KR20200006486A - 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 세라믹 그린 시트의 박리성이 우수한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 기재(11)와, 기재(11)의 편면측에 마련된 박리제층(12)을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름(1, 2)으로서, 박리제층(12)이, 폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과, 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)과, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)과, 광중합개시제(D)를 함유하는 박리제 조성물로부터 형성된 것인 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름(1, 2)을 제공한다.

Description

세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름{RELEASE FILM FOR PROCESS FOR PRODUCING CERAMIC GREEN SHEET}
본 발명은, 세라믹 그린 시트를 제조하는 공정에서 사용하는 박리 필름에 관한 것이다.
종래부터, 적층 세라믹 콘덴서나 다층 세라믹 기판과 같은 적층 세라믹 제품을 제조하기 위해서는, 세라믹 그린 시트를 성형하여, 얻어진 세라믹 그린 시트를 복수 매 적층해서 소성하는 것이 행해지고 있다.
세라믹 그린 시트는, 티탄산바륨이나 산화티타늄 등의 세라믹 재료를 함유하는 세라믹 슬러리를 박리 필름 상에 도공함에 의해 균일한 두께로 성형된다. 박리 필름으로서는, 통상적으로, 필름 기재에 폴리실록산 등의 실리콘계 화합물로 박리 처리하여, 박리제층을 형성한 것이 사용되고 있다.
최근, 전자기기의 소형화 및 고성능화에 수반하여, 적층 세라믹 콘덴서나 다층 세라믹 기판의 소형화 및 다층화가 진행되고, 세라믹 그린 시트의 박막화가 진행되고 있다. 세라믹 그린 시트가 박막화해서, 그 건조 후의 두께가, 예를 들면 3㎛ 이하로 되면, 세라믹 슬러리를 도공하고 건조시켰을 때에, 박리 필름에 있어서의 박리제층의 표면 상태에 기인해서, 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하기 쉬워진다. 또한, 성형한 세라믹 그린 시트를 박리 필름으로부터 박리할 때에, 세라믹 그린 시트의 강도 저하에 의한 파단 등의 불량이 발생하기 쉬워진다.
그 때문에, 이 박리 필름에는, 당해 박리 필름 상에 성형한 박막의 세라믹 그린 시트를 당해 박리 필름으로부터 파단 등 하지 않고 박리할 수 있는 박리성이 요구된다.
이와 같은 박리성을 달성하는 관점에서, 특허문헌 1에는, 기재의 한쪽의 면에, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하는 박리제층 형성 재료를 사용해서 형성된 박리제층을 구비하고, 기재의 다른 쪽의 면에, 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)을 함유하는 배면 코트층 형성 재료를 사용해서 형성된 배면 코트층을 구비한 박리 필름이 개시되어 있다.
일본 특허 제5451951호
그런데, 전자기기의 소형화 및 고성능화의 진행에 수반하여, 박리 필름 상에, 1㎛ 미만의 두께를 갖는 세라믹 그린 시트를 성형하는 경우도 증가하고 있다. 이와 같은 극히 얇은 세라믹 그린 시트는, 강도도 매우 작은 것으로 되기 때문에, 종래의 박리 필름을 사용했을 경우, 파단 등의 불량을 억제하면서 박리 필름으로부터 박리하는 것이 곤란하다.
본 발명은, 이와 같은 실상에 감안해서 이루어진 것이며, 세라믹 그린 시트의 박리성이 우수한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 첫째로 본 발명은, 기재와, 상기 기재의 편면측에 마련된 박리제층을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름으로서, 상기 박리제층이, 폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과, 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)과, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)과, 광중합개시제(D)를 함유하는 박리제 조성물로부터 형성된 것임을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공한다(발명 1).
상기 발명(발명 1)에 따른 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름에서는, 박리제층이 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)을 함유하는 박리제 조성물로부터 형성된 것임에 의해, 박리제층이 비교적 높은 저장 탄성률을 갖는 것으로 되고, 그것에 의해, 세라믹 그린 시트에 대해서 우수한 박리성을 발휘할 수 있다.
상기 발명(발명 1)에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, 활성 에너지선 경화성기를 갖는 것이 바람직하다(발명 2).
상기 발명(발명 1, 2)에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, 폴리오르가노실록산쇄를 갖는 것이 바람직하다(발명 3).
상기 발명(발명 1∼3)에 있어서, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 1분자 중에 셋 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 것이 바람직하다(발명 4).
상기 발명(발명 1∼4)에 있어서, 상기 박리제 조성물 중에 있어서의, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 합계에 대한, 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 비는, 0.03 이상, 0.50 이하인 것이 바람직하다(발명 5).
상기 발명(발명 1∼5)에 있어서, 상기 박리제 조성물 중에 있어서의, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(A), 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(B) 및 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 합계에 대한, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량의 비는, 0.003 이상, 0.05 이하인 것이 바람직하다(발명 6).
상기 발명(발명 1∼6)에 있어서, 상기 박리제층에 있어서의 상기 기재와는 반대측의 면의 표면 자유 에너지는, 15mJ/㎡ 이상, 35mJ/㎡ 이하인 것이 바람직하다(발명 7).
상기 발명(발명 1∼7)에 있어서, 상기 박리제층의 두께는, 0.05㎛ 이상, 2.0㎛ 이하인 것이 바람직하다(발명 8).
상기 발명(발명 1∼8)에 있어서, 상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp1)는, 5㎚ 이상, 100㎚ 이하인 것이 바람직하다(발명 9).
상기 발명(발명 1∼9)에 있어서, 상기 기재의 상기 박리제층과는 반대측의 면에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp2)는, 30㎚ 이상, 500㎚ 이하인 것이 바람직하다(발명 10).
상기 발명(발명 1∼10)에 있어서는, 상기 기재와 상기 박리제층과의 사이에 대전 방지층을 구비하는 것이 바람직하다(발명 11).
본 발명에 따른 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름은, 세라믹 그린 시트의 박리성이 우수하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 단면도.
도 2는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 단면도.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다.
〔세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름〕
도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 실시형태에 따른 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름(1)(이하, 단순히 「박리 필름(1)」이라 하는 경우가 있다)은, 기재(11)와, 기재(11)의 제1 면(111)(도 1에서는 상면)에 적층된 박리제층(12)을 구비해서 구성된다. 기재(11)는, 기재(11)의 제1 면(111)과 반대측의 면(도 1에서는 하면)에 제2 면(112)을 구비하고, 박리제층(12)은, 기재(11)와는 반대측의 면에 박리면(121)을 구비하고 있다.
또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 제2 실시형태에 따른 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름(2)(이하, 단순히 「박리 필름(2)」이라 하는 경우가 있다)은, 기재(11)와, 기재(11)의 제1 면(111)(도 2에서는 상면)에 적층된 대전 방지층(13)과, 대전 방지층(13)에 있어서의 기재(11)와는 반대측의 면에 적층된 박리제층(12)을 구비해서 구성된다. 박리 필름(2)에 있어서도, 박리 필름(1)과 마찬가지로, 기재(11)는, 기재(11)의 제1 면(111)과 반대측의 면(도 1에서는 하면)에 제2 면(112)을 구비하고, 박리제층(12)은, 대전 방지층(13)과는 반대측의 면에 박리면(121)을 구비하고 있다.
1. 기재
본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)의 기재(11)는, 박리제층(12)이나 대전 방지층(13)을 적층할 수 있으면 특히 한정되는 것은 아니다. 이러한 기재(11)로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리프로필렌이나 폴리메틸펜텐 등의 폴리올레핀, 폴리카보네이트, 폴리아세트산비닐 등의 플라스틱으로 이루어지는 필름을 들 수 있고, 단층이어도 되고, 동종 또는 이종(異種)의 2층 이상의 다층이어도 된다. 이들 중에서도 폴리에스테르 필름이 바람직하고, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 특히 바람직하고, 이축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 더 바람직하다. 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름은, 가공 시, 사용 시 등에 있어서, 먼지 등이 발생하기 어렵기 때문에, 예를 들면, 먼지 등에 의한 세라믹 슬러리 도공 불량 등을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름에 대전 방지 처리를 행함으로써, 도공 불량 등을 방지하는 효과를 높일 수 있다.
또한, 이 기재(11)에 있어서는, 박리제층(12)이나 대전 방지층(13)과의 밀착성을 향상시킬 목적으로, 소망에 따라 제1 면(111) 또는 제1 면(111) 및 제2 면(112)의 양면에, 산화법이나 요철화법 등에 의한 표면 처리, 혹은 프라이머 처리를 실시할 수 있다. 상기 산화법으로서는, 예를 들면 코로나 방전 처리, 플라스마 방전 처리, 크롬 산화 처리(습식), 화염 처리, 열풍 처리, 오존, 자외선 조사 처리 등을 들 수 있고, 또한, 요철화법으로서는, 예를 들면 샌드 블라스트법, 용사 처리법 등을 들 수 있다. 이들 표면 처리법은, 기재 필름의 종류에 따라서 적의(適宜) 선택되지만, 일반적으로 코로나 방전 처리법이 효과 및 조작성의 면으로부터 바람직하게 사용된다.
기재(11)의 두께는, 통상 10㎛ 이상이며, 바람직하게는 15㎛ 이상이고, 특히 바람직하게는 20㎛ 이상이다. 또한, 당해 두께는, 통상 300㎛ 이하이며, 바람직하게는 200㎛ 이하이고, 특히 바람직하게는 125㎛ 이하이다.
기재(11)의 제1 면(111)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra0)는, 50㎚ 이하인 것이 바람직하고, 30㎚ 이하인 것이 특히 바람직하다. 또한, 당해 산술 평균 거칠기(Ra0)는, 2㎚ 이상인 것이 바람직하고, 5㎚ 이상인 것이 특히 바람직하다. 기재(11)의 제1 면(111)에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp0)는, 700㎚ 이하인 것이 바람직하고, 500㎚ 이하인 것이 특히 바람직하다. 또한, 당해 최대 돌기 높이(Rp0)는, 10㎚ 이상인 것이 바람직하고, 30㎚ 이상인 것이 특히 바람직하다. 기재(11)의 제1 면(111)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra0) 또는 최대 돌기 높이(Rp0)를 상기한 범위로 설정함으로써, 특히 최대 돌기 높이(Rp0)를 상기한 범위로 설정함으로써, 박리면(121)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra1) 및 최대 돌기 높이(Rp1)를 후술하는 범위 내에 들어가게 하는 것이 용이하게 된다.
기재(11)의 제2 면(112)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra2)는, 50㎚ 이하인 것이 바람직하고, 40㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 30㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 또한, 당해 산술 평균 거칠기(Ra2)는, 5㎚ 이상인 것이 바람직하고, 10㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 15㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 기재(11)의 제2 면(112)에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp2)는, 500㎚ 이하인 것이 바람직하고, 400㎚ 이하인 것이 특히 바람직하다. 또한, 당해 최대 돌기 높이(Rp2)는, 30㎚ 이상인 것이 바람직하고, 60㎚ 이상인 것이 특히 바람직하다. 기재(11)의 제2 면(112)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra2) 또는 최대 돌기 높이(Rp2)를 상기한 범위로 설정함으로써, 특히 최대 돌기 높이(Rp2)를 상기한 범위로 설정함으로써, 세라믹 그린 시트가 성형된 박리 필름(1, 2)을 권취(卷取)해서 보관할 때에, 기재(11)의 제2 면(112)의 표면 형상이 세라믹 그린 시트에 전사하고, 그것에 의해서 세라믹 그린 시트가 부분적으로 얇아지는 것과 같은 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있다. 또한, 기재(11)의 제2 면(112)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra2) 및 최대 돌기 높이(Rp2)를 상기한 범위로 설정함으로써, 감김 어긋남이나 블로킹의 발생을 억제할 수도 있다.
2. 박리제층
본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)에 있어서의 박리제층(12)은, 폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)(이하, 단순히 「활성 에너지선 경화성 화합물(A)」이라 하는 경우가 있다)과, 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)(이하, 단순히 「활성 에너지선 경화성 화합물(B)」이라 하는 경우가 있다)과, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)과, 광중합개시제(D)를 함유하는 박리제 조성물(이하 「박리제 조성물 R」이라 하는 경우가 있다)로부터 형성된다. 박리제층(12)은, 당해 박리제 조성물 R을 경화시켜서 형성된다.
(1) 폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)
활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않으며, 또한, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화할 수 있는 한, 특히 한정되지 않는다. 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 활성 에너지선의 조사에 의해, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)끼리에 있어서 경화 반응을 발생할 수 있고, 또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)과의 사이에 있어서 경화 반응을 발생할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 활성 에너지선 경화성기를 갖는 경우에는, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과 당해 화합물(C)과의 사이에서도 경화 반응을 발생할 수 있다. 이와 같은 경화 반응이 발생함에 의해, 박리제층(12) 내에 삼차원 망목 구조가 양호하게 형성되어, 박리제층(12)이 비교적 높은 저장 탄성률을 갖는 것으로 된다. 그 결과, 박리 필름(1, 2)이, 성형된 세라믹 그린 시트에 대해서 우수한 박리성을 발휘하는 것으로 된다. 또한, 상술한 경화 반응이 발생함에 의해, 박리제층(12)으로부터 세라믹 그린 시트에의, 박리제층(12) 중의 성분의 이행도 억제된다.
활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 활성 에너지선 경화성기를 갖는 화합물인 것이 바람직하다. 당해 활성 에너지선 경화성기의 예로서는, (메타)아크릴로일기, 알케닐기, 말레이미드기 등을 들 수 있고, 당해 알케닐기의 예로서는, 비닐기, 알릴기, 프로페닐기, 헥세닐기 등을 들 수 있다. 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 1분자 중에, 상기 활성 에너지선 경화성기를 둘 이상 갖는 것이 바람직하고, 셋 이상 갖는 것이 특히 바람직하다. 활성 에너지선 경화성 화합물(A)이 1분자 중에 상기 활성 에너지선 경화성기를 둘 이상 가질 경우, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 단일 종의 활성 에너지선 경화성기를 둘 이상 갖고 있어도 되고, 또는 복수 종의 활성 에너지선 경화성기를 맞춰서 둘 이상 갖고 있어도 된다. 본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)에 있어서, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 우수한 경화성을 달성하기 쉽고, 그것에 의해 박리 필름(1, 2)이 우수한 박리성을 달성하기 쉬워진다는 관점에서, 1분자 중에 셋 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 것임이 바람직하다.
활성 에너지선 경화성 화합물(A)이 활성 에너지선 경화성기를 가질 경우, 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 중에 있어서의 활성 에너지선 경화성기의 함유량은, 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 1kg당 10당량 이상인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 박리제층(12)을 형성할 때에, 박리제 조성물 R의 도막으로서, 비교적 얇은 두께의 것이 형성된 경우여도, 당해 도막이 양호한 경화성을 발휘할 수 있고, 충분히 경화한 박리제층(12)을 형성하기 쉬운 것으로 된다.
활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 구체예로서는, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트 등의 다관능 (메타)아크릴레이트를 들 수 있다. 이들 중에서도, 우수한 경화성을 달성하기 쉽다는 관점에서, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트의 적어도 1종의 다관능 아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하고, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 적어도 1종을 사용하는 것이 특히 바람직하다.
(2) 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)
활성 에너지선 경화성 화합물(B)은, 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않으며, 또한, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화할 수 있는 한, 특히 한정되지 않는다. 활성 에너지선 경화성 화합물(B)은, 폴리오르가노실록산쇄를 가짐에 의해, 박리 성분으로서의 기능을 발휘할 수 있고, 이것에 의해, 박리 필름(1, 2)이 우수한 박리성을 달성하는 것으로 된다. 또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)은, 활성 에너지선의 조사에 의해, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)끼리에 있어서 경화 반응을 발생할 수 있고, 또한, 상술과 같이 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과의 사이에 있어서 경화 반응을 발생할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 활성 에너지선 경화성기를 갖는 경우에는, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)은, 당해 화합물(C)과의 사이에서도 경화 반응을 발생할 수 있다. 이와 같은 경화 반응이 발생함에 의해, 박리제층(12) 중에 삼차원 망목 구조가 양호하게 형성되어, 박리제층(12)이 비교적 높은 저장 탄성률을 갖는 것으로 된다. 이것에 의해서도, 박리 필름(1, 2)이 우수한 박리성을 발휘하는 것으로 된다. 또한, 상술한 경화 반응이 발생함에 의해, 박리제층(12)으로부터 세라믹 그린 시트에의, 박리제층(12) 중의 성분의 이행도 억제된다. 특히, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)에 있어서 상술한 경화 반응이 발생함에 의해, 세라믹 그린 시트에 폴리오르가노실록산쇄가 이행하는 것을 억제할 수 있고, 이것에 의해, 세라믹 그린 시트를 사용해서 제조되는 적층 세라믹 제품에 있어서의 성능의 저하를 억제할 수 있다.
활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 바람직한 예로서는, 1분자 중에 하나 이상의 활성 에너지선 경화성기를 갖는 폴리오르가노실록산을 들 수 있다. 당해 폴리오르가노실록산으로서는, 예를 들면, 직쇄상 또는 분기상의 분자쇄를 갖는 폴리오르가노실록산을 들 수 있다.
상기 폴리오르가노실록산이 갖는 활성 에너지선 경화성기의 예로서는, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)이 갖는 활성 에너지선 경화성기로서 상술한 것을 들 수 있다. 상기 폴리오르가노실록산은, 활성 에너지선 경화성기를 말단 및 측쇄의 어느 것에 갖고 있어도 되고, 혹은, 말단 및 측쇄의 양쪽에 갖고 있어도 된다. 활성 에너지선 경화성기가 말단에 존재하는 경우에는, 양말단에 존재하여 있어도 되고, 또는 편말단에 존재하여 있어도 된다. 특히, 상기 폴리오르가노실록산은, 박리제층(12)의 박리면(121)에의 편재의 하기 쉬움의 관점에서, 적어도 말단의 하나에 활성 에너지선 경화성기를 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 폴리오르가노실록산이 갖는, 활성 에너지선 경화성기 이외의 유기기로서는, 본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)이 우수한 박리성을 발휘할 수 있는 한, 특히 한정되지 않는다. 그와 같은 유기기로서는, 예를 들면, 지방족 불포화 결합을 갖지 않는 1가 탄화수소기 등을 들 수 있다. 이 유기기는 복수의 탄화수소기여도 되고, 그들은 서로 동일 또는 이종이어도 된다. 당해 탄화수소기로서는, 탄소수가 1∼12인 것이 바람직하고, 탄소수가 1∼10인 것이 특히 바람직하다. 탄화수소기의 구체예로서는, 메틸기, 에틸기, 프로필기 등의 알킬기, 페닐기, 톨릴기 등의 아릴기 등을 들 수 있고, 이들 중에서도 메틸기인 것이 바람직하다.
활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 중량 평균 분자량은, 400 이상인 것이 바람직하고, 1000 이상인 것이 특히 바람직하고, 2000 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 중량 평균 분자량은, 20000 이하인 것이 바람직하고, 10000 이하인 것이 특히 바람직하고, 6000 이하인 것이 더 바람직하다. 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 중량 평균 분자량이 400 이상임으로써, 박리성 향상의 효과를 얻기 쉬운 것으로 된다. 또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 중량 평균 분자량이 20000 이하임으로써, 세라믹 그린 시트에의 이행성이 억제되고, 가공 프로세스의 불량이 억제된다는 효과가 얻어진다. 또, 본 명세서에 있어서의 중량 평균 분자량은, 겔 투과 크로마토그래피(GPC)법에 의해 측정한 표준 폴리스티렌 환산의 값이다.
박리제 조성물 R 중에 있어서의, 활성 에너지선 경화성 화합물(A), 활성 에너지선 경화성 화합물(B) 및 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 합계에 대한, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량의 비는, 0.003 이상인 것이 바람직하고, 0.005 이상인 것이 특히 바람직하고, 0.007 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 당해 비는, 0.05 이하인 것이 바람직하고, 0.03 이하인 것이 특히 바람직하고, 0.02 이하인 것이 더 바람직하다.
활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량에 관한 상기 비가 0.003 이상임으로써, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)이 갖는 폴리오르가노실록산쇄에 의한 박리성을 향상하는 효과가 양호하게 얻어지고, 박리 필름(1, 2)이 우수한 박리성을 발휘하기 쉬운 것으로 된다. 또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량에 관한 상기 비가 0.05 이하임으로써, 박리제 조성물 R 중에 있어서의 그 밖의 성분의 함유량을 충분히 확보하는 것이 가능하게 된다. 특히, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 함유량이 충분히 확보되어, 박리제층(12)을 충분히 경화시키기 쉬워진다. 또한, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량이 충분히 확보되어, 당해 화합물(C)에 기인한 박리성 향상의 효과를 얻기 쉬운 것으로 된다.
(3) 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)로서는, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 한, 특히 한정되지 않는다.
실세스퀴옥산 골격이란, RSiO1 .5(R은, 유기기이다)라는 기본 구성 단위로 이루어지는 실록산계의 골격이다. 이 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, SiO2라는 기본 구성 단위로 이루어지는 무기 실리카와, R2SiO라는 기본 구성 단위로 이루어지는 폴리오르가노실록산과의 중간적인 성질을 나타내는 것이기 때문에, 경도나 내열성과 같은 무기적인 특징과, 유연성이나 가용성과 같은 유기적인 특징을 겸비한다. 특히, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은 박리제 조성물 R 중에 있어서 비교적 딱딱한 성분으로 되기 때문에, 당해 박리제 조성물 R을 사용해서 형성되는 박리제층(12)의 저장 탄성률은 비교적 높은 것으로 되고, 그 결과, 박리 필름(1, 2)이 세라믹 그린 시트에 대해서 우수한 박리성을 발휘하는 것으로 된다.
상기 실세스퀴옥산 골격은, 일반적으로, 각종 구조를 취할 수 있고, 그 예로서는, 완전 바구니형 구조, 불완전 바구니형 구조, 사다리형 구조, 랜덤 구조 등을 들 수 있다. 본 실시형태에 있어서의 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 실세스퀴옥산 골격의 구조는 특히 제한되지 않으며, 예를 들면 상술한 구조여도 된다.
상기 실세스퀴옥산 골격의 기본 구성 단위(RSiO1.5) 중의 R로서는, 박리 필름(1, 2)이 세라믹 그린 시트에 대해서 우수한 박리성을 발휘하는 한, 특히 한정되지 않으며, 예를 들면, 활성 에너지선 경화성기, 알킬기(특히 메틸기가 바람직하다)를 들 수 있고, 특히, 상기 R 중의 적어도 하나는, 활성 에너지선 경화성기인 것이 바람직하다. 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이, 상기 R로서 활성 에너지선 경화성기를 가짐으로써, 상술한 바와 같이, 활성 에너지선의 조사에 의해서, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 활성 에너지선 경화성 화합물(A)이나 활성 에너지선 경화성 화합물(B)과의 사이에서 경화 반응을 행할 수 있고, 또한, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)끼리에 있어서도 경화 반응을 행할 수 있다. 이것에 의해, 형성되는 박리제층(12)이 보다 높은 저장 탄성률을 갖는 것으로 되고, 우수한 박리성을 갖는 박리 필름(1, 2)을 얻기 쉬워진다.
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이, 상기 R로서 갖는 활성 에너지선 경화성기의 예로서는, 라디칼 경화형의 활성 에너지선 경화성기나, 양이온 경화형의 활성 에너지선 경화성기를 들 수 있다. 라디칼 경화형의 활성 에너지선 경화성기의 예로서는, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)이 갖는 활성 에너지선 경화성기로서 상술한 것을 들 수 있다. 또한, 양이온 경화형의 활성 에너지선 경화성기의 예로서는, 옥세타닐기, 에폭시기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)이나 활성 에너지선 경화성 화합물(B)과의 반응성의 관점에서, 상기 R로서, 라디칼 경화형의 활성 에너지선 경화성기를 갖는 것이 바람직하고, 특히, 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 적어도 1종을 갖는 것이 바람직하다.
본 실시형태에 있어서의 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, 폴리오르가노실록산쇄를 갖는 것도 바람직하다. 이 경우, 상기 화합물(C)은, RSiO1 .5라는 기본 구성 단위로 이루어지는 실세스퀴옥산 골격과 함께, R2SiO라는 기본 구성 단위의 반복 구조를 구비함으로써, 폴리오르가노실록산쇄를 갖는 것으로 되어 있는 것이 바람직하다. 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 폴리오르가노실록산쇄를 가질 경우, 당해 화합물(C)은 박리제층(12) 중에 있어서 박리 성분으로서 기능할 수 있기 때문에, 얻어지는 박리 필름(1, 2)이 보다 우수한 박리성을 발휘하는 것으로 된다.
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 중량 평균 분자량은, 1000 이상인 것이 바람직하고, 3000 이상인 것이 특히 바람직하고, 5000 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 중량 평균 분자량은, 30000 이하인 것이 바람직하고, 20000 이하인 것이 특히 바람직하고, 15000 이하인 것이 더 바람직하다. 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 중량 평균 분자량이 1000 이상임으로써, 형성되는 박리제층(12)이 보다 높은 저장 탄성률을 얻기 쉽다는 효과가 얻어진다. 또한, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 중량 평균 분자량이 30000 이하임으로써, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과의 상용성(相溶性)이 얻기 쉽다는 효과가 얻어진다.
또한, 박리제 조성물 R 중에 있어서의, 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 합계에 대한, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 비는, 0.03 이상인 것이 바람직하고, 0.05 이상인 것이 특히 바람직하고, 0.10 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 당해 비는, 0.50 이하인 것이 바람직하고, 0.40 이하인 것이 특히 바람직하고, 0.30 이하인 것이 더 바람직하다.
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량에 관한 상기 비가 0.03 이상임으로써, 박리제층(12)의 저장 탄성률을 효과적으로 향상시킬 수 있고, 그것에 의해, 우수한 박리성을 발휘하는 박리 필름(1, 2)을 얻기 쉬워진다. 또한, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량에 관한 상기 비가 0.50 이하임으로써, 박리제 조성물 R 중에 있어서의 그 밖의 성분의 함유량을 충분히 확보하는 것이 가능하게 된다. 특히, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 함유량이 충분히 확보되어, 박리제층(12)을 충분히 경화시키기 쉬워진다.
(4) 광중합개시제(D)
박리제 조성물 R이 함유하는 광중합개시제(D)로서는, 활성 에너지선 경화성 화합물(A), 활성 에너지선 경화성 화합물(B) 및 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 갖는 활성 에너지선 경화성기에 적합한 것을 사용하는 것이 바람직하다. 특히, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 상술한 라디칼 경화형의 활성 에너지선 경화성기를 갖는 경우에는, 광중합개시제(D)로서 광라디칼개시제를 사용하는 것이 바람직하다. 광라디칼개시제의 예로서는, α-아미노알킬페논계 화합물, α-히드록시케톤계 화합물, 티오잔톤 등을 포함하는 방향족 케톤류, 아실포스핀옥사이드류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 중합 반응을 촉진하고, 경화성을 향상하는 점으로부터, α-아미노알킬페논계 화합물이 바람직하다.
α-아미노알킬페논계 화합물로서는, 예를 들면, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1, 2-디메틸아미노-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부탄온 등을 들 수 있고, 이들 중에서도, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 바람직하다.
α-히드록시케톤계 화합물로서는, 예를 들면, 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸-프로판-1-온, 2-히드록시-4'-히드록시에톡시-2-메틸프로피오페논, 1-히드록시-시클로헥실-페닐-케톤, 올리고{2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판온} 등을 들 수 있다.
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)이 상술한 양이온 경화형의 활성 에너지선 경화성기를 갖는 경우에는, 광중합개시제(D)로서 광양이온개시제를 사용하는 것이 바람직하다. 광양이온개시제의 예로서는, 설포늄염계 화합물, 요오도늄염계 화합물, 포스포늄염계 화합물, 디아조늄염계 화합물, 암모늄염계 화합물, 페로센류계 화합물 등을 들 수 있다.
이상 설명한 광중합개시제(D)는, 1종을 단독으로, 또는 2종 이상을 조합해서 사용할 수 있다.
박리제 조성물 R 중에 있어서의 광중합개시제(D)의 함유량은, 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 100질량부에 대해서, 2질량부 이상인 것이 바람직하고, 4질량부 이상인 것이 특히 바람직하다. 또한, 박리제 조성물 R 중에 있어서의 광중합개시제(D)의 함유량은, 15질량부 이하인 것이 바람직하고, 12질량부 이하인 것이 특히 바람직하다. 광중합개시제(D)의 함유량이 상술한 범위임으로써, 박리 필름(1, 2)이 우수한 박리성을 발휘하기 쉬운 것으로 된다.
(5) 그 밖의 성분
본 실시형태에 따른 박리제 조성물 R은, 상기 성분 외에, 필요에 따라서, 실리카, 대전방지제, 개시조제(開始助劑), 염료, 안료 그 밖의 첨가제를 함유해도 된다.
(6) 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 물성 등
본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)에 있어서의 박리제층(12)의 두께는, 0.05㎛ 이상인 것이 바람직하고, 0.1㎛ 이상인 것이 특히 바람직하고, 0.15㎛ 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 당해 두께는, 2.0㎛ 이하인 것이 바람직하고, 1.5㎛ 이하인 것이 특히 바람직하고, 1.2㎛ 이하인 것이 더 바람직하다. 박리제층(12)의 두께가 0.05㎛ 이상임으로써, 기재(11)의 제1 면(111)에 돌기가 존재하는 경우여도, 당해의 돌기 상호 간의 오목 부분을 박리제층(12)에 의해서 메우기 쉬워지고, 그것에 의해 박리면(121)이 보다 양호한 평활성을 갖는 것으로 되는 결과, 성형되는 세라믹 그린 시트에 있어서의 핀홀이나 두께 불균일의 발생이 효과적으로 억제된다. 또한, 박리제층(12)의 두께가 2.0㎛ 이하임으로써, 박리제층(12)의 경화 수축에 기인한 박리 필름(1, 2)의 컬의 발생이 효과적으로 억제된다. 또한, 박리 필름(1)을 롤상으로 권취했을 때에 있어서의 블로킹의 발생도 효과적으로 억제된다.
본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)에서는, 박리제층(12)의 박리면(121)의 산술 평균 거칠기(Ra1)가, 10㎚ 이하인 것이 바람직하고, 7㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 5㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 또한, 박리면(121)의 최대 돌기 높이(Rp1)는, 100㎚ 이하인 것이 바람직하고, 70㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 50㎚ 이하인 것이 더 바람직하다.
박리면(121)의 산술 평균 거칠기(Ra1) 또는 최대 돌기 높이(Rp1)를 상기와 같은 범위로 함으로써, 특히 최대 돌기 높이(Rp1)를 상기와 같은 범위로 함으로써, 박리면(121)을 충분히 고평활한 것으로 할 수 있고, 예를 들면 두께 1㎛ 미만의 박막 세라믹 그린 시트를 박리면(121)에 성형했을 때에도, 박막 세라믹 그린 시트에는 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하기 어렵고, 양호한 슬러리 도공성을 달성하기 쉬운 것으로 된다. 또한, 박리면(121)의 산술 평균 거칠기(Ra1) 또는 최대 돌기 높이(Rp1)를 상기와 같은 범위로 함으로써, 세라믹 그린 시트의 박리성도 보다 우수한 것으로 되고, 예를 들면 두께 1㎛ 미만의 박막 세라믹 그린 시트를 박리제층(12)으로부터 박리할 때에도, 세라믹 그린 시트의 파단이 효과적으로 억제된다.
또, 박리면(121)의 산술 평균 거칠기(Ra1)의 하한값에 대해서는, 특히 한정되지 않지만, 1㎚ 이상인 것이 바람직하다. 또한, 박리면(121)의 최대 돌기 높이(Rp1)의 하한값에 대해서도, 특히 한정되지 않지만, 5㎚ 이상인 것이 바람직하다.
본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)에서는, 박리제층(12)의 박리면(121)의 표면 자유 에너지가, 15mJ/㎡ 이상인 것이 바람직하고, 18mJ/㎡ 이상인 것이 특히 바람직하고, 20mJ/㎡ 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 당해 표면 자유 에너지는, 35mJ/㎡ 이하인 것이 바람직하고, 32mJ/㎡ 이하인 것이 특히 바람직하고, 30mJ/㎡ 이하인 것이 더 바람직하다. 표면 자유 에너지가 상기 범위임에 의해, 박리 필름(1, 2)의 박리면(121) 상에 세라믹 슬러리를 도공할 때에, 시싱(cissing)의 발생이 효과적으로 억제된다. 특히, 박리 필름(1, 2)의 주연부에 있어서의 시싱의 발생이 효과적으로 억제되고, 성형되는 세라믹 그린 시트의 단부의 두께가 그 밖의 부분과 비교해서 두꺼워지는 것과 같은 문제도 효과적으로 억제된다. 또, 표면 자유 에너지의 측정 방법은, 후술하는 시험예에 나타내는 바와 같다.
3.대전 방지층
대전 방지층(13)은, 제2 실시형태에 따른 박리 필름(2)에 의한 우수한 박리성을 확보하면서, 박리 필름(2)에 원하는 대전방지성을 부여할 수 있는 것이면, 특히 한정되지 않는다. 이와 같은 대전 방지층(13)으로서는, 예를 들면, 도전성 고분자, 양이온계 대전방지제, 음이온계 대전방지제, 금속 미립자 및 나노 카본 재료 등의 도전성 물질과 바인더 수지를 함유하는 대전 방지층용 조성물로 이루어지는 층을 들 수 있다. 이들 중에서도, 도전성 고분자와 바인더 수지를 함유하는 대전 방지층용 조성물이, 대전방지성이 우수하기 때문에 바람직하다.
도전성 고분자로서는, 종래 공지의 도전성 고분자 중으로부터, 임의의 것을 적의 선택해서 사용할 수 있지만, 그 중에서도, 폴리티오펜계, 폴리아닐린계 또는 폴리피롤계의 도전성 고분자가 바람직하다. 도전성 고분자는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해서 사용해도 된다.
폴리티오펜계의 도전성 고분자로서는, 예를 들면, 폴리티오펜, 폴리(3-알킬티오펜), 폴리(3-티오펜-β-에탄설폰산), 폴리알킬렌디옥시티오펜과 폴리스티렌설포네이트(PSS)와의 혼합물(도프된 것을 포함한다) 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 폴리알킬렌디옥시티오펜과 폴리스티렌설포네이트와의 혼합물이 바람직하다. 상기 폴리알킬렌디옥시티오펜으로서는, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(PEDOT), 폴리프로필렌디옥시티오펜, 폴리(에틸렌/프로필렌)디옥시티오펜 등을 들 수 있고, 그 중에서도 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)이 바람직하다. 즉, 상기한 것 중에서도, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)과 폴리스티렌설포네이트와의 혼합물(PSS를 도프한 PEDOT)이 특히 바람직하다.
폴리아닐린계의 도전성 고분자로서는, 예를 들면, 폴리아닐린, 폴리메틸아닐린, 폴리메톡시아닐린 등을 들 수 있다. 폴리피롤계의 도전성 고분자로서는, 예를 들면, 폴리피롤, 폴리3-메틸피롤, 폴리3-옥틸피롤 등을 들 수 있다.
대전 방지층용 조성물 중에 있어서의 도전성 고분자의 함유량은, 0.1질량% 이상인 것이 바람직하고, 0.2질량% 이상인 것이 특히 바람직하고, 0.3질량% 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 당해 함유량은, 30질량% 이하인 것이 바람직하고, 20질량% 이하인 것이 특히 바람직하고, 10질량% 이하인 것이 더 바람직하다. 도전성 고분자의 함유량이 상기 범위 내이면, 양호한 대전 방지 성능이 얻어지고, 또한, 당해 대전 방지층용 조성물로부터 형성되는 대전 방지층의 강도가 충분한 것으로 된다.
상기 대전 방지층용 조성물에 사용되는 바인더 수지로서는, 폴리에스테르 수지, 우레탄 수지 및 아크릴 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 주성분으로서 함유하는 것이 바람직하다. 이들 수지는, 열경화성 화합물이어도 되고, 자외경화성 화합물이어도 된다.
대전 방지층용 조성물은, 상기 성분 이외에도, 가교제, 레벨링제, 방오제 등을 함유해도 된다.
가교제로서는, 상기한 수지를 가교할 수 있는 것이면 된다. 예를 들면, 상기 수지가 반응성기로서 수산기를 갖는 것이면, 이소시아네이트계 가교제, 에폭시계 가교제, 아민계 가교제, 멜라민계 가교제 등을 사용하는 것이 바람직하다.
가교제의 함유량은, 바인더 수지 100질량부에 대해서, 1질량부 이상인 것이 바람직하고, 5질량부 이상인 것이 특히 바람직하고, 10질량부 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 가교제의 함유량은, 바인더 수지 100질량부에 대해서, 50질량부 이하인 것이 바람직하고, 40질량부 이하인 것이 특히 바람직하고, 30질량부 이하인 것이 더 바람직하다.
레벨링제로서는, 예를 들면, 디메틸실록산계 화합물, 불소계 화합물, 계면활성제 등을 사용할 수 있다. 대전 방지층용 조성물이 레벨링제를 함유함에 의해, 대전 방지층(13)의 평활성을 향상시킬 수 있고, 이것에 의해, 박리면(121)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra1) 및 최대 돌기 높이(Rp1)를 상술한 범위 내에 들어가게 하는 것이 용이하게 된다.
대전 방지층용 조성물 중에 있어서의 레벨링제의 함유량은, 0.05질량% 이상인 것이 바람직하고, 0.1질량% 이상인 것이 특히 바람직하고, 0.3질량% 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 대전 방지층용 조성물 중에 있어서의 레벨링제의 함유량은, 10질량% 이하인 것이 바람직하고, 5질량% 이하인 것이 특히 바람직하고, 3질량% 이하인 것이 더 바람직하다.
대전 방지층(13)의 두께는, 대전 방지 성능의 관점에서, 10㎚ 이상인 것이 바람직하고, 20㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 30㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 강도 및 코스트의 관점에서, 2000㎚ 이하인 것이 바람직하고, 1500㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 1000㎚ 이하인 것이 더 바람직하다.
또, 제2 실시형태에 따른 박리 필름(2)에서는, 대전 방지층(13)이 기재(11)와 박리제층(12)의 사이에 마련되어 있지만, 대전 방지층(13)은 이 위치로 한정되지 않으며, 다른 위치에 마련되어도 된다. 예를 들면, 기재(11)의 제2 면(112)의 측에 대전 방지층(13)이 마련되는 구성이어도 된다. 구체적으로는, 박리제층(12), 기재(11) 및 대전 방지층(13)의 순번으로 구성되어도 된다.
4. 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 제조 방법
제1 실시형태에 따른 박리 필름(1)은, 기재(11)의 제1 면(111)에, 박리제 조성물 R 및 소망에 따라 유기 용제를 함유하는 박리제층 형성용 재료를 도포한 후, 필요에 따라서 건조하고, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화시켜서 박리제층(12)을 형성함에 의해, 제조할 수 있다. 박리제층 형성용 재료의 도포 방법으로서는, 예를 들면, 그라비어 코트법, 바 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 다이 코트법 등을 사용할 수 있다.
상기 유기 용제로서는, 박리제층 형성용 재료의 각 성분의 용해성이 양호하고, 반응성을 갖지 않는 것이면, 종래 공지의 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 헥산, 헵탄, 시클로헥산 등의 지방족 탄화수소, 톨루엔, 자일렌 등의 방향족 탄화수소, 염화메틸렌, 염화에틸렌 등의 할로겐화탄화수소, 메탄올, 에탄올, 프로판올(이소프로필알코올), 부탄올, 1-메톡시-2-프로판올 등의 알코올, 아세톤, 메틸에틸케톤, 2-펜탄온, 이소포론, 시클로헥산온 등의 케톤, 아세트산에틸, 아세트산부틸 등의 에스테르, 에틸셀로솔브 등의 셀로솔브계 용제, 그들의 혼합 용매 등이 사용된다. 유기 용제의 사용량은, 통상적으로, 고형분 농도가 1∼60질량%의 범위로 되도록 조정하는 것이 바람직하다.
활성 에너지선으로서는, 통상적으로, 자외선, 전자선 등이 사용되고, 자외선이 특히 바람직하다. 활성 에너지선의 조사량은, 에너지선의 종류에 따라서 서로 다르지만, 예를 들면 자외선의 경우에는, 광량으로 50∼1000mJ/㎠가 바람직하고, 100∼500mJ/㎠가 특히 바람직하다. 또한, 전자선의 경우에는, 0.1∼50kGy 정도가 바람직하다.
상기 활성 에너지선의 조사에 의해, 박리제 조성물 R 중의 활성 에너지선 경화성 성분(A)이 중합해서 경화하여, 박리제층(12)이 형성된다.
또한, 제2 실시형태에 따른 박리 필름(2)은, 기재(11) 상에, 대전 방지층(13) 및 박리제층(12)을 순서대로 형성함으로써 제조할 수 있다. 대전 방지층(13)에 대해서는, 기재(11)의 제1 면(111)에, 대전 방지층용 조성물 및 소망에 따라 유기 용매나 물을 함유하는 도포액을 도포한 후, 건조하고, 경화시킴에 의해 형성할 수 있다. 이때 사용되는 유기 용매 및 도포 방법은, 박리제층(12)의 형성에 사용되는 상술한 유기 용매 및 도포 방법과 마찬가지의 것을 사용할 수 있다. 박리제층(12)에 대해서는, 형성된 대전 방지층(13)에 있어서의 기재(11)와는 반대측의 면에, 상술한 방법과 마찬가지로 형성할 수 있다.
5. 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 사용 방법
본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)은, 세라믹 그린 시트의 제조를 위하여 사용된다. 그와 같은 사용의 예로서는, 슬롯 다이 도공 방식이나 닥터 블레이드 방식 등을 사용해서, 박리면(121)에 세라믹 슬러리를 도공해서 건조시킴에 의해, 세라믹 그린 시트를 성형하는 방법을 들 수 있다.
성형된 세라믹 그린 시트는, 복수 매가 적층된 후, 소성되어, 적층 세라믹 제품으로 된다. 이 적층 시에, 박리 필름(1, 2)이 세라믹 그린 시트로부터 박리되지만, 본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)은, 박리제층(12)이 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)을 함유하는 박리제 조성물로부터 형성된 것임에 의해, 당해 박리 시의 박리력이 매우 작은 것으로 되어 있다. 그 때문에, 세라믹 그린 시트로부터 박리 필름(1, 2)을 박리할 때에, 세라믹 그린 시트의 파단 등의 불량의 발생을 억제할 수 있다. 특히, 본 실시형태에 따른 박리 필름(1, 2)은, 성형되는 세라믹 그린 시트의 두께가 1㎛ 미만과 같은 매우 얇은 경우여도, 파단 등의 불량의 발생을 양호하게 억제할 수 있다.
이상 설명한 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 기재된 것이며, 본 발명을 한정하기 위하여 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.
예를 들면, 박리 필름(1, 2)에 있어서의 기재(11)의 제2 면(112), 박리 필름(1)에 있어서의 기재(11)와 박리제층(12)과의 사이, 박리 필름(2)에 있어서의 기재(11)와 대전 방지층(13)과의 사이나 대전 방지층(13)과 박리제층(12)과의 사이에는, 다른 층이 마련되어도 된다.
(실시예)
이하, 실시예 등에 의해 본 발명을 더 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예 등으로 한정되는 것은 아니다.
〔실시예 1〕
폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서의, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 90질량부(고형분 환산값; 이하 같다)와, 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)로서의, 아크릴 변성 폴리오르가노실록산(빅케미샤제, 제품명 「BYK-3500」) 1.0질량부와, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)로서의, 아크릴로일기를 갖는 실세스퀴옥산(도아고세이샤제, 제품명 「AC-SQ TA-100」, 표 1 중 「C1」로 기재) 10질량부와, 광중합개시제(D)로서의, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온(BASF사제, 제품명 「IRUGACURE907」, α-아미노알킬페논계 광중합개시제) 7질량부를, 이소프로필알코올 및 메틸에틸케톤의 혼합 용제(질량비 3:1)로 고형분 농도 20질량%로 희석하여, 박리제층 형성용 재료를 얻었다.
얻어진 박리제층 형성용 재료를, 기재로서의 이축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름(두께 31㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0 : 19㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0 : 154㎚, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2 : 20㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2 : 171㎚)의 제1 면에, 경화 후의 두께가 1㎛로 되도록 바 코터에 의해서 도포하고, 80℃에서 1분간 건조시켰다. 그 후, 자외선을 조사(적산 광량 : 250mJ/㎠)하여, 박리제층 형성용 재료를 경화시켜서 박리제층을 형성하여, 이것을 박리 필름으로 했다. 또, 박리제층의 두께는, 후술하는 측정 방법에 의해서 측정한 결과이다(이하의 실시예 등도 같다).
〔실시예 2〕
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)로서, 메타아크릴로일기를 갖는 실세스퀴옥산(도아고세이샤제, 제품명 「MAC-SQ TA-100」, 표 1 중 「C2」로 기재)을 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 3〕
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)로서, 아크릴로일기 및 폴리오르가노실록산쇄를 갖는 실세스퀴옥산(도아고세이샤제, 제품명 「AC-SQ SI-20」, 표 1 중 「C3」으로 기재)을 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 4〕
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)로서, 아크릴로일기 및 폴리오르가노실록산쇄를 갖는 실세스퀴옥산(도아고세이샤제, 제품명 「MAC-SQ SI-20」, 표 1 중 「C4」로 기재)을 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 5 및 6〕
폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량을 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 7〕
폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량을 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는, 실시예 3과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 8 및 9〕
폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량을 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 10〕
폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트를 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 11〕
박리제층의 두께를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는, 실시예 9와 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 12〕
박리제층의 두께를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 13〕
기재로서, 이축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름(두께 31㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0 : 13㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0 : 79㎚, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2 : 14㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2 : 85㎚)을 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 14〕
기재로서, 이축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름(두께 31㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0 : 34㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0 : 516㎚, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2 : 35㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2 : 530㎚)을 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 15〕
기재로서, 이축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름(두께 31㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0 : 6㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0 : 27㎚, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2 : 23㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2 : 188㎚)을 사용한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔실시예 16〕
박리제층의 두께, 및 폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량을 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는, 실시예 15와 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔비교예 1〕
실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)을 사용하지 않는 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔비교예 2〕
폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트를 사용함과 함께, 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)을 사용하지 않는 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 박리 필름을 제작했다.
〔시험예 1〕(박리면의 표면 자유 에너지의 측정)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름에 대하여, 박리제층의 박리면에 대한 각종 액적의 접촉각을 측정하고, 그 값을 근거로 기타자키·하타 이론에 의해, 표면 자유 에너지(mJ/㎡)를 구했다. 접촉각은, 접촉각계(교와가이멘가가쿠샤제, 제품명 「DM-701」)를 사용하여, 정적법에 의해서 JIS R3257에 준거해서 측정했다. 액적에 대해서는, 「분산 성분」으로서 디요오도메탄, 「쌍극자 성분」으로서 1-브로모나프탈렌, 「수소 결합 성분」으로서 증류수를 사용했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
〔시험예 2〕(박리제층의 두께의 측정)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층의 두께(㎛)를, 반사식 막두께계(필메트릭스샤제, 제품명 「F20」)를 사용해서 측정했다. 구체적으로는, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을 100×100㎜로 재단한 후, 측정하는 측의 면의 반대면이 흡인 스테이지측으로 되도록 박리 필름을 막두께계에 설치하고, 박리제층 표면의 10개소에 대하여 막두께를 측정하고, 그 평균값을 박리제층의 두께로 했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
〔시험예 3〕(박리면의 표면 거칠기의 측정)
유리판에 양면 테이프를 첩부하고, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 측정하는 측의 면의 반대면이 유리판측으로 되도록 상기 양면 테이프를 개재해서 유리판에 고정했다. 그 박리 필름의 박리면에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra1; ㎚) 및 최대 돌기 높이(Rp1; ㎚)를, 표면 거칠기 측정기(미쓰토요샤제, 제품명 「SV-3000S4」, 촉침식)를 사용하여, 측정 길이 : 10㎜, 속도 : 1.0㎜/sec, 필터 종별 : Gaussian 및 λc : 0.25㎜의 조건에서 측정했다. 또, 측정은, Ra1 및 Rp1에 대하여 각각 10회 행하고, 그 평균값을, 박리 필름의 Ra1 및 Rp1로 했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
또, 표 2에는, 사용한 기재의 제1 면(박리제층측의 면)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra0; ㎚) 및 최대 돌기 높이(Rp0; ㎚), 그리고 제2 면(박리제층과는 반대측의 면)에 있어서의 산술 평균 거칠기(Ra2; ㎚) 및 최대 돌기 높이(Rp2; ㎚)도 나타낸다.
〔시험예 4〕(박리제층의 경화성의 평가)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름에 대하여, 메틸에틸케톤을 포함시킨 웨이스트 클로쓰(오즈산교샤제, 제품명 「BEMCOT AP-2」)에 의해서, 박리제층의 표면을 하중 1kg/㎠에서 왕복 10회 연마했다. 그 후, 박리면을 목시로 관찰하고, 이하의 판단 기준에 따라 박리제층의 경화성을 평가했다. 또, 본 시험(시험예 4)에 있어서, 평가가 「C」였던 것에 대해서는, 다른 시험을 행하는데 만족할 수 있는 시료를 얻을 수 없었기 때문에, 다른 시험은 행하지 않았다. 결과를 표 2에 나타낸다.
A…박리제층의 용해·탈락이 없었음
B…박리제층의 일부 용해가 보였음
C…박리제층이 완전하게 용해하고, 기재로부터 탈락했음
〔시험예 5〕(슬러리 도공성의 평가)
티탄산바륨 분말(BaTiO3; 사카이가가쿠고교샤제, 제품명 「BT-03」) 100질량부, 바인더로서의 폴리비닐부티랄 수지(세키스이가가쿠고교샤제, 제품명 「에스렉크B·K BM-2」) 8질량부, 및 가소제로서의 프탈산디옥틸(간토가가쿠샤제, 프탈산디옥틸 시카 1급) 4질량부에, 톨루엔 및 에탄올의 혼합액(질량비 6:4) 135질량부를, 지르코니아 비드의 존재 하에서, 볼 밀로 혼합해서 분산시키고, 비드를 제거해서 세라믹 슬러리를 조제했다.
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리면에, 상기 세라믹 슬러리를 다이 코터로 건조 후의 막두께가 1㎛로 되도록, 폭 250㎜, 길이 10m에 걸쳐서 도공하고, 그 후, 건조기로 80℃에서 1분간 건조시켰다. 세라믹 그린 시트가 성형된 박리 필름에 대하여, 박리 필름측으로부터 형광등을 비춰서, 성형한 모든 세라믹 그린 시트면을 목시로 검사하고, 이하의 판단 기준에 따라 슬러리 도공성을 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
A…세라믹 그린 시트에 핀홀이 없었음
B…세라믹 그린 시트에 1∼5개의 핀홀이 발생했음
C…세라믹 그린 시트에 6개 이상의 핀홀이 발생했음
〔시험예 6〕(세라믹 그린 시트에 대한 박리력의 측정)
시험예 5와 같은 수순에 의해 박리 필름의 박리면 상에 세라믹 그린 시트를 성형했다. 얻어진 세라믹 그린 시트 부착 박리 시트를, 23℃, 50% RH의 분위기 하에 24시간 정치했다. 다음으로, 세라믹 그린 시트에 있어서의 박리 시트와는 반대측의 면에 대하여, 아크릴 점착 테이프(닛토덴코샤제, 제품명 「31B테이프」)를 첩부하고, 그 상태에서 20㎜ 폭으로 재단했다. 이것을 측정 샘플로 했다.
당해 측정 샘플의 점착 시트측을 평판에 고정하고, 인장 시험기(시마즈세이사쿠죠사제, 제품명 「AG-IS500N」)를 사용해서 180°의 박리 각도, 300㎜/분의 박리 속도로 세라믹 그린 시트로부터 박리 시트를 박리하고, 박리하는데 필요한 힘(박리력; mN/20㎜)을 측정했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
〔시험예 7〕(박리면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함의 평가)
시험예 5와 같은 수순에 의해 박리 필름의 박리면 상에 세라믹 그린 시트를 성형했다. 다음으로, 박리 필름을 세라믹 그린 시트로부터 박리하고, 당해 세라믹 그린 시트의, 박리면과 접촉하여 있던 면에 있어서의 오목부의 수를 세었다. 구체적으로는, 광간섭식 표면 형상 관찰 장치(Vecco사제, 제품명 「WYKO―1100」)를 사용해서, PSI 모드에서 50배율로 관찰하여, 얻어진 91.2×119.8㎛의 범위에 있어서의 표면 형상 화상에 의거해서, 깊이 150㎚ 이상의 오목부의 수를 세었다.
상기 오목부의 수에 의거해서, 이하의 판단 기준에 따라, 박리제층 표면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함 평가를 행했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
A…오목부의 수가 0개였음
B…오목부의 수가 1∼5개였음
C…오목부의 수가 6개 이상이었음
또, 상기 평가 C의 오목부가 존재하는 세라믹 그린 시트로 콘덴서를 제조했을 경우, 얻어지는 콘덴서는, 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 것으로 된다.
〔시험예 8〕(기재의 제2 면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함의 평가)
폴리비닐부티랄 수지를 톨루엔/에탄올 혼합 용제(질량비 6/4)로 용해한 도공액을, 두께 50㎛의 PET 필름 상에, 건조 후의 두께가 3㎛로 되도록 도포하고, 60℃에서 1분간 건조시켜서 폴리비닐부티랄 수지층을 성형했다.
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 당해 박리 필름의 기재의 제2 면이 상기 폴리비닐부티랄 수지층과 접하도록, 당해 폴리비닐부티랄 수지층에 첩합했다. 이 적층체를 100㎜×100㎜로 재단한 후, 하중 5kg/㎠로 프레스하여, 박리 필름의 기재의 제2 면의 돌기 형상을 폴리비닐부티랄 수지층에 전사시켰다. 다음으로, 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층으로부터 박리하고, 폴리비닐부티랄 수지 필름에 있어서의 박리 필름의 기재의 제2 면과 접촉하여 있던 면에 대하여, 깊이 500㎚ 이상의 오목부를 세었다. 구체적으로는, 광간섭식 표면 형상 관찰 장치(Veeco사제, 제품명 「WYKO-1100」)를 사용해서, PSI 모드, 50배율로, 91.2×119.8㎛의 범위에 확인되는 제2 면의 형상이 전사된 오목부를 세고, 이하의 판단 기준으로, 기재의 제2 면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함을 평가했다. 또, 하기 평가 C의 오목부가 존재하는 그린 시트로 콘덴서를 제작했을 경우, 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 경향이 있었다.
A : 오목부의 수가 0개였음
B : 오목부의 수가 1∼3개였음
C : 오목부의 수가 4개 이상이었음
〔시험예 9〕(핸들링성 평가)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을 롤상으로 할 때의 핸들링성에 대하여 평가했다. 구체적으로는, 접촉한 박리 필름끼리의 미끄럼성, 롤상으로 할 때의 공기 빠짐의 좋음, 및 박리 필름의 감김 어긋남의 발생하기 어려움에 대하여, 이하의 판단 기준에 따라 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
A…접촉한 박리 필름끼리의 미끄럼성이 좋으며, 또한 박리 필름을 롤상으로 할 때의 공기 빠짐이 좋고, 박리 필름의 감김 어긋남을 방지할 수 있었음
B…접촉한 박리 필름끼리의 미끄럼성이 약간 나쁘며, 또한 박리 필름을 롤상으로 감았을 때의 공기의 빠짐이 약간 나쁘고, 감김 어긋남이 약간 발생하지만 지장은 없었음
C…접촉한 박리 필름끼리의 미끄럼성이 나쁘며, 또한 박리 필름을 롤상으로 감았을 때의 공기의 빠짐이 나쁘고, 감김 어긋남이 현저하게 발생했음
〔시험예 10〕(블로킹성의 평가)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 폭 400㎜, 길이 5000m의 롤상으로 감아 올렸다. 이 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50% 이하의 환경 하에 30일간 보관했다. 그 후, 박리 필름 롤으로부터 박리 필름을 조출(繰出)하려고 했을 때의 모습에 대하여, 이하의 판단 기준에 따라 블로킹성을 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
A…블로킹이 전혀 발생하여 있지 않고, 박리 필름을 양호하게 조출할 수 있었음
B…블로킹이 발생하여 있는 경향이 있었지만, 박리 필름을 조출할 수 있었음
C…블로킹이 발생하여 있음에 의해, 박리 필름을 조출할 수 없었음
[표 1]
Figure pat00001
[표 2]
Figure pat00002
표 2로부터 명백한 바와 같이, 실시예의 박리 필름은, 세라믹 그린 시트의 박리성이 우수했다. 또한, 실시예의 박리 필름에 의하면, 세라믹 그린 시트에 결함이 발생하기 어렵고, 또한 블로킹이 발생하기 어렵고, 슬러리 도공성 및 핸들링성도 양호했다.
1, 2 : 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름
11 : 기재
111 : 제1 면
112 : 제2 면
12 : 박리제층
121 : 박리면
13 : 대전 방지층

Claims (11)

  1. 기재와, 상기 기재의 편면측에 마련된 박리제층을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름으로서,
    상기 박리제층이,
    폴리오르가노실록산쇄 및 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과,
    폴리오르가노실록산쇄를 갖고, 실세스퀴옥산 골격을 갖지 않는 활성 에너지선 경화성 화합물(B)과,
    실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)과,
    광중합개시제(D)
    를 함유하는 박리제 조성물로부터 형성된 것임을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, 활성 에너지선 경화성기를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)은, 폴리오르가노실록산쇄를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은, 1분자 중에 셋 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 박리제 조성물 중에 있어서의, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 합계에 대한, 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 비는, 0.03 이상, 0.50 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 박리제 조성물 중에 있어서의, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(A), 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(B) 및 상기 실세스퀴옥산 골격을 갖는 화합물(C)의 함유량의 합계에 대한, 상기 활성 에너지선 경화성 화합물(B)의 함유량의 비는, 0.003 이상, 0.05 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 박리제층에 있어서의 상기 기재와는 반대측의 면의 표면 자유 에너지는, 15mJ/㎡ 이상, 35mJ/㎡ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 박리제층의 두께는, 0.05㎛ 이상, 2.0㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp1)는, 5㎚ 이상, 100㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기재의 상기 박리제층과는 반대측의 면에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp2)는, 30㎚ 이상, 500㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기재와 상기 박리제층과의 사이에 대전 방지층을 구비하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
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