KR20190025837A - 실린더 구동 장치 - Google Patents

실린더 구동 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20190025837A
KR20190025837A KR1020187036869A KR20187036869A KR20190025837A KR 20190025837 A KR20190025837 A KR 20190025837A KR 1020187036869 A KR1020187036869 A KR 1020187036869A KR 20187036869 A KR20187036869 A KR 20187036869A KR 20190025837 A KR20190025837 A KR 20190025837A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
passage
valve
port
main passage
hydraulic cylinder
Prior art date
Application number
KR1020187036869A
Other languages
English (en)
Inventor
다이스케 다나카
Original Assignee
케이와이비 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 케이와이비 가부시키가이샤 filed Critical 케이와이비 가부시키가이샤
Publication of KR20190025837A publication Critical patent/KR20190025837A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/02—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member
    • F15B11/04—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member for controlling the speed
    • F15B11/044—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member for controlling the speed by means in the return line, i.e. "meter out"
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/02—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member
    • F15B11/04—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member for controlling the speed
    • F15B11/042—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member for controlling the speed by means in the feed line, i.e. "meter in"
    • F15B11/0426—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member for controlling the speed by means in the feed line, i.e. "meter in" by controlling the number of pumps or parallel valves switched on
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/08—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02—Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
    • F15B15/04—Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member with oscillating cylinder
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/18—Combined units comprising both motor and pump
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/205—Systems with pumps
    • F15B2211/20507—Type of prime mover
    • F15B2211/20515—Electric motor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/205—Systems with pumps
    • F15B2211/2053—Type of pump
    • F15B2211/20561—Type of pump reversible
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/27—Directional control by means of the pressure source
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/305—Directional control characterised by the type of valves
    • F15B2211/30505—Non-return valves, i.e. check valves
    • F15B2211/3051—Cross-check valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40507—Flow control characterised by the type of flow control means or valve with constant throttles or orifices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40576—Assemblies of multiple valves
    • F15B2211/40592—Assemblies of multiple valves with multiple valves in parallel flow paths
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/41—Flow control characterised by the positions of the valve element
    • F15B2211/411—Flow control characterised by the positions of the valve element the positions being discrete
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F15B2211/41572—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit being connected to a pressure source and an output member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F15B2211/4159—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit being connected to a pressure source, an output member and a return line
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/42—Flow control characterised by the type of actuation
    • F15B2211/428—Flow control characterised by the type of actuation actuated by fluid pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/46—Control of flow in the return line, i.e. meter-out control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/47—Flow control in one direction only
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/50—Pressure control
    • F15B2211/505—Pressure control characterised by the type of pressure control means
    • F15B2211/50509—Pressure control characterised by the type of pressure control means the pressure control means controlling a pressure upstream of the pressure control means
    • F15B2211/50518—Pressure control characterised by the type of pressure control means the pressure control means controlling a pressure upstream of the pressure control means using pressure relief valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/76—Control of force or torque of the output member
    • F15B2211/761—Control of a negative load, i.e. of a load generating hydraulic energy
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/785—Compensation of the difference in flow rate in closed fluid circuits using differential actuators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/86—Control during or prevention of abnormal conditions
    • F15B2211/8613—Control during or prevention of abnormal conditions the abnormal condition being oscillations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/895—Manual override
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B7/00—Systems in which the movement produced is definitely related to the output of a volumetric pump; Telemotors
    • F15B7/005—With rotary or crank input
    • F15B7/006—Rotary pump input

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)

Abstract

실린더 구동 장치(100)는, 전동 모터(30)와, 펌프(20)와, 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)와, 유압 실린더(10)와, 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60a)와, 유압 실린더(10)로부터 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60a)로 향하는 작동유의 흐름을 교축하는 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)를 구비하고, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 상승에 따라서 감소한다.

Description

실린더 구동 장치
본 발명은, 실린더 구동 장치에 관한 것이다.
P2006-250311A에는, 전동 모터에 의해 구동하는 유압 펌프와, 유압 펌프로부터의 작동유에 의해 작동하는 유압 실린더와, 유압 펌프와 유압 실린더 사이의 작동유의 흐름을 제어하는 오퍼레이트 체크 밸브를 구비하는 유압 구동 유닛이 개시되어 있다.
오퍼레이트 체크 밸브 또는 오퍼레이트 체크 밸브와 동등한 기능을 갖는 제어 밸브를 구비하는 실린더 구동 장치에서는, 펌프의 작동에도 불구하고 유압 실린더가 작동과 정지를 반복하는 헌팅 현상이 발생하는 경우가 있다. 헌팅 현상은, 부하에 의한 외력이 유압 실린더에 작용함으로써 유압 실린더가 펌프와 같이 기능하여 통로 내의 작동유를 흡입함으로써 발생한다.
JP2006-250311A에 개시되는 유압 구동 유닛에서는, 헌팅 현상을 방지하기 위해, 유압 실린더와 오퍼레이트 체크 밸브 사이의 관로에 슬로우 리턴 밸브가 설치된다. 슬로우 리턴 밸브에 의해, 유압 실린더로부터 관로로 배출되는 작동유의 흐름이 교축되기 때문에, 유압 실린더는 통로 내의 작동유를 흡입하지 않아, 헌팅 현상이 방지된다.
그러나 JP2006-250311A에 개시되는 슬로우 리턴 밸브에서는, 스로틀의 개구 면적이 일정하다. 헌팅 현상이 발생하지 않는 조건에 있어서도, 유압 실린더로부터 유출되는 작동유의 흐름은, 헌팅 현상이 발생할 때와 같이 교축된다. 이 때문에, 유압 실린더의 작동에 큰 에너지가 항시 필요하여, 전동 모터의 소비 전력이 증대된다.
본 발명은, 전동 모터의 소비 전력을 저감함과 함께, 헌팅 현상을 방지하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 실린더 구동 장치는, 전동 모터와, 전동 모터에 의해 구동되고, 작동 유체를 토출하는 펌프와, 각각이 펌프에 접속되고, 펌프로부터의 작동 유체가 선택적으로 유도되는 제1 통로 및 제2 통로와, 제1 통로 및 제2 통로에 접속되고, 제1 통로 및 제2 통로 중 한쪽으로부터 공급되는 작동 유체에 의해 작동함과 함께 작동 시에 제1 통로 및 제2 통로 중 다른 쪽으로 작동 유체를 배출하는 유체압 실린더와, 제2 통로에 설치되고, 펌프로부터 유체압 실린더로 향하는 작동 유체의 흐름을 허용하는 한편, 유체압 실린더로부터 펌프로 향하는 작동 유체의 흐름을 제1 통로 내의 압력의 상승에 따라서 허용하는 제어 밸브와, 제2 통로에 있어서의 유체압 실린더와 제어 밸브 사이에 설치되고, 유체압 실린더로부터 제어 밸브로 향하는 작동 유체의 흐름을 교축하는 스로틀 밸브를 구비하고, 스로틀 밸브의 개구 면적은, 유체압 실린더로부터 제2 통로로 배출되는 작동 유체의 유량의 상승에 따라서 감소한다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 실린더 구동 장치를 구비하는 회전 장치의 모식도이다.
도 2는 도 1에 도시한 유압 실린더가 신장된 상태를 나타낸다.
도 3은 도 2에 도시한 유압 실린더가 더 신장된 상태를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관한 실린더 구동 장치의 회로도이다.
도 5는 도 4에 도시한 스로틀 밸브의 모식 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 관한 실린더 구동 장치의 회로도이며, 부하에 의한 외력이 유체압 실린더에 수축 방향으로 작용하고, 또한 펌프가 유체압 실린더를 신장시키도록 작동한 상태를 나타낸다.
도 7은 도 6에 도시한 스로틀 밸브의 모식도이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 관한 실린더 구동 장치의 회로도이며, 부하에 의한 외력이 유체압 실린더에 신장 방향으로 작용하고, 또한 펌프가 유체압 실린더를 신장시키도록 작동한 상태를 나타낸다.
도 9는 도 8에 도시한 스로틀 밸브의 모식도이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태의 변형예에 관한 실린더 구동 장치의 회로도이다.
도 11은 비교예에 관한 실린더 구동 장치의 회로도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 관한 실린더 구동 장치(100)에 대해 설명한다.
도 1은, 실린더 구동 장치(100)를 구비하는 회전 장치(1000)의 모식도이다. 실린더 구동 장치(100)는, 작동유의 압력에 의해 신축하는 유압 실린더(10)를 구비한다. 회전 장치(1000)는, 유압 실린더(10)의 신축에 의해 대상물(W)을 회전시킨다.
도 1에 도시한 바와 같이, 회전 장치(1000)는, 베이스 부재(1)와, 베이스 부재(1)에 연결되는 암 부재(2)를 구비한다. 암 부재(2)는, 봉상으로 형성된다. 대상물(W)은, 암 부재(2)의 단부(2a)에 설치된다.
암 부재(2)의 단부(2b)에는, 구멍(2c)이 형성된다. 구멍(2c)은, 암 부재(2)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 단부(2b)를 관통한다. 구멍(2c)에는, 베이스 부재(1)에 형성되는 핀(1b)이 삽입된다.
베이스 부재(1)의 핀(1b)은, 베이스 부재(1)의 본체부(1a)로부터 수평 방향으로 돌출된다. 핀(1b)의 외경은 암 부재(2)의 구멍(2c)의 내경 이하이고, 암 부재(2)의 단부(2b)는, 핀(1b)에 회전 가능하게 지지된다. 이와 같이, 암 부재(2)는, 핀(1b)의 주위(수평축 주위)로 회전 가능하게 베이스 부재(1)에 연결된다.
유압 실린더(10)는, 실린더(11)와, 실린더(11)로부터 연장 돌출되는 피스톤 로드(13)를 구비한다. 피스톤 로드(13)는, 실린더(11)에 대해 진퇴 가능하다. 피스톤 로드(13)가 실린더(11)로부터 퇴출되면, 유압 실린더(10)는 신장된다. 피스톤 로드(13)가 실린더(11) 내로 진입하면, 유압 실린더(10)는 수축한다.
실린더(11)에는, 유압 실린더(10)와 베이스 부재(1)를 연결하는 연결부(10a)가 설치된다. 연결부(10a)에는, 유압 실린더(10)의 신장 방향과 직교하는 방향으로 관통하는 구멍(10c)이 형성된다. 구멍(10c)에는, 베이스 부재(1)에 형성되는 핀(1c)이 삽입된다.
베이스 부재(1)의 핀(1c)은, 베이스 부재(1)의 본체부(1a)로부터, 핀(1b)의 돌출 방향과 동일한 방향으로 돌출된다. 핀(1c)의 외경은 유압 실린더(10)의 구멍(10c)의 내경 이하이고, 유압 실린더(10)의 연결부(10a)는, 핀(1c)에 회전 가능하게 지지된다. 이와 같이, 유압 실린더(10)는, 핀(1c)의 주위(수평축 주위)로 회전 가능하게 베이스 부재(1)에 연결된다.
피스톤 로드(13)에는, 유압 실린더(10)와 암 부재(2)를 연결하는 연결부(10b)가 설치된다. 연결부(10b)에는, 유압 실린더(10)의 구멍(10c)의 관통 방향과 동일한 방향으로 관통하는 구멍(10d)이 형성된다. 구멍(10d)에는, 암 부재(2)에 형성되는 핀(2d)이 삽입된다.
암 부재(2)의 핀(2d)은, 단부(2a, 2b) 사이에 형성되는 중간부(2e)에 설치된다. 핀(2d)의 돌출 방향은, 베이스 부재(1)의 핀(1b) 및 핀(1c)의 돌출 방향과 일치한다. 핀(2d)의 외경은 유압 실린더(10)의 구멍(10d)의 내경 이하이고, 유압 실린더(10)의 연결부(10b)는 핀(2d)에 회전 가능하게 지지된다. 이와 같이, 유압 실린더(10)는, 핀(2d)의 주위(수평축 주위)로 회전 가능하게 암 부재(2)에 연결된다.
도 1에 있어서의 2점 쇄선은, 핀(1b)을 통해 연직 방향으로 연장되는 가상선(L)을 나타내고 있다. 도 1에서는, 유압 실린더(10)가 가장 수축된 상태가 도시되어 있다. 이 상태에 있어서, 대상물(W) 및 암 부재(2)의 무게 중심은, 핀(1b)보다 연직 방향 상방, 또한 가상선(L)보다 핀(1c)측에 위치하고 있다. 대상물(W) 및 암 부재(2)에 작용하는 중력은, 유압 실린더(10)를 수축시키는 방향으로 피스톤 로드(13)에 부하로서 작용한다.
도 2는, 유압 실린더(10)가 도 1에 도시한 상태로부터 신장된 상태를 나타낸다. 유압 실린더(10)가 신장되면, 암 부재(2)가 베이스 부재(1)에 대해 핀(1b)의 주위로 회전한다. 암 부재(2)의 회전에 수반하여, 대상물(W)은, 베이스 부재(1)에 대해 회전한다.
이와 같이, 회전 장치(1000)는, 유압 실린더(10)의 신축에 의해 대상물(W)을 회전시킨다.
도 2에 도시한 상태에 있어서, 대상물(W) 및 암 부재(2)의 무게 중심은, 도 1에 나타낸 상태와 마찬가지로, 핀(1b)보다 연직 방향 상방, 또한 가상선(L)보다 핀(1c)측에 위치하고 있다. 대상물(W) 및 암 부재(2)에 작용하는 중력은, 유압 실린더(10)를 수축시키는 방향으로 피스톤 로드(13)에 부하로서 작용한다.
도 3은, 유압 실린더(10)가 도 2에 나타낸 상태로부터 더 신장된 상태를 나타낸다. 도 3에 나타낸 상태에 있어서, 대상물(W) 및 암 부재(2)의 무게 중심은, 핀(1b)보다 연직 방향 상방, 또한 가상선(L)보다 핀(1c)과는 반대측에 위치하고 있다. 대상물(W) 및 암 부재(2)에 작용하는 중력은, 유압 실린더(10)를 신장시키는 방향으로 피스톤 로드(13)에 부하로서 작용한다.
이와 같이, 회전 장치(1000)에서는, 유압 실린더(10)의 작동에 수반하여, 유압 실린더(10)의 피스톤 로드(13)에 작용하는 부하의 방향이 반전된다.
도 4에 도시한 바와 같이, 유압 실린더(10)는, 실린더(11) 내에 미끄럼 이동 가능하게 수용되는 피스톤(12)을 더 구비한다. 피스톤 로드(13)는, 피스톤(12)에 연결된다. 실린더(11)의 내부는, 피스톤(12)에 의해, 로드 반대측실(11a)과 로드측실(11b)로 구획된다.
로드 반대측실(11a) 및 로드측실(11b)에는, 작동유가 충전된다. 피스톤(12)은, 로드 반대측실(11a) 및 로드측실(11b)에 선택적으로 공급되는 작동유에 의해 실린더(11)에 대해 이동한다. 피스톤(12)의 이동에 수반하여, 피스톤 로드(13)가 실린더(11)에 대해 진퇴하여, 유압 실린더(10)가 신축한다.
구체적으로는, 로드 반대측실(11a)에 작동유가 공급되면, 피스톤(12)은 로드 반대측실(11a)을 확대하고 로드측실(11b)을 축소하는 방향으로 이동한다. 피스톤 로드(13)는, 피스톤(12)의 이동에 수반하여, 실린더(11)로부터 퇴출된다. 그 결과, 유압 실린더(10)는 신장된다. 이때, 로드측실(11b)의 축소에 수반하여, 로드측실(11b) 내의 작동유는, 유압 실린더(10)의 외부로 배출된다.
로드측실(11b)에 작동유가 공급되면, 피스톤(12)은, 로드측실(11b)을 확대하고 로드 반대측실(11a)을 축소하는 방향으로 이동한다. 피스톤 로드(13)는, 피스톤(12)의 이동에 수반하여, 실린더(11) 내로 진입한다. 그 결과, 유압 실린더(10)는 수축한다. 이때, 로드 반대측실(11a)의 축소에 수반하여, 로드 반대측실(11a) 내의 작동유는, 유압 실린더(10)의 외부로 배출된다.
실린더 구동 장치(100)는, 유압 실린더(10)에 작동유를 공급하는 펌프(20)와, 펌프(20)를 구동하는 전동 모터(30)를 구비한다. 전동 모터(30)는, 도시하지 않은 전원에 전기적으로 접속되고, 이 전원으로부터 공급되는 전력에 의해 작동한다.
펌프(20)는, 전동 모터(30)의 출력축(31)에 연결되고, 전동 모터(30)의 회전 구동력에 의해 구동된다. 펌프(20)에는 제1 포트(21a) 및 제2 포트(21b)가 형성되고, 제1 포트(21a) 및 제2 포트(21b)로부터 선택적으로 작동유가 토출된다.
전동 모터(30)의 출력축(31)이 정방향(R1)으로 회전하는 경우에는, 펌프(20)는 제2 포트(21b)로부터 작동유를 흡입하고, 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출한다. 전동 모터(30)의 출력축(31)이 역방향(R2)으로 회전하는 경우에는, 펌프(20)는 제1 포트(21a)로부터 작동유를 흡입하고, 제2 포트(21b)로부터 작동유를 토출한다.
이와 같이, 펌프(20)의 토출 방향은, 전동 모터(30)의 회전 방향에 따라서 전환된다. 펌프(20)로서는, 예를 들어 기어 펌프를 사용할 수 있다.
펌프(20)의 제1 포트(21a)에는, 메인 통로(80a)가 접속되고, 펌프(20)의 제2 포트(21b)에는, 메인 통로(80b)가 접속된다. 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)에는, 펌프(20)로부터의 작동유가 선택적으로 유도된다.
메인 통로(80a)는, 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)에 접속되고, 메인 통로(80b)는, 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)에 접속된다. 메인 통로(80a)에는, 작동유의 흐름을 제어하는 오퍼레이트 체크 밸브(제어 밸브)(60a)가 설치되고, 메인 통로(80b)에는, 작동유의 흐름을 제어하는 오퍼레이트 체크 밸브(제어 밸브)(60b)가 설치된다. 메인 통로(80a)에 있어서의 오퍼레이트 체크 밸브(60a)와 로드 반대측실(11a) 사이에는, 스로틀 밸브(70a)가 설치된다. 메인 통로(80b)에 있어서의 오퍼레이트 체크 밸브(60b)와 로드측실(11b) 사이에는, 스로틀 밸브(70b)가 설치된다.
이하에 있어서, 메인 통로(80a)에 있어서의 펌프(20)의 제1 포트(21a)와 오퍼레이트 체크 밸브(60a) 사이의 부분을 「통로부(81a)」라고 칭한다. 메인 통로(80b)에 있어서의 펌프(20)의 제2 포트(21b)와 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 사이의 부분을 「통로부(81b)」라고 칭한다. 메인 통로(80a)에 있어서의 오퍼레이트 체크 밸브(60a)와 스로틀 밸브(70a) 사이의 부분을 「통로부(82a)」라고 칭하고, 메인 통로(80b)에 있어서의 오퍼레이트 체크 밸브(60b)와 스로틀 밸브(70b) 사이의 부분을 「통로부(82b)」라고 칭한다. 메인 통로(80a)에 있어서의 스로틀 밸브(70a)와 로드 반대측실(11a) 사이의 부분을 「통로부(83a)」라고 칭하고, 메인 통로(80b)에 있어서의 스로틀 밸브(70b)와 로드측실(11b) 사이의 부분을 「통로부(83b)」라고 칭한다.
오퍼레이트 체크 밸브(60a)는, 펌프(20)의 제1 포트(21a)로부터 토출되어 메인 통로(80a)를 통해 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)로 향하는 작동유의 흐름을 허용한다. 또한, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)는, 배압실(도시 생략)을 갖는다. 이 배압실 내의 압력이 밸브 개방압에 도달하였을 때에는, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)는 개방되어, 메인 통로(80a)에 있어서의 작동유의 흐름을 허용한다.
오퍼레이트 체크 밸브(60a)의 배압실은, 파일럿 통로(86b)를 통해, 메인 통로(80b)의 통로부(81b)에 접속된다. 통로부(81b) 내의 압력이 상승하면, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)의 배압실 내의 압력이 상승하여, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)는 개방된다. 즉, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)는, 통로부(81b) 내의 압력의 상승에 따라서, 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)로부터 메인 통로(80a)를 통해 펌프(20)의 제1 포트(21a)로 향하는 작동유의 흐름을 허용한다.
마찬가지로, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는, 펌프(20)의 제2 포트(21b)로부터 토출되어 메인 통로(80b)를 통해 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)로 향하는 작동유의 흐름을 허용한다. 오퍼레이트 체크 밸브(60b)의 배압실(도시 생략)은, 파일럿 통로(86a)를 통해, 메인 통로(80a)의 통로부(81a)에 접속된다. 통로부(81a) 내의 압력의 상승에 따라서, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)는 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)를 통해 펌프(20)의 제2 포트(21b)로 향하는 작동유의 흐름을 허용한다.
펌프(20)가 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출하면, 제1 포트(21a)로부터의 작동유는 오퍼레이트 체크 밸브(60a)를 밀어 개방한다. 이때, 메인 통로(80a)의 통로부(81a) 내의 압력이 상승하여, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)가 개방된다. 제1 포트(21a)로부터의 작동유는, 메인 통로(80a)를 통해 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)에 공급되고, 로드측실(11b) 내의 작동유는, 메인 통로(80b)로 배출되어 펌프(20)의 제2 포트(21b)로 유도된다. 로드 반대측실(11a)로의 작동유의 공급 및 로드측실(11b) 내의 작동유의 배출에 의해, 유압 실린더(10)는 신장된다.
펌프(20)가 제2 포트(21b)로부터 작동유를 토출하면, 제2 포트(21b)로부터의 작동유는 오퍼레이트 체크 밸브(60b)를 밀어 개방한다. 이때, 메인 통로(80b)의 통로부(81b) 내의 압력이 상승하여, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)가 개방된다. 제2 포트(21b)로부터의 작동유는, 메인 통로(80b)를 통해 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)로 공급되고, 로드 반대측실(11a) 내의 작동유는, 메인 통로(80a)로 배출되어 펌프(20)의 제1 포트(21a)로 유도된다. 로드측실(11b)로의 작동유의 공급 및 로드 반대측실(11a) 내의 작동유 배출에 의해, 유압 실린더(10)는 수축된다.
펌프(20)가 정지하고 있을 때에는, 메인 통로(80a)의 통로부(81a) 내의 압력 및 메인 통로(80b)의 통로부(81b) 내의 압력은 상승하지 않는다. 오퍼레이트 체크 밸브(60a) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는 폐쇄되어, 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름을 차단한다. 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a) 및 로드측실(11b) 내의 작동유가 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)로 배출되지 않아, 유압 실린더(10)는 작동하지 않는다. 즉, 펌프(20)가 정지하고 있을 때에는, 유압 실린더(10)는 오퍼레이트 체크 밸브(60a) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60b)에 의해 정지된 상태로 유지된다.
유압 실린더(10)에서는, 피스톤 로드(13)는, 로드측실(11b)을 삽입 관통하는 한편, 로드 반대측실(11a)을 삽입 관통하지 않는다. 유압 실린더(10)의 작동에 수반하여 피스톤(12)이 이동할 때, 로드측실(11b)과 메인 통로(80b) 사이를 오가는 작동유의 유량은, 로드 반대측실(11a)과 메인 통로(80a) 사이를 오가는 작동유의 유량에 비해 적다. 피스톤 로드(13)가 실린더(11)에 대해 진퇴함으로써 발생하는 용적 변화는, 펌프(20)에 접속되는 탱크(40)에 의해 보상된다. 용적 변화의 보상에 대해, 구체적으로 설명한다.
실린더 구동 장치(100)는, 펌프(20)와 탱크(40) 사이의 작동유의 흐름을 제어하는 제어 밸브(50)를 구비한다. 탱크(40)는, 폐쇄 공간 내에 작동유를 저류한다.
제어 밸브(50)는 3포트 3위치 전환 밸브이다. 제어 밸브(50)의 제1 포트는, 메인 통로(80a)의 통로부(81a)로부터 분기되는 분기 통로(91a)에 접속된다. 제어 밸브(50)의 제2 포트는, 메인 통로(80b)의 통로부(81b)로부터 분기되는 분기 통로(91b)에 접속된다. 제어 밸브(50)의 제3 포트는, 탱크(40)에 접속되는 탱크 통로(91c)에 접속된다.
제어 밸브(50)는, 제1 위치(50a)에 있을 때에는, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91a)의 연통을 차단하고, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91b)를 연통한다. 제어 밸브(50)는, 제2 위치(50b)에 있을 때에는, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91a)를 연통하고, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91b)의 연통을 차단한다. 제어 밸브(50)는, 제3 위치(50c)에 있을 때에는, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91a)의 연통을 차단함과 함께, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91b)의 연통을 차단한다.
제어 밸브(50)의 위치는, 분기 통로(91a) 및 분기 통로(91b) 내의 압력에 의해 전환된다. 펌프(20)가 정지하고 있어 분기 통로(91a) 및 분기 통로(91b) 내의 압력이 상승하고 있지 않은 경우에는, 제어 밸브(50)는 제3 위치(50c)에 있고, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91a)의 연통을 차단함과 함께, 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91b)의 연통을 차단한다.
펌프(20)가 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출하는 경우에는, 전술한 바와 같이, 유압 실린더(10)는 신장된다. 이때, 분기 통로(91a) 내의 압력이 상승하여, 제어 밸브(50)는 제1 위치(50a)로 전환된다. 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91b)가 연통되어, 작동유는, 탱크(40)와 메인 통로(80b)의 통로부(81b)를 오가는 것이 가능해진다. 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91a)의 연통은 차단되므로, 제1 포트(21a)로부터의 작동유는, 탱크(40)로 유입되는 일 없이 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)로 공급된다.
유압 실린더(10)의 신장 동작 시에는, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량은, 메인 통로(80a)로부터 로드 반대측실(11a)로 공급되는 작동유의 유량에 비해, 로드측실(11b)로부터 퇴출되는 피스톤 로드(13)의 체적분, 적다. 로드측실(11b)로부터 퇴출되는 피스톤 로드(13)의 체적분의 작동유는, 탱크(40)로부터 탱크 통로(91c) 및 분기 통로(91b)를 통해 메인 통로(80b)의 통로부(81b)에 공급된다. 따라서 펌프(20)는, 제1 포트(21a)로부터 토출되는 작동유의 유량과 동일한 유량의 작동유를 제2 포트(21b)로부터 흡입할 수 있다.
펌프(20)가 제2 포트(21b)로부터 작동유를 토출하는 경우에는, 전술한 바와 같이, 유압 실린더(10)는 수축한다. 이때, 분기 통로(91b) 내의 압력이 상승하여, 제어 밸브(50)는 제2 위치(50b)로 전환된다. 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91a)가 연통되어, 작동유는, 탱크(40)와 메인 통로(80a)의 통로부(81a)를 오가는 것이 가능해진다. 탱크 통로(91c)와 분기 통로(91b)의 연통이 차단되므로, 제2 포트(21b)로부터의 작동유는, 탱크(40)로 유입되는 일 없이 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)에 공급된다.
유압 실린더(10)의 수축 동작 시에는, 로드 반대측실(11a)로부터 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량은, 메인 통로(80b)로부터 로드측실(11b)에 공급되는 작동유의 유량에 비해, 로드측실(11b)에 진입하는 피스톤 로드(13)의 체적분, 많다. 로드측실(11b)에 진입하는 피스톤 로드(13)의 체적분의 작동유는, 메인 통로(80a)의 통로부(81a)로부터 분기 통로(91a) 및 탱크 통로(91c)를 통해 탱크(40)로 배출된다. 따라서 펌프(20)는, 제2 포트(21b)로부터 토출되는 작동유의 유량과 동일한 유량의 작동유를 제1 포트(21a)로부터 흡입할 수 있다.
이와 같이, 피스톤 로드(13)가 실린더(11)에 대해 진퇴함으로써 발생하는 용적 변화는, 펌프(20)에 접속되는 탱크(40)에 의해 보상된다.
실린더 구동 장치(100)는, 릴리프 밸브(96a), 릴리프 밸브(96b), 릴리프 밸브(97a) 및 릴리프 밸브(97b)를 더 구비한다. 릴리프 밸브(96a)는, 메인 통로(80a)의 통로부(81a)로부터 분기되어 탱크(40)에 접속되는 릴리프 통로(92a)에 설치된다. 릴리프 밸브(96a)는, 통로부(81a) 내의 압력이 릴리프 밸브(96a)의 밸브 개방압에 도달하였을 때에 개방되어, 통로부(81a) 내의 작동유를, 릴리프 통로(92a)를 통해 탱크(40)로 배출한다. 릴리프 밸브(96a)에 의해, 통로부(81a) 내의 압력은, 릴리프 밸브(96a)의 밸브 개방압 이하로 제한된다.
마찬가지로, 릴리프 밸브(96b)는, 메인 통로(80b)의 통로부(81b)로부터 분기되어 탱크(40)에 접속되는 릴리프 통로(92b)에 설치되고, 통로부(81b) 내의 압력을 릴리프 밸브(96b)의 밸브 개방압 이하로 제한한다. 릴리프 밸브(97a)는, 메인 통로(80a)의 통로부(82a)로부터 분기되어 탱크(40)에 접속되는 릴리프 통로(93a)에 설치되고, 통로부(82a) 내의 압력을 릴리프 밸브(97a)의 밸브 개방압 이하로 제한한다. 릴리프 밸브(97b)는, 메인 통로(80b)의 통로부(82b)로부터 분기되어 탱크(40)에 접속되는 릴리프 통로(93b)에 설치되고, 통로부(82b) 내의 압력을 릴리프 밸브(97b)의 밸브 개방압 이하로 제한한다.
실린더 구동 장치(100)는, 유압 실린더(10)의 수동 조작을 가능하게 하는 전환 밸브(98)를 구비한다. 전환 밸브(98)는, 3포트 2위치 전환 밸브이다. 전환 밸브(98)의 제1 포트는, 메인 통로(80a)의 통로부(82a)로부터 분기되는 분기 통로(94a)에 접속된다. 전환 밸브(98)의 제2 포트는, 메인 통로(80b)의 통로부(82b)로부터 분기되는 분기 통로(94b)에 접속된다. 전환 밸브(98)의 제3 포트는, 탱크(40)에 접속되는 탱크 통로(94c)에 접속된다.
전환 밸브(98)는, 제1 위치(98a)에 있을 때에는, 탱크 통로(94c)와 분기 통로(94a)의 연통을 차단하고, 탱크 통로(94c)와 분기 통로(94b)의 연통을 차단하고, 분기 통로(94a)와 분기 통로(94b)의 연통을 차단한다. 전환 밸브(98)는, 제2 위치(98b)에 있을 때에는, 탱크 통로(94c)와 분기 통로(94a)를 연통하고, 탱크 통로(94c)와 분기 통로(94b)를 연통하고, 분기 통로(94a)와 분기 통로(94b)를 연통한다. 전환 밸브(98)의 위치는, 전환 밸브(98)를 수동 조작함으로써 전환된다.
전환 밸브(98)가 제2 위치(98b)로 전환된 경우에는, 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a) 및 로드측실(11b)은, 오퍼레이트 체크 밸브(60a, 60b), 제어 밸브(50)를 우회하여 탱크(40)에 접속된다. 수동 조작에 의해 유압 실린더(10)를 신축시키는 것이 가능해진다.
스로틀 밸브(70b)는, 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름을 교축한다. 스로틀 밸브(70b)에 있어서의 작동유의 흐름은, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적에 따라서 교축된다. 따라서, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량이 제한되어, 유압 실린더(10)의 신장 동작 시에 있어서의 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
여기서, 헌팅 현상이라 함은, 펌프(20)가 작동하고 있음에도 불구하고, 유압 실린더(10)가 작동과 정지를 반복하는 현상이다. 헌팅 현상에 대해, 도 11을 사용하여 상세하게 설명한다.
도 11은, 비교예에 관한 실린더 구동 장치(300)의 회로도이다. 실린더 구동 장치(100)의 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다. 실린더 구동 장치(300)는, 스로틀 밸브(70a) 및 스로틀 밸브(70b)(도 4 참조)를 구비하고 있지 않은 점에 있어서, 실린더 구동 장치(100)와 상이하다.
먼저, 헌팅 현상이 발생하지 않는 조건하에서의 실린더 구동 장치(300)의 동작을 설명한다. 구체적으로는, 피스톤 로드(13)가 부하에 의한 외력을 수축 방향으로 받고 있는 상태(도 2에 나타낸 상태)에서 유압 실린더(10)를 신장시키는 경우의 실린더 구동 장치(300)의 동작을 설명한다.
부하에 의한 외력은, 피스톤 로드(13)를 통해 피스톤(12)에 수축 방향으로 작용하므로, 피스톤(12)은, 이 외력에 의해서는 신장 방향으로 이동하지 않는다. 로드 반대측실(11a)에 공급되는 작동유는, 이 외력에 저항하여, 피스톤(12)을 신장 방향으로 이동시킨다.
메인 통로(80a) 내의 압력은, 펌프(20)의 제1 포트(21a)로부터 토출되는 작동유에 의해 높은 상태로 유지되고, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는 개방 상태를 유지한다. 따라서, 로드측실(11b) 내의 작동유는, 메인 통로(80b)로 계속 배출되어, 유압 실린더(10)는 정지하는 일 없이 계속 신장된다.
이와 같이, 피스톤 로드(13)가 부하에 의한 외력을 수축 방향으로 받고 있는 상태(도 2에 나타낸 상태)에서 유압 실린더(10)를 신장시키는 경우에는, 유압 실린더(10)는 계속 신장된다.
마찬가지로, 피스톤 로드(13)가 부하에 의한 외력을 신장 방향으로 받고 있는 상태(도 3에 나타낸 상태)에서 유압 실린더(10)를 수축시키는 경우에 있어서도, 유압 실린더(10)는 정지하는 일 없이 계속 수축한다. 즉, 부하에 의한 외력이 피스톤 로드(13)에 작용하는 방향과, 유압 실린더(10)의 작동 방향이 일치하지 않는 경우에는, 헌팅 현상은 발생하지 않는다.
다음으로, 헌팅 현상이 발생하는 조건하에서의 실린더 구동 장치(300)의 동작을 설명한다. 구체적으로는, 피스톤 로드(13)가 부하에 의한 외력을 신장 방향으로 받고 있는 상태(도 3에 나타낸 상태)에서 유압 실린더(10)를 신장시키는 경우의 실린더 구동 장치(300)의 동작을 설명한다.
펌프(20)가 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출한 직후에는, 제1 포트(21a)로부터의 작동유는, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)를 밀어 개방하여, 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)에 공급된다. 이때, 메인 통로(80a)의 통로부(81a) 내의 압력이 상승하여, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)가 개방된다. 로드측실(11b) 내의 작동유가 메인 통로(80b)로 배출되어, 유압 실린더(10)는 신장되기 시작한다.
부하에 의한 외력은, 피스톤 로드(13)를 통해 피스톤(12)에 신장 방향으로 작용하기 때문에, 피스톤(12)은, 로드 반대측실(11a)에 공급되는 작동유의 압력 외에도, 이 외력을 받아 신장 방향으로 이동한다. 부하에 의한 외력이 클수록, 피스톤(12)은 고속으로 이동하여, 로드측실(11b) 내로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량이 증가한다.
피스톤(12)이 유압 실린더(10)를 신장시키는 방향으로 고속으로 이동하면, 메인 통로(80a) 내의 작동유는, 피스톤(12)에 의해 로드 반대측실(11a)에 흡입된다. 즉, 유압 실린더(10)는, 부하에 의한 외력에 의해, 펌프와 같이 기능하여, 메인 통로(80a) 내의 작동유를 흡입한다.
유압 실린더(10)가 메인 통로(80a)로부터 흡입하는 작동유의 유량이, 펌프(20)의 최대 토출 유량을 초과하면, 펌프(20)는, 메인 통로(80a) 내의 압력을 상승시킬 수 없어, 메인 통로(80a)의 통로부(81a) 내의 압력이 저하된다. 이에 의해, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는 폐쇄되어, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로의 작동유의 배출이 정지한다. 피스톤(12)은 정지하고, 유압 실린더(10)는 정지한다.
피스톤(12)이 정지하면, 피스톤(12)에 의한 메인 통로(80a)로부터 로드 반대측실(11a)로의 작동유의 흡입이 정지한다. 메인 통로(80a) 내의 압력은, 펌프(20)에 의해 상승하여, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)가 개방된다. 로드측실(11b) 내의 작동유가 메인 통로(80b)로 배출되고, 유압 실린더(10)는 다시 신장되기 시작한다.
피스톤(12)은, 로드 반대측실(11a)에 공급되는 작동유의 압력 외에도, 부하에 의한 외력을 받아 신장 방향으로 이동한다. 메인 통로(80a) 내의 작동유는, 피스톤(12)에 의해 로드 반대측실(11a)에 흡입되고, 메인 통로(80a)의 통로부(81a) 내의 압력이 저하된다. 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는 폐쇄되고, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로의 작동유의 배출이 정지한다. 피스톤(12)은 정지하고, 유압 실린더(10)는 다시 정지한다.
이와 같이, 실린더 구동 장치(300)에서는, 피스톤 로드(13)가 부하에 의한 큰 외력을 신장 방향으로 받고 있는 상태(도 3에 나타낸 상태)에서 유압 실린더(10)를 신장시키는 경우에, 유압 실린더(10)는 신장과 정지를 반복한다.
마찬가지로, 피스톤 로드(13)가 부하에 의한 큰 외력을 수축 방향으로 받고 있는 상태(도 2에 나타낸 상태)에서 유압 실린더(10)를 수축시키는 경우에 있어서도, 유압 실린더(10)는 수축과 정지를 반복한다. 즉, 실린더 구동 장치(300)에서는, 부하에 의한 외력이 피스톤 로드(13)에 작용하는 방향과, 유압 실린더(10)의 작동 방향이 일치하는 경우에, 헌팅 현상이 발생한다.
도 4를 참조한다. 실린더 구동 장치(100)에서는, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 흐름은 스로틀 밸브(70b)에 의해 교축된다. 부하에 의한 외력이 피스톤 로드(13)에 신장 방향으로 작용하는 상태에서 유압 실린더(10)를 신장시켜도, 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량의 증가는 제한된다. 피스톤(12)에 의한 메인 통로(80a)로부터 로드 반대측실(11a)로의 작동유의 흡입을 방지할 수 있어, 메인 통로(80a) 내의 압력의 저하를 방지할 수 있다. 따라서, 유압 실린더(10)의 신장 동작 시에 있어서의 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
마찬가지로, 로드 반대측실(11a)로부터 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 흐름은 스로틀 밸브(70a)에 의해 교축된다. 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)로부터 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 증가는 제한된다. 메인 통로(80b) 내의 압력의 저하를 방지할 수 있어, 유압 실린더(10)의 수축 동작 시에 있어서의 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
스로틀 밸브(70b)는, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적이, 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량의 증가에 따라서 감소하도록 형성된다.
도 5는, 스로틀 밸브(70b)의 모식 단면도이다. 스로틀 밸브(70b)는, 메인 통로(80b)의 통로부(83b)에 접속되는 제1 포트(71a)와, 메인 통로(80b)의 통로부(82b)에 접속되는 제2 포트(72a)와, 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 유로(73)를 갖는다. 제1 포트(71a)는, 제1 하우징(71)이 형성되는 원형의 구멍으로 이루어진다. 제2 포트(72a)는, 제2 하우징(72)이 형성되는 원형의 구멍으로 이루어진다.
제2 하우징(72)은, 제1 하우징(71)에 대향하는 대향면(72b)을 갖는다. 대향면(72b)에는, 오목부(72c)가 형성된다. 제1 포트(71a)는, 오목부(72c)에 연통된다.
제2 하우징(72)에는, 오목부(72c)의 저면에 개구되는 구멍(72d)이 형성된다. 구멍(72d)의 내경은, 제2 포트(72a)의 내경보다 크고, 제2 포트(72a)는 구멍(72d)의 저면(72e)에 개구된다. 오목부(72c)와 구멍(72d)에 의해, 유로(73)가 형성된다. 구멍(72d)의 저면(72e)과 제2 포트(72a)의 내주면에 의해, 환상의 밸브 시트(72f)가 형성된다.
스로틀 밸브(70b)는, 유로(73) 내에 설치되는 밸브체(74)와, 밸브체(74)를 밸브 시트(72f)로부터 이격되는 방향으로 가압하는 스프링(가압 부재)(75)을 갖는다. 스프링(75)은, 예를 들어 코일 스프링이다.
밸브체(74)는, 구멍(72d)의 내경과 대략 동일한 외경을 갖는 대직경부(74a)와, 대직경부(74a)의 외경보다 작은 외경을 갖는 소직경부(74b)를 갖는다. 대직경부(74a)는, 구멍(72d) 내에 미끄럼 이동 가능하게 수용된다.
소직경부(74b)는, 대직경부(74a)로부터 제2 포트(72a)를 향해 돌출된다. 대직경부(74a)와 소직경부(74b) 사이에는, 단차부(74c)가 형성된다.
소직경부(74b)의 기단부(대직경부(74a)로부터 연속되는 부분)의 외경은, 제2 포트(72a)의 내경보다 크다. 소직경부(74b)의 선단면의 외경은, 제2 포트(72a)의 내경보다 작다. 소직경부(74b)의 선단부는, 테이퍼 형상으로 형성된다. 밸브체(74)가 밸브 시트(72f)에 착좌하였을 때에는, 소직경부(74b)의 선단면이 제2 포트(72a)에 진입하여, 소직경부(74b)의 선단부가 밸브 시트(72f)에 접촉한다.
스프링(75)은, 밸브체(74)의 단차부(74c)와 구멍(72d)의 저면(72e) 사이에, 압축된 상태로 설치된다. 스프링(75)의 복원력에 의해, 밸브체(74)는, 밸브 시트(72f)로부터 이격되는 방향으로 가압된다. 밸브 시트(72f)로부터 이격되는 방향으로의 밸브체(74)의 이동은, 제1 하우징(71)에 의해 제한된다.
밸브체(74)에는, 대직경부(74a)의 단부면에 개구되고 대직경부(74a)와 소직경부(74b)에 걸쳐 형성되는 구멍(74d)이 형성된다. 대직경부(74a)의 단부면에는, 구멍(74d)의 내주면으로부터 대직경부(74a)의 외주면까지 연장되는 홈(74e)이 형성된다. 홈(74e)에 의해, 밸브체(74)가 제1 하우징(71)에 압박된 상태에 있어서도 구멍(74d)과 오목부(72c)가 연통된다.
소직경부(74b)에는, 구멍(74d)의 저면과 소직경부(74b)의 선단면 사이를 관통하는 스로틀 구멍(제1 스로틀부)(74f)가 형성된다. 소직경부(74b)에는, 구멍(74d)의 내주면과 소직경부(74b)의 외주면 사이를 관통하는 스로틀 구멍(제2 스로틀부)(74g)이 형성된다. 밸브체(74)가 밸브 시트(72f)에 착좌한 상태에서는, 작동유는, 제2 포트(72a)와 구멍(74d) 사이를, 스로틀 구멍(74f)을 통해서만 오가고, 스로틀 구멍(74g)을 통해서는 오가지 않는다.
펌프(20)가 정지하고 있는 상태에서는, 밸브체(74)에는 작동유의 압력이 작용하지 않고, 밸브체(74)는, 스프링(75)의 가압력에 의해 밸브 시트(72f)로부터 이격된다. 펌프(20)가 제2 포트(21b)로부터 작동유를 토출하는 경우에는, 밸브체(74)는, 제2 포트(72a)로부터 유로(73)를 통해 제1 포트(71a)로 향하는 작동유의 압력과, 스프링(75)의 가압력에 의해 밸브 시트(72f)로부터 이격된다.
부하에 의한 외력이 피스톤 로드(13)에 수축 방향으로 작용하고 있는 상태(도 2에 나타낸 상태)에 있어서, 펌프(20)가 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출할 때에는, 펌프(20)는, 부하에 의한 외력에 저항하여 유압 실린더(10)를 신장시킨다(도 6 참조). 이때, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량은 적다.
도 7에 도시한 바와 같이, 스로틀 밸브(70b)의 제1 포트(71a)로부터 공급되는 작동유는, 스프링(75)의 가압력에 저항하여, 밸브체(74)를 밸브 시트(72f)에 근접시킨다. 그러나 스로틀 밸브(70b)의 제1 포트(71a)로부터 공급되는 작동유의 유량은 적으므로, 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)의 차압은 작다. 그 때문에, 스프링(75)의 가압력에 의해 밸브체(74)의 이동이 제한되어, 밸브체(74)는 밸브 시트(72f)에 착좌하지 않는다. 즉, 밸브체(74)는 밸브 시트(72f)로부터 이격된 상태로 유지된다.
스로틀 밸브(70b)의 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)는, 스로틀 구멍(74f)과 스로틀 구멍(74g)의 양쪽을 통해 연통된다. 즉, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적과 스로틀 구멍(74g)의 개구 면적의 총합에 상당한다. 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은 커, 스로틀 밸브(70b)에 의해 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름에 부여되는 저항은 작다. 따라서, 전동 모터(30)의 부하를 작게 할 수 있어, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감할 수 있다.
또한, 전동 모터(30)의 부하가 작아지므로, 저출력의 전동 모터(30)를 사용할 수 있다. 이에 의해, 전동 모터(30) 및 전동 모터(30)에 전력을 공급하기 위한 전장품의 비용을 삭감할 수 있다.
또한, 스로틀 밸브(70b)에 의해 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름에 부여되는 저항은 작으므로, 전동 모터(30)의 출력을 올리는 일 없이, 유압 실린더(10)의 동작을 고속화할 수 있다.
이때에는, 부하에 의한 외력은, 유압 실린더(10)를 신장시키는 방향으로 작용하지 않으므로, 유압 실린더(10)가 펌프와 같이 기능하여 메인 통로(80a) 내의 작동유를 흡입하는 일은 없다. 그 때문에, 메인 통로(80a) 내의 압력은 펌프(20)에 의해 높아지고, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는 개방 상태를 유지한다. 따라서, 헌팅 현상은 발생하지 않는다.
부하에 의한 외력이 피스톤 로드(13)에 신장 방향으로 작용하고 있는 상태(도 3에 나타낸 상태)에 있어서, 펌프(20)가 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출할 때에는, 펌프(20)는 부하에 의한 외력과 함께 유압 실린더(10)를 신장시킨다(도 8 참조). 그 때문에, 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량은 증가한다.
도 9에 도시한 바와 같이, 스로틀 밸브(70b)의 제1 포트(71a)로부터 공급되는 작동유는, 스프링(75)의 가압력에 저항하여, 밸브체(74)를 밸브 시트(72f)에 근접시킨다. 스로틀 밸브(70b)의 제1 포트(71a)로부터 공급되는 작동유의 유량은 많으므로, 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)의 차압은 크다. 그 때문에, 밸브체(74)는 스프링(75)의 가압력에 저항하여, 밸브 시트(72f)에 착좌한다.
스로틀 밸브(70b)의 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)는, 스로틀 구멍(74f)을 통해서만 연통되고, 스로틀 구멍(74g)은 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하지 않는다. 즉, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적에 상당한다.
이때, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은 작아, 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름이 스로틀 밸브(70b)에 의해 더 교축된다. 그 때문에, 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 유량의 증가가 제한되어, 유압 실린더(10)가 펌프와 같이 기능하여 메인 통로(80a) 내의 작동유를 흡입하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 메인 통로(80a) 내의 압력을 펌프(20)에 의해 높일 수 있어, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)를 개방 상태로 유지할 수 있다. 이에 의해, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
이때에는, 부하에 의한 외력은, 유압 실린더(10)를 신장시키는 방향으로 작용하므로, 펌프(20)의 부하는 작아도 된다. 따라서, 전동 모터(30)의 부하를 작게 할 수 있어, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감할 수 있다.
이와 같이, 실린더 구동 장치(100)에서는, 헌팅 현상을 발생시키도록 외력이 유압 실린더(10)에 작용하는 경우와, 헌팅 현상을 발생시키지 않도록 외력이 유압 실린더(10)에 작용하는 경우에 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적이 변화된다. 따라서, 유압 실린더(10)의 신장 동작 시에 있어서, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감함과 함께, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
스로틀 밸브(70a)는, 스로틀 밸브(70b)와 마찬가지로, 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적이, 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)로부터 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 증가에 따라서 감소하도록 형성된다. 따라서, 유압 실린더(10)의 수축 동작 시에 있어서, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감함과 함께, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
스로틀 밸브(70a)의 구조는, 스로틀 밸브(70b)의 구조와 거의 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
스로틀 밸브(70b)는, 유압 실린더(10)가 메인 통로(80a)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달하였을 때에 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적이 감소하도록 설정된다.
유압 실린더(10)가 메인 통로(80a)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달할 때까지는, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은 크다. 따라서, 전동 모터(30)의 부하는 작아, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감할 수 있다.
유압 실린더(10)가 메인 통로(80a)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달할 때에는, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적이 감소하고, 스로틀 밸브(70b)는 유량의 증가를 제한한다. 따라서, 유압 실린더(10)가 펌프와 같이 기능하여 메인 통로(80a) 내의 작동유를 흡입하는 것을 방지할 수 있어, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
스로틀 밸브(70b)의 설정은, 스프링(75)의 스프링 상수, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적, 스로틀 구멍(74g)의 개구 면적을 변경함으로써 변경 가능하다.
스로틀 밸브(70a)는, 스로틀 밸브(70b)와 마찬가지로, 유압 실린더(10)가 메인 통로(80b)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달하였을 때에 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적이 감소하도록 설정된다.
스로틀 구멍(74g)의 개구 면적은, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적보다 크다. 그 때문에, 스로틀 구멍(74f)과 스로틀 구멍(74g)의 양쪽이 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 경우의 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적과, 스로틀 구멍(74f)만이 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 경우의 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적의 차가 확대된다. 따라서, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적을, 유압 실린더(10)의 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량의 상승에 따라서, 더 감소시킬 수 있다.
유압 실린더(10), 펌프(20), 전동 모터(30), 탱크(40), 각종 통로 및 각종 밸브는, 하나의 유닛(도 1 참조)을 구성한다. 그 때문에, 유압 실린더(10)에 배관 등을 접속하는 일 없이, 전동 모터(30)에 전력을 공급하는 것만으로, 유압 실린더(10)를 작동시킬 수 있다. 따라서, 실린더 구동 장치(100)의 조작성이 향상된다.
유압 실린더(10), 펌프(20), 전동 모터(30), 탱크(40), 각종 통로 및 각종 밸브는, 유닛을 구성하지 않아도 된다. 예를 들어, 펌프(20)가 유압 실린더(10)로부터 이격된 위치에 설치되고, 펌프(20)와 유압 실린더(10)가 배관을 통해 접속되어 있어도 된다.
다음으로, 실린더 구동 장치(100) 및 회전 장치(1000)의 동작에 대해, 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명한다.
전동 모터(30)의 출력축(31)을 정방향(R1)으로 회전시키면, 펌프(20)는, 제1 포트(21a)로부터 작동유를 토출한다. 펌프(20)로부터의 작동유는, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)를 밀어 개방하여, 스로틀 밸브(70a)로 유도된다.
스로틀 밸브(70a)의 밸브체는, 밸브 시트로부터 이격되는 방향으로 작동유로부터 힘을 받아, 밸브 시트로부터 이격된 상태를 유지한다. 스로틀 밸브(70a)는, 스로틀 구멍(74f) 및 스로틀 구멍(74g)을 통해 메인 통로(80a)의 통로부(82a)와 통로부(83a)를 연통한다. 메인 통로(80a)의 통로부(82a) 내의 작동유는 스로틀 밸브(70a)의 스로틀 구멍(74f) 및 스로틀 구멍(74g)을 통해 유압 실린더(10)의 로드 반대측실(11a)에 공급된다.
이때, 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적과 스로틀 구멍(74g)의 개구 면적의 총합에 상당하고, 스로틀 밸브(70a)에 의해 메인 통로(80a)에 있어서의 작동유의 흐름에 부여되는 저항은 작다.
또한, 메인 통로(80a)의 통로부(81a) 내의 압력이 상승하여, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)는 개방된다. 유압 실린더(10)의 로드측실(11b) 내의 작동유는, 메인 통로(80b)로 배출되어, 유압 실린더(10)가 신장된다. 메인 통로(80b)로 배출된 작동유는, 펌프(20)의 제2 포트(21b)로 유도된다.
부하에 의한 외력이 피스톤 로드(13)에 수축 방향으로 작용하고 있는 상태(도 1 및 도 2에 나타낸 상태)에서는, 피스톤(12)은, 이 외력에 의해서는 신장 방향으로 이동하지 않는다. 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량은 적고, 스로틀 밸브(70b)의 밸브체(74)는 밸브 시트(72f)로부터 이격된 상태를 유지한다(도 6 및 도 7 참조). 메인 통로(80b)의 통로부(83b) 내의 작동유는 스로틀 밸브(70b)의 스로틀 구멍(74f) 및 스로틀 구멍(74g)을 통해 메인 통로(80b)의 통로부(82b)로 유도된다.
스로틀 밸브(70b)는, 스로틀 구멍(74f) 및 스로틀 구멍(74g)을 통해 메인 통로(80b)의 통로부(83b)와 통로부(82b)를 연통하기 때문에, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은 커, 스로틀 밸브(70b)에 의해 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름에 부여되는 저항은 작다.
메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름에 부여되는 저항은 작으므로, 전동 모터(30)의 부하를 작게 할 수 있다. 따라서, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감할 수 있다.
부하에 의한 외력은, 유압 실린더(10)를 신장시키는 방향으로 작용하지 않으므로, 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적이 커도, 헌팅 현상은 발생하지 않는다.
유압 실린더(10)의 신장에 수반하여, 부하에 의한 외력은, 피스톤 로드(13)에 신장 방향으로 작용하기 시작한다(도 3 참조). 피스톤(12)은, 이 외력에 의해서도 신장 방향으로 이동한다. 로드측실(11b)로부터 메인 통로(80b)로 배출되는 작동유의 유량은 증가하고, 스로틀 밸브(70b)의 밸브체(74)는, 스프링(75)의 가압력에 저항하여, 밸브 시트(72f)에 착좌한다(도 8 및 도 9 참조).
스로틀 밸브(70b)는, 스로틀 구멍(74f)만을 통해 메인 통로(80b)의 통로부(83b)와 통로부(82b)를 연통한다. 스로틀 밸브(70b)의 개구 면적은, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적에 상당하고, 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름은 스로틀 밸브(70b)에 의해 교축된다.
메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 유량의 증가가 제한되고, 유압 실린더(10)가 펌프와 같이 기능하여 메인 통로(80a) 내의 작동유를 흡입하는 것을 방지할 수 있다. 메인 통로(80a) 내의 압력을 펌프(20)에 의해 높일 수 있어, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)를 개방 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
이때에는, 부하에 의한 외력은, 유압 실린더(10)를 신장시키는 방향으로 작용하므로, 펌프(20)의 부하는 작아도 된다. 따라서, 전동 모터(30)의 부하를 작게 할 수 있어, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감할 수 있다.
이와 같이, 실린더 구동 장치(100)에서는, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감함과 함께, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
유압 실린더(10)의 수축 동작에 대해서는, 신장 동작과 거의 동일하기 때문에, 여기서는 그 설명을 생략한다.
도 10은, 변형예에 관한 실린더 구동 장치(200)의 회로도이다. 실린더 구동 장치(200)는, 오퍼레이트 체크 밸브(60a) 및 스로틀 밸브(70a)(도 4 참조)를 구비하고 있지 않은 점에 있어서, 실린더 구동 장치(100)와 주로 상이하다. 실린더 구동 장치(200)에 있어서도, 신장 동작 시에 있어서의 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
도시를 생략하지만, 실린더 구동 장치는, 오퍼레이트 체크 밸브(60a) 및 스로틀 밸브(70a)(도 4 참조)를 구비하고, 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 스로틀 밸브(70b)를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 수축 동작 시에 있어서의 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태의 구성, 작용 및 효과를 정리하여 설명한다.
본 실시 형태에서는, 실린더 구동 장치(100, 200)는, 전동 모터(30)와, 전동 모터(30)에 의해 구동되고, 작동유를 토출하는 펌프(20)와, 각각이 펌프(20)에 접속되고, 펌프(20)로부터의 작동유가 선택적으로 유도되는 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)와, 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)에 접속되고, 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b) 중 한쪽으로부터 공급되는 작동유에 의해 작동함과 함께 작동 시에 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b) 중 다른 쪽으로 작동유를 배출하는 유압 실린더(10)와, 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)에 설치되고, 펌프(20)로부터 유압 실린더(10)로 향하는 작동유의 흐름을 허용하는 한편, 유압 실린더(10)로부터 펌프(20)로 향하는 작동유의 흐름을 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b) 내의 압력의 상승에 따라서 허용하는 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60a)와, 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)에 있어서의 유압 실린더(10)와 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60a) 사이에 설치되고, 유압 실린더(10)로부터 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60a)로 향하는 작동유의 흐름을 교축하는 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)를 구비하고, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 상승에 따라서 감소한다.
이 구성에서는, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 상승에 따라서 감소한다. 부하에 의한 외력이 헌팅 현상을 발생시키지 않도록 유압 실린더(10)에 작용하는 경우에는, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량은 적다. 그 때문에, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은 커, 전동 모터(30)의 부하를 작게 할 수 있다. 부하에 의한 외력이 헌팅 현상을 발생시키도록 유압 실린더(10)에 작용하는 경우에는, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량은 증가하는 한편, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은 감소한다. 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)에 있어서의 작동유의 유량의 증가가 제한되어, 유압 실린더(10)가 펌프(20)와 같이 기능하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 전동 모터(30)의 전력을 저감함과 함께, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)는, 유압 실린더(10)가 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달하였을 때에 개구 면적이 감소하도록 설정된다.
이 구성에서는, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은, 유압 실린더(10)가 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달하였을 때에 감소한다. 유압 실린더(10)가 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달할 때까지는 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은 크다. 따라서, 전동 모터(30)의 부하는 작아, 전동 모터(30)의 소비 전력을 저감할 수 있다. 또한, 유압 실린더(10)가 메인 통로(80a) 및 메인 통로(80b)로부터 흡입하는 작동유의 유량이 펌프(20)의 최대 토출 유량에 도달할 때에는, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적이 감소하여, 유량의 증가를 제한한다. 따라서, 유압 실린더(10)가 펌프(20)와 같이 기능하는 것을 방지할 수 있어, 헌팅 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)는, 유압 실린더(10)에 접속되는 제1 포트(71a)와, 오퍼레이트 체크 밸브(60b) 및 오퍼레이트 체크 밸브(60a)에 접속되는 제2 포트(72a)와, 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 유로(73)와, 유로(73)에 설치되는 밸브 시트(72f)와, 유로(73)에 설치되고 밸브 시트(72f)에 이격 착좌하는 밸브체(74)와, 밸브체(74)를 밸브 시트(72f)로부터 이격시키는 방향으로 밸브체(74)를 가압하는 스프링(75)과, 밸브체(74)에 형성되고, 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 스로틀 구멍(74f)과, 밸브체(74)에 형성되고, 밸브체(74)가 밸브 시트(72f)로부터 이격된 상태에 있어서 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하고 밸브체(74)가 밸브 시트(72f)에 착좌한 상태에 있어서 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)의 연통을 차단하는 스로틀 구멍(74g)을 갖는 것을 특징으로 한다.
이 구성에서는, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)는, 스로틀 구멍(74f)과, 스로틀 구멍(74g)을 갖는다. 스로틀 구멍(74f)이 항시 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)에 연통되는 한편, 스로틀 구멍(74g)은, 밸브체(74)가 밸브 시트(72f)로부터 이격되어 있는 상태에 있어서 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)에 연통되고 밸브체(74)가 밸브 시트(72f)에 착좌한 상태에 있어서 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)의 연통을 차단한다. 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적은, 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적과 스로틀 구멍(74g)의 개구 면적의 총합에 상당하므로, 밸브체(74)의 상태에 따라서, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적이 변화된다. 스프링(75)은, 밸브체(74)를 밸브 시트(72f)로부터 이격시키는 방향으로 가압하므로, 제1 포트(71a)로부터 제2 포트(72a)로 향하는 작동유의 유량에 따라서 밸브체(74)는 밸브 시트(72f)에 이격 착좌한다. 따라서, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적을, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 상승에 따라서 감소시킬 수 있다.
본 실시 형태에서는, 스로틀 구멍(74g)의 개구 면적은 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적보다 크다.
이 구성에서는, 스로틀 구멍(74g)의 개구 면적은 스로틀 구멍(74f)의 개구 면적보다 크다. 스로틀 구멍(74g)과 스로틀 구멍(74f)의 양쪽이 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 경우의 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적과, 스로틀 구멍(74f)만이 제1 포트(71a)와 제2 포트(72a)를 연통하는 경우의 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적의 차가 크다. 따라서, 스로틀 밸브(70b) 및 스로틀 밸브(70a)의 개구 면적을, 유압 실린더(10)로부터 메인 통로(80b) 및 메인 통로(80a)로 배출되는 작동유의 유량의 상승에 따라서, 더 감소시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 상기 실시 형태는 본 발명의 적용예의 일부를 나타낸 것에 불과하고, 본 발명의 기술적 범위를 상기 실시 형태의 구체적 구성에 한정하는 취지는 아니다.
(1) 상기 실시 형태에 의한 실린더 구동 장치(100, 200)는, 작동 유체로서, 작동유를 사용하고 있지만, 작동유 대신 물이나 수용액 등의 비압축성 유체를 사용해도 된다.
(2) 회전 장치(1000)에서는, 대상물(W)은, 암 부재(2)의 단부(2a)에 설치된다. 암 부재(2)가 회전 대상물이어도 된다. 또한, 암 부재(2) 대신에, 갑판과 같은 판상의 부재를 회전시켜도 된다.
(3) 상기 실시 형태에 의한 실린더 구동 장치(100, 200)에서는, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)로서, 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름의 허용 및 차단을 파일럿압에 의해 전환하는 전환 밸브를 사용해도 된다. 이 경우, 전환 밸브는, 메인 통로(80b)의 통로부(81b) 또는 메인 통로(80a)의 압력의 상승에 따라서 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름을 허용하고, 이들 압력의 양쪽의 저하에 따라서 메인 통로(80b)에 있어서의 작동유의 흐름을 차단한다. 실린더 구동 장치(100)에서는, 오퍼레이트 체크 밸브(60b)와 마찬가지로, 오퍼레이트 체크 밸브(60a)로서, 메인 통로(80a)에 있어서의 작동유의 흐름의 허용 및 차단을 파일럿압에 의해 전환하는 전환 밸브를 사용해도 된다.
본원은 2016년 6월 30일에 일본 특허청에 출원된 일본 특허 출원 제2016-130544호에 기초하는 우선권을 주장하고, 이 출원의 모든 내용은 참조에 의해 본 명세서에 포함된다.

Claims (4)

  1. 실린더 구동 장치이며,
    전동 모터와,
    상기 전동 모터에 의해 구동되고, 작동 유체를 토출하는 펌프와,
    각각이 상기 펌프에 접속되고, 상기 펌프로부터의 작동 유체가 선택적으로 유도되는 제1 통로 및 제2 통로와,
    상기 제1 통로 및 상기 제2 통로에 접속되고, 상기 제1 통로 및 상기 제2 통로 중 한쪽으로부터 공급되는 작동 유체에 의해 작동함과 함께 작동 시에 상기 제1 통로 및 상기 제2 통로 중 다른 쪽으로 작동 유체를 배출하는 유체압 실린더와,
    상기 제2 통로에 설치되고, 상기 펌프로부터 상기 유체압 실린더로 향하는 작동 유체의 흐름을 허용하는 한편, 상기 유체압 실린더로부터 상기 펌프로 향하는 작동 유체의 흐름을 상기 제1 통로 내의 압력의 상승에 따라서 허용하는 제어 밸브와,
    상기 제2 통로에 있어서의 상기 유체압 실린더와 상기 제어 밸브 사이에 설치되고, 상기 유체압 실린더로부터 상기 제어 밸브로 향하는 작동 유체의 흐름을 교축하는 스로틀 밸브를 구비하고,
    상기 스로틀 밸브의 개구 면적은, 상기 유체압 실린더로부터 상기 제2 통로로 배출되는 작동 유체의 유량의 상승에 따라서 감소하는, 실린더 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스로틀 밸브는, 상기 유체압 실린더가 상기 제1 통로로부터 흡입하는 작동 유체의 유량이 상기 펌프의 최대 토출 유량에 도달하였을 때에 상기 개구 면적이 감소하도록 설정되는, 실린더 구동 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스로틀 밸브는,
    상기 유체압 실린더에 접속되는 제1 포트와,
    상기 제어 밸브에 접속되는 제2 포트와,
    상기 제1 포트와 상기 제2 포트를 연통하는 유로와,
    상기 유로에 설치되는 밸브 시트와,
    상기 유로에 설치되고 상기 밸브 시트에 이격 착좌하는 밸브체와,
    상기 밸브체를 상기 밸브 시트로부터 이격시키는 방향으로 상기 밸브체를 가압하는 가압 부재와,
    상기 밸브체에 형성되고, 상기 제1 포트와 상기 제2 포트를 연통하는 제1 스로틀부와,
    상기 밸브체에 형성되고, 상기 밸브체가 상기 밸브 시트로부터 이격된 상태에 있어서 상기 제1 포트와 상기 제2 포트를 연통하고, 상기 밸브체가 상기 밸브 시트에 착좌한 상태에 있어서 상기 제1 포트와 상기 제2 포트의 연통을 차단하는 제2 스로틀부를 갖는, 실린더 구동 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 스로틀부의 개구 면적은 상기 제1 스로틀부의 개구 면적보다 큰, 실린더 구동 장치.
KR1020187036869A 2016-06-30 2017-06-26 실린더 구동 장치 KR20190025837A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016130544A JP6788395B2 (ja) 2016-06-30 2016-06-30 シリンダ駆動装置
JPJP-P-2016-130544 2016-06-30
PCT/JP2017/023440 WO2018003753A1 (ja) 2016-06-30 2017-06-26 シリンダ駆動装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20190025837A true KR20190025837A (ko) 2019-03-12

Family

ID=60785408

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020187036869A KR20190025837A (ko) 2016-06-30 2017-06-26 실린더 구동 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10794404B2 (ko)
JP (1) JP6788395B2 (ko)
KR (1) KR20190025837A (ko)
CN (1) CN109416060B (ko)
WO (1) WO2018003753A1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10760599B2 (en) * 2018-06-29 2020-09-01 Kti Hydraulics Inc. Power units with manual override controls for hydraulic systems
WO2020059427A1 (ja) * 2018-09-19 2020-03-26 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置及び蓋開閉機構及び半導体装置の製造方法及び流体圧駆動システム
JP2021134907A (ja) * 2020-02-28 2021-09-13 Ｋｙｂ株式会社 流体圧駆動ユニット
US12085099B1 (en) * 2020-06-18 2024-09-10 Vacuworx Global, LLC Flow control block for use with a vacuum material handler

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5315225A (en) * 1976-07-28 1978-02-10 Sumitomo Metal Ind Method of making ingot by bottom pouring
JPS5422994Y2 (ko) 1978-03-30 1979-08-08
JPH09242716A (ja) * 1996-03-05 1997-09-16 Hitachi Constr Mach Co Ltd 油圧シリンダ装置
CN101382156A (zh) * 2004-02-04 2009-03-11 克斯美库股份有限公司 流量控制阀和带有该流量控制阀的缸设备
JP4616672B2 (ja) 2005-03-14 2011-01-19 カヤバ工業株式会社 フィルタ一体化オリフィス、スローリターン弁、油圧駆動ユニット
JP2008309212A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Sumitomo (Shi) Construction Machinery Manufacturing Co Ltd 建設機械におけるアウトリガー制御装置
CN202833361U (zh) * 2012-09-08 2013-03-27 中色科技股份有限公司 一种双锥头夹紧对中液压系统
CN203176024U (zh) * 2013-03-09 2013-09-04 山东永平再生资源有限公司 剪切机液控系统
CN105358844B (zh) * 2013-04-22 2017-05-24 派克汉尼芬公司 用于控制液压致动器中压力的方法
CN103807227A (zh) * 2014-01-24 2014-05-21 大连液压件有限公司 重载汽车车桥提升液压系统

Also Published As

Publication number Publication date
US20190234431A1 (en) 2019-08-01
JP2018003943A (ja) 2018-01-11
WO2018003753A1 (ja) 2018-01-04
US10794404B2 (en) 2020-10-06
CN109416060A (zh) 2019-03-01
JP6788395B2 (ja) 2020-11-25
CN109416060B (zh) 2021-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20190025837A (ko) 실린더 구동 장치
EP3354905B1 (en) Fluid pressure control device
CA2597261A1 (en) Hydraulic control apparatus
JP6159629B2 (ja) 流体圧制御装置
US20110126920A1 (en) Hydraulic valve device
CA2624265A1 (en) Hydraulic control apparatus
US8833391B2 (en) Valve arrangement
US6739129B2 (en) Electrohydraulic motor pump aggregate, attachable element and pressure limiting valve
KR100965041B1 (ko) 액츄에이터 제어 장치
JP6909164B2 (ja) 流体圧制御装置
CN114517798B (zh) 液压驱动系统及作业机械
JP6706170B2 (ja) 流体圧制御装置
US20160160885A1 (en) Hydraulic circuit for an actuator
JP5184299B2 (ja) 流体圧制御装置
EP0842803B1 (en) Hydraulic actuating device for a cover of a vehicle
JP2017062010A (ja) 流体圧制御装置
KR102704482B1 (ko) 승압기를 구비한 유압 실린더
JP2019148301A (ja) 流体圧制御装置
JP6977072B2 (ja) 切替弁、電動油圧回路及び航空機
CA3110135C (en) Double-acting hydraulic actuator with different pumps for each actuation direction
JP4184733B2 (ja) 油圧作業機械の油圧制御回路
JPH08143292A (ja) シーケンスバルブ及び荷役装置の油圧装置
JP5105845B2 (ja) 油圧制御装置
KR20230056345A (ko) 승압기를 구비한 유압 실린더
JPS62165075A (ja) シヤトル弁