KR20190060515A - 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
게이트 밸브 내부의 진공을 견고하게 유지함과 동시에, 제조 및 유지관리보수가 용이한 본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징은 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1베이스, 상기 제 1베이스로부터 돌출되는 제 1측벽 및 상기 제 1측벽에 대향하는 제 2측벽이 형성되는 제 1본체, 판상의 모재를 절삭 가공하여 상기 제 1베이스에 대향하는 제 2베이스, 상기 제 2베이스로부터 돌출되는 제 3측벽 및 상기 제 3측벽에 대향하는 제 4측벽이 형성되며, 상기 제 1측벽과 제 3측벽이 대면하고 상기 제 2측벽과 상기 제 4측벽이 대면하도록 상기 제 1본체에 체결되는 제 2본체, 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 평면을 폐쇄하도록 상기 제 1본체와 상기 제 2본체에 체결되는 제 1커버 및 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 저면을 폐쇄하도록 상기 제 1본체와 상기 제 2본체에 체결되는 제 2커버를 포함하므로, 게이트 밸브 하우징의 제조에 사용되는 원자재의 비용 절감, 제조 인건비의 절감을 통해 제품의 제조단가를 현저하게 낮출수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체, 디스플레이 장치 등을 제조하는 데 사용하는 진공 챔버들의 사이에 배치되어 공정환경을 유지하면서 진공 챔버들 간의 기판 교환, 또는 출입이 가능하도록 하는 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체 공정을 비롯한 디스플레이 공정, 신물질 및 고기능재료개발, 항공부품 및 나노소자 제조공정의 많은 부분은 진공이 유지되는 환경에서 공정이 수행된다. 특히 최근 전 세계적으로 반도체 산업의 급속한 발전과 더불어 이에 상응하는 진공산업이 핵심기술로 부각되고 있으며, 진공산업의 발전이 고부가가치를 창출하는 산업으로 빠르게 발전되어 가고 있다.
이러한 진공산업에 필수적인 요소들 중 하나가 바로 게이트 밸브이며, 게이트 밸브는 진공분위기에서 단위 공정이 이루어지는 진공 챔버들을 압력 별로 분리시켜 줄 수 있고 외부와의 차단역할도 담당하며, 때로는 일정한 압력유지 기능을 갖기도 한다.
일반적인 게이트 밸브는 개구부가 형성된 밸브 하우징, 개구부를 개폐 하기 위한 게이트, 게이트를 승강 구동시키는 승강 실린더 및 개구부를 향해 게이트를 전후진 구동시키는 개폐 실린더로 구성될 수 있다.
이 중에서 밸브 하우징은 게이트 밸브 내부의 진공 분위기를 견고하게 유지해야하는 요구조건을 충족시켜야만 한다. 이러한 요구조건을 충족시키기 위하여 밸브 하우징는, 실린더, 게이트 등과 같은 구성요소를 수용하기 위한 내부공간과 개구부를 형성하기 위해, 블록 형태의 단일 금속 모재를 마련하고 금속 모재를 절삭가공하여 내부 공간과 개구부를 형성하는 방법으로 제조하고 있는 실정이다.
이와 같이 밸브 하우징을 절삭가공하는 방법으로 제조하게 되면, 절삭가공에 따른 오차를 감안하여 불필요한 여유분의 두께를 가지는 금속 모재를 마련해야 하므로, 원자재 비용이 증가하는 문제점이 있으며, 블록 형태를 절삭 가공하여 내부공간을 형성하는 공정이 복잡하고 작업자의 숙련도에 따라 품질이 결정되므로, 제조단가가 상승하는 문제점이 있다.
또한 밸브 하우징을 절삭가공하는 방법으로 제조하게 되면, 장비의 문제 발생시, 단일체로 이루어지는 밸브 하우징으로부터 문제가 발생된 부품의 분해가 어려워 유지관리비용이 증가하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 게이트 밸브 내부의 진공을 견고하게 유지함과 동시에, 제조 및 유지관리보수가 용이한 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징은 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1베이스, 상기 제 1베이스로부터 돌출되는 제 1측벽 및 상기 제 1측벽에 대향하는 제 2측벽이 형성되는 제 1본체, 판상의 모재를 절삭 가공하여 상기 제 1베이스에 대향하는 제 2베이스, 상기 제 2베이스로부터 돌출되는 제 3측벽 및 상기 제 3측벽에 대향하는 제 4측벽이 형성되며, 상기 제 1측벽과 제 3측벽이 대면하고 상기 제 2측벽과 상기 제 4측벽이 대면하도록 상기 제 1본체에 체결되는 제 2본체, 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 평면을 폐쇄하도록 상기 제 1본체와 상기 제 2본체에 체결되는 제 1커버 및 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 저면을 폐쇄하도록 상기 제 1본체와 상기 제 2본체에 체결되는 제 2커버를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 하우징은 상기 제 1커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면, 상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면 및 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 1본체에 설치되는 제 1실링 및 상기 제 1커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면 및 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 2본체에 설치되는 제 2실링을 더 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 하우징은 상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 1커버의 저면에 설치되는 제 3실링 및 상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 2커버의 평면에 설치되는 제 4실링을 더 포함할 수 있다.
상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 두 모서리, 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 두 모서리, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 두 모서리, 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 두 모서리는 각각 모따기될 수 있다.
상기 제 1커버의 저면에는 상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 1홈에 대응하여 돌출되는 제 1돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 2홈에 대응하여 돌출되는 제 2돌기가 형성되며, 상기 제 2커버의 평면에는 상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 3돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 4돌기가 형성될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징의 제조방법은 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1베이스, 상기 제 1베이스로부터 돌출되는 제 1측벽 및 상기 제 1측벽에 대향하는 제 2측벽을 형성하여 제 1본체를 마련하는 제 1본체 준비단계, 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 2베이스, 상기 제 2베이스로부터 돌출되는 제 3측벽 및 상기 제 3측벽에 대향하는 제 4측벽을 형성하여 제 2본체를 마련하는 제 2본체 준비단계, 상기 제 1측벽과 제 3측벽이 대면하고 상기 제 2측벽과 상기 제 4측벽이 대면하도록 상기 제 1본체에 상기 제 2본체를 체결하는 제 1체결 단계 및 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 평면에 제 1커버를 체결하고, 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 저면에 제 2커버를 체결하여 상기 제 1본체와 상기 제 2본체를 폐쇄하는 제 2체결 단계를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 하우징의 제조방법은 상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 두 모서리, 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 두 모서리, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 두 모서리, 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 두 모서리는 각각 모따기할 수 있다.
상기 게이트 밸브 하우징의 제조방법은 상기 제 1커버의 저면에 상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 1홈에 대응하여 돌출되는 제 1돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 2홈에 대응하여 돌출되는 제 2돌기를 형성하며, 상기 제 2커버의 평면에 상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 3돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 4돌기가 형성할 수 있다.
상기 게이트 밸브 하우징의 제조방법은 상기 제 1커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면, 상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면 및 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 1실링을 상기 제 1본체에 설치하며, 상기 제 1커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면 및 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 2실링을 상기 제 2본체에 설치할 수 있다.
상기 게이트 밸브 하우징의 제조방법은 상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 3실링을 상기 제 1커버의 저면에 설치하며, 상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 4실링을 상기 제 2커버의 평면에 설치할 수 있다.
본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법은 게이트 밸브 하우징의 제조에 사용되는 원자재의 비용 절감, 제조 인건비의 절감을 통해 제품의 제조단가를 현저하게 낮출수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법은 게이트 밸브 하우징의 분리가 용이하여 게이트 밸브의 유지관리보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 도 1에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 도 1에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 나타낸 분해사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징을 도 1에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징(100)은 제 1본체(200), 제 2본체(300), 제 1커버(400) 및 제 2커버(500)를 포함할 수 있다.
제 1본체(200)는 제 1베이스(210), 제 1측벽(220) 및 제 2측벽(230)을 포함할 수 있다. 제 1베이스(210)는 게이트 밸브 하우징(100)의 정면을 향해 배치된다. 제 1베이스(210)는 사각형의 판상일 수 있다. 제 1베이스(210)에는 제 1개구부(201)가 형성될 수 있다. 제 1측벽(220)은 제 1베이스(210)의 어느 한 변으로부터 돌출될 수 있다. 제 2측벽(230)은 제 1측벽(220)이 돌출된 제 1베이스(210)의 어느 한 변에 대향하는 다른 한 변으로부터 돌출될 수 있다. 따라서 제 1측벽(220)과 제 2측벽(230)은 서로 대향하며, 제 1베이스(210), 제 1측벽(220) 및 제 2측벽(230)은 게이트 밸브 하우징(100)의 후방, 상방 및 하방으로 개방되는 공간을 형성한다.
제 2본체(300)는 제 2베이스(310), 제 3측벽(320) 및 제 4측벽(330)을 포함할 수 있다. 제 2베이스(310)는 게이트 밸브 하우징(100)의 후방을 향해 배치된다. 제 2베이스(310)는 사각형의 판상일 수 있다. 제 2베이스(310)에는 제 2개구부(301)가 형성될 수 있다. 제 3측벽(320)은 제 2베이스(310)의 어느 한 변으로부터 돌출될 수 있다. 제 4측벽(330)은 제 3측벽(320)이 돌출된 제 2베이스(310)의 어느 한 변에 대향하는 다른 한 변으로부터 돌출될 수 있다. 따라서 제 3측벽(320)과 제 4측벽(330)은 서로 대향할 수 있다. 따라서 제 3측벽(320)과 제 4측벽(330)은 서로 대향하며, 제 2베이스(310), 제 3측벽(320) 및 제 4측벽(330)은 게이트 밸브 하우징(100)의 전방, 상방 및 하방으로 개방되는 공간을 형성한다.
여기서, 제 2본체(300)는 제 1본체(200)와 전후 대칭되는 형상을 가진다. 따라서 제 2본체(300)는 게이트 밸브 하우징(100)의 조립 공정 중, 그 전후 배치에 따라 제 1본체(200)와 구분할 뿐, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)는 단일 제조공정을 통해 제조할 수 있다.
이러한 제 2본체(300)는 제 1본체(200)에 체결된다. 즉, 제 1측벽(220)이 제 3측벽(320)에 대면하고, 제 2측벽(230)이 제 4측벽(330)에 대면하며, 제 1베이스(210)와 제 2베이스(310)가 서로 대향하도록 제 1본체(200)와 제 2본체(300)를 배치한 후, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)를 체결할 수 있다.
제 1커버(400)는 서로 체결된 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 평면을 폐쇄하도록, 서로 체결된 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 상단면에 체결된다. 제 2커버(500)는 서로 체결된 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 저면을 폐쇄하도록, 서로 체결된 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 하단면에 체결된다.
마찬가지로, 제 2커버(500)는 제 1커버(400)와 상하 대칭되는 형상을 가진다. 따라서 제 2커버(500)는 게이트 밸브 하우징(100)의 조립 공정 중, 그 상하 배치에 따라 제 1커버(400)와 구분할 뿐, 제 1커버(400)와 제 2커버(500)는 단일 제조공정을 통해 제조할 수 있다.
이와 같이 게이트 밸브 하우징(100)은 제 1본체(200), 제 2본체(300), 제 1커버(400) 및 제 2커버(500)를 체결함으로써, 내부에 소정의 공간을 형성하는 함체를 형성할 수 있다.
여기서, 게이트 밸브 하우징(100)은 게이트(미도시)에 의해 개폐되는 제 1, 2개구부(201, 301)를 제외한 나머지 내부공간의 진공을 유지하기 위하여 실링 처리 되어야 한다. 이에 따라, 게이트 밸브 하우징(100)은 제 1실링(710), 제 2실링(720), 제 3실링(730) 및 제 4실링(740)을 포함할 수 있다.
제 1실링(710)은 폐곡선의 형태를 가지고, 제 1본체(200)에 설치될 수 있다. 즉, 제 1실링(710)은 제 1커버(400)를 향하는 제 1베이스(210)의 노출면, 제 3측벽(320)을 향하는 제 1측벽(220)의 노출면, 제 2커버(500)를 향하는 제 1베이스(210)의 노출면 및 제 4측벽(330)을 향하는 제 2측벽(230)의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 설치될 수 있다.
제 2실링(720)은 폐곡선의 형태를 가지고, 제 2본체(300)에 설치될 수 있다. 즉, 제 2실링(720)은 제 1커버(400)를 향하는 제 2베이스(310)의 노출면, 제 1측벽(220)을 향하는 제 3측벽(320)의 노출면, 제 2커버(500)를 향하는 제 2베이스(310)의 노출면 및 제 2측벽(230)을 향하는 제 4측벽(330)의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 설치될 수 있다.
이러한 제 1실링(710)과 제 2실링(720)은 제 1본체(200)와 제 2본체(300)가 서로 체결됨에 따라 서로 밀착될 수 있으며, 제 1측벽(220)과 제 3측벽(320)의 사이 및 제 2측벽(230)과 제 4측벽(330)의 사이를 밀폐시킬 수 있다.
여기서, 제 1실링(710)이 제 1본체(200)에 설치되고, 제 2실링(720)이 제 2본체(300)에 설치된 상태에서, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)를 체결하면, 제 1실링(710)과 제 2실링(720)은 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 체결력에 의해 제 1실링(710)과 제 2실링(720)은 서로 압착되면서, 제 1실링(710)과 제 2실링(720)의 일부가 상방 또는 하방으로 일부 돌출될 수 있다.
이와 같이 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 체결력에 의해 제 1실링(710)과 제 2실링(720)의 일부가 상방 또는 하방으로 일부 돌출되면, 제 1커버(400)와 제 2커버(500)가 제 1본체(200)와 제 2본체(300)로부터 들뜨는 현상이 발생될 수 있기 때문에, 제 1, 2, 3, 4측벽(220, 230, 320, 330)의 노출된 모서리들은 모따기되는 것이 바람직하다. 즉, 제 3측벽(320)을 향하는 제 1측벽(220)의 두 모서리, 제 4측벽(330)을 향하는 제 2측벽(230)의 두 모서리, 제 1측벽(220)을 향하는 제 3측벽(320)의 두 모서리, 제 2측벽(230)을 향하는 제 4측벽(330)의 두 모서리는 각각 모따기될 수 있다.
또한, 제 1, 2, 3, 4측벽(220, 230, 320, 330)의 노출된 모서리들이 모따기됨에 따라, 제 1측벽(220)과 제 3측벽(320) 사이의 상부에는 제 1홈(221)이 형성되며, 제 2측벽(230)과 제 4측벽(330)의 사이의 상부에는 제 2홈(231)이 형성되며, 제 1측벽(220)과 제 3측벽(320) 사이의 하부에는 제 3홈(222)이 형성되며, 제 2측벽(230)과 제 4측벽(330)의 하부에는 제 4홈(232)이 형성된다. 이때, 제 1, 2, 3, 4홈(221, 231, 222, 232)의 내측에서 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 체결력에 의해 제 1실링(710)과 제 2실링(720)이 서로 압착되는데, 제 1실링(710)과 제 2실링(720)이 압착되고 제 1커버(400)와 제 2커버(500)를 이용하여 제 1본체(200)와 제 2본체(300)를 압착한다 하더라도 기밀이 새어나갈 수 있다.
따라서, 제 1커버(400)의 저면에는 제 1홈(221)을 향해 돌출되는 제 1돌기(410)와, 제 2홈(231)을 향해 돌출되는 제 2돌기(420)가 형성되며, 제 2커버(500)의 평면에는 제 3홈(222)을 향해 돌출되는 제 3돌기(510)와, 제 4홈(232)을 향해 돌출되는 제 4돌기(520)가 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 제 3실링(730)은 폐곡선의 형태를 가지고, 제 1커버(400)의 저면에 설치될 수 있다. 즉, 제 3실링(730)은 제 1본체(200)의 평면에 노출된 제 1실링(710)의 일부와, 제 2본체(300)의 평면에 노출된 제 2실링(720)의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 설치될 수 있다.
제 4실링(740)은 폐곡선의 형태를 가지고, 제 2커버(500)의 평면에 설치될 수 있다. 즉, 제 4실링(740)은 제 1본체(200)의 평면에 노출된 제 1실링(710)의 일부와, 제 2본체(300)의 평면에 노출된 제 2실링(720)의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 설치될 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징의 제조방법에 대해 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 하우징의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하면, 먼저 판상의 모재를 준비한다. 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1본체(200)와 제 2본체(300)를 준비한다. 즉, 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1베이스(210), 제 1측벽(220) 및 제 2측벽(230)이 형성된 제 1본체(200)를 준비한다(단계;S11).
마찬가지로, 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 2베이스(310), 제 3측벽(320) 및 제 4측벽이 형성된 제 2본체(300)를 준비한다(단계;S13).
물론, 제 1베이스(210)와 제 2베이스(310)에는 서로 연통되는 제 1, 2개구부(201, 301)를 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)는 상하 대칭인 형상을 가지므로, 동일한 제조 공정에 의해 제조된 본체를 게이트 밸브 하우징(100)의 전방을 향해 배치하면 제 1본체(200)로 사용할 수 있고, 게이트 밸브 하우징(100)의 후방을 향해 배치하면 제 2본체(300)로 사용할 수 있다.
이와 함께 판상의 모재를 준비한다. 판상의 모재를 가공하여 제 1, 2돌기(410, 420)가 형성된 제 1커버(400)와 제 3, 4돌기(510, 520)가 형성된 제 2커버(500)를 준비한다.
상술한 바와 같이, 제 2커버(500)는 제 1커버(400)와 상하 대칭되는 형상을 가지므로, 동일한 제조 공정에 의해 제조된 커버를 게이트 밸브 하우징(100)의 상측에 배치하면 제 1커버(400)로 사용할 수 있고, 게이트 밸브 하우징(100)의 하측에 배치하면 제 2커버(500)로 사용할 수 있다.
이와 같이 제 1본체(200), 제 2본체(300), 제 1커버(400) 및 제 2커버(500)가 준비되면, 제 1본체(200)에는 제 1실링(710)을 설치하며, 제 2본체(300)에는 제 2실링(720)을 설치하며, 제 1커버(400)는 제 3실링(730)을 설치하며, 제 2커버(500)에는 제 4실링(740)을 설치한다.
계속해서, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)를 체결한다(단계;S15). 제 1본체(200)와 제 2본체(300)가 체결됨에 따라 제 1실링(710)과 제 2실링(720)은 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 체결력에 의해 서로 압착되며, 제 1측벽(220)과 제 3측벽(320)의 사이 및 제 2측벽(230)과 제 4측벽(330)의 사이를 긴밀하게 밀폐시킨다.
계속해서, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 상측면에 제 1커버(400)를 체결한다. 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 상측면에 제 1커버(400)가 체결됨에 따라, 제 1커버(400)의 체결력에 의해 제 3실링(730)은 제 1, 2실링(710, 720)의 일부에 압착되며, 제 1, 2베이스(210, 310) 및 제 1, 2, 3, 4측벽(220, 230, 320, 330)의 상단면과 제 1커버(400)의 사이를 긴밀하게 밀폐시킨다.
계속해서, 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 하부면에 제 2커버(500)를 체결한다. 제 1본체(200)와 제 2본체(300)의 하부면에 제 2커버(500)가 체결됨에 따라, 제 2커버(500)의 체결력에 의해 제 4실링(740)은 제 1, 2실링(710, 720)의 일부에 압착되며, 제 1, 2베이스(210, 310) 및 제 1, 2, 3, 4측벽(220, 230, 320, 330)의 하단면과 제 2커버(500)의 사이를 긴밀하게 밀폐시킨다(단계;S17).
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 게이트 밸브 하우징 및 이의 제조방법은 게이트 밸브 하우징의 제조에 사용되는 원자재의 비용 절감, 제조 인건비의 절감을 통해 제품의 제조단가를 현저하게 낮출수 있을 뿐만 아니라, 게이트 밸브 하우징의 분리가 용이하여 게이트 밸브의 유지관리보수 비용을 절감할 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
100 : 게이트 밸브 하우징
200 : 제 1본체 201 : 제 1개구부
210 : 제 1베이스 220 : 제 1측벽
221 : 제 1홈 222 : 제 3홈
230 : 제 2측벽 231 : 제 2홈
232 : 제 4홈 300 : 제 2본체
301 : 제 2개구부 310 : 제 2베이스
320 : 제 3측벽 330 : 제 4측벽
400 : 제 1커버 410 : 제 1돌기
420 : 제 2돌기 500 : 제 2커버
510 : 제 3돌기 520 : 제 4돌기
710 : 제 1실링 720 : 제 2실링
730 : 제 3실링 740 : 제 4실링
200 : 제 1본체 201 : 제 1개구부
210 : 제 1베이스 220 : 제 1측벽
221 : 제 1홈 222 : 제 3홈
230 : 제 2측벽 231 : 제 2홈
232 : 제 4홈 300 : 제 2본체
301 : 제 2개구부 310 : 제 2베이스
320 : 제 3측벽 330 : 제 4측벽
400 : 제 1커버 410 : 제 1돌기
420 : 제 2돌기 500 : 제 2커버
510 : 제 3돌기 520 : 제 4돌기
710 : 제 1실링 720 : 제 2실링
730 : 제 3실링 740 : 제 4실링
Claims (10)
- 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1베이스, 상기 제 1베이스로부터 돌출되는 제 1측벽 및 상기 제 1측벽에 대향하는 제 2측벽이 형성되는 제 1본체;
판상의 모재를 절삭 가공하여 상기 제 1베이스에 대향하는 제 2베이스, 상기 제 2베이스로부터 돌출되는 제 3측벽 및 상기 제 3측벽에 대향하는 제 4측벽이 형성되며, 상기 제 1측벽과 제 3측벽이 대면하고 상기 제 2측벽과 상기 제 4측벽이 대면하도록 상기 제 1본체에 체결되는 제 2본체;
서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 평면을 폐쇄하도록 상기 제 1본체와 상기 제 2본체에 체결되는 제 1커버; 및
서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 저면을 폐쇄하도록 상기 제 1본체와 상기 제 2본체에 체결되는 제 2커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징. - 제 1항에 있어서,
상기 제 1커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면, 상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면 및 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 1본체에 설치되는 제 1실링;및
상기 제 1커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면 및 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 2본체에 설치되는 제 2실링;을 더 포함하는 것을 특징으로 게이트 밸브 하우징. - 제 1항에 있어서,
상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 1커버의 저면에 설치되는 제 3실링;및
상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되어 상기 제 2커버의 평면에 설치되는 제 4실링;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징. - 제 3항에 있어서,
상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 두 모서리, 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 두 모서리, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 두 모서리, 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 두 모서리는 각각 모따기되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징. - 제 4항에 있어서,
상기 제 1커버의 저면에는
상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 1홈에 대응하여 돌출되는 제 1돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 2홈에 대응하여 돌출되는 제 2돌기가 형성되며,
상기 제 2커버의 평면에는
상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 3돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 4돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징. - 판상의 모재를 절삭 가공하여 제 1베이스, 상기 제 1베이스로부터 돌출되는 제 1측벽 및 상기 제 1측벽에 대향하는 제 2측벽을 형성하여 제 1본체를 마련하는 제 1본체 준비단계;
판상의 모재를 절삭 가공하여 제 2베이스, 상기 제 2베이스로부터 돌출되는 제 3측벽 및 상기 제 3측벽에 대향하는 제 4측벽을 형성하여 제 2본체를 마련하는 제 2본체 준비단계;
상기 제 1측벽과 제 3측벽이 대면하고 상기 제 2측벽과 상기 제 4측벽이 대면하도록 상기 제 1본체에 상기 제 2본체를 체결하는 제 1체결 단계;및
서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 평면에 제 1커버를 체결하고, 서로 체결된 상기 제 1본체와 상기 제 2본체의 저면에 제 2커버를 체결하여 상기 제 1본체와 상기 제 2본체를 폐쇄하는 제 2체결 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징의 제조방법. - 제 6항에 있어서,
상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 두 모서리, 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 두 모서리, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 두 모서리, 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 두 모서리는 각각 모따기하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징의 제조방법. - 제 7항에 있어서,
상기 제 1커버의 저면에
상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 1홈에 대응하여 돌출되는 제 1돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 2홈에 대응하여 돌출되는 제 2돌기를 형성하며,
상기 제 2커버의 평면에는
상기 제 1측벽의 모서리 모따기와 제 3측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 3돌기 및 상기 제 2측벽의 모서리 모따기와 제 4측벽의 모따기에 의해 형성되는 제 3홈에 대응하여 돌출되는 제 4돌기가 형성하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징의 제조방법. - 제 8항에 있어서,
상기 제 1커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면, 상기 제 3측벽을 향하는 상기 제 1측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 1베이스의 노출면 및 상기 제 4측벽을 향하는 상기 제 2측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 1실링을 상기 제 1본체에 설치하며,
상기 제 1커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면, 상기 제 1측벽을 향하는 상기 제 3측벽의 노출면, 상기 제 2커버를 향하는 상기 제 2베이스의 노출면 및 상기 제 2측벽을 향하는 상기 제 4측벽의 노출면을 연결하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 2실링을 상기 제 2본체에 설치하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징의 제조방법. - 제 9항에 있어서,
상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 3실링을 상기 제 1커버의 저면에 설치하며,
상기 제 1본체의 평면에 노출된 상기 제 1실링의 일부와, 상기 제 2본체의 평면에 노출된 상기 제 2실링의 일부에 대응하는 폐곡선의 형태로 마련되는 제 4실링을 상기 제 2커버의 평면에 설치하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 하우징의 제조방법.
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JPH05315262A (ja) * | 1992-05-07 | 1993-11-26 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
JP5158994B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2013-03-06 | 株式会社アルバック | チャンバ |
KR101317696B1 (ko) | 2011-12-13 | 2013-10-15 | (주)시스콤 | 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조 |
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