KR20180136457A - Method of synthesizing glass microparticles - Google Patents

Method of synthesizing glass microparticles Download PDF

Info

Publication number
KR20180136457A
KR20180136457A KR1020187030838A KR20187030838A KR20180136457A KR 20180136457 A KR20180136457 A KR 20180136457A KR 1020187030838 A KR1020187030838 A KR 1020187030838A KR 20187030838 A KR20187030838 A KR 20187030838A KR 20180136457 A KR20180136457 A KR 20180136457A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
glass
raw material
flame
gas port
Prior art date
Application number
KR1020187030838A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102484035B1 (en
Inventor
마사토시 하야카와
Original Assignee
스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 filed Critical 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20180136457A publication Critical patent/KR20180136457A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102484035B1 publication Critical patent/KR102484035B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/50—Multiple burner arrangements

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

복수의 가스 포트를 갖는 다중관 버너의 중심의 원료 가스 포트로부터 유리 원료 가스를 분사하는 동시에 중심의 원료 가스 포트의 외측의 복수의 가스 포트로부터 화염 형성용 가스를 분사하고, 화염 형성용 가스에 의해 형성되는 화염 내에서 유리 원료 가스를 화염 분해 반응시켜 유리 미립자를 합성하는 유리 미립자의 합성 방법으로서, 다중관 버너는, 그 가스 분사측 단부면에 중심의 원료 가스 포트보다 하류측으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있으며, 돌출부보다 내측에 있는 가스 포트 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 중심의 원료 가스 포트로부터 분사되는 가스 유속 V1의 0.3배 이상 1.0배 이하의 유속 V2가 되도록 화염 형성용 가스를 분사하여 유리 미립자의 합성을 실행한다.A glass raw material gas is injected from a raw material gas port at the center of a multi-tube burner having a plurality of gas ports, and a flame forming gas is injected from a plurality of gas ports outside the raw material gas port at the center, A method of synthesizing glass microparticles by synthesizing glass microparticles by flame decomposition reaction of a glass raw material gas in a formed flame, wherein the multi-tube burner has a protruding portion protruding downstream from the center of the raw material gas port And a flame forming gas is sprayed from at least one of the gas ports on the inner side of the projecting portion so as to have a flow velocity V2 of not less than 0.3 times and not more than 1.0 times the gas flow velocity V1 emitted from the center material gas port, .

Description

유리 미립자의 합성 방법Method of synthesizing glass microparticles

본 발명은 유리 미립자의 합성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for synthesizing glass microparticles.

본 출원은, 2016년 4월 26일자로 출원된 일본 특허 출원 제 2016-087695 호에 근거하여 우선권을 주장하며, 상기 일본 특허 출원에 기재된 전체 기재 내용을 원용하는 것이다.The present application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2016-087695, filed on April 26, 2016, and claims the entire contents of the Japanese Patent Application.

특허문헌 1에는, 복수의 가스 포트를 갖는 다중관 버너에 유리 원료 가스와 화염 형성용 가스(가연 가스, 조연(助燃) 가스, 시일 가스 등)를 공급하여, 다중관 버너가 형성하는 화염 내에서 유리 원료 가스를 화염 분해 반응시켜 유리 미립자를 합성하는 유리 미립자의 합성 방법이 개시되어 있다.In Patent Document 1, a glass raw material gas and a flame forming gas (a combustible gas, a combustion gas, a sealing gas, etc.) are supplied to a multi-tube burner having a plurality of gas ports, Discloses a method for synthesizing glass microparticles in which a glass raw material gas is subjected to a flame decomposition reaction to synthesize glass microparticles.

일본 특허 공개 제 2015-30642 호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-30642

본 개시의 일 태양에 따른 유리 미립자의 합성 방법은,According to an aspect of the present invention, there is provided a method of synthesizing glass microparticles,

복수의 가스 포트를 갖는 다중관 버너의 중심의 가스 포트로부터 유리 원료 가스를 분사하는 동시에 상기 중심의 가스 포트의 외측의 복수의 가스 포트로부터 화염 형성용 가스를 분사하고, 상기 화염 형성용 가스에 의해 형성되는 화염 내에서 상기 유리 원료 가스를 화염 분해 반응시켜 유리 미립자를 합성하는 유리 미립자의 합성 방법으로서,A method of manufacturing a multi-tube burner having a plurality of gas ports, comprising the steps of: injecting a glass raw material gas from a gas port at the center of a multi-tube burner, injecting a flame forming gas from a plurality of gas ports outside the central gas port A method for synthesizing glass microparticles by synthesizing glass microparticles by subjecting the glass raw material gas to a flame decomposition reaction in a formed flame,

상기 다중관 버너는, 그 가스 분사측 단부면에 상기 중심의 가스 포트보다 하류측으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있으며,Wherein the multi-tube burner has a protruding portion protruding downstream from the central gas port on the gas spraying end surface,

상기 돌출부보다 내측에 있는 가스 포트 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 상기 중심의 가스 포트로부터 분사되는 가스 유속 V1의 0.3배 이상 1.0배 이하의 유속 V2가 되도록 상기 화염 형성용 가스를 분사하여 유리 미립자의 합성을 실행한다.The flame forming gas is jetted from at least one gas port of the gas ports located on the inner side of the projecting portion so as to have a flow velocity V2 of not less than 0.3 times and not more than 1.0 times the gas flow velocity V1 emitted from the central gas port, Perform synthesis.

도 1은 본 개시의 일 태양에 따른 유리 미립자의 합성 방법을 실시하는 제조 장치의 일 예를 설명하는 도면이다.
도 2a는 유리 미립자를 생성하는 다중관 버너의 일 태양을 도시하는 종단면도이다.
도 2b는 유리 미립자를 생성하는 다중관 버너의 일 태양을 도시하는 횡단면도이다.
도 3은 다중관 버너 내에 유리 미립자가 퇴적되는 구조를 설명하는 모식도이다.
도 4는 다중관 버너 내에의 유리 미립자의 퇴적을 억제하는 방법 및 조건을 설명하는 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view for explaining an example of a production apparatus for carrying out a method of synthesizing glass microparticles according to an embodiment of the present disclosure; Fig.
2A is a longitudinal sectional view showing an embodiment of a multi-tube burner for producing glass microparticles;
2B is a cross-sectional view showing an embodiment of a multi-tube burner that produces glass microparticles.
3 is a schematic view for explaining a structure in which glass microparticles are deposited in a multi-tube burner.
4 is a schematic view for explaining a method and conditions for suppressing deposition of glass microparticles in a multi-tube burner.

[본 개시가 해결하고자 하는 과제][Problems to be Solved by the Present Invention]

특허문헌 1과 같은 유리 미립자의 합성 방법에 이용되는 다중관 버너는, 화염 분해 반응의 조정 등을 위해, 다중관 버너의 직경 방향에 있어서의 내측의 가스 포트보다 외측의 가스 포트가 길어지는 돌출부가 형성되어 있다. 특허문헌 1의 경우는, 돌출부를 단차부라고 칭하며, 그 단차부가 이단 마련되어 있다. 이와 같은 돌출부에 의해, 중심의 가스 포트로부터 분사되는 원료 가스가 과도하게 흩어지지 않도록 할 수 있다.In the multi-tube burner used in the method for synthesizing glass microparticles as in Patent Document 1, in order to adjust the flame decomposition reaction and the like, a projecting portion in which the gas port outside the inner gas port in the radial direction of the multi- Respectively. In the case of Patent Document 1, the protruding portion is referred to as a step portion, and the step portion is provided at the other end. By this protruding portion, the raw material gas injected from the gas port at the center can be prevented from being excessively scattered.

그런데, 상기 돌출부에 있어서, 그 내벽에 유리 미립자가 퇴적되어 다중관 버너의 막힘이 생겨버린다. 막힘이 생기면, 유리 미립자의 합성에 지장을 초래하므로, 다중관 버너의 청소를 실행할 필요가 있다. 이 때문에, 예를 들어 특허문헌 1의 경우는, 소정의 가스 포트 관부의 선단을 교환 가능하게 하여, 분리해서 청소 또는 교환함으로써 다중관 버너의 막힘을 방지하고 있다.However, in the protruding portion, glass microparticles are deposited on the inner wall of the protruding portion, resulting in clogging of the multi-tube burner. If clogging occurs, the synthesis of the glass microparticles is hindered, so it is necessary to clean the multi-tube burner. For this reason, in the case of Patent Document 1, for example, the front end of a predetermined gas port tube portion can be exchanged, and the multi-tube burner is prevented from clogging by separating and cleaning or exchanging.

그렇지만, 다중관 버너의 청소 또는 교환을 실행하는 유지보수 작업이 필요하며, 그 유지보수 작업을 하는 동안은, 유리 합성을 정지하기 때문에, 유리 제조의 기회 손실이 되어 버린다. 또한, 유리 합성 장치 내부는 좁으므로, 다중관 버너의 유지보수 작업은 곤란한 작업이다.However, a maintenance work for performing cleaning or replacement of the multi-tube burner is required, and during the maintenance work, since the glass synthesis is stopped, an opportunity for glass production is lost. Also, since the inside of the glass synthesizer is narrow, maintenance work of the multi-tube burner is a difficult operation.

그래서, 본 개시의 목적은, 유리 제조의 기회 손실을 억제하고, 다중관 버너의 유지보수 작업의 필요성을 거의 없애는 것이 가능한 유리 미립자의 합성 방법을 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method for synthesizing glass microparticles capable of suppressing opportunity loss of glass manufacturing and substantially eliminating the need for maintenance work on multi-tube burners.

[본 개시의 효과][Effects of the Present Invention]

본 개시에 의하면, 유리 제조의 기회 손실을 억제하고, 다중관 버너의 청소(또는 교환) 작업의 필요성을 거의 없앨 수 있다.According to the present disclosure, it is possible to suppress the opportunity loss of glass manufacturing and substantially eliminate the necessity of cleaning (or replacing) the multi-tube burner.

[본 발명의 실시형태의 설명][Description of Embodiments of the Present Invention]

최초로, 본 발명의 실시형태를 열기하여 설명한다.First, an embodiment of the present invention will be described and explained.

본 발명의 일 태양에 따른 유리 미립자의 합성 방법은,According to one aspect of the present invention, there is provided a method for synthesizing glass microparticles,

(1) 복수의 가스 포트를 갖는 다중관 버너의 중심의 가스 포트로부터 유리 원료 가스를 분사하는 동시에 상기 중심의 가스 포트의 외측의 복수의 가스 포트로부터 화염 형성용 가스를 분사하고, 상기 화염 형성용 가스에 의해 형성되는 화염 내에서 상기 유리 원료 가스를 화염 분해 반응시켜 유리 미립자를 합성하는 유리 미립자의 합성 방법으로서,(1) A method for producing a flame-forming gas, comprising the steps of: (1) injecting a glass raw material gas from a gas port at the center of a multi-tube burner having a plurality of gas ports, and injecting a flame forming gas from a plurality of gas ports outside the central gas port, A method for synthesizing glass microparticles by synthesizing glass microparticles by a flame decomposition reaction of the glass raw material gas in a flame formed by a gas,

상기 다중관 버너는, 그 가스 분사측 단부면에 상기 중심의 가스 포트보다 하류측으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있으며,Wherein the multi-tube burner has a protruding portion protruding downstream from the central gas port on the gas spraying end surface,

상기 돌출부보다 내측에 있는 가스 포트 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 상기 중심의 가스 포트로부터 분사되는 가스 유속 V1의 0.3배 이상 1.0배 이하의 유속 V2가 되도록 상기 화염 형성용 가스를 분사하여 유리 미립자의 합성을 실행한다.The flame forming gas is jetted from at least one gas port of the gas ports located on the inner side of the projecting portion so as to have a flow velocity V2 of not less than 0.3 times and not more than 1.0 times the gas flow velocity V1 emitted from the central gas port, Perform synthesis.

이러한 방법에 의하면, 다중관 버너의 돌출부보다 내측에 있는 가스 포트 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 중심의 가스 포트로부터 분사되는 가스 유속 V1의 0.3배 이상 1.0배 이하의 유속 V2가 되도록 화염 형성용 가스를 분사하므로, 중심의 가스 포트로부터 분사되는 유리 원료 가스가 유속 V2의 화염 형성용 가스에 저해되어, 돌출부의 내벽에는 거의 유리 미립자가 퇴적되지 않는다. 이 때문에, 다중관 버너의 막힘이 생기지 않으므로, 유리 제조의 기회 손실을 억제하고, 다중관 버너의 유지보수 작업의 필요성을 거의 없앨 수 있다.According to this method, the flow rate V2 of 0.3 times or more and 1.0 times or less of the gas flow rate V1 emitted from the gas port at the center from at least one gas port of the gas ports on the inner side of the projecting portion of the multi- The glass raw material gas injected from the central gas port is inhibited by the flame forming gas of the flow velocity V2 so that substantially no glass fine particles are deposited on the inner wall of the projecting portion. Because of this, clogging of the multi-tube burners does not occur, thereby reducing opportunity loss of glass production and substantially eliminating the need for multi-tube burner maintenance work.

(2) 상기 중심의 가스 포트의 가스 유속 V1은 5m/초 이상 20m/초 이하이며,(2) the gas flow velocity V1 of the gas port at the center is not less than 5 m / sec and not more than 20 m /

상기 돌출부의 돌출 길이가 V1×0.01초 이하인 것이 바람직하다.It is preferable that the projecting length of the projecting portion is V1 x 0.01 seconds or less.

상기 조건하에서, 유리 미립자의 합성을 실행하는 것에 의해, 보다 확실히 유리 제조의 기회 손실을 억제하고, 다중관 버너의 청소(또는 교환) 작업의 필요성을 거의 없앨 수 있다.By carrying out the synthesis of the glass microparticles under the above conditions, it is possible to more reliably suppress the opportunity loss of glass production and to eliminate the necessity of cleaning (or replacing) the multi-tube burner.

(본 발명의 실시형태의 상세)(Details of Embodiments of the Present Invention)

본 발명의 실시형태에 따른 유리 미립자의 합성 방법의 구체예를, 이하에 도면을 참조하면서 설명한다.Specific examples of the method for synthesizing glass microparticles according to the embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

또한, 본 발명은 이들 예시에 한정되는 것이 아니라, 특허청구범위에 의해 나타나며, 특허청구범위와 균등의 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.It is to be understood that the present invention is not limited to these examples, but may be embodied in the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to those of the claims.

이하에 나타내는 유리 미립자의 합성 방법으로서는, VAD(Vapor Phase Axial Deposition)법을 예로 들어 설명하지만, 본 발명은 VAD법에 한정되는 것은 아니다. VAD법과 마찬가지로 유리 원료로부터 유리를 퇴적시키는 방법, 예를 들어 OVD(Outside Vapor Deposition)법에 본 발명을 적용하는 것도 가능하다.As a method of synthesizing the glass fine particles described below, the vapor phase axial deposition (VAD) method is taken as an example, but the present invention is not limited to the VAD method. It is also possible to apply the present invention to a method of depositing glass from a glass raw material, for example, an OVD (Outside Vapor Deposition) method as in the VAD method.

본 실시형태에 따른 유리 미립자의 합성 방법의 구체예로서, 유리 미립자 퇴적체(M)를 제조하는 제조 장치의 일 예에 대하여, 도 1을 참조하면서 설명한다.An example of a production apparatus for producing the glass microparticle accumulated material M will be described with reference to Fig. 1 as a concrete example of a method for synthesizing glass microparticles according to the present embodiment.

도 1에 도시하는 바와 같이, 제조 장치(1)는, 반응 용기(2)와, 승강 회전 장치(3)와, 가스 공급 장치(4)와, 다중관 버너(5)와, 각부의 동작을 제어하는 제어부(6)를 구비하고 있다.1, the manufacturing apparatus 1 includes a reaction vessel 2, an elevation rotary device 3, a gas supply device 4, a multi-pipe burner 5, And a control unit 6 for controlling the control unit 6.

반응 용기(2)는 유리 미립자 퇴적체(M)가 형성되는 용기이며, 반응 용기(2)의 측면에 장착된 배기관(21)을 구비하고 있다. 배기관(21)은 유리 미립자 퇴적체(M)로서 부착되지 않은 유리 미립자(10)를 반응 용기(2)의 외부로 배출하는 관이다.The reaction vessel 2 is a vessel in which a glass microparticle deposit M is formed and has an exhaust pipe 21 mounted on the side face of the reaction vessel 2. The exhaust pipe 21 is a pipe for discharging the glass microparticles 10 which are not adhered as the glass microparticle deposition body M to the outside of the reaction vessel 2.

승강 회전 장치(3)는 지지봉(31) 및 출발 로드(32)를 거쳐서 유리 미립자 퇴적체(M)를 회전시키면서 승강시킬 수 있는 장치이다. 승강 회전 장치(3)는 제어부(6)로부터 송신되어 오는 제어 신호에 근거하여 지지봉(31)의 동작을 제어하고 있다.The elevating and rotating apparatus 3 is a device capable of ascending and descending while rotating the glass microparticle deposition material M via the support rod 31 and the starting rod 32. The elevating and rotating apparatus 3 controls the operation of the support rod 31 based on the control signal transmitted from the control unit 6. [

지지봉(31)은 반응 용기(2) 상벽에 형성된 관통 구멍을 관통 삽입하여 배치되어 있으며, 반응 용기(2) 내에 배치되는 한쪽 단부에는 출발 로드(32)가 장착되어 있다. 지지봉(31)은, 출발 로드(32)가 장착되어 있는 단부와는 반대측의 단부가 승강 회전 장치(3)에 의해 파지되어 있다. 출발 로드(32)는 유리 미립자(10)가 퇴적되는 로드이며, 지지봉(31)에 장착되어 있다.The support rod 31 is disposed so as to be inserted through a through hole formed in the upper wall of the reaction vessel 2, and a start rod 32 is attached to one end portion disposed in the reaction vessel 2. The end of the support rod 31 on the side opposite to the end where the start rod 32 is mounted is gripped by the lifting and rotating device 3. [ The starting rod 32 is a rod on which the glass microparticles 10 are deposited and is mounted on the supporting rod 31. [

가스 공급 장치(4)는 유리 원료(41)를 기화시킨 유리 원료 가스를 다중관 버너(5)에 공급하는 장치이다. 가스 공급 장치(4)는, 유리 원료(41)를 저장하는 원료 용기(42)와, 유리 원료 가스의 공급 유량을 제어하는 MFC(Mass Flow Controller)(43)와, 유리 원료 가스를 다중관 버너(5)로 인도하는 공급 배관(44)을 갖고 있다. 또한, 가스 공급 장치(4)는, 원료 용기(42)와, MFC(43)와 공급 배관(44)의 일부를 소정 온도로 유지하는 온도 조절 부스(45)를 갖고 있다.The gas supply device 4 is a device for supplying a glass raw material gas in which the glass raw material 41 is vaporized to the multi-pipe burner 5. [ The gas supply device 4 includes a raw material container 42 for storing the glass raw material 41, an MFC (Mass Flow Controller) 43 for controlling the supply flow rate of the glass raw material gas, And a supply pipe (44) leading to the pipe (5). The gas supply device 4 has a raw material container 42 and a temperature control booth 45 for maintaining a part of the MFC 43 and the supply pipe 44 at a predetermined temperature.

MFC(43)는, 제어부(6)로부터 송신되어 오는 제어 신호에 근거하여, 다중관 버너(5)에 공급하는 유리 원료 가스의 공급량을 제어하는 동시에, 다중관 버너(5)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유량을 제어하고 있다.The MFC 43 controls the supply amount of the glass raw material gas to be supplied to the multi-pipe burner 5 based on the control signal transmitted from the control unit 6 and controls the supply amount of the glass raw material The flow rate of the gas is controlled.

다중관 버너(5)는 유리 미립자(10)를 생성하기 위한 것이며, 예를 들어 금속 재료 혹은 석영 유리 등으로 구성되어 있다. 금속 재료로서는, 예를 들어 내부식성이 특히 우수한 스테인리스(SUS : Steel Special Use Stainless)를 이용하는 것이 바람직하다. 다중관 버너(5)에는, 유리 원료 가스와 화염 형성용 가스(연소 가스, 조연 가스, 시일 가스 등)가 공급된다. 유리 원료 가스로서는, 예를 들어 사염화 규소(SiCl4)나 실록산 등이 공급되며, 화염 형성용 가스로서는, 예를 들어 수소(H2) 등의 연소 가스, 산소(O2) 등의 조연 가스, 질소(N2) 등의 시일 가스 등이 공급된다.The multi-tube burner 5 is for generating the glass fine particles 10, and is made of, for example, a metal material or quartz glass. As the metal material, for example, stainless steel (SUS: Steel Special Use Stainless) which is particularly excellent in corrosion resistance is preferably used. In the multi-pipe burner 5, a glass raw material gas and a flame forming gas (combustion gas, combustion gas, seal gas, etc.) are supplied. As the glass raw material gas, for example, silicon tetrachloride (SiCl 4 ), siloxane and the like are supplied. As the flame forming gas, for example, a combustion gas such as hydrogen (H 2 ), a combustion gas such as oxygen (O 2 ) And a seal gas such as nitrogen (N 2 ) are supplied.

다중관 버너(5)는 기화된 유리 원료 가스를 산수소 화염 중에 있어서 화염 분해 반응시키는 것에 의해 유리 미립자(10)를 생성한다. 다중관 버너(5)는 생성된 유리 미립자(10)를 출발 로드(32)에 분사하여 퇴적시켜, 소정 외경의 유리 미립자 퇴적체(M)를 제작한다. 또한, 도 1에서는, 화염 형성용 가스를 공급하기 위한 가스 공급 장치는 생략되어 있다.The multi-tube burner 5 generates the glass microparticles 10 by subjecting the vaporized glass raw material gas to the flame decomposition reaction in the oxyhydrogen flame. The multi-tube burner 5 sprays the generated glass fine particles 10 onto the start rod 32 and deposits them to produce a glass micro particle deposit M having a predetermined outer diameter. In Fig. 1, the gas supply device for supplying the flame forming gas is omitted.

제어부(6)는 승강 회전 장치(3), 가스 공급 장치(4) 등의 동작을 제어한다. 제어부(6)는, 승강 회전 장치(3)에 대하여, 유리 미립자 퇴적체(M)의 승강 속도 및 회전 속도를 제어하는 제어 신호를 송신한다. 또한, 제어부(6)는, 가스 공급 장치(4)의 MFC(43)에 대하여, 다중관 버너(5)로부터 분무되는 유리 원료 가스의 유량을 제어하는 제어 신호를 송신한다.The control unit 6 controls the operations of the elevating and rotating apparatus 3, the gas supply apparatus 4, and the like. The control unit 6 transmits to the elevating and rotating apparatus 3 a control signal for controlling the elevating speed and the rotating speed of the glass microparticle deposition material M. [ The control unit 6 transmits a control signal for controlling the flow rate of the glass raw material gas sprayed from the multi-pipe burner 5 to the MFC 43 of the gas supply device 4. [

도 2a는 다중관 버너(5)를 축 방향으로 절단한 종단면도이며, 도 2b는 다중관 버너(5)의 중심축(B)에 가까운 일부분을 축 방향에 대하여 수직 방향으로 절단한 횡단면도이다. 도 2a에 도시하는 바와 같이, 다중관 버너(5)로서는, 예를 들어 12중관 등의 다중관 버너 구조의 것이 이용된다. 또한, 도 2a에 있어서 상방이 다중관 버너(5)의 가스 분사측인 선단 방향을 나타낸다.2B is a cross-sectional view of a portion of the multi-tube burner 5 close to the central axis B cut perpendicularly to the axial direction. Fig. 2A is a longitudinal sectional view of the multi-tube burner 5 cut axially. As shown in Fig. 2A, as the multi-pipe burner 5, for example, a multi-pipe burner structure such as a twelfth pipe is used. In Fig. 2A, the upper side indicates the gas discharge side of the multipurpose burner 5.

다중관 버너(5)의 중앙부에는, 유리 원료 가스가 분사되는 원료 가스 포트(50)가 마련되어 있다. 원료 가스 포트(50)에는 유리 원료 가스만을 공급하는 것도, 유리 원료 가스에 다른 가스, 예를 들어 H2 가스를 혼합하여 공급할 수도 있다.At the center of the multi-tube burner 5, a raw material gas port 50 through which a glass raw material gas is injected is provided. It is also possible to supply only the glass raw material gas to the raw material gas port 50 or to mix the glass raw material gas with another gas such as H 2 gas.

원료 가스 포트(50)의 외주에는, 화염 형성용 가스로서 예를 들어 H2 등의 연소 가스가 공급되는 제 1 화염 형성용 가스 포트(61, 65, 69)와, 동일하게 화염 형성용 가스로서 예를 들어 O2 등의 조연 가스가 공급되는 제 2 화염 형성용 가스 포트(63, 67, 71)가 교대로 마련되어 있다. 교대로 마련된 제 1 화염 형성용 가스 포트(61, 65, 69)와 제 2 화염 형성용 가스 포트(63, 67, 71) 사이에는, 화염 형성용 가스로서 예를 들어 N2 등의 시일 가스가 공급되는 제 ３ 화염 형성용 가스 포트(62, 64, 66, 68, 70)가 마련되어 있다.The first flame forming gas ports 61, 65, and 69, to which a combustion gas such as H 2 is supplied as a flame forming gas, are formed in the outer periphery of the raw material gas port 50, For example, second flame forming gas ports 63, 67 and 71 to which a combustion gas such as O 2 is supplied are alternately provided. A seal gas such as N 2 is used as the flame forming gas between the first flame forming gas ports 61, 65, 69 and the second flame forming gas ports 63, 67, There is provided a third flame forming gas port 62, 64, 66, 68, 70 to be supplied.

원료 가스 포트(50)는, 다중관 버너(5)의 축 방향을 따라서 연장되는 관부로 형성되어 있으며, 다중관 버너(5)의 중심부에 마련되어 있다. 또한, 다른 화염 형성용 가스 포트(61 내지 71)는 원료 가스 포트(50)와 동심원 형상으로 배치된 관부 사이의 간극으로서 형성되어 있다(도 2b 참조). 이들 복수의 관부의 각각의 두께(T1)는 예를 들어 1mm 정도이다. 또한, 원료 가스 포트(50), 화염 형성용 가스 포트(61 내지 71)의 개구 두께(T2)는 예를 들어 2mm 정도이다. 또한, 반드시 모든 관부의 두께(T1), 및 모든 가스 포트의 개구 두께(T2)가 각각 일률적일 필요는 없다.The raw material gas port 50 is formed as a tube portion extending along the axial direction of the multi-tube burner 5, and is provided at the center of the multi-tube burner 5. In addition, the other flame-forming gas ports 61 to 71 are formed as a gap between the material gas port 50 and the tube portions arranged concentrically (see Fig. 2B). The thickness T1 of each of the plurality of tube portions is, for example, about 1 mm. The opening thickness T2 of the raw material gas port 50 and the flame forming gas ports 61 to 71 is, for example, about 2 mm. In addition, it is not always necessary that the thickness T1 of all the tube portions and the opening thickness T2 of all gas ports are uniform.

다중관 버너(5)의 선단측의 부분에 있어서, 예를 들어 원료 가스 포트(50), 화염 형성용 가스 포트(61, 62)를 구성하는 3개의 관부(50A, 61A, 62A)는 동일한 길이이며, 원료 가스 포트(50), 화염 형성용 가스 포트(61 내지 71)를 구성하는 관부 중에서 가장 짧은 길이로 형성되어 있다. 또한, 예를 들어 화염 형성용 가스 포트(63)의 외주측을 구성하는 관부(63A)로부터 화염 형성용 가스 포트(66)를 구성하는 관부(66A)까지의 4개의 관부는 동일한 길이이며, 상기 관부(50A, 61A, 62A)보다 길어지도록 형성되어 있다. 또한, 예를 들어 화염 형성용 가스 포트(67)의 외주측을 구성하는 관부(67A)로부터 화염 형성용 가스 포트(71)를 구성하는 관부(71A)까지의 5개의 관부는 동일한 길이이며, 상기 관부(63A 내지 66A)보다 길어지도록 형성되어 있다.The three pipe portions 50A, 61A and 62A constituting the raw material gas port 50 and the flame forming gas ports 61 and 62 are provided at the front end portion of the multi-pipe burner 5, And is formed to have the shortest length among the tube portions constituting the raw material gas port 50 and the flame forming gas ports 61 to 71. The four tube portions from the tube portion 63A constituting the outer peripheral side of the flame forming gas port 63 to the tube portion 66A constituting the flame forming gas port 66 are of the same length, Are formed to be longer than the tube portions (50A, 61A, 62A). The five tube portions from the tube portion 67A constituting the outer peripheral side of the flame forming gas port 67 to the tube portion 71A constituting the flame forming gas port 71 are of the same length, And is formed to be longer than the tube portions 63A to 66A.

이와 같이, 다중관 버너(5)의 선단부에서는, 다중관 버너(5)의 직경 방향에 있어서의 내측의 가스 포트보다 외측의 가스 포트가 길어지도록, 소정의 영역마다 관부의 길이가 설정되어 있다. 이 길이의 설정에 의해, 다중관 버너(5) 내에는, 관부(50A, 61A, 62A)와 관부(63A 내지 66A) 사이의 단차부와, 관부(63A 내지 66A)와 관부(67A 내지 71A) 사이의 단차부가 형성되어 있다.As described above, at the tip of the multi-tube burner 5, the length of the tube portion is set for each predetermined region so that the gas port on the outer side than the gas port on the inner side in the radial direction of the multi-tube burner 5 becomes long. By setting the lengths, the multi-tube burner 5 is provided with the stepped portion between the tube portions 50A, 61A, 62A and the tube portions 63A to 66A, the tube portions 63A to 66A and the tube portions 67A to 71A, As shown in Fig.

관부(50A, 61A, 62A)와 관부(63A 내지 66A) 사이의 단차부에 있어서, 관부(50A, 61A, 62A)의 가스 분사측의 단부면보다 다중관 버너(5)의 하류측(선단 방향측)으로 돌출된 부분을 돌출부(80)로 정의하고, 그 길이를 돌출 길이 L로 한다. 또한, 도 2a 및 도 2b에 도시하는 다중관 버너(5)에서는, 관부(63A 내지 66A)의 가스 분사측의 단부면보다 다중관 버너(5)의 하류측으로 더욱 돌출된 제 2 돌출부(90)가 형성되어 있다. 다중관 버너(5)는, 이와 같은 돌출부(80, 90)가 마련되는 것에 의해, 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스가 다중관 버너(5)의 직경 방향으로 과도하게 확산되지 않도록 할 수 있다.The downstream side of the multi-pipe burner 5 from the end face side of the gas spraying side of the pipe portions 50A, 61A, 62A (on the tip end side ) Is defined as a protruding portion 80, and the length thereof is defined as a protruding length L. [ In the multi-tube burner 5 shown in Figs. 2A and 2B, the second projecting portion 90 further protruding toward the downstream side of the multi-tube burner 5 than the end surface on the gas spraying side of the tube portions 63A to 66A Respectively. The multi-tube burner 5 is provided with such projections 80 and 90 so that the glass raw material gas injected from the raw material gas port 50 is prevented from diffusing excessively in the radial direction of the multi-tube burner 5 can do.

그런데, 종래에는, 돌출부를 갖는 다중관 버너를 이용하여 유리 미립자를 생성하는 경우, 돌출부에 있어서 그 내벽에 유리 미립자가 퇴적되어 다중관 버너의 막힘이 생기는 문제가 있었다.Conventionally, in the case of producing glass microparticles by using a multi-tube burner having projections, there is a problem that glass microparticles are deposited on the inner wall of the projections, resulting in clogging of the multi-tube burners.

이러한 문제가 생기는 구조를 도 3의 모식도를 참조하여 설명한다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 원료 가스 포트로부터 분사된 유리 원료 가스의 일부는, 예를 들어 화살표(C)의 방향으로 세차게 단번에 확산된다. 이 때문에, 확산된 유리 미립자가 돌출부의 내벽에 퇴적된다.The structure in which such a problem occurs will be described with reference to the schematic diagram of Fig. As shown in Fig. 3, a part of the glass raw material gas injected from the raw material gas port is diffused in a single stroke in the direction of the arrow C, for example. For this reason, the diffused glass microparticles are deposited on the inner wall of the projection.

돌출부의 길이를 단순히 짧게 하여 돌출부에의 유리 미립자의 퇴적을 방지하는 것을 고려할 수 있다. 그렇지만, 돌출 길이를 변경하면 다중관 버너에 의해 형성되는 화염이 변화하여, 유리 미립자의 합성 속도나 합성량 등도 변화해 버리기 때문에, 돌출부의 길이를 단순히 짧게 하는 것은 곤란하다. 또한, 유리 미립자 퇴적체의 제조 설비마다 원료 가스 포트에 투입되는 유리 원료 가스의 유량은 상이하기 때문에, 유리 원료 가스의 유량에 따라서 돌출부에 대한 유리 미립자가 퇴적되는 영역도 변화한다.It is conceivable to simply shorten the length of the projecting portion to prevent deposition of the glass fine particles on the projecting portion. However, when the projecting length is changed, the flame formed by the multi-tube burner changes, and the synthesis speed and the synthesis amount of the glass microparticles also change, so it is difficult to simply shorten the length of the projecting portion. In addition, since the flow rates of the glass raw material gas to be introduced into the raw material gas ports are different for each production facility of the glass microparticle deposit, the region where the glass microparticles are deposited on the projected portion also changes according to the flow rate of the glass raw material gas.

따라서, 유리 미립자 퇴적체의 제조 설비마다 돌출부의 길이가 상이한 다중관 버너를 사용하는 것이 바람직하지만, 설비마다 상이한 다중관 버너를 준비할 필요가 있어 비용이 든다. 또한, 동일한 설비에 있어서, 제조 상의 사정 등으로 유리 원료 가스의 유량이 변경되었을 때에, 다중관 버너의 교환이 필요하게 되어, 버너 교환 비용 및 교환 작업 중의 유리 제조의 기회 손실이 생긴다.Therefore, it is preferable to use a multi-tube burner having different projecting lengths for each production facility of the glass microparticle-deposited product. However, it is necessary to prepare a multi-tube burner for each equipment, which is costly. Further, when the flow rate of the glass raw material gas is changed due to manufacturing circumstances or the like in the same facility, it is necessary to replace the multi-pipe burner, resulting in a burner replacement cost and an opportunity loss of glass production during the replacement work.

그래서, 본 발명자는, 유리 원료 가스의 유량이 상이한 경우라도, 돌출부의 내벽에 유리 미립자가 퇴적되지 않는 방법 및 그 조건에 대하여 이하와 같이 검토를 실행했다.Thus, the present inventors have carried out the following investigation as to the method and conditions under which the glass fine particles are not deposited on the inner wall of the projecting portion even when the flow rates of the glass raw material gases are different.

도 4를 이용하여, 다중관 버너(5)의 돌출부(80)의 내벽에의 유리 미립자의 퇴적을 억제하는 방법에 대하여 설명한다.A method of suppressing the accumulation of the glass microparticles on the inner wall of the projecting portion 80 of the multi-tube burner 5 will be described with reference to Fig.

도 4에 도시하는 바와 같이, 도 2a 및 도 2b에서 도시한 다중관 버너(5)의 원료 가스 포트(50)와 돌출부(80) 사이에 마련되어 있는 화염 형성용 가스 포트(61, 62, 63)에 주목하여, 이들 가스 포트로부터 분사되는 가스를 이용하여, 돌출부(80)로의 유리 원료 가스의 확산을 억제하는 방법 및 조건에 대하여 검토했다.As shown in Fig. 4, the flame forming gas ports 61, 62 and 63 provided between the raw material gas port 50 and the projecting portion 80 of the multi-tube burner 5 shown in Figs. 2A and 2B, And methods and conditions for suppressing the diffusion of the glass raw material gas into the projecting portions 80 by using the gas injected from these gas ports have been studied.

그리고, 검토 결과, 화염 형성용 가스 포트(61, 62, 63) 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 화염 형성용 가스를 소정 범위 내의 유속으로 분사하는 것에 의해, 화염 형성용 가스의 흐름이 돌출부(80) 방향으로의 유리 원료 가스의 흐름(도 4의 파선 화살표(D) 참조)을 억제할 수 있다는 것을 발견했다.As a result of the examination, the flame-forming gas is jetted from at least one gas port of the flame-forming gas ports 61, 62, 63 at a flow rate within a predetermined range, (See the dashed arrow (D) in Fig. 4) of the glass raw material gas in the direction

또한, 가스의 유속 V는, 가스 포트를 흐르는 가스의 유량 Q(㎥/초)와, 가스 포트의 단면적 S(㎡)으로부터, 다음의 식 1로 산출할 수 있다.The flow velocity V of the gas can be calculated from the flow rate Q (m 3 / sec) of the gas flowing through the gas port and the cross-sectional area S (m 2) of the gas port by the following equation 1.

V = Q/S (m/초) ··· (식 1)V = Q / S (m / sec) (1)

검토 결과, 화염 형성용 가스 포트(61, 62, 63) 중 적어도 1개의 가스 포트로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유속(이하, V2라고 함)을, 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유속(이하, V1이라고 함)을 기준으로 하여 설정하면, 돌출부(80) 방향으로의 유리 원료 가스의 흐름 D는 유속 V2를 0.3V1(m/초) 이상으로 하는 것에 의해 억제할 수 있다는 것을 알 수 있었다.As a result of the examination, the flow rate of the flame forming gas (hereinafter referred to as V2) injected from at least one of the gas ports 61, 62, 63 of the flame forming chamber The flow D of the glass raw material gas in the direction of the projecting portion 80 can be suppressed by setting the flow velocity V2 to 0.3 V1 (m / sec) or more .

그런데, 유속(V2)이 커질수록, 유리 미립자 퇴적체(M)의 표면 온도가 낮아져, 미립자 퇴적체(M)에 유리 미립자(10)가 퇴적되기 어려워져서 제조 상의 문제가 생긴다. 이 때문에, 제조 상의 문제가 생기지 않도록 유리 미립자 퇴적체(M)의 표면 온도의 저하를 억제하기 위한 유속 V2의 상한값은 1.0V1(m/초)이다.However, as the flow velocity V2 becomes larger, the surface temperature of the glass microparticle deposition material M becomes lower, and the glass microparticles 10 become less likely to deposit on the microparticle deposition material M, resulting in a manufacturing problem. Therefore, the upper limit value of the flow velocity V2 for suppressing the decrease of the surface temperature of the glass micro particle deposit M is 1.0 V1 (m / sec) so as not to cause a manufacturing problem.

이상의 검토에 의해, 본 실시형태에 따른 유리 미립자의 합성 방법에서는, 돌출부(80)보다 내측에 있는 화염 형성용 가스 포트(61, 62, 63) 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 중심의 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유속 V1의 0.3배 이상 1.0배 이하의 유속 V2가 되도록 화염 형성용 가스를 분사하여 유리 미립자의 합성을 실행하는 것으로 한다.According to the above-described examination, in the method of synthesizing glass microparticles according to the present embodiment, at least one gas port of the flame forming gas ports 61, 62, 63 located on the inner side of the projecting portion 80, It is assumed that the flame formation gas is injected so that the flow velocity V2 is 0.3 times or more and 1.0 times or less the flow velocity V1 of the glass raw material gas injected from the glass frit 50 to synthesize the glass fine particles.

또한, 본 발명자는, 유리 원료 가스의 유량에 따라서 돌출부(80)에 대한 유리 미립자(10)가 퇴적되는 영역이 변화하는 것과, 유리 원료 가스의 유속 V1이 빠를 때일수록 유리 미립자(10)가 돌출부(80)에 퇴적되기 쉬운 것에 주목했다. 그리고, 유리 원료 가스의 유속 V1을 느리게 하여 간 경우의, 예를 들어 유속 V1과 돌출부(80)의 돌출 길이 L의 바람직한 관계에 대하여 검토했다.The present inventors have also found that the region where the glass microparticles 10 are deposited with respect to the projecting portion 80 varies depending on the flow rate of the glass raw material gas and the glass microparticles 10 are more likely to flow when the flow velocity V1 of the glass raw material gas is higher, (80). Then, a preferable relationship between the flow velocity V1 and the protruding length L of the protruding portion 80 when the flow velocity V1 of the glass raw material gas is made slow is examined.

검토의 결과, 본 발명자는, 유리 원료 가스의 유속 V1이 예를 들어 5(m/초) 이상 20(m/초) 이하인 경우에, 돌출부(80)의 돌출 길이 L을 V1(m/초)×0.01(초) 이하로 하는 것에 의해, 돌출부(80)에의 유리 미립자(10)의 퇴적을 억제하는데 바람직하다는 것을 발견했다.As a result of the examination, the present inventors have found that when the projecting length L of the projecting portion 80 is V1 (m / sec) when the flow velocity V1 of the glass raw material gas is, for example, 5 m / × 0.01 (sec) or less, it is preferable to suppress the accumulation of the glass microparticles 10 in the projecting portion 80.

본 실시형태에 따른 유리 미립자의 합성 방법에 의하면, 유리 미립자(10)의 합성 시에, 화염 형성용 가스 포트(61, 62, 63) 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 0.3V1 이상 1.0V1 이하(m/초)로 설정된 유속 V2의 화염 형성용 가스가 분사된다. 이 때문에, 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유속 V1의 유리 원료 가스는 유속 V2의 화염 형성용 가스 등의 흐름에 의해 돌출부(80) 방향으로의 확산이 억제된다. 그리고, 돌출부(80)를 구성하는 관부(63A)의 내벽에는 거의 유리 미립자(10)가 퇴적되지 않게 된다. 이에 의해, 다중관 버너(5)에 있어서의 유리 미립자(10)의 막힘을 감소시킬 수 있어, 유리 제조의 기회 손실을 억제하고, 다중관 버너의 청소 또는 교환을 실행하는 유지보수 작업의 필요성을 거의 없앨 수 있다.According to the method for synthesizing glass microparticles according to the present embodiment, at the time of synthesis of the glass microparticles 10, at least one gas port of the flame forming gas ports 61, 62, m / sec) is blown out from the flame forming gas. Therefore, the glass raw material gas having the flow velocity V1 injected from the raw material gas port 50 is prevented from diffusing toward the projecting portion 80 by the flow of the flame forming gas or the like at the flow velocity V2. Almost no glass fine particles 10 are deposited on the inner wall of the tube portion 63A constituting the projecting portion 80. [ This makes it possible to reduce the clogging of the glass microparticles 10 in the multi-tube burner 5, to suppress the opportunity loss of glass manufacturing, and to perform the maintenance work for cleaning or replacing the multi-tube burner It can be almost eliminated.

또한, 유속 V2의 상한값은 1.0V1(m/초) 이하로 설정되어 있다. 이 때문에, 화염 형성용 가스 등이 고속으로 분사되는 것에 따른 유리 미립자 퇴적체(M)의 표면 온도의 저하를 방지할 수 있어, 양호하게 유리 미립자가 부착된 유리 미립자 퇴적체(M)의 제조를 실행할 수 있다.The upper limit value of the flow velocity V2 is set to 1.0 V1 (m / sec) or less. Therefore, it is possible to prevent the surface temperature of the glass microparticle deposition material M from lowering as the flame-forming gas or the like is jetted at a high speed, and thus the production of the glass microparticle deposition material M Can be executed.

또한, 유리 원료 가스의 유속 V1이 5(m/초) 이상 20(m/초) 이하로 설정된 경우에는, 돌출부(80)의 돌출 길이 L이 V1(m/초)×0.01(초) 이하의 길이로 설정된다. 이 때문에, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적을 더욱 억제할 수 있어, 유리 제조의 기회 손실을 억제하는 동시에, 다중관 버너의 유지보수 작업의 필요성을 거의 없앨 수 있다.When the flow rate V1 of the glass raw material gas is set to be not less than 5 m / sec and not more than 20 m / sec, the protruding length L of the protruding portion 80 is not more than V1 (m / Lt; / RTI > Therefore, the accumulation of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A can be further suppressed, whereby the opportunity loss of glass production can be suppressed and the maintenance work of the multi-tube burner can be substantially eliminated.

도 2a 및 도 2b에 도시하는 다중관 버너(5)를 사용하여 유리 미립자를 합성하는 실험을 실행했다.Experiments were conducted to synthesize glass microparticles by using the multi-tube burner 5 shown in Figs. 2A and 2B.

본 실험에서는, 원료 가스 포트(50)와 돌출부(80) 사이에 마련되어 있는 화염 형성용 가스 포트(61, 62, 63) 중 가장 외측에 배치되어 있는 화염 형성용 가스 포트(63)(연소 가스인 산소(O2)가 공급되는 제 2 화염 형성용 가스 포트)로부터 유속(V2)의 가스를 분사시켰다. 원료 가스 포트(50)에는 원료 가스와 H2 가스를 혼합한 가스를 분사했다.In this experiment, the flame-forming gas port 63 (the flame-forming gas port, which is the outermost one of the flame-forming gas ports 61, 62, 63 provided between the material gas port 50 and the projecting portion 80 And the gas of the flow velocity V2 was injected from the second flame forming gas port to which oxygen (O 2 ) was supplied. A gas mixture of the raw material gas and the H 2 gas was injected into the raw material gas port 50.

또한, 원료 가스 포트(50)의 유량을 Q1, 단면적을 S1으로 하고, 화염 형성용 가스 포트(63)의 유량을 Q2, 단면적을 S2로 했다. 또한, 원료 가스 포트(50)의 반경을 r1, 다중관 버너(5)의 중심축(B)으로부터 관부(62A)까지의 거리를 r2, 다중관 버너(5)의 중심축(B)으로부터 관부(63A)까지의 거리를 r3으로 했다(도 4 참조). 또한, 돌출부(80)의 돌출 길이 L은 0.15(m)로 했다.Further, the flow rate of the raw material gas port 50 is Q1, the cross-sectional area is S1, the flow rate of the gas port 63 for flame formation is Q2, and the cross-sectional area is S2. The radius of the raw material gas port 50 is r1, the distance from the center axis B of the multi-tube burner 5 to the tube portion 62A is r2, the distance from the center axis B of the multi- (63A) is r3 (see Fig. 4). The protruding length L of the protruding portion 80 is 0.15 (m).

우선, Q1 = 0.000425(㎥/초)First, Q1 = 0.000425 (m < 3 > / sec)

S1 = π×r12=π×0.0032(㎡)S1 = π × r1 2 = π × 0.003 2 (m 2)

Q2 = 0.000372(㎥/초)Q2 = 0.000372 (m3 / sec)

S2 = π×(r32-r22) = π×(0.0112-0.0092)(㎡)의 조건으로 유리 미립자의 합성을 실행하고, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적을 관찰했다.The synthesis of the glass microparticles is carried out under the condition of S2 = π × (r3 2 -r2 2 ) = π × (0.011 2 -0.009 2 ) (m 2 ), and deposition of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A .

이 때의, 유리 원료 가스의 유속 V1 = Q1/S1 = 15.0(m/초), 화염 형성용 가스의 유속 V2 = Q2/S2 = 3.0(m/초)이며, V2 = 0.2V1이었다. 즉, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유속 V2는 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유속 V1의 0.2배였다.At this time, the flow rate V1 = Q1 / S1 = 15.0 (m / sec) of the glass raw material gas, the flow rate V2 = Q2 / S2 = 3.0 (m / sec) of the flame formation gas, and V2 = 0.2V1. That is, the flow velocity V2 of the flame forming gas injected from the flame forming gas port 63 was 0.2 times the flow velocity V1 of the glass raw material gas injected from the raw material gas port 50.

다음에, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유량을 증가시켜, Q2 = 0.000565(㎥/초)로 하여 유리 미립자의 합성을 실행하고, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적을 관찰했다. 또한, Q1, S1, S2는 상기와 동일한 조건으로 했다.Next, the flow rate of the flame forming gas injected from the flame-forming gas port 63 is increased to obtain Q2 = 0.000565 (m3 / sec), and the synthesis of the glass microparticles is carried out. And deposition of the glass fine particles 10 was observed. The conditions of Q1, S1 and S2 were the same as those described above.

이 때의, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = Q2/S2 = 4.5(m/초)이며, V2 = 0.3V1이었다. 즉, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유속 V2는 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유속 V1의 0.3배였다.At this time, the flow rate V2 of the flame forming gas was Q2 / S2 = 4.5 (m / sec) and V2 = 0.3V1. That is, the flow velocity V2 of the flame forming gas injected from the flame forming gas port 63 was 0.3 times the flow velocity V1 of the glass raw material gas injected from the raw material gas port 50.

또한, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유량을 증가시켜, Q2 = 0.00188(㎥/초)로 하여 유리 미립자의 합성을 실행하고, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적을 관찰했다. 또한, Q1, S1, S2는 상기와 동일한 조건으로 했다.Further, the flow rate of the flame forming gas injected from the flame forming gas port 63 is increased to obtain Q2 = 0.00188 (m3 / sec), whereby the glass microparticles are synthesized and the glass The deposition of the fine particles 10 was observed. The conditions of Q1, S1 and S2 were the same as those described above.

이 때의, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = Q2/S2 = 15.0(m/초)이며, V2 = 1.0V1이었다. 즉, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유속 V2는 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유속 V1의 1.0배였다.At this time, the flow rate V2 of the flame forming gas was Q2 / S2 = 15.0 (m / sec) and V2 = 1.0V1. That is, the flow velocity V2 of the flame forming gas injected from the flame forming gas port 63 was 1.0 times the flow velocity V1 of the glass raw material gas injected from the raw material gas port 50. [

마지막으로, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유량을 더욱 증가시켜, Q2 = 0.00226(㎥/초)으로 하여 유리 미립자의 합성을 실행하고, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적을 관찰했다. 또한, Q1, S1, S2는 상기와 동일한 조건으로 했다.Finally, the flow rate of the flame-forming gas injected from the flame-forming gas port 63 is further increased to Q2 = 0.00226 (m3 / sec), and the synthesis of the glass microparticles is carried out. The deposition of the glass microparticles 10 was observed. The conditions of Q1, S1 and S2 were the same as those described above.

이 때의, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = Q2/S2 = 18.0(m/초)이며, V2 = 1.2V1이었다. 즉, 화염 형성용 가스 포트(63)로부터 분사되는 화염 형성용 가스의 유속 V2는 원료 가스 포트(50)로부터 분사되는 유리 원료 가스의 유속 V1의 1.2배였다.At this time, the flow rate V2 of the flame forming gas was Q2 / S2 = 18.0 (m / sec) and V2 = 1.2V1. That is, the flow velocity V2 of the flame forming gas injected from the flame forming gas port 63 was 1.2 times the flow velocity V1 of the glass raw material gas injected from the raw material gas port 50.

상기 실험의 결과, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = 0.2V1의 경우, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적이 관찰되고, 청소해도 제거할 수 없었다. 이에 반하여, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = 0.3V1의 경우, 화염 형성용 가스의 흐름에 의해, 유리 원료 가스의 돌출부(80) 방향으로의 확산이 억제되어, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적량이 감소했다. 또한, 유리 미립자(10)의 퇴적 위치가 다중관 버너(5)의 하류측으로 변화했다. 관부(63A)의 내벽에 퇴적된 유리 미립자는 청소에 의해 용이하게 제거할 수 있었다. 또한, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = 1.0V1의 경우, 유리 원료 가스의 돌출부(80) 방향으로의 확산이 더욱 억제되어, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적이 전혀 생기지 않았다. 또한, 화염 형성용 가스의 유속 V2 = 1.2V1의 경우, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적은 전혀 생기지 않았지만, 유리 미립자 퇴적체(M)의 표면 온도가 저하되어, 유리 미립자 퇴적체의 제조를 할 수 없었다.As a result of the above experiment, deposition of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A was observed when the flow rate of the flame forming gas was V2 = 0.2 V1, and could not be removed even by cleaning. On the contrary, when the flow velocity V2 of the flame forming gas is V2 = 0.3V1, the diffusion of the glass raw material gas toward the projecting portion 80 is suppressed by the flow of the flame forming gas, The accumulation amount of the fine particles 10 decreased. In addition, the accumulation position of the glass microparticles 10 changed to the downstream side of the multi-tube burner 5. The glass microparticles deposited on the inner wall of the tube portion 63A could be easily removed by cleaning. Diffusion of the glass raw material gas in the direction of the protruding portion 80 is further suppressed and the deposition of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A does not occur at all in the case where the flow velocity V2 of the flame forming gas is 1.0 V1 I did. When the flow velocity V2 of the flame forming gas is 1.2 V1, the deposition of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A is not caused at all, but the surface temperature of the glass microparticle deposition body M is lowered, It was impossible to produce a particulate deposit.

이상의 실험에 부가하여, 시뮬레이션에 의해 돌출 길이 L, V1, V2를 변경한 경우의 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적량을 구했다.In addition to the above experiments, the accumulation amount of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A when the protruding lengths L, V1, and V2 were changed by simulation was obtained.

시뮬레이션은, 시판의 열유체 해석 소프트로 실행했다. 상기 실험에 있어서의 돌출 길이 L, V1, V2로 계산한 관부(63A)의 내벽 부근의 유리 미립자 농도와, 상기 실험에서 관찰한 퇴적량을 대응시키는 것에 의해, 돌출 길이 L, V1, V2를 변경한 경우를 시뮬레이션했다.The simulation was carried out using commercially available thermal fluid analysis software. V1 and V2 are changed by associating the concentrations of the glass microparticles in the vicinity of the inner wall of the tube portion 63A calculated by the projecting lengths L, V1 and V2 in the experiment with the accumulation amounts observed in the experiment One case was simulated.

표 1은 돌출 길이 L = 0.007×V1로 하고, V1, V2를 변경한 경우이다. 표 2는 돌출 길이 L = 0.010×V1로 하고, V1, V2를 변경한 경우이다. 표 3은 돌출 길이 L = 0.013×V1로 하고, V1, V2를 변경한 경우이다.Table 1 shows the case where the protruding length L = 0.007 x V1 and V1 and V2 are changed. Table 2 shows the case where V1 and V2 are changed with the protrusion length L = 0.010 x V1. Table 3 shows the case where the protruding length L = 0.013 x V1, and V1 and V2 are changed.

각 표의 결과에서는, 유리 미립자(10)의 퇴적량을, 「유(有)」, 「유(A)」(청소에 의해 용이하게 제거 가능한 양), 「무(無)」의 3개의 수준으로 나누어 표기하고 있다.In the results of the respective tables, the accumulation amount of the glass microparticles 10 is divided into three levels of "Yes", "A" (amount that can be easily removed by cleaning) and "No" It is divided into two.

또한, 상기 실험에서는 화염 형성용 가스의 유속 V2 = 1.2V1의 경우, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적은 전혀 생기지 않기는 했지만, 유리 미립자 퇴적체(M)의 표면 온도가 저하하여, 유리 미립자 퇴적체(M)의 제조를 할 수 없었으므로, 표 1 내지 표 3에 있어서의 V2가 1.2×V1의 경우는 마찬가지로 유리 미립자 퇴적체(M)의 표면 온도가 저하하는 것으로 고려된다. 이 때문에, V2가 1.2×V1인 경우는, 유리 미립자(10)의 퇴적량에 관계없이, 「온도 저하」로 표기하고 있다.In this experiment, although the deposition of the glass microparticles 10 on the inner wall of the tube portion 63A did not occur at all when the flow velocity V2 of the flame forming gas was 1.2V1, the surface temperature of the glass microparticle deposition body M The glass fine particle deposit M can not be produced. Therefore, when V2 in Tables 1 to 3 is 1.2 x V1, the surface temperature of the glass microparticle deposit M similarly decreases . For this reason, when V2 is 1.2 x V1, "temperature decrease" is indicated regardless of the accumulation amount of the glass fine particles 10. [

V2V2 V1(m/초)V1 (m / sec) 33 55 1010 1515 2020 2525 0.2×V10.2 x V1 유U 유U 유U 유U 유U 유U 0.3×V10.3 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 0.5×V10.5 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 0.7×V10.7 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 1.0×V11.0 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 1.2×V11.2 x V1 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop

V2V2 V1(m/초)V1 (m / sec) 33 55 1010 1515 2020 2525 0.2×V10.2 x V1 유U 유U 유U 유U 유U 유U 0.3×V10.3 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 0.5×V10.5 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 0.7×V10.7 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 1.0×V11.0 x V1 유(A)Yes (A) 무radish 무radish 무radish 무radish 유(A)Yes (A) 1.2×V11.2 x V1 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop

V2V2 V1(m/초)V1 (m / sec) 33 55 1010 1515 2020 2525 0.2×V10.2 x V1 유U 유U 유U 유U 유U 유U 0.3×V10.3 x V1 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 0.5×V10.5 x V1 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 0.7×V10.7 x V1 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 1.0×V11.0 x V1 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 유(A)Yes (A) 1.2×V11.2 x V1 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop 온도 저하Temperature drop

상기의 표 1 내지 표 3에 나타내는 결과로부터, V2가 V1의 0.3배 내지 0.7배의 범위이면, 상기 시뮬레이션 결과의 전체 돌출 길이 L, V1의 경우에 있어서, 관부(63A)의 내벽에의 유리 미립자(10)의 퇴적이 있어도 청소로 용이하게 제거할 수 있거나, 혹은 관부(63A)의 내벽에 전혀 유리 미립자(10)가 퇴적되지 않는 것을 확인할 수 있다. 또한, 돌출 길이 L이 V1×0.01 이하이면, 관부(63A)의 내벽에 전혀 퇴적되지 않는 경우가 보이는 것으로부터 보다 바람직하다는 것을 알 수 있다.또한, 원료 가스 포트(50)의 반경 r1이 클수록, 원료 가스 포트로부터 분사된 유리 원료 가스가 확산되기 쉽기 때문에, 원료 가스 포트(50)의 반경 r1이 큰 다중관 버너를 이용하는 경우가 특히 바람직하다.From the results shown in the above Tables 1 to 3, it can be understood that when V2 is in the range of 0.3 to 0.7 times V1, the total projecting length L, V1 of the simulation result shows that the glass microparticles It is possible to confirm that the glass microparticles 10 are not deposited on the inner wall of the tube portion 63A at all. It is to be noted that it is more preferable that the protrusion length L is not deposited at all on the inner wall of the tube portion 63A when the projection length L is V1 x 0.01 or less. It is particularly preferable to use a multi-tube burner having a large radius r1 of the raw material gas port 50 because the glass raw material gas injected from the raw material gas port is likely to diffuse.

이상, 본 발명을 상세하게 또한 특정의 실시형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하는 일 없이 여러 가지 변경이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에게 있어서 명확하다. 또한, 상기 설명한 구성 부재의 수, 위치, 형상 등은 상기 실시형태에 한정되지 않으며, 본 발명을 실시하는데 있어서 호적한 수, 위치, 형상 등으로 변경할 수 있다.While the present invention has been described in detail with reference to specific embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. The number, position, shape, and the like of the above-described constituent members are not limited to the above-described embodiment, and can be changed to a proper number, position, shape, and the like in the practice of the present invention.

예를 들면, 도 2a 및 도 2b에 도시하는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 돌출부를 2개 갖는 이단식 구조의 다중관 버너(5)를 이용하고 있지만 이것에 한정되지 않는다. 돌출부는 적어도 1개 마련되어 있으면 좋고, 예를 들어 도 2a 및 도 2b에 있어서 돌출부(80)만을 가진 일단식 구조의 다중관 버너라도 좋다.For example, as shown in Figs. 2A and 2B, the multi-tube burner 5 of two-stage structure having two projections is used, but the present invention is not limited to this. At least one protruding portion may be provided, and for example, a multi-tube burner of a single-piece structure having only the protruding portion 80 in Figs. 2A and 2B may be used.

1 : 제조 장치 2 : 반응 용기
3 : 승강 회전 장치 4 : 가스 공급 장치
5 : 다중관 버너 6 : 제어부
10 : 유리 미립자 31 : 지지봉
32 : 출발 로드 41 : 유리 원료
43 : MFC 44 : 공급 배관
50 : 원료 가스 포트
61, 65, 69 : (제 1) 화염 형성용 가스 포트
63, 67, 71 : (제 2) 화염 형성용 가스 포트
62, 64, 66, 68, 70 : (제３) 화염 형성용 가스 포트
50A, 61A 내지 71A : 관부 80 : 돌출부
L : 돌출 길이 M : 유리 미립자 퇴적체
T1 : 두께 T2 : 개구 두께1: Manufacturing apparatus 2: Reaction container
3: lifting and rotating device 4: gas supply device
5: multi-pipe burner 6:
10: glass microparticles 31: support rod
32: Starting rod 41: Glass raw material
43: MFC 44: Supply piping
50: raw material gas port
61, 65, 69: (1) flame forming gas port
63, 67, 71: (second) flame forming gas port
62, 64, 66, 68, 70: (third) flame forming gas port
50A, 61A to 71A: tube portion 80:
L: protrusion length M: glass microparticle deposition body
T1: thickness T2: opening thickness

Claims (2)

복수의 가스 포트를 갖는 다중관 버너의 중심의 가스 포트로부터 유리 원료 가스를 분사하는 동시에 상기 중심의 가스 포트의 외측의 복수의 가스 포트로부터 화염 형성용 가스를 분사하고, 상기 화염 형성용 가스에 의해 형성되는 화염 내에서 상기 유리 원료 가스를 화염 분해 반응시켜 유리 미립자를 합성하는 유리 미립자의 합성 방법에 있어서,
상기 다중관 버너는, 그 가스 분사측 단부면에 상기 중심의 가스 포트보다 하류측으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있으며,
상기 돌출부보다 내측에 있는 가스 포트 중 적어도 1개의 가스 포트로부터, 상기 중심의 가스 포트로부터 분사되는 가스 유속 V1의 0.3배 이상 1.0배 이하의 유속 V2가 되도록 상기 화염 형성용 가스를 분사하여 유리 미립자의 합성을 실행하는
유리 미립자의 합성 방법.A method of manufacturing a multi-tube burner having a plurality of gas ports, comprising the steps of: injecting a glass raw material gas from a gas port at the center of a multi-tube burner, injecting a flame forming gas from a plurality of gas ports outside the central gas port A method for synthesizing glass microparticles by synthesizing glass microparticles by subjecting the glass microparticle gas to a flame decomposition reaction in a formed flame,
Wherein the multi-tube burner has a protruding portion protruding downstream from the central gas port on the gas spraying end surface,
The flame forming gas is jetted from at least one gas port of the gas ports located on the inner side of the projecting portion so as to have a flow velocity V2 of not less than 0.3 times and not more than 1.0 times the gas flow velocity V1 emitted from the central gas port, To perform the synthesis
(Method for synthesizing glass fine particles). 청구항 1에 있어서,
상기 중심의 가스 포트의 가스 유속 V1은 5m/초 이상 20m/초 이하이며,
상기 돌출부의 돌출 길이가 V1×0.01초 이하인
유리 미립자의 합성 방법.The method according to claim 1,
The gas flow velocity V1 of the gas port at the center is not less than 5 m / sec and not more than 20 m /
Wherein a protrusion length of the protrusion is V1 x 0.01 seconds or less
(Method for synthesizing glass fine particles).
KR1020187030838A 2016-04-26 2017-04-26 Method for synthesizing glass microparticles KR102484035B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2016-087695 2016-04-26
JP2016087695 2016-04-26
PCT/JP2017/016591 WO2017188334A1 (en) 2016-04-26 2017-04-26 Method of synthesizing glass microparticles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180136457A true KR20180136457A (en) 2018-12-24
KR102484035B1 KR102484035B1 (en) 2023-01-02

Family

ID=60159858

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020187030838A KR102484035B1 (en) 2016-04-26 2017-04-26 Method for synthesizing glass microparticles

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6874761B2 (en)
KR (1) KR102484035B1 (en)
CN (1) CN109071296B (en)
WO (1) WO2017188334A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111377607B (en) * 2020-04-24 2022-02-08 黄宏琪 A conveyor that is used for tombarthite and codoping agent raw materials steam of MCVD

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6355135A (en) * 1986-08-27 1988-03-09 Sumitomo Electric Ind Ltd Production of optical fiber preform
JPH04228443A (en) * 1991-05-13 1992-08-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Burner for producing optical fiber preform
JPH05147965A (en) * 1991-07-23 1993-06-15 Sumitomo Electric Ind Ltd Production of glass base material
JP2003238166A (en) * 2002-02-21 2003-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for producing glass particulate deposition body
JP2005029448A (en) * 2003-07-10 2005-02-03 Shin Etsu Chem Co Ltd Method for manufacturing optical fiber preform
JP2012031052A (en) * 2010-06-28 2012-02-16 Asahi Glass Co Ltd Method for producing glass body and method for producing optical member for euv lithography
JP2013241288A (en) * 2012-05-18 2013-12-05 Furukawa Electric Co Ltd:The Burner for glass fine particle deposition and method for producing glass fine particle deposited body
JP2015030642A (en) 2013-08-05 2015-02-16 住友電気工業株式会社 Multiple pipe burner for manufacturing glass fine particle deposition body and method for manufacturing glass fine particle deposition body

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02275725A (en) * 1989-04-17 1990-11-09 Sumitomo Electric Ind Ltd Production of vitreous fine granule accumulation
JP3705169B2 (en) * 2000-09-14 2005-10-12 住友電気工業株式会社 Method for producing porous glass body

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6355135A (en) * 1986-08-27 1988-03-09 Sumitomo Electric Ind Ltd Production of optical fiber preform
JPH04228443A (en) * 1991-05-13 1992-08-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Burner for producing optical fiber preform
JPH05147965A (en) * 1991-07-23 1993-06-15 Sumitomo Electric Ind Ltd Production of glass base material
JP2003238166A (en) * 2002-02-21 2003-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for producing glass particulate deposition body
JP2005029448A (en) * 2003-07-10 2005-02-03 Shin Etsu Chem Co Ltd Method for manufacturing optical fiber preform
JP2012031052A (en) * 2010-06-28 2012-02-16 Asahi Glass Co Ltd Method for producing glass body and method for producing optical member for euv lithography
JP2013241288A (en) * 2012-05-18 2013-12-05 Furukawa Electric Co Ltd:The Burner for glass fine particle deposition and method for producing glass fine particle deposited body
JP2015030642A (en) 2013-08-05 2015-02-16 住友電気工業株式会社 Multiple pipe burner for manufacturing glass fine particle deposition body and method for manufacturing glass fine particle deposition body

Also Published As

Publication number Publication date
CN109071296B (en) 2021-07-30
CN109071296A (en) 2018-12-21
WO2017188334A1 (en) 2017-11-02
KR102484035B1 (en) 2023-01-02
JP6874761B2 (en) 2021-05-19
JPWO2017188334A1 (en) 2019-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5935882B2 (en) Method for producing glass particulate deposit and method for producing glass base material
JP3705169B2 (en) Method for producing porous glass body
JP2006248884A (en) Method and apparatus for manufacturing porous glass preform
KR20180136457A (en) Method of synthesizing glass microparticles
US7143612B2 (en) Method of manufacturing glass particulate sedimentary body, and method of manufacturing glass base material
US20060162389A1 (en) Burner for chemical vapour deposition of glass
JP2021110041A (en) Shower head assembly and component
JP2015093816A (en) Manufacturing method for glass fine particle deposit and manufacturing method for glass preform
JP6086168B2 (en) Method for producing glass particulate deposit and method for producing glass base material
US8001808B2 (en) Disassemblable burner for a vapor deposition process
JP2007076957A (en) Burner for glass synthesis and method of manufacturing glass fine particle deposit using the burner
JP5651675B2 (en) Porous glass manufacturing apparatus and manufacturing method, and optical fiber preform manufacturing method
JP5598872B2 (en) Optical fiber preform manufacturing method
JP2020090405A (en) Synthetic silica glass manufacturing apparatus
CN113165933B (en) Burner for producing glass soot body, apparatus and method for producing glass soot body
WO2022224725A1 (en) Burner, device for producing glass microparticle deposit, and method for producing glass microparticle deposit
JP2012041227A (en) Method for producing porous glass preform
JP5168772B2 (en) Method for producing glass particulate deposit
WO2022224804A1 (en) Device and method for manufacturing glass preform for optical fiber
JPH0222137A (en) Production of synthetic quartz preform
CN111386248B (en) Apparatus and method for manufacturing glass preform for optical fiber
JP2023184015A (en) Method for manufacturing glass preform
JP2004307290A (en) Burner and method of manufacturing glass preform
JP2005179077A (en) Method and apparatus for manufacturing porous preform, and synthetic quartz glass manufactured by using the method of manufacturing porous preform
JP2015030642A (en) Multiple pipe burner for manufacturing glass fine particle deposition body and method for manufacturing glass fine particle deposition body

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant