KR20190044074A - 고속 회전 기계용 적외선 온도 센서 - Google Patents

고속 회전 기계용 적외선 온도 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR20190044074A
KR20190044074A KR1020197006478A KR20197006478A KR20190044074A KR 20190044074 A KR20190044074 A KR 20190044074A KR 1020197006478 A KR1020197006478 A KR 1020197006478A KR 20197006478 A KR20197006478 A KR 20197006478A KR 20190044074 A KR20190044074 A KR 20190044074A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
infrared sensor
sensor system
rotor
operating state
motor
Prior art date
Application number
KR1020197006478A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102464713B1 (ko
Inventor
브렌트 해슬럿
앤드류 그랜샘
제임스 헤이로크
Original Assignee
에드워즈 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에드워즈 리미티드 filed Critical 에드워즈 리미티드
Publication of KR20190044074A publication Critical patent/KR20190044074A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102464713B1 publication Critical patent/KR102464713B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
    • G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0003—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0022—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation of moving bodies
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0088—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry in turbines
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/026—Control of working procedures of a pyrometer, other than calibration; Bandwidth calculation; Gain control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/04—Casings
    • G01J5/041—Mountings in enclosures or in a particular environment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/12—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
    • H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
    • H02K11/25—Devices for sensing temperature, or actuated thereby
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
    • G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
    • G01J2005/063—Heating; Thermostating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)

Abstract

적외선 센서들(2)은 회전자(100) 또는 다른 기계 부품들의 온도를 감지하기 위해 터보 분자 펌프(1)에 종종 사용되며, 따라서 급박하거나 잠재적인 가동 결함을 나타낸다. 침전물이 적외선 센서나 모니터링되는 표면에 축적됨에 따라, 센서에 의해 얻어진 판독값이 표면 온도의 실제값과 상이하게 되어 펌프 제어기가 펌프를 제시간에 정지시키는 데 실패할 수 있다. 본 발명은 회전자를 주위 온도로 유지하면서 센서에서 소정의 온도 상승을 발생시킴으로써 센서를 보정하는 방법 및 장치를 제공한다. 특히, 본 발명은 온도를 상승시키기 위해 히터로서 모터 고정자(44)를 사용한다.

Description

고속 회전 기계용 적외선 온도 센서
본 발명은 회전 기계 회전자, 특히 적외선 센서 시스템을 포함하는 모터 및 터보 분자 진공 펌프 회전자(turbomolecular vacuum pump rotor)와 같은 고속 회전 기계 회전자의 온도를 측정하도록 구성된 적외선 센서 시스템에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 적외선 센서 시스템의 작동 효율을 시험하는 방법 및 상기 방법으로 동작하도록 구성된 제어기에 관한 것이다. 본 발명은 또한 적외선 센서에 의해 모니터링되는 표면의 방사율(emissivity)을 보정하는 방법 및 상기 방법으로 작동하도록 구성된 제어기에 관한 것이다.
많은 회전 기계는 적외선 센서를 이용하여 열에 민감한 이동 부재의 온도를 감지한다. 접촉 센서는 이동 부재에 대한 위치 결정이 어렵기 때문에, 적외선 센서와 같은 비접촉식 센서가 이상적인 해결책이 된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 공지의 적외선 센서(2)는 일반적으로 매우 얇은 멤브레인(또는 윈도우)(8)과 같은 적외선 흡수 물질(흡수체)(8)에 연결된 고온 접합부(6), 즉, 탐지 접합부(6)에 직렬로 연결된 복수의 열전쌍인 서모파일(4)을 포함한다. 흡수체(8)의 작은 열질량(thermal mass)은 측정 대상물(101)의 표면 온도(TOB)의 변화에 신속하게 반응한다는 것을 의미한다.
서모파일(4)의 저온 접합부들(10)은 센서 내부의 서미스터(18)에 의해 측정되는 바와 같이 이들이 동일한 온도에서 모두 센서의 기준 온도 TREF가 되도록 등온 블록(12, isothermal block)내에 일반적으로 위치된다.
측정 대상물(101)이 센서의 IR 흡수 표면(8)의 전방에 위치될 때, IR 흡수 표면(8)은, 그 흡수 표면(8)이 측정 대상물(101)의 온도보다 각각 더 높거나 또는 더 낮은 온도에 있는지 여부에 따라 열(적외)선의 형태로 열의 순이득 또는 순손실을 받게 될 것이다.
대상물(101)의 표면 온도(TOB)가 센서(2)에 비해 상승할 때, 고온 접합부(6)는 적외선을 흡수하기 시작하여 기준 온도(TREF)보다 뜨거워질 것이다. 이로 인해 대상물 표면의 온도(TOB) 변화에 상응하는 서모파일(4)에서 전압이 발생한다. 적외선 센서에 의해 측정된 온도(TOB)는 내부 서미스터(18)에 의해 측정된 온도(TREF)에 의해 보상되고, 대상물 표면 온도의 정확한 판독이 얻어진다.
터보 분자 펌프(turbomolecular pump)는 고진공, 즉, 저압이 요구되는 많은 분야에서 사용된다. 예를 들어, 반도체 산업은 결함이 적은 장치의 수율을 증가시키는데 필요한 저압을 유지하기 위해 많은 공정 단계에 대해 터보 분자 펌프를 사용한다.
작동 시, 터보 분자 펌프의 회전자는 고속으로 회전한다. 펌프가 필요한 펌핑 성능을 얻기 위해서는 회전자 블레이드의 팁(tip)과 펌프 케이싱의 내벽 사이의 허용 오차 또는 거리가 가능한 한 작아야 한다. 펌프가 소정 온도 이상에서 작동하면, 이로인해 회전자 블레이드가 팽창하여, 회전자 블레이드가 고정자 블레이드와 같은 내부 메카니즘의 고정 부재와 충돌하여 치명적인 고장이 발생할 수 있다. 따라서 내부 펌프 온도의 세심한 제어와 모니터링을 필요로 한다. 이것은 종종 적외선 온도 센서(2)를 이용하여 달성된다.
반도체 산업에서 이용되는 많은 공정 단계들은 부식성 및/또는 응축성 부산물들을 생성하며, 이들은 공정 챔버로부터 및 터보 분자 펌프를 비롯한 진공 펌프 시스템을 통해 멀리운반된다. 이러한 공정들은 사용되는 임의의 온도 센서들을 코팅 또는 부식시킬 수 있거나, 또는 모니터링되는 회전자의 표면을 코팅시켜서, 특히, 정확한 판독값을 제공하는 적외선 센서의 기능을 방해할 정도로 표면 방사율을 변화시킨다.
따라서, 온도 센서가 펌프 내의 위험한 온도 상승을 감지하지 못할 수도 있다.
본 발명의 목적은 이러한 문제점의 영향을 극복하거나 적어도 감소시키는데 있다.
본 발명에 따르면, 적외선 온도 센서 시스템을 사용하여 표면의 초기 방사율(EI)을 측정하고, 예상 방사율(EE)과 비교하는 방법이 제공되며, 시스템은 측정될 표면으로 지향된 적외선 온도 센서와, 센서를 가열하기 위해 적외선 센서에 근접하게 위치된 히터를 포함하며, 방법은 표면을 상당히 가열함이 없이 적외선 센서를 가열하기 위해 히터의 온도를 상승시키는 단계; 적외선 센서를 가열함으로써 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계; 적외선 센서에 의해 생성된 전압을 예상 전압(VE)과 비교하는 단계; 및 등식 EI = EE(VG/VE)에 따라 표면의 초기 방사율(EI)을 계산하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법이 제공되며, 시스템은 적외선 센서와 적외선 센서를 가열하기 위해 적외선 센서의 근방에 위치된 히터를 포함하며; 방법은 적외선 센서 외부의 대상물의 표면에 적외선 센서를 지향시키는 단계 - 표면은 방사율(E)을 가짐 -; 대상물의 표면을 상당히 가열함이 없이 적외선 센서를 가열하기 위해 히터의 온도를 상승시키는 단계; 적외선 센서를 가열함으로써 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계; 및 적외선 센서에 의해 생성된 전압과 예상 전압(VE)을 비교하는 단계를 포함한다.
본 방법은, VG가 VE와 실질적으로 동일하지 않은 경우, 적외선 시스템이 이상적인 작동 상태에 있지 않거나, 또는 그 반대로 VG가 실질적으로 VE와 동일한 경우, 적외선 시스템이 이상적인 작동 상태에 있다는 것을 결정하는 추가 단계를 포함할 수 있다.
적외선 센서 시스템은 회전 기계 및 적외선 센서내에 위치될 수 있고, 회전 기계의 회전 표면으로부터 방사되는 열 방사선을 측정하도록 지향될 수 있다. 적외선 센서 시스템은 진공 펌프 내에 위치될 수 있고, 진공 펌프 회전자 표면, 특히, 터보 분자 펌프 회전자로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향될 수 있다.
본 방법은 펌프가 실온에 있을 때 초기화되거나, 펌프가 정상 작동 상태에 있을 때 초기화될 수 있다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법이 제공될 수 있으며, 시스템은 모터에 근접하거나 모터와 일체로 위치된 적외선 센서를 포함하며; 방법은 방사율(E)을 가진 적외선 센서 외부에 있는 대상물의 표면으로 적외선 센서를 지향시키는 단계; 대상물 표면을 상당히 가열함이 없이 적외선 센서를 가열하기 위해, 모터의 많은 회전을 야기하지 않고 모터의 온도를 상승시키도록 적어도 하나의 모터 권선에 DC 전류를 인가하는 단계; 적외선 센서에 의해 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계; 및 적외선 센서에 의해 생성된 전압을 예상 전압(VE)과 비교하는 단계를 포함한다.
본 방법은, VG가 VE와 실질적으로 동일하지 않은 경우, 적외선 시스템이 이상적인 작동 상태에 있지 않거나, 또는 그 반대로 VG가 실질적으로 VE와 동일한 경우, 적외선 시스템이 이상적인 작동 상태에 있다는 것을 결정하는 추가 단계를 포함할 수 있다.
적외선 센서 시스템은 회전 기계, 및 회전 기계의 회전 표면으로부터 방사되는 열 방사선을 측정하도록 지향된 적외선 센서 내에 위치될 수 있다. 적외선 센서 시스템 및 모터는 진공 펌프 내에 위치될 수 있고, 진공 펌프 회전자 표면, 특히, 터보 분자 펌프 회전자 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향될 수 있다. 이 방법은 펌프가 실온에 있을 때 초기화될 수 있다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 회전자의 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하기 위한 적외선 센서 시스템이 제공되며, 시스템은 적외선 센서 및 히터를 포함하고, 히터는 적외선 센서를 가열하기 위해, 적외선 센서에 근접하여 위치된다. 히터, 바람직하게는, 저항성 히터는 적외선 센서와 일체형일 수 있다. 적외선 시스템을 포함하는 진공 펌프, 특히, 터보 분자 펌프가 제공될 수 있으며, 여기서 적외선 시스템은 진공 펌프의 회전자 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 위치된다. 진공 펌프의 회전자 표면은 터보 분자 회전자 블레이드, 터보 분자 고정자 블레이드, 회전자 샤프트 및 분자 드래그 펌프 회전자(a molecular drag pump rotor) 중 하나일 수 있다.
상술한 적외선 시스템을 포함하는, 회전자를 회전시키기 위한 모터가 제공될 수 있고, 여기서 적외선 센서는 모터 권선에 근접하여 위치되며, 회전자를 포함하는 장치일 경우, 회전자의 표면에서 방사된 열 방사선을 측정하도록 배치될 수 있다.
모터 권선은 포팅 재료(potting material)로 캡슐화될 수 있고, 적외선 센서는 포팅 재료 내에 장착될 수 있다. 히터는 모터에 의해 제공될 수 있다.
상술한 모터를 포함하는 터보 분자 진공 펌프가 제공될 수 있고, 적외선 센서는 터보 분자 회전자 블레이드, 터보 분자 고정자 블레이드, 회전자 샤프트 및 분자 드래그 펌프 회전자 중 적어도 하나의 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향될 수 있다. 선택적으로, 적외선 센서가 지향되는 표면은 탄소 섬유 강화 슬리브(sleeve)일 수 있다.
본 발명을 용이하게 이해할 수 있도록, 본 발명의 실시예들은 단지 예시적으로만 주어진 것으로 하기 첨부 도면을 참조하여 설명될 것이다:
도 1은 공지의 적외선 센서의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 양태에 따른 적외선 센서 시스템의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 양태에 따른 적외선 센서 시스템을 포함하는 터보 분자 펌프의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 양태에 따른 적외선 센서 시스템을 포함하는 터보 분자 펌프의 부분 단면도이다.
먼저, 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 적외선 센서 시스템(20)의 개략도가 도시되어 있다.
센서 시스템(20)은, 도 1에 도시되고 상술한 바와 같이, 표준 적외선 센서(2)의 특징과 실질적으로 동일한 특징을 갖는 적외선 센서(2)를 포함한다. 센서 시스템(20)은 센서(2)에 근접하게 위치한 히터(14)와, 적외선 센서(2) 및 히터 장치(14)에 연결된 제어기(16)를 더 포함한다.
제어기(16)는 본 발명의 방법에 따라 적외선 센서 시스템(20)을 작동시키도록 구성된다.
히터(14)는, 제어기(16)가 히터(14)를 작동시킬 때, 히터(14)가 적외선 시스템이 지향하는 대상물(101)의 표면(105)을 실질적으로 가열하지 않고 적외선 센서(2)를 가열하도록 적외선 센서(2)에 근접하여 위치되어야 한다. 도 2에 도시된 예에서, 표면(105)은 대상물(101)인 진공 펌프 회전자의 표면이다. 센서 시스템(20)의 히터(14)는 적외선 센서(2)와 분리되거나 또는 적외선 센서(2)와 일체형일 수 있고, 또한 히터는, 예를 들어, 저항성 히터와 같은 임의의 적합한 유형의 히터(14)일 수 있다.
작동 시, 적외선 센서 시스템 제어기(16)는 제 1 양태에 따른 작동 상태 점검, 즉 이하에 설명될 본 발명의 방법을 실행할 수 있다.
본 방법에 의해, 진공 펌프 회전자(101)의 표면(105)이 실온, 즉, 펌프(도시 생략)가 작동되기 전이거나 또는 정상 상태의 작동 동안, 예를 들어, 펌프가 작동 속도로 작동하고 가스가 펌프의 입구를 통과하지 않을 때, 적외선 센서 시스템(20)의 작동 상태가 결정될 수 있다. 진공 펌프가 이들 2개의 조건 상태(오프 또는 정상 상태) 중 하나의 상태에 있을 때, 적외선 센서(2)와 회전자 표면(105) 사이의 순 열 교환은 실질적으로 각기 동일한 온도이기 때문에 0이 될 것이다.
이 때, 히터(14)가 적외선 센서 서모파일(4)의 고온 접합부(6) 및 저온 접합부(10)를 동등하게 가열하고, 적외선 센서 흡수체 윈도우(8)가 깨끗하고 잔류물이 없는 경우, 회전자 표면(105)에 대한 순 열 손실이 있을 것이므로, 그것은 이제 적외선 센서(2)보다 낮은 온도로 될 것이다. 따라서, 생성된 예상 전압(VE)과 일치할 서모파일(4)에 음 전압(VG)이 생성될 것이다. 따라서, 제어기(16)는 적외선 시스템(20)의 작동 상태가 이상적임을 표시할 것이다.
"이상적"이란, 센서의 상태가 예상대로 기능하고, 현재 유지 보수가 필요 없다는 것을 의미한다.
그러나, 센서 흡수체 윈도우(8)가 그리이스(grease)나 다른 잔류물로 코팅되면, 잔류물의 단열 효과와 서모파일(4)로의 열 반사로 인해 윈도우(8)로부터의 열 손실 속도가 예상보다 낮아질 것이다. 따라서, 발생된 전압(VG)은 생성된 예상 전압(VE)와 실질적으로 동일하지 않을 것이므로 제어기(16)는 작동 상태가 이상적이지 않으며, 시스템 (20)이 서비스를 필요로 함을 나타낼 것이다.
제어기(16)는 또한 본 발명의 또 다른 양태에 따른 시스템(20)을 작동시키도록 구성되어, 표면의 초기 방사율(EI)을 측정하고, 이를 예상 방사율(EE)과 비교하는 방법을 제공할 수 있다.
적외선 센서(2)에 의해 측정된 온도를 갖게 되는 회전자(101)의 표면(105)에 높은 방사율 코팅을 적용하는 것이 특히 바람직하다. 고방사율 코팅은 적외선 센서(2)로부터의 열이 표면(105)으로부터 반사되지 않고, 회전자(101)의 표면에 의해 생성된 실질적으로 모든 열 방사선이 적외선 센서(2)에 지향되도록 함으로써 정확한 온도 판독값을 확보할 수 있도록 한다. 시간 경과에 따른 코팅 손실의 문제를 극복하기 위해, 터보 분자 펌프와 같이, 회전자에 탄소 섬유 강화 에폭시 슬리브(110)를 적용하는 것이 특히 유리한 것으로 밝혀졌다.
그러나, 펌프의 초기 제조 중에 코팅된 회전자(101)의 표면(105) 또는 슬리브(110)의 표면(105')이 그리이스로 코팅되면, 코팅된 표면 또는 슬리브의 초기 방사율(EI)은 예상 방사율(EE)보다 낮아 펌프 작동 수명의 잔류 수명에 대한 부정확한 판독값을 유도할 것이다.
따라서, 적외선 센서 시스템(20)을 사용함으로써, 생산 후, 즉 사용 전에, 표면(105, 105')의 초기 방사율(EI)을 보정할 수 있으므로, 그 후에 정확한 판독값을 얻을 수 있다. 이러한 제 2 방법은 표면(105, 105')을 상당히 가열함이 없이 적외선 센서(2)를 가열하기 위해 히터(14)의 온도를 상승시키는 단계; 표면(105, 105')으로 지향되는 적외선 센서(2)에 의해, 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계; 적외선 센서(2)에 의해, 생성된 전압(VG)을 예상 전압(VE)과 비교하는 단계; 및 등식 EI = EE(VG/VE)에 따라 표면(105)의 초기 방사율(EI)을 계산하는 단계를 포함한다.
표면(105, 105')의 방사율이 예상한 것으로 밝혀지면, 시험동안, 생성된 전압(VG)은 생성된 예상 전압(VE)의 전압과 실질적으로 일치할 것이다. 그러나, 코팅된 회전자(101) 또는 회전자 슬리브(110)의 표면(105, 105')의 방사율이 예상만큼 좋지 않은 경우, 시험동안, 표면(105, 105')에 의해 흡수되거나 반사되는 열량은 서로 상이할 것이며, 생성된 전압(VG)은 비례하여 상이할 것이다. 따라서 코팅된 표면(105) 또는 슬리브 표면(105')의 초기 방사율(EI)이 계산될 수 있다. 방사율 측정값이 소정의 허용 범위내에, 예를 들어, 0.9~0.97 사이이면, 계산된 초기 방사율(EI)은, 펌프가 작동하는 동안, 추가적인 온도 판독값을 보정하기 위해 제어기(16)에 의해 사용된다. 측정된 초기 방사율이 소정의 허용 범위를 벗어나면, 펌프는 수리되어야 하고, 슬리브(110)는 교체되거나 추가 코팅되어야 할 것이다.
이제 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 또 다른 양태에 따른 모터(26)를 포함하는 터보 분자 펌프(1)의 단면이 도시되어 있다. 펌프(1)는, 사용 시, 가스를 수용하기 위한 입구(3) 및 펌프(1)를 통해 운반된 가스를 배출하기 위한 출구(5)를 갖는 하우징 또는 케이싱(19)을 포함한다.
케이싱(19) 내에는 반경 방향 외측으로 연장하는 다수의 회전자 블레이드 스테이지(9)를 포함하는 회전자(100)가 제공된다. 케이싱(19)은 터보 분자 펌프 설계 분야의 당업자에게 공지된 방식으로 각각의 회전자 블레이드 스테이지(9) 사이에 위치하며 반경 방향 내측으로 연장되는 일련의 고정자 블레이드 스테이지(11)를 포함하는 고정자 구성 요소를 한정한다. 회전자(100)는 또한 출구(5)에 근접하여, 터보 분자 펌프를 지지하는 펌프의 입구 압력 요구를 낮추는 일련의 분자 드레그(molecular drag) 또는 홀윅(holweck) 스테이지(13)를 포함한다.
본 실시예에서, 회전자(100)는, 도시된 바와 같이, 그 최상단 및 최하단에서 베어링(17, 15)에 의해 각각 회전 가능하게 지지된다. 최하단 베어링(15)은 볼 타입 베어링 배열을 포함하고, 최상단 베어링(17)은 패시브 마그네틱 베어링 배열을 포함한다. 회전자의 최상부는 또한 패시브 마그네틱 베어링(17)의 고장 시에 회전자가 펌프의 정지부와 충돌하는 것을 방지하기 위해 볼 형상인 한 세트의 트러스트 베어링(미도시)에 의해 보호될 수 있다.
회전자(100)는 모터(26)에 연결된다. 도시된 예에서, 모터(26)는 고정자(28)에 포함된 동기 2극, 3상 브러시리스 24볼트 DC 모터이다. 모터(26)는 모터 고정자(28) 둘레에 고르게 분포된 3세트의 모터 코일 권선(44)을 포함한다. 모터 코일 권선(44)은 양호한 열 전도성을 갖는 에폭시 수지와 같은 포팅 재료가 포함된다. 모터 샤프트(115)는 회전자(100)에 회전 가능하게 연결되어 있다.
통상적인 사용에서, 모터 샤프트(115)의 정류는 자석의 극 위치에 따라 모터 샤프트(115) 및 펌프 회전자(100)를 회전시키기 위해 순서대로 3개의 모터 권선(44)의 각각을 차례로 온(on)시키는 외부 제어기(16)를 사용하여 제어된다.
모터(26)는 또한 적외선 센서(2)를 포함하는 일체형 적외선 센서 시스템(20)을 포함한다. 센서는 코일 권선(44)의 포팅 재료 내에 포함되는 것으로 도시되어 있지만, 모터 고정자 하우징(28) 내 및/또는 그 위에 또한 배치될 수도 있다. 적외선 센서(2)는, 상술한 바와 같이, 적외선 방사를 모니터링함으로써 대상물 장치(101)(본 예에서는 회전자(100))의 표면 온도(TOB)를 측정하는 서모파일(4)과, 온도 보상을 목적으로 적외선 센서(2)의 케이싱(21) 온도(TREF)를 모니터링하는 서미스터(18)를 포함하는 비접촉식 표면 온도 측정 센서이다.
통상적인 사용에서, 적외선 센서(2)는 도 3(또는 도 4의 도면 부호 102)에 나타내는 바와 같이, 회전자(100) 상의 타겟 영역(105)으로부터 방사된 적외선을 모니터링한다. 적외선 센서에 의해 측정된 온도(TOB)는 내부 서미스터 온도(TREF)에 의해 보상되고, 회전자 표면(105)의 온도의 정확한 판독이 얻어진다. 터보 분자 펌프(1)의 정상적인 사용 중에, 펌핑되는 가스 부하 또는 출구(5)에서의 지지 압력이 펌프가 설계된 레벨 이상으로 유지되면, 회전자 온도가 상승할 것이다. 적외선 센서(2)는 대상물의 회전자 온도(TOB)를 나타내는 신호를 제어기(16)에 전달하고, 소정의 온도 이상이면, 경보가 발생하고 및/또는 손상이나 펌프 고장을 방지하기 위해 펌프가 감속된다.
적외선 센서(2)에 의해 얻어진 회전자 온도 판독을 향상시키기 위해, 회전자상의 타겟 스캐닝 영역(105, 102)은, 미국 특허 제 5350275 호에 기재된 바와 같이, 높은 방사율 코팅이 적용되거나, 또는 바람직하게는 탄소 섬유 강화 에폭시 슬리브(110)를 가질 수 있다. 타겟 스캐닝 영역은 이상적으로는 회전자 샤프트(115) 상에 있지만, 적외선 센서용 대상물 표적면(102)이 (도 4에 도시된 바와 같이) 고정자 블레이드(11) 또는 드래그 펌프 메카니즘(13)이 되도록 모터에 적외선 센서를 위치시키는 것이 또한 적합하다.
이전에 시도된 적외선 센서(2)의 위치는, EP1348940에 개시된 바와 같이, 펌프의 기저부(base portion)에 내장되거나 펌프 케이싱(19) 내에 있었다. 그러나, 이들 센서는 부식 및/또는 공정 침착에 의해 영향을 받았고, 따라서 이들의 구성은 일관되게 신뢰성 있는 온도 측정을 제공할 수 없다는 것이 입증되었다.
도 3 및 도 4에 도시된 실시예는 일체형 적외선 센서(2)를 가진 모터(26)와 센서(2)의 작동 상태가 점검되고 시험받을 수 있는 장치를 제공함으로써, 상술한 적외선 시스템(20)에 대한 또 다른 이점을 제공한다. 이들 예에서, 히터 장치(14)로서 작용하는 모터(26)가 있으며, 이 방법은 적어도 하나의 모터 권선에 직류를 인가하여 모터의 많은 회전을 야기하지 않고 모터의 온도를 상승시키는 단계를 포함한다. 따라서, 적외선 센서(2)는 대상물 표면(105)을 상당히 가열함이 없이 가열될 수 있다. 표면으로 지향되는 적외선 센서(2)에 의해 생성된 전압(VG)이 측정되고 나서 예상된 생성 전압(VE)과 비교될 수 있다.
펌프(1) 내에서의 센서(2)의 작동 상태는 바람직하게는 펌프(1)가 실온 상태에 있는 동안 시험되고/초기화된다. 펌프 제어기(16) 또는 작동기는 우선, 소정의 온도 상승이 센서의 내부 서미스터(18)에 의해 측정될 때까지, 바람직하게는 코일 권선(44)의 통상의 작동 전류보다 높은 전류로 모터 코일 권선(44) 중 적어도 하나를 통해 직류를 통과시킨다. 전류를 적어도 하나의 모터 코일 권선(44) 또는 이들 중 임의의 수의 권선에 동시에 통과시키는 것은 펌프 권선 자체는 가열되지만, 회전자(100)는 정류 신호없이 회전하지 않는다는 것을 의미한다. 일부 사소한 회전이 초기에 발생할 수 있지만, 펌프(1)의 정격 회전 주파수보다 상당히 낮을 것이다. 정류 신호가 없으면, 펌프(1)는 최대 속도로 회전할 수 없으므로, 가스 압축으로 인해 회전자(100)에 열이 발생하지 않거나 거의 발생하지 않는다.
센서(2) 및 제어기(16)는, 모터(26)를 소정 온도로 가열하는 것에 의해, 모터(26) 및 센서(2)의 내부 기준 온도(TREF)와 대상물 회전자(101)의 표면 온도(TOB) 사이의, 실온에서 정상적으로 존재하지 않는 차이를 검출해야 한다. 센서의 작동 효율이 공정 부산물에 의해 영향을 받지 않으면, TREF는 TOB보다 알려진 값만큼 커야 하고, 즉, 센서에 의해 생성된 전압(VG)은 예상 생성 전압(VE)과 다르지 않아야 한다. 그러나, 센서가 코팅되거나 어떤 식으로든 부식되거나, 방사율이 변경되도록 회전자 표면(105)이 코팅되면, 센서(2)는 회전자 표면 온도를 정확하게 측정할 수 없어 생성된 전압(VG)(즉, 측정된 온도차)은 예상 생성 전압(VE)과 상이할 것이다.
소정의 온도 상승은, 상술한 바와 같이, 기설정된 시간 동안 또는 센서 서미스터(18)가 소정의 온도 상승이 달성되었음을 검출할 때까지 적어도 하나의 모터 권선을 통해 직류를 통과시킴으로써 달성될 수 있다.
예를 들어, 시험에서 2개의 모터 권선 코일을 통해 15 Amps의 전류를 통과시키면, 3분 안에 25℃로부터 35℃로의 온도 상승이 제공된다. 측정된 온도 상승이 예상과 같지 않으면, 예를 들어, 앞에서 설명된 적어도 10℃의 온도 상승과 같지 않으면, 작동기 또는 제어기(16)는 적외선 센서(2) 또는 표면(105)의 방사율이 비이상적인 판독값을 제공하는 지를 결정하고, 펌프를 수리하기 위한 알람 신호를 생성시킬 것이다.
생산 중에, 센서가 정상 작동하는 것으로 알려진 경우, 대상물 온도(TOB)의 예상치 못한 상승은 타겟 표면(105, 102)으로부터 예상 방사율보다 낮은 방사율에 기인할 수 있다. 본 예에서, 예상치 못한 상승은 회전자 표면의 실제 방사율이 계산되도록 하며, 일단 펌프(1)가 완전히 조립되면, IR 센서 시스템(20)의 보정에 영향을 미친다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 적외선 센서(2)를 포함하는 센서 시스템(20) 및 전술한 바와 같이 작동될 수 있는 근접 가열 장치(14)를 포함하는 터보 분자 펌프(1)를 제공하는 것도 물론 가능하다.

Claims (24)

  1. 적외선 온도 센서 시스템을 사용하여 표면의 초기 방사율(EI)을 측정하고, 상기 초기 방사율을 예상 방사율(EE)과 비교하는 방법으로서,
    상기 시스템은, 측정되는 표면으로 지향되는 적외선 온도 센서 및 상기 센서를 가열하기 위해 상기 적외선 센서에 근접하게 위치된 히터를 포함하고,
    상기 방법은,
    ⅰ. 상기 표면을 상당히 가열함이 없이 상기 적외선 센서를 가열하기 위해 상기 히터의 온도를 상승시키는 단계와,
    ⅱ. 상기 적외선 센서를 가열함으로써 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계와,
    ⅲ. 상기 적외선 센서에 의해 생성된 전압을 예상 전압(VE)과 비교하는 단계와,
    ⅳ. 등식 EI = EE(VG/VE)에 따라 상기 표면의 초기 방사율(EI)을 계산하는 단계를 포함하는
    방법.
  2. 적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법으로서,
    상기 시스템은, 적외선 센서 및 상기 적외선 센서를 가열하기 위해 상기 적외선 센서에 근접하게 위치된 히터를 포함하고,
    상기 방법은,
    ⅰ. 상기 적외선 센서 외부의 대상물의 표면에 상기 적외선 센서를 지향시키는 단계 - 상기 표면은 방사율(E)을 가짐 - 와,
    ⅱ. 상기 대상물의 표면을 상당히 가열함이 없이 상기 적외선 센서를 가열하기 위해 상기 히터의 온도를 상승시키는 단계와,
    ⅲ. 상기 적외선 센서를 가열함으로써 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계와,
    ⅳ. 상기 적외선 센서에 의해 생성된 전압과 예상 전압(VE)을 비교하는 단계를 포함하는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 방법은,
    ⅴ. VG가 VE와 실질적으로 동일하지 않은 경우, 상기 적외선 센서 시스템이 이상적인 작동 상태가 아니라고 결정하는 단계를 더 포함하는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 방법은,
    ⅴ. VG가 VE와 실질적으로 동일한 경우, 상기 적외선 센서 시스템이 이상적인 작동 상태라고 결정하는 단계를 더 포함하는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적외선 센서 시스템은 회전 기계 내에 위치되고, 상기 적외선 센서는 상기 회전 기계의 회전 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적외선 센서 시스템은, 진공 펌프 내에 위치되고, 진공 펌프 회전자 표면, 특히, 터보 분자 펌프 회전자로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 방법은 상기 펌프가 실온에 있을 때 초기화되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 방법은 상기 펌프가 정상 작동 상태에 있을 때 초기화되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  9. 적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법으로서,
    상기 시스템은, 모터에 근접하거나 또는 모터와 일체로 위치된 적외선 센서를 포함하며,
    상기 방법은,
    ⅰ. 방사율(E)을 가진, 상기 적외선 센서 외부에 있는 대상물의 표면에 상기 적외선 센서를 지향시키는 단계와,
    ⅱ. 상기 대상물 표면을 상당히 가열함이 없이 상기 적외선 센서를 가열하기 위해, 상기 모터의 상당한 회전을 야기하지 않고 상기 모터의 온도를 상승시키도록 적어도 하나의 모터 권선에 DC 전류를 인가하는 단계와,
    ⅲ. 적외선 센서에 의해 생성된 전압(VG)을 측정하는 단계와,
    ⅳ. 적외선 센서에 의해 생성된 전압을 예상 전압(VE)과 비교하는 단계를 포함하는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 방법은,
    ⅴ. VG가 VE와 실질적으로 동일하지 않은 경우, 상기 적외선 센서 시스템이 이상적인 작동 상태가 아니라고 결정하는 단계를 더 포함하는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 방법은,
    ⅴ. VG가 VE와 실질적으로 동일한 경우, 상기 적외선 센서 시스템이 이상적인 작동 상태라고 결정하는 단계를 더 포함하는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  12. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적외선 센서 시스템 및 모터는 회전 기계 내에 위치되고,
    상기 적외선 센서는, 상기 회전 기계의 회전 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  13. 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적외선 센서 시스템은 모터에 근접하거나 또는 모터와 일체로 배치되는 적외선 센서를 포함하고,
    상기 적외선 센서 시스템 및 모터는 진공 펌프 내에 위치되고, 진공 펌프 회전자 표면, 특히, 터보 분자 펌프 회전자 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 적외선 센서 시스템은 모터에 근접하거나 또는 모터와 일체로 배치되는 적외선 센서를 포함하고,
    상기 방법은 상기 펌프가 실온에 있을 때 초기화되는
    적외선 센서 시스템의 작동 상태를 시험하는 방법.
  15. 회전자의 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하기 위한 적외선 센서 시스템으로서,
    적외선 센서와,
    상기 적외선 센서를 가열하기 위해 상기 적외선 센서에 근접하게 위치된 히터를 포함하는
    적외선 센서 시스템.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 히터는 상기 적외선 센서와 일체인
    적외선 센서 시스템.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 히터는 저항성 히터인
    적외선 센서 시스템.
  18. 제 15 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 따른 적외선 센서 시스템을 포함하며, 진공 펌프의 회전자 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 위치되는 진공 펌프, 특히 터보 분자 펌프.
  19. 제 15 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 따른 적외선 센서 시스템을 포함하며, 터보 분자 회전자 블레이드, 터보 분자 고정자 블레이드, 회전자 샤프트 및 분자 드래그 펌프 회전자(a molecular drag pump rotor) 중 적어도 하나의 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 위치되는 터보 분자 펌프.
  20. 제 15 항의 적외선 센서 시스템을 포함하는, 회전자를 회전시키기 위한 모터로서,
    상기 적외선 센서는 모터 권선에 근접하게 위치되고, 장치 내에 상기 회전자를 포함할 때 상기 회전자의 표면에서 방사된 열 방사선을 측정하도록 배치되는
    회전자를 회전시키기 위한 모터.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 모터 권선은 포팅(potting) 재료로 캡슐화되고,
    상기 적외선 센서는 상기 포팅 재료 내에 장착되는
    회전자를 회전시키기 위한 모터.
  22. 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,
    상기 히터는 상기 모터에 의해 제공되는
    회전자를 회전시키기 위한 모터.
  23. 제 20 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 따른 모터을 포함하는 터보 분자 진공 펌프로서,
    상기 적외선 센서는 터보 분자 회전자 블레이드, 터보 분자 고정자 블레이드, 회전자 샤프트 및 분자 드래그 펌프 회전자 중 적어도 하나의 표면으로부터 방사된 열 방사선을 측정하도록 지향되는
    터보 분자 진공 펌프.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 적외선 센서가 지향되는 표면은 탄소 섬유 강화 슬리브(sleeve)인
    터보 분자 진공 펌프.
KR1020197006478A 2016-09-06 2017-09-06 고속 회전 기계용 적외선 온도 센서 KR102464713B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1615124.3 2016-09-06
GB1615124.3A GB2553374B (en) 2016-09-06 2016-09-06 Temperature sensor for a high speed rotating machine
PCT/GB2017/052596 WO2018046913A1 (en) 2016-09-06 2017-09-06 Infrared temperature sensor for a high speed rotating machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190044074A true KR20190044074A (ko) 2019-04-29
KR102464713B1 KR102464713B1 (ko) 2022-11-07

Family

ID=57139779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020197006478A KR102464713B1 (ko) 2016-09-06 2017-09-06 고속 회전 기계용 적외선 온도 센서

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10837836B2 (ko)
EP (1) EP3510369A1 (ko)
JP (1) JP7273712B2 (ko)
KR (1) KR102464713B1 (ko)
CN (1) CN109642826B (ko)
GB (1) GB2553374B (ko)
SG (1) SG11201901869SA (ko)
TW (1) TWI766879B (ko)
WO (1) WO2018046913A1 (ko)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230043515A1 (en) * 2018-05-02 2023-02-09 Elatronic Ag Remote temperature measurement of cookware through a ceramic glass plate using an infrared sensor
JP7187186B2 (ja) * 2018-06-27 2022-12-12 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム
EP3557073A1 (de) * 2019-03-07 2019-10-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
EP3636933B1 (de) * 2019-09-11 2021-11-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum ermitteln einer temperatur mittels eines infrarot-sensors
EP3653885B1 (de) * 2019-11-06 2022-01-05 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum ermitteln einer zustandsinformation in einem vakuumgerät
TWI804846B (zh) * 2021-04-09 2023-06-11 致揚科技股份有限公司 高可靠性的渦輪分子泵及其系統
TWI757158B (zh) * 2021-04-21 2022-03-01 致揚科技股份有限公司 高效率的渦輪分子泵裝置
CN114320989B (zh) * 2021-12-31 2022-12-02 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵测温装置、测温方法及运转部件的测温装置
CN116231972B (zh) * 2023-01-17 2023-12-19 华南理工大学 绕线式感应水轮发电机转子绕组温度检测的系统与方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4204120A (en) * 1977-05-20 1980-05-20 Centre National D'etudes Spatiales Process and apparatus for the measurement of the factor of infra-red absorption or emission of materials
JP2004085459A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Bio Ekoonetto:Kk 赤外線温度センサーおよびそれを用いた温度測定回路並びにその測定方法
JP2004116316A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
US20120146563A1 (en) * 2009-08-19 2012-06-14 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement having an electric machine and method for operating an electric machine

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4117712A (en) * 1976-01-23 1978-10-03 Armstrong Cork Company Emissimeter and method of measuring emissivity
US4435093A (en) * 1981-12-08 1984-03-06 Bethlehem Steel Corporation Pyrometer with sighting window cleanliness monitor
JPS60169727A (ja) * 1984-02-13 1985-09-03 Agency Of Ind Science & Technol 簡易放射率計
JP2527398B2 (ja) 1992-06-05 1996-08-21 財団法人真空科学研究所 タ―ボ分子ポンプ
US5645349A (en) * 1994-01-10 1997-07-08 Thermoscan Inc. Noncontact active temperature sensor
JPH11148487A (ja) 1997-11-18 1999-06-02 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
JPH11264887A (ja) * 1998-03-17 1999-09-28 Toshiba Corp 原子炉核計装システム、このシステムを備えた原子炉出力分布監視システムおよび原子炉出力分布監視方法
CN2368020Y (zh) * 1998-10-21 2000-03-08 陈朝旺 红外线温度测量装置
JP2002202192A (ja) * 2000-10-24 2002-07-19 Tokyo Electron Ltd 温度測定方法、熱処理装置及び方法、コンピュータプログラム、並びに、放射温度計
JP2003287463A (ja) * 2002-03-28 2003-10-10 Boc Edwards Technologies Ltd 放射温度測定装置及び該放射温度測定装置を搭載したターボ分子ポンプ
GB0224709D0 (en) * 2002-10-24 2002-12-04 Boc Group Plc Improvements in dry pumps
GB0225335D0 (en) * 2002-10-31 2002-12-11 Genevac Ltd Temperature sensing in centrifugal evaporators
US7220378B2 (en) * 2004-01-07 2007-05-22 Pressco Technology Inc. Method and apparatus for the measurement and control of both the inside and outside surface temperature of thermoplastic preforms during stretch blow molding operations
JP4528019B2 (ja) * 2004-04-27 2010-08-18 株式会社大阪真空機器製作所 分子ポンプの温度制御装置
JP4673011B2 (ja) * 2004-07-05 2011-04-20 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプの温度制御装置
JP2006037739A (ja) * 2004-07-22 2006-02-09 Koyo Seiko Co Ltd ターボ分子ポンプ装置
WO2009155954A1 (de) * 2008-06-26 2009-12-30 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung mit einer elektrischen maschine sowie verfahren zum betreiben einer elektrischen maschine
WO2010006631A1 (de) * 2008-07-16 2010-01-21 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung mit einer elektrischen maschine sowie verfahren zum betreiben einer elektrischen maschine
KR20110044170A (ko) * 2008-08-19 2011-04-28 에드워즈 가부시키가이샤 진공 펌프
CN102004000B (zh) * 2010-10-21 2011-10-26 华中科技大学 用于高温高压容器内转动部件的表面温度检测系统
CN102150769B (zh) * 2011-05-19 2013-08-14 邓海波 撞击流微波加热真空闪蒸脱水浓缩机
JP2013079602A (ja) * 2011-10-04 2013-05-02 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
WO2014045438A1 (ja) * 2012-09-24 2014-03-27 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
DE102013112023A1 (de) * 2012-11-02 2014-05-08 Maxim Integrated Products, Inc. System und Verfahren zum Reduzieren der Umgebungslichtempfindlichkeit von Infrarotdetektoren (IR-Detektoren)
CN203837817U (zh) * 2014-06-04 2014-09-17 隆青强 一种红外测温系统探头校点装置
JP2016148706A (ja) * 2015-02-10 2016-08-18 コニカミノルタ株式会社 画像形成装置および温度測定装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4204120A (en) * 1977-05-20 1980-05-20 Centre National D'etudes Spatiales Process and apparatus for the measurement of the factor of infra-red absorption or emission of materials
JP2004085459A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Bio Ekoonetto:Kk 赤外線温度センサーおよびそれを用いた温度測定回路並びにその測定方法
JP2004116316A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
US20120146563A1 (en) * 2009-08-19 2012-06-14 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement having an electric machine and method for operating an electric machine

Also Published As

Publication number Publication date
TW201816371A (zh) 2018-05-01
JP2019529949A (ja) 2019-10-17
TWI766879B (zh) 2022-06-11
EP3510369A1 (en) 2019-07-17
CN109642826A (zh) 2019-04-16
WO2018046913A1 (en) 2018-03-15
KR102464713B1 (ko) 2022-11-07
CN109642826B (zh) 2023-08-15
GB201615124D0 (en) 2016-10-19
JP7273712B2 (ja) 2023-05-15
SG11201901869SA (en) 2019-03-28
US10837836B2 (en) 2020-11-17
US20190226914A1 (en) 2019-07-25
GB2553374A (en) 2018-03-07
GB2553374B (en) 2021-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102464713B1 (ko) 고속 회전 기계용 적외선 온도 센서
US20110200460A1 (en) Vacuum pump
CN102985641B (zh) 用于测量和调整在机器的定子和转子之间的间隙的方法
JP2019529949A5 (ko)
US7617686B2 (en) Method for determination of the temperature, mass-averaged over a flow cross-section, of a gas flow in a gas turbine
JP2010270755A (ja) 能動的ケーシング位置合わせ制御システム及び方法
US11650086B2 (en) Method for calibrating a rotary encoder, and rotary encoder
CN107191388B (zh) 温度控制装置以及涡轮分子泵
US6851848B2 (en) Turbo-molecular pump having radiation temperature apparatus
CN114320989B (zh) 一种分子泵测温装置、测温方法及运转部件的测温装置
US7575372B2 (en) Device for contactless measurement of rotor temperatures
KR20160119758A (ko) 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 단열 스페이서
WO2012108087A1 (ja) 真空ポンプ
US9160215B2 (en) Monitoring the operating conditions of electric generators and motors by partial measurements
KR20210020001A (ko) 진공 펌프 및 온도 제어 장치
US20200347747A1 (en) Monitoring sensor for state of blade of rotating machine, position adjustment method for sensor, and rotating machine
JPWO2019013206A1 (ja) エンコーダ及び駆動装置
CN114060304B (zh) 一种测温装置及方法
US20240026800A1 (en) Monitoring device, computer-readable storage medium for storing monitoring program and monitoring method for rotary machine, and rotary machine equipment
JP7208948B2 (ja) 温度を算出するための方法
EP4170156A1 (en) System to determine a period for warming up of a power converter and related methods
CN118076795A (zh) 旋转机械的监视控制装置、旋转机械设备、旋转机械的监视控制方法及旋转机械的监视控制程序
CN106870401A (zh) 一种在线检测轴承温度变化的轴流泵

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant