KR20190107040A - 바이어싱된 스테이터 시일을 갖는 진공 펌프 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

진공 펌프 및 그 제조 방법으로서, 진공 펌프는, 종방향 접촉면에서 함께 장착되고 하나 이상의 진공 펌핑 챔버를 한정하는 2개의 절반 쉘 스테이터 구성요소와, 진공 펌핑 챔버의 양 측부 상에서 2개의 절반 쉘 스테이터의 종방향 접촉면들 사이를 밀봉하기 위한 종방향 시일을 포함한다. 종방향 시일은 절반 쉘 스테이터 중 적어도 하나의 각각의 홈 내에 장착되고, 각각의 홈은 종방향 시일의 적어도 일부분에 걸쳐 종방향 시일보다 폭이 넓어서 약간의 측방향 이동을 허용한다. 종방향 시일은 종축으로부터의 편위부를 포함하고, 편위부는 홈의 일 표면에 대해 접하고, 홈의 대향 표면을 향해 종방향 시일의 적어도 일부분을 바이어싱시키고, 대향 표면은 진공 펌핑 챔버에 가장 근접한 표면을 포함한다.

Description

바이어싱된 스테이터 시일을 갖는 진공 펌프 및 그 제조 방법

본 발명의 분야는 펌프에 관한 것이고, 특히 진공 펌프의 스테이터(stator)를 위한 시일에 관한 것이다.

일부의 회전 기계는 샤프트 상에 직접 가공된 로터를 가져서, 스테이터가 로터를 장착하기 위한 수평 분할 라인을 가질 필요가 있다. 그러한 배열은 2개의 스테이터 절반 쉘(stator half shell) 사이에 시일이 요구된다는 것을 의미한다.

또한, 스테이터 절반 쉘의 양단부에는 헤드 플레이트 또는 단부 피스가 필요하며, 이들은 또한 단부 피스와 스테이터 쉘 사이에 시일을 필요로 한다. 절반 쉘 스테이터들 사이의 분할 라인은 소위 T-조인트(T-joint)에서 헤드 플레이트와 스테이터 사이의 시일에 도달한다. 특히 펌프 조립체가 넓은 온도 범위에 걸쳐서 작동하는 경우, 이러한 T-조인트에 효과적인 시일을 제공하기 어렵다.

영국 특허 공개 제 2489248 호는 2개의 절반 쉘로 형성된 스테이터 및 2개의 절반 쉘들 사이에 종방향 시일 또는 개스킷을 갖는 다단 진공 펌프를 개시하고 있다. 펌프는 환형 시일을 갖는 2개의 단부 피스를 갖고, 개스킷은 환형 시일에 접하는 단부 부분을 가지며, 스테이터는 환형 시일로부터 멀어지는 개스킷의 축방향 이동을 저지하는 형성물을 갖는다. 일부 실시예에서, 시일의 단부면은 O-링인 환형 시일과 정합하기 위한 적어도 부분적인 원형 단면을 갖는다.

본 발명의 제 1 양태는, 진공 펌프로서, 종방향 접촉면에서 함께 장착되고 하나 이상의 진공 펌핑 챔버를 한정하는 2개의 절반 쉘 스테이터 구성요소와, 상기 진공 펌핑 챔버의 양 측부 상에서 상기 2개의 절반 쉘 스테이터의 종방향 접촉면들 사이를 밀봉하기 위한 종방향 시일을 포함하며, 상기 종방향 시일은 상기 절반 쉘 스테이터 중 적어도 하나의 각각의 홈 내에 장착되고, 상기 각각의 홈은 상기 종방향 시일의 적어도 일부분에 걸쳐 상기 종방향 시일보다 폭이 넓어서 약간의 측방향 이동을 허용하며, 상기 종방향 시일은 종축으로부터의 편위부(deviation)를 포함하고, 상기 편위부는 상기 홈의 일 표면에 대해 접하고, 상기 홈의 대향 표면을 향해 상기 종방향 시일의 적어도 일부분을 바이어싱시키고, 상기 대향 표면은 상기 진공 펌핑 챔버에 가장 근접한 상기 표면을 포함하는, 진공 펌프를 제공한다.

펌프의 하부 진공 단부 또는 퍼지 보호 홈으로부터의 가스가 개스킷 홈 아래로 보다 높은 진공 단부까지 이동하여 펌프의 유입 압력을 손상시킬 수 있는 것으로 관찰되었다. 본 발명의 발명자들은 열 영향 및 압축으로 인한 시일의 팽창을 허용하기 위해, 종방향 시일을 수용하는 홈이 종방향 시일보다 넓기 때문에 발생하는 이러한 문제점을 인식했다. 이러한 증가된 폭으로 인해, 홈 내에서의 시일의 위치는 명확하게 규정되지 않고, 시일이 홈의 내부면에 대해 놓이지 않는 경우, 펌프의 일 단부와 타 단부 사이의 홈을 따라 갭 또는 통로가 존재한다. 이것은 가스에 대한 잠재적 누출 경로를 제공한다.

본 발명의 발명자들은 종방향 시일 상에 편위부를 제공함으로써 이러한 문제점을 해결했으며, 이 편위부는 펌핑 챔버(들)로부터 멀리 있는 홈의 외부면에 대해 접하여 펌핑 챔버에 가장 근접한 홈의 내부면을 향해 시일을 바이어싱시킨다. 이러한 방식으로, 홈을 따른 잠재적 누출 경로는 시일의 존재에 의해 차단된다.

종방향 시일에 편위부를 사용함으로써, 시일의 엘라스토머 특성이 바이어싱력을 제공하고, 스테이터 또는 스테이터의 홈에 대한 어떠한 수정 없이도 시일의 원하는 위치설정이 달성된다. 대신에 바이어스가 하우징의 범프에 의해 제공되었다면, 이것은 하우징의 수정을 필요로 할 뿐만 아니라, 그러한 범프는 이러한 지점에서 과도한 압축을 야기할 수 있고, 조립 동안에 개스킷의 핀칭(pinching)을 야기할 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일은 상기 편위부 전체에 걸쳐 실질적으로 일정한 단면을 갖는다.

편위부가 다수의 방식으로 형성될 수 있지만, 실질적으로 일정한 단면을 갖도록 형성되는 경우, 온도 상승으로 인해 시일이 팽창할 때, 이 팽창은 편위부를 따라 실질적으로 동일하고, 단면이 증가된 지점에서의 증가된 팽창으로 인한 핀치 지점(pinch point)이 회피되거나 적어도 감소된다. 실질적으로 일정한 단면은 측방향 또는 종방향 각각에서 10% 미만으로 변하는 것으로서 간주된다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일은 상기 종방향 시일의 전체 길이를 따라 실질적으로 일정한 단면을 갖는다.

실질적으로 일정한 폭 및 높이를 갖는 종방향 시일을 제공함으로써, 개스킷상의 상승된 온도의 효과는 개스킷의 길이를 따라 실질적으로 동일하고, 홈도 또한 일정한 단면을 갖는 경우, 개스킷은 동일한 모든 위치에서 확장 및 팽창하는 동일한 자유를 가져서, 특정 지점에서의 개스킷의 과도한 압축을 회피한다.

또한, 홈은 특정 정도의 압축 및 주어진 열 팽창을 허용하는 특정량의 측방향 이동을 제공하도록 구성되는 것이 바람직하기 때문에, 일정한 단면적을 갖는 시일을 갖는 것은 원하는 압축 및 팽창 요건을 충족하는 홈 단면의 선택을 결정하기 보다 용이해지며, 시일의 길이, 및 따라서 홈의 길이를 따라 이들 요건의 변동이 없으므로, 홈은 기계가공하기에 훨씬더 용이하다.

일부 실시예에서, 상기 편위부는 상기 종축으로부터 멀어지고 그리고 다시 상기 종축으로 향하는 U자형 굴곡부(returning bend)를 포함한다.

U자형 굴곡부 형태의 편위부를 제공하는 것은 편위부가 일정한 단면으로 형성될 수 있게 하고, 이는 관련 이익을 갖는다. 또한, 그러한 디자인은 시일의 이러한 부분에서 약간의 축방향 이동을 허용하며, 이는 시일의 얇아짐 및 잠재적 파괴 지점을 야기할 수 있는 시일의 과도한 신장을 방지하는 것을 돕는다.

다른 실시예에서, 상기 편위부는 상기 종방향 시일로부터 연장되는 돌출부를 포함한다.

홈의 내부면을 향한 시일의 바이어싱을 구현하는 대안적인 방식은 홈의 외부면과 접촉하여 시일의 대향 표면을 홈의 내부면을 향해 가압하는 돌출부 또는 핍(pip)을 시일에 제공하는 것이다. 핍은 시일에 추가하는 간단한 특징부이며, 필요한 바이어싱을 제공한다. 핍은 잠재적인 핀치 지점을 제공하는 단점이 있지만, 비교적 작은 경우, 이것은 문제가 되지 않을 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일 상에 복수의 편위부가 있다.

시일의 길이를 따라 일정한 바이어싱력을 제공하기 위해, 다수의 편위부가 존재할 수 있다.

다른 실시예에서, 시일의 중간을 향해 하나만 있을 수 있거나, 양 단부를 향해 하나씩 2개가 있을 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 홈은 그 길이를 따라 실질적으로 일정한 단면을 갖는다.

종방향 시일이 실질적으로 일정한 단면을 갖는 경우, 홈은 또한 일정한 직사각형 단면을 갖도록 기계가공될 수 있다. 이것은 제조를 용이하게 하고, 홈은 편평한 단부의 공구(flat ended tool)의 단일 패스(one pass)로 기계가공될 수 있다. 또한, 그것은 길이를 따라 유사한 압축, 틈새 및 유격을 갖는 시일에 대한 일관된 끼워맞춤을 제공한다. 이와 관련하여, 홈은 스테이터 절반 쉘들이 함께 유지될 때 시일이 압축되도록 시일보다 작은 높이를 가질 것이다. 홈은 또한 종방향 시일보다 넓은 폭을 가져서, 약간의 측방향 이동에 대한 자유도를 제공하고, 핀치 지점을 회피하며, 시일이 온도 상승에 따라 팽창할 수 있게 한다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일은 상기 종축의 양 측부 상에 그리고 상기 종축에 대해 대칭으로 2개의 외향 연장 부분을 더 포함하며, 상기 홈은 상기 2개의 외향 연장 부분의 표면의 적어도 일부분과 접하기 위한 축방향 정렬면을 포함하고, 상기 외향 연장 부분은 상기 종방향 시일의 적어도 일부분을 사전결정된 축방향 위치를 향해 바이어싱시키도록 상기 축방향 정렬면과 작용한다.

종방향 시일은 또한, 종축으로부터 대칭 방식으로 외측으로 연장되고 축방향 정렬면과 접하는 외향 연장 부분을 포함할 수 있다. 대칭인 외향 연장 부분은 측방향 반대 방향으로 동일한 힘을 제공하여, 센터링을 돕고 축방향 정렬에 있어서 측방향 바이어스를 감소시킨다. 또한, 이들 외향 연장 부분은 사전결정된 축방향 위치에서 시일을 제 위치에 유지시킨다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일은 상기 시일의 양 단부를 향한 상기 2개의 외향 연장 부분의 2 세트를 포함하고, 상기 홈은 상기 스테이터 절반 쉘의 양 단부를 향한 대응하는 축방향 정렬면을 포함하고, 상기 종방향 시일은 상기 축방향 정렬면들 사이에서 인장 하에 있도록 상기 홈 내에 장착된다.

종방향 시일은 축방향 정렬면들 사이에 약간의 인장 하에서 장착될 수 있으며, 이것은 펌프의 조립 동안에 시일을 홈 내의 제 위치에 고정적으로 유지하는 것을 돕는다.

일부 실시예에서, 상기 외향 연장 부분은 상기 종방향 시일의 축방향 팽창 및 압축을 허용하기 위해 휘어지도록 작동 가능하다.

외향 연장 부분의 제공은 약간의 축방향 휨을 허용하면서 시일을 제 위치에 유지시킨다. 이러한 방식으로, 종방향 팽창 및 압축은 이들 부분의 휨에 의해 보상되어, 그렇지 않으면 팽창 및 압축에 의해 야기될 수 있는, 종방향 시일에 의해 받게 되는 인장의 변동을 감소시킬 수 있다. 이것은 얇아짐 및 유효성의 손실을 초래할 수 있는 시일의 과도한 인장을 방지하는 것을 돕는다.

일부 실시예에서, 상기 외향 연장 부분 각각의 단면은 서로 실질적으로 동일하고, 상기 종방향 시일의 종방향 부분의 적어도 90%의 단면과 실질적으로 동일하다.

또한, 홈이 이익을 수반하는 실질적으로 일정한 단면을 가져야 하는 경우, 및 핀치 지점이 회피되거나 감소되어야 하는 경우, 종방향 시일의 길이의 대부분을 따라 일정한 단면이 바람직하다. 축방향 위치설정을 위한 외향 연장 부분의 사용은 시일 및 홈 모두의 일정한 단면이 디자인에서 시일의 원하는 축방향 위치설정을 제공하는데 사용될 수 있다는 것을 의미한다.

일부 실시예에서, 상기 외향 연장 부분 각각은 상기 홈의 축방향 정렬면과 접촉하도록 배열된 돌출부를 대응하는 위치에 포함한다.

외향 연장 부분 또는 아암 상에 돌출부 또는 핍의 사용은 아암이 휠 수 있는 양을 증가시키고, 또한 종축의 양 측부 상에 시일을 지지하기 위한 사전결정된 위치를 제공하여 시일의 센터링을 돕는다.

핍의 제공은 핀치 지점의 가능성을 도입하고, 그에 따라 일부 실시예에서, 핍 또는 돌출부에서의 시일의 단면적의 증가는 시일의 평균 단면적의 30% 미만, 바람직하게는 20% 미만이다.

일부 실시예에서, 상기 2개의 외향 연장 부분은 루프의 제 1 부분을 형성한다.

일부 실시예에서, 상기 루프는 상기 종축에 실질적으로 수직인 2개의 측방향 연장 측부와, 상기 종축에 실질적으로 평행한 2개의 종방향 연장 측부를 포함하는 홈 내에 장착된다.

적절하게 형성된 홈 내에 장착된 루프는 조립 동안에 시일을 제 위치에 유지하고 시일을 센터링하는 것을 도울 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 진공 펌프는, 상기 2개의 절반 쉘 스테이터의 양 단부에 장착된 단부 피스와, 상기 단부 피스와 상기 스테이터 절반 쉘 사이를 밀봉하기 위한 환형 시일을 포함하며, 상기 종방향 시일은 적어도 상기 스테이터 절반 쉘의 각 단부까지 연장되고, 상기 종방향 시일은 상기 환형 시일과의 접촉을 위한 편평한 단부면을 포함한다.

절반 스테이터 쉘을 갖는 펌프에서 밀봉하기 특히 어려운 지점은 스테이터 절반 쉘들 사이의 종방향 시일과, 스테이터와 단부 피스 사이를 밀봉하는 환형 시일 사이의 접촉 지점이다. 이러한 시일이 효과적이기 위해서는, 종방향 시일이 적어도 최소 표면적을 가로질러 환형 시일과 일관되게 접촉하고 최소 접촉 압력을 가져야 한다. 하나의 잠재적인 문제점은 종방향 시일이 스테이터 절반 쉘의 단부에서 제 위치에 유지되지 않거나 여기까지 연장되지 않는 경우에 발생한다. 이것을 해결하기 위해, 바람직한 실시예에서, 종방향 시일은 단부 피스와 접촉하는 스테이터 절반 쉘의 적어도 각 단부까지 연장된다.

또한, 일부 실시예에서, 압축 하에 있지 않을 때, 종방향 시일은 환형 시일과의 접촉면으로서 작용하는 실질적으로 편평한 단부면을 갖는다.

일부 실시예에서, 상기 루프는 상기 루프로부터 연장되는 연장된 부분을 포함하고, 상기 연장된 부분의 단부는 상기 종방향 시일의 편평한 단부면을 형성한다.

단부 부분이 스테이터 단부면까지 및/또는 스테이터 단부면을 넘어서 연장되도록 종방향 시일을 제 위치에 유지하기 위해, 단부 부분은 루프의 단부에 연장된 부분을 포함할 수 있다. 루프는 스테이터 쉘의 단부를 향한 축방향 정렬면에 의해 알려진 위치에 유지된다. 따라서, 연장된 부분의 위치는 축방향 정렬면 및 루프의 위치에 의해 결정된 알려진 위치이다. 또한, 루프는 종방향 시일의 축방향 정렬 또는 센터링을 제공하고, 환형 시일과 정확하게 정합하기 위한 정확한 위치에 시일을 유지하는 것을 도울 수 있다. 이와 관련하여, 이전에 언급된 바와 같이, 종방향 시일이 장착되는 홈의 폭은 시일의 폭보다 넓어서 약간의 측방향 이동 및 팽창을 허용한다. 시일이 홈의 일 측부에 있으면, 시일은 환형 시일과 정렬되지 않을 수 있으며, 접촉 영역이 작아서 부적절한 시일을 초래할 수 있다. 단부 부분의 정확한 센터링을 제공하는 것은 이러한 문제를 해결하고, 일관된 효과적인 시일을 제공한다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일이 압축 하에 있지 않을 때 상기 종방향 시일은 상기 스테이터 절반 쉘을 넘어서 연장되고, 상기 단부면은 상기 진공 펌프의 조립 동안에 상기 스테이터 절반 쉘의 단부면과 정렬된다.

시일의 단부가 조립 동안에 스테이터 절반 쉘을 넘어서 연장되고, 단부면과의 정렬 상태로 되밀려져서, 압축 하에서 유지되고 이러한 단부면과 정렬되는 것이 바람직할 수 있다. 이것은 환형 시일과의 접촉을 위한 알려진 위치에서 양호한 접촉면을 제공한다.

일부 실시예에서, 상기 연장된 부분을 포함하는 상기 루프의 측방향 측부의 부분은 상기 연장된 부분이 상기 스테이터의 단부면과 정렬되는 것에 반응하여 상기 펌프의 중심을 향해 구부러지도록 구성된다.

연장된 부분이 루프 상에 장착되는 경우, 단부면과의 정렬에 필요한 축방향 이동은 루프의 구부러짐에 의해, 특히 루프의 측방향 아암이 펌프의 중심을 향해 내향으로 구부러지는 것에 의해 제공된다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일은 상기 종방향 시일의 단부 부분을 상기 홈의 중앙 위치를 향해 바이어싱시키기 위한 바이어싱 수단을 포함한다.

이전에 언급된 바와 같이, 단부 부분이 홈 내에서 센터링되는 것이 바람직하며, 이것은 바이어싱 수단에 의해 제공될 수 있다. 개스킷 상의 핍과 같은 특징부가 상기 바이어싱 수단으로서 사용될 수 있고, 양 측부 상의 핍은 동일한 크기를 갖는다. 대안적으로, 일부 실시예에서는, 홈 상의 핍이 시일 상의 핍 대신에 바이어싱 수단으로서 사용될 수 있다.

바람직하게는, 바이어싱 수단은 루프의 아암을 포함하고, 단부 부분은 루프 상에 장착된다.

일부 실시예에서, 상기 바이어싱 수단은 상기 루프의 편위부를 포함하고, 그에 따라 상기 종방향 시일은 상기 편위부에서 상기 종방향 홈의 외부면과 접촉하며, 상기 편위부는 상기 루프의 대향 측부 상에 종축에 대해 대칭으로 배열되고, 상기 종방향 시일의 단부 부분에 반대 방향의 바이어싱력을 가하도록 작동 가능하다.

시일의 축방향 정렬 또는 센터링은 루프의 편위부에 의해 향상될 수 있으며, 편위부는 실질적으로 동일한 바이어싱력을 반대 방향으로 제공하여 시일을 센터링하기 위해 종축에 대해 대칭으로 배열된다.

편위부는 상기 루프의 대향 측부의 활 형상부(bowing) 또는 루프 상의 돌출부와 같은 다수의 형태를 취할 수 있다.

루프의 활형 또는 배럴형 형상부는 종축에 실질적으로 평행한 루프의 아암에 편위부를 제공하여, 편위부가 홈의 외부면과 접촉하고 루프의 중심을 향한 내향력을 가하게 한다. 이러한 방식으로, 시일의 탄성 특성은 시일을 원하는 중앙 위치를 향해 바이어싱시키는데 사용되며, 아암의 활 형상부가 사용되는 경우, 시일의 단면이 유지되어, 핀치 지점의 가능성을 감소시킨다. 또한, 대칭 배열은 실질적으로 동일한 반대 방향의 힘을 제공하여 향상된 센터링을 야기한다.

일부 실시예에서, 상기 환형 시일은 직사각형 단면을 갖는 홈 내에 장착된다.

환형 시일을 수용하는 홈은 직사각형 단면을 가질 수 있다. 이것은 기계가공하기 용이하여, 편평한 단부의 공구를 필요로 하고, 따라서 이 공구는 그 전체 단부면에 걸쳐 실질적으로 균등하게 마모되어, 그 유효 수명이 증대된다. 이러한 직사각형 단면은 환형 시일의 약간의 측방향 이동을 허용하지만, 홈 폭의 적절한 선택 및 그 홈의 중심과 종방향 시일의 정렬에 의해, 2개의 시일들 사이의 적합한 계면 면적이 일관되게 달성될 수 있다. 압축 하의 O-링이 홈을 실질적으로 채우는 폭이 선택될 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일을 수용하는 상기 홈은 상기 스테이터 절반 쉘의 양 단부를 향해 상기 펌핑 챔버쪽으로 변위된다.

시일이 그 길이의 대부분을 따라 홈의 중앙에 놓이기보다는 펌핑 챔버를 향해 바이어싱되기 때문에, 단부가 적절하게 센터링될 수 있게 하기 위해, 홈이 축방향 정렬면에 근접한 각 단부를 향해 변위되어, 시일이 이러한 지점에서 홈의 내부면에 대해 더 이상 가압되지 않게 하는 것이 유리할 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 홈은 상기 종방향 시일과 상기 홈의 폭 차이의 1/2만큼 변위된다.

홈의 일 측부에 놓이는 시일을 센터링하기 위해, 개스킷과 홈 사이의 갭의 1/2만큼 홈을 변위시켜, 종방향 시일이 동일한 종축을 따라 계속되는 경우, 홈의 변위된 부분의 홈의 중심에 놓이게 하는 것이 유리할 수 있다. 축방향 정렬면 전에 이것을 실행함으로써, 종축의 양 측부로부터 동일하게 인가되는 축방향 정렬 힘이 홈 내에 시일을 센터링할 수 있다.

일부 실시예에서, 상기 종방향 시일과 상기 환형 시일은 엘라스토머 재료로 형성된다.

본 발명의 제 2 양태는, 제 1 양태에 따른 진공 펌프를 제조하는 방법으로서, 하부 절반 쉘 스테이터의 종방향 접촉면의 대응하는 홈 내에 종방향 시일을 장착하는 것과, 상부 절반 쉘 스테이터를 상기 하부 절반 쉘 스테이터 상에 그로부터 소정 거리에 배치하는 것과, 편평한 단부를 갖는 공구를 사용하여, 상기 종방향 시일의 대응하는 편평한 단부를 가압해서 환형 시일의 홈까지 연장시키는 것과, 상기 종방향 시일이 제 위치에 유지되도록 상기 상부 및 하부 절반 쉘 스테이터를 함께 부착하는 것과, 상기 공구를 제거하는 것과, 단부면의 홈 내에 환형 시일을 장착하는 것과, 상기 환형 시일이 상기 종방향 시일의 단부 시일과 접촉하도록 상기 2개의 절반 쉘 스테이터의 양 단부에 단부 피스를 부착하는 것을 포함하는, 진공 펌프 제조 방법을 제공한다.

종방향 시일의 단부면은 O-링과 매칭하기 위한 윤곽 형상을 가질 수 있지만, 일부 실시예에서는, 편평한 표면을 포함하고, 편평한 표면은 제조하기 보다 용이하고 조작하기 보다 용이하다. 이와 관련하여, 펌프 조립체를 조립할 때 편평한 단부의 종방향 시일의 양 단부는 편평한 단부면을 갖는 공구를 사용하여 환형 시일 홈의 에지와 정렬될 수 있다. 이것은 이러한 절차 및 공구의 제조 모두가 보다 간단해질 수 있게 한다. 또한, 종방향 시일의 편평한 표면은 O-링이 압축될 수 있는 표면을 제공하고, 효과적으로 시일과 정합할 수 있다.

다른 특정의 바람직한 양태는 첨부된 독립 청구항 및 종속 청구항에 기재되어 있다. 종속 청구항의 특징은 청구범위에 명시적으로 제시된 것 이외의 조합으로 그리고 적절하게 독립 청구항의 특징과 조합될 수 있다.

장치 특징이 기능을 제공하도록 작동 가능한 것으로 설명되는 경우, 이것은 그러한 기능을 제공하거나 그러한 기능을 제공하도록 적합화 또는 구성되는 장치 특징을 포함한다는 것이 이해될 것이다.

특정 이익을 제공하는 종방향 시일의 다양한 특징이 있으며, 이들 특징 중 하나 이상을 갖는 시일이 구상된다는 것에 주목해야 한다.

따라서, 펌프 챔버를 향해 바이어싱하기 위한 특징은 시일의 단부를 센터링하기 위한 특징 및 축방향 가요성을 위한 특징과 함께 또는 이와 독립적으로 사용될 수 있다. 유사하게, 축방향 유연성을 위한 특징 및 활 형상 루프와 같은 종방향 시일의 단부를 센터링하기 위한 특징 중 적어도 일부는 홈의 펌핑 챔버측을 향한 시일의 바이어싱이 없는 종방향 시일에 사용될 수 있다.

이제, 본 발명의 실시예가 첨부 도면을 참조하여 추가로 설명될 것이다.
도 1은 수평 분할 라인을 갖는 펌프 조립체를 도시하고;
도 2는 일 실시예에 따른 시일을 갖는 펌프 조립체의 등각도를 도시하고;
도 3a 및 도 3b는 환형 시일과 종방향 시일 사이의 계면을 통한 단면을 도시하며;
도 4는 일 실시예에 따른 종방향 시일의 프로파일을 도시한다.

실시예를 보다 상세하게 논의하기 전에, 먼저 개요가 제공될 것이다.

2개의 절반 쉘 스테이터 사이를 밀봉하기 위한 종방향 시일이 개시되어 있다. 종방향 시일은 종축으로부터의 편위부(deviation)를 가지며, 편위부는 시일이 장착되는 홈의 일 표면과 접촉하고 종방향 시일을 홈의 대향 표면을 향해 바이어싱시켜 제 위치에 유지시킨다.

일부 실시예에서, 편위부는, 홈의 외부면에 대해 가압하여, 펌핑 챔버를 향하여 있는 홈의 다른 내부면을 향해 종방향 시일을 바이어싱시키는 종방향 시일의 U자형 굴곡부(returning bend)이다. 다른 실시예에서, 종방향 편위부는 종방향 시일의 돌출부 또는 핍(pip)을 포함한다.

진공 펌프의 홈 내의 종방향 시일은 홈의 폭보다 좁아서 펌프가 사용 동안에 가열될 때 팽창을 허용한다. 그러나, 이것은 누출을 야기할 수 있는, 펌핑 챔버측 상의 홈을 따른 통로를 초래할 수 있고, 이것은 누출이 각 펌핑 스테이지의 진공 챔버 사이에서 발생하는 다중 진공 챔버 펌프, 즉 다단 펌프에서 특히 문제가 될 수 있다. 따라서, 종방향 시일을 펌핑 챔버(들)를 향해 바이어싱시켜, 그러한 채널 형성을 억제하는 것이 유리하다.

추가적으로 및/또는 대안적으로, 종방향 시일은 종방향 시일의 단부를 특정 중앙 위치를 향해 바이어싱시키는 종축에서의 다른 편위부를 가질 수 있다. 이와 관련하여, 종방향 시일은 펌프 조립체의 단부 피스와 스테이터 사이에 시일을 제공하는 환형 시일과 양 단부에서 정합할 수 있다. 이러한 표면의 정합이 신뢰성있고 효과적이게 하기 위해서, 시일을 유지하는 홈의 폭 및 시일에 허용된 측방향 이동을 고려하면, 중앙 위치를 향한 종방향 시일의 약간의 바이어싱이 달성될 수 있는 것이 유리하다.

일부 경우에, 종방향 시일의 각 단부는 루프 섹션(loop section)을 가질 수 있고, 루프의 양쪽 종방향 측부는 이들을 수용하는 홈에 대해 바이어싱되도록 외향으로 구부러질 수 있고, 이에 의해 종방향 시일의 양 측부에 가해지는 실질적으로 동일하지만 반대 방향인 힘을 제공하여, 루프로부터 돌출하는 단부 돌출부가 홈의 중심을 향해 바이어싱되게 할 수 있다.

또한, 루프의 횡방향 부분은 시일을 축방향으로 제 위치에 유지하기 위해 축방향 정렬면과 접촉하도록 적합화된다. 루프가 양 단부 상에 있는 경우, 시일은 스테이터의 양 단부를 향한 이들 축방향 정렬면들 사이에 인장 하에서 장착된다.

종방향 시일이 종방향 시일 길이의 대부분에 대해 홈의 내부면을 향해 바이어싱되는 경우, 홈은 종방향 시일이 루프와의 접합부에서 홈의 중심을 향하도록 루프에 인접한 양 단부를 향해 축방향으로 변위될 수 있다. 이것은 이러한 지점에서 종방향 시일의 측방향 이동을 허용한다.

도 1은 2개의 스테이터 절반 쉘 및 단부 피스를 갖는 다중 챔버 회전 펌프 조립체를 개략적으로 도시하고 있다. 펌프 조립체는 2개의 스테이터 절반 쉘(104, 102)로 형성되고, 이 스테이터 절반 쉘(104, 102) 사이에 로터(도시되지 않음)가 장착된다. 2개의 쉘은 서로 고정되어 펌프 챔버를 형성한다. 챔버(106, 108, 110, 112, 114, 116) 각각은 펌프 챔버 벽(134)에 의해 분리된다. 단부 피스(122, 124)는 스테이터의 절반 쉘 상에 장착되어 펌프 조립체를 완성한다.

도 2는 스테이터 절반 쉘들 사이 및 단부면들 사이에 배열되는 시일의 등각도를 도시하고 있다. 이러한 실시예에서, 펌핑 챔버(30)의 양 측부 상에 종방향 시일(20, 22)이 있다. 단부 피스와 스테이터 절반 쉘 사이에는 또한 O-링 시일(40, 42)이 있다.

이러한 실시예에서, 환형 시일(40, 42)은 표준 O-링이고, 플레인 원통 공구(plain cylindrical tool)를 사용하여 기계가공될 수 있는 일정한 단면의 직사각형 홈 내에 장착된다. 종방향 시일(20, 22)과 O-링(40, 42) 사이의 효과적인 시일은 유지하기 어려울 수 있다. 특히, 종방향 시일(20, 22)은 약간의 측방향 이동을 위한 자유, 및 압축 하에서 그리고 상승된 스테이터 온도 하에서 팽창하는 개스킷의 능력을 제공하기 위해 시일보다 폭이 넓은 홈 내에 장착된다. 그러나, 이것은 종방향 시일의 단부면에 자유도를 제공하고, 이는 그 위치가 정확하게 결정되지 않고 O-링 시일과 정확하게 정합하지 않을 수 있다는 것을 의미한다. 또한, O-링 자체는 어느 정도의 측방향 이동을 가질 것이다.

시일 구성체 및 계면은 T-시일이라고 불린다. O-링은 평평한 직사각형 단면의 홈 내에 수용되어 있다. 이것은 O-링이 옆으로 움직일 수 있게 한다. 종방향 개스킷 시일과 환형 O-링 사이의 양호한 정렬을 보장하는 것이 중요하다. 개스킷의 단부 영역의 측부 상의 특징부는 그것을 센터링하고, O-링에 대한 필요한 정렬을 제공한다. 개스킷 상의 핍과 같은 바이어싱 특징부가 사용될 수 있지만, 일부 실시예에서는 홈 상의 핍이 하우징 상의 핍을 대체할 수 있다.

도 3은 종래 기술의 펌프에서 2개의 시일이 어떻게 정렬될 수 있는지 또는 정렬되지 않을 수 있는지와, 그러한 정렬의 차이가 유발하는 계면의 차이를 개략적으로 도시하고 있다. 특히, 도 3a는 종방향 시일이 센터링될 때 시일을 제공하는 계면이 얼마나 상당히 큰지를 도시하는 반면, 도 3b는 종방향 시일이 홈의 일 측부에 있을 때 시일들 사이의 계면이 훨씬더 작다는 것을 도시하고 있다.

종방향 시일이 센터링되지 않을 때 발생하는 문제를 해결하는 하나의 방식은 시일 및 O-링이 특정 위치로 바이어싱되도록 O-링의 형상과 협동하도록 형상화된 개스킷의 단부를 갖는 것일 수 있다. 그러나, 개스킷의 단부에 대한 만곡된 형상은 개스킷의 제조와, 조립 동안에 스테이터의 단부와 개스킷의 정렬에 대한 추가적인 복잡성을 제공한다.

따라서, 바람직한 실시예에서, 종방향 개스킷 시일의 단부는 편평하고, 센터링 특징부가 개스킷의 단부를 O-링과 정렬시키는데 사용된다.

도 4는 그러한 센터링 특징부를 보다 상세하게 도시하고, 또한 펌핑 챔버(들)에 가장 근접한 홈(50)의 표면에 대해 종방향 시일(20)을 바이어싱시키기 위한 바이어싱 수단(27)을 도시하고 있다. 이전에 언급된 바와 같이, 홈(50)은 펌프의 저진공 단부와 고진공 단부 사이의 가스에 대한 누출 통로를 제공할 수 있다. 홈의 펌핑 챔버측에 대해 시일을 바이어싱시키는 것은 이러한 통로를 차단한다. 이러한 실시예에서, 바이어싱 수단은 시일의 편위부(27)이고, 이것은 시일(20)을 내부면에 대해 가압하도록 편위부(27)를 홈의 외부면과 접촉시킨다. 다른 실시예에서, 바이어싱 수단은 편위부보다는 시일의 돌출부 또는 핍의 형태일 수 있다. 편위부의 이점은 일정한 단면적을 갖고, 또한 약간의 축방향 가요성을 제공한다는 것이다.

센터링 특징부와 관련하여, 개스킷(20)은 홈(50) 내에 있는 단부 루프(end loop)(25)를 포함하고, 단부 루프(25)는 활 형상부를 형성하는 만곡된 측방향 아암을 갖는다. 루프의 대칭 성질로 인해, 활 형상부는 루프의 양 측부 상에서 홈의 외부면에 대해 작용하며, 각각의 측부는 실질적으로 동일한 크기이지만 반대 방향인 힘을 발생시키고, 이에 의해 시일을 센터링하고, 특히 루프로부터 연장되고 O-링과 정합하는 시일의 단부 부분을 센터링한다.

루프의 활 형상부는 축방향 강성을 유지하지만 측방향 가요성을 허용하여 간섭 끼워맞춤이 가능하도록 보장한다. 종방향 개스킷 시일의 단면/폭은 고온에서 과도한 팽창을 회피하기 위해 활 형상부의 센터링 특징부에서 유지된다. 활형 측부 및 직선형 부재 내측에 공간이 제공되어, 보다 고온에서의 팽창 및 압축 동안에 확장(spreading)에 대한 자유를 제공한다.

이러한 센터링 특징부를 제공하는 것에 부가하여, 루프는 또한 약간의 축방향 안정성 및 축방향 가요성을 제공한다. 축방향 안정성은 루프의 시작부에서 양 방향으로 종방향 홈으로부터 연장되는 아암의 외부면을 형성하는 홈의 축방향 정렬면(52)에 의해 제공된다. 시일의 루프 부분은 축방향 정렬면과 접촉하고, 종방향 시일을 축방향으로 제 위치에 유지한다. 스테이터의 각 단부를 향해 위치된 축방향 정렬면들 사이의 홈의 길이는 종방향 시일이 약간의 인장 하에서 장착되고 그에 따라 홈 내에 보다 고정적으로 유지되도록 구성된다. 축방향 가요성은 측방향 아암의 휨(flexing)에 의해 제공되고, 이는 시일의 약간의 축방향 이동을 허용하고, 이에 의해 이것이 촉발할 수 있는 시일의 대응하는 얇아짐으로 인해 시일이 과도한 인장 상태로 되는 것을 억제한다.

도 4의 실시예에서, 루프(25)는 스테이터 절반 쉘의 축방향 정렬면(52)과 접하는 외부면 상에 핍(23)을 갖는다. 이들 핍(23)은 축방향 인장 상태로 개스킷을 위치시키는 축방향 정렬면(52)과의 루프에 대한 알려진 접촉 위치를 제공한다. 핍(23)은 루프의 외측부를 향해 위치되어, 핍(23) 사이의 루프의 부분의 구부러짐으로 인해 증가된 축방향 휨이 발생할 수 있게 한다. 본 실시예에서, 추가의 축방향 휨이 종방향 편위부 또는 범프(bump)(27)에 의해 제공되며, 이 종방향 편위부 또는 범프(27)는 또한 홈의 내부면에 대한 개스킷의 바이어싱을 제공한다. 이러한 범프는 수축 및 팽창되어, 축방향 휨을 허용한다.

개스킷의 각 단부는 루프(25)로부터 연장되는 단부 부분(29)을 포함한다. 이러한 단부 부분(29)은 스테이터 절반 쉘의 단부와 정렬되고 O-링과 접촉한다. 본 실시예에서는, 이 단부 부분은 루프의 활 형상부에 의해 센터링된다.

펌프 조립체가 조립될 때, 하부 스테이터는 홈(50) 내의 펌프의 양 측부 상에 장착된 2개의 종방향 시일(개스킷)을 갖는다. 종방향 시일은 스테이터의 양 단부에서 축방향 정렬면(52)에 대해 인장 하에서 장착된다. 다음에, 돌출 단부(29)는 편평한 단부의 공구(flat ended tool)에 의해 스테이터 절반 쉘의 단부에 대해 유지되고, 상부 스테이터 절반 쉘은 하부 스테이터 절반 쉘 상으로 하강되며, 상부 및 하부 스테이터 절반 쉘은 개스킷이 압축 하에서 제 위치에 유지되도록 함께 고정된다. 다음에, O-링 시일(40, 42)을 포함하는 단부 피스(122, 124)가 스테이터 단부면에 대해 장착될 수 있다.

알 수 있는 바와 같이, 홈(50)은 일정한 폭을 가지며, 따라서 하나의 공구에 의해 단일 패스(one pass)로 기계가공될 수 있다. 이것은 시일을 제 위치에 유지하도록 핍을 포함하는 홈보다 이점을 제공한다. 또한, 이러한 핍의 부존재는 개스킷이 압축 및 온도 변화 하에서 팽창할 때 개스킷에 대한 핀치 지점(pinch point)이 존재할 가능성을 감소시킨다.

돌출부(29)는 조립 동안에 O-링 홈의 바닥부 또는 에지와 동일 높이로 밀려진다. 이것은 루프(25)의 가요성으로 인해 가능하고, 특히 루프의 측부 아암이 내측 및 외측으로 휘어져서 이러한 축방향 가요성을 제공할 수 있기 때문에 가능하다. 홈(50)은 축방향 정렬면(52)에 근접함에 따라 펌핑 챔버를 향해 편위된다. 이러한 편위는, 펌핑 챔버(들)를 향한 개스킷의 바이어싱이 그 단부에 근접한 홈의 내측부에 대해 개스킷을 바어이싱시키지 않도록 제공된다. 홈 내에서의 개스킷의 센터링은 측방향 힘에 반응하여 루프(25)를 향한 개스킷(20)의 측방향 이동을 허용한다. 이것은 반대 방향의 측방향 힘들이 양 측부로부터 인가될 때 단부 돌출부(29)의 센터링에 도움을 준다.

요약하면, 새로운 개스킷 디자인은 단순화된 기하형상을 사용한다. 단부 영역은 필요한 기능을 제공하는 '원 박스(one box)' 형태를 갖는다. 편평한 단부의 개스킷은 표준 원형 단면의 O-링에 연결된다.

양호한 품질의 시일을 달성하기 위해서는 개스킷과 O-링 홈의 축방향 정렬이 요구된다. 이러한 센터링은, 개스킷이 하우징 내에 배치될 때 O-링 홈을 넘어서 돌출되는 것을 보장하고, 다음에 맞춤형 공구(bespoke tooling)에 의해 개스킷을 O-링 홈으로 되미는 것에 의해 달성된다.

되밀려질 수 있는 돌출 단부를 제공하기 위해서는, 축방향 가요성이 개스킷의 단부에 요구된다. 이러한 가요성은 단부 밀봉면을 지지하는 횡방향 부재에 의해 제공된다(도 4 참조).

개스킷 중앙에서의 축방향 가요성은 개스킷이 인장 상태로 있고 찌그러지지 않는 것을 보장하는 것을 돕는다. 개스킷은 신장되고, 일부 실시예에서는 정렬 핍(23) 상에서, 정렬면(52)에 대항하여 위치된다. 가요성은 정렬 핍(23)을 지지하는 횡방향 가요성 부재(24)에 의해 제공된다. 개스킷의 중앙 영역에 있는 범프(27)는 추가적인 축방향 가요성을 제공한다.

본 발명의 예시적인 실시예가 첨부 도면을 참조하여 상세하게 개시되었지만, 본 발명은 정확한 실시예에 한정되지 않는다는 것과, 첨부된 청구범위 및 그 균등물에 의해 규정된 본 발명의 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 변경 및 변형이 당업자에 의해 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다.

20, 22 : 종방향 시일
23 : 핍
24 : 가요성 부재
25 : 루프
27 : 편위부
30, 106, 108, 110, 112, 114, 116 : 펌프 챔버
40, 42 : O-링 시일
50 : 홈
52 : 축방향 정렬면
102, 104 : 스테이터 절반 쉘
120 : 스테이터 절반 쉘들 사이의 접촉면
124, 126 : 스테이터 절반 쉘의 정합 단부면
130, 132 : 단부 피스의 정합면
134 : 펌프 챔버 벽

Claims (27)

1. 진공 펌프에 있어서,
   종방향 접촉면에서 함께 장착되고 하나 이상의 진공 펌핑 챔버를 한정하는 2개의 절반 쉘 스테이터 구성요소와,
   상기 진공 펌핑 챔버의 양 측부 상에서 상기 2개의 절반 쉘 스테이터의 종방향 접촉면들 사이를 밀봉하기 위한 종방향 시일을 포함하며,
   상기 종방향 시일은 상기 절반 쉘 스테이터 중 적어도 하나의 각각의 홈 내에 장착되고, 상기 각각의 홈은 상기 종방향 시일의 적어도 일부분에 걸쳐 상기 종방향 시일보다 폭이 넓어서 약간의 측방향 이동을 허용하며, 상기 종방향 시일은 종축으로부터의 편위부를 포함하고, 상기 편위부는 상기 홈의 일 표면에 대해 접하고, 상기 홈의 대향 표면을 향해 상기 종방향 시일의 적어도 일부분을 바이어싱시키고, 상기 대향 표면은 상기 진공 펌핑 챔버에 가장 근접한 상기 표면을 포함하는
   진공 펌프.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 종방향 시일은 상기 편위부 전체에 걸쳐 실질적으로 일정한 단면을 갖는
   진공 펌프.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 종방향 시일은 상기 종방향 시일의 전체 길이를 따라 실질적으로 일정한 단면을 갖는
   진공 펌프.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 편위부는 상기 종축으로부터 멀어지고 그리고 다시 상기 종축으로 향하는 U자형 굴곡부를 포함하는
   진공 펌프.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 편위부는 상기 종방향 시일로부터 연장되는 돌출부를 포함하는
   진공 펌프.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 종방향 시일 상의 복수의 편위부를 포함하는
   진공 펌프.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 홈은 그 길이를 따라 실질적으로 일정한 단면을 갖는
   진공 펌프.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 종방향 시일은 상기 종축의 양 측부 상에 그리고 상기 종축에 대해 대칭으로 2개의 외향 연장 부분을 더 포함하며, 상기 홈은 상기 2개의 외향 연장 부분의 표면의 적어도 일부분과 접하기 위한 축방향 정렬면을 포함하고, 상기 외향 연장 부분은 상기 종방향 시일의 적어도 일부분을 사전결정된 축방향 위치를 향해 바이어싱시키도록 상기 축방향 정렬면과 작용하는
   진공 펌프.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 종방향 시일은 상기 시일의 양 단부를 향한 상기 2개의 외향 연장 부분의 2 세트를 포함하고, 상기 홈은 상기 스테이터 절반 쉘의 양 단부를 향한 대응하는 축방향 정렬면을 포함하고, 상기 종방향 시일은 상기 축방향 정렬면들 사이에서 인장 하에 있도록 상기 홈 내에 장착되는
   진공 펌프.
10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 외향 연장 부분은 상기 종방향 시일의 축방향 팽창 및 압축을 허용하기 위해 휘어지도록 작동 가능한
    진공 펌프.
11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 외향 연장 부분 각각의 단면은 서로 실질적으로 동일하고, 상기 종방향 시일의 종방향 부분의 적어도 90%의 단면과 실질적으로 동일한
    진공 펌프.
12. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 외향 연장 부분 각각은 상기 홈의 축방향 정렬면과 접촉하도록 배열된 핍을 대응하는 위치에 포함하는
    진공 펌프.
13. 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2개의 외향 연장 부분은 루프의 제 1 부분을 형성하는
    진공 펌프.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 루프는 상기 종축에 실질적으로 수직인 2개의 측방향 연장 측부와, 상기 종축에 실질적으로 평행한 2개의 종방향 연장 측부를 포함하는 홈 내에 장착되는
    진공 펌프.
15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 펌프는,
    상기 2개의 절반 쉘 스테이터의 양 단부에 장착된 단부 피스와,
    상기 단부 피스와 상기 스테이터 절반 쉘 사이를 밀봉하기 위한 환형 시일을 포함하며,
    상기 종방향 시일은 적어도 상기 스테이터 절반 쉘의 각 단부까지 연장되고, 상기 종방향 시일은 상기 환형 시일과의 접촉을 위한 편평한 단부면을 포함하는
    진공 펌프.
16. 제 13 항 또는 제 14 항을 인용하는 경우의 제 15 항에 있어서,
    상기 루프는 상기 루프로부터 연장되는 연장된 부분을 포함하고, 상기 연장된 부분의 단부는 상기 종방향 시일의 편평한 단부면을 형성하는
    진공 펌프.
17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 종방향 시일이 압축 하에 있지 않을 때 상기 종방향 시일은 상기 스테이터 절반 쉘을 넘어서 연장되고, 상기 단부면은 상기 진공 펌프의 조립 동안에 상기 스테이터 절반 쉘의 단부면과 정렬되는
    진공 펌프.
18. 제 16 항을 인용하는 경우의 제 17 항에 있어서,
    상기 연장된 부분을 포함하는 상기 루프의 측방향 측부의 부분은 상기 연장된 부분이 상기 스테이터의 단부면과 정렬되는 것에 반응하여 상기 펌프의 중심을 향해 구부러지도록 구성되는
    진공 펌프.
19. 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 종방향 시일은 상기 종방향 시일의 단부 부분을 상기 홈의 중앙 위치를 향해 바이어싱시키기 위한 바이어싱 수단을 포함하는
    진공 펌프.
20. 제 16 항을 인용하는 경우의 제 19 항에 있어서,
    상기 바이어싱 수단은 상기 루프의 편위부를 포함하고, 그에 따라 상기 종방향 시일은 상기 편위부에서 상기 종방향 홈의 외부면과 접촉하며, 상기 편위부는 상기 루프의 대향 측부 상에 종축에 대해 대칭으로 배열되고, 상기 종방향 시일의 단부 부분에 반대 방향의 바이어싱력을 가하도록 작동 가능한
    진공 펌프.
21. 제 20 항에 있어서,
    상기 편위부는 상기 루프의 대향 측부의 활 형상부를 포함하는
    진공 펌프.
22. 제 20 항에 있어서,
    상기 편위부는 상기 루프 상의 돌출부를 포함하는
    진공 펌프.
23. 제 20 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 환형 시일은 직사각형 단면을 갖는 홈 내에 장착되는
    진공 펌프.
24. 제 1 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 스테이터 절반 쉘의 양 단부를 향해 상기 펌핑 챔버쪽으로 변위되는
    진공 펌프.
25. 제 24 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 종방향 시일과 상기 홈의 폭 차이의 1/2의 거리만큼 변위되는
    진공 펌프.
26. 제 1 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프를 제조하는 방법에 있어서,
    하부 절반 쉘 스테이터의 종방향 접촉면의 대응하는 홈 내에 종방향 시일을 장착하는 것과,
    상부 절반 쉘 스테이터를 상기 하부 절반 쉘 스테이터 상에 그로부터 소정 거리에 배치하는 것과,
    편평한 단부를 갖는 공구를 사용하여, 상기 종방향 시일의 대응하는 편평한 단부를 환형 시일 홈의 에지까지 되미는 것과,
    상기 종방향 시일이 제 위치에 유지되도록 상기 상부 및 하부 절반 쉘 스테이터를 함께 부착하는 것과,
    상기 공구를 제거하는 것과,
    단부면의 홈 내에 환형 시일을 장착하는 것과,
    상기 환형 시일이 상기 종방향 시일의 단부 시일과 접촉하도록 상기 2개의 절반 쉘 스테이터의 양 단부에 단부 피스를 부착하는 것을 포함하는
    진공 펌프 제조 방법.
27. 첨부 도면을 참조하여 상기에서 설명된 바와 같은
    진공 펌프 또는 방법.

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