JP2006248884A - Method and apparatus for manufacturing porous glass preform - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置に係り、バーナからガラス原料ガス及び燃焼ガスを含むガスを噴き出し、ガラス微粒子を生成して、ガラス微粒子を出発材に堆積させることにより多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置に関するものである。 The present invention relates to a method and an apparatus for producing a porous glass base material. The porous glass base material is produced by ejecting a gas containing a glass raw material gas and a combustion gas from a burner, generating glass fine particles, and depositing the glass fine particles on a starting material. The present invention relates to a porous glass base material manufacturing method and a manufacturing apparatus for manufacturing a glass base material.
多孔質ガラス母材の製造方法として、反応容器内の出発材に、バーナから噴き出されるガラス原料ガス及び燃焼ガスの火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を堆積させて、多孔質ガラス母材を製造する際に、エアーを供給することが知られている(例えば特許文献1参照)。 As a method for producing a porous glass base material, glass fine particles generated by a flame hydrolysis reaction of a glass raw material gas and a combustion gas ejected from a burner are deposited on a starting material in a reaction vessel to obtain a porous glass base material. In manufacturing, it is known to supply air (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1に記載の多孔質ガラス母材の製造方法では、製造装置にバーナ収納部に隣接してバーナに流れるエアーの流れを整流する整流ボックスが設けられており、反応容器において整流ボックスと対向する側壁にはリデューサ部及び排気管が設けられている。
したがって、整流ボックスから供給されたエアーは、スートの合成に寄与しなかった火炎等とともにリデューサ部及び排気管を介して、スクラバに排気されるようになっている。
In the method for producing a porous glass base material described in
Therefore, the air supplied from the rectifying box is exhausted to the scrubber through the reducer and the exhaust pipe together with the flame that did not contribute to the soot synthesis.
ところで、エアーをバーナの周囲に供給してバーナの火炎を整流させてガラス微粒子を堆積させる際に、エアーの流速が遅すぎる場合にはバーナの火炎が堆積面に届く前に広がり、ガラス微粒子が出発材へ向けて流れる作用が小さくなるため、堆積せずに反応容器内部に飛散するガラス微粒子が増加して、反応容器内面や多孔質ガラス母材の他の部位に付着しやすくなる。反応容器内面にガラス微粒子が付着し、その塊がはがれて多孔質ガラス母材に落ちると、後に透明ガラス化した際の不良箇所発生の原因となったり、場合によっては多孔質ガラス母材を破損してしまうこともある。また、反応容器内に浮遊している余剰のガラス微粒子が多孔質ガラス母材の堆積中でない他の箇所に付着した場合でも、後に透明ガラス化した際の不良箇所発生の原因となってしまう。 By the way, when supplying air around the burner to rectify the flame of the burner to deposit glass particles, if the air flow rate is too slow, the burner flame spreads before reaching the deposition surface, and the glass particles Since the action flowing toward the starting material is reduced, the glass fine particles scattered inside the reaction vessel without being deposited increase, and easily adhere to the inner surface of the reaction vessel and other parts of the porous glass base material. If the glass particles adhere to the inner surface of the reaction vessel and the lump is peeled off and falls on the porous glass base material, it may cause defective parts when it is converted to transparent glass later, or the porous glass base material may be damaged in some cases. Sometimes it ends up. Further, even when surplus glass fine particles floating in the reaction vessel adhere to other places where the porous glass base material is not being deposited, it becomes a cause of occurrence of defective places when the glass is later made into transparent glass.
一方、エアーの流速が速すぎる場合には、負圧が生じてバーナの火炎が不安定になり、ガラス微粒子の堆積効率(収率)が低下してしまうという不都合があった。 On the other hand, when the air flow rate is too high, negative pressure is generated, the flame of the burner becomes unstable, and the deposition efficiency (yield) of the glass particles is reduced.
本発明の目的は、バーナの火炎を安定させて堆積効率を向上させ、高品質な多孔質ガラス母材を効率良く生産することができる多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a porous glass base material that can stabilize the flame of the burner to improve the deposition efficiency and can efficiently produce a high-quality porous glass base material. It is in.
上記課題を解決することのできる本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法は、バーナからガラス原料ガス及び燃焼ガスを含むガスを噴き出し、ガラス微粒子を生成して、前記ガラス微粒子を出発材に堆積させる際に、前記バーナの周囲から前記出発材に向けて整流された清浄化ガスを供給する多孔質ガラス母材の製造方法であって、
前記ガラス原料ガスの供給流速及び前記バーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応して前記清浄化ガスの供給流速を所定の範囲に制御することを特徴としている。
The method for producing a porous glass base material according to the present invention capable of solving the above-mentioned problems is to eject a gas containing a glass raw material gas and a combustion gas from a burner to generate glass fine particles, and use the glass fine particles as a starting material. A method for producing a porous glass base material for supplying cleaning gas rectified from the periphery of the burner toward the starting material when depositing,
The cleaning gas supply flow rate is controlled within a predetermined range corresponding to at least one of the glass raw material gas supply flow rate and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner.
このように構成された多孔質ガラス母材の製造方法では、バーナから噴き出されるガラス原料ガスの供給流速及びバーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに応じてバーナの周囲に供給される整流された清浄化ガスの供給流速を制御するので、バーナの火炎を適度に整えて安定させることができる。これにより、反応容器内に浮遊する未堆積のガラス微粒子を極力減少させて、ガラス微粒子の堆積効率を向上させ、不良箇所の発生を抑制しつつ安定した多孔質ガラス母材の生産を行うことができる。
なお、清浄化ガスとは、ガラス微粒子を出発材に堆積させる反応容器内を清浄にするための気体であり、窒素ガスやクリーンエア等が使用される。
また、供給流速とは、ガスの噴き出し口での単位断面積あたりの流量とする。
In the porous glass base material manufacturing method configured as described above, the glass raw material gas is supplied to the periphery of the burner according to at least one of the supply flow rate of the glass raw material gas ejected from the burner and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner. Since the supply flow rate of the rectified cleaning gas is controlled, the flame of the burner can be appropriately adjusted and stabilized. This reduces undeposited glass particles floating in the reaction vessel as much as possible, improves the deposition efficiency of glass particles, and produces a stable porous glass base material while suppressing the occurrence of defective parts. it can.
The cleaning gas is a gas for cleaning the inside of the reaction vessel in which the glass particles are deposited on the starting material, and nitrogen gas, clean air, or the like is used.
The supply flow rate is a flow rate per unit cross-sectional area at the gas outlet.
また、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法において、前記清浄化ガスの供給流速が、前記ガラス原料ガスの供給流速及び前記バーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかの0.3〜1.0倍となるように制御することが好ましい。 Further, in the method for producing a porous glass base material according to the present invention, the cleaning gas supply flow rate is at least one of the glass material gas supply flow rate and the average gas supply flow rate of the gas blown from the burner. It is preferable to control to be -1.0 times.
このように構成された多孔質ガラス母材の製造方法では、清浄化ガスの供給流速が、ガラス原料ガスの供給流速及びバーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対して適度な0.3倍〜1.0倍となるように制御されることにより、不良箇所の発生抑制と堆積効率向上とを効果的に図ることができる。 In the method for producing a porous glass base material configured in this manner, the cleaning gas supply flow rate is appropriate to at least one of the glass raw material gas supply flow rate and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner. By controlling to be 3 to 1.0 times, it is possible to effectively suppress the occurrence of defective portions and improve the deposition efficiency.
また、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法において、前記清浄化ガスを噴き出す噴出口の幅(前記出発材の径方向に対する幅)が、多孔質ガラス母材の仕上がり外径の1.5倍以上であることが好ましい。 In the method for producing a porous glass base material according to the present invention, the width of the jet outlet for ejecting the cleaning gas (the width with respect to the radial direction of the starting material) is 1. It is preferably 5 times or more.
このように構成された多孔質ガラス母材の製造方法では、整流された清浄化ガスを噴き出す幅が、最終的な多孔質ガラス母材の仕上がり外径の1.5倍以上となるので、供給される清浄化ガスの整流を、ガラス微粒子の堆積開始から終了まで常時多孔質ガラス母材の周囲に安定して流すことができる。 In the manufacturing method of the porous glass base material configured as described above, the width of the rectified cleaning gas that is blown out is 1.5 times or more the final outer diameter of the final porous glass base material. The rectification of the cleaning gas can be constantly flowed around the porous glass base material from the start to the end of the deposition of the glass fine particles.
また、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造装置は、回転する出発材を収容する反応容器と、ガラス原料ガス及び燃焼ガスを含むガスを噴き出してガラス微粒子を生成するバーナと、前記出発材と前記バーナとを前記出発材の軸方向に相対的に移動させる移動手段と、前記バーナの周囲から前記出発材に向けて清浄化ガスを供給する清浄化ガス供給手段とを備えた多孔質ガラス母材の製造装置であって、前記清浄化ガスの供給流量を前記ガラス原料ガスの供給流速及び前記バーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応して所定の範囲に制御する制御部を備えていることを特徴としている。 Further, the porous glass preform manufacturing apparatus according to the present invention includes a reaction vessel that contains a rotating starting material, a burner that generates glass fine particles by ejecting a gas containing a glass raw material gas and a combustion gas, and the starting material. And a porous glass comprising a moving means for relatively moving the burner in the axial direction of the starting material, and a cleaning gas supplying means for supplying a cleaning gas from the periphery of the burner toward the starting material A base material manufacturing apparatus for controlling a supply flow rate of the cleaning gas to a predetermined range corresponding to at least one of a supply flow rate of the glass raw material gas and an average supply flow rate of the gas ejected from the burner. It is characterized by having.
このように構成された多孔質ガラス母材の製造装置では、反応容器内の出発材に対して、移動手段により相対的に移動するバーナからガラス原料ガス及び燃焼ガスを噴き付けてガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を製造する際に、清浄化ガス供給手段から供給される清浄化ガスの流量をガラス原料ガスの供給流速及びバーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応して制御するので、ガラス微粒子の堆積効率を向上させ、不良箇所の発生を抑制しつつ安定した多孔質ガラス母材の生産を行うことができる。 In the porous glass base material manufacturing apparatus configured as described above, the glass raw material gas and the combustion gas are sprayed from the burner relatively moved by the moving means to the starting material in the reaction vessel to deposit the glass particles. When the porous glass base material is manufactured, the flow rate of the cleaning gas supplied from the cleaning gas supply means corresponds to at least one of the supply flow rate of the glass raw material gas and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner. Therefore, it is possible to improve the deposition efficiency of the glass fine particles and to produce a stable porous glass base material while suppressing the occurrence of defective portions.
本発明によれば、バーナの周囲から出発材へ向けて供給する清浄化ガスの流れを、ガラス原料ガスの供給流速及びバーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応して制御するため、バーナの火炎を安定化させた状態で多孔質ガラス母材の生産を行うことができる。そのため、多孔質ガラス母材を効率良く安定して製造できるとともに、透明ガラス化した際の不良箇所の発生を抑制することができる。 According to the present invention, the flow of the cleaning gas supplied from the periphery of the burner toward the starting material is controlled in accordance with at least one of the supply flow rate of the glass raw material gas and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner. The porous glass base material can be produced with the flame of the burner stabilized. Therefore, while being able to manufacture a porous glass base material efficiently and stably, generation | occurrence | production of the defect location at the time of turning into transparent glass can be suppressed.
以下、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置の実施形態の例を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明に係る多孔質ガラス母材の製造装置の一実施形態を示す概略構成図であり、図2はクリーンエアの流速と光ファイバの断線回数(断線率)との関係を示すグラフであり、図3はクリーンエアの流速と堆積効率との関係を示すグラフである。
Hereinafter, an example of an embodiment of a method for manufacturing a porous glass base material and a manufacturing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a porous glass preform manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a graph showing the relationship between the flow rate of clean air and the number of disconnections (disconnection rate) of an optical fiber. FIG. 3 is a graph showing the relationship between the flow rate of clean air and the deposition efficiency.
図1に示すように、本実施形態の多孔質ガラス母材の製造装置10は、回転する出発材11を収容する反応容器20と、ガラス原料ガス40aと燃焼ガス40bとの火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子を出発材11に向けて噴き付けるバーナ12と、出発材11とバーナ12とを相対的に移動させる移動手段13と、反応容器20内に清浄化ガスであるクリーンエア30aを供給するためのクリーンエア供給手段(清浄化ガス供給手段)であるクリーンエア発生器30とを備えている。そして、クリーンエア30aの流量をガラス原料ガス40a及び燃焼ガス40bの流量に対応して所定の範囲に制御する制御部50を備えている。なお、クリーンエア30aは、清浄化された空気である。清浄化の度合は特に限られず、多孔質ガラス母材14に不良箇所を発生させない程度に清浄であれば良い。
As shown in FIG. 1, the
反応容器20の上壁20cには貫通穴20dが設けられており、出発材11がこの貫通穴20dを上下方向に挿通するように配置される。出発材11は、上端が回転チャック26に把持されて回転されるとともに、移動手段13により上下方向に往復移動するようになっている。
このように、出発材11を回転させながらその軸方向に沿って往復移動させることにより、出発材11の表面にガラス微粒子を均一に堆積させて多孔質ガラス母材14を製造するようにしている。すなわち、多孔質ガラス母材の製造装置10は、OVD法により多孔質ガラス母材14を製造する装置構成となっている。
A through hole 20d is provided in the
As described above, the porous
反応容器20の入り口側側壁20aには、クリーンエア発生器30から配管31を介してクリーンエア30aが供給されるクリーンエア供給室21が設けられている。クリーンエア30aの噴き出し口であるクリーンエア供給室21の内径は、最終的に形成される多孔質ガラス母材14の仕上がり外径(すなわち最大径)の1.5倍以上とするのが望ましい。
これにより、製造中の多孔質ガラス母材14の全幅に、堆積開始から終了まで均一にクリーンエア30aを噴き付けることができ、反応容器20内に浮遊する余剰のガラス微粒子を減少させることができる。
A clean
Thereby, the
なお、クリーンエア供給室21の断面形状は、本実施形態では丸型としたが、これに限定されるものではなく、四角型等、他の形状であっても良い。その際、クリーンエア30aを噴き出すクリーンエア供給室21の断面において、出発材11の径方向に対する幅が、多孔質ガラス母材14の仕上がり外径の1.5倍以上であることが望ましい。
In addition, although the cross-sectional shape of the clean
また、クリーンエア供給室21内の、配管31の接続口であるクリーンエア入り口21aとクリーンエア供給室21の開口部との間には、クリーンエア供給室21の断面を覆う整流板22が取り付けられており、この整流板22を通過することによりクリーンエア30aは整流状態で反応容器20内部に供給される。整流板22としては、例えば網状の板やハニカム形状の板を複数重ねたり、あるいは多数の筒を並べることにより、多数のクリーンエア30aの通路を形成したものを使用することができる。
In addition, a
なお、クリーンエア発生器30では、供給されるクリーンエア30aの流量が制御部50のクリーンエア流量制御部51によって調整されるようになっている。また、配管31には流量計32が設けられており、配管31内を流れるクリーンエアの流量を測定して、測定結果を制御部50にフィードバックしている。これにより、単位時間あたり所望の量のクリーンエア30aを供給できるようにしている。
In the
また、クリーンエア供給室21の中心を貫通してバーナ12が水平に取り付けられており、先端は整流板22の中心を貫通して反応容器20内部に突出している。バーナ12はガスを噴き出すポートが同心円状に形成され、ガスの種類毎に噴き出すポートが決められた多重管(例えば9重管)バーナを使用すると良い。バーナ12は、ポートごとに設けられた配管41(図1は1本のみを図示)によりガス供給装置40に接続されており、水素及び酸素の燃焼ガス40bや四塩化珪素(SiCl4)のガラス原料ガス40aが供給されるようになっている。また、ガス供給装置40は燃焼ガス供給装置及び原料ガス供給装置からなり、制御部50のガス流量制御部52によって制御されて、燃焼ガス40bやガラス原料ガス40aの供給量がバーナ12の各ポートごとに調整されるようになっている。また、その他のシールガス等の供給装置も適宜設けられ、バーナ12の所定のポートに供給される。
Further, the
反応容器20の出口側側壁20bには、反応容器20内の気体を吸い込んで排気するダクト23が外に向かって設けられており、廃ガス処理装置24に接続されている。また、ダクト23の内部には排気量を調整するための排気弁25が設けられている。
なお、排気弁25の開度は、反応容器20内の気圧が一定となるように、制御部50内の排気弁制御部53によって調整されるようになっている。
A
The opening degree of the
制御部50は、クリーンエア流量制御部51、ガス流量制御部52及び排気弁制御部53等を有している。
クリーンエア流量制御部51では、流量計32からフィードバックされる流量信号及びガス流量制御部52からのガラス原料ガス40a等のガス流量に基づいて、所望の量のクリーンエア30aを反応容器20へ供給するようにクリーンエア発生器30を制御する。このとき、クリーンエア流量制御部51では、供給するクリーンエア30aの流量と整流板22の断面積とから、整流板22を通過して出発材11に向かって流れるクリーンエア30aの供給流速が算出される。
また、ガス流量制御部52では、ガス流量制御部52がガス供給装置40に指令するガスの供給流量(バーナ12から噴き出すガスの流量)とポートの断面積とから、バーナ12から噴き出すガスの供給流速が算出される。
The
The clean air flow
Further, in the gas flow
このように構成された制御部50は、バーナ12から噴き出すガスのうちガラス原料ガス40aの供給流速に対応して、クリーンエア供給室21から整流板22を通して出発材11に向けて供給するクリーンエア30aの供給流速が所定の倍率となるように、クリーンエアの供給流量を制御する。また、制御部50制御方法を、バーナ12から噴き出す全てのガスの平均供給流速に対応してクリーンエアの供給流量を制御するようにしても良い。噴き出すガスの平均供給流速は、バーナ12から噴き出すガス供給流量の総和をバーナ12の先端のポート断面積で割ることで算出できる。
The
次に、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法について説明する。
反応容器20内において回転する出発材11に対して、相対的に移動するバーナ12から噴き出されるガラス原料ガス40a及び燃焼ガス40bの火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子を堆積させて、多孔質ガラス母材14を製造する際に、バーナ12の周囲から整流されたクリーンエア30aを供給する。そして、制御部50が、バーナ12から噴き出されるガラス原料ガス40aの供給流速に対応してクリーンエア30aの供給流量を所定の範囲に制御(すなわち供給流速を制御)する。
Next, the manufacturing method of the porous glass base material which concerns on this invention is demonstrated.
The glass fine particles produced by the flame hydrolysis reaction of the glass raw material gas 40a and the combustion gas 40b ejected from the relatively moving
反応容器20内のバーナ12の周囲に供給されるクリーンエア30aの供給流速は、クリーンエア発生器30から供給されるクリーンエア30aの供給量(体積)と、ダクト23から吸い出されるクリーンエア30aの量により決定される。このため、制御部50のクリーンエア流量制御部51は、ガス流量制御部52からのガラス原料ガス40aの供給流速のデータに基づいてクリーンエア30aの供給流速を算出し、このときの供給流速に対応してクリーンエア発生器30を制御して所望の量のクリーンエア30aを発生させるとともに、排気弁制御部53に排気弁25の開度を指令して、排気弁制御部53により排気弁25の開度を制御する。
The supply flow rate of the
図2には、クリーンエア30aの供給流速と、製造された多孔質ガラス母材14から最終的に製造された光ファイバの断線回数(断線率)との関係が示されている。すなわち、製造された多孔質ガラス母材14は、透明ガラス化されて光ファイバ母材が形成され、この光ファイバ母材から線引きにより光ファイバが形成されて巻き取られるが、多孔質ガラス母材14に不良箇所があると、線引き過程で行われるスクリーニングにより断線する。この断線回数が、図2に示すように、クリーンエア30aの流速がガラス原料ガス40a等の流速の0.3倍未満の場合に急増する。このことから、クリーンエア30aの供給流速を、ガラス原料ガス40aの供給流速の0.3倍以上とするのが望ましい。
FIG. 2 shows the relationship between the supply flow rate of the
一方、図3には、クリーンエア30aの供給流速と、ガラス微粒子の堆積効率との関係が示されている。
図3に示すように、クリーンエア30aの供給流速が、ガラス原料ガス40aの供給流速の1.0倍を超えると、ガラス微粒子の堆積効率が低下する。このことから、クリーンエア30aの供給流速を、ガラス原料ガス40aの供給流速の1.0倍以下とするのが望ましい。
すなわち、クリーンエア30aの供給流速は、ガラス原料ガス40aの供給流速の0.3〜1.0倍であるのが望ましい。これにより、クリーンエア30aの供給流速が遅すぎる場合に生じやすい不良箇所の発生を抑制させることができるとともに、供給流速が速すぎる場合に生じやすい収率の低下を回避することができる。
On the other hand, FIG. 3 shows the relationship between the supply flow rate of the
As shown in FIG. 3, when the supply flow rate of the
That is, it is desirable that the supply flow rate of the
なお、上記の実施形態では、クリーンエア30aの供給流速を制御する基準としてガラス原料ガス40aの供給流速を用いたが、ガラス原料ガス40aや燃焼ガス40bを含む、バーナ12から噴き出す全てのガスの平均供給流速を基準として用いることもできる。なお、ガラス原料ガス40aとして、ガラスに添加物(ゲルマニウムやフッ素等)を添加するためのガスも含まれて良い。また、ガラス原料ガス40aの供給流速とバーナ12から噴き出す全てのガスの平均供給流速の両方のデータを基準としてクリーンエア30aの供給流速を制御しても良い。
In the above embodiment, the supply flow rate of the glass raw material gas 40a is used as a reference for controlling the supply flow rate of the
以上説明したように、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置によれば、バーナ12から噴き出すガラス原料ガス40aの供給流速及びバーナ12から噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応してバーナ12の周囲に供給される整流されたクリーンエア30aの供給流速を制御するので、バーナ12の火炎を適度に安定させることができる。これにより、反応容器20内に浮遊する余剰のガラス微粒子を減少させてガラス微粒子の堆積効率を向上させ、安定した多孔質ガラス母材14の生産を行うことができることになる。
As described above, according to the method and apparatus for producing a porous glass base material according to the present invention, at least one of the supply flow rate of the glass raw material gas 40 a ejected from the
このように、本発明に係る多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置は、不良箇所を少なくして高品質の多孔質ガラス母材を安定して製造することが可能であるため、例えばGI型等のマルチモード光ファイバのコア部分を作成するのに好適である。
また、本発明において行われるクリーンエアの制御は、多孔質ガラス母材の両端に形成される肩部にガラス微粒子を堆積させるときは行わなくても良い。
Thus, since the manufacturing method and manufacturing apparatus of the porous glass base material which concern on this invention can reduce a defective location and can manufacture a high quality porous glass base material stably, for example, GI It is suitable for forming a core portion of a multimode optical fiber such as a mold.
The clean air control performed in the present invention may not be performed when glass particles are deposited on the shoulders formed at both ends of the porous glass base material.
なお、本発明の多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置は、前述した実施形態に限定されるものでなく、適宜な変形、改良等が可能である。
例えば前述した多孔質ガラス母材の製造装置10では、出発材11を上下方向に支持して、バーナ12を水平方向に設けたいわゆる縦型の装置に付いて説明したが、出発材11を水平に支持し、上下方向にバーナ12を設ける横型とすることもできる。
In addition, the manufacturing method and manufacturing apparatus of the porous glass base material of this invention are not limited to embodiment mentioned above, A suitable deformation | transformation, improvement, etc. are possible.
For example, in the porous glass base
また、上記の実施形態の例では、OVD法により多孔質ガラス母材を製造する方法を対象として説明したが、本発明の多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置は、回転する出発材を引き上げながらガラス微粒子を堆積させ、出発材の軸方向に多孔質ガラス母材を成長させていく、所謂VAD法によって多孔質ガラス母材を製造する方法においても同様に採用することができる。例えば、特開昭62−171939号公報に記載の多孔質光ファイバ母材の製造装置に対して、本発明の多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置の構成を応用することも可能である。 Moreover, in the example of the above embodiment, the method for manufacturing the porous glass base material by the OVD method has been described. However, the manufacturing method and the manufacturing apparatus for the porous glass base material of the present invention use a rotating starting material. The same can be applied to a method for producing a porous glass preform by a so-called VAD method in which glass fine particles are deposited while being pulled up and a porous glass preform is grown in the axial direction of the starting material. For example, it is also possible to apply the porous glass preform manufacturing method and the configuration of the manufacturing apparatus of the present invention to the porous optical fiber preform manufacturing apparatus described in JP-A-62-1171939. .
10 多孔質ガラス母材の製造装置
11 出発材
12 バーナ
13 移動手段
14 多孔質ガラス母材
20 反応容器
21 クリーンエア供給室(噴き出し口)
30 クリーンエア発生器(清浄化ガス供給手段)
30a クリーンエア(清浄化ガス)
40a ガラス原料ガス
40b 燃焼ガス
50 制御部
DESCRIPTION OF
30 Clean air generator (cleaning gas supply means)
30a Clean air (cleaning gas)
40a Glass source gas
Claims (4)
前記ガラス原料ガスの供給流速及び前記バーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応して前記清浄化ガスの供給流速を所定の範囲に制御することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 A cleaning gas rectified from the periphery of the burner toward the starting material when a gas containing glass raw material gas and combustion gas is ejected from the burner to generate glass fine particles and the glass fine particles are deposited on the starting material A method for producing a porous glass base material,
The cleaning gas supply flow rate is controlled within a predetermined range corresponding to at least one of the glass raw material gas supply flow rate and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner. Production method.
前記清浄化ガスの供給流量を前記ガラス原料ガスの供給流速及び前記バーナから噴き出すガスの平均供給流速の少なくとも何れかに対応して所定の範囲に制御する制御部を備えていることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。 A reaction vessel containing a rotating starting material, a burner that generates glass fine particles by ejecting a gas containing a glass raw material gas and a combustion gas, and the starting material and the burner relatively move in the axial direction of the starting material An apparatus for producing a porous glass base material, comprising: a moving means for cleaning; and a cleaning gas supply means for supplying a cleaning gas from the periphery of the burner toward the starting material,
A control unit that controls the supply flow rate of the cleaning gas to a predetermined range corresponding to at least one of the supply flow rate of the glass raw material gas and the average supply flow rate of the gas ejected from the burner is provided. Porous glass base material manufacturing equipment.
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