KR20190077001A - 구동회로 및 임피던스 정합장치 - Google Patents

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Abstract

PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태를 절환하는 구동회로(A1)로, 스위칭 소자(SH) 및 스위칭 소자(SL)와, 구동전원과, PIN 다이오드(D)의 순방향 전류를 조정하는 전류 제한 저항(R)을 구비한다. 그리고, 스위칭 소자(SH)가 온 상태이고, 또한, 스위칭 소자(SL)가 오프 상태일 때, 상기 구동전원에서 전류 제한 저항(R)을 통해 PIN 다이오드(D)로 순방향 전압을 인가함으로써 PIN 다이오드(D)를 온 상태로 하고, 스위칭 소자(SH)가 오프 상태이고, 또한, 스위칭 소자(SL)가 온 상태일 때, 상기 구동전원에서 전류 제한 저항(R)을 통하지 않고 PIN 다이오드(D)로 역방향 전압을 인가함으로써 PIN 다이오드(D)를 오프 상태로 한다.

Description

구동회로 및 임피던스 정합장치
본 발명은 PIN 다이오드의 온 상태(on state)와 오프 상태(off state)를 절환(switch)하는 구동회로(drive circuit) 및 해당 구동회로를 이용한 임피던스 정합장치(impedance matching device)에 관한 것이다.
다이오드는 순방향 전압을 인가하면 도통상태(온 상태)가 되고, 역방향 전압을 인가하면 개방상태(오프 상태)가 되는 특성을 가지고 있다. 이러한 특성을 이용하여 다이오드를 스위치로 이용할 수 있다. 이러한 다이오드로서는, 예를 들면, PIN 다이오드가 이용된다. 특허문헌 1은 종래의 PIN 다이오드의 온 상태와 오프 상태를 절환하는 구동회로의 일례를 개시하고 있다. 동일한 문헌에 개시된 구동회로는, 2개의 스위칭 소자를 구비하고, 전원의 정극 측에 배치된 스위칭 소자가 온 상태일 때, 구동회로의 출력단에 바이어스 전원(＋VD)을 공급하고, 전원의 음극 측에 배치된 스위칭 소자가 온 상태일 때, 구동회로의 출력단에 바이어스 전원(-VS)을 공급한다. 상기 출력단은 PIN 다이오드의 입력단에 접속되어 있고, 상기 입력단으로 바이어스 전원(＋VD)이 공급되면, PIN 다이오드에 순방향 전압이 인가되고, PIN 다이오드가 온 상태가 된다. 한편, 상기 입력단으로 바이어스 전원(-VS)이 공급되면, PIN 다이오드에 역방향 전압이 인가되고, PIN 다이오드가 오프 상태가 된다.
일본 공개특허공보 제2003－110407호 일본 등록특허공보 제5050062호
상기 특허문헌 1에 있어서, PIN 다이오드는 고주파 입력부와 고주파 출력부를 연결하는 전원 라인 상에 접속되어 있고, PIN 다이오드의 온 상태와 오프 상태와의 절환은 고주파 전류가 흐르고 있는 상태에서 이루어 진다. 이러한 통전 상태에서의 스위칭은 "핫 스위칭(hot switching)"이라 불리고 있다. 특히, 상기 특허문헌 1과 같이, 고주파 전류가 흐르고 있는 상태에서의 핫 스위칭에 있어서, PIN 다이오드의 온 상태에서 오프 상태로의 절환시간이 긴(스위칭 스피드가 늦음), 즉, PIN 다이오드의 캐리어의 천이시간이 길면 전력손실이 커진다. 이러한 전력손실에 의해, 예를 들면, PIN 다이오드의 발열량이 커져 PIN 다이오드의 신뢰성이 저하된다는 문제가 있었다. 이 때문에, PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 때에는 보다 짧은 천이시간에서 수행할 필요가 있었다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 특허문헌 2에 개시된 구동회로는 부트스트랩 회로(bootstrap circuit)나 클램프 네트워크(clamp network) 등을 구비하여 스위칭 스피드를 조정하고 있다. 그러나, 부트스트랩 회로나 클램프 네트워크 등을 이용하고 있으므로, 회로구성이나 제어가 복잡하게 되어 버린다.
따라서, 본 발명은 상기 과제에 비추어 창작된 것으로, 그 목적은 간단하고 용이한 회로구성에 따라 핫 스위칭에 따른 PIN 다이오드의 신뢰성 저하를 억제할 수 있는 구동회로 및 해당 구동회로를 이용한 임피던스 정합장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 측면에 의해 제공되는 구동회로는, PIN 다이오드의 온 상태와 오프 상태를 절환하는 구동회로로, 하나가 온 상태일 때 다른 하나가 오프 상태가 되는 제1 스위칭 소자 및 제2 스위칭 소자와, 직류 전압을 발생시키는 구동전원(drive power supply)과, 상기 PIN 다이오드의 순방향 전류를 조정하는 전류 제한 저항을 구비하고, 상기 제1 스위칭 소자가 온 상태이고, 또한, 상기 제2 스위칭 소자가 오프 상태일 때, 상기 구동전원에서 상기 전류 제한 저항을 통해 상기 PIN 다이오드로 순방향 전압을 인가함으로써 상기 PIN 다이오드를 온 상태로 하고, 상기 제1 스위칭 소자가 오프 상태이고, 또한, 상기 제2 스위칭 소자가 온 상태일 때, 상기 구동전원에서 상기 전류 제한 저항을 통하지 않고, 상기 PIN 다이오드로 역방향 전압을 인가함으로써 상기 PIN 다이오드를 오프 상태로 하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 따르면, PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 때, 상기 전류 제한 저항을 통하지 않고 상기 PIN 다이오드에 역방향 전압이 인가되므로, 짧은 천이시간으로 PIN 다이오드를 오프 상태로 절환할 수 있다. 이로 인해, PIN 다이오드의 발열량을 억제할 수 있다. 따라서, 핫 스위칭에 따른 PIN 다이오드의 신뢰성 저하를 억제할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제2 스위칭 소자의 온 저항은, 0.1Ω이하이다. 이러한 구성에 따르면, PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 했을 때, 전류경로에 있어서의 저항값이 낮아지므로, PIN 다이오드의 온 상태에서 오프 상태에의 천이시간을 보다 짧게 할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 순방향 전압에 의해 발생하는 상기 PIN 다이오드의 순방향 전류는, 상기 제1 스위칭 소자의 온 저항과 상기 전류 제한 저항에 의해 결정되고, 상기 전류 제한 저항의 저항값은 상기 PIN 다이오드의 순방향 전류가 소정의 전류값이 되도록, 상기 제1 스위칭 소자의 온 저항에 기초하여 결정된다. 이러한 구성에 따르면, 순방향 전류가 소정의 전류값(예를 들면, 1A 이상)이 되도록 함으로써, PIN 다이오드의 캐리어 수명보다 충분히 짧은 천이시간으로 PIN 다이오드를 오프 상태에서 온 상태로 절환할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 제1 스위칭 소자, 상기 전류 제한 저항, 상기 제2 스위칭 소자가 직렬로 접속되어 있고, 상기 PIN 다이오드는 애노드 단자가 상기 전류 제한 저항과 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되고, 캐소드 단자가 접지되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 제1 스위칭 소자가 온 상태이고, 또한, 제2 스위칭 소자가 오프 상태일 때, 전류 제한 저항을 통해 PIN 다이오드에 순방향 전압을 인가하고, 한편, 제1 스위칭 소자가 오프 상태이고, 또한, 제2 스위칭 소자가 온 상태일 때, 전류 제한 저항을 통하지 않고 PIN 다이오드에 역방향 전압을 인가할 수 있다. 따라서, PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 했을 때의 전류경로에 있어서, 전류 제한 저항을 통하지 않도록 할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 다른 실시형태에 있어서, 상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 전류 제한 저항, 상기 제1 스위칭 소자, 상기 제2 스위칭 소자가 직렬로 접속되어 있고, 상기 PIN 다이오드는, 애노드 단자가 상기 제1 스위칭 소자와 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되고, 캐소드 단자가 접지되어 있다. 이러한 구성에 의해서도 PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 했을 때의 전류 경로에 있어서, 전류 제한 저항을 통하지 않도록 할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 다른 실시형태에 있어서, 상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 제2 스위칭 소자, 상기 전류 제한 저항, 상기 제1 스위칭 소자가 직렬로 접속되어 있고, 상기 PIN 다이오드는, 애노드 단자가 접지되고, 캐소드 단자가 상기 전류 제한 저항과 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되어 있다. 이러한 구성에 의해서도 PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 했을 때의 전류 경로에 있어서, 전류 제한 저항을 통하지 않도록 할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 다른 실시형태에 있어서, 상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 제2 스위칭 소자, 상기 제1 스위칭 소자, 상기 전류 제한 저항이 직렬로 접속되어 있고, 상기 PIN 다이오드는, 애노드 단자가 접지되고, 캐소드 단자가 상기 제1 스위칭 소자와 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되어 있다. 이러한 구성에 의해서도 PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 했을 때의 전류 경로에 있어서, 전류 제한 저항을 통하지 않도록 할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 접속점과 상기 PIN 다이오드 사이에 접속된 필터회로를 더 구비한다. 이러한 구성에 따르면, 필터회로에 의해 고주파 전력이 제1 스위칭 소자 및 제2 스위칭 소자로 입력되는 것이 억제되므로, 이들의 손괴를 억제할 수 있다.
상기 구동회로의 바람직한 다른 실시형태에 있어서, 상기 전류 제한 저항에 대해서 병렬로 접속된 스피드업 콘덴서를 더 구비한다. 이러한 구성에 따르면, 제1 스위칭 소자를 온 상태로 제2 스위칭 소자를 오프 상태로 절환했을 때, 해당 스피드업 콘덴서를 통한 전류경로가 도통한다. 따라서, 대전류에 의해 PIN 다이오드를 온 상태로 절환할 수 있으므로, 짧은 천이시간에 PIN 다이오드를 온 상태로 절환할 수 있다.
본 발명의 제2 측면에 의해 제공되는 임피던스 정합장치는, 전원라인에 의해 접속된 고주파 전원과 부하 사이에 배치되고, 임피던스를 정합 시키기 위한 임피던스 정합장치로, 서로 병렬로 접속되고, 각각 일단이 상기 전원라인에 접속된 복수의 임피던스 조정용 콘덴서와, 상기 복수의 임피던스 조정용 콘덴서마다, 각각 한개씩 직렬로 접속된 복수의 PIN 다이오드와, 상기 복수의 PIN 다이오드마다 각각 하나씩 접속된 복수의, 제1 측면에 의해 제공되는 구동회로와, 상기 고주파 전원의 출력단에서 상기 부하측을 바라본 부하측 임피던스를 검출하는 검출부와, 상기 부하측 임피던스에 기초하여, 상기 복수의 구동회로 마다 상기 제1 스위칭 소자 및 상기 제2 스위칭 소자의 온 상태와 오프 상태의 절환을 지시하는 구동신호를 입력하는 제어회로를 구비한다. 이러한 구성에 따르면, PIN 다이오드의 온 상태와 오프 상태의 절환으로 인해, 온 상태인 PIN 다이오드에 접속된 임피던스 조정용 콘덴서가 유효하게 되므로, 임피던스 정합장치의 커패시턴스를 변경하는 것이 가능해진다. 이로 인해, 부하측 임피던스를 조정하고, 임피던스 정합을 수행할 수 있다. 또한, PIN 다이오드의 온 상태에서 오프 상태로의 절환의 천이시간이 짧으므로, 임피던스 정합의 속도가 향상된다. 따라서, 고주파 전원에서 부하로 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있다.
본 발명에 따르면, PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 절환(switch)할 때, 상기 전류 제한 저항을 통하지 않고 상기 PIN 다이오드에 역방향 전압을 인가하도록 한다. 이로 인해, 간단하고 용이한 구성으로 인해 짧은 천이시간에 PIN 다이오드를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 수 있다. 따라서, 핫 스위칭에 따른 PIN 다이오드의 신뢰성 저하를 억제할 수 있다.
도 1은, 제1실시형태에 따른 구동회로를 나타내는 회로 구성도이다.
도 2는, 제2실시형태에 따른 구동회로를 나타내는 회로 구성도이다.
도 3은, 제3실시형태에 따른 구동회로를 나타내는 회로 구성도이다.
도 4는, 제4실시형태에 따른 구동회로를 나타내는 회로 구성도이다.
도 5는, 제5실시형태에 따른 고주파 전력 공급 시스템의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은, 제5실시형태에 따른 임피던스 정합장치의 구성을 나타내는 도면이다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 이하와 같이 설명한다.
도 1은 제1실시형태에 따른 PIN 다이오드(D)의 구동회로(A1)의 회로구성을 나타내고 있다. 구동회로(A1)는 도시하지 않는 구동전원을 입력으로 하고, 출력단자(OUT)를 통해 PIN 다이오드(D)로 순방향 바이어스 혹은 역방향 바이어스를 준다. PIN 다이오드(D)의 애노드 단자는 구동회로(A1)의 출력단자(OUT)에 접속되고, 또한, 고주파 전류가 흐르는 전원라인(L)에 접속되어 있다. PIN 다이오드(D)의 캐소드 단자는 접지되어 있다. 또한, 구동전원은 직류 전압원이고, 정극 측의 출력단자(V＋)와 음극 측의 출력단자(V－)를 가지고 있다. 정극 측의 출력단자(V＋)는 후술하는 스위칭 소자(SH)가 온 상태, 그리고, 후술하는 스위칭 소자(SL)가 오프 상태가 되었을 때, PIN 다이오드(D)의 애노드 단자로 순방향 전압 강하(순방향 전류를 흘리기 위해서 필요한 전압)를 인가하여 PIN 다이오드(D)를 온 상태로 하기 위한 것이다. 또한, 음극 측의 출력단자(V－)는 스위칭 소자(SL)가 온 상태, 그리고, 스위칭 소자(SH)가 오프 상태가 되었을 때, PIN 다이오드(D)의 애노드 단자로 음전압(항복 전압에 이르지 않는 범위의 전압)을 인가하여 PIN 다이오드(D)를 오프 상태로 하기 위한 것이다.
구동회로(A1)는, 출력단자(OUT)를 통해 PIN 다이오드(D)에 순방향 전압을 인가함으로써 PIN 다이오드(D)를 도통상태(온 상태)로 하고, PIN 다이오드(D)에 역방향 전압을 인가함으로써 PIN 다이오드(D)를 개방상태(오프 상태)로 한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 구동회로(A1)는 2개의 스위칭 소자(SH), (SL), 전류 제한 저항(R), 스피드업 콘덴서(SC), 및 필터회로(F)를 구비한다.
스위칭 소자(SH), (SL)는 반도체를 재료로 하는 회로소자이고, 예를 들면, MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor), 바이폴러 트랜지스터, IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor: 절연 게이트·바이폴러 트랜지스터), 옵토 커플러(optocoupler) 등이다. 본 실시형태에 있어서는 스위칭 소자(SH), (SL)로 N채널 형태의 MOSFET를 이용한 경우를 예를 들어 설명하나, 이에 한정되지 않는다.
스위칭 소자(SH, SL)는 게이트 단자에 도시하지 않는 제어회로로부터 구동신호가 입력되고, 해당 구동신호에 따라 온 상태와 오프 상태가 절환된다. 스위칭 소자(SH, SL)는 해당 구동신호에 의해 하나가 온 상태일 때 다른 하나가 오프 상태가 되도록 제어된다. 예를 들면, 제어회로는 서로 하이 레벨과 로우 레벨이 반전된 2개의 전압신호를 생성하고, 다른 하나의 전압신호를 구동신호(/S1)로서 스위칭 소자(SH)에 입력하고, 다른 하나의 전압신호를 구동신호(/S1)로서 스위칭 소자(SL)에 입력한다. 구동신호(S1)(/S1)가 하이 레벨의 전압신호인 경우, 스위칭 소자(SH)(SL)는 온 상태가 되고, 구동신호(S1)(/S1)가 로우 레벨의 전압신호인 경우, 스위칭 소자(SH)(SL)는 오프 상태가 된다. 이로 인해, 스위칭 소자(SH)와 스위칭 소자(SL)는 서로 온 상태와 오프 상태가 역으로 된다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는, 스위칭 소자(SH)가 청구범위에 기재된 "제1 스위칭 소자"에 상당하고, 스위칭 소자(SL)가 청구범위에 기재된 "제2 스위칭 소자"에 상당한다.
구동회로(A1)에 있어서, 스위칭 소자(SH, SL)는 전류 제한 저항(R)을 통해 직렬로 접속되어 있다. 스위칭 소자(SH)는 구동전원의 정극 측에 접속되고, 스위칭 소자(SL)는 구동전원의 음극 측에 접속되어 있다. 따라서, 구동회로(A1)에 있어서는 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)로부터 음극 측의 출력단자(V－)를 향해 스위칭 소자(SH)(제1 스위칭 소자), 전류 제한 저항(R), 스위칭 소자(SL)(제2 스위칭 소자) 순으로 이들이 직렬로 접속되어 있다. 구체적으로는, 스위칭 소자(SH)의 드레인 단자는 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)에 접속되고, 스위칭 소자(SH)의 소스단자는 전류 제한 저항(R)의 일단에 접속되어 있다. 또한, 스위칭 소자(SL)의 드레인 단자는 전류 제한 저항(R)의 타단에 접속되고, 스위칭 소자(SL)의 소스단자는 구동전원의 음극 측의 출력단자(V－)에 접속되어 있다. 그리고, 스위칭 소자(SH, SL)의 게이트 단자는 제어회로에 접속되어 있다.
또한, 전류 제한 저항(R)에는 스피드업 콘덴서(SC)가 병렬로 접속되어 있다. 그리고, 전류 제한 저항(R)과 스위칭 소자(SL)의 접속점(a)은 필터회로(F)를 통해 출력단자(OUT)에 접속되어 있다. 필터회로(F)는 예를 들면, L형으로 접속된 콘덴서(Fc)와 인덕터(Fl)에 의해 구성된다. 구체적으로는, 인덕터(Fl)의 일단과 콘덴서(Fc)의 일단이 접속점(a)에 접속되어 있다. 인덕터(Fl)의 타단은 출력단자(OUT)에 접속되고, 콘덴서(Fc)의 타단은 접지되어 있다. 여기서, 필터회로(F)의 구성은 이에 한정되지 않는다. 또한, 필터회로(F)를 구비하지 않아도 되지만, 필터회로(F)를 구비한 경우, RF 입력단자 및 RF출력단자를 흐르는 고주파 전력이 구동회로(A1)에 입력되는 것을 억제하고, 스위칭 소자(SH, SL)의 손괴를 억제할 수 있다.
이상과 같이 구성된 구동회로(A1)가 PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태를 절환할 때의 동작에 대해서 설명한다.
우선, PIN 다이오드(D)를 오프 상태에서 온 상태로 절환할 때의 동작에 대해서 설명한다.
PIN 다이오드(D)가 오프 상태일 때, 즉, 스위칭 소자(SH)가 오프 상태이고, 그리고, 스위칭 소자(SL)가 온 상태일 때, 스위칭 소자(SH)를 온 상태로, 스위칭 소자(SL)를 오프 상태로 절환하면, 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)에서 스위칭 소자(SH), 전류 제한 저항(R) 혹은 스피드업 콘덴서(SC), 및 필터회로(F)를 통해 PIN 다이오드(D)의 애노드 단자로의 전류경로가 도통한다. 이로 인해, PIN 다이오드(D)에는 순방향 전압이 인가되어 PIN 다이오드(D)가 온 상태가 된다. 이 때, 스위칭 소자(SH)를 오프 상태에서 온 상태로, 스위칭 소자(SL)를 온 상태에서 오프 상태로 절환한 순간은, 스피드업 콘덴서(SC)를 통과하는 전류경로를 지나, PIN 다이오드(D)로 큰 순방향 전류가 흐른다. 또한, 스피드업 콘덴서(SC)의 충전이 완료되면, 전류 제한 저항(R)을 통과하는 전류 경로를 지나, PIN 다이오드(D)로 순방향 전류가 흐른다. 해당 순방향 전류는, 전류 제한 저항(R)과 스위칭 소자(SH)의 온 저항에 의해 결정된다. 여기서, 순방향 전류가 소정의 전류값(예를 들면, 1A이상)이 되도록 전류 제한 저항(R)을 설정해 둠으로써 충분한 순방향 전류를 PIN 다이오드(D)로 공급할 수 있다. 이에 따라, PIN 다이오드(D)를 오프 상태에서 온 상태로 절환할 때, PIN 다이오드(D)의 캐리어 수명보다 충분히 짧은 천이시간에서의 절환이 가능해진다.
다음으로, PIN 다이오드(D)를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 때의 동작에 대해서 설명한다.
PIN 다이오드(D)가 온 상태일 때, 즉, 스위칭 소자(SH)가 온 상태이고, 그리고, 스위칭 소자(SL)가 오프 상태일 때, 스위칭 소자(SH)를 오프 상태로, 스위칭 소자(SL)를 온 상태로 절환하면, 구동전원의 음극 측의 출력단자(V－)에서 스위칭 소자(SL) 및 필터회로(F)를 통해 PIN 다이오드(D)의 애노드 단자로의 전류 경로가 도통한다. 이로 인해, PIN 다이오드(D)에는 역방향 전압이 인가되어 PIN 다이오드(D)가 오프 상태가 된다. 이 때, 스위칭 소자(SH)를 온 상태에서 오프 상태로, 스위칭 소자(SL)를 오프 상태에서 온 상태로 절환했을 때는, 전류 제한 저항(R) 혹은 스피드업 콘덴서(SC)를 통하지 않고 스위칭 소자(SL)에 전류가 흐른다. 따라서, PIN 다이오드(D)가 온 상태에서 오프 상태로 절환할 때의 천이시간을, 스위칭 소자(SL)의 온 저항에 의해 결정되기 때문에, 전류 제한 저항(R)이 있는 경우와 비교해서 보다 짧게 할 수 있다. 예를 들면, 온 저항이 작은(예를 들면, 0.1Ω이하의) 스위칭 소자(SL)를 이용하면 천이시간을 짧게 할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 제1실시형태에 따른 구동회로(A1)에 따르면, 간단하고 용이한 회로구성으로 인해 짧은 천이시간에 PIN 다이오드(D)를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 수 있다. 따라서, PIN 다이오드(D)의 발열 등의 로스를 억제하고, 핫 스위칭에 따른 PIN 다이오드(D)의 신뢰성의 저하를 억제할 수 있다.
도 2는, 제2실시형태에 따른 PIN 다이오드(D)의 구동회로(A2)를 나타내고 있다. 여기서 상기 구동회로(A1)와 동일 또는 유사한 구성에 있어서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명은 생략하도록 한다. 동일한 도면에 나타낸 바와 같이, 제2실시형태의 구동회로(A2)는 제1실시형태에 따른 구동회로(A1)와 비교하여 전류 제한 저항(R)의 접속 위치가 상이하다.
구동회로(A2)에 있어서, 전류 제한 저항(R)은 스위칭 소자(SH)와 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋) 사이에 접속되어 있고, 스위칭 소자(SH)와 스위칭 소자(SL)가 직접 접속되어 있다. 따라서, 구동회로(A2)에 있어서는, 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)에서 음극 측의 출력단자(V－)를 향해 전류 제한 저항(R), 스위칭 소자(SH), 스위칭 소자(SL)의 순으로 이들이 직렬로 접속되어 있다. 구체적으로는, 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)와 전류 제한 저항(R)의 일단이 접속되고, 전류 제한 저항(R)의 타단과 스위칭 소자(SH)의 드레인 단자가 접속되어 있다. 또한, 스위칭 소자(SH)의 소스단자와 스위칭 소자(SL)의 드레인 단자가 접속되고, 스위칭 소자(SL)의 소스단자와 구동전원의 음극 측의 출력단자(V－)에 접속되어 있다. 스위칭 소자(SH)와 스위칭 소자(SL)와의 접속점(b)은 필터회로(F)를 통해 출력단자(OUT)에 접속되어 있다. 여기서, 본 실시형태에 있어서도 스위칭 소자(SH)가 청구범위에 기재된 "제1 스위칭 소자"에 상당하고, 스위칭 소자(SL)가 청구범위에 기재된 "제2 스위칭 소자"에 상당한다.
이와 같이 구성된 구동회로(A2)에 있어서도, 상기 제1실시형태에 따른 구동회로(A1)와 동일하게 동작되므로, 동일한 효과를 이룰 수 있다.
도 3은, 제3실시형태에 따른 PIN 다이오드(D)의 구동회로(A3)를 나타내고 있다. 여기서, 상기 구동회로(A1), (A2)와 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명은 생략하도록 한다. 제3실시형태에 있어서는, 상기 제1실시형태 및 상기 제2실시형태와 비교하여, PIN 다이오드(D)의 애노드 단자와 캐소드 단자와의 접속방향이 역방향으로 되어 있는 점이 상이하다. 구체적으로는, PIN 다이오드(D)의 애노드 단자가 접지되고, PIN 다이오드(D)의 캐소드 단자가 RF입력단자와 RF출력단자를 접속하는 전원라인(L)에 접속되어 있다. 또한, 구동회로(A3)의 출력단자(OUT)는 PIN 다이오드(D)의 캐소드 단자에 접속되어 있다.
또한, 구동회로(A3)는 상기 구동회로(A1)와 비교하여 회로구성이 상이하다. 구체적으로는, 상기 구동회로(A1)에 있어서는 스위칭 소자(SL)와 전류 제한 저항(R)과의 접속점(a)이 필터회로(F)를 통해 출력단자(OUT)에 접속되어 있지만, 구동회로(A3)는 스위칭 소자(SH)와 전류 제한 저항(R)과의 접속점(c)이 필터회로(F)를 통해 출력단자(OUT)에 접속되어 있다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는, 스위칭 소자(SH)가 청구범위에 기재된 "제2 스위칭 소자"에 상당하고, 스위칭 소자(SL)가 청구범위에 기재된 "제1 스위칭 소자"에 상당한다. 따라서, 구동회로(A3)에 있어서는, 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)에서 음극 측의 출력단자(V－)를 향해 스위칭 소자(SH)(제2 스위칭 소자), 전류 제한 저항(R), 스위칭 소자(SL)(제1 스위칭 소자)의 순으로 이들이 직렬로 접속되어 있다.
이상과 같이 구성된 구동회로(A3)에 의해 PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태가 절환할 때의 동작에 대해서 설명한다.
우선, PIN 다이오드(D)를 오프 상태에서 온 상태로 절환할 때의 동작에 대해서 설명한다.
PIN 다이오드(D)가 오프 상태일 때, 즉, 스위칭 소자(SH)가 온 상태이고, 그리고, 스위칭 소자(SL)가 오프 상태일 때, 스위칭 소자(SH)를 오프 상태로, 스위칭 소자(SL)를 온 상태로 절환하면, 구동전원의 음극 측의 출력단자(V－)에서 스위칭 소자(SL), 전류 제한 저항(R) 혹은 스피드업 콘덴서(SC), 및 필터회로(F)를 통해 PIN 다이오드(D)의 캐소드 단자로의 전류 경로가 도통한다. 이로 인해, PIN 다이오드(D)에는 순방향 전압이 인가되어 PIN 다이오드(D)가 온 상태가 된다. 이 때, 스위칭 소자(SH)를 온 상태에서 오프 상태로, 스위칭 소자(SL)를 오프 상태에서 온 상태로 절환한 순간은, 스피드업 콘덴서(SC)를 통과하는 전류 경로를 지나 PIN 다이오드(D)로 큰 순방향 전류가 흐른다. 또한, 스피드업 콘덴서(SC)의 충전이 완료하면, 전류 제한 저항(R)을 통과하는 전류 경로를 지나, PIN 다이오드(D)로 순방향 전류가 흐른다. 해당 순방향 전류는 전류 제한 저항(R)과 스위칭 소자(SL)의 온 저항에 의해 결정된다. 여기서, 상기 제1실시형태와 동일하도록, 순방향 전류가 소정의 전류값(예를 들면, 1A이상)이 되도록 전류 제한 저항(R)을 설정해 둠으로써, 충분한 순방향 전류를 PIN 다이오드(D)에 공급할 수 있다. 이에 따라, PIN 다이오드(D)를 오프 상태에서 온 상태로 절환할 때, PIN 다이오드(D)의 캐리어 수명보다 충분히 짧은 천이시간에서의 절환이 가능해진다.
다음으로, PIN 다이오드(D)가 온 상태에서 오프 상태로 절환할 때의 동작에 대해서 설명한다.
PIN 다이오드(D)가 온 상태일 때, 즉, 스위칭 소자(SH)가 오프 상태이고, 그리고, 스위칭 소자(SL)가 온 상태일 때, 스위칭 소자(SH)를 온 상태로, 스위칭 소자(SL)를 오프 상태로 절환하면, 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)에서 스위칭 소자(SH), 및 필터회로(F)를 통해 PIN 다이오드(D)의 캐소드 단자로의 전류 경로가 도통한다. 이로 인해, PIN 다이오드(D)에는 역방향 전압이 인가되어 PIN 다이오드(D)가 오프 상태가 된다. 이 때, 스위칭 소자(SH)를 오프 상태에서 온 상태로, 스위칭 소자(SL)를 온 상태에서 오프 상태로 절환했을 때는, 전류 제한 저항(R) 혹은 스피드업 콘덴서(SC)를 통하지 않고 스위칭 소자(SH)에 전류가 흐른다. 따라서, PIN 다이오드(D)가 온 상태에서 오프 상태로 절환할 때의 천이시간을, 스위칭 소자(SH)의 온 저항에 의해 결정되므로, 전류 제한 저항(R)이 있는 경우와 비교하여 보다 짧게 할 수 있다. 예를 들면, 온 저항이 작은(예를 들면, 0.1Ω이하의) 스위칭 소자(SH)를 이용하면, 천이시간을 짧게 할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 제3실시형태에 따른 구동회로(A3)에 따르면, 간단하고 용이한 회로구성으로 인해 짧은 천이시간에 PIN 다이오드(D)를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 수 있다. 따라서, PIN 다이오드(D)의 발열 등의 로스를 억제하고, 핫 스위칭에 따른 PIN 다이오드(D)의 신뢰성의 저하를 억제할 수 있다.
도 4는, 제4실시형태에 따른 PIN 다이오드(D)의 구동회로(A4)를 나타내고 있다. 여기서, 상기 구동회로(A1) 내지 (A3)와 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명은 생략하도록 한다. 동일한 도면에 나타낸 바와 같이, 제4실시형태의 구동회로(A4)는 제3실시형태에 따른 구동회로(A3)와 비교하여 전류 제한 저항(R)의 접속 위치가 상이하다.
구동회로(A4)에 있어서, 전류 제한 저항(R)은 스위칭 소자(SL)와 구동전원의 음극 측의 출력단자(V－) 사이에 접속되어 있고, 스위칭 소자(SH)와 스위칭 소자(SL)가 직접 접속되어 있다. 따라서, 구동회로(A4)에 있어서는 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)에서 음극 측의 출력단자(V－)를 향해 스위칭 소자(SH)(제2 스위칭 소자), 스위칭 소자(SL)(제1 스위칭 소자), 전류 제한 저항(R)의 순으로 이들이 직렬로 접속되어 있다. 구체적으로는, 구동전원의 정극 측의 출력단자(V＋)와 스위칭 소자(SH)의 드레인 단자가 접속되고, 스위칭 소자(SH)의 소스단자와 스위칭 소자(SL)의 드레인 단자가 접속되어 있다. 또한, 스위칭 소자(SL)의 소스단자와 전류 제한 저항(R)의 일단이 접속되고, 전류 제한 저항(R)의 타단과 구동전원의 음극 측의 출력단자(V－)가 접속되어 있다. 그리고, 스위칭 소자(SH)의 소스단자와 스위칭 소자(SL)의 드레인 단자와의 접속점(d)은 필터회로(F)를 통해 출력단자(OUT)에 접속되어 있다. 여기서, 본 실시형태에 있어서도 스위칭 소자(SH)가 청구범위에 기재된 "제2 스위칭 소자"에 상당하고, 스위칭 소자(SL)가 청구범위에 기재된 "제1 스위칭 소자"에 상당한다.
이와 같이 구성된 구동회로(A4)에 있어서도, 상기 제 3실시형태에 따른 구동회로(A3)와 동일하게 동작되므로, 동일한 효과를 이룰 수 있다.
이상에서 설명한 PIN 다이오드(D)의 구동회로(A1) 내지 (A4)는, 예를 들면, 고주파 전력 공급 시스템에 있어서의 임피던스 정합장치에 이용된다. 해당 고주파 전력 공급 시스템을 본 발명의 제5실시형태로서 이하와 같이 설명한다.
도 5는, 본 발명의 제5실시형태에 따른 고주파 전력 공급 시스템의 전체 구성의 일례를 나타내고 있다. 동일한 도면에 있어서, 고주파 전력 공급 시스템은 고주파 전원(1), 부하(2), 및 임피던스 정합장치(3)를 구비한다. 고주파 전원(1)과 부하(2)는 전원라인(4)과 접속되어 있고, 이들 사이에 임피던스 정합장치(3)가 배치되어 있다. 고주파 전력 공급 시스템은 고주파 전원(1)에서 발생시킨 고주파 전력을, 전원라인(4)을 통해 부하(2)로 공급하는 시스템이다. 여기서, 전원라인(4)은 도 1 내지 도 4에서의 전원라인(L)에 상당한다.
고주파 전원(1)은 고주파 전력을 출력하는 것이다. 고주파 전원(1)은 전력 계통으로부터의 교류전력을 정류회로에서 직류전력으로 절환하고, 직류전력을 인버터 회로에서 고주파 전력으로 절환하여 출력한다. 또한, 고주파 전원(1)은 미도시의 전원 제어회로를 구비하고, 출력 전력 또는 출력 전류를 제어하고 있다. 본 실시형태에 있어서 고주파 전원(1)은, 예를 들면, 13.56MHz의 고주파 전력을 출력한다. 여기서, 고주파 전원(1)의 구성 및 주파수는 한정되지 않는다.
부하(2)는 고주파 전원(1)에서부터 입력되는 고주파 전력을 이용하여 각종 처리를 수행하는 것이다. 이러한 부하(2)의 일례를 예시하면, 플라즈마 처리장치 또는 플라즈마 발생장치나 비접촉 전력 전송장치 등이 있다. 예를 들면, 플라즈마 처리장치는 워크 가공부를 구비하고, 그 워크 가공부의 내부에 반입한 반도체 웨이퍼나 액정기판 등의 워크를 가공(예를 들면, 에칭, CVD 등)하기 위한 장치이다. 플라즈마 처리장치는 워크를 가공하기 위하여 워크 가공부에 플라즈마 방전용 가스를 도입하고, 그 플라즈마 방전용 가스에 고주파 전원(1)으로부터 공급된 고주파 전력(전압)을 부여함으로써, 플라즈마 방전용 가스를 전리("d?)시키고, 비플라즈마 상태에서 플라즈마 상태로 하고 있다. 플라즈마 처리장치는, 플라즈마 상태가 된 가스를 이용하여 워크를 가공한다. 플라즈마 발생장치는 플라즈마 방전용 가스를 전리시키고, 비플라즈마 상태에서 플라즈마 상태로 하여, 플라즈마 상태가 된 가스를 플라즈마 챔버 등에 공급하는 장치이다.
플라즈마 처리장치에서는, 플라즈마 에칭 또는 플라즈마 CVD등의 제조 프로세스의 진행에 따라 플라즈마 상태가 시시각각과 변화한다. 이로 인해, 부하(2)의 임피던스가 변동한다. 따라서, 부하(2)에 고주파 전원(1)으로부터 효율적으로 전력을 공급하기 위해서, 고주파 전력 공급 시스템은 부하(2)의 임피던스의 변동에 따라 고주파 전원(1)의 출력단에서 부하(2)측을 바라본 임피던스(이하, "부하측 임피던스"라고 함)를 조정하는 임피던스 정합장치(3)를 구비한다.
임피던스 정합장치(3)는 부하측 임피던스를 조정함으로써, 임피던스 정합을 수행하는 것이다. 임피던스 정합장치(3)는 상기 제1실시형태에 따른 구동회로(A1) 및 PIN 다이오드(D)를 구비한다.
도 6은 임피던스 정합장치(3)의 상세한 회로구성의 일례를 나타내고 있다. 동일한 도면에 있어서, 임피던스 정합장치(3)는 임피던스 검출부(31), 제어회로(32), 및, 임피던스 조정회로(33)를 구비한다.
임피던스 검출부(31)는 임피던스 정합장치(3)의 입력단에 배치되어 부하측 임피던스를 검출하는 것이다. 임피던스 검출부(31)는 검출한 부하측 임피던스를 제어회로(32)에 출력한다. 구체적으로는, 임피던스 검출부(31)는 전원라인(4)에 흐르는 고주파 전류에 따른 전류 및 전원라인(4)에 발생하는 고주파 전압에 따른 전압을 검출하고, 검출한 전류 신호 및 전압신호로부터 전류 실효값, 전압 실효값, 전류 신호와 전압신호의 위상차를 구한다. 그리고, 이러한 패러미터를 이용하여 부하측 임피던스를 연산하고, 이를 제어회로(32)로 출력한다. 여기서, 임피던스 검출부(31)의 구성 및 부하측 임피던스의 검출방법은 이에 한정되지 않는다.
제어회로(32)는, 임피던스 검출부(31)로부터 입력되는 부하측 임피던스가 소정의 임피던스값(예를 들면, 고주파 전원(1)의 출력단에서 고주파 전원(1)측을 바라본 임피던스)이 되도록 임피던스 조정회로(33)를 제어하는 것이다.
임피던스 조정회로(33)는 커패시턴스 가변회로(331)와, 고정 콘덴서(332)와, 인덕터(333)를 포함하여 구성된다. 여기서, 고정 콘덴서(332)를 구비하지 않아도 된다. 임피던스 조정회로(33)는 커패시턴스 가변회로(331)의 커패시턴스를 변화시켜 부하측 임피던스를 조정한다.
커패시턴스 가변회로(331)는 복수의 조정용 콘덴서(임피던스 조정용 콘덴서)(Cd), 복수의 PIN 다이오드(D), 및 복수의 구동회로(A1)를 포함하여 구성되고, 커패시턴스를 변화시킬 수 있다. 커패시턴스 가변회로(331)에 있어서, PIN 다이오드(D)가 각 조정용 콘덴서(Cd)에 대해서 각각 1개씩 직렬로 접속되고, 조정용 콘덴서(Cd)와 PIN 다이오드(D)의 직렬체가 서로 병렬로 접속되어 있다. 각 조정용 콘덴서(Cd)의 일단은 전원라인(4)에 접속되고, 타단은 각 PIN 다이오드(D)의 애노드 단자에 접속되어 있다. 또한, 각 PIN 다이오드(D)의 캐소드 단자는 접지되어 있다. 각 조정용 콘덴서(Cd)의 커패시턴스는 서로 상이하고, 예를 들면, 1pF, 2pF, 4pF, ..., 와 같이 바이너리 단계에서 증가하도록 설정되어 있다. 여기서, 동일한 커패시턴스의 것을 이용할 수도 있다.
또한, 각 조정용 콘덴서(Cd)의 커패시턴스는 모든 커패시턴스가 서로 상이한, 또는 모든 커패시턴스가 동일하다는 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 1pF, 2pF, 4pF, ..., 와 같이 바이너리 단계에서 커패시턴스가 증가하는 복수의 조정용 콘덴서(Cd)와, 다른 커패시턴스(예를 들면, 10pF 등)를 가지는 1개 또는 복수의 조정용 콘덴서(Cd)를 조합할 수도 있다. 또한, 하나의 콘덴서로 소정의 커패시턴스를 실현하는 것을 의미하는 것은 아니다. 예를 들면, 10pF의 커패시턴스를 실현하기 위해서 5pF의 커패시턴스를 병렬 접속할 수도 있고, 20pF의 커패시턴스를 직렬 접속할 수도 있다.
또한, 커패시턴스 가변회로(331)는 일단이 전원라인(4)에 접속되고, 타단이 접지된, 용량불변의 콘덴서를 포함할 수도 있다. 각 PIN 다이오드(D)에는 구동회로(A1)가 접속되어 있다.
본 실시형태에 있어서는 도 6에 나타낸 바와 같이, 임피던스 조정회로(33)에 있어서, 고정 콘덴서(332)와 인덕터(333)가 전원라인(4)에 직렬로 접속되고, 커패시턴스 가변회로(331)가 이들보다 전원라인(4)의 상류측에 배치되어 있다. 여기서, 고정 콘덴서(332)와 인덕터(333)의 접속 위치는 상기한 것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 커패시턴스 가변회로(331), 고정 콘덴서(332), 및 인덕터(333)를 L형, ð형, T형 등에 접속해도 좋다.
이와 같이 구성된 임피던스 정합장치(3)에 있어서, 임피던스 검출부(31)가 검출한 부하측 임피던스는 제어회로(32)에 출력된다. 그리고, 제어회로(32)는 입력되는 부하측 임피던스가 소정의 임피던스가 되도록, 각 구동회로(A1)에 입력하는 구동신호(S1,/S1)를 생성한다. 생성된 구동신호(S1,/S1)는 각 구동회로(A1)의 스위칭 소자(SH, SL)에 각각 입력된다. 이에 따라, 상기 제1실시형태에서 나타낸 동작에 의해 구동회로(A1)가 접속된 PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태가 절환된다. 그리고, 온 상태가 된 PIN 다이오드(D)에 접속된 조정용 콘덴서(Cd)에는 전원라인(4)을 흐르는 고주파 전류가 흐르고, 해당 조정용 콘덴서(Cd)가 유효하게 되어, 해당 조정용 콘덴서(Cd)의 커패시턴스를 모두 더한 커패시턴스가 커패시턴스 가변회로(331)의 커패시턴스가 된다. 이렇게 하여, 임피던스 정합장치(3)는 각 PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태를 제어함으로써, 커패시턴스 가변회로(331)의 커패시턴스를 조정하고, 부하측 임피던스를 조정한다.
이상과 같이 구성된 고주파 전력 공급 시스템에 따르면, 구동회로(A1)에 의해 PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태를 절환하도록 하였다. 이로 인해, 상기 제1실시형태에 나타낸 바와 같이, 핫 스위칭에 따른 PIN 다이오드(D)의 신뢰성의 저하를 억제할 수 있으므로, PIN 다이오드(D)의 온 상태와 오프 상태와의 절환을 적절히 수행할 수 있다. 따라서, 임피던스 정합장치(3)에 따른 임피던스 정합을 적절히 수행할 수 있다. 또한, 구동회로(A1)에 의해 짧은 천이시간에서 PIN 다이오드(D)를 온 상태에서 오프 상태로 절환할 수 있으므로, 임피던스 정합장치(3)는 부하측 임피던스의 조정을 고속으로 수행할 수 있다. 따라서, 고주파 전력 공급 시스템에 있어서, 고주파 전원(1)에서 부하(2)로 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있다.
상기 제 5실시형태에 따른 고주파 전력 공급 시스템에 있어서, 임피던스 정합장치(3)가 임피던스 검출부(31)에 의해 부하측 임피던스를 검출하고, 제어회로(32)가 해당 부하측 임피던스를 기초로 임피던스 조정회로(33)를 제어하는 경우에 대해 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 임피던스 검출부(31) 대신, 전원라인(4)을 흐르는 반사파 전력을 검출하는 반사파 전력 검출부를 구비해 두고, 제어회로(32)는 해당 반사파 전력이 낮아지도록 임피던스 조정회로(33)를 제어하도록 할 수도 있다.
상기 제 5실시형태에 따른 고주파 전력 공급 시스템에 있어서, 임피던스 정합장치(3)가 상기 제1실시형태에 따른 구동회로(A1)를 구비한 경우를 예를 들어 설명하였으나, 구동회로(A1) 대신, 상기 제2내지 상기 제4실시형태에 따른 구동회로(A2 내지 A4)를 구비하도록 할 수도 있다. 또한, 구동회로(A1 내지 A4)의 조합일 수도 있다.
본 발명에 따른 PIN 다이오드의 구동회로 및 해당 구동회로를 이용한 임피던스 정합장치는 상기한 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 구동회로 및 임피던스 정합장치의 각부의 구체적인 구성은 다양하게 설계변경 가능하다.
A1, A2, A3, A4: 구동회로
D: 다이오드
SH, SL: 스위칭 소자
R: 전류 제한 저항
SC: 스피드업 콘덴서
F: 필터회로
Fc: 콘덴서
Fl: 인덕터
1: 고주파 전원
2: 부하
3: 임피던스 정합장치
31: 임피던스 검출부
32: 제어회로
33: 임피던스 조정 회로
331: 커패시턴스 가변 회로
Cd: 조정용 콘덴서
332: 고정 콘덴서
333: 인덕터

Claims (10)

  1. PIN 다이오드의 온 상태와 오프 상태를 절환하는 구동회로에 있어서,
    하나가 온 상태일 때 다른 하나가 오프 상태가 되는 제1 스위칭 소자 및 제2 스위칭 소자와,
    직류 전압을 발생시키는 구동전원과,
    상기 PIN 다이오드의 순방향 전류를 조정하는 전류 제한 저항
    을 구비하고,
    상기 제1 스위칭 소자가 온 상태이고, 또한, 상기 제2 스위칭 소자가 오프 상태일 때, 상기 구동전원에서 상기 전류 제한 저항을 통해 상기 PIN 다이오드로 순방향 전압을 인가함으로써 상기 PIN 다이오드를 온 상태로 하고,
    상기 제1 스위칭 소자가 오프 상태이고, 또한, 상기 제2 스위칭 소자가 온 상태일 때, 상기 구동전원에서 상기 전류 제한 저항을 통하지 않고, 상기 PIN 다이오드로 역방향 전압을 인가함으로써 상기 PIN 다이오드를 오프 상태로 하는 것을 특징으로 하는 구동회로.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 스위칭 소자의 온 저항은 0.1Ω이하인, 구동회로.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 순방향 전압에 의해 발생하는 상기 PIN 다이오드의 순방향 전류는, 상기 제1 스위칭 소자의 온 저항과 상기 전류 제한 저항에 의해 결정되고,
    상기 전류 제한 저항의 저항값은 상기 PIN 다이오드의 순방향 전류가 소정의 전류값이 되도록, 상기 제1 스위칭 소자의 온 저항에 기초하여 결정되는, 구동회로.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 제1 스위칭 소자, 상기 전류 제한 저항, 상기 제2 스위칭 소자가 직렬로 접속되어 있고,
    상기 PIN 다이오드는 애노드 단자가 상기 전류 제한 저항과 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되고, 캐소드 단자가 접지되어 있는, 구동회로.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 전류 제한 저항, 상기 제1 스위칭 소자, 상기 제2 스위칭 소자가 직렬로 접속되어 있고,
    상기 PIN 다이오드는, 애노드 단자가 상기 제1 스위칭 소자와 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되고, 캐소드 단자가 접지되어 있는, 구동회로.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 제2 스위칭 소자, 상기 전류 제한 저항, 상기 제1 스위칭 소자가 직렬로 접속되어 있고,
    상기 PIN 다이오드는, 애노드 단자가 접지되고, 캐소드 단자가 상기 전류 제한 저항과 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되어 있는, 구동회로.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동전원의 정극 측의 출력단자에서 음극 측의 출력단자를 향한 순으로, 상기 제2 스위칭 소자, 상기 제1 스위칭 소자, 상기 전류 제한 저항이 직렬로 접속되어 있고,
    상기 PIN 다이오드는, 애노드 단자가 접지되고, 캐소드 단자가 상기 제1 스위칭 소자와 상기 제2 스위칭 소자와의 접속점에 접속되어 있는, 구동회로.
  8. 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접속점과 상기 PIN 다이오드 사이에 접속된 필터회로를 더 구비하는, 구동회로.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전류 제한 저항에 대해서 병렬로 접속된 스피드업 콘덴서를 더 구비하는, 구동회로.
  10. 전원라인에 의해 접속된 고주파 전원과 부하 사이에 배치되고, 임피던스를 정합 시키기 위한 임피던스 정합장치에 있어서,
    서로 병렬로 접속되고, 각각 일단이 상기 전원라인에 접속된 복수의 임피던스 조정용 콘덴서와,
    상기 복수의 임피던스 조정용 콘덴서마다, 각각 한개씩 직렬로 접속된 복수의 PIN 다이오드와,
    상기 복수의 PIN 다이오드마다 각각 접속된 복수의, 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 구동회로와,
    상기 고주파 전원의 출력단에서 상기 부하측을 바라본 부하측 임피던스를 검출하는 검출부와,
    상기 부하측 임피던스에 기초하여, 상기 복수의 구동회로 마다 상기 제1 스위칭 소자 및 상기 제2 스위칭 소자의 온 상태와 오프 상태의 절환을 지시하는 구동신호를 입력하는 제어회로
    를 구비하는 임피던스 정합장치.

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