KR20190041983A

KR20190041983A - 증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 및 표시 장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20190041983A
Application number: KR1020190039787A
Authority: KR
Inventors: 미키오 신노
Original assignee: 도판 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2017-10-13
Filing date: 2019-04-04
Publication date: 2019-04-23
Also published as: DE102018106690A1; TW201915198A; CN108950473A; TWI658160B; TWI744612B; CN111575647A; US20190112699A1; KR102268199B1; JP6299922B1; KR102268199B9; JP2019073762A; KR20190041894A; DE102018106690B4; TW201923116A; CN108950473B

Abstract

복수의 구멍을 에칭에 의해 형성하여 증착 마스크를 제조하기 위해 사용되는, 띠상을 가진 금속판인 증착 마스크용 기재로서, 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 금속판의 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고, 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고, 물결의 길이에 대한 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이며, 길이 방향에 있어서의 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고, 단위길이의 금속판에 있어서의 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이며, 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하이다.

Description

증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 및 표시 장치의 제조 방법{VAPOR DEPOSITION MASK SUBSTRATE, VAPOR DEPOSITION MASK SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD, VAPOR DEPOSITION MASK MANUFACTURING METHOD, AND DISPLAY DEVICE MANUFACTURING METHOD}

본 발명은, 증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

증착 마스크는, 제 1 면과, 제 2 면과, 제 1 면으로부터 제 2 면까지를 관통하는 구멍을 구비한다. 제 1 면은, 기판 등의 대상물과 대향하고, 제 2 면은, 제 1 면과는 반대측에 위치한다. 구멍은, 제 1 면에 위치하는 제 1 개구와, 제 2 면에 위치하는 제 2 개구를 구비한다. 제 2 개구로부터 구멍으로 들어가는 증착 물질은, 제 1 개구의 위치나 제 1 개구의 형상에 추종한 패턴을 대상물에 형성한다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).

일본 공개특허공보 2015-055007호

증착 마스크가 구비하는 구멍은, 제 1 개구로부터 제 2 개구를 향하여 확대되는 단면적을 갖고, 그것에 의해 제 2 개구로부터 구멍으로 들어가는 증착 물질의 수량을 늘려, 제 1 개구에 도달하는 증착 물질의 수량을 확보한다. 한편, 제 2 개구로부터 구멍으로 들어가는 증착 물질의 적어도 일부는, 제 1 개구에 도달하지 않고, 구멍을 구획하는 벽면에 부착된다. 벽면에 부착된 증착 물질은, 다른 증착 물질에 의한 구멍의 통과를 방해하여, 패턴이 갖는 치수의 정밀도를 저하시킨다.

최근에는, 벽면에 부착되는 증착 물질의 체적을 저하시키는 것을 목적으로 하여, 증착 마스크의 두께를 얇게 하여, 벽면의 면적 그 자체를 축소시키는 것이 검토되고 있다. 그리고, 증착 마스크의 두께를 얇게 하는 기술로서, 증착 마스크를 제조하기 위한 기재인 금속판의 두께 그 자체를 얇게 하는 것이 검토되고 있다.

한편, 금속판에 구멍을 형성하는 에칭 공정에서는, 금속판의 두께가 얇아질수록 제거되는 금속의 체적이 작아진다. 그 때문에, 금속판에 에칭액을 공급하는 시간이나, 공급되는 에칭액의 온도 등의 가공 조건의 허용 범위가 좁아지게 된다. 결과적으로 제 1 개구나 제 2 개구의 치수에 충분한 정밀도를 얻는 것이 어려워지고 있다. 특히, 금속판을 제조하는 기술에서는, 롤러에 의해 모재를 늘이는 압연이나, 전극에 석출된 금속판을 전극으로부터 박리하는 전해가 이용되어, 금속판 그 자체에 물결 형상이 형성되어 있다. 이러한 형상을 갖는 금속판에서는, 금속판과 에칭액이 접촉하는 시간은, 예를 들어 물결 형상의 산부와 물결 형상의 계곡부 간에서 크게 상이하게 된다. 그렇기 때문에, 상기 허용 범위의 협소화에 수반하는 정밀도의 저하를 더욱 심각화시키고 있다. 이상과 같이, 증착 마스크의 두께를 얇게 하는 기술은, 벽면에 부착되는 증착 물질의 양을 저하시키고, 그것에 의해 증착의 반복에서의 패턴의 치수 정밀도를 높일 수 있지만, 증착마다에서는, 패턴의 치수에 필요한 정밀도를 얻기 어렵다고 하는 과제를 새롭게 초래시키고 있다.

본 발명의 목적은, 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 향상 가능하게 한 증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크용 기재는, 복수의 구멍을 에칭에 의해 형성하여 증착 마스크를 제조하기 위해 사용되는, 띠상 (帶狀) 을 가진 금속판인 증착 마스크용 기재로서, 상기 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 상기 금속판의 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 상기 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 상기 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고, 상기 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고, 상기 물결의 길이에 대한 상기 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이고, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고, 상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이며, 상기 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하이다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크용 기재의 제조 방법은, 복수의 구멍을 에칭에 의해 형성하여 증착 마스크를 제조하기 위해 사용되는, 띠상을 가진 금속판인 증착 마스크용 기재의 제조 방법으로서, 모재를 압연하여 상기 금속판을 얻는 것을 포함하고, 상기 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 상기 금속판의 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 상기 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 상기 금속판의 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고, 상기 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고, 상기 물결의 길이에 대한 상기 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이고, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고, 상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이고, 상기 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하이도록 상기 모재를 압연한다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크의 제조 방법은, 띠상을 가진 금속판에 레지스트층을 형성하는 것과, 상기 레지스트층을 마스크로 한 에칭에 의해 상기 금속판에 복수의 구멍을 형성하여 마스크부를 형성하는 것을 포함하는 증착 마스크의 제조 방법으로서, 상기 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 상기 금속판의 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 상기 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 상기 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고, 상기 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고, 상기 물결의 길이에 대한 상기 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이고, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고, 상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이며, 상기 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하이다.

상기 증착 마스크용 기재에 의하면, 단위길이에 있어서의 금속판의 폭 방향에서의 급준도의 최대값이 0.5 이하이기 때문에, 길이 방향으로 반송되는 증착 마스크용 기재의 표면에 액체를 공급한다고 해도, 증착 마스크용 기재의 표면에서 균일하게 액체를 흐르게 하기 쉽다. 결과적으로, 길이 방향으로 반송되는 증착 마스크용 기재의 표면에 공급된 액체가 길이 방향의 일부에서 고이는 것이 억제된다. 그리고, 에칭액 등의 액체에 의한 처리를 이용한 길이 방향에서의 가공의 균일성, 즉 증착 마스크용 기재가 갖는 구멍의 길이 방향에서의 균일성, 나아가서는 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

상기 증착 마스크용 기재에 있어서, 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서, 상기 폭 방향에 포함되는 모든 물결의 단위급준도 중의 최대값이, 제 2 급준도이고, 상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 제 2 급준도의 평균값이, 0.25 ％ 이하여도 된다. 이 증착 마스크용 기재에 의하면, 폭 방향에서의 급준도가 단위길이의 전체에서 억제되기 때문에, 패턴의 정밀도를 더욱 향상시키는 것이 가능해진다.

상기 증착 마스크용 기재에 있어서, 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서, 상기 폭 방향에 포함되는 물결의 수가, 그 위치에서의 물결수이고, 상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 물결수의 최대값이 4 이하여도 된다. 이 증착 마스크용 기재에 의하면, 폭 방향에 포함되는 물결의 수가 4 개 이하이고, 또한 각 물결의 단위급준도가 0.5 ％ 이하이기 때문에, 증착 마스크용 기재의 표면에서의 액체의 고임을 더욱 억제하는 것이 가능해진다.

상기 증착 마스크용 기재에 있어서, 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서, 상기 폭 방향에 포함되는 물결의 수가, 그 위치에서의 물결수이고, 상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 물결수의 평균값이 2 개 이하여도 된다. 이 증착 마스크용 기재에 의하면, 폭 방향에서의 물결수가 단위길이의 전체에서 억제되기 때문에, 패턴의 정밀도를 더욱 향상시키는 것이 가능해진다.

상기 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 마스크부를 형성하는 것은, 단일의 상기 금속판에 복수의 상기 마스크부를 형성하는 것이고, 상기 각 마스크부가, 상기 복수의 구멍을 가진 1 개의 측면을 각각 구비하고, 상기 각 마스크부의 측면과, 1 체의 프레임부를, 상기 복수의 구멍을 상기 마스크부마다 상기 1 체의 프레임부가 둘러싸도록, 서로 접합하는 것을 추가로 포함해도 된다. 이 증착 마스크의 제조 방법에 의하면, 각 마스크부의 측면과, 1 체의 프레임부가 접합되기 때문에, 복수의 마스크부를 구비한 증착 마스크에 있어서, 각 마스크부에 있어서의 형상의 안정성을 높이는 것도 가능해진다.

상기 과제를 해결하기 위한 표시 장치의 제조 방법은, 상기 증착 마스크의 제조 방법에 의한 증착 마스크를 준비하는 것과, 상기 증착 마스크를 사용한 증착에 의해 패턴을 형성하는 것을 포함한다.

상기 각 구성에 의하면, 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1 은 증착 마스크용 기재를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 측정용 기재를 나타내는 평면도이다.
도 3 은 급준도를 설명하기 위한 그래프를 측정용 기재의 단면 구조와 함께 나타내는 도면이다.
도 4 는 마스크 장치의 평면 구조를 나타내는 평면도이다.
도 5 는 마스크부의 단면 구조의 일례를 부분적으로 나타내는 단면도이다.
도 6 은 마스크부의 단면 구조의 다른 예를 부분적으로 나타내는 단면도이다.
도 7 은 마스크부의 가장자리와 프레임부의 접합 구조의 일례를 부분적으로 나타내는 단면도이다.
도 8 은 마스크부의 가장자리와 프레임부의 접합 구조의 다른 예를 부분적으로 나타내는 단면도이다.
도 9 의 (a) 는 증착 마스크의 평면 구조의 일례를 나타내는 평면도, (b) 는 증착 마스크의 단면 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 10 의 (a) 는 증착 마스크의 평면 구조의 다른 예를 나타내는 평면도, (b) 는 증착 마스크의 단면 구조의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 11 은 증착 마스크용 기재를 제조하기 위한 압연 공정을 나타내는 공정도이다.
도 12 는 증착 마스크용 기재를 제조하기 위한 가열 공정을 나타내는 공정도이다.
도 13 은 마스크부를 제조하기 위한 에칭 공정을 나타내는 공정도이다.
도 14 는 마스크부를 제조하기 위한 에칭 공정을 나타내는 공정도이다.
도 15 는 마스크부를 제조하기 위한 에칭 공정을 나타내는 공정도이다.
도 16 은 마스크부를 제조하기 위한 에칭 공정을 나타내는 공정도이다.
도 17 은 마스크부를 제조하기 위한 에칭 공정을 나타내는 공정도이다.
도 18 은 마스크부를 제조하기 위한 에칭 공정을 나타내는 공정도이다.
도 19 의 (a) ∼ (h) 는 증착 마스크의 제조 방법의 일례를 설명하는 공정도이다.
도 20 의 (a) ∼ (e) 는 증착 마스크의 제조 방법의 일례를 설명하는 공정도이다.
도 21 의 (a) ∼ (f) 는 증착 마스크의 제조 방법의 일례를 설명하는 공정도이다.
도 22 는 각 실시예에서의 측정용 기재의 평면 구조를 치수와 함께 나타내는 평면도이다.

도 1 내지 도 22 를 참조하여, 증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 및 표시 장치의 제조 방법의 일실시형태를 설명한다.

[증착 마스크용 기재의 구성]

도 1 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 기재 (1) 는, 띠상을 가진 금속판이다. 증착 마스크용 기재 (1) 는, 길이 방향 (DL) 의 각 위치에서, 폭 방향 (DW) 으로 반복되는 물결을 가진 물결 형상을 갖는다. 증착 마스크용 기재 (1) 의 길이 방향 (DL) 에서의 각 위치는, 서로 상이한 물결 형상을 갖는다. 서로 상이한 물결 형상에서는, 물결 형상에 포함되는 물결 (요철) 의 수, 물결의 길이, 물결의 높이 등이 서로 상이하다. 또한, 도 1 에서는, 설명을 위해, 증착 마스크용 기재 (1) 가 갖는 형상을 실제보다도 과장하여 나타낸다. 증착 마스크용 기재 (1) 가 갖는 두께는, 10 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이다. 증착 마스크용 기재 (1) 가 갖는 두께의 균일성은, 예를 들어 두께의 평균값에 대한, 두께의 최대값과 두께의 최소값의 차분의 비율이, 5 ％ 이하이다.

증착 마스크용 기재 (1) 를 구성하는 재료는, 니켈, 혹은 철니켈 합금이고, 예를 들어 30 질량％ 이상의 니켈을 포함하는 철니켈 합금, 그 중에서도 36 질량％ 니켈과 64 질량％ 철의 합금을 주성분으로 하는, 즉 인바인 것이 바람직하다. 36 질량％ 니켈과 64 질량％ 철의 합금을 주성분으로 하는 경우, 잔여분은 크롬, 망간, 탄소, 코발트 등의 첨가물을 포함한다. 증착 마스크용 기재 (1) 를 구성하는 재료가 인바인 경우, 증착 마스크용 기재 (1) 의 열팽창 계수는, 예를 들어 1.2 × 10^-6/℃ 정도이다. 이와 같은 열팽창 계수를 갖는 증착 마스크용 기재 (1) 이면, 증착 마스크용 기재 (1) 로 제조되는 마스크에서의 열팽창에 의한 크기의 변화와, 유리 기판이나 폴리이미드 시트에서의 열팽창에 의한 크기의 변화가 동일한 정도이기 때문에, 증착 대상의 일례로서 유리 기판이나 폴리이미드 시트를 사용하는 것이 바람직하다.

[급준도]

증착 마스크용 기재 (1) 가 수평면에 재치 (載置) 된 상태에 있어서, 수평면에 대한 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면의 위치 (높이) 가 표면 위치이다.

도 2 가 나타내는 바와 같이, 표면 위치의 계측에서는, 먼저 압연되거나, 혹은 전해로 제작된 금속판의 폭 방향 (DW) 에서의 치수가 폭 (W) 이 되도록 금속판이 절단되고, 띠상을 가진 금속판인 증착 마스크용 기재 (1) 가 롤상으로 권회된다. 이어서, 증착 마스크용 기재 (1) 가 폭 방향 (DW) 의 전체 (전체폭) 에 있어서 절단되는 슬릿 공정이 실시되어, 증착 마스크용 기재 (1) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서의 일부분으로서 측정용 기재 (2M) 가 잘라내어진다. 측정용 기재 (2M) 의 폭 방향 (DW) 에서의 폭 (W) 은, 증착 마스크용 기재 (1) 의 폭 방향 (DW) 에서의 치수와 동일하다. 이어서, 측정용 기재 (2M) 의 표면 (2S) 에 대해, 길이 방향 (DL) 의 소정 간격마다, 폭 방향 (DW) 의 각 위치에서의 표면 위치가 계측된다. 표면 위치가 계측되는 범위는, 계측 범위 (ZL) 이다.

계측 범위 (ZL) 는, 측정용 기재 (2M) 의 길이 방향 (DL) 에서의 양방의 단부 (端部) 인 비계측 범위 (ZE) 를 제외한 범위이다. 계측 범위 (ZL) 는, 측정용 기재 (2M) 의 폭 방향 (DW) 에서의 양 단부인 도시되지 않은 비계측 범위를 제외한 범위이기도 하다. 증착 마스크용 기재 (1) 를 절단하는 슬릿 공정은, 증착 마스크용 기재 (1) 와는 상이한 새로운 물결 형상을 측정용 기재에 형성할 수 있다. 각 비계측 범위 (ZE) 의 길이 방향 (DL) 에서의 길이는, 이러한 새로운 물결 형상이 형성될 수 있는 길이이며, 비계측 범위 (ZE) 는 표면 위치의 측정으로부터는 제외된다. 각 비계측 범위 (ZE) 가 갖는 길이 방향 (DL) 에서의 길이는, 예를 들어 100 mm 이다. 폭 방향에 있어서도, 슬릿 공정에 의한 새로운 물결 형상을 제외하기 때문에, 비계측 범위의 폭 방향 (DW) 에서의 길이는, 폭 방향 (DW) 의 끝으로부터 예를 들어 10 mm 이다.

도 3 은, 측정용 기재 (2M) 의 폭 방향 (DW) 의 각 위치에서의 표면 위치의 일례를 나타내는 그래프이며, 측정용 기재 (2M) 의 폭 방향 (DW) 을 포함하는 단면에서의 단면 구조와 함께 표면 위치를 나타내는 도면이다. 또한, 도 3 에서는, 길이 방향 (DL) 의 각 부위 중, 폭 방향 (DW) 으로 3 개의 물결을 갖는 부위의 예를 나타낸다.

도 3 이 나타내는 바와 같이, 표면 위치가 측정되는 폭 방향 (DW) 의 각 위치는, 증착 마스크용 기재 (1) 의 물결 형상을 모사하는 것이 가능한 간격으로 배열된다. 표면 위치가 측정되는 폭 방향 (DW) 의 각 위치는, 예를 들어 폭 방향 (DW) 으로 1 mm 이상 20 mm 이하의 간격으로 배열된다. 폭 방향 (DW) 에서의 각 위치의 표면 위치를 잇는 선 (LC) 은, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면을 따르는 선으로 간주되고, 선 (LC) 의 길이는, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 연면 거리이다. 선 (LC) 에 포함되는 각 물결에 있어서, 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향 (DW) 에서의 직선의 길이는, 물결의 길이 (L1, L2, L3) 이다. 선 (LC) 에 포함되는 각 물결에 있어서, 물결에 있어서의 골짜기 사이를 잇는 직선에 대한 높이는, 물결의 높이 (HW1, HW2, HW3) 이다. 증착 마스크용 기재 (1) 의 단위급준도는, 물결의 길이에 대한 물결의 높이의 백분율이고, 도 3 에 나타내는 예에서는, 높이 (HW1)/길이 (L1) × 100 (％), 높이 (HW2)/길이 (L2) × 100 (％), 및 높이 (HW3)/길이 (L3) × 100 (％) 이다. 또한, 폭 방향 (DW) 의 끝에 물결의 피크가 위치하는 경우에는, 폭 방향 (DW) 에 있어서, 물결의 길이는, 피크로부터 물결의 골짜기까지의 길이의 2 배로서 추정한다.

증착 마스크용 기재 (1) 의 길이 방향 (DL) 에서의 단위길이는, 500 mm 이다.

증착 마스크용 기재 (1) 의 제 1 급준도는, 증착 마스크용 기재 (1) 의 단위길이와 폭 (W) 을 갖는 부분에 포함되는 모든 물결의 단위급준도 중의 최대값이다.

증착 마스크용 기재 (1) 의 제 2 급준도는, 길이 방향 (DL) 에서의 각 위치에 있어서, 폭 방향 (DW) 에 포함되는 모든 물결의 단위급준도 중의 최대값이다. 즉, 증착 마스크용 기재 (1) 의 제 1 급준도는, 단위길이에 있어서의 제 2 급준도의 최대값이기도 하다.

증착 마스크용 기재 (1) 의 길이 방향 (DL) 에서의 각 위치에 있어서, 폭 방향 (DW) 에 포함되는 물결의 수가, 그 위치에서의 물결수이다.

증착 마스크용 기재 (1) 의 제 1 급준도는, 하기 [조건 1] 을 만족한다. 증착 마스크용 기재 (1) 의 폭 방향 (DW) 에서의 급준도에서는, 제 2 급준도가 하기 [조건 2] 를 만족하고, 물결수가 [조건 3], 및 [조건 4] 를 만족하는 것이 바람직하다.

[조건 1] 제 1 급준도가 0.5 ％ 이하이다.

[조건 2] 제 2 급준도의 평균값이 0.25 ％ 이하이다.

[조건 3] 단위길이당의 물결수의 최대값이 4 개 이하이다.

[조건 4] 단위길이당의 물결수의 평균값이 2 개 이하이다.

[조건 1] 을 만족하는 증착 마스크용 기재 (1) 에서는, 폭 방향 (DW) 에서의 급준도인 단위급준도의 최대값이 0.5 ％ 이하이기 때문에, 길이 방향 (DL) 으로부터 볼 때, 가파른 경사를 수반하는 돌출, 혹은 오목부에 의한 물결이 존재하지 않는다. 가파른 경사를 수반하는 돌출이나 오목부에서는, 그곳에 공급되는 액체가 주위와 비교해 고이기 쉽고, 이러한 물결이 존재하는지 여부는, 단위급준도의 평균값 등으로는 얻어지기 어려운 정보이다. 그 때문에, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 처리용의 액체를 공급한다고 해도, 돌출된 물결의 주변에서 액체가 고이는 일이 없고, 동일한 처리를 길이 방향 (DL) 으로 반복한다고 해도, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서 균일하게 액체를 흐르게 하기 쉽다. 결과적으로, 증착 마스크용 기재의 표면에 공급된 액체가 길이 방향 (DL) 의 일부에서 고이는 것이 억제된다. 그것에 의해, 에칭액 등의 액체에 의한 처리를 이용한 길이 방향 (DL) 에서의 가공의 균일성, 즉 증착 마스크용 기재 (1) 가 갖는 구멍의 길이 방향 (DL) 에서의 균일성을, 나아가서는 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

또, 롤로부터 증착 마스크용 기재 (1) 를 인출하여 증착 마스크용 기재 (1) 를 반송하는 롤 투 롤 방식에서는, 증착 마스크용 기재 (1) 를 인출하기 위한 텐션이, 증착 마스크용 기재 (1) 의 길이 방향 (DL) 에 작용한다. 길이 방향 (DL) 에 작용하는 텐션은, 증착 마스크용 기재 (1) 에 있어서의 휨이나 오목부를 길이 방향 (DL) 으로 늘인다. 한편, 이러한 텐션이 작용하기 시작하는 부위는, 증착 마스크용 기재 (1) 중에서 롤로부터 인출되기 직전 등의 부위이고, 폭 방향 (DW) 에서의 급준도가 클수록, 늘이는 정도가 불규칙한 부위이기도 하다. 그리고, 텐션에 의한 늘임이 생기기 쉬운 때와, 텐션에 의한 늘임이 생기기 어려운 때가, 롤이 회전할 때마다 반복되어 버려, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 에, 반송 어긋남이나 주름 등을 발생시킨다. 결과적으로, 폭 방향 (DW) 에서의 큰 급준도는, 롤 투 롤 방식에서의 반송 어긋남을 일으키기 쉽고, 또 드라이 필름 레지스트 등과 같은 다른 필름을 증착 마스크용 기재 (1) 에 첩부할 때에는, 주름에 의한 위치 어긋남이나 밀착성의 저하 등을 일으키기 쉽다. 이 점에서, 상기 [조건 1] 을 만족하는 구성에 의하면, 반송 어긋남이나 위치 어긋남이나 주름을 억제하는 것이 가능하고, 이것에 의해서도 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 공급되는 액체는, 예를 들어 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 위치하는 레지스트층을 현상하기 위한 현상액, 현상액을 표면으로부터 제거하기 위한 세정액이다. 또, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 공급되는 액체는, 예를 들어 증착 마스크용 기재 (1) 를 에칭하기 위한 에칭액, 에칭액을 표면으로부터 제거하기 위한 세정액이다. 또, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 공급되는 액체는, 예를 들어 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 에칭 후에 잔존하는 레지스트층을 박리하기 위한 박리액, 박리액을 표면으로부터 제거하기 위한 세정액이다.

그리고, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 공급된 액체의 길이 방향 (DL) 에서의 흐름에 고임을 일으키기 어려운 상기 구성이면, 액체에 의한 처리를 이용한 가공의 균일성을, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면 내에서 높이는 것이 가능해진다. 게다가, 제 2 급준도의 평균값이 [조건 2] 를 만족하는 구성이면, 길이 방향 (DL) 의 전체에서 단위급준도가 억제되기 때문에, 패턴의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다. 그리고, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 와, 드라이 필름 등의 레지스트층의 밀착성이나, 레지스트층에 대한 노광의 정밀도를 확보하는 것도 가능해진다. 즉, 조건 1 과 조건 2 를 만족하는 구성이면, 노광의 정밀도를 높이는 것도 가능하므로, 길이 방향 (DL) 에서의 액체의 흐름에 고임이 생기기 어려움과 함께, 가공의 균일성을 더욱 높일 수 있게 된다.

또, [조건 3] 을 만족하는 증착 마스크용 기재 (1) 에서는, 단위길이당의 물결수의 최대값이 4 개 이하이기 때문에, 길이 방향 (DL) 으로부터 볼 때, 증착 마스크용 기재 (1) 중에 많은 물결을 포함하지 않는다. 그 때문에, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에 처리용의 액체를 공급한다고 해도, 길이 방향 (DL) 의 일부에서 물결수가 큰 것에서 기인하여 액체가 고이지 않고, 동일한 처리를 길이 방향 (DL) 으로 반복한다고 해도, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서 더욱 균일하게 액체를 흐르게 하기 쉽다.

또, [조건 4] 를 만족하는 증착 마스크용 기재 (1) 에서는, 단위길이당의 물결수의 평균값이 2 개 이하이기 때문에, 길이 방향 (DL) 의 전체에서, 물결의 수를 억제하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 와, 드라이 필름 등의 레지스트층의 밀착성이나, 레지스트층에 대한 노광의 정밀도를 더욱 확보하는 것도 가능해진다.

이와 같이, 조건 1 내지 조건 4 를 만족하는 구성, 및 그것에 의해 얻어지는 효과는, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 에 의해 발생하는, 액체를 사용한 표면의 가공에서의 과제를 인식함으로써, 또 길이 방향 (DL) 에 작용하는 텐션에 의한 영향을 가미한 과제를 인식함으로써, 비로소 도출되는 것이다.

[마스크 장치의 구성]

도 4 는, 증착 마스크용 기재 (1) 를 사용하여 제조되는 증착 마스크를 구비하는 마스크 장치의 개략적인 평면 구조를 나타낸다. 도 5 는, 증착 마스크가 구비하는 마스크부의 단면 구조의 일례를 나타내고, 도 6 은, 증착 마스크가 구비하는 마스크부의 단면 구조의 다른 예를 나타낸다. 또한, 마스크 장치가 구비하는 증착 마스크의 수량이나, 증착 마스크 (30) 가 구비하는 마스크부의 수량은 일례이다.

도 4 가 나타내는 바와 같이, 마스크 장치 (10) 는, 메인 프레임 (20) 과, 3개의 증착 마스크 (30) 를 구비한다. 메인 프레임 (20) 은, 복수의 증착 마스크 (30) 를 지지하는 사각형 프레임상을 갖고, 증착을 실시하기 위한 증착 장치에 장착된다. 메인 프레임 (20) 은, 각 증착 마스크 (30) 가 위치하는 범위의 대략 전체에 걸쳐, 메인 프레임 (20) 을 관통하는 메인 프레임 구멍 (21) 을 갖는다.

각 증착 마스크 (30) 는, 띠판상을 가진 복수의 프레임부 (31) 와, 각 프레임부 (31) 에 3 체씩의 마스크부 (32) 를 구비한다. 프레임부 (31) 는, 마스크부 (32) 를 지지하는 사각 판상을 갖고, 메인 프레임 (20) 에 장착된다. 프레임부 (31) 는, 마스크부 (32) 가 위치하는 범위의 대략 전체에 걸쳐, 프레임부 (31) 를 관통하는 프레임 구멍 (33) 을 갖는다. 프레임부 (31) 는, 마스크부 (32) 보다 높은 강성을 갖고, 또한 프레임 구멍 (33) 을 둘러싸는 프레임상을 갖는다. 각 마스크부 (32) 는, 프레임 구멍 (33) 을 구획하는 프레임부 (31) 의 프레임 내연부에 1 체씩, 용착이나 접착에 의해 고정된다.

도 5 가 나타내는 바와 같이, 마스크부 (32) 의 일례는, 마스크판 (323) 으로 구성된다. 마스크판 (323) 은, 증착 마스크용 기재 (1) 로 형성된 1 장의 판부재여도 되고, 증착 마스크용 기재 (1) 로 형성된 1 장의 판부재와 수지판의 적층체여도 된다. 또한, 도 5 에서는, 증착 마스크용 기재 (1) 로 형성된 1 장의 판부재로서 나타낸다.

마스크판 (323) 은, 제 1 면 (321) (도 5 의 하면) 과, 제 1 면 (321) 과는 반대측의 면인 제 2 면 (322) (도 5 의 상면) 을 구비한다. 제 1 면 (321) 은, 마스크 장치 (10) 가 증착 장치에 장착된 상태에서, 유리 기판 등의 증착 대상과 대향한다. 제 2 면 (322) 은, 증착 장치의 증착원과 대향한다. 마스크부 (32) 는, 마스크판 (323) 을 관통하는 복수의 구멍 (32H) 을 갖는다. 구멍 (32H) 의 벽면은, 마스크판 (323) 의 두께 방향에 대해, 단면으로 볼 때에 있어서 경사를 갖는다. 구멍 (32H) 의 벽면의 형상은, 단면으로 볼 때에 있어서, 도 5 가 나타내는 바와 같이, 구멍 (32H) 의 외측을 향하여 돌출되는 반원호상이어도 되고, 복수의 굴곡점을 갖는 복잡한 곡선상이어도 된다.

마스크판 (323) 의 두께는, 1 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이고, 바람직하게는 2 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하이다. 마스크판 (323) 의 두께가 50 ㎛ 이하이면, 마스크판 (323) 에 형성되는 구멍 (32H) 의 깊이를 50 ㎛ 이하로 하는 것이 가능하다. 이와 같이, 얇은 마스크판 (323) 이면, 구멍 (32H) 이 갖는 벽면의 면적 그 자체를 작게 해, 구멍 (32H) 의 벽면에 부착되는 증착 물질의 체적을 저하시키는 것이 가능하다.

제 2 면 (322) 은, 구멍 (32H) 의 개구인 제 2 개구 (H2) 를 포함하고, 제 1 면 (321) 은, 구멍 (32H) 의 개구인 제 1 개구 (H1) 를 포함한다. 제 2 개구 (H2) 는, 평면으로 볼 때에 있어서, 제 1 개구 (H1) 보다 크다. 각 구멍 (32H) 은, 증착원으로부터 승화한 증착 물질이 통과하는 통로이다. 증착원으로부터 승화한 증착 물질은, 제 2 개구 (H2) 로부터 제 1 개구 (H1) 를 향하여 나아간다. 제 2 개구 (H2) 가 제 1 개구 (H1) 보다 큰 구멍 (32H) 이면, 제 2 개구 (H2) 로부터 구멍 (32H) 으로 들어가는 증착 물질의 양을 늘리는 것이 가능해진다. 또한, 제 1 면 (321) 을 따르는 단면에서의 구멍 (32H) 의 면적은, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 개구 (H2) 를 향하여, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 개구 (H2) 까지 단조롭게 증대해도 되고, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 개구 (H2) 까지의 도중에서 대략 일정해지는 부위를 구비해도 된다.

도 6 이 나타내는 바와 같이, 마스크부 (32) 의 다른 예는, 마스크판 (323) 을 관통하는 복수의 구멍 (32H) 을 갖는다. 제 2 개구 (H2) 는, 평면으로 볼 때에 있어서, 제 1 개구 (H1) 보다 크다. 구멍 (32H) 은, 제 2 개구 (H2) 를 갖는 대구멍 (32LH) 과, 제 1 개구 (H1) 를 갖는 소구멍 (32SH) 으로 구성된다. 대구멍 (32LH) 의 단면적은, 제 2 개구 (H2) 로부터 제 1 면 (321) 을 향하여, 단조롭게 감소한다. 소구멍 (32SH) 의 단면적은, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 면 (322) 을 향하여 단조롭게 감소한다. 구멍 (32H) 의 벽면은, 단면으로 볼 때에 있어서, 대구멍 (32LH) 과 소구멍 (32SH) 이 접속하는 부위, 즉 마스크판 (323) 의 두께 방향의 중간 부분에서, 구멍 (32H) 의 내측을 향하여 돌출된 형상을 갖는다. 구멍 (32H) 의 벽면에서 돌출된 부위와, 제 1 면 (321) 사이의 거리는, 스텝 하이트 (SH) 이다. 또한, 도 5 에서 설명한 단면 구조의 예에서는, 스텝 하이트 (SH) 가 제로이다. 제 1 개구 (H1) 에 도달하는 증착 물질의 양을 확보하기 쉬운 관점에서는, 스텝 하이트 (SH) 가 제로인 구성이 바람직하다. 스텝 하이트 (SH) 가 제로인 마스크부 (32) 를 얻는 구성에서는, 증착 마스크용 기재 (1) 의 편면으로부터의 웨트 에칭으로 구멍 (32H) 이 형성될 정도로 마스크판 (323) 의 두께는 얇고, 예를 들어 50 ㎛ 이하이다.

[마스크부의 접합 구조]

도 7 은, 마스크부 (32) 와 프레임부 (31) 의 접합 구조가 갖는 단면 구조의 일례를 나타낸다. 도 8 은, 마스크부 (32) 와 프레임부 (31) 의 접합 구조가 갖는 단면 구조의 다른 예를 나타낸다.

도 7 이 나타내는 예와 같이, 마스크판 (323) 의 외연부 (32E) 는, 구멍 (32H) 을 구비하지 않는 영역이다. 마스크판 (323) 이 갖는 제 2 면 (322) 중에서 마스크판 (323) 의 외연부 (32E) 에 포함되는 부분은, 마스크부가 구비하는 측면의 일례이고, 프레임부 (31) 에 접합되어 있다. 프레임부 (31) 는, 프레임 구멍 (33) 을 구획하는 내연부 (31E) 를 구비한다. 내연부 (31E) 는, 마스크판 (323) 과 대향하는 접합면 (311)(도 7 의 하면) 과, 접합면 (311) 과는 반대측의 면인 비접합면 (312)(도 7 의 상면) 을 구비한다. 내연부 (31E) 의 두께 (T31), 즉 접합면 (311) 과 비접합면 (312) 의 거리는, 마스크판 (323) 이 갖는 두께 (T32) 보다 충분히 두껍고, 그것에 의해 마스크판 (323) 보다 높은 강성을 프레임부 (31) 는 갖는다. 특히, 프레임부 (31) 는, 내연부 (31E) 가 자중에 의해 처지는 것이나, 내연부 (31E) 가 마스크부 (32) 를 향하여 변위하는 것에 대해 높은 강성을 갖는다. 내연부 (31E) 의 접합면 (311) 은, 제 2 면 (322) 과 접합된 접합부 (32BN) 를 구비한다.

접합부 (32BN) 는, 내연부 (31E) 의 대략 전체 둘레에 걸쳐, 연속적, 혹은 간헐적으로 위치한다. 접합부 (32BN) 는, 접합면 (311) 과 제 2 면 (322) 의 용착에 의해 형성되는 용착 자국이어도 되고, 접합면 (311) 과 제 2 면 (322) 을 접합하는 접합층이어도 된다. 프레임부 (31) 는, 내연부 (31E) 의 접합면 (311) 과, 마스크판 (323) 의 제 2 면 (322) 을 접합함과 함께, 마스크판 (323) 이 그것의 외측을 향하여 인장되는 응력 (F) 을, 마스크판 (323) 에 가한다.

또한, 프레임부 (31) 도 또, 그것의 외측을 향하여 인장되는 응력을, 마스크판 (323) 에서의 응력 (F) 과 동일한 정도로, 메인 프레임 (20) 에 의해 가할 수 있다. 그 때문에, 메인 프레임 (20) 으로부터 분리된 증착 마스크 (30) 에서는, 메인 프레임 (20) 과 프레임부 (31) 의 접합에 의한 응력이 해제되어, 마스크판 (323) 에 가해지는 응력 (F) 도 완화된다. 접합면 (311) 에서의 접합부 (32BN) 의 위치는, 마스크판 (323) 에 응력 (F) 을 등방적으로 작용시키는 위치인 것이 바람직하고, 마스크판 (323) 의 형상, 및 프레임 구멍 (33) 의 형상에 근거해, 적절히 선택된다.

접합면 (311) 은, 접합부 (32BN) 가 위치하는 평면이고, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 로부터 마스크판 (323) 의 외측을 향하여 확장된다. 바꿔 말하면, 내연부 (31E) 는, 제 2 면 (322) 이 그것의 외측으로 의사적으로 확장된 면구조를 구비하고, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 로부터, 마스크판 (323) 의 외측을 향하여 확장된다. 그 때문에, 접합면 (311) 이 확장되는 범위에서는, 마스크판 (323) 의 두께에 상당하는 공간 (V) 이, 마스크판 (323) 의 주위에 형성되기 쉽다. 결과적으로, 마스크판 (323) 의 주위에서는, 증착 대상 (S) 과 프레임부 (31) 가 물리적으로 간섭하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

도 8 이 나타내는 예에 있어서도, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 는, 구멍 (32H) 이 형성되어 있지 않은 영역을 구비한다. 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 는, 접합부 (32BN) 에 의한 접합을 통해서, 프레임부 (31) 가 구비하는 접합면 (311) 에 접합된다. 그리고, 프레임부 (31) 는, 마스크판 (323) 이 그것의 외측을 향하여 인장되는 응력 (F) 을, 마스크판 (323) 에 가함과 함께, 접합면 (311) 이 확장되는 범위에 있어서, 마스크판 (323) 의 두께에 상당하는 공간 (V) 을 형성한다.

또한, 응력 (F) 이 작용하지 않는 상태에서의 마스크판 (323) 은, 증착 마스크용 기재 (1) 와 동일하게, 많이 물결 형상을 갖는 경우가 있다. 그리고, 상기 서술한 응력 (F) 이 작용하는 상태에서의 마스크판 (323), 즉 증착 마스크 (30) 에 탑재된 마스크판 (323) 은, 물결의 높이를 낮게 하도록 변형되는 경우가 있다. 이 점에서, 상기 조건을 만족하는 증착 마스크용 기재 (1) 이면, 응력 (F) 에 의한 변형이 생겼다고 해도, 그것은 허용되는 정도로까지 억제되고, 결과적으로 증착 마스크 (30) 에서의 구멍 (32H) 의 변형을 억제하여, 패턴의 위치나 형상의 정밀도를 높이는 것도 가능해진다.

[마스크부의 수량]

도 9 는, 증착 마스크 (30) 가 구비하는 구멍 (32H) 의 수량과, 마스크부 (32) 가 구비하는 구멍 (32H) 의 수량의 관계의 일례를 나타낸다. 또, 도 10 은, 증착 마스크 (30) 가 구비하는 구멍 (32H) 의 수량과, 마스크부 (32) 가 구비하는 구멍 (32H) 의 수량의 관계의 다른 예를 나타낸다.

도 9(a) 의 예가 나타내는 바와 같이, 프레임부 (31) 는, 3 개의 프레임 구멍 (33(33A, 33B, 33C)) 을 갖는다. 도 9(b) 의 예가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (30) 는, 각 프레임 구멍 (33) 에 1 개씩 마스크부 (32(32A, 32B, 32C)) 를 구비한다. 프레임 구멍 (33A) 을 구획하는 내연부 (31E) 는, 1 체의 마스크부 (32A) 와 접합하고, 프레임 구멍 (33B) 을 구획하는 내연부 (31E) 는, 다른 1 체의 마스크부 (32B) 와 접합하고, 프레임 구멍 (33C) 을 구획하는 내연부 (31E) 는, 다른 1 체의 마스크부 (32C) 와 접합한다.

여기서, 증착 마스크 (30) 는, 복수의 증착 대상에 대해, 반복하여 사용된다. 그 때문에, 증착 마스크 (30) 가 구비하는 각 구멍 (32H) 은, 구멍 (32H) 의 위치나, 구멍 (32H) 의 구조 등에, 보다 높은 정밀도가 요구된다. 그리고, 구멍 (32H) 의 위치나, 구멍 (32H) 의 구조 등에, 원하는 정밀도를 얻을 수 없는 경우에는, 증착 마스크 (30) 의 제조든, 증착 마스크 (30) 의 보수든, 마스크부 (32) 를 적절히 교환하는 것이 요망된다.

이 점에서, 도 9 가 나타내는 구성과 같이, 1 체의 프레임부 (31) 에 필요한 구멍 (32H) 의 수량을, 3 체의 마스크부 (32) 에서 분담하는 구성이면, 만일 1 체의 마스크부 (32) 에 교환이 요망된 경우라도, 3 체의 마스크부 (32) 중 1 체의 마스크부 (32) 만을 교환하면 충분하다. 즉, 3 체의 마스크부 (32) 중 2 체의 마스크부 (32) 를 계속해 이용하는 것이 가능해진다. 그러므로, 각 프레임 구멍 (33) 에 각각의 마스크부 (32) 를 접합한 구성이면, 증착 마스크 (30) 의 제조든, 증착 마스크 (30) 의 보수든, 이들에 필요한 각종 재료의 소비량을 억제하는 것도 가능해진다. 마스크판 (323) 의 두께가 얇을수록, 또 구멍 (32H) 이 작을수록, 마스크부 (32) 의 수율은 낮아지기 쉽고, 마스크부 (32) 에 대한 교환의 요청은 크다. 그 때문에, 각 프레임 구멍 (33) 에 각각의 마스크부 (32) 를 구비하는 상기 구성은, 고해상도가 요구되는 증착 마스크 (30) 에 있어서, 특히 바람직하다.

또한, 구멍 (32H) 의 위치나, 구멍 (32H) 의 구조에 관한 검사는, 응력 (F) 이 가해진 상태, 즉 프레임부 (31) 에 마스크부 (32) 가 접합된 상태에서 실시되는 것이 바람직하다. 이러한 관점에 있어서, 상기 서술한 접합부 (32BN) 는, 마스크부 (32) 의 교환을 가능하게 하도록, 예를 들어 내연부 (31E) 의 일부에 간헐적으로 존재하는 것이 바람직하다.

도 10(a) 의 예가 나타내는 바와 같이, 프레임부 (31) 는, 3 개의 프레임 구멍 (33(33A, 33B, 33C)) 을 갖는다. 도 10(b) 의 예가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (30) 는, 각 프레임 구멍 (33) 에 공통되는 1 체의 마스크부 (32) 를 구비하는 것도 가능하다. 이때, 프레임 구멍 (33A) 을 구획하는 내연부 (31E), 프레임 구멍 (33B) 을 구획하는 내연부 (31E), 프레임 구멍 (33C) 을 구획하는 내연부 (31E) 는, 이들에 공통되는 1 체의 마스크부 (32) 와 접합한다.

또한, 1 체의 프레임부 (31) 에 필요로 되는 구멍 (32H) 의 수량을, 1 체의 마스크부 (32) 에서 담당하는 구성이면, 프레임부 (31) 에 접합되는 마스크부 (32) 의 수량을 1 체로 하는 것이 가능하기 때문에, 프레임부 (31) 와 마스크부 (32) 의 접합에 필요한 부하를 경감하는 것이 가능하다. 마스크부 (32) 를 구성하는 마스크판 (323) 의 두께가 두꺼울수록, 또 구멍 (32H) 의 사이즈가 클수록 마스크부 (32) 의 수율이 올라가기 쉽고, 마스크부 (32) 에 대한 교환의 요청은 작다. 그 때문에, 각 프레임 구멍 (33) 에 공통되는 마스크부 (32) 를 구비하는 구성은, 저해상도가 요구되는 증착 마스크 (30) 에 있어서, 특히 바람직하다.

[증착 마스크용 기재의 제조 방법]

다음으로, 증착 마스크용 기재의 제조 방법에 대해 설명한다. 또한, 증착 마스크용 기재의 제조 방법에서는, 압연을 이용하는 형태와, 전해를 이용하는 형태를 각각 예시한다. 먼저, 압연을 이용하는 형태를 설명하고, 이어서 전해를 이용하는 형태를 설명한다. 도 11 및 도 12 는, 압연을 이용하는 예를 나타낸다.

압연을 이용하는 제조 방법에서는, 도 11 이 나타내는 바와 같이, 먼저 인바 등으로 형성된 모재 (1a) 로서, 길이 방향 (DL) 으로 연장되는 모재 (1a) 를 준비한다. 이어서, 모재 (1a) 의 길이 방향 (DL) 과, 모재 (1a) 를 반송하는 반송 방향이 평행이 되도록, 압연 장치 (50) 를 향하여 모재 (1a) 를 반송한다. 압연 장치 (50) 는, 예를 들어 1 쌍의 압연 롤러 (51, 52) 를 구비하고, 1 쌍의 압연 롤러 (51, 52) 로 모재 (1a) 를 압연한다. 이로써, 모재 (1a) 가 길이 방향 (DL) 으로 신장되어, 압연 자재 (1b) 가 형성된다. 압연 자재 (1b) 는, 폭 방향 (DW) 으로의 치수가 폭 (W) 이 되도록 절단된다. 압연 자재 (1b) 는, 예를 들어 코어 (C) 에 권취되어도 되고, 띠 형상으로 신장된 상태에서 취급되어도 된다. 압연 자재 (1b) 의 두께는, 예를 들어 10 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이다. 또한, 복수쌍의 압연 롤러를 사용하는 방법으로 하는 것도 가능하고, 도 12 에서는, 1 쌍의 압연 롤러를 사용하는 방법을 일례로서 나타낸다.

이어서, 도 12 가 나타내는 바와 같이, 압연 자재 (1b) 를 어닐 장치 (53) 로 반송한다. 어닐 장치 (53) 는, 압연 자재 (1b) 가 길이 방향 (DL) 으로 인장되어 있는 상태에서, 압연 자재 (1b) 를 가열한다. 이로써, 압연 자재 (1b) 의 내부로부터, 축적된 잔류 응력이 제거되어, 증착 마스크용 기재 (1) 가 형성된다. 이때, 상기 [조건 1] 이 만족되도록, 압연 롤러 (51, 52) 사이에서의 가압력, 압연 롤러 (51, 52) 의 회전 속도, 압연 자재 (1b) 의 어닐 온도 등이 설정된다. 바람직하게는, 상기 [조건 2] 내지 [조건 4] 가 [조건 1] 과 함께 만족되도록, 압연 롤러 (51, 52) 사이에서의 가압력, 압연 롤러 (51, 52) 의 회전 속도, 압연 롤러 (51, 52) 에서의 가압 온도, 압연 자재 (1b) 의 어닐 온도 등이 설정된다. 또한, 압연 자재 (1b) 는, 폭 방향 (DW) 에서의 치수가 폭 (W) 이 되도록 어닐 후에 절단되어도 된다.

전해를 이용하는 제조 방법에서는, 전해에 사용되는 전극 표면에 증착 마스크용 기재 (1) 를 형성하고, 그 후 전극 표면으로부터 증착 마스크용 기재 (1) 를 이형한다. 이때, 예를 들어 경면을 표면으로 하는 전해 드럼 전극이 전해욕에 침지되고, 또한 전해 드럼 전극을 하방에서 받아 전해 드럼 전극의 표면과 대향하는 다른 전극이 사용된다. 그리고, 전해 드럼 전극과 다른 전극 사이에 전류가 흐르게 되고, 전해 드럼 전극의 표면인 전극 표면에, 증착 마스크용 기재 (1) 가 침착된다. 전해 드럼 전극이 회전하여 증착 마스크용 기재 (1) 가 원하는 두께가 되는 타이밍에서, 전해 드럼 전극의 표면으로부터 증착 마스크용 기재 (1) 가 박리되고 권취된다.

증착 마스크용 기재 (1) 를 구성하는 재료가 인바인 경우, 전해에 사용되는 전해욕은, 철 이온 공급제, 니켈 이온 공급제 및 pH 완충제를 포함한다. 전해에 사용되는 전해욕은, 응력 완화제, Fe^3＋ 이온 마스크제, 말산이나 시트르산 등의 착화제 등을 포함해도 되고, 전해에 적합한 pH 로 조정된 약산성의 용액이다. 철 이온 공급제는, 예를 들어 황산제1철·7 수화물, 염화제1철, 술팜산철 등이다. 니켈 이온 공급제는, 예를 들어 황산니켈 (II), 염화니켈 (II), 술팜산니켈, 브롬화니켈이다. pH 완충제는, 예를 들어 붕산, 말론산이다. 말론산은, Fe^3＋이온 마스크제로서도 기능한다. 응력 완화제는, 예를 들어 사카린나트륨이다. 전해에 사용되는 전해욕은, 예를 들어 상기 서술한 첨가제를 포함하는 수용액이고, 5 ％ 황산, 혹은 탄산니켈 등의 pH 조정제에 의해, 예를 들어 pH 가 2 이상 3 이하가 되도록 조정된다. 또한, 필요에 따라 어닐 공정을 넣어도 된다.

전해에 사용되는 전해 조건에서는, 증착 마스크용 기재 (1) 의 두께, 증착 마스크용 기재 (1) 의 조성비 등에 따라, 전해욕의 온도, 전류 밀도 및 전해 시간이 적절히 조정된다. 상기 서술한 전해욕에 적용되는 양극은, 예를 들어 순철제와 니켈제이다. 상기 서술한 전해욕에 적용되는 음극은, 예를 들어 SUS304 등의 스테인리스판이다. 전해욕의 온도는, 예를 들어 40 ℃ 이상 60 ℃ 이하이다. 전류 밀도는, 예를 들어 1 A/dm² 이상 4 A/dm² 이하이다. 이때, 상기 [조건 1] 이 만족되도록, 전극 표면에서의 전류 밀도가 설정된다. 바람직하게는, 상기 [조건 2] 내지 [조건 4] 가 [조건 1] 과 함께 만족되도록 전극 표면에서의 전류 밀도가 설정된다.

또한, 전해에 의한 증착 마스크용 기재 (1) 나, 압연에 의한 증착 마스크용 기재 (1) 는, 화학적인 연마나, 전기적인 연마 등에 의해 더욱 얇게 가공되어도 된다. 화학적인 연마에 사용되는 연마액은, 예를 들어 과산화수소를 주성분으로 한 철계 합금용의 화학 연마액이다. 전기적인 연마에 사용되는 전해액은, 과염소산계의 전해 연마액이나 황산계의 전해 연마액이다. 이때, 상기 조건이 만족되기 때문에, 연마액에 의한 연마의 결과나, 세정액에 의한 연마액의 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차가 억제된다.

[마스크부의 제조 방법]

도 6 에 나타낸 마스크부 (32) 를 제조하기 위한 공정에 대해 도 13 내지 도 18 을 참조하여 설명한다. 또한, 도 5 에서 설명한 마스크부 (32) 를 제조하기 위한 공정은, 도 6 에서 설명한 마스크부 (32) 를 제조하기 위한 공정에서, 소구멍 (32SH) 을 관통 구멍으로 하고, 대구멍 (32LH) 을 형성하기 위한 공정을 할애한 공정과 동일하기 때문에, 그 중복되는 설명을 할애한다.

도 13 이 나타내는 바와 같이, 마스크부를 제조할 때에는, 먼저 제 1 면 (1Sa) 과 제 2 면 (1Sb) 을 포함하는 증착 마스크용 기재 (1) 와, 제 1 면 (1Sa) 에 첩부되는 제 1 드라이 필름 레지스트 (Dry Film Resist : DFR)(2) 와, 제 2 면 (1Sb) 에 첩부되는 제 2 드라이 필름 레지스트 (DFR)(3) 가 준비된다. DFR (2, 3) 의 각각은, 증착 마스크용 기재 (1) 와는 별도로 형성된다. 이어서, 제 1 면 (1Sa) 에 제 1 DFR (2) 이 첩부되고, 또한 제 2 면 (1Sb) 에 제 2 DFR (3) 이 첩부된다. 이때, 상기 조건이 만족되기 때문에, 길이 방향 (DL) 으로 반송되는 증착 마스크용 기재 (1) 와, 증착 마스크용 기재 (1) 를 따라 반송되는 DFR (2, 3) 의 첩합 시에, 반송 어긋남, 위치 어긋남, 주름의 발생이 억제된다.

도 14 가 나타내는 바와 같이, DFR (2, 3) 중, 구멍을 형성하는 부위 이외의 부분을 노광하고, 노광 후의 DFR 을 현상한다. 이로써, 제 1 DFR (2) 에 제 1 관통 구멍 (2a) 을 형성하고, 또한 제 2 DFR (3) 에 제 2 관통 구멍 (3a) 을 형성한다. 노광 후의 (DFR) 을 현상할 때에는, 현상액으로서 예를 들어, 탄산나트륨 수용액을 사용한다. 이때, 상기 조건이 만족되기 때문에, 현상액에 의한 현상의 결과나, 그 세정액에 의한 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차가 억제된다. 또, 상기 서술한 첩합에 있어서, 반송 어긋남, 위치 어긋남, 주름의 발생이 억제되고 있기 때문에, 이들에서 기인한 노광 위치의 어긋남이 억제되어, 노광의 정밀도를 높이는 것도 가능하다. 결과적으로, 제 1 관통 구멍 (2a) 의 형상이나 크기, 또 제 2 관통 구멍 (3a) 의 형상이나 크기에 관해서, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면 내에서의 균일성을 높이는 것이 가능해진다.

도 15 가 나타내는 바와 같이, 예를 들어 현상 후의 제 1 DFR (2) 을 마스크로 하고, 염화제2철액을 사용하여 증착 마스크용 기재 (1) 의 제 1 면 (1Sa) 을 에칭한다. 이때, 제 2 면 (1Sb) 이 제 1 면 (1Sa) 과 동시에 에칭되지 않도록, 제 2 면 (1Sb) 에 제 2 보호층 (61) 을 형성한다. 제 2 보호층 (61) 의 재료는, 염화제2철액에 대한 화학적인 내성을 갖는다. 이로써, 제 2 면 (1Sb) 을 향하여 오목한 소구멍 (32SH) 을 제 1 면 (1Sa) 에 형성한다. 소구멍 (32SH) 은, 제 1 면 (1Sa) 에 개구되는 제 1 개구 (H1) 를 갖는다. 이때, 상기 조건이 만족되기 때문에, 에칭액에 의한 에칭의 결과나, 그 세정액에 의한 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차가 억제된다. 결과적으로, 소구멍 (32SH) 의 형상이나 크기에 관해서, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면 내에서의 균일성을 높이는 것이 가능해진다.

증착 마스크용 기재 (1) 를 에칭하는 에칭액은, 산성의 에칭액이고, 증착 마스크용 기재 (1) 가 인바로 구성되는 경우에는, 인바를 에칭하는 것이 가능한 에칭액이면 된다. 산성의 에칭액은, 예를 들어 과염소산제2철액 및 과염소산제2철액과 염화제2철액의 혼합액에 대해, 과염소산, 염산, 황산, 포름산 및 아세트산 중 어느 것을 혼합한 용액이다. 증착 마스크용 기재 (1) 를 에칭하는 방법은, 증착 마스크용 기재 (1) 를 산성의 에칭액에 침지하는 딥식이어도 되고, 증착 마스크용 기재 (1) 에 산성의 에칭액을 분사하는 스프레이식이어도 된다.

이어서, 도 16 이 나타내는 바와 같이, 제 1 면 (1Sa) 에 형성한 제 1 DFR (2) 과, 제 2 DFR (3) 에 접하는 제 2 보호층 (61) 을 제거한다. 또, 제 1 면 (1Sa) 의 추가적인 에칭을 방지하기 위한 제 1 보호층 (4) 을 제 1 면 (1Sa) 에 형성한다. 제 1 보호층 (4) 의 재료는, 염화제2철액에 대한 화학적인 내성을 갖는다.

다음으로, 도 17 이 나타내는 바와 같이, 현상 후의 제 2 DFR (3) 을 마스크로 하고, 염화제2철액을 사용하여 제 2 면 (1Sb) 을 에칭한다. 이로써, 제 1 면 (1Sa) 을 향하여 오목한 대구멍 (32LH) 을 제 2 면 (1Sb) 에 형성한다. 대구멍 (32LH) 은, 제 2 면 (1Sb) 에 개구되는 제 2 개구 (H2) 를 갖는다. 제 2 면 (1Sb) 과 대향하는 평면으로 볼 때에 있어서, 제 2 개구 (H2) 는, 제 1 개구 (H1) 보다 크다. 이때, 상기 조건이 만족되기 때문에, 에칭액에 의한 에칭의 결과나, 세정액에 의한 에칭액의 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차가 억제된다. 결과적으로, 대구멍 (32LH) 의 형상이나 크기에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면 내에서의 균일성을 높이는 것이 가능해진다. 이때에 사용되는 에칭액도 또, 산성의 에칭액이고, 증착 마스크용 기재 (1) 가 인바로 구성되는 경우에는, 인바를 에칭하는 것이 가능한 에칭액이면 된다. 증착 마스크용 기재 (1) 를 에칭하는 방법도 또, 증착 마스크용 기재 (1) 를 산성의 에칭액에 침지하는 딥식이어도 되고, 증착 마스크용 기재 (1) 에 산성의 에칭액을 분사하는 스프레이식이어도 된다.

이어서, 도 18 이 나타내는 바와 같이, 제 1 보호층 (4) 과 제 2 DFR (3) 을증착 마스크용 기재 (1) 로부터 제거함으로써, 복수의 소구멍 (32SH) 과, 각 소구멍 (32SH) 에 연결되는 대구멍 (32LH) 이 형성된 마스크부 (32) 가 얻어진다.

또한, 압연을 이용하는 제조 방법에서는, 산화알루미늄이나 산화마그네슘 등의 금속 산화물이, 증착 마스크용 기재 (1) 중에 많이 포함된다. 즉, 상기 서술한 모재 (1a) 가 형성될 때, 통상 모재 (1a) 중에 산소가 혼입되는 것을 억제하기 위해, 입상의 알루미늄이나 마그네슘 등의 탈산제가 원료에 혼합된다. 그리고, 알루미늄이나 마그네슘은, 산화알루미늄이나 산화마그네슘 등의 금속 산화물로서 모재 (1a) 에 많이 남는다. 이 점에서, 전해를 이용하는 제조 방법에 의하면, 금속 산화물이 마스크부 (32) 에 혼합되는 것이 억제된다.

[증착 마스크의 제조 방법]

증착 마스크의 제조 방법의 각 예를 설명한다. 또한, 도 19 를 참조하여, 웨트 에칭에 의해 구멍을 형성하는 방법에서의 예 (제 1 제조 방법) 를 설명한다. 또, 도 20 을 참조하여, 전해에 의해 구멍을 형성하는 방법에서의 예 (제 2 제조 방법) 를 설명한다. 또, 도 21 을 참조하여, 전해에 의해 구멍을 형성하는 방법에서의 다른 예 (제 3 제조 방법) 를 설명한다.

[제 1 제조 방법]

또한, 도 5 에서 설명한 마스크부 (32) 를 구비하는 증착 마스크를 제조하는 방법과, 도 6 에서 설명한 마스크부 (32) 를 구비하는 증착 마스크를 제조하는 방법은, 기재 (32K) 에 대해 실시되는 에칭의 형태가 상이하지만, 그 이외의 공정은 대략 동일하다. 이하에서는, 도 5 에서 설명한 마스크부 (32) 를 구비하는 증착 마스크의 제조 방법을 주로 설명하고, 도 6 에서 설명한 마스크부 (32) 를 구비하는 증착 마스크의 제조 방법에 관해서는, 그 중복된 설명을 생략한다.

도 19(a) ∼ (h) 가 나타내는 예와 같이, 증착 마스크의 제조 방법의 일례에서는, 먼저 기재 (32K) 가 준비된다 (도 19(a) 참조). 또한, 기재 (32K) 는, 마스크판 (323) 으로서 가공되는 상기 서술한 증착 마스크용 기재 (1) 이고, 증착 마스크용 기재 (1) 외에, 그 증착 마스크용 기재 (1) 를 지지하기 위한 지지체 (SP) 를 추가로 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 기재 (32K) 의 제 1 면 (321)(도 19 의 하면) 은, 상기 제 1 면 (1Sa) 에 상당하고, 기재 (32K) 의 제 2 면 (322)(도 19 의 상면) 은, 상기 제 2 면 (1Sb) 에 상당한다.

먼저, 기재 (32K) 가 갖는 제 2 면 (322) 에 레지스트층 (PR) 을 형성하고 (도 19(b) 참조), 레지스트층 (PR) 에 대한 노광 및 현상을 실시하는 것에 의해, 제 2 면 (322) 에 레지스트 마스크 (RM) 를 형성한다 (도 19(c) 참조). 다음으로, 레지스트 마스크 (RM) 를 사용한 제 2 면 (322) 으로부터의 웨트 에칭에 의해, 기재 (32K) 에 구멍 (32H) 이 형성된다 (도 19(d) 참조).

이때, 웨트 에칭이 개시되는 제 2 면 (322) 에는, 제 2 개구 (H2) 가 형성되고, 그것보다 늦게 에칭이 실시되는 제 1 면 (321) 에는, 제 2 개구 (H2) 보다 작은 제 1 개구 (H1) 가 형성된다. 이어서, 레지스트 마스크 (RM) 가 제 2 면 (322) 으로부터 제거됨으로써, 상기 마스크부 (32) 가 형성된다 (도 19(e) 참조). 마지막으로, 제 2 면 (322) 에 있어서의 외연부 (32E) 가, 프레임부 (31) 의 내연부 (31E) 에 접합되고, 마스크부 (32) 로부터 지지체 (SP) 가 이형됨으로써, 증착 마스크 (30) 가 제조된다 (도 19(f) 내지 (h) 참조).

또한, 도 6 에서 설명한 마스크부 (32) 를 구비하는 증착 마스크의 제조 방법에서는, 상기 서술한 공정이, 지지체 (SP) 를 갖지 않는 기재 (32K) 에 있어서, 제 1 면 (321) 에 대응하는 기재 (32K) 의 면에 실시되고, 그것에 의해 소구멍 (32SH) 이 형성된다. 이어서, 소구멍 (32SH) 을 보호하기 위한 레지스트 등이 소구멍 (32SH) 에 충전된다. 계속해서, 상기 서술한 공정이, 제 2 면 (322) 에 대응하는 기재 (32K) 의 면에 실시되고, 그것에 의해 마스크부 (32) 가 제조된다.

또한, 도 19(f) 가 나타내는 예에서는, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 를 프레임부 (31) 의 내연부 (31E) 에 접합하는 방법으로서, 저항 용접을 이용한다. 이때, 절연성을 가진 지지체 (SP) 에, 복수의 구멍 (SPH) 을 형성한다. 각 구멍 (SPH) 은, 지지체 (SP) 중에서, 접합부 (32BN) 가 되는 부위와 대향하는 부위에 형성된다. 그리고, 각 구멍 (SPH) 을 통해서 통전되어, 간헐적인 접합부 (32BN) 를 형성한다. 이로써, 외연부 (32E) 와 내연부 (31E) 를 용착한다.

또, 도 19(g) 가 나타내는 예에서는, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 를 프레임부 (31) 의 내연부 (31E) 에 접합하는 방법으로서, 레이저 용접을 이용한다. 이때, 광 투과성을 가진 지지체 (SP) 를 이용하고, 지지체 (SP) 를 통해서, 접합부 (32BN) 가 되는 부위에 레이저광 (L) 을 조사한다. 그리고, 외연부 (32E) 의 주위에서 레이저광 (L) 을 간헐적으로 조사함으로써, 간헐적인 접합부 (32BN) 를 형성한다. 혹은, 외연부 (32E) 의 주위에서 레이저광 (L) 을 연속적으로 계속 조사함으로써, 외연부 (32E) 의 전체 둘레에 걸쳐, 연속적인 접합부 (32BN) 를 형성한다. 이로써, 외연부 (32E) 와 내연부 (31E) 를 용착한다.

또, 도 19(h) 가 나타내는 예에서는, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 를 프레임부 (31) 의 내연부 (31E) 에 접합하는 방법으로서, 초음파 용접을 이용한다. 이때, 외연부 (32E) 와 내연부 (31E) 를, 클램프 (CP) 등으로 협지하고, 접합부 (32BN) 가 되는 부위에 초음파를 인가한다. 초음파가 직접 인가되는 부재는, 프레임부 (31) 여도 되고, 마스크부 (32) 여도 된다. 또한, 초음파 용접이 이용된 경우에는, 프레임부 (31) 나 지지체 (SP) 에, 클램프 (CP) 에 의한 압착 자국이 형성된다.

또한, 상기 서술한 각 접합에서는, 마스크부 (32) 에 대해 그것의 외측을 향한 응력을 가한 상태에서, 용착이나 용접을 실시하는 것도 가능하다. 또, 마스크부 (32) 에 대해 그것의 외측을 향한 응력을 가한 상태에서, 지지체 (SP) 가 마스크부 (32) 를 지지하고 있는 경우에는, 마스크부 (32) 에 대한 응력의 인가를 할애할 수도 있다.

[제 2 제조 방법]

도 7 및 도 8 에서 설명한 증착 마스크는, 상기 제 1 제조 방법 외에, 도 20(a) ∼ (e) 로 나타내는 다른 예에 의해 제조할 수도 있다.

도 20(a) ∼ (e) 가 나타내는 예와 같이, 먼저 전해에 사용되는 전극 (EP) 의 표면인 전극 표면 (EPS) 에, 레지스트층 (PR) 을 형성한다 (도 20(a) 참조). 이어서, 레지스트층 (PR) 에 대한 노광 및 현상을 실시함으로써, 전극 표면 (EPS) 에 레지스트 마스크 (RM) 를 형성한다 (도 20(b) 참조). 레지스트 마스크 (RM) 는, 전극 표면 (EPS) 과 직교하는 단면에 있어서 역추대상을 갖고, 전극 표면 (EPS) 으로부터의 거리가 클수록, 전극 표면 (EPS) 을 따른 단면에서의 면적이 큰 형상을 갖는다. 다음으로, 레지스트 마스크 (RM) 를 가진 전극 표면 (EPS) 을 사용하는 전해를 실시하여, 전극 표면 (EPS) 중에서 레지스트 마스크 (RM) 이외의 영역에, 마스크부 (32) 를 형성한다 (도 20(c) 참조).

이때, 레지스트 마스크 (RM) 가 점유하는 공간 이외에 마스크부 (32) 를 형성하기 때문에, 레지스트 마스크 (RM) 의 형상에 추종한 형상을 갖는 구멍이, 마스크부 (32) 에는 형성된다. 즉, 마스크부 (32) 의 구멍 (32H) 이, 마스크부 (32) 에 있어서 자기 정합적으로 형성된다. 그리고, 전극 표면 (EPS) 과 접촉하는 면이, 제 1 개구 (H1) 를 갖는 제 1 면 (321) 으로서 기능하고, 제 1 개구 (H1) 보다 큰 개구인 제 2 개구 (H2) 를 갖는 최표면이, 제 2 면 (322) 으로서 기능한다.

다음으로, 전극 표면 (EPS) 으로부터 레지스트 마스크 (RM) 만을 제거하여, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 개구 (H2) 까지를 중공으로 하는 구멍 (32H) 을 형성한다 (도 20(d) 참조). 마지막으로, 제 2 개구 (H2) 를 가진 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 에, 내연부 (31E) 의 접합면 (311) 을 접합하고, 이어서 마스크부 (32) 를 전극 표면 (EPS) 으로부터 박리하기 위한 응력을 프레임부 (31) 에 가한다. 이로써, 프레임부 (31) 에 마스크부 (32) 가 접합된 상태의 증착 마스크 (30) 를 제조한다 (도 20(e) 참조).

또한, 제 2 제조 방법에서는, 증착 마스크용 기재 (1) 를 에칭하는 일 없이, 마스크부 (32) 가 형성된다. 이때, 마스크부 (32) 의 한 변을 따르는 방향을 폭 방향으로 하고, 외연부 (32E) 에 있어서 상기 조건 1 이 만족되는 구성이면, 프레임부 (31) 와 마스크부 (32) 의 접합에 있어서의 위치의 정밀도를 높이는 것이 가능하고, 또 접합에 있어서의 강도를 높이는 것도 가능하다.

[제 3 제조 방법]

도 7 및 도 8 에서 설명한 증착 마스크는, 상기 제 1 제조 방법 외에, 도 21(a) ∼ (f) 로 나타내는 다른 예에 의해 제조할 수도 있다.

도 21(a) ∼ (f) 가 나타내는 예와 같이, 먼저 전해에 사용되는 전극 표면 (EPS) 에 레지스트층 (PR) 을 형성한다 (도 21(a) 참조). 이어서, 레지스트층 (PR) 에 대한 노광 및 현상을 실시하는 것에 의해, 전극 표면 (EPS) 에 레지스트 마스크 (RM) 를 형성한다 (도 21(b) 참조). 레지스트 마스크 (RM) 는, 전극 표면 (EPS) 과 직교하는 단면에 있어서 추대상을 갖고, 전극 표면 (EPS) 으로부터의 거리가 클수록, 전극 표면 (EPS) 을 따른 단면에서의 면적이 작은 형상을 갖는다. 다음으로, 레지스트 마스크 (RM) 를 가진 전극 표면 (EPS) 을 사용하는 전해를 실시하여, 전극 표면 (EPS) 중에서 레지스트 마스크 (RM) 이외의 영역에, 마스크부 (32) 를 형성한다 (도 21(c) 참조).

여기서도, 레지스트 마스크 (RM) 가 점유하는 공간 이외에 마스크부 (32) 를 형성하기 때문에, 레지스트 마스크 (RM) 의 형상에 추종한 형상을 갖는 구멍이, 마스크부 (32) 에는 형성된다. 즉, 마스크부 (32) 에 있어서의 구멍 (32H) 이, 마스크부 (32) 에 있어서 자기 정합적으로 형성된다. 그리고, 전극 표면 (EPS) 과 접촉하는 면이, 제 2 개구 (H2) 를 갖는 제 2 면 (322) 으로서 기능하고, 제 2 개구 (H2) 보다 작은 개구인 제 1 개구 (H1) 를 갖는 최표면이, 제 1 면 (321) 으로서 기능한다.

다음으로, 전극 표면 (EPS) 으로부터 레지스트 마스크 (RM) 만을 제거하여, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 개구 (H2) 까지를 중공으로 하는 구멍 (32H) 을 형성한다 (도 21(d) 참조). 그리고, 제 1 개구 (H1) 를 가진 제 1 면 (321) 에, 중간 전사 기재 (TM) 를 접합하고, 이어서 마스크부 (32) 를 전극 표면 (EPS) 으로부터 박리하기 위한 응력을 중간 전사 기재 (TM) 에 가한다. 이로써, 중간 전사 기재 (TM) 에 마스크부 (32) 가 접합된 상태에서, 전극 표면 (EPS) 으로부터 제 2 면 (322) 이 떼어진다 (도 21(e) 참조). 마지막으로, 제 2 면 (322) 의 외연부 (32E) 에, 내연부 (31E) 의 접합면 (311) 을 접합하고, 중간 전사 기재 (TM) 를 마스크부 (32) 로부터 벗긴다. 이로써, 프레임부 (31) 에 마스크부 (32) 가 접합된 상태의 증착 마스크 (30) 를 제조한다 (도 21(f) 참조).

또한, 제 3 제조 방법에서도, 증착 마스크용 기재 (1) 를 에칭하는 일 없이, 마스크부 (32) 가 형성된다. 이때, 마스크부 (32) 의 한 변을 따르는 방향을 폭 방향으로 하고, 외연부 (32E) 에 있어서 상기 조건 1 이 만족되는 구성이면, 프레임부 (31) 와 마스크부 (32) 의 접합에 있어서의 위치의 정밀도를 높이는 것이 가능하고, 또 접합에 있어서의 강도를 높이는 것도 가능하다.

상기 서술한 증착 마스크 (30) 를 사용하여 표시 장치를 제조하는 방법에서는, 먼저 증착 마스크 (30) 를 탑재한 마스크 장치 (10) 를 증착 장치의 진공조 내에 장착한다. 이때, 유리 기판 등의 증착 대상과 제 1 면 (321) 이 대향하도록, 또한 증착원과 제 2 면 (322) 이 대향하도록 마스크 장치 (10) 를 장착한다. 그리고, 증착 장치의 진공조에 증착 대상을 반입하고, 증착원으로 증착 물질을 승화시킨다. 이로써, 제 1 개구 (H1) 에 추종한 형상을 갖는 패턴이, 제 1 개구 (H1) 와 대향하는 증착 대상에 형성된다. 또한, 증착 물질은, 예를 들어 표시 장치의 화소를 구성하는 유기 발광 재료나, 표시 장치의 화소 회로를 구성하는 화소 전극 등이다.

[실시예]

도 22 를 참조하여 각 실시예를 설명한다.

먼저, 인바를 재료로 하는 모재 (1a) 에 압연 공정을 실시하여 금속판을 형성하고, 이어서 폭 방향 (DW) 으로 원하는 크기가 얻어지도록 금속판을 절단하는 슬릿 공정을 실시하여, 압연 자재 (1b) 를 형성하였다. 계속해서, 압연 자재 (1b) 에 어닐 공정을 실시하여, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 20 ㎛ 인 실시예 1 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

또, 압연 롤러 (51, 52) 의 회전 속도와 가압력을 실시예 1 로부터 변경하고, 그 밖의 조건을 실시예 1 의 조건과 동일하게 설정함으로써, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 20 ㎛ 인 실시예 2 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

또, 압연 롤러 (51, 52) 사이에서의 가압력을 실시예 1 로부터 변경하고, 그 밖의 조건을 실시예 1 의 조건과 동일하게 설정함으로써, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 50 ㎛ 인 실시예 3 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

또, 압연 롤러 (51, 52) 의 수량을 실시예 1 로부터 변경하고, 그 밖의 조건을 실시예 1 의 조건과 동일하게 설정함으로써, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 20 ㎛ 인 실시예 4 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

이어서, 압연 롤러 (51, 52) 의 수량 및 온도를 실시예 1, 및 실시예 4 로부터 변경하고, 그 밖의 조건을 실시예 1 의 조건과 동일하게 설정함으로써, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 20 ㎛ 인 비교예 1 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

또, 압연 롤러 (51, 52) 의 수량 및 가압력을 실시예 1, 및 실시예 3 으로부터 변경하고, 그 밖의 조건을 실시예 1 의 조건과 동일하게 설정함으로써, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 20 ㎛ 인 비교예 2 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

또, 압연 롤러 (51, 52) 의 수량 및 가압력을 실시예 1 로부터 변경하고, 그 밖의 조건을 실시예 1 의 조건과 동일하게 설정함으로써, 폭 방향 (DW) 의 길이가 500 mm 이고, 또한 두께가 20 ㎛ 인 비교예 3 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 얻었다.

이어서, 도 22 가 나타내는 바와 같이, 길이 방향 (DL) 의 길이가 700 mm 인 측정용 기재 (2M) 를, 각 실시예의 증착 마스크용 기재 (1), 및 각 비교예의 증착 마스크용 기재 (1) 로부터 잘라내었다. 계속해서, 잘라내어진 각 측정용 기재 (2M) 의 폭 방향 (DW) 에서의 급준도를, 계측 범위 (ZL) 의 전체에 걸쳐 측정하였다. 이때, 폭 방향 (DW) 에서의 급준도의 측정 조건으로서 이하에 나타내는 조건을 사용하였다.

측정 장치 : 주식회사 니콘 제조 CNC 화상 측정 시스템 VMR-6555

계측 범위 (ZL) 의 길이 방향 (DL) 의 길이 : 500 mm (단위길이)

비계측 범위 (ZE) 의 길이 방향 (DL) 의 길이 : 100 mm

길이 방향 (DL) 의 측정 간격 : 20 mm

폭 방향 (DW) 의 측정 간격 : 20 mm

또한, 폭 방향의 측정은, 슬릿 공정에 의한 새로운 물결 형상을 제외하기 위해, 폭 방향 (DW) 의 양단으로부터 10 mm 를 제외하고, 폭 방향 (DW) 에 있어서 480 mm 의 범위에서 실시하였다. 즉, 폭 방향 (DW) 을 따라 25 점을 계측하고, 이 25 점을 1 라인으로 하여, 길이 방향 (DL) 으로 26 라인을 계측하였다. 각 실시예, 및 각 비교예의 어느 측정 간격에 있어서도, 길이 방향 (DL) 은, 모재 (1a) 가 압연에 의해 늘어나는 방향이다.

각 실시예 1 ∼ 4, 및 비교예 1 ∼ 3 에 대해, 제 1 급준도, 제 2 급준도의 평균값, 물결수의 최대값, 및 물결수의 평균값의 측정 결과를 표 1 에 나타낸다.

표 1 이 나타내는 바와 같이, 실시예 1 의 제 1 급준도는 0.43 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또한, 실시예 1 에 있어서의 26 라인 중의 4 라인에 대해, 단위급준도의 최소값은 0 ％ 이고, 폭 방향 (DW) 으로 거의 물결이 인정되지 않는 것이 인정되었다. 실시예 1 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.20 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.12 ％ 인 것이 인정되었다. 실시예 1 에 있어서의 물결수의 최대값은 4 개이고, [조건 3] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또, 실시예 1 에 있어서의 물결수의 평균값은 1 개이고, [조건 4] 를 만족하는 것이 인정되었다.

실시예 2 의 제 1 급준도는 0.29 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또한, 실시예 2 에 있어서의 26 라인 중의 5 라인에 대해, 단위급준도의 최소값은 0 ％ 이고, 폭 방향 (DW) 으로 거의 물결이 인정되지 않는 것이 인정되었다. 실시예 2 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.12 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.09 ％ 인 것이 인정되었다. 실시예 2 에 있어서의 물결수의 최대값은 3 개이고, [조건 3] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또, 실시예 2 에 있어서의 물결수의 평균값은 1 개이고, [조건 4] 를 만족하는 것이 인정되었다.

실시예 3 의 제 1 급준도는 0.37 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또한, 실시예 3 에 있어서의 26 라인 중의 7 라인에 대해, 단위급준도의 최소값은 0 ％ 이고, 폭 방향 (DW) 으로 거의 물결이 인정되지 않는 것이 인정되었다. 실시예 3 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.11 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.12 ％ 인 것이 인정되었다. 실시예 3 에 있어서의 물결수의 최대값은 3 개이고, [조건 3] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또, 실시예 3 에 있어서의 물결수의 평균값은 1 개이고, [조건 4] 를 만족하는 것이 인정되었다.

실시예 4 의 제 1 급준도는 0.44 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하는 것이 인정되었다. 또한, 실시예 4 에 있어서의 26 라인 중의 1 라인에 대해, 실시예 4 에 있어서의 단위급준도의 최소값은 0 ％ 이고, 폭 방향 (DW) 으로 거의 물결이 인정되지 않는 것이 인정되었다. 실시예 4 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.22 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.11 ％ 인 것이 인정되었다. 실시예 4 에 있어서의 물결수의 최대값은 5 개이고, [조건 3] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또, 실시예 4 에 있어서의 물결수의 평균값은 2 개이고, [조건 4] 를 만족하는 것이 인정되었다.

비교예 1 의 제 1 급준도는 0.90 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또한, 비교예 1 에 있어서의 단위급준도의 최소값은 0.11 ％ 인 것이 인정되었다. 비교예 1 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.33 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하지 않는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.18 ％ 인 것이 인정되었다. 비교예 1 에 있어서의 물결수의 최대값은 8 개이고, [조건 3] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또, 비교예 1 에 있어서의 물결수의 평균값은 5 개이고, [조건 4] 를 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또한, 비교예 1 에 있어서의 물결수의 최소값은 3 개인 것이 인정되었다.

비교예 2 의 제 1 급준도는 1.39 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또한, 비교예 2 에 있어서의 단위급준도의 최소값은 0.06 ％ 인 것이 인정되었다. 비교예 2 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.28 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하지 않는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.29 ％ 인 것이 인정되었다. 비교예 2 에 있어서의 물결수의 최대값은 5 개이고, [조건 3] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또, 비교예 2 에 있어서의 물결수의 평균값은 2 개이고, [조건 4] 를 만족하는 것이 인정되었다. 또한, 비교예 2 에 있어서의 물결수의 최소값은 1 개인 것이 인정되었다.

비교예 3 의 제 1 급준도는 0.58 ％ 이고, [조건 1] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또한, 비교예 3 에 있어서의 단위급준도의 최소값은 0.06 ％ 인 것이 인정되었다. 비교예 3 에 있어서의 제 2 급준도의 평균값은 0.31 ％ 이고, [조건 2] 를 만족하지 않는 것이 인정되었다. 이때, 제 2 급준도의 표준 편차 σ 는 0.14 ％ 인 것이 인정되었다. 비교예 3 에 있어서의 물결수의 최대값은 6 개이고, [조건 3] 을 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또, 비교예 3 에 있어서의 물결수의 평균값은 4 개이고, [조건 4] 를 만족하지 않는 것이 인정되었다. 또한, 비교예 3 에 있어서의 물결수의 최소값은 1 개인 것이 인정되었다.

[패턴의 정밀도]

각 실시예 1 ∼ 4, 및 각 비교예 1 ∼ 3 의 증착 마스크용 기재 (1) 를 이용하고, 증착 마스크용 기재 (1) 의 제 1 면 (1Sa) 에, 두께가 10 ㎛ 인 제 1 DFR (2) 을 첩착하였다. 이어서, 제 1 DFR (2) 에 노광 마스크를 접촉시켜 노광하는 노광 공정, 이어서 현상 공정을 실시하여, 30 ㎛ 의 직경을 가진 복수의 관통 구멍 (2a) 을, 제 1 DFR (2) 에 격자상으로 형성하였다. 계속해서, 제 1 DFR (2) 을 마스크로 하는 에칭을 제 1 면 (1Sa) 에 실시하여, 격자상으로 위치하는 복수의 구멍 (32H) 을 증착 마스크용 기재 (1) 에 형성하였다. 그리고, 증착 마스크용 기재 (1) 의 폭 방향 (DW) 에서의 개구 직경을 각 구멍 (32H) 에 대해 계측하였다. 각 구멍 (32H) 의 폭 방향 (DW) 에서의 개구 직경의 편차를 표 1 에 나타낸다. 또한, 표 1 에서는, 각 구멍 (32H) 이 갖는 개구 직경 중에서, 개구 직경의 최대값과 개구 직경의 최소값의 차가 2.0 ㎛ 이하인 수준에 ○ 표를 기재하고, 개구 직경의 최대값과 개구 직경의 최소값의 차가 2.0 ㎛ 보다 큰 수준에 × 표를 기재하였다.

표 1 이 나타내는 바와 같이, 실시예 1 ∼ 4 에서는, 개구 직경의 편차가 모두 2.0 ㎛ 이하인 것이 인정되었다. 또, 실시예 1 ∼ 4 중에서도, 실시예 1 ∼ 3 은, 실시예 4 보다 개구 직경의 편차가 더욱 작은 것이 인정되었다. 한편, 각 비교예 1 ∼ 3 에서는, 개구 직경의 편차가 모두 2.0 ㎛ 보다 큰 것이 인정되었다. 결과적으로, 실시예 1 ∼ 4 와 비교예 1 ∼ 3 의 비교로부터, 제 1 급준도가 0.5 ％ 이하인 것, 즉 [조건 1] 이 만족되는 것에 의해, 개구 직경의 편차가 억제되는 것이 인정되었다. 또, 제 2 급준도의 평균값이 0.25 ％ 이하인 것, 즉 [조건 2] 가 만족되는 것에 의해, 개구 직경의 편차가 억제되는 것도 인정되었다.

또, 실시예 1, 2, 3 과 실시예 4 의 비교로부터, 단위길이당의 물결수가 4 개 이하인 것, 즉 [조건 3] 이 만족되는 것에 의해, 개구 직경의 편차가 더욱 억제되는 것이 인정되었다. 또, 단위길이당의 물결수의 평균값이 2 개 이하인 것, 즉 [조건 4] 가 만족되는 것에 의해서도, 개구 직경의 편차가 더욱 억제되는 것이 인정되었다.

상기 실시형태에 의하면, 이하에 열거하는 효과가 얻어진다.

(1) 마스크부 (32) 가 구비하는 구멍의 형상이나 구멍의 크기에 관한 정밀도를 높이는 것, 나아가서는 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 레지스트를 노광하는 방법은, 레지스트에 노광 마스크를 접촉시키는 방법으로 한정하지 않고, 레지스트에 노광 마스크를 접촉시키지 않는 방법이어도 된다. 레지스트에 노광 마스크를 접촉시키는 방법이면, 노광 마스크의 표면에 증착 마스크용 기재가 압박되므로, 증착 마스크용 기재가 구비하는 물결 형상에서 기인한 노광 정밀도의 저하가 억제된다. 어느 노광 방법이라도, 액체로 표면을 가공하는 공정에서의 정밀도는 높아지고, 나아가서는 증착에 의해 형성되는 패턴의 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

(2) 현상액에 의한 현상의 결과나, 그 세정액에 의한 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차를 억제할 수 있다. 결과적으로, 노광 공정과 현상 공정을 거쳐 형성되는 제 1 관통 구멍 (2a) 이나 제 2 관통 구멍 (3a) 에 대해, 그 형상이나 크기의 균일성을, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면 내에서 높이는 것이 가능해진다.

(3) 에칭액에 의한 에칭의 결과나, 그 세정액에 의한 에칭액의 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차를 억제할 수 있다. 또, 박리액에 의한 레지스트층의 박리의 결과나, 그 세정액에 의한 박리액의 세정의 결과에 대해, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면에서의 편차를 억제할 수 있다. 결과적으로, 소구멍 (32SH) 의 형상이나 크기, 또 대구멍 (32LH) 의 형상이나 크기에 관해서, 증착 마스크용 기재 (1) 의 표면 내에서의 균일성을 높이는 것이 가능해진다.

(4) 1 체의 프레임부 (31) 에 필요로 되는 구멍 (32H) 의 수량을, 예를 들어 3 체의 마스크부 (32) 에서 담당한다. 즉, 1 체의 프레임부 (31) 에 필요로 되는 마스크부 (32) 의 총면적을, 예를 들어 3 체의 마스크부 (32) 로 분할하고 있다. 그 때문에, 1 체의 프레임부 (31) 에 있어서 마스크부 (32) 의 일부에 변형이 생긴 경우라도, 1 체의 프레임부 (31) 의 모든 마스크부 (32) 를 교환할 필요는 없다. 그리고, 변형된 마스크부 (32) 와 교환되는 새로운 마스크부 (32) 의 크기를, 1 체의 프레임부 (31) 에 1 체의 마스크부 (32) 를 구비하는 구성과 비교해, 1/3 정도로 작게 하는 것도 가능해진다.

(5) 측정용 기재 (2M) 를 사용한 급준도의 측정에서는, 측정용 기재 (2M) 의 길이 방향 (DL) 에서의 양방의 단부, 및 측정용 기재 (2M) 의 폭 방향 (DW) 에서의 양방의 단부를, 비계측 범위로서 급준도의 측정 대상으로부터 제외하고 있다. 각 비계측 범위는, 증착 마스크용 기재 (1) 의 절단에 의해, 증착 마스크용 기재 (1) 와는 상이한 물결 형상을 갖는 가능성을 가진 범위이다. 그 때문에, 비계측 범위 (ZE) 를 측정 대상으로부터 제외하는 측정이면, 급준도의 정밀도를 높이는 것이 가능하다.

또한, 상기 실시형태는, 이하와 같이 변경할 수도 있다.

[증착 마스크용 기재의 제조 방법]

·압연 공정에서는, 복수의 쌍의 압연 롤러를 구비한 압연 장치를 이용하여, 복수의 쌍의 압연 롤러에 의해 모재 (1a) 를 압연할 수도 있다. 복수의 쌍의 압연 롤러를 이용하는 방법이면, 상기 조건 1 ∼ 3 을 만족하기 위한 제어 파라미터에 관해서, 자유도를 높이는 것도 가능해진다.

·어닐 공정에서는, 압연 자재 (1b) 를 길이 방향 (DL) 으로 인장하면서 어닐을 실시하는 것이 아니라, 코어 (C) 에 권취된 롤상의 압연 자재 (1b) 를 어닐할 수도 있다. 또한, 롤상의 압연 자재 (1b) 를 어닐하는 방법에서는, 증착 마스크용 기재 (1) 에, 롤 직경에 따른 휨의 경향이 있는 경우가 있다. 그 때문에, 증착 마스크용 기재 (1) 의 재료나, 코어 (C) 에 감겼을 때의 롤 직경의 크기에 따라서는, 압연 자재 (1b) 를 인장하면서 어닐하는 것이 바람직하다.

·압연 공정과 어닐 공정을 복수회에 걸쳐 교대로 반복함으로써, 증착 마스크용 기재 (1) 를 제조할 수도 있다.

·전해에 의한 증착 마스크용 기재 (1) 나, 압연에 의한 증착 마스크용 기재 (1) 는, 화학적인 연마나, 전기적인 연마에 의해, 더욱 얇게 가공되어도 된다. 이때, 연마의 공정을 포함하여 상기 조건 1 ∼ 3 이 만족되도록, 연마액의 조성이나 그것의 공급 방식 등의 조건을 설정할 수도 있다. 또한, 연마에 의해 얻어진 증착 마스크용 기재 (1) 는, 내부 응력을 완화시키는 요청에 따라, 어닐 공정을 실시할 수도 있다.

C : 코어
F : 응력
S : 증착 대상
V : 공간
W : 폭
CP : 클램프
DL : 길이 방향
DW : 폭 방향
EP : 전극
H1 : 제 1 개구
H2 : 제 2 개구
PR : 레지스트층
RM : 레지스트 마스크
SH : 스텝 하이트
SP : 지지체
TM : 중간 전사 기재
ZE : 비계측 범위
ZL : 계측 범위
EPS : 전극 표면
1 : 증착 마스크용 기재
1a : 모재
1b : 압연 자재
1Sa, 321 : 제 1 면
1Sb, 322 : 제 2 면
2M : 측정용 기재
2a : 제 1 관통 구멍
2S : 표면
3a : 제 2 관통 구멍
4 : 제 1 보호층
10 : 마스크 장치
20 : 메인 프레임
21 : 메인 프레임 구멍
30 : 증착 마스크
31 : 프레임부
31E : 내연부
32, 32A, 32B, 32C : 마스크부
32BN : 접합부
32E : 외연부
32H : 구멍
32K : 기재
32LH : 대구멍
32SH : 소구멍
33, 33A, 33B, 33C : 프레임 구멍
50 : 압연 장치
51, 52 : 압연 롤러
53 : 어닐 장치
61 : 제 2 보호층
311 : 접합면
312 : 비접합면
323 : 마스크판

Claims

복수의 구멍을 에칭에 의해 형성하여 증착 마스크를 제조하기 위해 사용되는, 띠상을 가진 금속판인 증착 마스크용 기재로서,
상기 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 상기 금속판의 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 상기 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 상기 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고,
상기 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고,
상기 물결의 길이에 대한 상기 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이고,
상기 길이 방향에 있어서의 상기 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고,
상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이며,
상기 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하인, 증착 마스크용 기재.
제 1 항에 있어서,
상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서, 상기 폭 방향에 포함되는 모든 물결의 단위급준도 중의 최대값이, 제 2 급준도이고,
상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 제 2 급준도의 평균값이, 0.25 ％ 이하인, 증착 마스크용 기재.
제 1 항에 있어서,
상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서, 상기 폭 방향에 포함되는 물결의 수가, 그 위치에서의 물결수이고,
상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 물결수의 최대값이 4 개 이하인, 증착 마스크용 기재.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서, 상기 폭 방향에 포함되는 물결의 수가, 그 위치에서의 물결수이고,
상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 물결수의 평균값이 2 개 이하인, 증착 마스크용 기재.
복수의 구멍을 에칭에 의해 형성하여 증착 마스크를 제조하기 위해 사용되는, 띠상을 가진 금속판인 증착 마스크용 기재의 제조 방법으로서,
모재를 압연하여 상기 금속판을 얻는 것을 포함하고,
상기 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 상기 금속판의 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 상기 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 상기 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고,
상기 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고,
상기 물결의 길이에 대한 상기 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이고,
상기 길이 방향에 있어서의 상기 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고,
상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이고,
상기 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하이도록, 상기 모재를 압연하는, 증착 마스크용 기재의 제조 방법.
띠상을 가진 금속판에 레지스트층을 형성하는 것과,
상기 레지스트층을 마스크로 한 에칭에 의해 상기 금속판에 복수의 구멍을 형성하여 마스크부를 형성하는 것을 포함하는 증착 마스크의 제조 방법으로서,
상기 금속판은 길이 방향과 폭 방향을 가지고, 상기 금속판의 상기 길이 방향에서의 각 위치에 있어서의 상기 폭 방향을 따른 형상은, 서로 상이하고, 각 형상은, 상기 폭 방향으로 반복되는 물결을 갖고, 각 물결은 그 양측에 각각 골짜기를 가지고,
상기 물결에 있어서의 일방의 골짜기로부터 타방의 골짜기까지를 잇는 폭 방향의 직선의 길이가 물결의 길이이고,
상기 물결의 길이에 대한 상기 물결의 높이의 백분율이 단위급준도이고,
상기 길이 방향에 있어서의 상기 금속판의 단위길이가, 500 mm 이고,
상기 단위길이의 금속판에 있어서의 상기 단위급준도의 최대값이, 제 1 급준도이며,
상기 제 1 급준도가, 0.5 ％ 이하인, 증착 마스크의 제조 방법.
제 6 항에 있어서,
상기 마스크부를 형성하는 것은, 단일의 상기 금속판에 복수의 상기 마스크부를 형성하는 것이고,
상기 각 마스크부가, 상기 복수의 구멍을 가진 1 개의 측면을 각각 구비하고,
상기 각 마스크부의 측면과, 1 체의 프레임부를, 상기 복수의 구멍을 상기 마스크부마다 상기 1 체의 프레임부가 둘러싸도록, 서로 접합하는 것을 추가로 포함하는, 증착 마스크의 제조 방법.
제 6 항 또는 제 7 항에 기재된 증착 마스크의 제조 방법에 의한 증착 마스크를 준비하는 것과,
상기 증착 마스크를 사용한 증착에 의해 패턴을 형성하는 것을 포함하는, 표시 장치의 제조 방법.