KR101160510B1

KR101160510B1 - 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터

Info

Publication number: KR101160510B1
Application number: KR1020110125983A
Authority: KR
Inventors: 이승현
Original assignee: 주식회사 우진아이엔에스
Priority date: 2011-11-29
Filing date: 2011-11-29
Publication date: 2012-06-28

Abstract

본 발명은 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수개의 배기덕트 연결 조립 시 길이의 조정을 위해 배기덕트를 절단하고 절단된 부위에 다른 배기덕트를 연결 조립하는 경우에 배기덕트의 절단부에 조립되는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터는, 배기덕트의 내부에 삽입되는 원통형의 몸체와, 상기 몸체의 상부에 형성되어 다른 배기덕트의 플랜지부와 볼트 체결에 의해 결합되는 고정 플랜지와, 상기 몸체의 외주면에 내측으로 함몰 형성되는 복수개의 요홈과, 상기 요홈에 삽입되는 고무패킹과, 상기 몸체의 외주면에 내측으로 함몰 형성되며 배기덕트의 내부에 몸체가 삽입된 상태에서 몸체의 함몰 부분에 상응하는 배기덕트의 외주면을 가압하여 압착 고정될 수 있도록 하는 이탈방지홈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터{Adapter for length adjustment of semiconductor exhaust air duct}

본 발명은 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수개의 배기덕트 연결 조립 시 길이의 조정을 위해 배기덕트를 절단하고 절단된 부위에 다른 배기덕트를 연결 조립하는 경우에 배기덕트의 절단부에 조립되는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터에 관한 것이다.

일반적으로, 공장 내에 설치된 반도체 제조설비 내에서 반도체 제조 공정 중에 발생하는 유해가스를 공장밖에 설치된 정화장치로 배출하기 위해 메인덕트에 여러 개의 배기덕트를 연결하여 배기덕트를 통해 유해가스를 배출시킨다.

통상의 배기덕트 연결구조를 살펴보면, 소정의 길이로 규격화 된 배기덕트가 다수개 조립되어 있으며 배기덕트의 양 끝단부에는 연결 플랜지가 형성되어 있다.

그리고 상기 연결 플랜지에 패킹을 밀착시킨 후 연결하고자 하는 또 다른 연결 플랜지를 밀착시킨 후 클램프로 밀착된 양쪽 원형 연결 플랜지를 감싸면서 결합 고정하는 방법으로 덕트를 연결 조립하였다.

하지만, 메인덕트와 반도체 제조설비에 설치되는 배기덕트는 전술한 바와 같이 소정의 길이로 규격화되어 있기 때문에 설치를 할 때 설치 길이가 맞지 않는 일이 발생하게 되는데 이때, 배기덕트를 소정의 길이로 절단하여 연결 결합하였다.

종래에는 현장에서 배기덕트를 임시 조립하고 설치 길이에 맞추어 절단할 부분에 체크한 후 다시 임시 조립된 배기덕트를 해체한 후 공장으로 보내어 절단 표시부를 절단하고, 여기에 연결 플랜지를 용접한 후 용접 부위에 불소수지 등의 특수 합성수지를 다시 도장한 다음 덕트를 설치하고자 하는 장소로 다시 가져와 덕트의 조립을 행하였다.

그러나, 절단할 배기덕트를 공장으로 보내 절단하고, 절단 부위에 연결 플랜지를 붙이는 용접을 하고, 용접 부위 내측에 불소수지 등의 합성수지를 도장한 다음 다시 반도체 공장의 덕트 설치 장소로 가져와 설치를 행하여야 함으로써, 작업 시간의 늘어남은 물론 공장 용접에 따른 비용이 증대되는 등의 문제점이 발생하였다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인에 의해 한국등록실용신안 제283882호의 "원형덕트의 길이 조정구" 가 출원 등록되었으며, 상기 원형덕트의 길이 조정구는 원형덕트 부재의 내경과 접촉하면서 원형덕트 부재 내부로 삽입이 가능한 외경을 가진 원통형 몸체와, 상기 원통형 몸체의 외측 중간부에 환형 형상으로 형성된 오목 홈과, 상기 오목 홈에 삽입되어 고정되는 패킹 링과, 상기 원통형 몸체의 일측 단부에 결합하고자 하는 다른 원형덕트 부재에 형성된 연결 플랜지와 결합이 되는 연결 플랜지가 형성되는 것으로 구성됨을 특징으로 한다. 따라서, 별도의 원형덕트의 길이 조정구를 끼워 덕트 연결 조립 현장에서 간편하게 조립 설치할 수 있도록 하는 것이다.

하지만, 상기 기술은 연결 플랜지의 상부에 요홈이 형성되고 상기 요홈에 패킹 링을 안착시키는 구조로 이루어져 연결 플랜지부에 간극이 생겨 누기가 쉽게 발생하게 되고, 원형덕트 부재의 내주면과 접촉하도록 길이 조정구의 외면에 한 개의 패킹 링이 구비되어 밀폐 효과를 가지게 하였으나 이 또한 한 개의 패킹 링의 사용으로는 누기 발생을 방지할 수 없으며, 원형덕트 부재의 연결 플랜지와 길이 조정구를 결합하기 위해 클램프를 별도로 사용해야 하는 불편함이 있었고, 클램프의 조임이 조금이라도 느슨해지면 원형덕트 부재의 연결 플랜지로부터 길이 조정구가 쉽게 이탈하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 복수개의 고무패킹을 구비시켜 밀폐 효과를 향상시키고 외주면에 이탈방지홈을 형성하여 배기덕트와의 결합 시 가압기구로 가압시켜 이탈방지홈에 배기덕트의 일부가 함몰되어 안착되도록 하여 이탈을 방지하는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 별도의 클램프를 사용하지 않고 배기덕트의 플랜지부에 볼트를 체결하여 고정함으로써, 배기덕트의 플랜지부에 견고하게 고정되어 어댑터의 이탈을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 조립의 단순화는 물론 클램프를 구매하거나 제작하지 않아도 되는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터는, 배기덕트의 내부에 삽입되는 원통형의 몸체와, 상기 몸체의 상부에 형성되어 다른 배기덕트의 플랜지부와 볼트 체결에 의해 결합되는 고정 플랜지와, 상기 몸체의 외주면에 내측으로 함몰 형성되는 복수개의 요홈과, 상기 요홈에 삽입되는 고무패킹과, 상기 몸체의 외주면에 내측으로 함몰 형성되며 배기덕트의 내부에 몸체가 삽입된 상태에서 몸체의 함몰 부분에 상응하는 배기덕트의 외주면을 가압하여 압착 고정될 수 있도록 하는 이탈방지홈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터는, 복수개의 고무패킹을 구비시켜 밀폐 효과를 향상시키고 외주면에 이탈방지홈을 형성하여 배기덕트와의 결합 시 이탈방지홈에 상응하는 배기덕트의 외부를 가압기구로 가압시켜 이탈방지홈에 함몰되어 안착되도록 함으로써 이탈을 방지하는 효과가 있다.

또한, 별도의 클램프를 사용하지 않고 배기덕트의 플랜지부에 볼트를 체결하여 고정함으로써, 배기덕트의 플랜지부에 견고하게 고정되어 어댑터의 이탈을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 조립의 단순화는 물론 클램프를 구매하거나 제작하지 않아도 되므로 비용 절감의 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터의 결합상태를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터의 다른 일예를 도시한 도면.

또한, 상기 고정 플랜지에는 볼트가 관통되도록 복수개의 관통공이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 몸체의 상,하부에는 외측에서 내측으로 경사지게 경사면이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 고정 플랜지의 상부면 일측에는 배기덕트와의 결합 시 배기덕트를 안내하면서 몸체의 외주면에 밀착시키도록 고정돌기가 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터를 도시한 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터의 결합상태를 도시한 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터는 배기덕트(6a)의 내부에 삽입되는 원통형의 몸체(1)와, 상기 몸체(1)의 상부에 형성되어 다른 배기덕트(6b)의 플랜지부(61b)와 볼트(7) 체결에 의해 결합되는 고정 플랜지(2)와, 상기 몸체(1)의 외주면에 내측으로 함몰 형성되는 복수개의 요홈(3)과, 상기 요홈(3)에 삽입되는 고무패킹(4)과, 상기 몸체(1)의 외주면에 내측으로 함몰 형성되며 배기덕트(6a)의 내부에 몸체(1)가 삽입된 상태에서 몸체(1)의 함몰 부분에 상응하는 배기덕트(6a)의 외주면을 가압하여 압착 고정될 수 있도록 하는 이탈방지홈(5)을 포함하여 구성된다.

상기 몸체(1)는 반도체 제조설비에 사용되는 배기덕트의 내부에 삽입될 수 있도록 원통형으로 형성되고, 상기 몸체(1)의 내부 및 외부면에는 배기덕트의 내부 표면에 증착되는 각종 부산물에 의해 손상되는 것을 방지하도록 불소수지가 코팅된다.

상기 몸체(1)의 상,하부에는 외측에서 내측으로 경사지게 경사면(11)이 형성된다. 따라서, 배기덕트 내부를 통해 배출되는 유해가스 및 공기가 상기 몸체(1)의 내부를 통과하는 경우 상기 경사면(11)에 의해 저항이 줄어둠으로써 유해가스 및 공기의 흐름을 원활하게 해주는 역할을 한다.

상기 고정 플랜지(2)는 상기 몸체(1)의 상부에 형성되어 다른 배기덕트(6b)의 플랜지부(61b)와 볼트(7) 체결에 의해 결합된다. 상기 고정 플랜지(2)에는 볼트(7)가 관통되도록 복수개의 관통공(21)이 형성된다.

상기 고정 플랜지(2)와 다른 배기덕트(6b)의 플랜지부(61b)를 결합하는 경우에 상기 고정 플랜지(2)와 플랜지부(61b) 사이에 기밀을 유지하기 위해 고무재질의 가스켓 등을 구비할 수도 있다.

상기 요홈(3)은 각형 혹은 반원호 형태로 형성될 수 있으며, 홈의 깊이는 고무패킹(4)이 외측으로 돌출될 수 있을 정도의 깊이로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 요홈(3)은 적어도 2개 또는 2개 이상으로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 요홈(3)에 삽입되는 고무패킹(4) 또한 2개 또는 2개 이상으로 형성된다. 그 이유는 한 개의 사용으로는 누기 발생을 방지할 수 없으므로 반드시 복수개로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 이탈방지홈(5)은 상기 배기덕트(6a)의 내부에 몸체(1)가 삽입된 상태에서 몸체(1)의 함몰 부분에 상응하는 배기덕트(6a)의 외주면을 가압하여 압착 고정될 수 있도록 하기 위한 것이다.

즉, 클램프를 이용하여 플랜지부 간에 결속시켰던 종래와는 달리, 본 발명은 클램프를 이용하지 않고 상기 이탈방지홈(5)을 따라 배기덕트(6a)도 함몰되면서 압착 고정되어 클램프를 이용했을 때보다 더욱 견고하게 고정되어 어댑터로부터 배기덕트(6a)의 이탈을 방지할 수 있는 것이다.

배기덕트(6a)를 이탈방지홈(5)에 압착 고정되게 하기 위한 가압기구로는 통상적으로 널리 이용되고 있는 홈 가공기 등을 이용하는 것이 바람직하다.

한편, 도 4는 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터의 다른 일예를 도시한 도면으로서, 상기 고정 플랜지(2)의 상부면 일측에는 배기덕트(6a)와의 결합 시 배기덕트(6a)를 안내하면서 몸체(1)의 외주면에 밀착시키도록 고정돌기(22)가 형성된다. 따라서, 상기 고정돌기(22)에 의해 자연적으로 홈이 형성되고 상기 홈에 배기덕트(6a)가 삽입되어 배기덕트(6a)를 몸체(1)의 외주면에 최대한 밀착시켜줌으로써, 기밀을 유지하고 견고하게 고정시킬 수 있는 것이다.

이하, 본 발명에 따른 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터의 조립과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 어댑터를 연결 조립할 배기덕트(6a)의 외부면에 위치시켜 배기덕트(6a)의 단부와 어댑터의 단부를 일치시킨 상태에서 어댑터의 이탈방지홈(5)에 상응하는 위치에 맞게 배기덕트(6a)의 표면에 마킹 표시를 한다.

그리고 몸체(1)의 외주면에 형성된 요홈(3)에 고무패킹(4)을 삽입시킨 후 배기덕트(6a)의 내부에 삽입시키되, 고정 플랜지(2)의 하부면이 배기덕트(6a)의 상단과 맞닿을 때까지 밀어 넣는다.

몸체(1)가 배기덕트(6a) 내부로 더 이상 삽입되지 않는 상태가 되면, 별도로 준비된 가압기구를 배기덕트(6a)의 표면에 표시된 마킹이 보이지 않도록 감싼 후 가압기구에 압력을 가하여 이탈방지홈(5)을 따라 배기덕트(6a)의 마킹된 부분이 함몰되어 압착 고정된다.

배기덕트(6a)와 결합된 어댑터의 고정 플랜지(2)를 다른 배기덕트(6b)의 플랜지부(61b)에 위치시킨 후 볼트(7)를 체결함으로써 길이 조정이 완료되어 복수의 배기덕트 연결 조립이 완성되는 것이다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

1 : 몸체
11 : 경사면
2 : 고정 플랜지
21 : 관통공
22 : 고정돌기
3 : 요홈
4 : 고무패킹
5 : 이탈방지홈
6a, 6b : 배기덕트
61b : 플랜지부
7 : 볼트

Claims

배기덕트(6a)의 내부에 삽입되는 원통형의 몸체(1)와,
상기 몸체(1)의 상부에 형성되어 다른 배기덕트(6b)의 플랜지부(61b)와 볼트(7) 체결에 의해 결합되는 고정 플랜지(2)와,
상기 몸체(1)의 외주면에 내측으로 함몰 형성되는 복수개의 요홈(3)과,
상기 요홈(3)에 삽입되는 고무패킹(4)과,
상기 몸체(1)의 외주면에 내측으로 함몰 형성되며 배기덕트(6a)의 내부에 몸체(1)가 삽입된 상태에서 몸체(1)의 함몰 부분에 상응하는 배기덕트(6a)의 외주면을 가압하여 압착 고정될 수 있도록 하는 이탈방지홈(5)을 포함하여 구성되며,
상기 고정 플랜지(2)의 상부면 일측에는 배기덕트(6a)와의 결합 시 배기덕트(6a)를 안내하면서 몸체(1)의 외주면에 밀착시키도록 고정돌기(22)가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터.
제1항에 있어서, 상기 고정 플랜지(2)에는 볼트(7)가 관통되도록 복수개의 관통공(21)이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터.
제1항에 있어서, 상기 몸체(1)의 상,하부에는 외측에서 내측으로 경사지게 경사면(11)이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 배기덕트의 길이 조정용 어댑터.
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