KR20190008109A - Inline system - Google Patents

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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

An objective of the present invention is to realize transfer of a material to be processed between a plurality of processing apparatuses without complicated control configuration. An in-line system (1) comprises: a protection member bonding apparatus (2), a grinding apparatus (3), and a transfer means (4) transferring a material to be processed between the protection member bonding apparatus and grinding apparatus. The transfer means has a temporarily arranged cassette (6), wherein a plurality of shelf plates on which the material to be processed can be arranged are arranged in a row in the height direction. The temporarily arranged cassette has a first aperture (64) on the protection member bonding apparatus and a second aperture (65) on the grinding apparatus. The protection member bonding apparatus carries a material after being processed onto predetermined shelf plates through the first aperture, and the grinding apparatus discharges the material through the second aperture.

Description

인라인 시스템{INLINE SYSTEM}Inline system {INLINE SYSTEM}

본 발명은 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물을 반송하는 인라인 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an inline system for transporting a workpiece between a plurality of processing apparatuses.

종래부터, 반도체 제조 장치에 있어서는, 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물을 반송하고, 피가공물에 대해 소정의 가공을 연속적으로 실시 가능한 인라인 시스템이 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 인라인 시스템은, 제1 가공 장치로서 연삭 장치를 구비하고, 제2 가공 장치로서 레이저 가공 장치를 구비한다. 또한, 상기 인라인 시스템은, 연삭 장치와 레이저 가공 장치 사이에서 피가공물을 이송하는 이송 수단을 더 구비하고 있다. 이들에 의해, 피가공물은, 연삭 장치에 의해 소정 두께로 연삭된 후, 레이저 가공 장치에 의해 분할 예정 라인을 따라 레이저 가공된다. 2. Description of the Related Art Conventionally, in a semiconductor manufacturing apparatus, there has been proposed an in-line system in which a workpiece is transported between a plurality of processing apparatuses and a predetermined processing can be continuously performed on the workpiece (see, for example, Patent Document 1). The inline system disclosed in Patent Document 1 has a grinding apparatus as a first machining apparatus and a laser machining apparatus as a second machining apparatus. Further, the inline system further includes a transfer means for transferring the workpiece between the grinding apparatus and the laser processing apparatus. Thereby, the workpiece is ground to a predetermined thickness by the grinding apparatus, and then laser-processed along the line to be divided by the laser processing apparatus.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2014-038929호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2014-038929

그런데, 특허문헌 1에서는, 2개의 가공 장치 사이에서 피가공물의 이송을 실시하는 경우, 각 가공 장치의 상황을 파악할 필요가 있다. 그를 위해서는, 각 가공 장치를 통괄 제어하는 제어 장치의 소프트면, 하드면이 복잡해질 가능성이 있다.However, in Patent Document 1, when the workpiece is to be transferred between the two machining devices, it is necessary to grasp the situation of each machining device. For that purpose, there is a possibility that the soft surface and the hard surface of the control device that collectively controls each processing device become complicated.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 복잡한 제어 구성을 필요로 하지 않고 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물의 전달을 실현할 수 있는 인라인 시스템을 제공하는 것을 목적의 하나로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an inline system capable of realizing the transfer of a workpiece between a plurality of processing apparatuses without requiring a complicated control structure.

본 발명의 일 양태의 인라인 시스템은, 판형의 피가공물을 가공하는 제1 가공 장치와, 피가공물을 가공하는 제2 가공 장치와, X방향으로 나란히 설치된 제1 가공 장치와 제2 가공 장치 사이에 배치되어 제1 가공 장치로부터 제2 가공 장치에 피가공물을 전달하는 전달 수단을 구비한 인라인 시스템으로서, 제1 가공 장치는, 전달 수단을 기준으로 -X 방향측에 배치되고, 피가공물을 반송하는 제1 로봇을 구비하고, 제2 가공 장치는, 전달 수단을 기준으로 +X 방향측에 배치되고, 피가공물을 반송하는 제2 로봇을 구비하며, 전달 수단은, 피가공물을 선반 형상으로 수용 가능하게 하는 임시 배치 카세트와, 임시 배치 카세트를 배치하는 배치면을 갖는 테이블을 구비하고, 임시 배치 카세트는, 피가공물을 배치하는 단(段) 형상으로 형성하는 복수의 선반과, 테이블의 배치면 방향에 있어서 X방향에 직교하는 Y방향의 선반의 양 측변을 연결하는 측벽과, 측벽의 상변을 연결하는 상부판과, 측벽의 하변을 연결하는 바닥판과, X방향에서 -X측면에 형성되는 제1 개구와, +X측면에 형성되는 제2 개구를 구비하며, 제1 로봇이 제1 개구로부터 피가공물을 선반 상에 반입시키고, 제2 반송 로봇이 제2 개구로부터 선반 상의 피가공물을 반출시키며, 임시 배치 카세트를 통해 제1 가공 장치로부터 제2 가공 장치에 피가공물을 반송하는 것을 특징으로 한다.An inline system according to an embodiment of the present invention includes a first machining device for machining a plate-shaped workpiece, a second machining device for machining the workpiece, and a second machining device for machining the workpiece between a first machining device and a second machining device, And a transfer means for transferring a workpiece from the first processing apparatus to the second processing apparatus, wherein the first processing apparatus is arranged on the -X direction side with respect to the transfer means, And a second robot that is disposed on the + X direction side with respect to the transfer means and that conveys the workpiece, and the transfer means is capable of receiving the workpiece in a rack shape And a table having a placement surface on which a temporary placement cassette is placed. The temporary placement cassette includes a plurality of shelves formed in a step shape in which a workpiece is arranged, A bottom plate for connecting the lower side of the side wall, a side plate for connecting the upper side of the side wall to the lower side of the -X side in the X direction, And a second opening formed in the + X side, wherein the first robot brings the workpiece from the first opening onto the shelf, and the second carrying robot moves the second opening from the second opening to the shelf And the workpiece is carried out from the first machining apparatus to the second machining apparatus through the temporary placement cassette.

이 구성에 의하면, 예컨대 제1 가공 장치에 의해 가공한 후의 피가공물을, 제1 개구를 통해 임시 배치 카세트 내에 임시 배치할 수 있다. 한편, 제2 가공 장치는, 임시 배치 카세트 내에 임시 배치된 피가공물을 제1 개구와는 반대측의 제2 개구로부터 취출할 수 있다. 즉, 제1 가공 장치에서는, -X측의 제1 개구로부터 피가공물의 출납이 가능하고, 제2 가공 장치에서는, +X측의 제2 개구로부터 피가공물의 출납이 가능하다. 이와 같이, 임시 배치 수단으로서의 임시 배치 카세트를 통해 2개의 가공 장치 사이에서 피가공물의 전달을 행함으로써, 각 가공 장치의 상황을 파악할 필요가 없다. 즉, 각 가공 장치의 반송 로봇의 반송 위치를 확인할 필요가 없어져, 복잡한 제어 구성이 불필요해진다. 이 결과, 간이한 구성으로 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물의 전달을 실현할 수 있다. According to this configuration, for example, the workpiece after being processed by the first processing apparatus can be temporarily placed in the temporary placement cassette through the first opening. On the other hand, the second processing apparatus can take out the workpiece temporarily disposed in the temporary placement cassette from the second opening on the side opposite to the first opening. That is, in the first machining apparatus, the workpiece can be put in and out from the first opening on the -X side, and in the second machining apparatus, the workpiece can be put in and out from the second opening on the + X side. Thus, it is not necessary to grasp the situation of each processing apparatus by transferring the workpiece between the two processing apparatuses through the provisional placement cassette as the temporary placement means. In other words, there is no need to confirm the conveying position of the conveying robot of each processing apparatus, and a complicated control configuration is not required. As a result, the workpiece can be transferred between the plurality of processing apparatuses with a simple configuration.

또한, 본 발명의 일 양태의 상기 인라인 시스템에 있어서, 테이블은, 임시 배치 카세트를 배치하는 배치면에 대해 수직 방향을 축 방향으로 하고 배치면의 중심을 축으로 테이블을 ±90도 회전 가능하게 하는 회전 수단을 구비하고, 회전 수단으로 테이블을 +방향으로 90도 회전시켜 제1 개구를 +Y 방향측에 위치시키거나, 회전 수단으로 테이블을 -방향으로 90도 회전시켜 제2 개구를 +Y 방향측에 위치시키거나 하여, +Y 방향측으로부터 임시 배치 카세트에 수용되어 있는 피가공물의 빼냄을 가능하게 하였다.Further, in the above-described inline system according to an aspect of the present invention, the table is arranged so that the table is rotated in the direction of the axis perpendicular to the placement plane on which the temporary placement cassettes are arranged and the table is rotated by 90 degrees about the center of the placement plane The table is rotated by 90 degrees in the negative direction by the rotating means, and the second opening is moved in the + Y direction So that the workpiece accommodated in the temporary placement cassette can be pulled out from the + Y direction side.

본 발명에 의하면, 복잡한 제어 구성을 필요로 하지 않고 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물의 전달을 실현할 수 있다.According to the present invention, it is possible to realize the delivery of the workpiece among a plurality of processing apparatuses without requiring a complicated control arrangement.

도 1은 본 실시형태에 따른 인라인 시스템의 전체 사시도이다.
도 2는 본 실시형태에 따른 인라인 시스템의 동작예를 도시한 모식도이다.1 is an overall perspective view of an in-line system according to the present embodiment.
2 is a schematic diagram showing an operation example of an in-line system according to the present embodiment.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태에 따른 인라인 시스템에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 인라인 시스템의 전체 사시도이다. 한편, 본 실시형태에 따른 인라인 시스템은, 도 1에 도시된 구성에 한정되지 않고, 적절히 변경이 가능하다. 또한, 도 1에 있어서, X방향 안쪽측을 -X측, X방향 전방측을 +X측으로 하고, Y방향 안쪽측을 -Y측, Y방향 전방측을 +Y측으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, X방향을 장치의 좌우 방향, Y방향을 장치의 전후 방향, Z방향을 상하 방향으로 하고, X, Y, Z방향은 서로 직교하고 있는 것으로 한다.Hereinafter, an inline system according to the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is an overall perspective view of an in-line system according to the present embodiment. On the other hand, the inline system according to the present embodiment is not limited to the configuration shown in Fig. 1, and can be appropriately changed. In Fig. 1, the inner side in the X direction is set to the -X side, the front side in the X direction is set to the + X side, the inner side in the Y direction is set to the -Y side, and the front side in the Y direction is set to the + Y side. In the present embodiment, it is assumed that X, Y, and Z directions are orthogonal to each other with the X direction being the left and right direction of the apparatus, the Y direction being the front and back direction of the apparatus, and the Z direction being the up and down direction.

도 1에 도시된 바와 같이, 인라인 시스템(1)은, 제1 가공 장치로서의 보호 부재 접착 장치(2)와, 제2 가공 장치로서의 연삭 장치(3)와, 보호 부재 접착 장치(2) 및 연삭 장치(3) 사이에서 피가공물(W)의 전달을 실시하는 전달 수단(4)과, 이들을 통괄 제어하는 제어 수단(5)을 구비한다. 보호 부재 접착 장치(2)와 연삭 장치(3)는, X방향으로 약간 간격을 두고 나란히 설치된다. 전달 수단(4)은, 보호 부재 접착 장치(2)와 연삭 장치(3) 사이에 배치된다. 즉, 보호 부재 접착 장치(2)는, 전달 수단(4)을 기준으로 -X 방향(우측)에 배치되고, 연삭 장치(3)는, 전달 수단(4)을 기준으로 +X 방향(좌측)에 배치된다.1, the in-line system 1 includes a protective member bonding apparatus 2 as a first machining apparatus, a grinding apparatus 3 as a second machining apparatus, a protective member bonding apparatus 2, (4) for transferring the workpiece (W) between the apparatus (3), and control means (5) for controlling them collectively. The protective member bonding apparatus 2 and the grinding apparatus 3 are arranged side by side with a slight gap in the X direction. The transfer means 4 is disposed between the protective member bonding apparatus 2 and the grinding apparatus 3. That is, the protective member adhering apparatus 2 is arranged in the -X direction (right side) with respect to the transmitting means 4 and the grinding apparatus 3 is moved in the + X direction (left side) with respect to the transmitting means 4, .

가공 대상이 되는 피가공물(W)은, 예컨대 디바이스 패턴이 형성되기 전의 애즈 슬라이스 웨이퍼이고, 원기둥형의 잉곳을 와이어 소(wire saw)로 슬라이스하여 원판형으로 형성된다. 피가공물(W)은, 실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 카바이드 등의 워크에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 세라믹, 유리, 사파이어계의 무기 재료 기판, 판형 금속이나 수지의 연성 재료, 미크론 오더로부터 서브미크론 오더의 평탄도(TTV: Total Thickness Variation)가 요구되는 각종 가공 재료를 피가공물(W)로 해도 좋다. 여기서 말하는 평탄도란, 예컨대 피가공물(W)의 피연삭면을 기준면으로 하여 두께 방향을 측정한 높이 중, 최대값과 최소값의 차를 나타낸다.The workpiece W to be machined is, for example, an as-sliced wafer before the device pattern is formed, and is formed into a disk shape by slicing a columnar ingot with a wire saw. The workpiece W is not limited to a work such as silicon, gallium arsenide, and silicon carbide. For example, a variety of processing materials that require a submicron order total thickness variation (TTV) from an inorganic material substrate of ceramic, glass, or sapphire type, a flexible material of a plate metal or resin, Maybe. The flatness referred to here indicates the difference between the maximum value and the minimum value among the heights measured in the thickness direction with the ground surface of the workpiece W as a reference plane.

잉곳으로부터 슬라이스된 후의 피가공물(W)에는, 표면에 기복이 형성되어 있다. 본 실시형태에 따른 인라인 시스템(1)은, 슬라이스 후의 피가공물(W)의 표면으로부터 상기 기복을 제거하도록 구성된다. 구체적으로 인라인 시스템(1)은, 판형의 피가공물(W)의 한쪽 면에 보호 부재를 접착하고, 피가공물(W)을 다른쪽측으로부터 연삭 가공함으로써 기복을 제거한다. 즉, 본 실시형태에 따른 인라인 시스템(1)은, 제1 가공으로서 피가공물(W)의 한쪽 면에 보호 부재를 접착하고, 제2 가공으로서 피가공물의 다른쪽 면을 연삭 가공하며, 이들 2종류의 가공을 일련의 흐름으로 연속적으로 실시하도록 구성되어 있다. Undulations are formed on the surface of the workpiece W after being sliced from the ingot. The inline system 1 according to the present embodiment is configured to remove the undulations from the surface of the workpiece W after slicing. Specifically, the in-line system 1 removes undulations by adhering a protective member to one surface of a plate-shaped workpiece W and grinding the workpiece W from the other side. That is, in the inline system 1 according to the present embodiment, the protective member is bonded to one surface of the workpiece W as the first machining, the other surface of the workpiece is ground as the second machining, Type processing is continuously performed in a series of flows.

보호 부재 접착 장치(2)는, 수지 및 필름으로 이루어지는 보호 부재(모두 도시하지 않음)를 피가공물(W)의 표면에 접착하도록 구성된다. 상세한 구성은 생략하지만, 보호 부재 접착 장치(2)는, Y방향으로 길이 방향을 갖는 직육면체 형상의 케이스(20) 내에, 피가공물(W)을 반송하는 제1 로봇(21)을 설치하여 구성된다. 케이스(20)의 전면(前面)에는, 복수의 피가공물(W)을 수용한 워크 카세트(도시하지 않음)가 배치되는 제1 로드 포트(22)가 설치되어 있다.The protective member adhering apparatus 2 is configured to adhere a protective member (not shown) made of a resin and a film to the surface of the workpiece W. [ The protective member adhering apparatus 2 is constituted by providing a first robot 21 for carrying a workpiece W in a rectangular parallelepiped case 20 having a longitudinal direction in the Y direction . On the front surface of the case 20, there is provided a first load port 22 on which a work cassette (not shown) accommodating a plurality of workpieces W is disposed.

제1 로봇(21)은, 제1 로드 포트(22)의 후방에 있어서, 케이스(20)의 전측으로 치우쳐 배치되어 있다. 제1 로봇(21)은, 제1 로드 포트(22) 상의 워크 카세트로부터 피가공물(W)을 취출한다. 구체적으로 제1 로봇(21)은, 다관절 링크로 이루어지는 로봇 아암(23)의 선단에 흡인식의 핸드부(24)를 설치하여 구성된다. 핸드부(24)는, 피가공물(W)의 표면을 흡인 유지한다. 상세한 것은 후술하겠지만, 보호 부재 접착 장치(2)는, 피가공물(W)의 표면에 보호 부재를 접착한 후, 상기 피가공물(W)을 제1 로봇(21)으로 전달 수단(4)에 반송한다.The first robot 21 is disposed offset to the front side of the case 20 at the rear of the first load port 22. The first robot 21 takes out the workpiece W from the work cassette on the first load port 22. Specifically, the first robot 21 is constituted by disposing a suction hand 24 at the tip of a robot arm 23 made of a multi-joint link. The hand unit 24 holds the surface of the workpiece W by suction. The protective member adhering device 2 is a device for bonding a protective member to the surface of the workpiece W and then transferring the workpiece W to the transfer means 4 by the first robot 21, do.

연삭 장치(3)는, 보호 부재가 접착된 피가공물(W)의 반대면을 소정 두께로 연삭하도록 구성된다. 상세한 구성은 후술하겠지만, 연삭 장치(3)는, Y방향으로 길이 방향을 갖는 직육면체 형상의 케이스(30) 내에, 피가공물(W)을 반송하는 제2 로봇(31)을 설치하여 구성된다. 케이스(30)의 전면에는, 연삭 후의 복수의 피가공물(W)을 수용하는 워크 카세트(도시하지 않음)가 배치되는 제2 로드 포트(32)가 설치되어 있다.The grinding apparatus 3 is configured to grind the opposite surface of the workpiece W to which the protective member is adhered to a predetermined thickness. The grinding apparatus 3 is configured by providing a second robot 31 for carrying a workpiece W in a rectangular parallelepiped case 30 having a longitudinal direction in the Y direction. On the front surface of the case 30, there is provided a second load port 32 in which a work cassette (not shown) for receiving a plurality of workpieces W after grinding is disposed.

제2 로봇(31)은, 제2 로드 포트(32)의 후방에 있어서, 케이스(30)의 전측으로 치우쳐 배치되어 있다. 제2 로봇(31)은, 다관절 링크로 이루어지는 로봇 아암(33)의 선단에 흡인식의 핸드부(34)를 설치하여 구성된다. 핸드부(34)는, 피가공물(W)의 표면을 흡인 유지한다. 상세한 것은 후술하겠지만, 연삭 장치(3)는, 전달 수단(4)으로부터 피가공물(W)을 제2 로봇(31)으로 취출하여 장치 내의 소정 개소에 반송한다. 그 후, 연삭 장치(3)는, 피가공물(W)을 소정 두께로 연삭한 후, 상기 피가공물(W)을 제2 로봇(31)으로 제2 로드 포트(32)에 반송한다. The second robot 31 is disposed at a position rearward of the second load port 32 toward the front side of the case 30. The second robot 31 is constituted by disposing a suction / hand unit 34 at the tip of a robot arm 33 composed of a multi-joint link. The hand unit 34 holds the surface of the workpiece W by suction. As will be described in detail later, the grinding apparatus 3 takes out the workpiece W from the transfer means 4 with the second robot 31, and transfers the workpiece W to a predetermined position in the apparatus. Thereafter, the grinding apparatus 3 grinds the workpiece W to a predetermined thickness, and thereafter, transfers the workpiece W to the second load port 32 by the second robot 31.

전달 수단(4)은, 케이스(20)의 전측 부분과 케이스(30)의 전측 부분을 연결하는 케이스(40) 내에 배치된다. 각 케이스(20, 40, 30)는, 내부에서 연통(連通)되어 하나의 전달 공간(도시하지 않음)을 형성하도록 연결된다. 전달 수단(4)은, 보호 부재가 접착된 후의 피가공물(W)을 일시적으로 임시 배치해 두는 임시 배치 수단을 구성한다. 구체적으로 전달 수단(4)은, 피가공물(W)을 선반 형상으로 수용 가능하게 하는 임시 배치 카세트(6)와, 상기 임시 배치 카세트(6)를 배치하는 배치면(70)을 갖는 테이블(7)을 구비한다. The transmitting means 4 is disposed in a case 40 connecting the front side portion of the case 20 and the front side portion of the case 30. [ Each of the cases 20, 40, 30 is internally communicated and connected to form one transmission space (not shown). The transfer means 4 constitutes a provisional placement means for provisionally temporarily arranging the workpiece W after the protective member is adhered. Specifically, the transfer means 4 includes a temporary placement cassette 6 for allowing the workpiece W to be received in the form of a shelf, a table 7 having a placement surface 70 for placing the temporary placement cassette 6 ).

임시 배치 카세트(6)는, 좌우가 개방되고, 내부에 복수의 선반판(60)이 설치된 상자형으로 형성된다. 임시 배치 카세트(6)는, 복수의 피가공물(W)을 각 선반판(60)에 배치하여 Z방향으로 적층하도록 수용한다. 구체적으로 임시 배치 카세트(6)는, 피가공물(W)의 외부 직경보다 큰 상면에서 보아 정사각형 형상으로 형성되고, 피가공물(W)을 배치하는 단 형상으로 형성하는 복수의 선반판(60)의 양단을 한 쌍의 측벽(61)으로 연결하여 구성된다. 도 1에 있어서는, 복수의 선반판(60)이 Z방향으로 나란히 배치되어 있고, 테이블(7)의 배치면 방향에 있어서 X방향에 직교하는 Y방향의 선반판(60)의 양 측변이 한 쌍의 측벽(61)에 의해 연결되어 있다. The provisional placement cassette 6 is formed in a box shape having left and right openings and a plurality of shelf plates 60 provided therein. The temporary placement cassette 6 accommodates a plurality of workpieces W to be stacked on the respective shelf boards 60 and stacked in the Z direction. Specifically, the temporary placement cassette 6 is formed in a square shape as viewed from the upper surface larger than the outer diameter of the workpiece W, and has a plurality of shelf plates 60 formed in a step shape in which the workpiece W is arranged, And both ends are connected to each other by a pair of side walls 61. In Fig. 1, a plurality of shelf plates 60 are arranged side by side in the Z direction, and both sides of the shelf plate 60 in the Y direction perpendicular to the X direction in the arrangement surface direction of the table 7 are arranged in pairs As shown in Fig.

또한, 한 쌍의 측벽(61)의 하변(하단)이 바닥판(62)에 의해 연결되고, 한 쌍의 측벽(61)의 상변(상단)이 상부판(63)에 의해 연결되어 있다. 이들에 의해, 임시 배치 카세트(6)의 좌우 양 측면에는, 편평 형상의 슬릿이 복수 형성된다. 여기서, 보호 부재 접착 장치(2)측(우측)에서의 임시 배치 카세트(6)의 측면(-X면)에 형성되는 복수의 개구를 제1 개구(64)(도 2 참조)로 하고, 연삭 장치(3)측(좌측)에서의 임시 배치 카세트(6)의 측면(+X측면)에 형성되는 복수의 개구를 제2 개구(65)로 한다. The lower side (lower end) of the pair of side walls 61 is connected by a bottom plate 62 and the upper side (upper end) of the pair of side walls 61 is connected by an upper plate 63. Thereby, a plurality of flat slits are formed on the left and right sides of the temporary placement cassette 6. Here, a plurality of openings formed on the side surface (-X side) of the provisional placement cassette 6 on the protective member bonding apparatus 2 side (right side) are defined as the first openings 64 (see Fig. 2) A plurality of openings formed in the side surface (+ X side surface) of the temporary placement cassette 6 on the side (left side) of the apparatus 3 is referred to as a second opening 65. [

테이블(7)은, 임시 배치 카세트(6)보다 큰 상면에서 보아 정사각형 형상의 배치면(70)을 갖는다. 상기 배치면(70)에 임시 배치 카세트(6)가 배치된다. 또한, 테이블(7)은, 배치면(70)에 대해 수직 방향(Z방향)을 축 방향으로 하고, 배치면(70)의 중심을 축으로 테이블(7)을 소정 각도 회전시키는 회전 수단(71)을 구비한다. 회전 수단(71)은, 예컨대 전동 모터로 구성되고, 테이블(7)의 하방에 설치되어 있다. 회전 수단(71)은, 테이블(7)을 예컨대 ±90도 회전 가능하게 구성된다. 회전 방향에 대해서는 후술한다.The table 7 has a placement surface 70 having a square shape as viewed from the upper surface larger than the temporary placement cassette 6. [ A temporary placement cassette (6) is disposed on the placement surface (70). The table 7 includes a rotating means 71 for rotating the table 7 by a predetermined angle about the center of the placing surface 70 with the axial direction being perpendicular to the placing surface 70 ). The rotating means 71 is constituted by, for example, an electric motor and is provided below the table 7. The rotating means 71 is configured to be able to rotate the table 7, for example, by 90 degrees. The direction of rotation will be described later.

제어 수단(5)은, 각종 처리를 실행하는 프로세서나 메모리 등에 의해 구성된다. 메모리는, 용도에 따라 ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등의 하나 또는 복수의 기억 매체로 구성된다. 메모리에는, 예컨대, 장치 각부를 제어하는 제어 프로그램이 기억되어 있다. 제어 수단(5)은, 예컨대, 보호 부재 접착 장치(2), 연삭 장치(3), 및 전달 수단(4)의 구동을 상호 제어한다.The control means 5 is constituted by a processor, a memory or the like which executes various processes. The memory is composed of one or a plurality of storage media such as a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory) depending on the purpose. In the memory, for example, a control program for controlling each part of the apparatus is stored. The control means 5 controls the driving of the protective member adhering apparatus 2, the grinding apparatus 3, and the transmitting means 4, for example.

그런데, 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물을 전달하는 경우, 피가공물을 전달하는 전달 수단은 각 가공 장치의 상황을 확인할 필요가 있다. 예컨대, 전달 수단은, 한쪽 가공 장치의 반송 위치 및 다른쪽 가공 장치의 반송 위치를 인식해 두지 않으면, 각 가공 장치의 반송 수단 등에 충돌할 가능성이 있다. 이와 같이, 적절히 전달을 할 수 없는 것이 상정되기 때문에, 인라인 시스템에서는, 각 가공 장치 및 전달 수단의 상호의 동작을 통괄 제어하는 제어 장치의 구성이 복잡해질 수밖에 없다. However, when a workpiece is transferred between a plurality of processing apparatuses, the transfer means for transferring the workpiece needs to check the status of each processing apparatus. For example, unless the transfer position of the one processing apparatus and the transfer position of the other processing apparatus are recognized, there is a possibility that the transfer means may collide with the transfer means of each processing apparatus or the like. In this way, it is assumed that the transmission can not be properly performed. Therefore, in the inline system, the configuration of the control device for controlling the mutual operation of each of the machining devices and the transmitting means becomes complex.

또한, 가공 장치의 동작 상황에 따라서는, 케이스의 도어를 열어 장치 내의 메인터넌스를 실시하는 것이 상정된다. 예컨대, 보호 부재 접착 장치에 있어서는, 필름이나 수지의 보충, 필름을 절단하는 커터의 교환 등, 필요에 따라 메인터넌스가 작업자에 의해 실시된다. 이 경우, 가공 장치의 오작동을 방지하기 위해서, 각 가공 장치에는, 인터로크 기능이 마련되어 있다. 특히, 인터로크 기구는, 작업자의 안전을 확보할 수 있는 기능을 구비해 둘 필요가 있다. It is also assumed that, depending on the operation state of the machining apparatus, the door of the case is opened to perform maintenance in the apparatus. For example, in the protective member adhering apparatus, maintenance is performed by the operator as needed, such as replenishing a film or resin, exchanging a cutter for cutting a film, and the like. In this case, in order to prevent malfunction of the machining device, each machining device is provided with an interlock function. In particular, the interlock mechanism needs to have a function capable of ensuring the safety of the operator.

이상의 이유에 의해, 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물을 반송 가능한 인라인 시스템에서는, 소프트면, 및 하드면에 있어서 제어 구성이 복잡해질 가능성이 있다.For the reasons described above, there is a possibility that the control configuration on the soft surface and the hard surface becomes complicated in an inline system in which the workpiece can be transferred between the plurality of processing devices.

또한, 복수의 장치를 조합한 인라인 시스템에 있어서는, 각 장치의 1워크당의 처리 시간(가공 시간)이 상이한 경우가 상정된다. 예컨대, 본 실시형태에서는, 보호 부재 접착 장치(2)에 비해 연삭 장치(3) 쪽이 일반적으로 가공 시간이 길다. 종래의 인라인 시스템에서는, 복수의 장치 사이에서 피가공물을 전달하는 경우, 하나씩밖에 피가공물을 전달할 수 없기 때문에, 각 장치의 가공 시간의 차이에 기인하여, 소정의 장치에 대기 시간이 발생해 버린다고 하는 문제가 있다.In an inline system in which a plurality of apparatuses are combined, it is assumed that the processing time (processing time) per one work of the apparatus is different. For example, in the present embodiment, the grinding apparatus 3 generally has a longer processing time than the protective member bonding apparatus 2. In the conventional in-line system, when a workpiece is transferred between a plurality of apparatuses, the workpiece can not be transferred one by one, so that a waiting time occurs in a predetermined apparatus due to a difference in processing time of each apparatus there is a problem.

그래서, 본건 발명자는, 복잡한 제어 구성을 필요로 하지 않고 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물의 전달을 실현할 수 있는 인라인 시스템(1)을 착상하였다. 구체적으로 본 실시형태에서는, 2개의 가공 장치[보호 부재 접착 장치(2) 및 연삭 장치(3)] 사이에, 전달 수단(4)으로서 좌우가 개구된 임시 배치 카세트(6)를 배치하였다. 상기 임시 배치 카세트(6)에는, Z방향으로 나란히 복수의 선반판(60)이 설치되어 있어, 한쪽 가공 장치[보호 부재 접착 장치(2)]로 가공한 복수의 피가공물(W)을 임시 배치해 두는 것이 가능하다. 이 경우, 보호 부재 접착 장치(2)는, 임시 배치 카세트(6)의 우측으로부터 액세스가 가능하다. Thus, the present inventor has conceived an in-line system 1 capable of realizing the transfer of a workpiece among a plurality of processing apparatuses without requiring a complicated control arrangement. Specifically, in the present embodiment, provisional placement cassettes 6 having right and left openings as transmission means 4 are disposed between two processing devices (protective member bonding device 2 and grinding device 3). The temporary placement cassette 6 is provided with a plurality of shelf plates 60 arranged side by side in the Z direction so that a plurality of workpieces W processed by one of the processing apparatuses (protective member bonding apparatuses 2) It is possible to do it. In this case, the protective member adhering apparatus 2 is accessible from the right side of the temporary placement cassette 6.

다른쪽 가공 장치[연삭 장치(3)]는, 임시 배치 카세트(6)의 좌측으로부터 액세스하여, 미리 임시 배치된 피가공물(W)을 취출해서 소정의 가공을 실시한다. 이와 같이, 임시 배치 수단으로서의 임시 배치 카세트(6)에 복수의 피가공물(W)을 임시 배치 가능하게 함으로써, 각 가공 장치의 상황을 파악할 필요가 없다. 즉, 각 가공 장치의 반송 위치를 확인할 필요가 없어져, 복잡한 제어 구성이 불필요해진다. The other machining apparatus (grinding apparatus 3) accesses from the left side of the temporary placement cassette 6 to take out the temporarily disposed workpiece W and perform predetermined machining. In this way, it is not necessary to grasp the situation of each processing apparatus by allowing a plurality of workpieces W to be temporarily arranged in the temporary placement cassette 6 as the temporary placement means. In other words, there is no need to confirm the conveying position of each of the machining devices, and a complicated control configuration is not required.

특히, 임시 배치 카세트(6)에 복수의 피가공물(W)을 임시 배치할 수 있기 때문에, 보호 부재 접착 장치(2)와 연삭 장치(3)에서 각각 가공 시간이 상이한 경우라도, 한쪽 장치에서 대기 시간이 발생하지 않고 연속적으로 피가공물(W)을 보호 부재 접착 장치(2) 및 연삭 장치(3) 사이에서 가공하는 것이 가능하다. 또한, 보호 부재 접착 장치(2) 및 연삭 장치(3) 중 어느 한쪽에서 트러블이 발생한 경우라도, 임시 배치 카세트(6)에 피가공물(W)을 모아 둘 수 있다. 예컨대, 보호 부재 접착 장치(2)보다 연삭 장치(3) 쪽이 가공 시간이 짧은 경우에 있어서, 연삭 장치(3)가 고장나고 보호 부재 접착 장치(2)를 연속 가공시켜 두고 싶을 때, 임시 배치 카세트(6)에 피가공물(W)을 모아 두는 것이 가능하다. 이 경우, 종래에서는 한쪽 장치[연삭 장치(3)]가 정지하면 인라인 시스템 전체가 정지하고 있었으나, 본 실시형태에서는, 한쪽 장치가 정지하고 있어도 다른쪽 장치[보호 부재 접착 장치(2)]의 가공을 정지시킬 필요가 없다.Particularly, since the plurality of workpieces W can be temporarily arranged in the temporary placement cassette 6, even if the processing time is different in the protective member bonding apparatus 2 and the grinding apparatus 3, It is possible to continuously process the workpiece W between the protective member adhering apparatus 2 and the grinding apparatus 3 without time. It is also possible to collect the workpiece W in the temporary placement cassette 6 even if a trouble occurs in either the protective member bonding apparatus 2 or the grinding apparatus 3. [ For example, when the grinding apparatus 3 is broken and the protective member bonding apparatus 2 is desired to be continuously processed in the case where the grinding apparatus 3 side has a shorter processing time than the protective member bonding apparatus 2, It is possible to collect the workpiece W in the cassette 6. In this case, in the related art, the entire inline system is stopped when one of the devices (the grinding device 3) is stopped. However, in this embodiment, even if one of the devices is stopped, It is not necessary to stop the operation.

또한, 임시 배치 카세트(6)가 배치되는 테이블(7)을 Z축 주위로 회전 가능하게 함으로써, 임시 배치 카세트(6)의 개구[제1 또는 제2 개구(64, 65)]가 정면으로 향해진다. 이에 의해, 작업자는, 각 가공 장치에 액세스하지 않고, 전달 수단(4)의 정면으로부터 직접 피가공물(W)을 빼내는 것이 가능하다. 이 결과, 메인터넌스를 위한 인터로크를 불필요하게 할 수 있다. 즉, 작업자는 가공 장치 내에 들어갈 필요가 없기 때문에, 안전이 확보되고 있다.Further, by making the table 7 on which the temporary placement cassette 6 is arranged to be rotatable about the Z axis, the opening (the first or the second opening 64, 65) of the temporary placement cassette 6 is directed toward the front Loses. Thus, the worker can directly remove the workpiece W from the front surface of the transfer means 4 without accessing each of the processing devices. As a result, interlocking for maintenance can be dispensed with. In other words, since the operator does not need to enter the machining apparatus, safety is ensured.

다음으로, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 실시형태에 따른 인라인 시스템의 동작에 대해 설명한다. 도 2는 본 실시형태에 따른 인라인 시스템의 동작예를 도시한 모식도이다. 도 2의 A는 2개의 가공 장치 사이에서 피가공물을 전달하는 동작의 일례를 도시하고, 도 2의 B는 작업자가 전달 수단에 액세스할 때의 동작예를 도시하고 있다. 한편, 도 2에서는, 설명의 편의상, 도 1에서 도시된 구성의 일부를 생략하고 있다. 또한, 제1 로드 포트에는, 슬라이스 후의 피가공물을 수용한 워크 임시 배치 카세트가 배치되어 있는 것으로 한다. Next, the operation of the inline system according to the present embodiment will be described with reference to Figs. 1 and 2. Fig. 2 is a schematic diagram showing an operation example of an in-line system according to the present embodiment. Fig. 2A shows an example of an operation of transferring a workpiece between two processing apparatuses. Fig. 2B shows an example of an operation when an operator accesses the transfer means. On the other hand, in FIG. 2, for the sake of explanation, a part of the configuration shown in FIG. 1 is omitted. In the first load port, a work temporary placement cassette accommodating a workpiece after slicing is disposed.

먼저, 도 1 및 도 2의 A를 참조하여, 인라인 시스템의 통상의 동작, 즉, 제1 가공으로부터 피가공물의 전달, 제2 가공까지의 일련의 흐름에 대해 설명한다.First, with reference to Fig. 1 and Fig. 2A, a series of flows from the normal operation of the inline system, that is, from the first machining to the delivery of the workpiece, and the second machining will be described.

도 1 및 도 2의 A에 도시된 바와 같이, 먼저, 보호 부재 접착 장치(2)에서는, 제1 로봇(21)이 제1 로드 포트(22) 상의 워크 임시 배치 카세트로부터 피가공물(W)을 취출한다. 제1 로봇(21)은, 핸드부(24)로 피가공물(W)의 상면을 흡인 유지하여, 상기 피가공물(W)을 케이스(20) 내의 소정 개소에 반송한다. 피가공물(W)은, 제1 가공으로서 보호 부재가 접착된다. 가공 후의 피가공물(W)은, 다시 핸드부(24)에 의해 흡인 유지되고, 다음으로 임시 배치 카세트(6)에 반송된다.First, in the protective member bonding apparatus 2, the first robot 21 moves the workpiece W from the workpiece temporary placement cassette on the first load port 22 as shown in Figs. 1 and 2 Take out. The first robot 21 sucks and holds the upper surface of the workpiece W by the hand unit 24 and conveys the workpiece W to a predetermined position in the case 20. [ The protective member is bonded to the workpiece W as a first process. The processed workpiece W is suctioned and held by the hand unit 24 again, and then conveyed to the temporary placement cassette 6.

임시 배치 카세트(6)는, 제1 개구(64)가 -X측(우측)으로 향해지고, 제2 개구(65)가 +X측(좌측)으로 향해져 있다. 제1 로봇(21)은, 핸드부(24)를, 소정의 선반판(60)에 피가공물(W)을 배치 가능한 높이로 조정한다. 구체적으로 제1 로봇(21)은, 피가공물(W)과 소정의 제1 개구(64)의 높이가 일치하도록 핸드부(24)의 높이를 조정한다. 그리고, 제1 로봇(21)은, 제1 개구(64)를 통해 임시 배치 카세트(6) 내에 피가공물(W)을 삽입하여, 소정의 선반판(60) 상에 배치한다. In the provisional placement cassette 6, the first opening 64 is directed to the -X side (right side), and the second opening 65 is directed to the + X side (left side). The first robot 21 adjusts the hand portion 24 to a height at which the workpiece W can be placed on a predetermined shelf plate 60. [ Specifically, the first robot 21 adjusts the height of the hand portion 24 so that the height of the predetermined first opening 64 is equal to the height of the work W. The first robot 21 inserts the workpiece W into the temporary placement cassette 6 through the first opening 64 and places it on the predetermined shelf plate 60. [

한편, 제1 개구(64)로부터 피가공물(W)을 선반판(60)에 반입할 때, 제어 수단(5)은, 각 선반판(60)에 설치되는 센서(도시하지 않음)의 출력으로부터, 각 선반판(60) 상에 피가공물(W)이 배치되어 있는지의 여부를 판단하고, 제1 로봇(21)의 동작을 제어해도 좋다. 또한, 선반판(60)에 피가공물(W)을 배치하는 순서는 특별히 한정되지 않고, 최하단의 선반판(60)으로부터 피가공물(W)을 배치해도 좋고, 최상단의 선반판(60)으로부터 피가공물(W)을 배치해도 좋다. 또한, 제1 로봇(21)은, 그때마다, 선반판(60)의 빈 곳을 확인하고, 비어 있는 임의의 선반판(60)에 피가공물(W)을 배치해도 좋다. On the other hand, when the workpiece W is carried into the shelf plate 60 from the first opening 64, the control means 5 controls the flow of the workpiece W from the output of a sensor (not shown) provided on each shelf plate 60 , It may be determined whether or not the workpiece W is placed on each of the shelf boards 60 and the operation of the first robot 21 is controlled. The order of disposing the workpiece W on the shelf plate 60 is not particularly limited and the workpiece W may be arranged from the shelf plate 60 on the lowermost stage, The workpiece W may be arranged. The first robot 21 may check the empty space of the shelf plate 60 and place the workpiece W on any empty shelf plate 60 at that time.

연삭 장치(3)에서는, 임시 배치 카세트(6) 내에 수용된 피가공물(W)을 제2 로봇(31)이 반출한다. 제어 수단(5)은, 예컨대, 각 선반판(60)에 설치되는 센서(도시하지 않음)의 출력으로부터, 각 선반판(60) 상에 피가공물(W)이 배치되어 있는지의 여부를 판단하고, 제2 로봇(31)의 동작을 제어한다. In the grinding apparatus 3, the workpiece W housed in the temporary placement cassette 6 is carried out by the second robot 31. [ The control means 5 judges whether or not the workpiece W is placed on each shelf plate 60 from the output of a sensor (not shown) provided on each shelf plate 60 , And controls the operation of the second robot (31).

제2 로봇(31)은, 핸드부(34)를, 피가공물(W)이 배치되어 있는 소정의 선반판(60)으로부터 피가공물(W)을 취출 가능한 높이로 조정한다. 구체적으로 제2 로봇(31)은, 핸드부(34)의 선단이 소정의 제2 개구(65)와 일치하도록 핸드부(34)의 높이를 조정한다. 그리고, 제2 로봇(31)은, 제2 개구(65)에 핸드부(34)를 삽입하여, 소정의 선반판(60) 상에 배치된 피가공물(W)의 상면을 흡인 유지한다.The second robot 31 adjusts the hand portion 34 to a height at which the workpiece W can be taken out from the predetermined shelf plate 60 on which the workpiece W is disposed. Specifically, the second robot 31 adjusts the height of the hand portion 34 so that the tip of the hand portion 34 coincides with the predetermined second opening 65. The second robot 31 inserts the hand portion 34 into the second opening 65 to suck and hold the upper surface of the workpiece W disposed on the predetermined shelf plate 60.

다음으로 제2 로봇(31)은, 제2 개구(65)로부터 피가공물(W)을 취출하여(반출하여), 케이스(30) 내의 소정 개소에 반송한다. 그리고, 피가공물(W)은, 제2 가공으로서 보호 부재와는 반대측의 면이 연삭 가공되어, 기복이 제거된다. 가공 후의 피가공물(W)은, 다시 핸드부(34)에 의해 흡인 유지되어, 제2 로드 포트(32) 상의 워크 임시 배치 카세트에 반송된다. The second robot 31 takes out the workpiece W from the second opening 65 and carries the workpiece W to a predetermined position in the case 30. [ Then, the surface of the workpiece W opposite to the protective member is subjected to grinding processing as the second machining, and undulations are removed. The workpiece W after the processing is suctioned and held by the hand portion 34 again and is conveyed to the work temporary placement cassette on the second load port 32. [

이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 예컨대 보호 부재 접착 장치(2)로 가공한 후의 피가공물(W)은, 제1 개구(64)를 통해 임시 배치 카세트(6) 내에 임시 배치할 수 있다. 한편, 연삭 장치(3)는, 임시 배치 카세트(6) 내에 임시 배치된 피가공물(W)을 제1 개구(64)와는 반대측의 제2 개구(65)로부터 취출할 수 있다. 즉, 보호 부재 접착 장치(2)에서는, -X측의 제1 개구(64)로부터 피가공물(W)의 출납이 가능하고, 연삭 장치(3)에서는, +X측의 제2 개구(65)로부터 피가공물(W)의 출납이 가능하다. 이와 같이, 임시 배치 수단으로서의 임시 배치 카세트(6)를 통해 2개의 가공 장치[보호 부재 접착 장치(2) 및 연삭 장치(3)] 사이에서 피가공물(W)의 전달을 행함으로써, 각 가공 장치의 상황을 파악할 필요가 없다. 즉, 각 가공 장치의 반송 로봇[제1, 제2 로봇(21, 31)]의 반송 위치를 확인할 필요가 없어져, 복잡한 제어 구성이 불필요해진다. 이 결과, 간이한 구성으로 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물(W)의 전달을 실현할 수 있다. As described above, according to the present embodiment, for example, the workpiece W processed by the protective member bonding apparatus 2 can be temporarily placed in the temporary placement cassette 6 through the first opening 64. [ On the other hand, the grinding apparatus 3 can take out the workpiece W temporarily disposed in the temporary placement cassette 6 from the second opening 65 on the opposite side of the first opening 64. [ That is, in the protective member adhering apparatus 2, the workpiece W can be put in and out of the first opening 64 on the -X side, and the second opening 65 on the + X side in the grinding apparatus 3, It is possible to insert and receive the workpiece W from the workpiece W. As described above, by transferring the workpiece W between the two machining devices (the protective member adhering device 2 and the grinding device 3) through the provisional placement cassette 6 as the temporary placement means, There is no need to grasp the situation. In other words, there is no need to confirm the transport positions of the transport robots (first and second robots 21, 31) of the respective processing apparatuses, and a complicated control configuration is not required. As a result, it is possible to realize the transfer of the workpiece W between the plurality of processing apparatuses with a simple configuration.

다음으로, 도 1 및 도 2의 B를 참조하여, 작업자에 의한 장치에의 액세스가 필요해졌을 때의 인라인 시스템의 동작에 대해 설명한다.Next, referring to Figs. 1 and 2B, the operation of the inline system when access to the apparatus by the operator becomes necessary will be described.

도 1 및 도 2의 B에 도시된 바와 같이, 작업자가 임시 배치 카세트(6) 내의 피가공물(W)을 확인하고 싶은 경우나, 메인터넌스 시에는, 각 가공 장치[보호 부재 접착 장치(2) 및 연삭 장치(3)]의 동작이 정지되고, 회전 수단(71)에 의해 테이블(7)이 소정 각도 회전된다.As shown in Fig. 1 and Fig. 2B, when the operator wishes to confirm the workpiece W in the temporary placement cassette 6 or at the time of maintenance, the respective processing apparatuses (protective member bonding apparatus 2 and The grinding device 3) is stopped, and the table 7 is rotated by the rotation means 71 by a predetermined angle.

회전 수단(71)은, 예컨대, 테이블(7)을 +방향으로 90도 회전시켜, 제1 개구(64)를 +Y 방향측, 즉 장치 정면측에 위치시킨다. 여기서, 장치 상면에서 보아 반시계 방향을 Z축 주위의 +방향으로 한다. 또한, 회전 수단(71)은, 테이블(7)을 -방향으로 90도 회전시켜, 제2 개구(65)를 +Y 방향측에 위치시켜도 좋다. 이 경우, 장치 상면에서 보아 시계 방향이 Z축 주위의 -방향이 된다. The rotating means 71 rotates the table 7, for example, by 90 degrees in the + direction to position the first opening 64 on the + Y direction side, that is, on the apparatus front side. Here, the counterclockwise direction as viewed from the upper surface of the apparatus is defined as the + direction around the Z axis. The rotating means 71 may rotate the table 7 by 90 degrees in the minus direction and position the second opening 65 in the + Y direction. In this case, the clockwise direction as viewed from the top surface of the device becomes the negative direction around the Z axis.

도 2의 B에 도시된 바와 같이, 제1 개구(64) 또는 제2 개구(65)가 장치 정면측으로 향해짐으로써, 작업자는, 각 가공 장치에 액세스하지 않고, 임시 배치 카세트(6)에 수용되어 있는 피가공물(W)을 빼내는 것이 가능해진다. 이 결과, 메인터넌스를 위한 인터로크를 불필요하게 할 수 있어, 인라인 시스템(1)의 제어 구성을 간략화할 수 있다.2B, the first opening 64 or the second opening 65 is directed toward the front side of the apparatus, so that the operator can insert the temporary placement cassette 6 into the temporary placement cassette 6 without accessing the respective processing apparatuses The workpiece W can be taken out. As a result, the interlock for maintenance can be made unnecessary, and the control configuration of the inline system 1 can be simplified.

한편, 본 실시형태에서는, 피가공물(W)에 보호 부재를 접착하고, 피가공물(W)을 연삭함으로써 기복을 제거하는 인라인 시스템(1)을 예로 하여, 제1 가공 장치로서 보호 부재 접착 장치(2), 제2 가공 장치로서 연삭 장치(3)를 설치하는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 제1, 제2 가공 장치는, 어떠한 가공 장치를 적용해도 좋고, 예컨대, 절삭 장치, 연삭 장치, 연마 장치, 레이저 가공 장치, 플라즈마 에칭 장치, 에지 트리밍 장치, 익스팬드 장치, 브레이킹 장치, 그 외의 각종 가공 장치를 적용 가능하다. 또한, 가공 장치의 수는, 2개에 한하지 않고, 3개 이상의 가공 장치를 조합하여 인라인 시스템을 구성해도 좋다. 또한, 각 가공 장치의 배치 관계(위치 관계)도 적절히 변경이 가능하다. On the other hand, in the present embodiment, an inline system 1 for removing undulations by adhering a protective member to a workpiece W and grinding the workpiece W is used as an example of the first machining apparatus, 2) and the grinding apparatus 3 is provided as the second machining apparatus, the present invention is not limited to this configuration. The first and second machining apparatuses may be any machining apparatuses, for example, a cutting apparatus, a grinding apparatus, a polishing apparatus, a laser machining apparatus, a plasma etching apparatus, an edge trimming apparatus, an expanding apparatus, a braking apparatus, Processing apparatus can be applied. The number of processing apparatuses is not limited to two, and an inline system may be configured by combining three or more processing apparatuses. In addition, the arrangement relationship (positional relationship) of each of the processing apparatuses can be appropriately changed.

또한, 상기 실시형태에서는, 테이블(7) 위에 임시 배치 수단으로서 임시 배치 카세트(6)가 배치되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 테이블(7)과 임시 배치 카세트(6)는 일체적으로 구성되어도 좋다.In the above-described embodiment, the provisional placement cassette 6 is arranged as temporary placement means on the table 7, but the present invention is not limited to this configuration. The table 7 and the temporary placement cassette 6 may be integrally formed.

또한, 가공 대상인 피가공물(W)로서, 가공의 종류에 따라, 예컨대, 반도체 디바이스 웨이퍼, 광 디바이스 웨이퍼, 패키지 기판, 반도체 기판, 무기 재료 기판, 산화물 웨이퍼, 그린 세라믹스 기판, 압전 기판 등의 각종 워크가 이용되어도 좋다. 반도체 디바이스 웨이퍼로서는, 디바이스 형성 후의 실리콘 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼가 이용되어도 좋다. 광 디바이스 웨이퍼로서는, 디바이스 형성 후의 사파이어 웨이퍼나 실리콘 카바이드 웨이퍼가 이용되어도 좋다. 또한, 패키지 기판으로서는 CSP(Chip Size Package) 기판, 반도체 기판으로서는 실리콘이나 갈륨 비소 등, 무기 재료 기판으로서는 사파이어, 세라믹스, 유리 등이 이용되어도 좋다. 또한, 산화물 웨이퍼로서는, 디바이스 형성 후 또는 디바이스 형성 전의 리튬탄탈레이트, 리튬니오베이트가 이용되어도 좋다.As the workpiece W to be processed, various workpieces W such as semiconductor device wafers, optical device wafers, package substrates, semiconductor substrates, inorganic material substrates, oxide wafers, green ceramics substrates, May be used. As the semiconductor device wafer, a silicon wafer or a compound semiconductor wafer after device formation may be used. As the optical device wafer, a sapphire wafer or a silicon carbide wafer after device formation may be used. As the package substrate, a CSP (Chip Size Package) substrate, a semiconductor substrate such as silicon or gallium arsenide, and an inorganic substrate such as sapphire, ceramics, or glass may be used. As the oxide wafer, lithium tantalate and lithium niobate may be used after device formation or before device formation.

또한, 본 발명의 각 실시형태를 설명하였으나, 본 발명의 다른 실시형태로서, 상기 실시형태 및 변형예를 전체적 또는 부분적으로 조합한 것이어도 좋다.Further, although the embodiments of the present invention have been described, as another embodiment of the present invention, the above embodiments and modifications may be wholly or partly combined.

또한, 본 발명의 실시형태는 상기한 각 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경, 치환, 변형되어도 좋다. 나아가서는, 기술의 진보 또는 파생되는 다른 기술에 의해, 본 발명의 기술적 사상을 다른 방식으로 실현할 수 있으면, 그 방법을 이용하여 실시되어도 좋다. 따라서, 특허청구의 범위는, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 포함될 수 있는 모든 실시양태를 커버하고 있다.The embodiments of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various changes, substitutions and modifications may be made within the scope of the technical idea of the present invention. Further, if the technical idea of the present invention can be realized in other ways by the progress of the technique or other technique derived, the method may be used. Accordingly, the appended claims cover all embodiments that may fall within the scope of the present invention.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 복잡한 제어 구성 및 인터로크 기구를 필요로 하지 않고 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물의 전달을 실현할 수 있다고 하는 효과를 가지며, 특히, 복수의 가공 장치 사이에서 피가공물을 반송하는 인라인 시스템에 유용하다. INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention has an effect that it is possible to realize transfer of a workpiece between a plurality of processing devices without requiring a complicated control configuration and an interlock mechanism, and in particular, It is useful for inline systems that return.

1: 인라인 시스템 2: 보호 부재 접착 장치(제1 가공 장치)
21: 제1 로봇 3: 연삭 장치(제2 가공 장치)
31: 제2 로봇 4: 전달 수단
6: 임시 배치 카세트 60: 선반판(선반)
61: 측벽 62: 바닥판
63: 상부판 64: 제1 개구
65: 제2 개구 7: 테이블
70: 배치면 71: 회전 수단
W: 피가공물1: inline system 2: protective member bonding apparatus (first processing apparatus)
21: first robot 3: grinding device (second processing device)
31: second robot 4:
6: temporary arrangement cassette 60: shelf plate (shelf)
61: side wall 62: bottom plate
63: top plate 64: first opening
65: second opening 7: table
70: placement surface 71: rotation means
W: Workpiece

Claims (2)

판형의 피가공물을 가공하는 제1 가공 장치와,
피가공물을 가공하는 제2 가공 장치와,
X방향으로 나란히 설치된 상기 제1 가공 장치와 상기 제2 가공 장치 사이에 배치되어 상기 제1 가공 장치로부터 상기 제2 가공 장치에 피가공물을 전달하는 전달 수단을 포함한 인라인 시스템으로서,
상기 제1 가공 장치는, 상기 전달 수단을 기준으로 -X 방향측에 배치되고, 피가공물을 반송하는 제1 로봇을 포함하고,
상기 제2 가공 장치는, 상기 전달 수단을 기준으로 +X 방향측에 배치되고, 피가공물을 반송하는 제2 로봇을 포함하며,
상기 전달 수단은,
피가공물을 선반 형상으로 수용 가능하게 하는 임시 배치 카세트와,
상기 임시 배치 카세트를 배치하는 배치면을 갖는 테이블을 포함하고,
상기 임시 배치 카세트는,
피가공물을 배치하는 단(段) 형상으로 형성되는 복수의 선반과,
상기 테이블의 상기 배치면 방향에서 상기 X방향에 직교하는 Y방향의 상기 선반의 양 측변을 연결하는 측벽과,
상기 측벽의 상변을 연결하는 상부판과,
상기 측벽의 하변을 연결하는 바닥판과,
상기 X방향에서 -X측면에 형성되는 제1 개구와,
+X측면에 형성되는 제2 개구를 포함하고,
상기 제1 로봇이 상기 제1 개구로부터 피가공물을 상기 선반 상에 반입시키고, 상기 제2 로봇이 상기 제2 개구로부터 상기 선반 상의 피가공물을 반출시키며, 상기 임시 배치 카세트를 통해 상기 제1 가공 장치로부터 제2 가공 장치에 피가공물을 반송하는 것인 인라인 시스템. A first machining device for machining a plate-shaped workpiece,
A second processing device for processing the workpiece,
An inline system which is disposed between the first machining apparatus and the second machining apparatus provided in parallel in the X direction and which transmits a workpiece from the first machining apparatus to the second machining apparatus,
The first processing apparatus includes a first robot disposed on the -X direction side with respect to the transmitting means and carrying a workpiece,
The second processing apparatus includes a second robot arranged on the + X direction side with respect to the transfer means and carrying a workpiece,
Wherein the transmitting means comprises:
A temporary placement cassette for accommodating the workpiece in a rack shape,
And a table having a placement surface for placing said temporary placement cassette,
Wherein the temporary placement cassette comprises:
A plurality of shelves formed in a step shape in which the workpiece is arranged,
Side walls connecting both sides of the shelf in the Y direction orthogonal to the X direction in the arrangement plane direction of the table,
An upper plate connecting the upper side of the side wall,
A bottom plate connecting the lower side of the side wall,
A first opening formed on the -X side in the X direction,
A second opening formed in the + X side,
Said first robot carrying a workpiece onto said shelf from said first opening and said second robot carrying a workpiece on said shelf from said second opening, To the second processing apparatus. 제1항에 있어서, 상기 테이블은, 상기 임시 배치 카세트를 배치하는 상기 배치면에 대해 수직 방향을 축 방향으로 하고 상기 배치면의 중심을 축으로 상기 테이블을 ±90도 회전 가능하게 하는 회전 수단을 포함하고,
상기 회전 수단으로 테이블을 +방향으로 90도 회전시켜 상기 제1 개구를 +Y 방향측에 위치시키거나, 상기 회전 수단으로 상기 테이블을 -방향으로 90도 회전시켜 상기 제2 개구를 상기 +Y 방향측에 위치시키거나 하여, 상기 +Y 방향측으로부터 상기 임시 배치 카세트에 수용되어 있는 피가공물의 빼냄을 가능하게 한 것인 인라인 시스템.2. The apparatus according to claim 1, wherein the table includes a rotating means for rotating the table by +/- 90 degrees about the center of the placing surface in the axial direction with respect to the placing surface on which the temporary placement cassette is disposed Including,
The table is rotated by 90 degrees in the + direction and the first opening is positioned in the + Y direction by the rotating means, or the table is rotated by 90 degrees in the - direction by the rotating means to move the second opening in the + Y direction And the workpiece accommodated in the temporary placement cassette can be pulled out from the + Y direction side.
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