JPH11148487A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH11148487A JPH11148487A JP9317117A JP31711797A JPH11148487A JP H11148487 A JPH11148487 A JP H11148487A JP 9317117 A JP9317117 A JP 9317117A JP 31711797 A JP31711797 A JP 31711797A JP H11148487 A JPH11148487 A JP H11148487A
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- temperature
- turbo
- molecular pump
- moving blade
- infrared
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速回転中の翼車の温度を直接測定すること
ができ、又、高速回転中の翼車の温度をリアルタイムで
求めることができるターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 少なくとも一部に赤外線の高放射率の表
面部分を有する動翼と、この動翼の高放射率の表面部分
と対向する静止側の部位に赤外線放射温度センサを設け
た構成とする。高放射率の表面部分から放射される赤外
線を赤外線温度センサで検出することによって、動翼の
温度測定を行い、回転中の翼車の温度を直接にリアルタ
イムで求める。高放射率の表面部分を備えることによっ
て、動翼から放射される赤外線の放射量を増やし、表面
部分と対向して赤外線放射温度センサを設けることによ
って温度検出を行い、これによって、ターボ分子ポンプ
内で高速回転する動翼の温度測定を行う。
ができ、又、高速回転中の翼車の温度をリアルタイムで
求めることができるターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 少なくとも一部に赤外線の高放射率の表
面部分を有する動翼と、この動翼の高放射率の表面部分
と対向する静止側の部位に赤外線放射温度センサを設け
た構成とする。高放射率の表面部分から放射される赤外
線を赤外線温度センサで検出することによって、動翼の
温度測定を行い、回転中の翼車の温度を直接にリアルタ
イムで求める。高放射率の表面部分を備えることによっ
て、動翼から放射される赤外線の放射量を増やし、表面
部分と対向して赤外線放射温度センサを設けることによ
って温度検出を行い、これによって、ターボ分子ポンプ
内で高速回転する動翼の温度測定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高真空や超高真空
を得る真空ポンプに関し、特にターボ分子ポンプに関す
る。
を得る真空ポンプに関し、特にターボ分子ポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプは、高速で回転する動
翼によって排気を行っている。一般に、高速で回転する
動翼には遠心力によって高引張応力が発生する。ターボ
分子ポンプの動翼は、アルミニウム合金や炭素繊維強化
合金で作られる。これらの素材の高温での機械強度は、
室温と比較して低下する。一方、ターボ分子ポンプにお
いて、多量のガスを排気する場合、回転する翼車は排気
に伴うガスの圧縮熱や摩擦熱によって高温状態となる。
そのため、ターボ分子ポンプの動翼は、高速回転中では
機械強度が低下する。
翼によって排気を行っている。一般に、高速で回転する
動翼には遠心力によって高引張応力が発生する。ターボ
分子ポンプの動翼は、アルミニウム合金や炭素繊維強化
合金で作られる。これらの素材の高温での機械強度は、
室温と比較して低下する。一方、ターボ分子ポンプにお
いて、多量のガスを排気する場合、回転する翼車は排気
に伴うガスの圧縮熱や摩擦熱によって高温状態となる。
そのため、ターボ分子ポンプの動翼は、高速回転中では
機械強度が低下する。
【０００３】このような高温でかつ高引張応力の状態で
は、動翼にはクリープ変形が生じ、これによって動翼の
実寸法が微増する。この動翼の寸法増加が、動翼と静翼
との間で設定され微少隙間の寸法を超えると、動翼と静
翼とが接触することになる。そのため、動翼と静翼の微
少隙間を一定量に管理するために、動翼の温度を知るこ
とが求められている。
は、動翼にはクリープ変形が生じ、これによって動翼の
実寸法が微増する。この動翼の寸法増加が、動翼と静翼
との間で設定され微少隙間の寸法を超えると、動翼と静
翼とが接触することになる。そのため、動翼と静翼の微
少隙間を一定量に管理するために、動翼の温度を知るこ
とが求められている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】クリープ変形は、温度
や張力が減少しても残る塑性変形であるため、ターボ分
子ポンプを安定して動作させるには、高速回転中の動翼
の温度を管理する必要がある。動翼の温度を測定する場
合、赤外線温度センサ等を用いて温度測定を行うことが
できる。しかしながら、ターボ分子ポンプの動翼は非接
触で高速回転させられるため、直接の温度測定が困難な
構造である。又、アルミニウム等で形成される動翼から
の赤外線の放射量は微量であるため、測定値にはノイズ
分が多く含まれ、良好なＳ／Ｎ比が得難い。そのため、
このような動翼の温度測定は、実験室において可能では
あるが、真空装置に設置し、実際に駆動するターボ分子
ポンプの動翼の温度測定には適用することは困難であ
る。
や張力が減少しても残る塑性変形であるため、ターボ分
子ポンプを安定して動作させるには、高速回転中の動翼
の温度を管理する必要がある。動翼の温度を測定する場
合、赤外線温度センサ等を用いて温度測定を行うことが
できる。しかしながら、ターボ分子ポンプの動翼は非接
触で高速回転させられるため、直接の温度測定が困難な
構造である。又、アルミニウム等で形成される動翼から
の赤外線の放射量は微量であるため、測定値にはノイズ
分が多く含まれ、良好なＳ／Ｎ比が得難い。そのため、
このような動翼の温度測定は、実験室において可能では
あるが、真空装置に設置し、実際に駆動するターボ分子
ポンプの動翼の温度測定には適用することは困難であ
る。
【０００５】したがって、従来のターボ分子ポンプで
は、高速で回転する動翼の温度を直接測定することがで
きず、リアルタイムで表示、観察することができない。
そのため、従来のターボ分子ポンプでは、高速で回転す
る翼車を直接的にもあるいは間接的にも測定する手段が
無く、温度管理が不十分であるという問題点がある。
は、高速で回転する動翼の温度を直接測定することがで
きず、リアルタイムで表示、観察することができない。
そのため、従来のターボ分子ポンプでは、高速で回転す
る翼車を直接的にもあるいは間接的にも測定する手段が
無く、温度管理が不十分であるという問題点がある。
【０００６】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決し、ターボ分子ポンプにおいて、高速回転中の翼車
の温度を直接測定することを目的とし、又、高速回転中
の翼車の温度をリアルタイムで求めることを目的とす
る。
解決し、ターボ分子ポンプにおいて、高速回転中の翼車
の温度を直接測定することを目的とし、又、高速回転中
の翼車の温度をリアルタイムで求めることを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のターボ分子ポン
プは、動翼から放射される赤外線の放射量を増やし、こ
の動翼から放射された赤外線をターボ分子ポンプ内に設
置したセンサによって検出するものであり、これによっ
て、ターボ分子ポンプ内で高速回転する動翼の温度測定
を行うものである。
プは、動翼から放射される赤外線の放射量を増やし、こ
の動翼から放射された赤外線をターボ分子ポンプ内に設
置したセンサによって検出するものであり、これによっ
て、ターボ分子ポンプ内で高速回転する動翼の温度測定
を行うものである。
【０００８】そこで、本発明のターボ分子ポンプは、少
なくとも一部に赤外線の高放射率の表面部分を有する動
翼と、この動翼の高放射率の表面部分と対向する静止側
の部位に赤外線放射温度センサを設けた構成とし、高放
射率の表面部分から放射される赤外線を赤外線温度セン
サで検出することによって、動翼の温度測定を行い、回
転中の翼車の温度を直接にリアルタイムで求める。
なくとも一部に赤外線の高放射率の表面部分を有する動
翼と、この動翼の高放射率の表面部分と対向する静止側
の部位に赤外線放射温度センサを設けた構成とし、高放
射率の表面部分から放射される赤外線を赤外線温度セン
サで検出することによって、動翼の温度測定を行い、回
転中の翼車の温度を直接にリアルタイムで求める。
【０００９】赤外線を高放射率で放射する表面部分は、
動翼の全表面に設けることも、動翼の一部の表面部分に
設けることもでき、一部の表面部分に設ける場合には、
少なくとも赤外線温度センサと対向する表面部分が含ま
れるものとする。赤外線の高放射率の表面部分は、セラ
ミック材等を用いたコーティング面により構成すること
ができる。
動翼の全表面に設けることも、動翼の一部の表面部分に
設けることもでき、一部の表面部分に設ける場合には、
少なくとも赤外線温度センサと対向する表面部分が含ま
れるものとする。赤外線の高放射率の表面部分は、セラ
ミック材等を用いたコーティング面により構成すること
ができる。
【００１０】本発明のターボ分子ポンプによれば、ター
ボ分子ポンプの動翼において、高赤外線放射率の表面部
分から赤外線が放射される。この赤外線の放射量は、動
翼の温度に対応している。高赤外線放射率の表面部分に
対向して設けられた赤外線温度センサは、この放射され
た赤外線を検出する。赤外線温度センサは、ターボ分子
ポンプの静止側に、動翼と間隔を開けて設置されている
ため、動翼が高速回転している場合でも、動翼の表面か
ら放射される赤外線を検出することができる。
ボ分子ポンプの動翼において、高赤外線放射率の表面部
分から赤外線が放射される。この赤外線の放射量は、動
翼の温度に対応している。高赤外線放射率の表面部分に
対向して設けられた赤外線温度センサは、この放射され
た赤外線を検出する。赤外線温度センサは、ターボ分子
ポンプの静止側に、動翼と間隔を開けて設置されている
ため、動翼が高速回転している場合でも、動翼の表面か
ら放射される赤外線を検出することができる。
【００１１】赤外線の放射量は動翼の温度に対応してい
るため、検出した赤外線量から動翼の温度を測定するこ
とができる。
るため、検出した赤外線量から動翼の温度を測定するこ
とができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図１は本発明のターボ分
子ポンプの一構成例を説明するための概略図である。図
１において、ターボ分子ポンプ１はケースの内側にスぺ
ーサを介して取り付けられた静翼１４と、静翼１４に対
向して設置されると共に駆動軸に取り付けられて回転す
る動翼１２とによりタービン翼を形成し、動翼１２を高
速回転させることによって、吸気口１８から吸気した気
体分子を排気口１９側に移送させる構成としている。こ
のターボ分子ポンプでは、動翼１２の回転体の半径方向
に電磁石を設けたラジアル磁気軸受１５と、軸方向に電
磁石を設けたスラスト磁気軸受１６の磁気軸受を備え、
回転体に回転状態を検出する変位を電磁石とほぼ同位置
に設置してフィードバック系を構成し、各電磁石に流れ
る電流を調節して電磁石の吸引力を調節している。動翼
１２等の回転体は、モータ１１を含む駆動装置により回
転駆動される。モータ１１や電磁石には図示しないレセ
プタクルを介して駆動電力に供給が行われる。なお、停
止時には、回転体はタッチダウンベアリング１７によっ
て軸方向の支持が行われる。又、ターボ分子ポンプのベ
ース部分には冷却水を通すためのパイプ（図示していな
い）が配置されている。
参照しながら詳細に説明する。図１は本発明のターボ分
子ポンプの一構成例を説明するための概略図である。図
１において、ターボ分子ポンプ１はケースの内側にスぺ
ーサを介して取り付けられた静翼１４と、静翼１４に対
向して設置されると共に駆動軸に取り付けられて回転す
る動翼１２とによりタービン翼を形成し、動翼１２を高
速回転させることによって、吸気口１８から吸気した気
体分子を排気口１９側に移送させる構成としている。こ
のターボ分子ポンプでは、動翼１２の回転体の半径方向
に電磁石を設けたラジアル磁気軸受１５と、軸方向に電
磁石を設けたスラスト磁気軸受１６の磁気軸受を備え、
回転体に回転状態を検出する変位を電磁石とほぼ同位置
に設置してフィードバック系を構成し、各電磁石に流れ
る電流を調節して電磁石の吸引力を調節している。動翼
１２等の回転体は、モータ１１を含む駆動装置により回
転駆動される。モータ１１や電磁石には図示しないレセ
プタクルを介して駆動電力に供給が行われる。なお、停
止時には、回転体はタッチダウンベアリング１７によっ
て軸方向の支持が行われる。又、ターボ分子ポンプのベ
ース部分には冷却水を通すためのパイプ（図示していな
い）が配置されている。
【００１３】ターボ分子ポンプ１の動翼１２の表面に
は、赤外線を高放射率で放射するための表面部分２１を
設ける。図１では、高放射率の表面部分２１の設置例と
して、動翼１２のロータ軸上の表面部分２１ａとスクリ
ューネジ１３の端部の表面部分２１ｂに高放射率のコー
ティングを設けた例を示している。そして、ターボ分子
ポンプ１の静止側には、この表面部分２１に対向する位
置に赤外線温度センサ２２を設け、これによって、表面
部分２１から放射される赤外線の検出を行う。
は、赤外線を高放射率で放射するための表面部分２１を
設ける。図１では、高放射率の表面部分２１の設置例と
して、動翼１２のロータ軸上の表面部分２１ａとスクリ
ューネジ１３の端部の表面部分２１ｂに高放射率のコー
ティングを設けた例を示している。そして、ターボ分子
ポンプ１の静止側には、この表面部分２１に対向する位
置に赤外線温度センサ２２を設け、これによって、表面
部分２１から放射される赤外線の検出を行う。
【００１４】図１に示す例では、表面部分２１ａに対向
する位置に赤外線温度センサ２２ａを設置し、表面部分
２１ｂに対向する位置に赤外線温度センサ２２ｂを設置
している。赤外線温度センサ２２で検出した検出信号
は、センサ信号取り出し口２３から外部に取り出すこと
ができ、温度検出手段（図１に示していない）等の信号
処理部分に送信される。
する位置に赤外線温度センサ２２ａを設置し、表面部分
２１ｂに対向する位置に赤外線温度センサ２２ｂを設置
している。赤外線温度センサ２２で検出した検出信号
は、センサ信号取り出し口２３から外部に取り出すこと
ができ、温度検出手段（図１に示していない）等の信号
処理部分に送信される。
【００１５】なお、図１では、赤外線の高放射面を動翼
１２の表面部分２１ａ及び表面部分２１ｂに設けた例を
示しているが、赤外線の高放射面を動翼１２の他の表面
に設けることも、又動翼１２の全表面に設けることもで
きる。又、赤外線温度センサ２２についても、表面部分
２１ａ及び表面部分２１ｂに対向する部分に限定される
ものではなく、動翼１２に設けられた赤外線の高放射面
に対向する位置であれば、ターボ分子ポンプ１の静止側
の任意の位置に設けることができる。
１２の表面部分２１ａ及び表面部分２１ｂに設けた例を
示しているが、赤外線の高放射面を動翼１２の他の表面
に設けることも、又動翼１２の全表面に設けることもで
きる。又、赤外線温度センサ２２についても、表面部分
２１ａ及び表面部分２１ｂに対向する部分に限定される
ものではなく、動翼１２に設けられた赤外線の高放射面
に対向する位置であれば、ターボ分子ポンプ１の静止側
の任意の位置に設けることができる。
【００１６】図２は本発明のターボ分子ポンプの動翼の
温度検出及び信号処理を行う構成を説明するための概略
構成図である。この図２に示す構成例では、ターボ分子
ポンプ１中のモータ１１に電力を供給する電源装置２側
に動翼１２の温度を求める機構を設けた例である。な
お、この動翼の温度を求める機構は、電源装置２側に限
らず、ターボ分子ポンプ１側や制御装置７側に設けるこ
とも、又、単独に設けることもできる。
温度検出及び信号処理を行う構成を説明するための概略
構成図である。この図２に示す構成例では、ターボ分子
ポンプ１中のモータ１１に電力を供給する電源装置２側
に動翼１２の温度を求める機構を設けた例である。な
お、この動翼の温度を求める機構は、電源装置２側に限
らず、ターボ分子ポンプ１側や制御装置７側に設けるこ
とも、又、単独に設けることもできる。
【００１７】図２の構成例において、電源装置２はター
ボ分子ポンプ１のモータ１１に駆動電力を供給する装置
であり、図示しない外部電源と接続しているモータ駆動
用インバータからケーブルを介してモータ１１と接続し
ている。
ボ分子ポンプ１のモータ１１に駆動電力を供給する装置
であり、図示しない外部電源と接続しているモータ駆動
用インバータからケーブルを介してモータ１１と接続し
ている。
【００１８】以下、電源装置２内に設けた温度検出及び
求めた温度を用いた処理の構成について説明する。な
お、ここでは、温度を用いた処理として、異常温度の検
出と警報の発生、及び高温度で生じるクリープ変形の検
出と警報の発生を例として説明する。
求めた温度を用いた処理の構成について説明する。な
お、ここでは、温度を用いた処理として、異常温度の検
出と警報の発生、及び高温度で生じるクリープ変形の検
出と警報の発生を例として説明する。
【００１９】電源装置２内には、赤外線温度センサ２２
からの検出信号を入力して温度検出を行う温度検出手段
３と、温度検出手段３からのアナログ信号をディジタル
信号に変換するＡＤ変換手段４と、ＡＤ変換手段４から
のディジタル信号を入力して演算処理を行う演算手段５
と、ＡＤ変換手段４からのディジタル信号や演算結果の
制御装置７への送信や、制御装置７からの制御信号の受
信等の、演算手段５との間で信号の授受を行う通信ポー
ト６を備える。
からの検出信号を入力して温度検出を行う温度検出手段
３と、温度検出手段３からのアナログ信号をディジタル
信号に変換するＡＤ変換手段４と、ＡＤ変換手段４から
のディジタル信号を入力して演算処理を行う演算手段５
と、ＡＤ変換手段４からのディジタル信号や演算結果の
制御装置７への送信や、制御装置７からの制御信号の受
信等の、演算手段５との間で信号の授受を行う通信ポー
ト６を備える。
【００２０】温度検出手段３は、赤外線温度センサ２２
からの検出信号を用いて表示を行ったり、設定温度との
比較を行い、検出した温度が設定温度以上の場合に、異
常温度に達したものと判定して、警報を出力することが
できる。なお、図では表示手段は示していない。又、Ａ
Ｄ変換手段４は演算手段５によって演算を行わせるため
にアナログ信号をディジタル信号に変換する手段である
が、このＡＤ変換の機能は温度検出手段３あるいは演算
手段５に設けることもできる。
からの検出信号を用いて表示を行ったり、設定温度との
比較を行い、検出した温度が設定温度以上の場合に、異
常温度に達したものと判定して、警報を出力することが
できる。なお、図では表示手段は示していない。又、Ａ
Ｄ変換手段４は演算手段５によって演算を行わせるため
にアナログ信号をディジタル信号に変換する手段である
が、このＡＤ変換の機能は温度検出手段３あるいは演算
手段５に設けることもできる。
【００２１】演算手段５は、温度の検出信号を用いて所
定の演算処理を行う機能部分であり、演算によって、例
えば、クリープ変形量の検出や、クリープ変形量が設定
値を超えた場合の警報等の発生を行うことができる。こ
のクリープについての演算処理では、あらかじめ設定し
た設定温度上限値に対して、測定した動翼の温度が設定
温度上限値を一定時間以上続行して超えている場合、こ
の間の動翼のクリープ変形を算出して積算し、この積産
値が所定の許容量を超えた場合にアラーム表示とのメッ
セージ表示を行う。又、この演算結果は、演算手段５内
の記憶手段（図示していない）に記憶することができ、
通信ポート６を介して制御装置７に送信することができ
る。
定の演算処理を行う機能部分であり、演算によって、例
えば、クリープ変形量の検出や、クリープ変形量が設定
値を超えた場合の警報等の発生を行うことができる。こ
のクリープについての演算処理では、あらかじめ設定し
た設定温度上限値に対して、測定した動翼の温度が設定
温度上限値を一定時間以上続行して超えている場合、こ
の間の動翼のクリープ変形を算出して積算し、この積産
値が所定の許容量を超えた場合にアラーム表示とのメッ
セージ表示を行う。又、この演算結果は、演算手段５内
の記憶手段（図示していない）に記憶することができ、
通信ポート６を介して制御装置７に送信することができ
る。
【００２２】なお、演算手段５は、クリープ変形を算出
するための演算式，演算に用いる係数，経過時間を測定
するタイマ等，演算値を記憶しておく記憶手段等を内部
に備える構成、または、これら他に設けている各手段と
の間で信号の授受が可能な構成としている。
するための演算式，演算に用いる係数，経過時間を測定
するタイマ等，演算値を記憶しておく記憶手段等を内部
に備える構成、または、これら他に設けている各手段と
の間で信号の授受が可能な構成としている。
【００２３】上記の構成により、高速回転中の翼車の温
度を直接測定することを目的とし、又、高速回転中の翼
車の温度をリアルタイムで求めることができる。
度を直接測定することを目的とし、又、高速回転中の翼
車の温度をリアルタイムで求めることができる。
【００２４】次に、図３を用いてクリープ変形量を検
出、及び、クリープ変形量が設定値を超えた場合の処理
について、さらに詳細に説明する。
出、及び、クリープ変形量が設定値を超えた場合の処理
について、さらに詳細に説明する。
【００２５】一般に、クリープは一定の荷重または応力
の下に時間の経過とともにひずみが増加する塑性変形で
ある。このクリープは温度と密接な関係にあり、通常、
材料により定まる所定の温度以上において顕著となる。
の下に時間の経過とともにひずみが増加する塑性変形で
ある。このクリープは温度と密接な関係にあり、通常、
材料により定まる所定の温度以上において顕著となる。
【００２６】この材料により定まる所定温度以上におい
て、ひずみが成長するクリープ率（ひずみの速度）ｕ
は、ｕ＝Ａ・σn で表され、ノートン則から発生するク
リープ変形量εは、クリープ率ｕと時間ｔの積（ε＝ｕ
・ｔ＝Ａ・σn ・ｔ）で表される。なお、σは応力であ
り、Ａ，ｎは材料及び温度により異なる材料定数であ
る。
て、ひずみが成長するクリープ率（ひずみの速度）ｕ
は、ｕ＝Ａ・σn で表され、ノートン則から発生するク
リープ変形量εは、クリープ率ｕと時間ｔの積（ε＝ｕ
・ｔ＝Ａ・σn ・ｔ）で表される。なお、σは応力であ
り、Ａ，ｎは材料及び温度により異なる材料定数であ
る。
【００２７】ここで、クリープ変形量の算出を開始する
設定温度，および設定時間をａ，Ｔとし、アラーム表示
を行うクリープ変形量をｂとする。図３（ａ）の温度変
化において、設定温度ａを超えている時間はｔ１とｔ２
であり、この間のクリープ変形量εはε１＝ｕ・ｔ１，
及びε２＝ｕ・ｔ２となる。演算手段５は、クリープ率
ｕと経過時間ｔとを入力し、このクリープ変形量εの算
出を行う。
設定温度，および設定時間をａ，Ｔとし、アラーム表示
を行うクリープ変形量をｂとする。図３（ａ）の温度変
化において、設定温度ａを超えている時間はｔ１とｔ２
であり、この間のクリープ変形量εはε１＝ｕ・ｔ１，
及びε２＝ｕ・ｔ２となる。演算手段５は、クリープ率
ｕと経過時間ｔとを入力し、このクリープ変形量εの算
出を行う。
【００２８】図３（ｂ）はクリープ変形量εの積算を表
しており、図３（ａ）から得られるクリープ変形量εを
積算した積算値Σε（＝ε１＋ε２）を示している。こ
の積算値Σεがアラーム表示を行うクリープ変形量ｂを
超えた時点で、図３（ｃ）に示すアラームを出力する。
しており、図３（ａ）から得られるクリープ変形量εを
積算した積算値Σε（＝ε１＋ε２）を示している。こ
の積算値Σεがアラーム表示を行うクリープ変形量ｂを
超えた時点で、図３（ｃ）に示すアラームを出力する。
【００２９】なお、図３（ａ），（ｂ）では、クリープ
変形量εの算出演算を、温度が設定温度ａを超え、設定
時間Ｔを超える毎に行う場合を示しているが、設定時間
Ｔよりも長い時間Ｔ２を設定し（図示していない）、こ
の時間Ｔ２内において、設定温度ａを超えた時間を積算
し、この積算時間が設定時間Ｔを超えた場合に、クリー
プ変形量εの算出演算を行う態様とすることもできる。
変形量εの算出演算を、温度が設定温度ａを超え、設定
時間Ｔを超える毎に行う場合を示しているが、設定時間
Ｔよりも長い時間Ｔ２を設定し（図示していない）、こ
の時間Ｔ２内において、設定温度ａを超えた時間を積算
し、この積算時間が設定時間Ｔを超えた場合に、クリー
プ変形量εの算出演算を行う態様とすることもできる。
【００３０】なお、上記例では、温度が設定温度ａ以下
の場合、及び設定温度ａを超えている時間が設定時間Ｔ
以下の場合には、クリープ変形量εは無視できる程度に
十分小さいものとしている。
の場合、及び設定温度ａを超えている時間が設定時間Ｔ
以下の場合には、クリープ変形量εは無視できる程度に
十分小さいものとしている。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のターボ分
子ポンプによれば、高速回転中の翼車の温度を求めるこ
とができ、又、高速回転中の翼車の温度をリアルタイム
で求めることができる。
子ポンプによれば、高速回転中の翼車の温度を求めるこ
とができ、又、高速回転中の翼車の温度をリアルタイム
で求めることができる。
【図１】本発明のターボ分子ポンプの一構成例を説明す
るための概略図である。
るための概略図である。
【図２】本発明のターボ分子ポンプの動翼の温度を求め
る構成を説明するための概略構成図である。
る構成を説明するための概略構成図である。
【図３】本発明のターボ分子ポンプの動翼の温度及び変
形量の関係を説明するための図である。
形量の関係を説明するための図である。
１…ターボ分子ポンプ、２…電源装置、３…温度検出手
段、４…ＡＤ変換手段、５…演算手段、６…通信ポー
ト、７…制御装置、１１…モータ、１２…動翼、１３…
スクリューネジ、１４…静翼、１５，１６…磁気軸受、
１７…タッチダウン軸受、１８…吸気口、１９…排気
口、２１…表面部分、２２…赤外線温度センサ。
段、４…ＡＤ変換手段、５…演算手段、６…通信ポー
ト、７…制御装置、１１…モータ、１２…動翼、１３…
スクリューネジ、１４…静翼、１５，１６…磁気軸受、
１７…タッチダウン軸受、１８…吸気口、１９…排気
口、２１…表面部分、２２…赤外線温度センサ。
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも一部に赤外線の高放射率の表
面部分を有する動翼と、前記表面部分と対向する静止側
の部位に設けた赤外線放射温度センサとを備え、前記赤
外線温度センサによって、動翼から放出される赤外線を
検出して動翼の温度測定を行うターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9317117A JPH11148487A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9317117A JPH11148487A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11148487A true JPH11148487A (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18084634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9317117A Pending JPH11148487A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11148487A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001329991A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-30 | Alps Electric Co Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JP2012007532A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| WO2018046913A1 (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | Edwards Limited | Infrared temperature sensor for a high speed rotating machine |
| JP2020165426A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-10-08 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
| JP2021017887A (ja) * | 2019-07-17 | 2021-02-15 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプのロータの回転数制御 |
-
1997
- 1997-11-18 JP JP9317117A patent/JPH11148487A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001329991A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-30 | Alps Electric Co Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JP2012007532A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| WO2018046913A1 (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | Edwards Limited | Infrared temperature sensor for a high speed rotating machine |
| US10837836B2 (en) | 2016-09-06 | 2020-11-17 | Edwards Limited | Temperature sensor for a high speed rotating machine |
| JP2020165426A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-10-08 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
| JP2021017887A (ja) * | 2019-07-17 | 2021-02-15 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプのロータの回転数制御 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040601 |
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| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071023 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080306 |