JP2022134664A

JP2022134664A - cassette

Info

Publication number: JP2022134664A
Application number: JP2021033953A
Authority: JP
Inventors: 真小林; Makoto Kobayashi; 壮志池田; Soji Ikeda
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-03-03
Filing date: 2021-03-03
Publication date: 2022-09-15

Abstract

To provide a cassette capable of reducing weight when conveying a small amount of workpieces.SOLUTION: A cassette 1 housing workpieces 200 includes a cassette main body 2 that houses one workpiece 200 inside, the cassette main body 2 is formed with a locked portion 40 to which a locking portion 42 of another cassette main body 2 stacked below the cassette main body 2 is locked, and is formed with the locking portion 42 locked by the locked portion 40 of the other cassette main body 2 stacked on the cassette main body 2 to stack the plurality of cassette main bodies 2 on each other. The cassette main body 2 includes a pair of side walls 10, a pair of support pieces 20 for supporting the workpiece 200 to be housed inside the pair of side walls 10, and a connecting portion 30 connecting the side walls 10.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ワークを収容するカセットに関する。 The present invention relates to a cassette that accommodates workpieces.

表面に表面保護テープが貼着されたウェーハや、ウェーハ単体、裏面にテープが貼着されてフレームで支持されたウェーハユニット等のワークは、カセット（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）に収容されて運ばれ、切削装置や研削装置等の各種加工装置に供給される。 A workpiece such as a wafer with a surface protection tape attached to its surface, a single wafer, or a wafer unit with a tape attached to its back surface and supported by a frame is stored in a cassette (see, for example, Patent Documents 1 and 2). It is stored and transported and supplied to various processing devices such as cutting devices and grinding devices.

カセットは、例えば、特許文献１に開示されるように１ロット（２５枚程度）のワークを収容自在に構成される。一方で一つのワークのみを抜き取り検査へと搬送する、装置の搬送確認のために少量のワークを加工装置に供給する等、１ロット分のワークがカセットに収容されず、少量のワークのみをカセットに収容して搬送する場合も多い。 The cassette is configured to accommodate, for example, one lot (about 25 sheets) of workpieces as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-200010. On the other hand, only a small number of workpieces are not stored in a cassette, such as when only one workpiece is sent for sampling inspection, or when a small number of workpieces are supplied to a processing device to confirm the transfer of the equipment. In many cases, it is housed in a container and transported.

特開２０１５－５０４０１号公報JP 2015-50401 A 特開２００３－１３３４０７号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-133407

しかしながら、カセットは、収容されるワークよりも大きな収容空間を有し、特に大口径のウェーハを収容するカセットは、大きく、重い。高重量のカセットを作業者が搬送するのは容易ではなく、少量のワークのみ搬送が必要な場合においても高重量のカセットを作業者が搬送し搬送中に衝撃が加わるとワークを破損しかねないという問題がある。 However, the cassette has a storage space larger than the workpieces to be stored, and especially the cassette that stores large-diameter wafers is large and heavy. It is not easy for a worker to transport a heavy cassette, and even if only a small number of workpieces need to be transported, if the worker transports a heavy cassette and receives an impact during transport, the workpiece may be damaged. There is a problem.

本発明の目的は、特に、少量のワークを搬送する際の軽量化を図ることができるカセットを提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cassette capable of reducing the weight of the cassette, particularly when conveying a small amount of workpieces.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のカセットは、ワークを収容するカセットであって、内部に１つのワークを収容するカセット本体を備え、該カセット本体には、該カセット本体の下に積層される他のカセット本体の係止部が係止される被係止部が形成されるとともに、該カセット本体の上に積層される他のカセット本体の被係止部に係止される係止部が形成されることで複数のカセット本体を互いに積層自在とし、該カセット本体は、一対の側壁と、一対の側壁の内側で、収容するワークを支持する一対の支持片と、一対の側壁を連結する連結部と、を有することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a cassette for accommodating workpieces, comprising a cassette body for accommodating one workpiece inside, the cassette body having a An engaging portion is formed to engage an engaging portion of another cassette body stacked under the main body, and engages with the engaged portion of another cassette body stacked on top of the cassette body. A plurality of cassette bodies can be stacked on each other by forming locking portions, and the cassette bodies have a pair of side walls and a pair of support pieces for supporting a work to be accommodated inside the pair of side walls. , and a connecting portion that connects the pair of side walls.

前記カセットにおいて、該カセット本体の上端には、該カセット本体の上に積層される他のカセット本体を位置決めする位置決め凸部が形成されるとともに、該カセット本体の下端には、該カセット本体の下に積層される他のカセット本体の位置決め凸部が係止される位置決め凹部が形成されても良い。 In the cassette, the upper end of the cassette main body is formed with a positioning protrusion for positioning another cassette main body stacked on the cassette main body, and the lower end of the cassette main body is formed with a lower end of the cassette main body. A positioning concave portion may be formed in which the positioning convex portion of another cassette body to be stacked on the cassette body is engaged.

本発明は、特に、少量のワークを搬送する際の軽量化を図ることができるという効果を奏する。 The present invention has an effect that it is possible to reduce the weight when conveying a small amount of work, in particular.

図１は、実施形態１に係るカセットのカセット本体の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cassette body of a cassette according to Embodiment 1. FIG. 図２は、図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿うカセット本体の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the cassette body taken along line II-II in FIG. 図３は、図１中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿うカセット本体の断面図である。3 is a cross-sectional view of the cassette body taken along line III-III in FIG. 1. FIG. 図４は、図２中のＩＶ部を拡大して示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an enlarged part IV in FIG. 図５は、図１に示されたカセット本体が積層された状態の一例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a state in which the cassette bodies shown in FIG. 1 are stacked. 図６は、図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿うカセット本体の断面図である。6 is a cross-sectional view of the cassette body taken along line VI-VI in FIG. 5. FIG. 図７は、実施形態１の変形例に係るカセットのカセット本体の断面図である。7 is a cross-sectional view of a cassette body of a cassette according to a modification of Embodiment 1. FIG. 図８は、実施形態２に係るカセットの構成を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of a cassette according to Embodiment 2. FIG.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るカセットを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るカセットのカセット本体の構成例を示す斜視図である。図２は、図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿うカセット本体の断面図である。図３は、図１中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿うカセット本体の断面図である。図４は、図２中のＩＶ部を拡大して示す断面図である。図５は、図１に示されたカセット本体が積層された状態の一例を示す斜視図である。図６は、図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿うカセット本体の断面図である。 [Embodiment 1]
A cassette according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cassette body of a cassette according to Embodiment 1. FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of the cassette body taken along line II-II in FIG. 3 is a cross-sectional view of the cassette body taken along line III-III in FIG. 1. FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing an enlarged part IV in FIG. FIG. 5 is a perspective view showing an example of a state in which the cassette bodies shown in FIG. 1 are stacked. 6 is a cross-sectional view of the cassette body taken along line VI-VI in FIG. 5. FIG.

実施形態１に係るカセット１は、ワーク２００を収容するものである。実施形態１において、ワーク２００は、図１に示すように、ウェーハ２０１と、粘着テープ２０２と、環状フレーム２０３とを備えるフレームユニットである。 A cassette 1 according to the first embodiment accommodates workpieces 200 . In Embodiment 1, the workpiece 200 is a frame unit comprising a wafer 201, an adhesive tape 202, and an annular frame 203, as shown in FIG.

ウェーハ２０１は、シリコン（Ｓｉ）、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を基板とする円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハである。 The wafer 201 is a disk-shaped semiconductor wafer, an optical device wafer, or the like having a substrate made of silicon (Si), sapphire (Al ₂ O ₃ ), gallium arsenide (GaAs), silicon carbide (SiC), or the like.

ウェーハ２０１は、図１に示すように、交差する複数の分割予定ライン２０４で区画された表面２０５の各領域それぞれにデバイス２０６が形成されている。デバイス２０６は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、あるいやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、またはＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等である。また、本発明では、ワーク２００は、ウェーハ２０１に限らず、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等を備えても良い。 As shown in FIG. 1, the wafer 201 has a device 206 formed in each region of a surface 205 partitioned by a plurality of intersecting dividing lines 204 . The device 206 is, for example, an integrated circuit such as an IC (Integrated Circuit) or LSI (Large Scale Integration), a CCD (Charge Coupled Device), an image sensor such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor), or a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), etc. In the present invention, the workpiece 200 is not limited to the wafer 201, and may be a rectangular resin package substrate having a plurality of resin-sealed devices, a ceramic plate, a glass plate, or the like.

実施形態１において、ウェーハ２０１は、ウェーハ２０１の外径よりも大径の粘着テープ２０２が表面２０５の裏側の裏面２０７に貼着され、粘着テープ２０２の外縁部が、内径がウェーハ２０１の外径よりも大径な環状フレーム２０３に貼着されて、環状フレーム２０３の内側の開口内に粘着テープ２０２により支持されて、ウェーハユニットを構成する。ウェーハ２０１は、分割予定ライン２０４に沿って個々のデバイス２０６に分割される。 In Embodiment 1, the wafer 201 has an adhesive tape 202 having a larger diameter than the outer diameter of the wafer 201 and is attached to the back surface 207 of the front surface 205 . A wafer unit is configured by being attached to an annular frame 203 having a larger diameter than the wafer unit and supported by an adhesive tape 202 in an inner opening of the annular frame 203 . Wafer 201 is divided into individual devices 206 along dividing lines 204 .

カセット１は、収容したワーク２００を各種加工装置に供給するとともに、収容したワーク２００を複数の加工装置間で搬送するためのものである。加工装置は、例えば、ウェーハ２０１をチャックテーブルで保持し分割予定ライン２０４に沿って切削ブレードで切削加工する切削装置、ウェーハ２０１に対して透過性又は吸収性を有する波長のレーザービームを照射するレーザー加工装置、ウェーハ２０１を研削加工する研削装置、ウェーハ２０１を研磨加工する研磨装置、ウェーハ２０１をバイト切削加工するバイト切削装置、ウェーハ２０１にプラズマエッチング等を施すプラズマ装置、ウェーハ２０１に粘着テープ２０２を貼着するテープ貼着装置、又はウェーハ２０１を透明体で保持しウェーハ２０１の表面２０５及び裏面２０７を検査する検査装置等である。 The cassette 1 is for supplying the accommodated workpieces 200 to various processing apparatuses and for transporting the accommodated workpieces 200 between a plurality of processing apparatuses. The processing device includes, for example, a cutting device that holds the wafer 201 on a chuck table and cuts the wafer 201 along the dividing line 204 with a cutting blade; A processing apparatus, a grinding apparatus for grinding the wafer 201, a polishing apparatus for polishing the wafer 201, a tool cutting apparatus for cutting the wafer 201 with a tool, a plasma apparatus for performing plasma etching or the like on the wafer 201, and an adhesive tape 202 on the wafer 201. It is a tape sticking device for sticking, or an inspection device for holding the wafer 201 with a transparent body and inspecting the front surface 205 and the back surface 207 of the wafer 201, or the like.

カセット１は、図１に示すように、内部に１つのワーク２００を収容するカセット本体２を備える。カセット本体２は、樹脂により構成され、一対の側壁１０と、一対の支持片２０と、連結部３０とを一体に備える。 As shown in FIG. 1, the cassette 1 has a cassette body 2 that accommodates one workpiece 200 therein. The cassette main body 2 is made of resin and integrally includes a pair of side walls 10, a pair of support pieces 20, and a connecting portion 30. As shown in FIG.

側壁１０は、それぞれ、直線状に伸びた棒状に形成され、互いに間隔をあけて平行に配置されている。連結部３０は、一対の側壁１０の一端同士を連結している。カセット本体２は、一対の側壁１０と、連結部３０とを備えて、実施形態１では、平面形状がコ字状に形成されている。 The side walls 10 are each formed in the shape of a bar extending linearly, and are arranged parallel to each other with a space therebetween. The connecting portion 30 connects the ends of the pair of side walls 10 to each other. The cassette main body 2 includes a pair of side walls 10 and a connecting portion 30, and in the first embodiment, has a U-shaped planar shape.

一対の支持片２０は、一対の側壁１０の内側で収容するワーク２００を支持するものである。実施形態１では、支持片２０は、図２に示すように、各側壁１０に対応して一対（即ち、合計４つ）設けられている。即ち、一方の側壁１０には、一対の支持片２０が対応して設けられ、他方の側壁１０には、一対の支持片２０が対応して設けられている。 The pair of support pieces 20 supports the work 200 accommodated inside the pair of side walls 10 . In the first embodiment, as shown in FIG. 2, a pair of support pieces 20 (that is, four in total) are provided corresponding to each side wall 10 . That is, one side wall 10 is provided with a pair of supporting pieces 20 correspondingly, and the other side wall 10 is provided with a pair of supporting pieces 20 correspondingly.

実施形態１において、一対の支持片２０は、対応する側壁１０の幅方向の両縁から一対の側壁１０同士が近づく方向に延在し、対応する側壁１０の両縁の全長に亘って設けられている。実施形態１において、支持片２０は、互いの間にワーク２００の環状フレーム２０３を位置付けることで、一対の側壁１０の内側で、収容するワーク２００を支持する。このように、カセット本体２は、一対の側壁１０間でかつ各側壁１０に設けられた一対の支持片２０間にワーク２００の環状フレーム２０３を位置付けることで、内部に１つのワーク２００を収容するものである。 In the first embodiment, the pair of support pieces 20 extends from both edges in the width direction of the corresponding side walls 10 in a direction in which the pair of side walls 10 approach each other, and is provided over the entire length of both edges of the corresponding side walls 10 . ing. In the first embodiment, the support pieces 20 support the accommodated work 200 inside the pair of side walls 10 by positioning the annular frame 203 of the work 200 between them. Thus, the cassette body 2 accommodates one work 200 inside by positioning the annular frame 203 of the work 200 between the pair of side walls 10 and between the pair of support pieces 20 provided on each side wall 10. It is a thing.

また、カセット本体２は、連結部３０が、図３に示すように、飛び出し防止壁である側壁連結部３１と、側壁連結部３１の幅方向の両縁に連なりかつ一対の側壁１０の支持片２０同士を連結した支持片連結部３２とを備える。支持片連結部３２は、支持片２０同様に、互いの間にワーク２００の環状フレーム２０３を位置付けることで、一対の側壁１０の内側で、収容するワーク２００を支持する。側壁連結部３１は、支持片２０に支持されたワーク２００の環状フレーム２０３に干渉（接触）して、環状フレーム２０３即ちワーク２００が連結部３０が連結した一端側から一対の側壁１０外に飛び出すのを防止（規制）する。 As shown in FIG. 3, the connecting portion 30 of the cassette body 2 is connected to a side wall connecting portion 31 which is a jump-out preventing wall, and is connected to both edges of the side wall connecting portion 31 in the width direction and supports the pair of side walls 10 . A support piece connecting portion 32 connecting the two members 20 together is provided. Similar to the support piece 20 , the support piece connecting portion 32 supports the accommodated work 200 inside the pair of side walls 10 by positioning the annular frame 203 of the work 200 between them. The side wall connecting portion 31 interferes (contacts) with the annular frame 203 of the workpiece 200 supported by the support piece 20, and the annular frame 203, that is, the workpiece 200 jumps out of the pair of side walls 10 from one end side where the connecting portion 30 is connected. to prevent (regulate)

また、カセット本体２には、図１、図２及び図４に示すように、被係止部４０が形成されているとともに、係止部４２が形成されている。被係止部４０は、カセット本体２の下に積層される他のカセット本体２の係止部４２が係止されるものである。係止部４２は、カセット本体２の下に積層される他のカセット本体２とは別の上に積層される他のカセット本体２の被係止部４０に係止されるものである。 As shown in FIGS. 1, 2 and 4, the cassette main body 2 is formed with a locked portion 40 and a locking portion 42 . The locked portion 40 is for locking the locking portion 42 of another cassette body 2 stacked under the cassette body 2 . The locking portion 42 is locked to the locked portion 40 of another cassette body 2 stacked above the cassette body 2 which is stacked under the cassette body 2 .

実施形態１において、被係止部４０及び係止部４２は、各側壁１０の外周面に一体に形成されている。また、一方の側壁１０に形成された被係止部４０及び係止部４２は、この一方の側壁１０の長手方向の一端部に配置され、他方の側壁１０に形成された被係止部４０及び係止部４２は、この他方の側壁１０の長手方向の他端部に配置されている。 In Embodiment 1, the locked portion 40 and the locking portion 42 are integrally formed on the outer peripheral surface of each side wall 10 . The locked portion 40 and the locked portion 42 formed on one side wall 10 are arranged at one longitudinal end portion of the one side wall 10 , and the locked portion 40 formed on the other side wall 10 And the locking portion 42 is arranged at the other longitudinal end portion of the other side wall 10 .

実施形態１において、被係止部４０は、図４に示すように、側壁１０の外側面１１から凹に形成され、前述した他のカセット本体２側に設けられかつ支持片２０と平行な被係止面４１を備えている。実施形態１において、係止部４２は、側壁１０の外側面１１に一端が連なりかつ前述した別の他のカセット本体２に向かって延在した延在部４３と、延在部４３の先端部に設けられかつ被係止部４０内に侵入して、被係止部４０に係止される係止突起４４とを一体に備えている。係止突起４４は、延在部４３の先端部から一対の側壁１０同士が近づく方向に突出している。 In the first embodiment, as shown in FIG. 4, the locked portion 40 is formed concavely from the outer side surface 11 of the side wall 10, and is provided on the side of the other cassette body 2 and parallel to the support piece 20. A locking surface 41 is provided. In the first embodiment, the locking portion 42 includes an extension portion 43 whose one end continues to the outer side surface 11 of the side wall 10 and extends toward the other cassette body 2 described above, and the tip portion of the extension portion 43. , and is integrally provided with a locking projection 44 which enters into the locked portion 40 and is locked to the locked portion 40 . The locking projection 44 protrudes from the distal end of the extending portion 43 in a direction in which the pair of side walls 10 approach each other.

被係止部４０と係止部４２とは、図５及び図６に示すように、カセット本体２同士が積層され、係止部４２の係止突起４４が被係止部４０内に侵入して、被係止面４１に係止突起４４が重なることで、被係止部４０に係止部４２が係止され、複数のカセット本体２を互いに積層した状態で固定する。このように、被係止部４０と係止部４２とは、被係止部４０に係止部４２が係止されることで、複数のカセット本体２を互いに積層自在とする。 As shown in FIGS. 5 and 6, the locked portion 40 and the locked portion 42 are formed by stacking the cassette bodies 2 together so that the locking projections 44 of the locked portion 42 enter the locked portion 40 . As a result, the locking projection 44 overlaps the locked surface 41 so that the locking portion 42 is locked to the locked portion 40, thereby fixing the plurality of cassette bodies 2 in a stacked state. In this manner, the locked portion 40 and the locking portion 42 allow the plurality of cassette bodies 2 to be stacked on each other by locking the locking portion 42 to the locked portion 40 .

また、実施形態１において、カセット本体２には、位置決め凸部５０と、位置決め凹部５１とが形成されている。実施形態１において、カセット本体２の上端には、カセット本体２の上に積層される他のカセット本体２を位置決めする位置決め凸部５０が形成されている。カセット本体２の下端には、カセット本体２の下に積層される別の他のカセット本体２の位置決め凸部５０が係止される位置決め凹部５１が形成されている。 Further, in the first embodiment, the cassette main body 2 is formed with the positioning convex portion 50 and the positioning concave portion 51 . In the first embodiment, the upper end of the cassette main body 2 is formed with a positioning protrusion 50 for positioning another cassette main body 2 stacked on the cassette main body 2 . A positioning recess 51 is formed at the lower end of the cassette body 2 to engage the positioning protrusion 50 of another cassette body 2 stacked under the cassette body 2 .

実施形態１において、位置決め凸部５０と位置決め凹部５１とは、カセット本体２が積層されると互いに重なる位置に配置されている。実施形態１において、位置決め凸部５０は、各側壁１０に対応した一対の支持片２０のうちの一方の支持片２０の外表面から凸に形成され、位置決め凹部５１は、各側壁１０に対応した一対の支持片２０のうちの他方の支持片２０の外表面から凹に形成されている。実施形態１において、位置決め凸部５０と位置決め凹部５１とは、図５及び図６に示すように、カセット本体２同士が積層されると、位置決め凸部５０が位置決め凹部５１内に侵入して、積層された複数のカセット本体２同士を位置決めする。 In Embodiment 1, the positioning protrusions 50 and the positioning recesses 51 are arranged at positions that overlap each other when the cassette bodies 2 are stacked. In Embodiment 1, the positioning protrusion 50 is formed to protrude from the outer surface of one of the pair of support pieces 20 corresponding to each side wall 10 , and the positioning recess 51 is formed corresponding to each side wall 10 . The outer surface of the other support piece 20 of the pair of support pieces 20 is recessed. In the first embodiment, the positioning projections 50 and the positioning recesses 51 are arranged such that when the cassette bodies 2 are stacked, the positioning projections 50 enter the positioning recesses 51 and A plurality of stacked cassette bodies 2 are positioned.

また、実施形態１において、カセット本体２は、側壁１０の外表面から突出して、加工装置のオペレータなどが把持することが可能な取っ手６０を一体に備えている。 Further, in Embodiment 1, the cassette body 2 is integrally provided with a handle 60 that protrudes from the outer surface of the side wall 10 and can be gripped by an operator of the processing apparatus or the like.

前述した構成のカセット１は、加工装置に供給されるワーク２００の数又は加工装置間で搬送されるワーク２００の数と、同数のカセット本体２が用意され、各カセット本体２にワーク２００が１つ収容されるとともに、カセット本体２が積層されて固定される。このために、カセット１は、収容するワーク２００の数と同数のカセット本体２により構成される。 In the cassette 1 having the above-described configuration, the same number of cassette bodies 2 as the number of works 200 supplied to a processing apparatus or the number of works 200 conveyed between processing apparatuses are prepared, and one work 200 is provided in each cassette body 2. The cassette body 2 is stacked and fixed. For this reason, the cassette 1 is composed of the same number of cassette bodies 2 as the number of workpieces 200 to be accommodated.

以上説明した実施形態１に係るカセット１は、１つのワーク２００を収容するカセット本体２を備え、カセット本体２には、下に積層される他のカセット本体２の係止部４２が係止される被係止部４０が形成されているとともに、上に積層される別の他のカセット本体２の被係止部４０に係止される係止部４２が形成されている。このために、カセット１は、カセット本体２を積層して固定することができるために、収容するワーク２００の数と同数のカセット本体２により構成されることができる。 The cassette 1 according to the first embodiment described above has a cassette main body 2 that accommodates one work 200, and the cassette main body 2 is engaged with the engaging portion 42 of another cassette main body 2 stacked below. A locking portion 42 is formed to be locked to the locked portion 40 of another cassette body 2 stacked thereon. For this reason, since the cassette bodies 2 can be stacked and fixed, the cassette 1 can be configured with the same number of cassette bodies 2 as the number of works 200 to be accommodated.

その結果、カセット１は、収容するワーク２００の数と同数のカセット本体２により構成されることができるので、特に少量のワーク２００を収容する際に、カセット本体２の数を削減でき、カセット１全体の重量を抑制することができる。 As a result, the cassette 1 can be composed of the same number of cassette main bodies 2 as the number of works 200 to be accommodated. Overall weight can be suppressed.

また、カセット１は、特に少量のワーク２００を収容する際に、カセット本体２の数を削減でき、カセット１全体の重量を抑制することができるので、高重量のカセット１をオペレータが搬送することを抑制できて、搬送中にカセット１に収容したワーク２００が破損することを抑制できる。 In addition, the cassette 1 can reduce the number of the cassette bodies 2 and reduce the weight of the entire cassette 1, especially when accommodating a small amount of workpieces 200, so that the operator can easily carry the heavy cassette 1. can be suppressed, and the workpieces 200 accommodated in the cassette 1 can be suppressed from being damaged during transportation.

その結果、実施形態１に係るカセット１は、特に、少量のワーク２００を搬送する際の軽量化を図ることができるという効果を奏する。 As a result, the cassette 1 according to the first embodiment has the effect of being able to reduce the weight when conveying a small amount of works 200 in particular.

また、実施形態１に係るカセット１は、カセット本体２に位置決め凸部５０と位置決め凹部５１とが形成されているので、積層したカセット本体２同士の位置ずれを抑制することができる。 Further, in the cassette 1 according to the first embodiment, the positioning protrusions 50 and the positioning recesses 51 are formed in the cassette main body 2, so positional deviation between the stacked cassette main bodies 2 can be suppressed.

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係るカセットを図面に基づいて説明する。図７は、実施形態１の変形例に係るカセットのカセット本体の断面図である。なお、図７において、実施形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。 [Modification]
A cassette according to a modification of Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. 7 is a cross-sectional view of a cassette body of a cassette according to a modification of Embodiment 1. FIG. In addition, in FIG. 7, the same reference numerals are given to the same parts as in the first embodiment, and the description thereof is omitted.

変形例に係るカセット１は、カセット本体２が、各側壁１０に対応して支持片２０を３つ設けて、即ち、支持片２０を合計６つ備えている。変形例のカセット本体２は、カセット本体２が中央の支持片２０と位置決め凸部５０を設けた一方の支持片２０との間に平板状の天板７０を位置付け、中央の支持片２０と位置決め凹部５１を設けた他方の支持片２０との間にワーク２００の環状フレーム２０３を位置付けて、ワーク２００を収容する。天板７０は、ワーク２００のウェーハ２０１の表面２０５側へのコンタミ等の付着等を抑制して、ウェーハ２０１の表面２０５側を保護するものである。 In the cassette 1 according to the modified example, the cassette main body 2 is provided with three support pieces 20 corresponding to each side wall 10, that is, six support pieces 20 in total. In the modified cassette body 2, the flat top plate 70 is positioned between the central support piece 20 and one of the support pieces 20 provided with the positioning projections 50, and the central support piece 20 and the positioning projection 50 are positioned. The work 200 is accommodated by positioning the annular frame 203 of the work 200 between the other support piece 20 provided with the recess 51 . The top plate 70 protects the front surface 205 side of the wafer 201 by suppressing adhesion of contamination and the like to the front surface 205 side of the wafer 201 of the workpiece 200 .

変形例に係るカセット１は、１つのワーク２００を収容するカセット本体２を備え、カセット本体２に被係止部４０と係止部４２とが形成されているために、カセット本体２を積層して固定することができ、収容するワーク２００の数と同数のカセット本体２により構成されることができる。その結果、変形例に係るカセット１は、実施形態１と同様に、特に少量のワーク２００を収容する際に、カセット本体２の数を削減でき、カセット１全体の重量を抑制することができ、特に、少量のワーク２００を搬送する際の軽量化を図ることができるという効果を奏する。 The cassette 1 according to the modification includes a cassette main body 2 that accommodates one workpiece 200, and since the locked portion 40 and the locking portion 42 are formed in the cassette main body 2, the cassette main bodies 2 can be stacked. The cassette body 2 can be fixed by the same number as the workpieces 200 to be accommodated. As a result, the cassette 1 according to the modified example can reduce the number of cassette bodies 2 and reduce the weight of the entire cassette 1, similarly to the first embodiment, particularly when a small amount of workpieces 200 are accommodated. In particular, there is an effect that weight reduction can be achieved when a small amount of work 200 is conveyed.

また、変形例に係るカセット１は、カセット本体２の中央の支持片２０と位置決め凸部５０を設けた一方の支持片２０との間に平板状の天板７０を位置付けて、ワーク２００のウェーハ２０１の表面２０５側を保護することができる。その結果、変形例に係るカセット１は、ウェーハ２０１のデバイス２０６を保護することができる。 Further, in the cassette 1 according to the modified example, the flat top plate 70 is positioned between the support piece 20 in the center of the cassette body 2 and one of the support pieces 20 provided with the positioning projections 50 so that the wafers of the work 200 are positioned. The surface 205 side of 201 can be protected. As a result, the cassette 1 according to the modification can protect the devices 206 of the wafers 201 .

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るカセットを図面に基づいて説明する。図８は、実施形態２に係るカセットの構成を示す斜視図である。なお、図８において、実施形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
A cassette according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of a cassette according to Embodiment 2. FIG. In addition, in FIG. 8, the same reference numerals are assigned to the same parts as those in the first embodiment, and the description thereof is omitted.

実施形態２に係るカセット１－２は、カセット本体２－２と、天板８０とを備え、カセット本体２－２の構成が実施形態１と異なる。カセット本体２－２は、各側壁１０に対応して位置決め凹部５１が設けられた支持片２０が１つのみ設けられ、即ち支持片２０が合計一対設けられている。カセット本体２－２は、位置決め凸部５０を側壁１０に形成して、連結部３０が、側壁連結部３１のみにより構成されている。 A cassette 1-2 according to the second embodiment includes a cassette body 2-2 and a top plate 80, and the configuration of the cassette body 2-2 is different from that of the first embodiment. The cassette main body 2-2 is provided with only one support piece 20 having a positioning recess 51 corresponding to each side wall 10, that is, a total of one pair of support pieces 20 are provided. The cassette main body 2-2 has the positioning protrusion 50 formed on the side wall 10, and the connecting portion 30 is constituted only by the side wall connecting portion 31. As shown in FIG.

天板８０は、板状に形成され、カセット本体２－２の係止部４２が係止する被係止部４０が外側面に形成され、カセット本体２－２の係止部４２が被係止部４０に係止すると、カセット本体２の位置決め凸部５０が侵入してカセット本体２と位置決めされる位置決め凹部５１が形成されている。また、実施形態２において、天板８０は、オペレータ等が把持可能な取っ手８１が設けられている。 The top plate 80 is formed in a plate shape, and a locked portion 40 to which the locking portion 42 of the cassette body 2-2 is locked is formed on the outer surface thereof, and the locking portion 42 of the cassette body 2-2 is locked. A positioning concave portion 51 is formed in which the positioning convex portion 50 of the cassette body 2 enters and is positioned with the cassette body 2 when it is engaged with the stop portion 40 . Further, in the second embodiment, the top plate 80 is provided with a handle 81 that can be gripped by an operator or the like.

実施形態２に係るカセット１－２は、１つのワーク２００を収容するカセット本体２－２を備え、カセット本体２－２に被係止部４０と係止部４２とが形成されているために、カセット本体２を積層して固定することができ、収容するワーク２００の数と同数のカセット本体２－２により構成されることができる。その結果、実施形態２に係るカセット１－２は、実施形態１と同様に、特に少量のワーク２００を収容する際に、カセット本体２－２の数を削減でき、カセット１－２全体の重量を抑制することができ、特に、少量のワーク２００を搬送する際の軽量化を図ることができるという効果を奏する。 The cassette 1-2 according to the second embodiment includes a cassette body 2-2 that accommodates one workpiece 200, and the locked portion 40 and the locking portion 42 are formed in the cassette body 2-2. , the cassette bodies 2 can be stacked and fixed, and can be composed of the same number of cassette bodies 2-2 as the number of works 200 to be accommodated. As a result, the cassette 1-2 according to the second embodiment can reduce the number of the cassette bodies 2-2, especially when accommodating a small amount of workpieces 200, as in the first embodiment. can be suppressed, and in particular, there is an effect that weight reduction can be achieved when a small amount of work 200 is conveyed.

また、実施形態２に係るカセット１－２は、カセット本体２－２に加え、天板８０を備えるので、ワーク２００のウェーハ２０１の表面２０５側を保護することができる。その結果、実施形態２に係るカセット１－２は、ウェーハ２０１のデバイス２０６を保護することができる。 Moreover, since the cassette 1-2 according to the second embodiment includes the top plate 80 in addition to the cassette main body 2-2, the surface 205 side of the wafers 201 of the work 200 can be protected. As a result, the cassette 1-2 according to the second embodiment can protect the device 206 of the wafer 201. FIG.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

１カセット
２カセット本体
１０側壁
２０支持片
３０連結部
４０被係止部
４２係止部
５０位置決め凸部
５１位置決め凹部
２００ワーク 1 Cassette 2 Cassette Main Body 10 Side Wall 20 Supporting Piece 30 Connecting Part 40 Engaged Part 42 Engaging Part 50 Positioning Projection 51 Positioning Concave 200 Work

Claims

A cassette for accommodating a workpiece,
Equipped with a cassette body that accommodates one work inside,
The cassette main body is formed with a locked portion to which a locking portion of another cassette main body stacked under the cassette main body is locked, and another cassette stacked above the cassette main body is formed. A plurality of cassette bodies can be stacked on each other by forming a locking portion that is locked to the locked portion of the main body,
The cassette body includes a pair of sidewalls and
a pair of support pieces for supporting a work to be accommodated inside the pair of side walls;
a connecting portion that connects the pair of side walls.

The upper end of the cassette main body is formed with a positioning projection for positioning another cassette main body stacked on the cassette main body,
2. The cassette according to claim 1, wherein the lower end of said cassette body is formed with a positioning recess for engaging a positioning protrusion of another cassette body stacked under said cassette body.