KR20190035100A - 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그 - Google Patents
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Abstract
산업용 친환경 무독성 세정제가 개시된다.
개시되는 산업용 친환경 무독성 세정제는 반도체 공정의 대상체를 세정하는 세정액에 있어서, 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르, 에틸렌디아민테트라아세트산-4나트륨염, 알칼리 폴리 글루코사이드, 디수소 산화물, 및 안정제를 함유하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 세정용 지그는 반도체 공정에서 사용되는 대상체를 세정하기 위해 고정시키는 것에 있어서, 그 내부의 하측 공간이 빈 지그 몸체; 및 상기 대상체가 상기 지그 몸체의 상면과 수직인 상태로 꽂혀 고정되도록, 상기 지그 몸체의 상면에서 상기 하측 공간으로 관통 형성된 고정 홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 산업용 친환경 무독성 세정제에 의하면, 무독성 물질로 구성되되 세정 효과가 뛰어나고, 친환경적으로 사용 중 유독가스가 발생되지 않고, 저장 및 관리가 쉬워 사용이 편리한 장점이 있다.
개시되는 세정용 지그에 의하면, 대상체를 안전하게 고정시켜 대상체의 깨짐을 방지하면서도, 산업용 친환경 무독성 세정제가 허비되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
개시되는 산업용 친환경 무독성 세정제는 반도체 공정의 대상체를 세정하는 세정액에 있어서, 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르, 에틸렌디아민테트라아세트산-4나트륨염, 알칼리 폴리 글루코사이드, 디수소 산화물, 및 안정제를 함유하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 세정용 지그는 반도체 공정에서 사용되는 대상체를 세정하기 위해 고정시키는 것에 있어서, 그 내부의 하측 공간이 빈 지그 몸체; 및 상기 대상체가 상기 지그 몸체의 상면과 수직인 상태로 꽂혀 고정되도록, 상기 지그 몸체의 상면에서 상기 하측 공간으로 관통 형성된 고정 홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 산업용 친환경 무독성 세정제에 의하면, 무독성 물질로 구성되되 세정 효과가 뛰어나고, 친환경적으로 사용 중 유독가스가 발생되지 않고, 저장 및 관리가 쉬워 사용이 편리한 장점이 있다.
개시되는 세정용 지그에 의하면, 대상체를 안전하게 고정시켜 대상체의 깨짐을 방지하면서도, 산업용 친환경 무독성 세정제가 허비되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
Description
본 발명은 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그에 관한 것이다.
반도체 소자 생산 공정 중, 반도체 소자 상의 전극과 외부 단자와의 사이를 접합하는 방법을 와이어 본딩(wire bonding)이라 한다. 이러한 와이어 본딩에 사용되는 배선(와이어, wire)은 대게 알루미늄(Al), 금(Au), 또는 구리(cu)가 일반적으로 사용된다.
여기서 알루미늄을 사용하는 와이어 본딩은 알루미늄 웨지 본딩(Aluminum wedge bonding) 방식을 이용한다. 자세히, 웨지 본딩이란, 웨지 툴(wedge tool)을 이용하여 기판 위에서 와이어를 일정한 힘으로 누르되 초음파 에너지를 가하여 와이어를 녹여 기판에 와이어를 밀착시키고, 그 다음 리드선을 따라 다음 지점으로 와이어를 이동시킨 후, 위와 동일한 방법으로 이동된 위치에 와이어를 밀착시킨 후, 남은 와이어 부분을 끊어내는 방식이다.
여기서, 와이어가 웨지 툴 끝단에서 녹을 때, 그 웨지 툴 끝단에 와이어가 녹고 난 일부가 묻어 잔여물로 쌓이게 된다. 이러한 잔여물은 웨지 툴 끝단에 쌓여 본딩 공정을 방해하므로 주기적으로 잔여물을 제거하는 세정 공정을 실시해주어야 했다.
이러한 세정 공정에서 웨지 툴의 잔여물을 제거할 수 있는 반도체 공정용 세정제가 사용되었으며, 반도체 공정용 세정제의 예로 제시될 수 있는 것이 아래에 제시된 특허문헌의 그 것들이다.
여기서 종래의 반도체 공정용 세정제를 포함한 아래의 특허문헌을 살펴보면, 유독성 물질이 함유되어 있어 위험물로 지정되어 있고 이로 인해 별도로 관리할 수 있는 저장시설의 설치가 필요하였으며, 사용중 인체에 해로운 유독 가스가 발생한다는 단점이 있었다.
특히 환경 규제법상 적합한 유독성 물질의 세정제라 할지라도 반도체 공정용 세정제로 인한 환경오염이 심각해지면서, 무독성의 친환경 세정제가 필요한 현실이다.
본 발명은 무독성 물질로 구성되되 세정 효과가 뛰어나고, 친환경적으로 사용 중 유독가스가 발생되지 않고, 저장 및 관리가 쉬워 사용이 편리한 산업용 친환경 무독성 세정제를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명은 대상체를 안전하게 고정시켜 대상체의 깨짐을 방지하면서도, 산업용 친환경 무독성 세정제가 허비되는 것을 방지하는 세정용 지그를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 산업용 친환경 무독성 세정제는 반도체 공정의 대상체를 세정하는 세정액에 있어서, 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르, 에틸렌디아민테트라아세트산-4나트륨염, 알칼리 폴리 글루코사이드, 디수소 산화물, 및 안정제를 함유하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 세정용 지그는 반도체 공정에서 사용되는 대상체를 세정하기 위해 고정시키는 것에 있어서, 그 내부의 하측 공간이 빈 지그 몸체; 및 상기 대상체가 상기 지그 몸체의 상면과 수직인 상태로 꽂혀 고정되도록, 상기 지그 몸체의 상면에서 상기 하측 공간으로 관통 형성된 고정 홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 산업용 친환경 무독성 세정제에 의하면 반도체 공정의 대상체를 세정하는 세정액에 있어서, 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르, 에틸렌디아민테트라아세트산-4나트륨염, 알칼리 폴리 글루코사이드, 디수소 산화물, 및 안정제를 함유하는 것으로써, 무독성 물질로 구성되되 세정 효과가 뛰어나고, 친환경적으로 사용 중 유독가스가 발생되지 않고, 저장 및 관리가 쉬워 사용이 편리한 효과가 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 세정용 지그는 반도체 공정에서 사용되는 대상체를 세정하기 위해 고정시키는 것에 있어서, 그 내부의 하측 공간이 빈 지그 몸체; 및 상기 대상체가 상기 지그 몸체의 상면과 수직인 상태로 꽂혀 고정되도록, 상기 지그 몸체의 상면에서 상기 하측 공간으로 관통 형성된 고정 홀;을 포함하는 것으로서, 대상체를 안전하게 고정시켜 대상체의 깨짐을 방지하면서도, 산업용 친환경 무독성 세정제가 허비되는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부를 확대한 확대도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부에 잔여물이 묻어있는 상태를 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부가 하측 공간에 배치되도록 대상체를 고정 홀에 고정시킨 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부가 하측 공간에 배치되도록 대상체를 고정 홀에 고정시킨 모습을 정면에서 바라본 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 그 내부에 지그가 배치될 수 있는 세척 장비를 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예의 말단부에 잔여물이 형성된 대상체를 산업용 친환경 무독성 세정제로 세정하기 전의 모습을 나타낸 사진.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예의 말단부에 잔여물이 형성된 대상체를 산업용 친환경 무독성 세정제로 세정한 후의 모습을 나타낸 사진.
도 8은 본 발명의 비교예 1의 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 0.1중량부 미만일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체 말단부를 촬영한 사진.
도 9는 비교예 1의 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 1중량부 초과일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체를 촬영한 사진.
도 10은 비교예 2의 알칼리 폴리 글루코사이드가 0.1중량부 미만일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체 말단부를 촬영한 사진.
도 11은 비교예 2의 알칼리 폴리 글루코사이드가 1중량부 초과일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체를 촬영한 사진.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부에 잔여물이 묻어있는 상태를 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부가 하측 공간에 배치되도록 대상체를 고정 홀에 고정시킨 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부가 하측 공간에 배치되도록 대상체를 고정 홀에 고정시킨 모습을 정면에서 바라본 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 그 내부에 지그가 배치될 수 있는 세척 장비를 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예의 말단부에 잔여물이 형성된 대상체를 산업용 친환경 무독성 세정제로 세정하기 전의 모습을 나타낸 사진.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예의 말단부에 잔여물이 형성된 대상체를 산업용 친환경 무독성 세정제로 세정한 후의 모습을 나타낸 사진.
도 8은 본 발명의 비교예 1의 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 0.1중량부 미만일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체 말단부를 촬영한 사진.
도 9는 비교예 1의 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 1중량부 초과일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체를 촬영한 사진.
도 10은 비교예 2의 알칼리 폴리 글루코사이드가 0.1중량부 미만일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체 말단부를 촬영한 사진.
도 11은 비교예 2의 알칼리 폴리 글루코사이드가 1중량부 초과일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체를 촬영한 사진.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부를 확대한 확대도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부에 잔여물이 묻어있는 상태를 보이는 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부가 하측 공간에 배치되도록 대상체를 고정 홀에 고정시킨 모습을 위에서 비스듬히 내려다본 도면이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체의 말단부가 하측 공간에 배치되도록 대상체를 고정 홀에 고정시킨 모습을 정면에서 바라본 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 그 내부에 지그가 배치될 수 있는 세척 장비를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예의 말단부에 잔여물이 형성된 대상체를 산업용 친환경 무독성 세정제로 세정하기 전의 모습을 나타낸 사진이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예의 말단부에 잔여물이 형성된 대상체를 산업용 친환경 무독성 세정제로 세정한 후의 모습을 나타낸 사진이고, 도 8은 본 발명의 비교예 1의 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 0.1중량부 미만일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체 말단부를 촬영한 사진이고, 도 9는 비교예 1의 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 1중량부 초과일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체를 촬영한 사진이고, 도 10은 비교예 2의 알칼리 폴리 글루코사이드가 0.1중량부 미만일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체 말단부를 촬영한 사진이고, 도 11은 비교예 2의 알칼리 폴리 글루코사이드가 1중량부 초과일 경우의 산업용 친환경 무독성 세정제로 대상체를 세정하고 난 후의 대상체를 촬영한 사진이다.
도 1 내지 도 11을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 산업용 친환경 무독성 세정제는 반도체 공정의 대상체(10)를 세정하는 세정액으로, 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르와, 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염과, 알칼리 폴리 글루코사이드와, 디수소 산화물과, 안정제를 포함한다.
본 실시예에서는 상기 대상체(10)가 웨지 본딩(wedge bonding)에 사용되고, 그 말단부(15)에 와이어가 녹고 난 일부가 묻어 잔여물(30)로 쌓여 있는 웨지 툴(wedge tool)로 예시되어있으나, 노폐물이 형성된 다른 산업용 전자 부품이나 장치가 될 수 있음은 물론이다.
즉, 상기 산업용 친환경 무독성 세정제는 상기 대상체(10)의 상기 잔여물(30)이나 노폐물을 세정할 때 사용되는 것이다.
상기 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르(2-(2-BUTOXYETHOXY)ETHANOL)는 글리콜 에테르계 물질로 상기 디수소 산화물에 용해가 쉽고 상온에서 안전하게 보관 가능하며 화학 분자식으로는 
로 표기된다.
본 실시예에서의 상온은 상기 반도체 공정이 실시되는 작업장의 평상 온도로 10~30℃가 될 수 있다.
특히 상기 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르는 친환경 물질이며 환경 규제법상 폐기시 규제대상이 아니다.
상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염(EDTA-4Na)는 에틸렌디아민테르라아세트산에 나트륨이 결합된 것으로 유기화합물의 일종이며, 화학 분자식 
로 표기된다. 이러한 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염은 후술 설명될 상기 알칼리 폴리 글루코사이드와 이온 결합된다.
상기 알칼리 폴리 글루코사이드(APG, Alkyl poly glucoside)는 화학식 
로 표기된다. 이러한 상기 알칼리 폴리 글루코사이드는 에테르 계열의 성분으로 다당류의 산성 알코올 분해의 결과물인 단사슬 글루코사이드의 알칼리화로 인해 생성된다. 일반적으로 계면활성제로 사용되며 세척력이 매우 뛰어나다는 특징이 있다. 특히, 상기 알칼리 폴리 글루코사이드는 다른 계면활성제에 비해 계면활성이 우수하면서도 생분해성이 높다는 특징이 있으며, 상기 디수소 산화물에 희석될 때 휘발성 유기물질을 발생시키지 않고 무독성으로 인체에 친화적이며 재생성 천연 자원으로 제조할 수 있어 환경에 친화적이라고 할 수 있다.
상기 디수소 산화물(DIHYDROGEN OXIDE)는 일반적으로 희석에 쓰이는 증류수이며, 화학 분자식으로는 
로 표기한다. 이러한 상기 디수소 산화물에 상기 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르와 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염과 상기 알칼리 폴리 글루코사이드와 상기 안정제가 희석된다.
상기 산업용 친환경 무독성 세정제 100중량부에 대해서, 상기 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르가 1 내지 3중량부 함유되고, 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 0.1 내지 1중량부 함유되고, 상기 알칼리 폴리 글루코사이드가 0.1 내지 1중량부 함유되고, 상기 디수소 산화물이 85 내지 90중량부 함유되고, 상기 안정제가 5 내지 10중량부 함유된다.
여기서, 상기 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르와 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 서로 혼합될 때, 상기 알칼리 폴리 글루코사이드와 상기 에틸렌디아민테트라아세트산-4나트륨염이 이온 결합되고, 상기 이온 결합에서 발생된 이온이 상기 대상체(10)의 표면에 이온 부착되어 상기 대상체(10) 표면에서 떨어져 잔재물로 가라앉게 되는 효과가 있어 세정력이 향상될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 세정용 지그(20)는 본 실시예에 따른 산업용 친환경 무독성 세정제를 이용하여 반도체 공정에서 사용되는 대상체(10)를 세정하기 위해 고정시키는 것으로, 그 내부의 하측 공간(22)이 빈 지그 몸체(21)와, 상기 대상체(10)가 상기 지그 몸체(21)의 상면과 수직인 상태로 꽂혀 고정되도록, 상기 지그 몸체(21)의 상면에서 상기 하측 공간(22)으로 관통 형성된 고정 홀(25)을 포함한다.
자세히, 상기 지그 몸체(21)는 세척 장비(40) 내에 배치될 수 있는 크기로 형성되며, 도 3에 도시된 바와 같이, 그 상면에 상기 고정 홀(25)이 복수 개 형성되어 있다.
여기서, 상기 고정 홀(25)이 상기 대상체(10)를 감싸 안전하게 고정시킬 수 있도록 그 깊이가 결정된다.
상기 세척 장비(40)란 상기 지그 몸체(20)가 그 내부에 배치될 수 있고 상기 산업용 친환경 무독성 세정제를 이용하여 상기 지그(20)에 고정된 상기 대상체(10)를 세척할 수 있는 것이다.
상기와 같이 형성된 상태에서 상기 대상체(10)의 상기 말단부(15)가 상기 하측 공간(22)에 배치되도록 상기 고정 홀(25)에 고정시킨다. 그런 다음 상기 세척 장비(40)로 상기 지그(20)를 투입하고 상기 대상체(10)를 세척시키면 상기 잔여물(30)이 상기 말단부(15)에서 떨어지면서 하방으로 낙하된다.
종래의 상기 지그(20)는 단순히 상기 대상체(10)의 상기 말단부(15)가 상공을 향하도록 상기 대상체(10)의 일부만 고정시켰다. 그래서, 상기 대상체(10)가 잔진동에 흔들려 서로 부딪혀 파손되는 경우가 다반사로 일어났으며, 상기 대상체(10)의 상기 잔여물(30)이 세척되어 상기 대상체(10)에서 탈각될 때, 지그 몸체(21) 상단에 쌓이게 되었고, 특히, 상기 산업용 친환경 무독성 세정제의 부분적인 교체가 아닌 전체적으로 갈아주어야 한다는 단점이 있었다.
그러나 상기와 같이, 상기 대상체(10)가 상기 지그(20)에 안전하게 고정되면서도 상기 말단부(15)가 상기 하측 공간(22)에 배치되면, 상기 대상체(10)가 세척 과정에서 잔진동에도 흔들리지 않아 깨짐이 방지될 수 있고, 상기 잔여물(30)이 상기 대상체(10)에서 탈각되면 상기 지그 몸체(21)의 상단에 쌓이지 않고 상기 하측 공간(22)에 쌓이게 되며, 상기 하측 공간(22)에 쌓인 상기 잔여물(30)을 보고 상기 산업용 친환경 무독성 세정제를 부분적으로 교체 및 보충해 줄 수 있다는 장점이 있다. 즉, 상기 세정용 지그(20)는 상기 대상체(10)를 안전하게 고정시켜 대상체의 깨짐을 방지하면서도, 산업용 친환경 무독성 세정제가 허비되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는 상기 산업용 친환경 무독성 세정제를 이용하여 상기 대상체(10)를 세척하는 과정에 대하여 간략하게 설명한다.
우선, 세척 장비(40) 내에 배치될 수 있고 상기 대상체(10)를 고정시킬 수 있는 지그(20)를 준비한다.
그런 다음, 상기 고정 홀(25)에 상기 잔여물(30)이 형성된 상기 대상체(10)를 고정시킨다. 이때, 상기 대상체(10)의 상기 말단부(15)가 상기 하측 공간에 배치되도록 한다.
그런 다음, 상기 세척 장비(40)를 작동시켜 상기 산업용 친환경 무독성 세정제로 상기 대상체(10)를 세정시킨다.
상기와 같이 세정된 상기 대상체(10)는 재사용이 가능하다.
이하에서는 상기 산업용 친환경 무독성 세정제로 상기 대상체(10)를 세정시켰을 때의 실시예와 비교예를 통하여 보다 상세하게 설명한다. 설명에 있어 상기 대상체(10)는 웨지 본딩에 8시간 사용되어 상기 잔여물(30)이 형성되어 있으며, 후술 설명될 비교예들과 실시예에서의 상기 대상체(10)는 동일한 조건으로 주어진 것이다.
비교예 1. 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염의 조성비에 따른 테스트 결과
| 성분 | 함량(%) |
| 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르 | 1~3 |
| 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염 | 0.1 미만 |
| 알칼리 폴리 글루코사이드 | 0.1~1 |
| 디수소 산화물 | 85~90 |
| 안정제 | 5~10 |
도 7의 사진을 참고하면, 상기 세척 장비(40)로 상기 대상체(10)를 세척하였을 때, 상기 대상체(10)에 상기 잔여물(30)이 일부 존재하였음을 알 수 있다.
즉, 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염의 함량이 0.1 % 미만인 경우 세정력이 부족함을 확인할 수 있다.
| 성분 | 함량(%) |
| 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르 | 1~3 |
| 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염 | 1 초과 |
| 알칼리 폴리 글루코사이드 | 0.1~1 |
| 디수소 산화물 | 85~90 |
| 안정제 | 5~10 |
도 8의 사진을 참고하면, 상기 세척 장비(40)로 상기 대상체(10)를 세척하였을 때, 상기 대상체(10)의 표면에 탄화 흔적이 발생하였음을 확인할 수 있다.
즉, 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염의 함량이 1 % 초과인 경우 과세정이 발생하여 상기 대상체(10)의 표면에 탄화가 일어날 수 있음을 알 수 있다.
비교예 2. 알칼리 폴리 글루코사이드의 조성비에 따른 테스트 결과
| 성분 | 함량(%) |
| 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르 | 1~3 |
| 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염 | 0.1~1 |
| 알칼리 폴리 글루코사이드 | 0.1 미만 |
| 디수소 산화물 | 85~90 |
| 안정제 | 5~10 |
도 9의 사진을 참고하면, 상기 세척 장비(40)로 상기 대상체(10)를 세척하였을 때, 상기 대상체(10)에 상기 잔여물(30)이 일부 존재하였음을 알 수 있다.
즉, 상기 알칼리 폴리 글루코사이드의 함량이 0.1 % 미만인 경우 세정력이 부족함을 확인할 수 있다.
| 성분 | 함량(%) |
| 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르 | 1~3 |
| 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염 | 0.1~1 |
| 알칼리 폴리 글루코사이드 | 1 초과 |
| 디수소 산화물 | 85~90 |
| 안정제 | 5~10 |
도 10의 사진을 참고하면, 상기 세척 장비(40)로 상기 대상체(10)를 세척하였을 때, 상기 대상체(10)의 표면에 탄화 흔적 및 상기 잔여물(30)이 잔류되어 있음을 확인할 수 있다.
즉, 상기 알칼리 폴리 글루코사이드의 함량이 1 % 초과인 경우 과세정 및 상기 잔여물(30)의 잔류가 발생하여 상기 대상체(10)의 세정이 제대로 이루어지지 않음을 알 수 있다.
실시예 1. 산업용 친환경 무독성 세정제 제조.
| 성분 | 함량(%) |
| 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르 | 1~3 |
| 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염 | 0.1~1 |
| 알칼리 폴리 글루코사이드 | 0.1~1 |
| 디수소 산화물 | 85~90 |
| 안정제 | 5~10 |
상기와 같은 함량으로 제조된 상기 산업용 친환경 무독성 세정제는 도 5 내지 도 6의 사진을 참고하면, 상기 세척 장비(40)로 상기 대상체(10)를 세척하였을 때, 상기 대상체(10)의 퇴화현상이 발생되지 않으면서도 상기 잔여물(30)이 잔류되지 않고 깨끗하게 세정되었음을 확인할 수 있다.
즉, 상기와 같은 실시예 1을 참조하면 상기와 같은 함량의 상기 산업용 친환경 무독성 세정제는 상기 대상체(10)의 상기 잔여물(30)에 대한 세정 효과가 뛰어나다는 것을 알 수 있다.
이러한 상기 산업용 친환경 무독성 세정제는 상온에서 쉽게 보관될 수 있으며, 친환경 물질로 구성되어 환경 규제법상 폐기시 규제대상이 아니므로 별도의 지정물 관리 시설이 필요 없다. 또한, 사용 중 유해 가스가 발생되지 않으며 용해도 및 세정력이 뛰어나다는 장점이 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그에 의하면, 무독성 물질로 구성되되 세정 효과가 뛰어나고, 친환경적으로 사용 중 유독가스가 발생되지 않고, 저장 및 관리가 쉬워 사용이 편리하고, 대상체를 안전하게 고정시켜 대상체의 깨짐을 방지하면서도, 산업용 친환경 무독성 세정제가 허비되는 것을 방지할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
10 : 대상체
20 : 지그
25 : 고정 홀
30 : 잔여물
20 : 지그
25 : 고정 홀
30 : 잔여물
Claims (3)
- 반도체 공정의 대상체를 세정하는 세정액에 있어서,
다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르, 에틸렌디아민테트라아세트산-4나트륨염, 알칼리 폴리 글루코사이드, 디수소 산화물, 및 안정제를 함유하는 것을 특징으로 하는 산업용 친환경 무독성 세정제. - 제 1항에 있어서,
상기 산업용 친환경 무독성 세정제 100중량부에 대해서,
상기 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에테르가 1 내지 3중량부 함유되고, 상기 에틸렌디아민테르라아세트산-4나트륨염이 0.1 내지 1중량부 함유되고, 상기 알칼리 폴리 글루코사이드가 0.1내지 1중량부 함유되고, 상기 디수소 산화물이 85 내지 90중량부 함유되고, 상기 안정제가 5 내지 10중량부 함유되는 것을 특징으로 하는 산업용 친환경 무독성 세정제. - 반도체 공정에서 사용되는 대상체를 세정하기 위해 고정시키는 것에 있어서,
그 내부의 하측 공간이 빈 지그 몸체; 및
상기 대상체가 상기 지그 몸체의 상면과 수직인 상태로 꽂혀 고정되도록, 상기 지그 몸체의 상면에서 상기 하측 공간으로 관통 형성된 고정 홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정용 지그.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020170123937A KR20190035100A (ko) | 2017-09-26 | 2017-09-26 | 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170123937A KR20190035100A (ko) | 2017-09-26 | 2017-09-26 | 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20190035100A true KR20190035100A (ko) | 2019-04-03 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020170123937A KR20190035100A (ko) | 2017-09-26 | 2017-09-26 | 산업용 친환경 무독성 세정제 및 세정용 지그 |
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Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| KR100450559B1 (ko) | 1996-08-09 | 2005-01-13 | 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 | 반도체소자제조용세정액및그것을사용한반도체소자의제조방법 |
| KR20150119675A (ko) | 2014-04-16 | 2015-10-26 | 삼성전자주식회사 | 세정액 조성물 및 이를 이용한 반도체 소자의 세정 방법 |
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2017
- 2017-09-26 KR KR1020170123937A patent/KR20190035100A/ko unknown
Patent Citations (2)
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| KR20150119675A (ko) | 2014-04-16 | 2015-10-26 | 삼성전자주식회사 | 세정액 조성물 및 이를 이용한 반도체 소자의 세정 방법 |
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