KR20190030079A - 배기활성장치 - Google Patents

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Abstract

배기활성장치가 개시된다. 일 실시예는, 배기덕트에 설치되는 것으로, 외측면에 형성되는 제1체결부와, 상기 제1체결부 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부와, 상기 제1공압조절부 하단에 형성되는 제1단턱으로 이루어지는 상부몸체; 내측면에 형성되는 제2체결부와, 상기 제2체결부 하부에 형성되는 제2공압조절부와, 상기 제2공압조절부를 관통하여 결합되는 공기유입노즐과, 상기 제2공압조절부 하단에 형성되는 제2단턱으로 이루어지며, 상기 상부몸체의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체;를 포함하고, 상부몸체와 하부몸체의 체결정도에 따라 공압이 조절되는 것이며, 상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재;를 포함하고, 연결부재는 배기덕트에 연결된다.
이에 따르면, 상부몸체와 하부몸체의 체결 정도에 따라 공압조절부의 부피가 가변되어 공압을 조절할 수 있게 되므로, 배기 덕트에서 위치마다 다르게 요구되는 배기압력을 정확하게 설정할 수 있어 배기 능력이 향상될 수 있는 효과가 있다.

Description

배기활성장치{Exhaust Activation Device}
개시되는 내용은 배기활성장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압축공기가 공급되는 공압조절부를 조절하여 공압을 조절할 수 있는 배기활성장치에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
이러한 과정에서 많은 화학물질들이 사용되며 공정 챔버로 상기 화학물질들을 공급하는 한편 미 반응된 화학물질 또는 부산물등의 배기 가스를 배기하는 것이 필요하다.
이와 관련한 선행기술로써 대한민국 공개특허 제10-2005-0072234호(2005.07.11) 배관을 구비하는 반도체 설비가 개시되어 있다.
이 종래의 기술은 공정에러를 감소시킬 수 있으며 공정 에러 원인을 쉽게 파악할 수 있는 반도체 설비를 제공한다.
이 설비는 공정 챔버, 및 상기 공정 챔버에 연결되며 상기 공정 챔버 안의 배기 가스를 배출하는 배관을 구비하며, 상기 배관 내부에 프로펠러가 장착된 것을 특징으로 한다.
또 다른 선행기술로는 배기덕트 도중에 압축공기를 이용하는 공기 증폭기를 마련하여 많은 배기 가스를 한꺼번에 흡입하고, 그 흡입된 배기가스를 강력히 배출함으로써 펌프보다 작은 콤팩트한 사이즈로 가스박스나 배기덕트 내부의 음압을 유지할 수 있어 가스박스나 스크러버 등을 통해 외부로 인체에 유해한 배기가스가 누출되지 않도록 하고 있다.
그러나, 이러한 배기 덕트는 위치에 따라 요구되는 공압이 상이함에도 불구하고, 종래의 기술은 압축공기의 압력을 제어하는 기능이 없어 요구되는 공압을 제공하지 못하는 문제점이 있다.
한편 본 발명자는 한국 실용신안출원 20-2014-0003836호 「반도체 제조 공정용 공압조절 배기활성장치」를 출원한 바 있다.
상기 선행기술은 배기활성장치가 상부몸체와 하부몸체로 체결되어 형성됨으로써, 상기 상부몸체와 하부몸체의 체결 정도에 따라 공압조절부의 부피가 가변되어 공압을 조절할 수 있게 되므로, 반도체 제조용 설비의 배기 덕트에서 위치마다 다르게 요구되는 공압을 제공할 수 있는 반도체 제조 공정용 공압조절 배기활성장치에 관련된 기술이다.
한국 실용신안출원 20-2014-0003836호
개시되는 내용은 본 발명자의 선출원 발명인 한국 실용신안출원 20-2014-0003836호를 개선하기 위한 것으로, 하부몸체로부터 배기 가스가 유입되어 상부몸체로 배출되며, 측면의 공압주입구에서 고압공기가 유입되어 벤츄리 효과에 의한 배기 가스의 배출이 가능하도록 하되, 상부몸체와 하부몸체는 나사 결합되며 상부몸체의 체결 깊이에 따라 고압공기의 압력이 조절되어 배기 가스의 배출속도를 조절할 수 있고, 연결부재를 이용하여 상부몸체와 하부몸체를 각기 덕트에 탈부착 가능하게 결합될 수 있어 시공이 용이해질 수 있도록 한 배기활성장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
실시예의 목적은, 배기덕트에 설치되는 것으로, 외측면에 형성되는 제1체결부와, 상기 제1체결부 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부와, 상기 제1공압조절부 하단에 형성되는 제1단턱으로 이루어지는 상부몸체; 내측면에 형성되는 제2체결부와, 상기 제2체결부 하부에 형성되는 제2공압조절부와, 상기 제2공압조절부를 관통하여 결합되는 공기유입노즐과, 상기 제2공압조절부 하단에 형성되는 제2단턱으로 이루어지며, 상기 상부몸체의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체;를 포함하고, 상부몸체와 하부몸체의 체결정도에 따라 공압이 조절되는 것이며, 상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재;를 포함하고, 연결부재는 배기덕트에 연결되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치에 의해 달성될 수 있다.
개시된 실시예에 따르면, 상부몸체와 하부몸체의 체결 정도에 따라 공압조절부의 부피가 가변되어 공압을 조절할 수 있게 되므로, 배기 덕트에서 위치마다 다르게 요구되는 배기압력을 정확하게 설정할 수 있어 배기 능력이 향상될 수 있는 효과가 있다.
또한 상부몸체와 하부몸체를 각기 배기덕트에 탈부착 가능하게 결합될 수 있어 시공이 용이해질 수 있는 효과가 있다.
도 1은 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 사시도,
도 2는 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 분해사시도,
도 3 및 도 4는 실시예에 따른 배기활성장치의 작동을 나타낸 단면도,
도 5는 제2실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도,
도 6은 제3실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도,
도 7은 제4실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도.
이하 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.
또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.
첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 사시도, 도 2는 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 분해사시도, 도 3 및 도 4는 실시예에 따른 배기활성장치의 작동을 나타낸 단면도, 도 5는 제2실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도, 도 6은 제3실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도, 도 7은 제4실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 배기활성장치는, 배기가스를 배기하는 배기덕트에 설치되어 배기가스의 흐름을 원활히 하는 것으로, 외측면에 형성되는 제1체결부(110)와, 상기 제1체결부(110) 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부(120)와, 상기 제1공압조절부(120) 하단에 형성되는 제1단턱(130)으로 이루어지는 상부몸체(100); 내측면에 형성되는 제2체결부(210)와, 상기 제2체결부(210) 하부에 형성되는 제2공압조절부(220)와, 상기 제2공압조절부(220)를 관통하여 결합되는 공기유입노즐(224)과, 상기 제2공압조절부(220) 하단에 형성되는 제2단턱(230)으로 이루어지며, 상기 상부몸체(100)의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체(200);상기 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되면서 상기 제1단턱(130)과 제2단턱(230) 사이에 형성되는 공간인 공압조절부를 포함하여 이루어진다.
상부몸체(100)는 상부로 갈수록 두께가 얇아지도록 내측면이 경사진 제1경사면(103)이 형성된 가스배출구(101)가 형성되고, 외측면에는 나사산으로 이루어진 제1체결부(110)가 형성되고, 제1체결부(110)이 형성된 외경보다 축소되어 단차지게 제1공압조절부(120)가 형성된다.
제1체결부(110)는 상부몸체(100)에 외주면에 원주방향으로 형성되되 일정폭을 갖고 형성된다.
제1체결부(110)는 나사산으로 3cm 내지 6cm의 폭을 갖고 형성된다.
제1체결부(110)의 하단에는 상기 제1체결부(110)로부터 내측으로 수직하게 이격된 제1걸림턱(112)이 형성된다.
제1걸림턱(112)은 후술될 하부몸체(200)의 제2걸림턱(212)에 걸리게되고, 이로 인해 상부몸체(100)가 하부몸체(200) 내부로 삽입되지 않도록 방지하게 된다.
제1체결부(110) 하부에는 제1공압조절부(120)가 형성된다.
제1공압조절부(120)는 상기 제1걸림턱(112)보다 내측으로 직경이 작아져 형성되며, 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되면 후술될 제2공압조절부(220)와 대면하면서 제1공압조절부(120)와 제2공압조절부(220) 사이에 공간(V)이 형성되고, 공간(V)에는 공기유입노즐(224)을 통해 들어오는 압축공기가 유입된다.
제1공압조절부(120)와 제1체결부(110) 사이에는 제1체결부(110)보다 내측으로 이격되어 형성되고, 제1공압조절부(120)보다는 외측으로 이격되어 형성되는 수직면(114)이 형성된다.
수직면(114)은 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되면 제2걸림턱(212)에 맞닿게 되는 면이다.
한편 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1공압조절부(120) 하단에는 제1단턱(130)이 형성되는데, 제1단턱(130)은 공기가 공기유입구(222)로 유입되어 공압조절부(V)를 통과하여 배출될 때 상부몸체(100) 방향으로 압축공기가 유연하게 배출될 수 있도록 내측 모서리부가 모따기 되어 만곡면(132)으로 형성된다.
만곡면(132)은 둘레방향으로 여러개의 경사면이 형성되어 이루어진다.
한편 하부몸체(200)는 내측면 상부에 제2체결부(210), 제2공압조절부(220), 제2단턱(230)이 형성되고, 하부에는 하단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 제2경사면(203)이 형성된다.
제2체결부(210)에는 상기 제1체결부(110)가 체결되도록 상기 제1체결부(110)의 외경에 상응하는 내경과 폭으로 형성되고, 상기 제2체결부(210)의 하단은 상기 제2체결부(210)로부터 외측으로 수직하게 돌출된 제2걸림턱(212)이 형성되며, 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 결합 상태일때 제1걸림턱(112)이 제2걸림턱(212)에 걸려 상부몸체(100)가 하부몸체(200) 내부로 빠지지 않도록 한다.
상기 제2체결부(210) 하부에는 제2공압조절부(220)가 형성되는데, 이 제2공압조절부(220)는 상기 제2걸림턱(212)으로부터 내측으로 이격되어 형성되어 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되었을때 제1공압조절부(120)와 제2공압조절부(220) 사이에 발생되는 공간(V)에는 압축공기가 공기유입노즐로부터 유입되어 통과한다.
한편 제2공압조절부(220)에는 공기유입구(222)가 형성되고, 상기 공기유입구에는 공기유입노즐(224)이 결합된다.
공기유입구(222)와 공기유입노즐(224)은 나사결합되어 체결 정도를 조절할 수 있다.
따라서 공기유입노즐(224)을 상기 제1공압조절부(120)에 가깝도록 체결할수록 공압이 높아지게 된다.
제2공압조절부(220) 하단에는 제2단턱(230)이 형성된다.
제2단턱(230)은 상기 제2공압조절부(220)로부터 내측으로 수직하게 연장되어 형성된다.
제2단턱(230)의 하부에는 가스유입구(201)가 형성된다.
가스유입구(201)는 외측면은 제2단턱(230)만큼 내측으로 이격된 외경으로 형성되고, 내측은 하단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 경사진 제2경사면(203)이 형성된다.
따라서 가스유입구(201)의 내경은 상부로 갈수록 좁아지기 때문에 배기관을 타고온 가스가 압력차에 의해 유입속도가 촉진될 수 있다.
상기 제2단턱(230)은 공기유입노즐(224)로 유입된 압축공기가 제1공압조절부(120)와 제2공압조절부(220)의 사잇 공간(V)을 통과하여 제2단턱(230)에서 상기 제1단턱(130)의 만곡면(132)을 거쳐 가스 배출구(101)로 나가게 된다.
이때 제1체결부(110)와 제2체결부(210)의 체결 정도에 따라 제1단턱(130)과 제2단턱(230) 사이에 형성되는 공압조절부(A)의 넓이가 조정된다.
상부몸체(100)의 제1체결부(110)와 하부몸체(200)의 제2체결부(210) 간의 깊이를 깊게 체결하면 제1단턱(130)과 제2단턱(230) 사이가 좁아지므로 압축공기의 배출통로인 공압조절부(A)가 좁아져 압력이 높아진다.
상부몸체(100)의 제1체결부(110)와 하부몸체(200)의 제2체결부(210) 간의 깊이를 얕게 체결하면 제1단턱(130)과 제2단턱(230)의 사이가 넓어지므로 공압조절부(A)가 넓어져 압력이 낮아진다.
이와 같이 구성된 실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.
실시예에 따른 배기활성장치(10)는 반도체 공정에서 생성되는 가스를 배출하는 배기덕트에 연결되고, 발생되는 가스가 배기덕트에 연결된 배기활성장치(10)를 통과하게 된다.
물론 본 실시예는 반도체 공정 가스의 배출용도로만 한정되지는 않음을 밝혀둔다.
배기활성장치(10)에 압축공기를 배출하는 에어컴프레셔가 연결된다.
압축공기는 상기 공기유입노즐(224)을 통해 유입되고, 공압조절부(V)를 통과하며 제1단턱(132)의 만곡면을 돌아 상부몸체(100)의 가스배출구(101)로 빠져나간다.
상기한 압축 공기의 유입은 반도체 제조 공정에서 발생되는 가스의 흐름을 원할하게 한다.
전술한 배기활성장치(10)는 제1체결부(120)와 제2체결부(120)의 체결 정도를 조절하여 공압조절부(A)를 조정할 수 있다.
조정된 공압조절부(A)00에 따라 압축공기의 공압을 설정 할 수 있어 배기덕트에서 요구하는 공압을 제공할 수 있다.
한편 상기 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재(4);가 포함되고, 연결부재(4)는 배기덕트에 탈부착 가능하도록 연결된다.
연결부재(4)는 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 외면에 끼움결합되는 중앙에 끼움공(42)이 형성되고 환형부재이며, 다수의 볼트체결공(44)이 형성된다.
따라서 연결부재(4)를 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 외면에 끼워 결합시킨 후 용접에 의해 접착시키게 된다.
이후 상,하부에 각기 형성된 연결부재(4)에 배기덕트의 단부가 밀착된 후 패킹이 삽입된 다음 볼트를 볼트체결공(44) 및 배기덕트의 단부에 관통시켜 나사 체결함으로써 결합된다.
상,하부의 연결부재(4)는 장볼트(46)에 의해 연결되어 일체가 될 수 있다.
한편 연결부재(5,6,7)와 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 결합을 여러가지 실시예로 구현될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제2실시예(A2)에 따르면, 연결부재(5)는 끼움공(52)의 내주면에 다수의 키홈(54)이 형성되고, 상,하부몸체(100,200)의 외주면에는 다수의 키(56)가 형성되어 이루어진다.
키홈(54)은 연결부재(5)의 끼움공(52)의 내측으로 오목하게 요입형성되며 단면이 대략 사각형으로 형성된다.
키홈(54)에 삽입될 수 있도록 상부몸체(100)의 키(56)는 외부로 돌출된 사각형의 돌기로 이루어진다.
따라서 연결부재(5)의 키홈(54)에 상,하부몸체(100,200)의 키(56)가 억지끼움으로 결합됨으로써 연결부재(5)와 상,하부몸체(100,200) 간의 결합이 이루어지게 된다.
이때 연결부재(5)의 키홈(54)과 상,하부몸체(100,200)의 키(56)의 결합 깊이를 조절할 수 있으므로 배기덕트의 단부와 이격된 거리 오차를 보상할 수 있어 연결작업이 원활하면서 정확하게 수행될 수 있다.
한편 도 6에 도시된 바와 같이, 제3실시예(A3)에 따르면, 연결부재(6)는 끼움공(61)의 내주면에 나사산(63)이 형성되고, 상,하부몸체(100,200)의 외주면에 나사부(65)가 형성되어 연결부재(6)가 나사결합된다.
여기서 연결부재(6)를 회전시켜 상,하부몸체(100,200)의 나사부(65)와 나사결합시키되 결합되는 깊이를 적정하게 조절할 수 있어 배기덕트의 단부와 이격 오차를 보상할 수 있어 연결작업이 원활하면서 정확하게 수행될 수 있다.
한편 도 7에 도시된 바와 같이, 제4실시예(A4)에 따르면,연결부재(7)는 끼움공(72)의 내주면에 'ㄱ'자형의 체결홈(75)이 형성되고, 상,하부몸체(100,200)의 외주면에는 체결돌기(78)가 형성된다.
체결홈(75)은 수직부(751)와 수평부(752)로 이루어져 'ㄱ'자 형상이 되고, 수직부(751)의 단부는 연결부재(7)의 외면과 관통되게 형성된다.
따라서 체결홈(75)의 수직부(751)의 개구된 입구를 통해 체결돌기(78)가 삽입될 수 있다.
체결홈(75)의 절곡부위까지 체결돌기(78)가 삽입된 후 연결부재(7)를 일측으로 회전시키면 체결돌기(78)가 수평부(752)를 타고 이동되면서 연결부재(7)가 견고하게 고정될 수 있다.
비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.
4,5,6,7 : 연결부재 10 : 배기활성장치
42 : 끼움공 44 : 볼트체결공
54 : 키홈 56 : 키
63 : 나사산 65 : 나사부
75 : 체결홈 78 : 체결돌기
100 : 상부몸체 101 : 가스배출구
103 : 제1경사면 110 : 제1체결부
112 : 제1걸림턱 114 : 수직면
120 : 제1공압조절부 220 : 제2공압조절부
222 : 공기유입구 224 : 공기유입노즐
230 : 제2단턱 V : 공간
A : 공압조절부

Claims (10)

  1. 배기덕트에 설치되는 것으로,
    외측면에 형성되는 제1체결부와, 상기 제1체결부 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부와, 상기 제1공압조절부 하단에 형성되는 제1단턱으로 이루어지는 상부몸체;
    내측면에 형성되는 제2체결부와, 상기 제2체결부 하부에 형성되는 제2공압조절부와, 상기 제2공압조절부를 관통하여 결합되는 공기유입노즐과, 상기 제2공압조절부 하단에 형성되는 제2단턱으로 이루어지며, 상기 상부몸체의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체;를 포함하고,
    상기 상부몸체와 하부몸체의 체결정도에 따라 공압이 조절되는 것이며,
    상기 상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재;를 포함하고,
    상기 연결부재는 배기덕트에 연결되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 연결부재는
    상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 끼움결합되는 중앙에 끼움공이 형성되고 환형부재이며, 다수의 볼트체결공이 형성된 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 연결부재는 끼움공의 내주면에 다수의 키홈이 형성되고,
    상기 상부몸체 또는 하부몸체의 외주면에는 다수의 키가 형성된 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 연결부재는 끼움공의 내주면에 나사산이 형성되고,
    상기 상부몸체 또는 하부몸체의 외주면에 나사부가 형성되어 연결부재가 나사결합되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 연결부재는 끼움공의 내주면에 'ㄱ'자형의 체결홈이 형성되고,
    상기 상부몸체 또는 하부몸체의 외주면에는 체결돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제1체결부와 제2체결부는 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제1단턱의 하단면과 상기 상부몸체의 내측면이 접하는 모서리부는 모따기되어 만곡면이 형성된 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 만곡면은 다수개의 경사면으로 이루어져 상기 모서리부가 완만하게 형성되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제1체결부 하단에는 제1걸림턱이 내측으로 연장되어 형성되고,
    상기 제2체결부 하단에는 제2걸림턱이 돌출되어 형성되며,
    상기 제1걸림턱과 제2걸림턱에 의해 상기 상부몸체가 하부몸체 내부로 이탈되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 하부몸체에는 공기유입구가 형성되고,
    상기 공기유입구에 상기 공기유입노즐이 나사결합되어 체결되며,
    상기 공기유입노즐의 체결정도에 따라 공압을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
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