 작동되는 상기 실린더(34)에 의해 상기 통로(10a) 방향으로 2차 이동(개폐 동작)되면서 상기 도어(20)를 개폐할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 3, the
그러므로, 상기 내부 자성체(31)도 초강력 영구 자석을 사용하고, 상기 외부 자성체(32)도 초강력 영구 자석을 사용하여 마그넷 커플링함으로써 강력한 자력으로 비접촉식으로 상기 도어(10)를 이송시킬 수 있는 동시에, 상기 영구 자석의 개수와 배열을 늘려서 손쉽게 자력을 증대시킬 수 있으며, 부품의 개수나 전자석 제어 과정이 불필요하여 설비 비용과 설치 공간을 크게 절감할 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 측면을 이용하여 공간 활용도를 높일 수 있다.Therefore, the inner
도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(200)을 나타내는 정면도이다.4 is a front view showing a magnet coupling type
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 자성체 축회전 장치(33)는 2개의 상기 외부 자성체(32)를 동시에 회전시킬 수 있다. 여기서, 상기 자성체 축회전 자치(33)와 2개의 상기 외부 자성체(32) 사이에는 동시 회전이 가능하도록 동력을 분배하여 전달하는 적어도 하나의 기어 조합, 밸트 및 풀리 조합, 체인 및 스프로킷휠 조합, 캠 조합, 도르래 및 와이어 조합 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지는 동력 전달 장치가 설치될 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고 매우 다양한 형태의 동력 전달 장치가 모두 적용될 수 있다. As illustrated in FIG. 4, the magnetic substance
도 5는 도 1의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어(20)를 나타내는 정면도이다.5 is a front view showing the
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 작동 유체 라인(L)의 유체 압력에 의해 동시에 작동되는 4개의 실린더(34)에 의해 2차 이동될 수 있다. 그러나, 이러한 실린더의 개수나 형태 등은 도면에 반드시 국한되지 않는다.As illustrated in FIG. 5, the
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어(20) 및 자성체 회전 장치(35)를 나타내는 측단면도이고, 도 7은 도 6의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 자성체 회전 장치(35)를 나타내는 사시도이다.6 is a side cross-sectional view showing a
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(200)는, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 도어(20)가 상기 2차 이동(개폐 동작)시키는 자성체 회전 장치(35)를 더 포함할 수 있다.6 and 7, the magnet coupling type
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 자성체 회전 장치(35)는, 상기 도어(20)에 설치된 랙기어(G1)와 맞물리는 피니언 기어(G2)와 연결되는 내부 회전형 자성체(M1)와, 상기 내부 회전형 자성체(M1)와 마그넷 커플링되어 상기 내부 회전형 자성체(M1)를 회전시키고, 상기 밸브 하우징(10)의 외부에 설치되는 외부 회전형 자성체(M2) 및 상기 외부 회전형 자성체(M2)를 회전시키는 회전형 액츄에이터(351)를 포함할 수 있다.6 and 7, the magnetic
따라서, 상기 외부 회전형 자성체(M2) 역시, 상술된 상기 외부 자성체(22)와 마찬가지로 상기 밸브 하우징(10)의 외부에 설치되는 것으로서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 먼저, 모터 등 상기 회전형 액츄에이터(351)를 이용하여 상기 외부 회전형 자성체(M2)를 정회전 또는 역회전시키면 자력에 의해서 상기 내부 회전형 자성체(M1)가 정회전 또는 역회전되고, 상기 내부 회전형 자성체(M1)와 함께 회전되는 상기 피니언 기어(G2)가 정회전 또는 역회전되면서 상기 랙기어(G1)와 함께 상기 도어(20)를 2차 이동(개폐 동작)시킬 수 있다. Therefore, the external rotating magnetic body M2 is also installed on the outside of the
그러므로, 상기 밸브 하우징(10)의 측면(제 1 면)과 상면(제 2 면)을 이용하여 공간 활용도를 높이며, 승하강(1차 이동) 동작만이 아니라 개폐(2차 이동) 동작에서도 마그넷 커플링을 이용하여 밸브 하우징의 내부 청정도를 크게 향상시킬 수 있다.Therefore, the space utilization is increased by using the side surfaces (the first surface) and the top surface (the second surface) of the
도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 측단면도이다.8 is a side cross-sectional view illustrating a magnet coupling type
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(400)은, 상기 밸브 하우징(10)의 일측에 복수개의 도어(20)들이 대기할 수 있는 도어 교체 영역(A)이 형성되고, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에서 도어 교체가 가능하도록 상기 도어(20)는 헤드부(H)로부터 착탈 가능하게 설치될 수 있다. 여기서, 도시하지 않았지만, 상기 도어 교체 영역(A)의 측방이나 전방 등의 외측에는 별도의 덮개가 설치될 수 있다.As shown in FIG. 8, the magnet coupling type
따라서, 상기 도어(20)의 수명이 다하면, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 새로운 도어(20)와 교체하여 상기 밸브 하우징(10)의 내부에서 진공을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)를 교체할 수 있다. 교체 방법으로는 억지 물림 방식이나 슬라이딩 방식 등 매우 다양한 방법이 적용될 수 있다. Accordingly, when the life of the
도 9는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 측단면도이다.9 is a cross-sectional side view illustrating a magnet coupling type
예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(400)은, 상기 제 2 방향 이동 장치(50) 또는 상기 헤드부(H)에 설치되는 격리 부재(60)를 더 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 9, a magnet coupling type
이러한, 상기 격리 부재(60)는 평평한 형태의 플레이트 구조로서, 상기 격리 부재(60)를 도어 교체 영역(A)으로 이동시키면 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있다.The
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에 링 형상으로 수평 돌출되는 돌출벽부의 측면과 대응되도록 형성되는 격리 플레이트(61)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in Figure 9, the
즉, 상기 격리 부재(60)는 상기 격리 부재(60)의 측면이 상기 돌출벽부(W)의 측면과 서로 밀착되어, 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킬 수 있다.That is, in the
이 때, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 유지하면서 상기 도어 교체 영역(A)만 진공을 해제할 수 있도록 상기 돌출벽부(W)의 접촉면 또는 상기 격리 플레이트(61)에 상기 도어(20)에 설치된 제 1 실링 부재(S1)와는 별도의 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 실링 부재(S2)는 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 밀봉 부재일 수 있다.At this time, while maintaining the overall vacuum of the
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)은, 제 1 밸브(V1)가 설치되고, 하우징 진공 영역(B)과 연결되는 내부 진공 라인(71) 및 제 2 밸브(V2)가 설치되고, 외부의 대기 또는 청정 공기 공급원과 연결되는 진공 해제 라인(72)이 연결될 수 있다.More specifically, for example, as shown in Figure 9, the door replacement area (A), the first valve (V1) is installed, the
따라서, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)가 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킨 후, 제어부(70)에 의해 진공압 해제 제어 신호를 인가받은 상기 제 2 밸브(V2)가 상기 진공 해제 라인(72)을 개방하면, 상기 도어 교체 영역(A)의 진공압이 해제되면서 후술될 상기 덮개(C)를 개방하여 상기 도어 교체용 개구(H)를 통해 상기 도어(20)를 교체할 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 9, after the isolating
이 때, 상기 도어 교체 영역(A)은 격리된 상태로서, 상기 하우징 진공 영역(B)는 진공 상태를 유지할 수 있다.At this time, the door replacement area A is in an isolated state, and the housing vacuum area B can maintain a vacuum state.
이어서, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 교체 후, 상기 덮개(C)를 덮고, 상기 제어부(70)에 의해 진공압 형성 제어 신호를 인가받은 상기 제 1 밸브(V2)는 상기 진공 해제 라인(72)을 폐쇄시키고, 반면, 상기 제 1 밸브(V1)가 상기 내부 진공 라인(71)을 개방하는 경우, 상기 도어 교체 영역(A)은 상기 하우징 진공 영역(B)과 연통되어 서로 동일한 압력의 진공압이 형성될 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서 정상적인 도어 개폐 작동이 가능하다.Subsequently, as illustrated in FIG. 9, after the
그러므로, 이러한 과정을 통해서, 상기 하우징 진공 영역(B)의 진공압을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 교체가 가능해 질 수 있다.Therefore, through this process, it is possible to replace the
도 10은 도 9의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 다른 일례를 나타내는 측단면도이다.10 is a side cross-sectional view showing another example of the magnet coupling type
예컨대, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)은, 제 3 밸브(V3)가 설치되고, 외부의 펌프(PUMP)와 연결되는 외부 진공 라인(73) 및 제 4 밸브(V4)가 설치되고, 외부의 대기 또는 청정 공기 공급원과 연결되는 진공 해제 라인(74)이 연결될 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 10, in the door replacement area A, a third valve V3 is installed, and an
따라서, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 격리 부재(60)가 상기 도어 교체 영역(A)을 격리시킨 후, 제어부(70)에 의해 진공압 해제 제어 신호를 인가받은 상기 제 4 밸브(V2)가 상기 진공 해제 라인(74)을 개방하면, 상기 도어 교체 영역(A)의 진공압이 해제되면서 후술될 상기 덮개(C)를 개방하여 상기 도어 교체용 개구(H)를 통해 상기 도어(20)를 교체할 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 10, after the isolating
이 때, 상기 도어 교체 영역(A)은 격리된 상태로서, 상기 하우징 진공 영역(B)는 진공 상태를 유지할 수 있다.At this time, the door replacement area A is in an isolated state, and the housing vacuum area B can maintain a vacuum state.
이어서, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 교체 후, 상기 덮개(C)를 덮고, 상기 제어부(70)에 의해 진공압 형성 제어 신호를 인가받은 상기 제 4 밸브(V4)는 상기 진공 해제 라인(74)을 폐쇄시키고, 반면, 상기 제 3 밸브(V3)가 상기 외부 진공 라인(71)을 개방하는 경우, 상기 펌프(PUMP)에 의해 상기 도어 교체 영역(A)은 진공압이 형성될 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서 정상적인 도어 개폐 작동이 가능하다.Subsequently, as illustrated in FIG. 10, after the
그러므로, 이러한 과정을 통해서, 상기 하우징 진공 영역(B)의 진공압을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 교체가 가능해 질 수 있다.Therefore, through this process, it is possible to replace the
이외에도, 도시하지 않았지만, 상기 도어 교체 영역(A)은, 불활성 가스 공급원으로부터 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급원으로부터 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 라인 등 다양한 연결 라인들이 설치될 수 있다.In addition, although not shown, the door replacement area A may be provided with various connection lines, such as an inert gas supply line supplying inert gas from an inert gas supply source, and a clean air supply line supplying clean air from a clean air supply source. have.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에는 선택적으로 내부 또는 외부와 연결되어 진공을 형성하거나, 질소 가스와 같은 불활성 가스가 공급되거나 청정 공기가 공급될 수 있다. 이외에도 각종 압력계나 온도계나 히터나 냉각 장치 등의 온도 조절 장치 등이 추가로 설치될 수 있다.Accordingly, the door replacement area A may be selectively connected to the inside or the outside to form a vacuum, or an inert gas such as nitrogen gas or clean air may be supplied. In addition, various pressure gauges, thermometers, temperature control devices such as heaters and cooling devices, etc. may be additionally installed.
또한, 예컨대, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체 영역(A)과 대응되는 상기 밸브 하우징(10)에 도어 교체용 개구(H)가 형성되고, 상기 도어 교체용 개구(H)에 덮개(C)가 설치될 수 있다. 이외에도, 상기 밸브 하우징(10)의 모든 면에 다양한 형태의 개구(H)를 형성하여 상기 도어(20)의 교체를 용이하게 할 수 있다.In addition, for example, as shown in FIG. 10, a door replacement opening H is formed in the
한편, 상기 도어(20)는, 볼트나 너트나 나사 등의 고정구 또는 지그를 이용하여 착탈 가능하게 설치될 수 있다. 이외에도 예컨대, 억지 물림 홈이나, 억지 물림 돌기나, 스냅 버튼이나, 자석 등을 이용하는 등 각종 체결형 도어가 모두 적용될 수 있다.Meanwhile, the
또한, 상기 덮개(C) 역시, 각종 오링 등이 설치되어 체결구에 의해 착탈 가능하게 고정되는 뚜껑이나, 접철식 도어나, 캡이나, 쉘 등의 다양한 형태의 덮개들이 모두 적용될 수 있다.In addition, the cover (C) may also be applied to various types of covers such as a lid, a foldable door, a cap, a shell, etc., in which various O-rings are installed and fixed detachably by a fastener.
도 11은 도 10의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 식별 과정의 일례를 나타내는 순서도이다.11 is a flowchart illustrating an example of a door identification process of the magnet coupling type
도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 본 발명의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(500)은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치를 더 포함할 수 있는 것으로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 식별 장치는, 상기 도어(20)에 설치된 RFID 태그(tag)(RT)를 인식할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 RFID 태그(RT)와 대응되는 부분에 설치되는 RFID 센서(RS) 및 상기 RFID 센서(RS)로부터 식별 정보를 입력받아 식별 정보 매칭시에만 장비의 정상적인 동작을 허용하고, 그렇지 않은 경우, 장비의 동작을 중단하는 RFID 식별 제어부(80)일 수 있다.10 and 11, the magnet coupling type
따라서, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)의 상기 실링 플레이트(SP) 교체시, 상기 식별 장치의 RFID 센서(RS)가 상기 RFID 태그(RT)를 인식하여 식별 정보를 감지하면(S11), 상기 RFID 식별 제어부(80)가 매칭 여부를 판별하여(S12) 매칭되는 경우, 정상 동작을 허용하거나 또는 상기 도어(20)의 교체를 허용하고(S13), 매칭이 되지 않는 경우, 동작 불가 명령이나 상기 도어(20)의 교체 불가 판정을 내릴 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 10, when replacing the sealing plate SP of the
그러므로, 정식으로 식별 정보를 부여받은 정품 도어(20)만 교체할 수 있게 하여 장비의 안전도를 높이고, 오동작이나 불법 사용을 사전에 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to replace only the
도 12는 도 10의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 식별 과정의 다른 일례를 나타내는 순서도이다.12 is a flowchart illustrating another example of a door identification process of the magnet coupling type
도 10 내지 12에 도시된 바와 같이, 더욱 구체적으로 예를 들면, 교환 프로세서를 시작하면, 상기 도어 교체 영역(A)을 실링하고, 진공에서 상기 도어 교체 영역(A)을 대기 상태로 전환하며, 상기 덮개(C)를 개방하여 도어를 교환할 때, 상기 RFID 태그(RT)를 상기 RFID 센서(RS)가 인식하여 정품으로 판별되면, 상기 도어 교체 영역(A)의 상기 덮개(C)를 닫은 후, 상기 도어 교체 영역(A)을 진공으로 전환하여 정상적인 교환 프로세서를 완료하거나, 정품으로 판별되지 않는 경우에는, 시각적 또는 청각적인 비 정품 오류 메시지를 출력하고, 상기 도어 교체 영역(A)을 대기압 상태로 비정상적인 동작 종료를 할 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.10 to 12, more specifically, for example, when the exchange processor is started, the door replacement area A is sealed, and the door replacement area A is switched to a standby state in vacuum, When exchanging the door by opening the cover C, if the RFID sensor RS recognizes the RFID tag RT as genuine, the cover C of the door replacement area A is closed. Thereafter, the door replacement area A is converted into a vacuum to complete a normal exchange processor, or when it is not determined to be genuine, a visual or audible non-genuine error message is output, and the door replacement area A is atmospheric pressure. Abnormal operation can be terminated in a state. However, it is not necessarily limited to this.
도 13은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 폐쇄 상태를 나타내는 측단면도이고, 도 14는 도 13의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 개방 상태를 나타내는 사시도이고, 도 15는 도 13의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 작동 과정을 나타내는 단면도들이고, 도 16은 도 13의 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 제 2 자성체 축회전 장치(33B)를 나타내는 단면도이다.13 is a side cross-sectional view showing a door closed state of a magnet coupling type
도 13 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 자성체 축회전 장치(33)는, 상기 도어(20)를 상기 1차 이동시킬 수 있는 제 1 자성체 축회전 장치(33A) 및 상기 도어(20)를 상기 2차 이동시킬 수 있는 제 2 자성체 축회전 장치(33B)를 포함할 수 있다.13 to 16, the magnetic
여기서, 도 13 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 자성체 축회전 장치(33A) 및 상기 제 2 자성체 축회전 장치(33B)에 각각 적용되는 상기 외부 자성체(32)는, 상기 밸브 하우징(10)의 원통형 돌출부(10b)의 일측에 설치되고, 상기 돌출부의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체(31)에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부(10b)를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-1 축회전 자성체 어레이(32-1)와, 상기 밸브 하우징(10)의 원통형 돌출부(10b)의 타측에 설치되고, 상기 돌출부(10b)의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체(31)에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부(10b)를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-2 축회전 자성체 어레이(32-2) 및 상기 밸브 하우징(10)의 원통형 돌출부(10b)의 다른 타측에 설치되고, 상기 돌출부(10b)의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체(31)에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부(10b)를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-3 축회전 자성체 어레이(32-3)를 포함할 수 있다. 그러나, 이러한 상기 어레이들은 도면과 같이 3개에 국한되지 않고 2개나 4개 이상 등 매우 다양한 개수로 복수개가 적용될 수 있다.Here, as illustrated in FIGS. 13 to 16, the external
또한, 이들을 축회전시키는 상기 자성체 축회전 장치(33)는, 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이(32-1)를 축회전시키는 제 1-1 자성체 축회전 장치(33-1)와, 상기 제 1-2 축회전 자성체 어레이(32-1)를 축회전시키는 제 1-2 자성체 축회전 장치(33-2) 및 상기 제 1-3 축회전 자성체 어레이(32-3)를 축회전시키는 제 1-3 자성체 축회전 장치(33-3)를 포함할 수 있다. 그러나, 이러한 상기 축회전 장치들 역시 도면과 같이 3개에 국한되지 않고 2개나 4개 이상 등 매우 다양한 개수로 복수개가 적용될 수 있다.In addition, the magnetic body
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 13 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제 1-1 자성체 축회전 장치(33-1)는, 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이(32-1)의 외경면에 형성되는 종동 기어(Gb)와, 상기 종동 기어(Gb)와 치합되어 상기 종동 기어(Gb)를 구동시키는 구동 기어(Ga) 및 상기 구동 기어(Ga)를 회전시키는 구동 모터(M)를 포함할 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIGS. 13 to 16, the first-first magnetic body axial rotating device 33-1 is the outer diameter of the first-first axial rotating magnetic body array 32-1. A driven gear (Gb) formed on a surface, a driving gear (G) engaged with the driven gear (Gb) to drive the driven gear (Gb), and a driving motor (M) for rotating the driving gear (Ga) It can contain.
여기서, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 밸브 하우징(10)의 내부에 설치되고, 상기 도어(20) 또는 상기 도어(20)가 설치된 헤드부(H)를 안내하는 도어 안내 장치(40)를 더 포함하는 것으로서, 상기 도어 안내 장치(40)는, 상기 도어(20)를 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 안내하는 제 1 도어 안내 장치(41) 및 상기 도어(20)를 상기 통로 대향 위치에서 통로 폐쇄 위치까지 제 2 방향으로 2차 안내하는 제 2 도어 안내 장치(42)를 포함할 수 있다.Here, as shown in Figure 13, the
따라서, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 통로(10a)를 폐쇄한 상태에서, 상기 제 1 자성체 축회전 장치(33A)에 의해서 상기 도어(20)는 상승된 상태이고, 상기 제 2 자성체 축회전 장치(33B)에 의해서 상기 도어(20)는 전진된 상태일 수 있다. Accordingly, as shown in FIG. 13, in the state in which the
이러한, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 작동 과정을 설명하면, 도 15의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 자성체 축회전 장치(33A)의 상기 구동 모터(M)가 상기 종동 기어(Gb)와 상기 구동 기어(Ga)를 이용하여 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이(32-1)나, 상기 제 1-2 축회전 자성체 어레이(32-2)나, 상기 제 1-3 축회전 자성체 어레이(32-3)를 축회전시켜서 자력을 변화시키면 극성에 따라서 상기 헤드부(H)는 최저점에 위치될 수 있다.Referring to the operation process of the magnet coupling type
이어서, 도 15의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 자성체 축회전 장치(33A)의 상기 구동 모터(M)가 상기 종동 기어(Gb)와 상기 구동 기어(Ga)를 이용하여 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이(32-1)나, 상기 제 1-2 축회전 자성체 어레이(32-2)나, 상기 제 1-3 축회전 자성체 어레이(32-3)를 축회전시켜서 자력을 변화시키면 극성에 따라서 상기 헤드부(H)는 중간 지점에 위치될 수 있다.Subsequently, as shown in (b) of FIG. 15, the drive motor M of the first magnetic material shaft
이어서, 도 15의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 자성체 축회전 장치(33A)의 상기 구동 모터(M)가 상기 종동 기어(Gb)와 상기 구동 기어(Ga)를 이용하여 상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이(32-1)나, 상기 제 1-2 축회전 자성체 어레이(32-2)나, 상기 제 1-3 축회전 자성체 어레이(32-3)를 축회전시켜서 자력을 변화시키면 극성에 따라서 상기 헤드부(H)는 최고점에 위치될 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 15, the drive motor M of the first magnetic body
한편, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(30)는, 상기 내부 자성체(31)가 상기 외부 자성체(32)로부터 멀어지는 경우, 상기 도어(20)를 준비 위치로 복귀시킬 수 있는 복귀 자성체(36)를 더 포함하여 상기 도어(20)에 설치된 상기 내부 자성체(31)의 복귀를 원활하게 할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 13, the
한편, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 내부 자성체(31) 또는 상기 외부 자성체(32)는 자력을 강화시킬 수 있도록 복수개가 M행 N열로 배치되는 영구 자석 어레이(MA)일 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 16, the inner
그러므로, 영구 자석인 상기 내부 자성체(31) 대 역시 영구 자석인 상기 외부 자성체(32)를 상기 밸브 하우징(10)의 벽체를 사이에 두고 마그넷 커플링하여 비접촉식으로 상기 도어(20)를 이송시킬 수 있는 동시에, 영구 자석의 개수와 배열을 늘려서 손쉽게 자력을 증대시킬 수 있다.Therefore, the inner
또한, 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 측면과 상면을 활용할 수 있어서 설비 비용과 설치 공간을 크게 절감할 수 있고, 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.In addition, as shown in FIG. 14, the side surface and the top surface of the
또한, 도 13에 도시된 바와 같이, 이와 같은 원리는 상기 제 2 자성체 축회전 장치(33B)에도 그대로 적용될 수 있다. 단, 상기 구동 모터(M)는 상기 외부 자성체(32)를 반드시 180도 이상으로 회전시킬 필요 없이 극성이 변할만큼만 수도에서 수십도만 부분적으로 회전시키는 것도 가능하다.In addition, as illustrated in FIG. 13, the same principle can be applied to the second magnetic body
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
10: 밸브 하우징
10a: 통로
10b: 원통형 돌출부
20: 도어
S: 실링 부재
30: 도어 이동 장치
31: 내부 자성체
32: 외부 자성체
33: 자성체 축회전 장치
H: 헤드부
L: 작동 유체 라인
34: 실린더
35: 자성체 회전 장치
G1: 랙기어
G2: 피니언 기어
M1: 내부 회전형 자성체
M2: 외부 회전형 자성체
351: 회전형 액츄에이터
A: 도어 교체 영역
32-1: 제 1-1 축회전 자성체 어레이
32-2: 제 1-2 축회전 자성체 어레이
33-1: 제 1-1 자성체 축회전 장치
33-2: 제 1-2 자성체 축회전 장치
Ga: 구동 기어
Gb: 종동 기어
M: 구동 모터
33A: 제 1 자성체 축회전 장치
33B: 제 2 자성체 축회전 장치
36: 복귀 자성체
40: 도어 안내 장치
41: 제 1 도어 안내 장치
42: 제 2 도어 안내 장치
100~600: 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템10: valve housing
10a: passage
10b: cylindrical protrusion
20: door
S: sealing member
30: door shifter
31: internal magnetic body
32: external magnetic material
33: magnetic material shaft rotating device
H: Head
L: working fluid line
34: cylinder
35: magnetic material rotating device
G1: Rack gear
G2: Pinion gear
M1: internal rotating magnetic body
M2: External rotating magnetic body
351: rotary actuator
A: Door replacement area
32-1: 1-1 axial rotating magnetic body array
32-2: No. 1-2 axial rotating magnetic body array
33-1: 1-1 magnetic material shaft rotating device
33-2: No. 1-2 magnetic material shaft rotating device
Ga: drive gear
Gb: driven gear
M: drive motor
33A: first magnetic body axial rotation device
33B: second magnetic body axial rotation device
36: return magnetic body
40: door guide device
41: first door guide device
42: second door guide device
100-600: Magnetic coupling type gate valve system
Claims (14)
상기 통로를 개폐시키는 도어; 및
상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시키는 도어 이동 장치;를 포함하고,
상기 도어 이동 장치는,
상기 밸브 하우징의 내부에 설치되고, 상기 도어와 연동되는 내부 자성체;
상기 밸브 하우징의 외부에 설치되고, 상기 내부 자성체와 대응되는 외부 자성체; 및
상기 밸브 하우징의 외부에 설치되고, 상기 내부 자성체가 자력에 의해 이동될 수 있도록 상기 외부 자성체를 축회전시키는 자성체 축회전 장치;
를 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.A valve housing in which a passage is formed;
A door that opens and closes the passage; And
Includes; a door moving device for moving the door in the passage direction,
The door moving device,
An internal magnetic body installed inside the valve housing and interlocking with the door;
An external magnetic body installed outside the valve housing and corresponding to the internal magnetic body; And
A magnetic body axial rotation device installed outside the valve housing and axially rotating the external magnetic body so that the internal magnetic body can be moved by magnetic force;
Including, a magnetic coupling type gate valve system.
상기 도어는, 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 이동되고, 상기 통로 대향 위치에서 통로 폐쇄 위치까지 제 2 방향으로 2차 이동되는 L 모션 도어인, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 1,
The door is a magnet coupling type gate valve system, which is an L motion door that is primarily moved in a first direction from a standby position to a passage opposite position, and is secondly moved in a second direction from the passage opposite position to a passage closed position.
상기 도어 이동 장치는, 상기 도어가 상기 2차 이동될 수 있도록 상기 1차 이동되는 헤드부와 상기 도어 사이에 작동 유체 라인에 의해 작동되는 실린더가 설치되는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 2,
The door moving device is a magnet coupling type gate valve system in which a cylinder operated by a working fluid line is installed between the head part and the door that is primarily moved so that the door can be secondly moved.
상기 도어 이동 장치는, 상기 도어가 상기 2차 이동시키는 자성체 회전 장치;를 더 포함하고,
상기 자성체 회전 장치는,
상기 도어에 설치된 랙기어와 맞물리는 피니언 기어와 연결되는 내부 회전형 자성체와 마그넷 커플링되어 상기 내부 회전형 자성체를 회전시키고, 상기 밸브 하우징의 외부에 설치되는 외부 회전형 자성체; 및
상기 외부 회전형 자성체를 회전시키는 회전형 액츄에이터;
를 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 2,
The door moving device further comprises a magnetic body rotating device for the door to move the secondary;
The magnetic material rotating device,
An external rotating magnetic body which is magnet-coupled with an internal rotating magnetic body connected to a pinion gear meshed with the rack gear installed in the door to rotate the internal rotating magnetic body, and is installed outside the valve housing; And
A rotating actuator rotating the external rotating magnetic body;
Including, a magnetic coupling type gate valve system.
상기 밸브 하우징의 일측에 복수개의 도어들이 대기할 수 있는 도어 교체 영역이 형성되고, 상기 밸브 하우징의 내부에서 도어 교체가 가능하도록 상기 도어는 헤드부로부터 착탈 가능하게 설치되는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 1,
A magnet coupling type gate valve is formed on one side of the valve housing to form a door replacement area in which a plurality of doors can wait, and the door is detachably installed from the head so that the door can be replaced inside the valve housing. system.
상기 외부 자성체는,
상기 밸브 하우징의 원통형 돌출부의 일측에 설치되고, 상기 돌출부의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-1 축회전 자성체 어레이;를 포함하고,
상기 자성체 축회전 장치는,
상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이를 축회전시키는 제 1-1 자성체 축회전 장치;를 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 2,
The external magnetic body,
It is installed on one side of the cylindrical projection of the valve housing, is formed in a ring shape or an arc shape so as to correspond to the outer diameter surface of the projection, the projection to the rotating shaft so that the polarity of the magnetic force acting on the inner magnetic body can be changed It includes; 1-1 axis rotation magnetic body array that can be rotated;
The magnetic material shaft rotating device,
A magnet coupling type gate valve system comprising a; 1-1 magnetic axial rotating device for axially rotating the 1-1 axial rotating magnetic body array.
상기 외부 자성체는,
상기 밸브 하우징의 원통형 돌출부의 타측에 설치되고, 상기 돌출부의 외경면과 대응될 수 있도록 링 형상 또는 원호 형상으로 형성되며, 상기 내부 자성체에 작용하는 자력의 극성이 변화될 수 있도록 상기 돌출부를 회전축으로 축회전될 수 있는 제 1-2 축회전 자성체 어레이;를 더 포함하고,
상기 자성체 축회전 장치는,
상기 제 1-2 축회전 자성체 어레이를 축회전시키는 제 1-2 자성체 축회전 장치;를 더 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 6,
The external magnetic body,
It is installed on the other side of the cylindrical projection of the valve housing, is formed in a ring shape or an arc shape so as to correspond to the outer diameter surface of the projection, the projection to the rotating shaft so that the polarity of the magnetic force acting on the inner magnetic body can be changed Further comprising a 1-2-axis rotating magnetic body array that can be axially rotated,
The magnetic material shaft rotating device,
A magnet coupling type gate valve system further comprising a first or second magnetic material axis rotation device for rotating the first or second axis rotation magnetic material array.
상기 제 1-1 자성체 축회전 장치는,
상기 제 1-1 축회전 자성체 어레이의 외경면에 형성되는 종동 기어;
상기 종동 기어와 치합되어 상기 종동 기어를 구동시키는 구동 기어; 및
상기 구동 기어를 회전시키는 구동 모터;
를 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7,
The 1-1 magnetic material shaft rotating device,
A driven gear formed on an outer diameter surface of the 1-1 axis rotating magnetic body array;
A driving gear engaged with the driven gear to drive the driven gear; And
A drive motor for rotating the drive gear;
Including, a magnetic coupling type gate valve system.
상기 자성체 축회전 장치는,
상기 도어를 상기 1차 이동시킬 수 있는 제 1 자성체 축회전 장치; 및
상기 도어를 상기 2차 이동시킬 수 있는 제 2 자성체 축회전 장치;
를 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 2,
The magnetic material shaft rotating device,
A first magnetic material shaft rotating device capable of moving the door primarily; And
A second magnetic material axis rotation device capable of moving the door to the secondary;
Including, a magnetic coupling type gate valve system.
상기 도어 이동 장치는,
상기 밸브 하우징의 내부에 설치되고, 상기 도어 또는 상기 도어가 설치된 가동대를 안내하는 도어 안내 장치;
를 더 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 1,
The door moving device,
A door guide device installed inside the valve housing and guiding the door or a movable table on which the door is installed;
Further comprising, a magnet coupling type gate valve system.
상기 도어 안내 장치는,
상기 도어를 대기 위치에서 통로 대향 위치까지 제 1 방향으로 1차 안내하는 제 1 도어 안내 장치; 및
상기 도어를 상기 통로 대향 위치에서 통로 폐쇄 위치까지 제 2 방향으로 2차 안내하는 제 2 도어 안내 장치;
를 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7,
The door guide device,
A first door guiding device for guiding the door in a first direction from a standby position to a position opposite the passage; And
A second door guide device for secondarily guiding the door in a second direction from the passage facing position to the passage closing position;
Including, a magnetic coupling type gate valve system.
상기 내부 자성체가 상기 외부 자성체로부터 멀어지는 경우, 상기 도어를 준비 위치로 복귀시킬 수 있는 복귀 자성체;
를 더 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 1,
A return magnetic body capable of returning the door to the ready position when the inner magnetic body is moved away from the outer magnetic body;
Further comprising, a magnet coupling type gate valve system.
상기 내부 자성체 및 상기 외부 자성체는 영구 자석인, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 1,
The inner magnetic body and the outer magnetic body are permanent magnets, a magnet coupling type gate valve system.
식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;
를 더 포함하는, 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템.According to claim 1,
An identification device capable of identifying identification information of the door so that operation is allowed only when matching identification information;
Further comprising, a magnet coupling type gate valve system.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180106435A KR102160232B1 (en) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | Magnet coupling type gate valve system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180106435A KR102160232B1 (en) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | Magnet coupling type gate valve system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200028140A true KR20200028140A (en) | 2020-03-16 |
KR102160232B1 KR102160232B1 (en) | 2020-09-25 |
Family
ID=69948566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180106435A KR102160232B1 (en) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | Magnet coupling type gate valve system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102160232B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08200521A (en) * | 1995-01-27 | 1996-08-06 | Seiko Seiki Co Ltd | Gate valve device |
KR100994761B1 (en) * | 2009-10-16 | 2010-11-16 | 프리시스 주식회사 | Door valve |
KR101286824B1 (en) * | 2012-06-26 | 2013-07-17 | 이천용 | Gate valae for manufacturing semiconductor and lcd device |
CN108019560A (en) * | 2017-11-29 | 2018-05-11 | 济宁学院 | A kind of hand sluice valve valve position monitoring identification device |
-
2018
- 2018-09-06 KR KR1020180106435A patent/KR102160232B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08200521A (en) * | 1995-01-27 | 1996-08-06 | Seiko Seiki Co Ltd | Gate valve device |
KR100994761B1 (en) * | 2009-10-16 | 2010-11-16 | 프리시스 주식회사 | Door valve |
KR101286824B1 (en) * | 2012-06-26 | 2013-07-17 | 이천용 | Gate valae for manufacturing semiconductor and lcd device |
CN108019560A (en) * | 2017-11-29 | 2018-05-11 | 济宁学院 | A kind of hand sluice valve valve position monitoring identification device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102160232B1 (en) | 2020-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130153806A1 (en) | Two way gate valve and substrate processing system having the same | |
US6905107B2 (en) | Inflatable slit/gate valve | |
US20080191155A1 (en) | Magnetically coupled valve actuator | |
KR101088898B1 (en) | The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same | |
KR20140118105A (en) | Substrate process apparatus | |
US20190177832A1 (en) | Integrated chamber for vacuum coating | |
KR20110097395A (en) | Gate valve | |
KR102160232B1 (en) | Magnet coupling type gate valve system | |
KR101286824B1 (en) | Gate valae for manufacturing semiconductor and lcd device | |
KR100622846B1 (en) | Apparatus for manufacturing fpd | |
KR102150065B1 (en) | Magnet coupling type gate valve system | |
KR102160233B1 (en) | Magnet coupling type gate valve system | |
KR20150020120A (en) | Plasma processing devices having multi-port valve assemblies | |
KR102131284B1 (en) | Door exchange type gate valve system | |
KR20130043306A (en) | Gate valve for vaccume equipment | |
KR100865796B1 (en) | Vacuum gate valve | |
KR20100064159A (en) | Vacuum gate valve | |
KR102224594B1 (en) | Gate valve system | |
JP2001355745A (en) | Gate valve | |
KR20200142846A (en) | Gate valve system and its control method | |
US9421689B2 (en) | Manipulator apparatus | |
KR102072758B1 (en) | Rotary replacement type gate valve system | |
KR20200001127A (en) | Mono type gate valve system | |
KR102127189B1 (en) | Door exchange type gate valve system | |
KR102207154B1 (en) | Gate valve |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |