KR20190135152A - Level control unit and vehicle having the same - Google Patents

Level control unit and vehicle having the same Download PDF

Info

Publication number
KR20190135152A
KR20190135152A KR1020180060250A KR20180060250A KR20190135152A KR 20190135152 A KR20190135152 A KR 20190135152A KR 1020180060250 A KR1020180060250 A KR 1020180060250A KR 20180060250 A KR20180060250 A KR 20180060250A KR 20190135152 A KR20190135152 A KR 20190135152A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
hand
adjusting
horizontal
belt
Prior art date
Application number
KR1020180060250A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102571930B1 (en
Inventor
이용환
이종모
김진성
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020180060250A priority Critical patent/KR102571930B1/en
Publication of KR20190135152A publication Critical patent/KR20190135152A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102571930B1 publication Critical patent/KR102571930B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67793—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with orientating and positioning by means of a vibratory bowl or track
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67796—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with angular orientation of workpieces

Abstract

According to the present invention, a horizontality adjusting unit is provided on a vehicle for transferring a cassette and adjusts horizontality of a hand unit grasping the cassette. The horizontality adjusting unit includes: a detecting part provided on the hand unit and detecting the horizontality of the hand unit; an adjusting part provided on a hoist unit lifting the hand unit by using belts and adjusting height of the belts; and a control part controlling the adjusting part so that a horizontal state of the hand unit is maintained in accordance with a detected result of the detecting part.

Description

수평도 조절 유닛 및 이를 갖는 비히클{Level control unit and vehicle having the same}Level control unit and vehicle having the same

본 발명은 수평도 조절 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에서 카세트를 파지하는 핸드 유닛의 수평도를 조절하기 위한 수평도 조절 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a horizontal adjustment unit and a vehicle having the same, and more particularly to a horizontal adjustment unit and a vehicle having the same for adjusting the horizontality of the hand unit for holding the cassette in the vehicle.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state stored in a cassette or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The cassette is transported by an overhead hoist transport (OHT). The OHT includes a travel rail provided along a ceiling of a space in which the semiconductor processing apparatuses are provided, and a vehicle that grips the cassette and travels along the travel rail.

상기 비히클은 상기 카세트를 고정하는 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함한다. The vehicle includes a hand unit holding the cassette and a hoist unit for lifting the hand unit.

상기 호이스트 유닛은 다수의 벨트들로 상기 핸드 유닛을 고정하고, 상기 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛을 승강시킨다. The hoist unit secures the hand unit with a plurality of belts, and elevates the hand unit by winding or unwinding the belts.

그러나, 상기 벨트들의 두께가 서로 차이가 있거나, 상기 핸드 유닛에 공기 저항이 가해지거나, 상기 핸드 유닛의 무게 중심이 틀어지는 경우, 상기 핸드 유닛의 수평을 유지하지 못하고 기울어질 수 있다. However, when the thicknesses of the belts are different from each other, when air resistance is applied to the hand unit, or the center of gravity of the hand unit is distorted, the hand unit may be inclined without being level.

상기 핸드 유닛이 기울어진 경우, 작업자가 수작업으로 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절한다. 따라서, 작업자마다 수평도에 대한 기준이 다르므로, 상기 핸드 유닛의 수평도에 일정하게 조절되기 어렵다. 또한, 상기 수평도 조절에 많은 시간이 소요될 수 있다.When the hand unit is inclined, the operator manually adjusts the level of the hand unit. Therefore, since the standard for the horizontal level for each operator is different, it is difficult to constantly adjust the horizontal level of the hand unit. In addition, it may take a long time to adjust the level.

본 발명은 핸드 유닛의 수평도를 정확하고 신속하게 조절할 수 있는 수평도 조절 유닛을 제공한다. The present invention provides a level control unit that can adjust the level of the hand unit accurately and quickly.

본 발명은 상기 수평도 조절 유닛을 포함하는 비히클을 제공한다. The present invention provides a vehicle comprising the leveling unit.

본 발명에 따른 카세트를 이송하기 위한 비히클에 구비되어 상기 카세트를 파지하는 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부와, 벨트들을 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키는 호이스트 유닛에 구비되며, 상기 벨트들의 높이를 조절하는 조절부 및 상기 감지부의 감기 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 조절부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. The horizontal level adjusting unit, which is provided in the vehicle for conveying the cassette according to the present invention and adjusts the horizontal level of the hand unit for holding the cassette, is provided in the hand unit and detects the horizontal level of the hand unit; And a control unit which is provided in a hoist unit for elevating the hand unit by using belts, and controls the adjusting unit so that the hand unit maintains a horizontal state according to a winding result of the adjusting unit and the sensing unit adjusting the height of the belts. It may include.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 조절부는, 상기 벨트를 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 가이드 롤러를 승강시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the adjusting unit may lift the guide roller for guiding the belt when the belt is wound or unwound.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 조절부는, 상기 가이드 롤러를 지지하며 하부면에 제1 경사면을 갖는 상부 웨지와, 상기 상부 웨지의 하부에 구비되며, 상부면에 상기 제1 경사면과 접촉하는 제2 경사면을 갖는 하부 웨지와, 상기 가이드 롤러를 승강시키기 위해 상기 상부 웨지가 상기 제2 경사면을 따라 이동하도록 상기 하부 웨지를 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the adjustment unit, the upper wedge having a first inclined surface on the lower surface to support the guide roller, and is provided below the upper wedge, the upper surface is in contact with the first inclined surface A lower wedge having a second inclined surface, and a drive unit for moving the lower wedge in a horizontal direction so that the upper wedge moves along the second inclined surface to elevate the guide roller.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 조절부는 상기 핸드 유닛이 승강하는 상태에서 상기 벨트들의 높이를 조절할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the adjusting unit may adjust the height of the belt in the lifting state of the hand unit.

본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛에 대해 Y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며, 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 하단부에 고정되며, 카세트를 고정하는 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛을 포함하고, 상기 수평도 조절 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부와, 상기 호이스트 유닛에 구비되며, 상기 벨트의 높이를 조절하는 조절부 및 상기 감지부의 감기 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 조절부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. A vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling in an X-axis direction along a traveling rail of a ceiling, a slide unit provided below the traveling unit and fixed to the traveling unit, and a Y-axis direction with respect to the slide unit. A hoist unit which is provided at a lower portion of the slide unit so as to be movable, and which is wound up or unwound to elevate the belt, and which is fixed to a lower end of the belt and which hold a cassette, And a horizontal level adjusting unit for adjusting, wherein the horizontal level adjusting unit is provided in the hand unit and detects the level of the hand unit, and is provided in the hoist unit and adjusts the height of the belt. The control unit may be controlled so that the hand unit maintains a horizontal state according to the winding result of the control unit and the sensing unit. It may comprise a control unit.

본 발명에 따른 수평도 조절 유닛은 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 호이스트 유닛의 벨트 높이를 조절함으로써 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절할 수 있다. 상기 핸드 유닛의 수평도 조절이 자동으로 이루어지므로, 상기 핸드 유닛의 수평도를 균일하게 조절할 수 있고, 상기 핸드 유닛의 수평도를 신속하게 조절할 수 있다. The horizontal level adjusting unit according to the present invention may detect the horizontal level of the hand unit and adjust the horizontal level of the hand unit by adjusting the belt height of the hoist unit according to the detection result. Since the level of the hand unit is automatically adjusted, the level of the hand unit can be adjusted uniformly, and the level of the hand unit can be quickly adjusted.

본 발명에 따른 비히클은 상기 카세트의 승강이 이루어지는 동안에도 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 기울어진 상태로 상기 카세트를 로딩 및 언로딩하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클은 상기 카세트를 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다. The vehicle according to the present invention can adjust the level of the hand unit even while the cassette is raised and lowered. Thus, the hand unit can be prevented from loading and unloading the cassette in an inclined state. Therefore, the vehicle can stably load and unload the cassette.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 연결 유닛 설명하기 위한 측면 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 호이스트 유닛, 핸드 유닛 및 수평도 조절 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 수평도 조절 유닛의 동작을 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a side view illustrating a vehicle according to an embodiment of the present invention.
2 is a side cross-sectional view for explaining the connection unit in FIG.
FIG. 3 is a side view illustrating the hoist unit, the hand unit, and the horizontal level adjusting unit shown in FIG. 1.
4 is a side view for explaining the operation of the horizontal adjustment unit shown in FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 연결 유닛 설명하기 위한 측면 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 호이스트 유닛, 핸드 유닛 및 수평도 조절 유닛을 설명하기 위한 측면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 수평도 조절 유닛의 동작을 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a side view for explaining a vehicle according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a side cross-sectional view for explaining the connection unit in Figure 1, Figure 3 is a hoist unit, a hand unit and a horizontal view shown in FIG. It is a side view for demonstrating an adjustment unit, and FIG. 4 is a side view for explaining operation | movement of the horizontality adjustment unit shown in FIG.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 카세트(20)를 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140), 핸드 유닛(150), 연결 유닛(160) 및 수평도 조절 유닛(170)을 포함한다. 1 to 4, the vehicle 100 is for transporting the cassette 20 along the travel rail 10 provided in the ceiling, and the travel unit 110, the frame unit 120, and the slide unit. 130, the hoist unit 140, the hand unit 150, the connection unit 160, and the horizontal adjustment unit 170.

상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 X축 방향을 따리 이동할 수 있다.The traveling unit 110 moves the vehicle 100 along the traveling rail 10. Traveling rollers 112 are provided at both side surfaces of the travel unit 110. The traveling roller 112 is rotated by a separate drive unit. Thus, the vehicle 100 travels along the travel rails 10. For example, the vehicle 100 may move along the X axis direction.

한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the driving unit 110 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the travel rail 10. The driving direction of the vehicle 100 may be adjusted at the branch point of the travel rail 10.

상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)이 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 카세트(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다. The frame unit 120 has the traveling unit 110 fixed to the lower surface. The frame unit 120 has a hollow shape for accommodating the cassette 20. In addition, the lower surface and one side of the Y-axis direction of the frame unit 120 may be opened so that the cassette 20 may move along the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The slide unit 130 is provided on an inner upper surface of the frame unit 120. The slide unit 130 may horizontally move the hoist unit 140 in the Y-axis direction. In this case, the hoist unit 140 may move horizontally through one open side surface of the frame unit 120.

상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist unit 140 is provided on the lower surface of the slide unit 130 to be horizontally movable in the Y-axis direction.

상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 다수의 벨트(142)들로 상기 핸드 유닛(150)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 호이스트 유닛(140)을 승강시킬 수 있다.The hoist unit 140 may lift the hand unit 150 to move up and down along the Z-axis direction. For example, the hoist unit 140 fixes the hand unit 150 with a plurality of belts 142. The hoist unit 140 may elevate the hoist unit 140 by winding or unwinding the belts 142.

구체적으로, 플레이트(164)는 평판 형태를 가지며, 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 결합된다. In detail, the plate 164 has a flat plate shape and is coupled to the lower surface of the slide unit 130 so as to be movable in the Y-axis direction.

권취 드럼(166)은 상기 플레이트(164)의 상부면에 구비되며, 상기 벨트(142)를 권취한다. 상기 권취 드럼(166)은 구동 모터(미도시)와 연결되며, 상기 구동 모터에 의해 회전하면서 상기 벨트(142)를 권취하거나 권출할 수 있다. A winding drum 166 is provided on the upper surface of the plate 164 and winds up the belt 142. The winding drum 166 may be connected to a driving motor (not shown), and may be wound or unwound while the belt 142 is rotated by the driving motor.

가이드 롤러(168)는 상기 플레이트(164)의 상부면에 구비되며, 상기 벨트(162)가 상기 권취 드럼(166)에 권취되거나 권출될 때 상기 벨트(162)를 가이드한다. A guide roller 168 is provided on the upper surface of the plate 164 and guides the belt 162 when the belt 162 is wound or unwound on the winding drum 166.

상기 권취 드럼(166) 및 상기 가이드 롤러(168)는 상기 플레이트(164)의 상부면에 구비되는 축 지지부재에 각각 회전 가능하게 지지될 수 있다. The winding drum 166 and the guide roller 168 may be rotatably supported by shaft support members provided on the upper surface of the plate 164, respectively.

상기 벨트(162), 상기 권취 드럼(166), 상기 구동 모터, 상기 가이드 롤러(168) 등이 하나의 세트를 형성하고, 상기 세트가 상기 플레이트(164)의 상부면에 복수로 구비될 수 있다. The belt 162, the winding drum 166, the drive motor, the guide roller 168, and the like may be formed in one set, and the sets may be provided in plurality on the upper surface of the plate 164. .

상기 핸드 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 카세트(20)를 고정한다. The hand unit 150 is fixed to the end of the belt 142, and fixes the cassette 20.

상기 카세트(20)는 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다. The cassette 20 may move in the horizontal direction by the slide unit 130 and may be elevated by the hoist unit 140.

상기 연결 유닛(160)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140) 사이에 구비되며, 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 슬라이드 유닛(130)에 대해 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 연결한다. The connection unit 160 is provided between the slide unit 130 and the hoist unit 140 and connects the hoist unit 140 to be movable in the Y-axis direction with respect to the slide unit 130. .

상기 호이스트 유닛(140)이 상기 Y축 방향으로 안정적으로 이동하도록 상기 연결 유닛(160)은 한 쌍이 구비될 수 있다. 이때, 상기 한 쌍의 연결 유닛(160)은 서로 평행하도록 배치될 수 있다. A pair of the connection units 160 may be provided to allow the hoist unit 140 to stably move in the Y-axis direction. In this case, the pair of connection units 160 may be arranged to be parallel to each other.

상기 연결 유닛(160)은 가이드 레일(161), 이동 블록(162), 제1 고정 브래킷(163), 제2 고정 브래킷(164), 제1 나사(165) 및 제2 나사(166)를 포함할 수 있다. The connection unit 160 includes a guide rail 161, a moving block 162, a first fixing bracket 163, a second fixing bracket 164, a first screw 165, and a second screw 166. can do.

상기 가이드 레일(161)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140) 사이에 구비되며, 상기 Y축 방향을 따라 배치된다. The guide rail 161 is provided between the slide unit 130 and the hoist unit 140 and is disposed along the Y-axis direction.

상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. The moving block 162 is provided on one side of the guide rail 161 to be movable along the Y-axis direction. Therefore, the moving block 162 may move in the Y-axis direction along the guide rail 161.

예를 들면, 상기 가이드 레일(161) 및 상기 이동 블록(162)은 LM 가이드일 수 있다. For example, the guide rail 161 and the moving block 162 may be an LM guide.

상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. The first fixing bracket 163 is fixed to the lower surface of the slide unit 130. Although not shown in detail, the first fixing bracket 163 may be fixed by the slide unit 130 and a screw (not shown).

또한, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 가이드 레일(161)의 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면에 결합될 수 있다. 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)은 상기 제1 나사(165)에 의해 결합될 수 있다. In addition, the first fixing bracket 163 may be coupled to a second side opposite to the first side of the guide rail 161. The first fixing bracket 163 and the guide rail 161 may be coupled by the first screw 165.

구체적으로, 상기 제1 나사(165)는 상기 제1 고정 브래킷(163)을 관통하여 상기 가이드 레일(161)과 체결된다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)이 안정적으로 결합될 수 있다. Specifically, the first screw 165 is fastened to the guide rail 161 by passing through the first fixing bracket 163. Therefore, the first fixing bracket 163 and the guide rail 161 can be stably coupled.

상기 제1 고정 브래킷(163)은 제1 홈(163a)을 갖는다. 상기 제1 홈(163a)은 상기 제1 고정 브래킷(163)에서 상기 가이드 레일(161)과 마주보는 측면에 구비된다. 상기 제1 홈(163a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 제1 홈(163a)의 상기 Z축 방향 폭은 상기 가이드 레일(161)의 상기 Z축 방향의 폭과 같거나 약간 클 수 있다. 따라서, 상기 가이드 레일(161)이 상기 제1 홈(163a)에 삽입될 수 있다. The first fixing bracket 163 has a first groove 163a. The first groove 163a is provided at a side facing the guide rail 161 in the first fixing bracket 163. The first groove 163a may extend along the Y-axis direction. The width of the Z-axis direction of the first groove 163a may be equal to or slightly larger than the width of the Z-axis direction of the guide rail 161. Therefore, the guide rail 161 may be inserted into the first groove 163a.

상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)이 결합될 때, 상기 제1 홈(163a)은 상기 가이드 레일(161)의 결합 위치를 안내할 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)을 정확하게 결합할 수 있다. When the first fixing bracket 163 and the guide rail 161 are coupled, the first groove 163a may guide a coupling position of the guide rail 161. Therefore, the first fixing bracket 163 and the guide rail 161 can be accurately coupled.

상기 가이드 레일(161)이 상기 제1 홈(163a)에 삽입되면, 상기 제1 고정 브래킷(163)이 상기 가이드 레일(161)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 가이드 레일(161)이 하방으로 이동하거나 처지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)의 결합 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. When the guide rail 161 is inserted into the first groove 163a, the first fixing bracket 163 may support the lower surface of the guide rail 161. Accordingly, the first fixing bracket 163 may prevent the guide rail 161 from moving or sagging downward, and stably maintains a coupling state between the first fixing bracket 163 and the guide rail 161. I can keep it.

상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 호이스트 유닛(140)의 상부면, 구체적으로 상기 플레이트(144)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 호이스트 유닛(140)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. The second fixing bracket 164 is fixed to the upper surface of the hoist unit 140, specifically, the upper surface of the plate 144. Although not shown in detail, the second fixing bracket 164 may be fixed by the hoist unit 140 and a screw (not shown).

또한, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 이동 블록(162)과 결합된다. 구체적으로, 상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)의 상기 제1 측면과 결합되는 제3 측면 및 상기 제3 측면과 반대되는 제4 측면을 갖는다. 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 제4 측면에 결합될 수 있다. In addition, the second fixing bracket 164 is coupled to the moving block 162. Specifically, the moving block 162 has a third side coupled to the first side of the guide rail 161 and a fourth side opposite to the third side. The second fixing bracket 164 may be coupled to the fourth side.

그러므로, 상기 연결 부재(160)는 상기 X축 방향으로 따라 상기 제1 고정 브래킷(163), 상기 가이드 레일(161), 상기 이동 블록(162), 상기 제2 고정 브래킷(164)의 순이나 이들의 역순으로 결합될 수 있다.Therefore, the connecting member 160 may be arranged in the order of the first fixing bracket 163, the guide rail 161, the moving block 162, and the second fixing bracket 164 along the X-axis direction. Can be combined in the reverse order.

상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)은 상기 제2 나사(166)에 의해 결합될 수 있다. The second fixing bracket 164 and the moving block 162 may be coupled by the second screw 166.

구체적으로, 상기 제2 나사(166)는 상기 제2 고정 브래킷(164)을 관통하여 상기 이동 블록(162)과 체결된다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)이 안정적으로 결합될 수 있다. Specifically, the second screw 166 is fastened to the moving block 162 through the second fixing bracket 164. Therefore, the second fixing bracket 164 and the moving block 162 may be stably coupled.

상기 제2 고정 브래킷(164)은 제2 홈(164a)을 갖는다. 상기 제2 홈(164a)은 상기 제2 고정 브래킷(164)에서 상기 이동 블록(162)과 마주보는 측면에 구비된다. 상기 제2 홈(164a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 제2 홈(164a)의 상기 Z축 방향 폭은 상기 이동 블록(162)의 상기 Z축 방향의 폭과 같거나 약간 클 수 있다. 따라서, 상기 이동 블록(162)이 상기 제2 홈(164a)에 용이하게 삽입될 수 있다. The second fixing bracket 164 has a second groove 164a. The second groove 164a is provided on the side facing the moving block 162 in the second fixing bracket 164. The second groove 164a may extend along the Y-axis direction. The Z-axis width of the second groove 164a may be equal to or slightly larger than the width of the Z-axis direction of the moving block 162. Therefore, the moving block 162 may be easily inserted into the second groove 164a.

상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)이 결합될 때, 상기 제2 홈(164a)은 상기 이동 블록(162)의 결합 위치를 안내할 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)을 정확하게 결합할 수 있다. When the second fixing bracket 164 and the moving block 162 are coupled, the second groove 164a may guide the coupling position of the moving block 162. Therefore, the second fixing bracket 164 and the moving block 162 can be accurately coupled.

상기 이동 블록(162)이 상기 제2 홈(164a)에 삽입되면, 상기 제2 고정 브래킷(164)이 상기 이동 블록(162)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 이동 블록(162)이 하방으로 이동하거나 처지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)의 결합 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. When the moving block 162 is inserted into the second groove 164a, the second fixing bracket 164 may support the lower surface of the moving block 162. Accordingly, the second fixing bracket 164 may prevent the moving block 162 from moving or sagging downward, and stably maintains a coupling state of the second fixing bracket 164 and the moving block 162. I can keep it.

상기 제1 고정 브래킷(163)에 의해 상기 가이드 레일(161)이 상기 슬라이드 유닛(130)에 고정되고, 상기 제2 고정 브래킷(164)에 의해 상기 이동 블록(162)이 상기 호이스트 유닛(140)에 고정된다. 또한, 상기 이동 블록(162)이 상기 가이드 레일(161)을 따라 상기 Y축 방향을 따라 이동한다. 그러므로, 상기 연결 유닛(160)에 의해 상기 호이스트 유닛(140)이 상기 슬라이드 유닛(130)에 대해 상기 Y축 방향을 따라 안정적으로 수평 이동할 수 있다. The guide rail 161 is fixed to the slide unit 130 by the first fixing bracket 163, and the moving block 162 is the hoist unit 140 by the second fixing bracket 164. Is fixed to. In addition, the moving block 162 moves along the Y-axis direction along the guide rail 161. Therefore, the hoist unit 140 may be stably horizontally moved along the Y-axis direction with respect to the slide unit 130 by the connection unit 160.

상기 연결 유닛(160)이 서로 평행하도록 한 쌍 구비되는 경우, 상기 제2 고정 브래킷(164)이 상기 X축 방향의 외측의 향하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)을 체결하는 상기 제2 나사(166)가 외부로 노출될 수 있다. When the pair of connection units 160 are provided to be parallel to each other, the second fixing bracket 164 may be disposed to face outward in the X-axis direction. At this time, the first fixing bracket 163 is disposed to face each other. Therefore, the second screw 166 that fastens the second fixing bracket 164 and the moving block 162 may be exposed to the outside.

상기 노출된 제2 나사(166)를 분리 및 조립함으로써 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립하기 위해 상기 호이스트 유닛(140)을 분리할 필요가 없다. 그러므로, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다. The slide unit 130 and the hoist unit 140 may be separated or assembled by removing and assembling the exposed second screw 166. In addition, it is not necessary to separate the hoist unit 140 in order to separate or assemble the slide unit 130 and the hoist unit 140. Therefore, separation and coupling of the slide unit 130 and the hoist unit 140 can be made simple and fast.

한편, 상기 연결 유닛(160)이 서로 평행하도록 한 쌍 구비되는 경우, 상기 제1 고정 브래킷(163)이 상기 X축 방향의 외측의 향하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)을 체결하는 상기 제1 나사(165)가 외부로 노출될 수 있다. On the other hand, when the pair of connection unit 160 is provided in parallel with each other, the first fixing bracket 163 may be disposed to face the outside of the X-axis direction. At this time, the second fixing bracket 164 is disposed to face each other. Therefore, the first screw 165 fastening the first fixing bracket 163 and the guide rail 161 may be exposed to the outside.

상기 노출된 제1 나사(165)를 분리 및 조립함으로써 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립하기 위해 상기 호이스트 유닛(140)을 분리할 필요가 없다. 그러므로, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다. The slide unit 130 and the hoist unit 140 may be separated or assembled by removing and assembling the exposed first screw 165. In addition, it is not necessary to separate the hoist unit 140 in order to separate or assemble the slide unit 130 and the hoist unit 140. Therefore, separation and coupling of the slide unit 130 and the hoist unit 140 can be made simple and fast.

상기 수평도 조절 유닛(170)은 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절한다. 상기 수평도 조절 유닛(170)은 감지부(171), 조절부(172) 및 제어부(176)를 포함한다. The horizontal level adjusting unit 170 adjusts the horizontal level of the hand unit 150. The horizontal level adjusting unit 170 includes a sensing unit 171, an adjusting unit 172, and a control unit 176.

상기 감지부(171)는 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 벨트(142)들에 의해 고정된 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 감지한다. The sensing unit 171 is provided in the hand unit 150 and detects a horizontal degree of the hand unit 150 fixed by the belts 142.

구체적으로, 상기 감지부(171)는 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 네 변의 중앙 부위 또는 네 모서리 부위에 각각 구비되거나, 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중앙 부위에 하나가 구비되거나, 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중앙 부위 및 상기 상부면 네 변의 중앙 부위 또는 네 모서리 부위에 각각 구비될 수 있다. Specifically, the sensing unit 171 is provided at each of the central portion or four corner portions of the four sides of the upper surface of the hand unit 150, one is provided at the central portion of the upper surface of the hand unit 150, or A central portion of the upper surface of the hand unit 150 and the central portion or four corner portions of the four sides of the upper surface may be provided respectively.

상기 감지부(171)의 예로는 기울기 센서를 들 수 있다. An example of the sensing unit 171 may be a tilt sensor.

상기 조절부(172)는 상기 호이스트 유닛(140)에 구비되며, 상기 벨트(142)들의 높이를 조절한다. The adjusting unit 172 is provided in the hoist unit 140 and adjusts the height of the belts 142.

구체적으로, 상기 조절부(172)는 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되며, 상기 가이드 롤러(148)를 승강시켜 상기 벨트(142)의 높이를 조절한다. Specifically, the adjusting unit 172 is provided on the upper surface of the plate 144, and adjusts the height of the belt 142 by lifting the guide roller 148.

상기 조절부(172)는 상부 웨지(173), 하부 웨지(174) 및 구동부(175)를 포함할 수 있다. The adjusting unit 172 may include an upper wedge 173, a lower wedge 174, and a driving unit 175.

상기 상부 웨지(173)는 상기 가이드 롤러(148)를 지지한다. 예를 들면, 상기 상부 웨지(173)는 상기 가이드 롤러(148)를 지지하는 상기 축 지지부재의 하부면에 구비될 수 있다. The upper wedge 173 supports the guide roller 148. For example, the upper wedge 173 may be provided on a lower surface of the shaft support member supporting the guide roller 148.

상기 상부 웨지(173)는 하부면에 제1 경사면(173a)을 갖는다. The upper wedge 173 has a first inclined surface 173a on the lower surface.

상기 하부 웨지(174)는 상기 상부 웨지(173)와 상기 플레이트(144) 사이에 구비되며, 상기 웨지(173)를 지지한다. The lower wedge 174 is provided between the upper wedge 173 and the plate 144 and supports the wedge 173.

상기 하부 웨지(174)는 상부면에 제2 경사면(174a)을 갖는다. 상기 제2 경사면(174a)은 상기 제1 경사면(173a)과 접촉한다. 이때, 상기 제1 경사면(173a)과 상기 제2 경사면(174a)은 실질적으로 동일한 경사를 갖는다. The lower wedge 174 has a second inclined surface 174a on its upper surface. The second inclined surface 174a is in contact with the first inclined surface 173a. In this case, the first inclined surface 173a and the second inclined surface 174a have substantially the same slope.

상기 구동부(175)는 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되어 상기 하부 웨지(174)는 수평 방향으로 이동시킨다. 상기 구동부(175)의 예로는 볼 스크류, 리니어 모터, 실린더 등을 들 수 있다. The driving unit 175 is provided on the upper surface of the plate 144 to move the lower wedge 174 in the horizontal direction. Examples of the driving unit 175 may include a ball screw, a linear motor, a cylinder, and the like.

상기 하부 웨지(174)가 상기 수평 방향으로 이동함에 따라 상기 상부 웨지(173)가 상기 제2 경사면(174a)을 따라 이동하면서 승강할 수 있다. 상기 상부 웨지(173)가 승강함에 따라 상기 가이드 롤러(148) 및 상기 가이드 롤러(148)에 의해 가이드되는 상기 벨트(142)도 승강할 수 있다. 그러므로, 상기 벨트(142)의 높이를 조절할 수 있다. As the lower wedge 174 moves in the horizontal direction, the upper wedge 173 may move up and down along the second inclined surface 174a. As the upper wedge 173 moves up and down, the guide roller 148 and the belt 142 guided by the guide roller 148 may also move up and down. Therefore, the height of the belt 142 can be adjusted.

한편, 상기 조절부(172)는 상기 상부 웨지(173) 및 상기 하부 웨지(174)를 구비하지 않으며, 상기 구동부(175)가 상기 가이드 롤러(148)를 직접 승강시킬 수도 있다. On the other hand, the adjusting unit 172 is not provided with the upper wedge 173 and the lower wedge 174, the driving unit 175 may directly lift the guide roller 148.

또한, 상기 가이드 롤러(148)가 복수로 구비되는 경우, 상기 조절부(172)는 상기 가이드 롤러(148)에 각각 구비될 수 있다. 따라서, 상기 조절부(172)는 상기 벨트(142)들의 높이를 개별적으로 조절할 수 있다. In addition, when the guide roller 148 is provided in plural, the adjusting unit 172 may be provided on the guide roller 148, respectively. Thus, the adjusting unit 172 may individually adjust the height of the belt 142.

상기 조절부(172)는 상기 핸드 유닛(150)이 정지한 상태에서 상기 벨트(142)들의 높이를 조절할 수 있다. 즉, 상기 벨트(142)가 권취되거나 권출되지 않는 상태에서 상기 벨트(142)의 높이가 조절될 수 있다. The adjusting unit 172 may adjust the height of the belts 142 in a state where the hand unit 150 is stopped. That is, the height of the belt 142 may be adjusted while the belt 142 is not wound or unwound.

또한, 상기 조절부(172)는 상기 핸드 유닛(150)이 승강하는 상태에서 상기 벨트(142)들의 높이를 조절할 수도 있다. 즉, 상기 벨트(142)가 권취되거나 권출되는 동안에 상기 벨트(142)의 높이가 조절될 수 있다. In addition, the adjusting unit 172 may adjust the height of the belts 142 in a state where the hand unit 150 is elevated. That is, the height of the belt 142 may be adjusted while the belt 142 is wound or unwound.

상기 수평도 조절 유닛(170)은 상기 핸드 유닛(150)의 상태와 무관하게 상기 벨트(142)들의 높이를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 실시간으로 조절할 수 있다. The horizontal level adjusting unit 170 may adjust the height of the belts 142 regardless of the state of the hand unit 150. Therefore, the horizontality of the hand unit 150 can be adjusted in real time.

상기 제어부(176)는 상기 감지부(171)로부터 상기 핸드 유닛(150)의 수평도에 관한 정보를 전달받는다. 예를 들면, 상기 제어부(176)와 상기 감지부(171)는 무선 통신을 통해 연결될 수 있다. The controller 176 receives information about the horizontal degree of the hand unit 150 from the detector 171. For example, the controller 176 and the detector 171 may be connected through wireless communication.

또한, 상기 제어부(176)는 상기 핸드 유닛(150)의 수평도에 관한 정보에 다라 상기 조절부(172)를 제어한다. In addition, the controller 176 controls the controller 172 according to the information about the horizontal degree of the hand unit 150.

구체적으로, 상기 핸드 유닛(150)이 기 설정된 기준 수평도 범위를 벗어나는 경우, 상기 제어부(176)는 상기 벨트(142)들의 높이가 조절되도록 상기 조절부(172)를 제어한다. 상기 제어부(176)의 제어에 따라 상기 조절부(172)가 상기 벨트(142)들의 높이를 개별적으로 조절한다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)을 수평 상태를 유지할 수 있다. Specifically, when the hand unit 150 is out of a preset reference horizontal range, the controller 176 controls the adjusting unit 172 to adjust the height of the belts 142. Under the control of the controller 176, the adjusting unit 172 individually adjusts the height of the belts 142. Therefore, the hand unit 150 may be maintained in a horizontal state.

상기 핸드 유닛(150)이 기울어진 경우, 상기 수평도 조절 유닛(170)이 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 자동으로 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)이 기울어진 상태로 상기 카세트(20)를 로딩 및 언로딩하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 비히클(100)은 상기 카세트(20)를 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다. When the hand unit 150 is inclined, the horizontal level adjusting unit 170 may automatically adjust the horizontal level of the hand unit 150. Therefore, it is possible to prevent loading and unloading of the cassette 20 with the hand unit 150 tilted. In addition, the vehicle 100 may stably load and unload the cassette 20.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 수평도 조절 유닛을 이용하여 상기 핸드 유닛의 수평도를 신속하고 정확하게 조절할 수 있다. 상기 핸드 유닛이 항상 수평 상태로 유지할 수 있으므로, 상기 비히클은 상기 카세트를 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다. As described above, the vehicle according to the present invention can quickly and accurately adjust the level of the hand unit by using the level adjusting unit. Since the hand unit can be kept horizontal at all times, the vehicle can reliably load and unload the cassette.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 150 : 핸드 유닛
160 : 연결 유닛 170 : 수평도 조절 유닛
10 : 주행 레일 20 : 카세트100: vehicle 110: running unit
120: frame unit 130: slide unit
140: hoist unit 150: hand unit
160: connection unit 170: horizontal adjustment unit
10: running rail 20: cassette

Claims (5)

카세트를 이송하기 위한 비히클에 구비되어 상기 카세트를 파지하는 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛에 있어서,
상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부;
벨트들을 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키는 호이스트 유닛에 구비되며, 상기 벨트들의 높이를 조절하는 조절부; 및
상기 감지부의 감기 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.A horizontal adjustment unit provided in a vehicle for transporting a cassette, the horizontal adjustment unit for adjusting the horizontal level of the hand unit for holding the cassette,
A sensing unit provided in the hand unit and sensing a horizontal level of the hand unit;
A control unit provided in the hoist unit for elevating the hand unit by using belts and adjusting the height of the belts; And
And a control unit for controlling the adjusting unit to maintain the horizontal state of the hand unit according to the winding result of the detecting unit. 제1항에 있어서, 상기 조절부는, 상기 벨트를 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 가이드 롤러를 승강시키는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.The horizontal adjustment unit according to claim 1, wherein the adjusting unit lifts and lowers a guide roller that guides the belt when the belt is wound or unwound. 제2항에 있어서, 상기 조절부는,
상기 가이드 롤러를 지지하며 하부면에 제1 경사면을 갖는 상부 웨지;
상기 상부 웨지의 하부에 구비되며, 상부면에 상기 제1 경사면과 접촉하는 제2 경사면을 갖는 하부 웨지;
상기 가이드 롤러를 승강시키기 위해 상기 상부 웨지가 상기 제2 경사면을 따라 이동하도록 상기 하부 웨지를 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛. The method of claim 2, wherein the control unit,
An upper wedge supporting the guide roller and having a first inclined surface on a lower surface thereof;
A lower wedge provided below the upper wedge and having a second inclined surface in contact with the first inclined surface;
And a drive unit for moving the lower wedge in a horizontal direction so that the upper wedge moves along the second inclined surface to move the guide roller up and down. 제1항에 있어서, 상기 조절부는 상기 핸드 유닛이 승강하는 상태에서 상기 벨트들의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.The level control unit of claim 1, wherein the adjustment unit adjusts the heights of the belts while the hand unit is lifted. 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛;
상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛;
상기 슬라이드 유닛에 대해 Y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며, 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛;
상기 벨트의 하단부에 고정되며, 카세트를 고정하는 핸드 유닛; 및
상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛을 포함하고,
상기 수평도 조절 유닛은,
상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부;
상기 호이스트 유닛에 구비되며, 상기 벨트의 높이를 조절하는 조절부; 및
상기 감지부의 감기 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.A traveling unit that travels in the X-axis direction along the traveling rail of the ceiling;
A slide unit provided below the travel unit and fixed to the travel unit;
A hoist unit provided below the slide unit to move in the Y-axis direction with respect to the slide unit, and for lifting the belt by winding or unwinding the belt;
A hand unit fixed to the lower end of the belt to fix the cassette; And
It includes a level adjusting unit for adjusting the level of the hand unit,
The horizontal adjustment unit,
A sensing unit provided in the hand unit and sensing a horizontal level of the hand unit;
An adjustment unit provided in the hoist unit to adjust a height of the belt; And
And a control unit for controlling the adjusting unit such that the hand unit maintains a horizontal state according to a winding result of the detecting unit.
KR1020180060250A 2018-05-28 2018-05-28 Level control unit and vehicle having the same KR102571930B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180060250A KR102571930B1 (en) 2018-05-28 2018-05-28 Level control unit and vehicle having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180060250A KR102571930B1 (en) 2018-05-28 2018-05-28 Level control unit and vehicle having the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190135152A true KR20190135152A (en) 2019-12-06
KR102571930B1 KR102571930B1 (en) 2023-08-29

Family

ID=68837111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180060250A KR102571930B1 (en) 2018-05-28 2018-05-28 Level control unit and vehicle having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102571930B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008184298A (en) * 2007-01-31 2008-08-14 Murata Mach Ltd Overhead traveling vehicle
KR20140070025A (en) * 2012-11-30 2014-06-10 에버테크노 주식회사 Hoist unit of overhead hoist transport
KR20150089491A (en) * 2014-01-28 2015-08-05 세메스 주식회사 Stage unit and die bonding apparatus having the stage unit
KR20170061608A (en) * 2015-11-26 2017-06-05 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008184298A (en) * 2007-01-31 2008-08-14 Murata Mach Ltd Overhead traveling vehicle
KR20140070025A (en) * 2012-11-30 2014-06-10 에버테크노 주식회사 Hoist unit of overhead hoist transport
KR20150089491A (en) * 2014-01-28 2015-08-05 세메스 주식회사 Stage unit and die bonding apparatus having the stage unit
KR20170061608A (en) * 2015-11-26 2017-06-05 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility

Also Published As

Publication number Publication date
KR102571930B1 (en) 2023-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI382951B (en) Workpiece handling system
KR100913129B1 (en) Transfer apparatus
KR20090046890A (en) Stacker crane
US6802413B2 (en) Hanging conveyance equipment and learning system therefor
KR102259283B1 (en) Object transport apparatus
JP4151002B2 (en) Suspended transfer equipment and learning device
KR102580660B1 (en) Vehicle and method of controlling a level of a vehicle
KR102571930B1 (en) Level control unit and vehicle having the same
KR102197322B1 (en) Hoist unit and vehicle having the same
KR20210025353A (en) Hand unit, vehicle having the same, and method of fixing object using the same
JP4348613B2 (en) Transport equipment
KR20190141408A (en) Aligning unit and vehicle having the same
JP4314521B2 (en) Article conveying device
JP4401829B2 (en) Automatic teaching device for stacker crane
KR102252735B1 (en) Hand unit and vehicle having the same
KR102146516B1 (en) Overhead hoist transport
KR102264858B1 (en) System and method of Apparatus for transferring a carrier
JPH09169408A (en) Article storage device
KR102246806B1 (en) Apparatus for transferring a carrier
KR20090004548A (en) Transporting system
KR102161524B1 (en) Ccontrol unit and vehicle having the same
KR20200128517A (en) Conveying device
KR102486581B1 (en) Connecting unit and vehicle having the same
KR20220093819A (en) Hand unit and vehicle having the same
KR20210158237A (en) Apparatus for transferring carriers and method of loading and unloading carriers using the same

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant