KR20190092302A - 광학적 및 기계적 특성들을 갖는 광학 디바이스 - Google Patents

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KR20190092302A
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optical devices
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자로슬라우 지바
마르쿠스 빌거
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비아비 솔루션즈 아이엔씨.
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Abstract

광학 디바이스는 기판 및 기판에 도포되는 코팅을 포함하며, 광학 디바이스는 환경에 노출되는 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측을 갖는다.

Description

광학적 및 기계적 특성들을 갖는 광학 디바이스 {OPTICAL DEVICE HAVING OPTICAL AND MECHANICAL PROPERTIES}
본 출원은 2018년 1월 30일자로 출원된, 미국 가출원 번호 제62/624,009호에 대한 우선권을 주장하며, 이 출원의 개시는 인용에 의해 본원에 포함된다.
본 개시는 일반적으로, 기판 및 기판에 도포된 코팅을 포함하는 광학 디바이스에 관한 것이며, 여기서 광학 디바이스는 환경에 노출되는 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측을 갖는다.
광학 센서들을 위한 광학 디바이스들은 반자율, 자율, 및 원격 제어된 운송 수단(vehicles)의 출현과 함께 점차 중요하게 되고 있다. 예를 들어, 운송 수단들에서 LIDAR(Light detection and ranging) 기술의 적용의 흥미가 증가하고 있다. 그러나, 광학 센서들을 위한 광학 디바이스들의 사용은, 센서들이 센서들의 기능을 손상시키거나 이 기능에 부정적으로 영향을 줄 수 있는 기계적, 광학적, 그리고 환경적 인자들을 견딜 수 있는지의 여부에 관한 관심을 상승시킨다. 일 예로서, 센서들은, 센서의 내구성 및 작동성을 손상시키고, 스크래칭하거나 달리 영향을 주는 비 및 바람과 같은 환경적 인자들을 겪을 것이다.
일 양태에서, 기판 및 기판에 도포된 코팅이 개시되며, 여기서 광학 디바이스는 환경에 노출되는 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측을 갖는다.
다양한 실시예들의 추가적인 특징들 및 이점들은 후속하는 설명에서 부분적으로 제시될 것이고, 그리고, 설명으로부터 부분적으로 명백할 것이며 또는 다양한 실시예들의 실행에 의해 습득될 수 있다. 다양한 실시예들의 목적들 및 다른 이점들은 본원의 설명에서 특별히 지시된 요소들 및 조합들에 의해서 실현되고 획득될 것이다.
본 개시의 수개의 양태들 및 실시예들에서 본 개시는 상세한 설명 및 첨부 도면들로부터 보다 완전히 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 양태에 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 양태에 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 양태에 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 양태에 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 양태에 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 양태에 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
이 명세서 및 도면들 전체에 걸쳐, 동일한 도면 부호들은 동일한 요소들로 인식된다.
전술한 일반적인 설명 및 다음의 상세한 설명 양자 모두가 단지 예시적이고 설명적인 것이고, 본 교시들의 다양한 실시예들의 설명을 제공하기 위한 것으로 의도되는 것이 이해되어야 한다. 각각의 도면에서 도시되는 층들/컴포넌트들은 특정 도면에 대해 설명될 수 있지만, 특정한 층/컴포넌트의 설명이 다른 도면들의 동등한 층/컴포넌트에 적용가능할 것이라는 점이 이해된다.
그의 폭넓은 그리고 변경된 실시예들에서, 기판(20); 및 기판(20)에 도포된 적어도 하나의 코팅(30)을 포함하는 광학 디바이스(10)가 개시되며; 여기서 광학 디바이스(10)는, 도 1에서 도시되는 바와 같이, 환경에 노출되는 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측을 갖는다. “노출된” 제1 측은 광, 공기, 먼지, 바람 등과 같은 환경을 향하는 것을 의미한다. “노출되지 않는” 제2 측은 환경을 향하지 않는 것을 의미하고, 윈도우(window), 센서(예컨대, LIDAR 센서), 또는 렌즈(lens), 예를 들어, 자립형 광학 렌즈(self-standing optical lens), 또는 복잡한 광학 시스템의 부품과 같은 렌즈와 같은 다른 디바이스에 적용되는 것을 포함할 수 있다.
개시된 광학 디바이스(10)는, 위에서 개시된 바와 같이, 기계적, 광학적, 화학적, 및 환경적 인자들에 대해 다른 디바이스를 보호할 수 있는 적어도 하나의 코팅(30)을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 코팅(30)은 적어도 하나의 기능을 제공할 수 있다. 적어도 하나의 코팅(30)은 다수의 기능들을 광학 디바이스(10)에 제공하기 위해 하나 이상의 코팅들을 포함할 수 있다. 또한, 적어도 하나의 코팅(30)은 광학 디바이스(10)의 각각의 코팅(30)의 기능들을 최적화하기 위해 기판(20)의 노출된 제1 측 상에 그리고/또는 노출되지 않는 제2 측 상에 하나 이상의 코팅들(30)을 포함할 수 있다.
광학 디바이스(10)의 기판(20)은 코팅될 수 있는 임의의 재료일 수 있다. 기판들(20)의 비제한적인 예들은 플라스틱, 합성 사파이어, 유리, 합성 다이아몬드, 광학 세라믹 재료들, 광학 품질 중합체들, 및 실리콘과 같은, 광학 디바이스(10)의 기능적인 적용에 의해 요구되는 바와 같은 흡수 스펙트럼을 갖는 광 투과 기판들을 포함한다. 광학 품질 중합체들은 폴리카보네이트들(polycarbonates), 아실레이트들(arcylates) 및 사이클릭 올레핀 중합체들(cyclic olefin polymers)을 포함한다. 다양한 유형들의 유리는 화학적으로 강화된 유리를 포함하여 사용될 수 있다.
일 양태에서, 도 6에서 도시되는 바와 같이, 광학 디바이스(100)는 하나 초과의 기판(110a, 110b)을 포함할 수 있다. 하나 초과의 기판(110a, 110b)의 개재(inclusion)는 광학 디바이스(100) 및 광학 디바이스 상에 적용되는 센서의 안전성을 개선시킬 수 있다. 또한, 광학 디바이스(100)에서의 하나 초과의 기판(110a, 110b)의 개재는 광학 디바이스(100)의 구조적인 강도 및/또는 가요성을 증가시킬 수 있다. 광학 디바이스(100)는 2개 이상의 기판들(110a, 110b)을 포함할 수 있다. 2개 이상의 기판들(110a, 110b)은 함께 고정된 2개 이상의 기판들(110a, 110b)을 갖는 적층체(laminate)일 수 있다. 일 양태에서, 접착제는 적층체를 형성하기 위해 2개 이상의 기판들(110a, 110b) 사이에 포함될 수 있다. 적층 기판은 보다 얇고 그리고 보다 강한 광학 디바이스(100)를 제공할 수 있다. 그러나, 단일 기판의 두께 또는 적층 기판은 광학 디바이스(100)에 대해 적합한 기판을 선택함에 있어서 제한 인자가 아니다.
적어도 하나의 기판(110a, 110b)은 동일하거나 상이할 수 있다. 일 양태에서, 제1 기판(110a)은, 적용 및 위치에 따라, 화학적으로 강화된 유리로부터 내재적으로, 매우 경질이고 내충격성인 재료들, 예컨대 합성 사파이어 또는 다이아몬드에 걸치는(ranging) 경질 광학 재료들로 제조될 수 있다. 제1 기판(110a)은 노출된 제1 측 상에서 기계적 그리고 보호 기능들을 제공하는 코팅들(30)을 포함할 수 있고, 노출되지 않는 제2 측 상에서 광학적 기능들을 제공하는 제2 기판 및/또는 코팅들(30)을 포함할 수 있다. 제2 기판(110b)은 광학 디바이스(10)에 대해 부가적인 보호 기능들을 제공할 수 있는 광학 코팅들의 캐리어로서 기능할 수 있다.
광학 디바이스(10, 100)에서의 사용을 위한 기판(들)(20, 110a, 110b)은 안전성, 비용, 중량 등에 기초하여 선택될 수 있다. 기판(20, 110a, 110b)의 선택은 광학 디바이스(10, 100)의 형성시에 변수이다. 특히, 기판(들)(20, 110a, 110b)의 선택은 광학 디바이스(10, 100)에서 코팅들(30)의 층들의 순서를 변경시킬 수 있다.
도 2 내지 도 5는 본원에서 고려되는 다양한 광학 디바이스들(10)을 예시한다. 이들은 사실상 예시적이다. 노출된 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측 상의 코팅들의 순서가 변할 수 있는 것이 이해되어야 한다. 또한, 노출된 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측 상에 존재하는 코팅들의 유형들은 변할 수 있다. 일반적으로, 기계적 또는 보호 기능을 제공할 수 있는 코팅들(30)은 광학 디바이스의 노출된 제1 측 상에 존재하며, 그리고 광학 기능을 제공할 수 있는 코팅들은 광학 디바이스의 노출되지 않는 제2 측 상에 존재한다. 도 2 내지 도 5의 코팅들(30)은 아래에서 보다 완전히 설명된다.
도 2에서 도시된 바와 같이, 노출된 제1 측 상에 방오성(anti-smudge) 처리부(30a)를 갖는 반사방지 코팅(antireflective coating) 및 기판(20), 그리고 노출되지 않는 제2 측 상에 전기 전도 코팅(30b) 및 방현 코팅(glare reducing coating)(30c)을 포함하는 광학 디바이스(10)가 예시된다.
도 3에서 도시된 바와 같이, 노출된 제1 측 상에 방오성 처리부(30a)를 갖는 반사방지 코팅 및 기판(20), 그리고 노출되지 않는 제2 측 상에 전기 전도 코팅(30b), 방현 코팅(30c), 및 반사방지 코팅(30e)을 포함하는 광학 디바이스(10)가 예시된다.
도 4에서 도시된 바와 같이, 노출된 제1 측 상에 방오성 처리부(30a)를 갖는 반사방지 코팅 및 기판(20), 그리고 노출되지 않는 제2 측 상에 전기 전도 코팅(30b), 대역 필터(30d), 및 방현 코팅(30c)을 포함하는 광학 디바이스(10)가 예시된다.
도 5에서 도시된 바와 같이, 노출된 제1 측 상에 방오성 처리부(30a)를 갖는 반사방지 코팅 및 기판(20), 그리고 노출되지 않는 제2 측 상에 전기 전도 코팅(30b), 대역 필터(30d), 방현 코팅(30c), 및 반사방지 코팅(30e)을 포함하는 광학 디바이스(10)가 예시된다.
광학 디바이스(10)는 기판(20)에 도포되는 코팅(30), 예컨대 반사방지 코팅(30e)을 포함할 수 있다. 일 양태에서, 반사방지 코팅(30e)은 광학 디바이스(10)의 제1 측 상에 존재할 수 있다. 반사방지 코팅(30)은 또한, 도 2 내지 도 5에서 도시되는 바와 같이, 방오성(30a) 특성을 부여하도록 처리될 수 있다. 다른 양태에서, 반사방지 코팅(30e)은, 도 3 및 도 6에서 도시되는 바와 같이, 광학 디바이스(10)의 제2 측 상에 존재할 수 있다. 광학 디바이스(10)는, 제1 측 상에 방오성 처리부(30a)를 갖는 반사방지 코팅 및 제2 측 상에 (방오성 처리부 없는) 반사방지 코팅(30e)을 포함할 수 있다.
반사방지 코팅(30e)은 유전체 적층물(dielectric stack)일 수 있고, 기판(20)과의 계면 상에서 광 반사를 감소시킬 수 있다. 유전체 적층물을 형성하는데 적합한 유전체는 금속 산화물들, 예컨대 TiO2, Ta2O5, ZrO2, 및 SiO2를 포함하며, 이 금속 산화물들은 광학적으로 등방성이고 그리고 가시적인 파장 스펙트럼 레인지(예컨대, 400 nm 내지 700 nm)에서 높은 투과도를 나타낸다. 반사방지 코팅(30e)은, 높은 굴절률과 같은 제2 굴절률을 가지는 적어도 제2의 복수의 유전체 층들과 삽입되는(interleaved), 낮은 굴절률과 같은 제1 굴절률을 가지는 제1의 복수의 유전체 층들, 예를 들어, SiO2 또는 MgF2(magnesium fluoride)를 포함하는 적층물일 수 있다. 높은 굴절률 재료들의 비제한적인 예들은 산화 니오븀, 산화 탄탈럼, 산화 알루미늄, 산화 티타늄, 산화 지르코늄 및 이들의 조합들을 포함한다.
반사방지 코팅(30e)은 NbTiOx, SiO2, 등의 층들의 적층물로 형성될 수 있다. 일 양태에서, 반사방지 코팅(30e)은, 약 50 nm의 NbTiOx의 제1 층, 약 18 nm의 SiO2의 제1 층, 약 16 nm의 NbTiOx의 제2 층, 및 약 101 nm의 SiO2의 제2 층의 박막 유전체 적층물일 수 있다.
광학 디바이스(10)는 기판에 도포되는 코팅(30), 예컨대 보호제 코팅(protectant coating)을 포함할 수 있다. 보호제 코팅은 광학 디바이스의 제1 측 상에 존재할 수 있다. 광학적 디바이스(10)는 단독으로 또는 반사방지 코팅(30e)과 조합하여 보호제 코팅을 포함할 수 있다. 일 양태에서, 보호제 코팅은 반사방지 코팅(30e)에 도포되며, 이 반사방지 코팅은 기판(20)에 도포된다. 보호제 코팅 및 반사방지 코팅(30e) 양자 모두가 광학 디바이스(10)의 제1 측 상에 있다.
일 양태에서, 보호제 코팅은 기능화된 실란(functionalized silane)을 가지는 불소화된 알킬 에테르 중합체(fluorinated alkyl ether polymer)를 포함할 수 있다. 이러한 화합물의 예는 일반적인 화학식을 갖는다: Rm―Si―Xn (1), 여기서 R은 불소화된 알킬 에테르 반복 단위를 포함하며, X는 알콕시 그룹, 염화물 또는 아민 그룹일 수 있으며, 여기서 m + n은 4와 동일하다. 예를 들어, 2개의 이러한 화합물들은 트리-메소시 실란 그룹으로 기능화된 폴리(퍼플루오로프로필 에테르) 및 실라잔 그룹으로 기능화된 폴리(퍼플루오로에틸 에테르)이다.
보호제 코팅은 내구성이 있을 수 있고, 간소화된 화학식을 가지는 화합물을 포함할 수 있다: CF3―[CH(CF3)―CH2―O―]x―CONCH3―(CH2)3―Si―(OC2H5)3 (2), 여기서 x는 7 내지 11의 정수이다. 이러한 화합물은 또한, 2가 연결기(divalent linking group)(즉, ―CONCH3―(CH2)3―)를 포함할 수 있다. 물론, 화학식 (2)에서 나타나는 것과 구조 및 기능에서의 유사한 화합물들은 또한, 보호제 코팅에 사용될 수 있다. 특히, N-메틸-N-(-트리에톡시프로필)-2-[α우오로프로폭시{폴리(옥시(트리플루오로메틸)-1,2-에탄디일)}테트라플루오로프로피온아미드, 상업적으로 이용가능한 화합물들 양자 모두가 보호제 코팅에 사용될 수 있다.
보호제 코팅을 도포하는 방법은, 표면을 코팅 화합물을 함유하는 액체, 용액, 또는 젤형 캐리어(gel-like carrier), 및 디핑(dipping), 플로우잉(flowing), 와이핑(wiping), 및/또는 스프레잉(spraying) 하는 것과 같은 습윤 기술들(wet techniques), 및 (주변 압력으로 또는 진공 하에서) 코팅 화합물을 표면 상에 증기 코팅하는 것과 같은 건식 기술들(dry techniques)을 포함할 수 있다.
광학 디바이스(10)는, 도 2 내지 도 5에서 도시되는 바와 같이, 기판(20)에 도포되는 코팅(30), 예컨대 전기 전도 코팅(30b)을 포함할 수 있다. 전기 전도 코팅(30b)은 광학 디바이스(10)의 제2 측 상에 존재할 수 있다. 전기 전도 코팅(30b)은 토양, 물, 및 먼지 반발 표면(repelling surface)의 역할을 하는 낮은 표면 에너지 처리부(low surface energy treatment)일 수 있다. 이러한 코팅(30b)은 낮은, 예컨대 0.08 미만의 마찰 계수를 가질 수 있다. 이러한 방식으로, 전기 전도 코팅(30b)은 연마 매체에 의해 손상될 광학 디바이스(10)의 자화율(susceptibility)을 감소시킬 수 있다.
전기 전도 코팅(30b)은 ITO(indium tin oxide), 투과성 복합재 기반 나노-입자들, 및 다른 일반적으로 사용되는 광 투과 전도체들(optically transparent conductors)을 포함할 수 있다. 일 양태에서, 전기 전도 코팅(30b)은 LIDAR 센서의 작동의 파장, 예컨대, 약 850 nm 내지 약 2000 nm에서 투과성이 있을 수 있다.
전기 전도 코팅(30b)은, 예컨대 약 30℃ 내지 80℃으로부터 광학 디바이스(10)의 온도를 증가시키기 위해 가열 요소로서 작용할 수 있다. 가열 요소로서, 이러한 코팅(30b)을 포함하는 광학 디바이스(10)는 다음 중 적어도 하나를 제거하고 그리고/또는 감소시키는 데 사용될 수 있다: 부착된 센서를 갖는 윈도우의 포깅(fogging)의 위험, 습기 응결의 위험, 및 광학 디바이스(10)의 노출된 제1 측의 토양 반발성의 증가.
또한, 이러한 전기 전도 코팅(30b)은 물 및 오염들에 반발하는 효율을 증가시킴으로써, 기판의 제1 측 상에서 외부 반사방지 코팅(30)의 소수성(hydrophobicity) 및 소유성(oleophobicity)을 증가시킬 수 있다.
전기 전도 코팅(30b)은 견고한 표면을 생성하기에 충분하게 기계적으로 내구성이 없을 수 있다. 이러한 이유로, 전기 전도 코팅(30b)은 제2 측, 즉 센서를 향하는 광학 디바이스의 측 상에 도포되어야 한다.
광학 디바이스(10)는 기판(20)에 도포되는 코팅(30), 예컨대 방현 코팅(30c)을 포함할 수 있다. 방현 코팅(30c)은, 도 2 내지 도 5에서 도시되는 바와 같이, 광학 디바이스(10)의 노출되지 않는 제2 측 상에 존재할 수 있다. 방현 코팅(30c) 및 전기 전도 코팅(30b) 양자 모두는 광학 디바이스(10)의 노출되지 않는 제2 측 상에 존재할 수 있다. 일 양태에서, 방현 코팅(30c)은 전기 전도 코팅(30b)에 도포될 수 있으며, 이 전기 전도 코팅은 기판(20)에 도포된다.
방현 코팅(30c)의 예는 1/4 파장 광학 리타더(quarter wave optical retarder)와 조합되는 선형 편광기(linear polarizer)를 포함하는 원형 편광기의 다층 구조일 수 있다. 파장 리타더들은, 파장 리타더들을 통과하여 진행하는 광의 편광 상태 또는 상을 변경시키는(지연시키는) 복굴절 재료들(birefringent materials)이다. 파장 리타더는 빠른(임시적인) 및 느린(일반적인) 축을 갖는다. 편광된 광이 파장 리타더를 통과함에 따라, 빠른 축을 통과하는 광은 느린 축을 통과하는 것보다 파장 리타더를 통해 보다 신속하게 진행한다. 1/4 파장 리타더의 경우에서, 파장 플레이트(wave plate)는 편광 컴포넌트들(x 또는 y) 중 하나의 속도를 다른 편광 컴포넌트로부터 역위상으로 파장의 1/4만큼 지연시킨다. 따라서, 1/4 파장 리타더를 통해 통과하는 편광된 광은 원형으로 편광되게 된다. 방현 코팅(30c)은 광학 디바이스(10)에 의해 보호되는 센서의 작동의 파장에서의 글레어(glare)를 감소시키고 그리고/또는 제거할 수 있다. 방현 코팅(30c)은 또한, 신호 빔의 편광 상태의 분석을 허용할 수 있다.
광학 디바이스(10)는 기판(20)에 도포되는 코팅(30), 예컨대 대역 필터(30d)를 포함할 수 있다. 대역 필터(30d)는, 도 4 및 도 5에서 도시되는 바와 같이, 광학 디바이스(10)의 노출되지 않는 제2 측 상에 존재할 수 있다. 대역 필터(30d)는 방현 코팅(30c)에 도포될 수 있으며, 이 방현 코팅은 전기 전도 코팅(30b)에 도포될 수 있으며, 이 전기 전도 코팅은 기판(20)에 도포된다. 일 양태에서, 대역 필터(30d), 방현 코팅(30c), 및 전기 전도 코팅(30b) 모두는 광학 디바이스(10)의 노출되지 않는 제2 측 상에 존재할 수 있다. 일 양태에서, 방현 코팅(30c)은 전기 전도 코팅(30b)에 도포될 수 있으며, 이 전기 전도 코팅은 기판(20)에 도포된다.
대역 필터(30d)는 낮은 유전체 및 높은 굴절 재료들의 완전 적층물에 의해 실현될 수 있다. 각각의 층은 요망되는 필터의 파장에서 QW(1/4 파장(quarter-wave)) 두께로서 증착될 수 있다. 단지 단일 층으로 구성될 수 있는 각각의 부분-리플렉터(partial-reflector)는 QWS(quarter-wave stack)로 불린다. 필터의 대역폭(bandwidth)은 구조에서 1/4 파장 적층물들의 반사율의 기능이다. 통과 대역(pass-band)의 중심 파장은 스페이서(spacer) 유전체 재료의 두께에 의해 결정된다. 1/4 및/또는 1/2 파장 층들을 위해 사용되는 유전체 재료들은 1.3 내지 4.0초과의 범위의 굴절률들을 갖는다. 예를 들어, 일부 적합한 재료들은: 플루오르화마그네슘(Magnesium Fluoride)(1.38), 플루오르화토륨(Thorium Fluoride)(1.47), 빙정석(Cryolite)(1.35), 이산화규소(Silicon Dioxide)(1.46), 산화 알루미늄(Aluminum Oxide)(1.63), 산화하프늄(Hafnium Oxide)(1.85), 오산화탄탈럼(Tantalum Pentoxide)(2.05), 산화 니오븀(Niobium Oxide)(2.19), 아연 황화물(Zinc Sulphide)(2.27), 산화 티타늄(Titanium Oxide)(2.37), 규소(Silicon)(3.5), 게르마늄(Germanium)(4.0), 및 납 텔루르화물(Lead Telluride)(5.0). 다른 유전체 재료들도 또한 쓰일 것이다. 이외에도, 완전히 유전체 대역 필터(30d)는 또한, 반사방지 특성들을 조합할 수 있다.
일 양태에서, 대역 필터(30d)는 유전체 및 중합체 구조들의 요구되는 흡수 또는 조합을 생성하기 위해 염료들의 적절한 혼합물을 함유하는 중합체 코팅일 수 있다.
대역 필터(30d)는, 센서 작동들이 통과하는 광의 파장을 허용할 수 있고, 모든 다른 파장들을 제거할 수 있다. 예를 들어, 대역 필터(30d)는 가시적인 그리고 인접 IR 스펙트럼 레인지, 예컨대 약 400 내지 약 850 nm에서 파장들을 차단할 수 있고, 850 nm 초과의 파장들을 전송할 수 있다. 이러한 방식으로, 대역 필터(30d)는, 원치 않은 방사가 광학 디바이스(10)에 부착되는 센서에 도달하는 것을 감소시키고 그리고/또는 제거할 수 있다.
광학 디바이스(10)는 광학 시스템을 형성하기 위해 다른 디바이스에 부착될 수 있다. 다른 디바이스는 윈도우, 센서(예컨대, LIDAR 센서), 또는 렌즈, 예를 들어, 자립형 광학 렌즈, 또는 렌즈일 수 있다. 광학 디바이스(10)는 종래의 증착 공정들을 사용하여 다른 디바이스에 부착될 수 있다.
광학 디바이스(10)를 제조하는 방법이 또한 개시된다. 광학 디바이스(10)는 반도체 공정들을 사용하여 형성될 수 있다.
광학 시스템을 제조하는 방법이 또한 개시된다. 광학 디바이스(10)는 광학 시스템을 형성하기 위해 종래의 증착 공정들에 의해 다른 디바이스에 부착될 수 있다.
이전의 설명으로부터, 당업자들은, 본 교시들이 다양한 형태들로 구현될 수 있는 것이 이해할 수 있다. 따라서, 이러한 교시들이 특정한 실시예들 및 이의 예들과 연결되어 설명되었지만, 본 교시들의 진정한 범위는 그렇게 제한되어서는 안된다. 다양한 변경들 및 수정들이 본원에서 교시들의 범주로부터 벗어나지 않고 이루어질 수 있다.
이러한 범주 개시는 폭넓게 해석될 수 있다. 이러한 개시가 본원에 개시되는 디바이스, 활동들 및 기계적인 작용들을 달성하기 위해 동등물들, 수단들, 시스템들 및 방법들을 개시하는 것이 의도된다. 개시되는 각각의 디바이스, 물품, 방법, 수단, 기계적인 요소 또는 기구에 대해, 이러한 개시가 또한 그의 개시에 포함되고, 본원에 개시된 많은 양태들, 기구들 및 디바이스들을 실시하기 위한 동등물들, 수단들, 시스템들 및 방법들을 교시하는 것이 의도된다. 또한, 이러한 개시는 코팅 및 그의 많은 양태들, 특징들 및 요소들에 관한 것이다. 이러한 디바이스는 그의 사용 및 작동시에 동적일 수 있으며, 이러한 개시는 제작의 디바이스 및/또는 물품의 사용의 동등물들, 수단들, 시스템들 및 방법들 그리고 본원에서 개시된 설명 및 작동들 및 기능들의 사상과 일치하는 그의 많은 양태들을 포함하는 것으로 의도된다. 이 출원의 청구항들은 마찬가지로, 폭넓게 해석될 수 있다.
이들의 많은 실시예들에서의 본원의 본 발명들의 설명은 사실상 단지 예시적이며, 그리고, 따라서, 본 발명의 요지로부터 벗어나지 않는 변경들은 본 발명의 범주 내에 있는 것으로 의도된다. 이러한 변경들은 본 발명의 사상 및 범주로부터 벗어난 것으로 간주되지 않아야 한다.

Claims (20)

  1. 광학 디바이스(optical device)로서,
    기판(substrate); 및
    상기 기판에 도포되는 코팅(coating)을 포함하며,
    상기 광학 디바이스는 환경에 노출된 제1 측 및 노출되지 않는 제2 측을 가지는,
    광학 디바이스.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판은 플라스틱, 합성 사파이어, 유리 및 합성 다이아몬드를 포함하는,
    광학 디바이스.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 광학 디바이스는 2개 이상의 기판들을 포함하는,
    광학 디바이스.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 2개 이상의 기판들은 적층체들(laminates)인,
    광학 디바이스.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 코팅은 반사방지 코팅(antireflective coating)인,
    광학 디바이스.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 반사방지 코팅은 상기 광학 디바이스의 제1 측 상에 존재하는,
    광학 디바이스.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 코팅은 보호제 코팅(protectant coating)인,
    광학 디바이스.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 보호제 코팅은 반사방지 코팅에 도포되며, 상기 반사방지 코팅은 상기 기판에 도포되는,
    광학 디바이스.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 보호제 코팅 및 상기 반사방지 코팅 양자 모두는 상기 광학 디바이스의 제1 측 상에 존재하는,
    광학 디바이스.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 보호제 코팅은 상기 광학 디바이스의 제1 측 상에 존재하는,
    광학 디바이스.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 코팅은 상기 광학 디바이스의 제2 측 상에 존재하는 전기 전도 코팅(electrical conducting coating)인,
    광학 디바이스.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 코팅은 방현 코팅(glare reducing coating)인,
    광학 디바이스.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 방현 코팅은 전기 전도 코팅에 도포되며, 상기 전기 전도 코팅은 상기 기판에 도포되는,
    광학 디바이스.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 방현 코팅 및 상기 전기 전도 코팅 양자 모두는 상기 광학 디바이스의 제2 측 상에 있는,
    광학 디바이스.
  15. 제12 항에 있어서,
    상기 방현 코팅은 상기 광학 디바이스의 제2 측 상에 존재하는,
    광학 디바이스.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 코팅은 대역 필터(bandpass filter)인,
    광학 디바이스.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 대역 필터는 방현 코팅에 도포되며, 상기 방현 코팅은 전기 전도 코팅에 도포되며, 상기 전기 전도 코팅은 상기 기판에 도포되는,
    광학 디바이스.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 대역 필터, 상기 방현 코팅, 및 상기 전기 전도 코팅 모두는 상기 광학 디바이스의 제2 측 상에 있는,
    광학 디바이스.
  19. 제16 항에 있어서,
    상기 대역 필터는 상기 광학 디바이스의 제2 측 상에 존재하는,
    광학 디바이스.
  20. 제1 항에 있어서,
    상기 코팅은 상기 기판의 제1 측 상의 광학 코팅이고, AR 코팅, 보호제 코팅, 대역 필터 코팅, 및 이들의 조합을 포함하는,
    광학 디바이스.
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