JP2003206154A - Burner device for manufacturing porous optical fiber preform and method for manufacturing porous optical fiber preform using the same - Google Patents

Burner device for manufacturing porous optical fiber preform and method for manufacturing porous optical fiber preform using the same

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JP2003206154A
JP2003206154A JP2002006684A JP2002006684A JP2003206154A JP 2003206154 A JP2003206154 A JP 2003206154A JP 2002006684 A JP2002006684 A JP 2002006684A JP 2002006684 A JP2002006684 A JP 2002006684A JP 2003206154 A JP2003206154 A JP 2003206154A
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glass
nozzles
diameter
optical fiber
nozzle group
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JP2002006684A
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Manabu Saito
学 齋藤
Hisami Nagata
久美 永田
Masahiro Horikoshi
雅博 堀越
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B2207/06Concentric circular ports
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/42Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a burner device for manufacturing a porous optical fiber preform, which enhances the efficiency of synthesis reaction of fine glass particles and the deposition efficiency of fine glass particles in manufacture of a porous optical fiber preform, and to provide a method for manufacturing the porous optical fiber preform using the burner device. <P>SOLUTION: In the burner device for manufacturing the porous optical fiber preform, when the diameter of the innermost one of concentric circles on which small-diameter nozzles 3, 3,... are arranged in a burner 10 for glass synthesis is represented by Dp, the number of the nozzles 3, 3,... arranged on the concentric circles by N and the outside diameter by Dn, the formula 1.0≤N.Dn/Dp≤2.2 is satisfied. When the outside diameter of a nozzle disposed at the outermost position of a first group 1 of nozzles is represented by D2, the formula 2.0≤äDp<SP>2</SP>-(N.Dn<SP>2</SP>/2)}/D2<SP>2</SP>≤4.0 is satisfied. When the outside diameter of a nozzle disposed at the innermost position of the first group 1 of nozzles is represented by D1, the formula 8≤äDp<SP>2</SP>-(N.Dn<SP>2</SP>/2)}/D1<SP>2</SP>≤35 is satisfied. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ多孔質
母材製造用バーナ装置およびこれを用いた光ファイバ多
孔質母材の製造方法に関し、特に、酸水素炎中でガラス
原料ガスを反応させてガラス微粒子を合成し、これを回
転する出発部材の外周部の径方向に堆積する外付け法に
用いられる光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置およ
びこれを用いた光ファイバ多孔質母材の製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a burner device for producing an optical fiber porous preform and a method for producing an optical fiber porous preform using the burner device, and more particularly to reacting a glass raw material gas in an oxyhydrogen flame. Of the optical fiber porous preform used in the external attachment method for synthesizing glass fine particles and depositing them in the radial direction of the outer circumference of the rotating starting member and the optical fiber porous preform using the burner device. It relates to a manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバは、光ファイバ母材を溶融線
引きして製造される。また、光ファイバ母材の製造方法
としては、VAD法、OVD法、MCVD法、PCVD
法などの方法がある。なかでも、OVD(Outside Vapo
r Phase Deposition)法は、四塩化ケイ素(SiC
4)、四塩化ゲルマニウム(GeCl4)などのガラス
原料ガスを、酸素、水素とともに火炎中で加水分解反応
または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、その軸回
りに回転するコアとなるガラス材を備えた円柱形の出発
部材の外周部の径方向に、ガラス微粒子(スート)を堆
積させて複数層からなる多孔質層を形成して光ファイバ
用多孔質材とし、これを電気炉中で脱水、焼結しながら
透明ガラス化し、光ファイバ母材を製造する方法であ
る。このような光ファイバ母材を溶融線引きして製造さ
れる光ファイバは、純度、その他の品質に優れたものと
なる。
2. Description of the Related Art Optical fibers are manufactured by melting and drawing an optical fiber preform. Further, as a method for manufacturing the optical fiber preform, VAD method, OVD method, MCVD method, PCVD method are used.
There are methods such as law. Among them, OVD (Outside Vapo
r Phase Deposition method is based on silicon tetrachloride (SiC
glass materials such as l 4 ), germanium tetrachloride (GeCl 4 ) and the like, are subjected to a hydrolysis reaction or an oxidation reaction in a flame with oxygen and hydrogen to synthesize glass fine particles, and a glass material serving as a core rotating around its axis. In the radial direction of the outer peripheral portion of the cylindrical starting member provided with, glass fine particles (soot) are deposited to form a porous layer consisting of a plurality of layers to form a porous material for an optical fiber, which is used in an electric furnace. This is a method of producing an optical fiber preform by forming transparent glass while dehydrating and sintering. An optical fiber manufactured by melting and drawing such an optical fiber preform has excellent purity and other qualities.

【0003】OVD法において、光ファイバ多孔質母材
を形成する工程において用いられるガラス合成用バーナ
10の端面は、例えば、図1に示すような構造をなして
いる。このガラス合成用バーナ10の端面において、そ
の中心にノズル1a、1bからなる第1のノズル群1が
設けられ、この第1のノズル群1の周囲に、第1のノズ
ル群1と中心軸を同じくして、ノズル2a、2bからな
る第2のノズル群2が設けられている。また、第1のノ
ズル群1と第2のノズル群2の間で、第1のノズル群1
の同心円上には、複数個の内径および外径の等しい小口
径ノズル3、3、…が配列された円環状の小口径ノズル
の列4a、4bからなる小口径ノズル群4が設けられて
いる。また、ノズル1aが第1の噴出口11をなし、ノ
ズル1aとノズル1bの間の部分が第2の噴出口12を
なし、ノズル1bとノズル2aの間の部分が第3の噴出
口13をなし、ノズル2aとノズル2bの間の部分が第
4の噴出口14をなし、小口径ノズルの列4aが第5の
噴出口15をなし、小口径ノズルの列4bが第6の噴出
口16をなしている。
In the OVD method, the end face of the glass synthesizing burner 10 used in the step of forming the optical fiber porous preform has a structure as shown in FIG. 1, for example. A first nozzle group 1 composed of nozzles 1a and 1b is provided at the center of the end face of the glass synthesizing burner 10, and the first nozzle group 1 and the central axis are provided around the first nozzle group 1. Similarly, a second nozzle group 2 including nozzles 2a and 2b is provided. Further, between the first nozzle group 1 and the second nozzle group 2, the first nozzle group 1
On the concentric circles, a small diameter nozzle group 4 is provided, which is composed of rows 4a and 4b of annular small diameter nozzles in which a plurality of small diameter nozzles 3, 3, ... . Further, the nozzle 1a constitutes the first ejection port 11, the portion between the nozzle 1a and the nozzle 1b constitutes the second ejection port 12, and the portion between the nozzle 1b and the nozzle 2a constitutes the third ejection port 13. None, the portion between the nozzles 2a and 2b constitutes the fourth ejection port 14, the row 4a of small diameter nozzles constitutes the fifth ejection port 15, and the row 4b of small diameter nozzles constitutes the sixth ejection port 16 Is doing.

【0004】OVD法において、ガラス微粒子を合成す
るには、一般的に、第1の噴出口11からは、例えばS
iCl4などのガラス原料ガス、および酸素または水素
などの添加ガスを供給し、第3の噴出口13からは水素
などの可燃性ガスを供給し、第5の噴出口15および第
6の噴出口16からは酸素などの支燃性ガスを供給す
る。
In the OVD method, in order to synthesize fine glass particles, generally, for example, S from the first jet port 11 is used.
A glass raw material gas such as iCl 4 and an additive gas such as oxygen or hydrogen are supplied, a combustible gas such as hydrogen is supplied from the third ejection port 13, a fifth ejection port 15 and a sixth ejection port A combustion-supporting gas such as oxygen is supplied from 16.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、高速
通信の需要の増加に伴って、光ファイバの生産量も年々
増加している。そのため、光ファイバの製造コストを低
減するために、光ファイバの製造に供される光ファイバ
母材が大型化する傾向にある。OVD法による光ファイ
バ多孔質母材の製造においては、ガラス原料ガスの供給
量を多くすることにより、ガラス微粒子の出発部材への
堆積速度を速め、光ファイバ多孔質母材の製造時間を短
縮することができる。
By the way, in recent years, as the demand for high-speed communication has increased, the production amount of optical fibers has been increasing year by year. Therefore, in order to reduce the manufacturing cost of the optical fiber, the optical fiber preform used for manufacturing the optical fiber tends to increase in size. In the production of the optical fiber porous preform by the OVD method, the deposition rate of the glass fine particles on the starting member is increased by increasing the supply amount of the glass raw material gas, and the production time of the optical fiber porous preform is shortened. be able to.

【0006】しかしながら、単にガラス原料ガスの供給
量を多くするだけでは、ガラス微粒子の堆積速度を速め
ることはできるが、ガラス微粒子の合成反応にかかわら
ずに排気されてしまうガラス原料ガスの量も増加してし
まい、ガラス微粒子の堆積効率が大きく低下してしまう
ため、結果として、製造コストを低減することができな
い。したがって、大型の光ファイバ母材を製造するため
には、光ファイバ多孔質母材の製造におけるガラス微粒
子の合成反応の効率や、ガラス微粒子の出発部材への堆
積効率を上げることが、非常に重要な課題となってい
る。
However, the deposition rate of the glass fine particles can be increased by simply increasing the supply amount of the glass raw material gas, but the amount of the glass raw material gas exhausted regardless of the synthesis reaction of the glass fine particles also increases. As a result, the deposition efficiency of the glass particles is greatly reduced, and as a result, the manufacturing cost cannot be reduced. Therefore, in order to produce a large-sized optical fiber preform, it is very important to increase the efficiency of the synthesis reaction of the glass fine particles in the production of the optical fiber porous preform and the deposition efficiency of the glass fine particles on the starting member. Has become a problem.

【0007】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、光ファイバ多孔質母材の製造において、ガラス微粒
子の合成反応の効率およびガラス微粒子の堆積効率を向
上する光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置およびこ
れを用いた光ファイバ多孔質母材の製造方法を提供する
ことを課題とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in the production of the optical fiber porous preform, the production of the optical fiber porous preform which improves the efficiency of the synthesis reaction of the glass fine particles and the deposition efficiency of the glass fine particles. An object of the present invention is to provide a burner device for use and a method for manufacturing an optical fiber porous preform using the burner device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記課題は、中心軸を同
じくして配列された1列または複数列のノズルからなる
第1のノズル群と、該第1のノズル群の周囲に、該第1
のノズル群と中心軸を同じくして配列された1列または
複数列のノズルからなる第2のノズル群と、前記第1の
ノズル群と前記第2のノズル群の間に、前記第1のノズ
ル群の同心円上に、複数個の内径および外径の等しい小
口径ノズルが配列されてなる1列または複数列の小口径
ノズル群とを備えたガラス合成用バーナと、該ガラス合
成用バーナにガラス原料ガス、酸素、水素および不活性
ガスを供給するガス供給源と、これらのガスの流量また
は流速を制御するガス制御部を備えた光ファイバ多孔質
母材製造用バーナ装置であって、前記ガラス合成用バー
ナにおいて、前記小口径ノズルが配置された同心円のう
ち、最も内側の同心円の直径をDp、該最も内側の同心
円上に配置された小口径ノズルの数をN、該小口径ノズ
ルの外径をDnとすると、これらの関係が1.0≦N・
Dn/Dp≦2.2である光ファイバ多孔質母材製造用
バーナ装置によって解決できる。前記ガラス合成用バー
ナにおいて、前記第1のノズル群の最も外側に配列され
たノズルの外径をD2、前記小口径ノズルが配置された
同心円のうち、最も内側の同心円の直径をDp、前記小
口径ノズルの外径をDnとすると、これらの関係が2.
0≦{Dp2−(N・Dn2/2)}/D22≦4.0であ
ることが好ましい。前記ガラス合成用バーナにおいて、
前記第1のノズル群の最も内側に配列されたノズルの外
径をD1、前記小口径ノズルが配置された同心円のう
ち、最も内側の同心円の直径をDp、前記小口径ノズル
の外径をDnとすると、これらの関係が8≦{Dp2
(N・Dn2/2)}/D12≦35であることが好まし
い。
Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are as follows: a first nozzle group consisting of one row or a plurality of rows of nozzles arranged with the same central axis, and the first nozzle group around the first nozzle group. 1
Between the first nozzle group and the second nozzle group, and a second nozzle group composed of one row or a plurality of rows of nozzles arranged with the same central axis as that of the first nozzle group. A glass synthesizing burner having a single row or a plurality of rows of small diameter nozzle groups in which a plurality of small diameter nozzles having the same inner diameter and outer diameter are arranged on a concentric circle of the nozzle group, and the glass synthesizing burner. A burner device for producing an optical fiber porous preform, comprising a glass source gas, a gas supply source for supplying oxygen, hydrogen and an inert gas, and a gas control unit for controlling the flow rate or flow velocity of these gases, In the burner for glass synthesis, among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged, the diameter of the innermost concentric circle is Dp, the number of small diameter nozzles arranged on the innermost concentric circle is N, and the number of the small diameter nozzles is Outer diameter is Dn And that, these relationships 1.0 ≦ N ·
This can be solved by a burner device for producing an optical fiber porous preform with Dn / Dp ≦ 2.2. In the burner for synthesizing glass, the outer diameter of the outermost nozzle of the first nozzle group is D2, the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged is Dp, If the outer diameter of the caliber nozzle is Dn, these relationships are 2.
0 ≦ {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} / D2 is preferably 2 ≦ 4.0. In the glass synthesis burner,
The outer diameter of the nozzles arranged in the innermost side of the first nozzle group is D1, the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged is Dp, and the outer diameter of the small diameter nozzles is Dn. Then, if these relationships are 8 ≦ {Dp 2
(N · Dn 2/2) } / D1 is preferably 2 ≦ 35.

【0009】前記課題は、中心軸を同じくして配列され
た1列または複数列のノズルからなる第1のノズル群
と、該第1のノズル群の周囲に、該第1のノズル群と中
心軸を同じくして配列された1列または複数列のノズル
からなる第2のノズル群と、前記第1のノズル群と前記
第2のノズル群の間に、前記第1のノズル群の同心円上
に、複数個の内径および外径の等しい小口径ノズルが配
列されてなる1列または複数列の小口径ノズル群とを備
えたガラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火
炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子
を合成し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部
の径方向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファ
イバ多孔質ガラス母材の製造方法において、前記小口径
ノズルが配置された同心円のうち、最も内側の同心円の
直径をDp、該最も内側の同心円上に配置された小口径
ノズルの数をN、該小口径ノズルの外径をDnとする
と、これらの関係を1.0≦N・Dn/Dp≦2.2と
する多孔質ガラス母材の製造方法によって解決できる。
前記第1のノズル群の最も外側に配列されたノズルの外
径をD2、前記小口径ノズルが配置された同心円のう
ち、最も内側の同心円の直径をDp、前記小口径ノズル
の外径をDnとすると、これらの関係を2.0≦{Dp2
−(N・Dn2/2)}/D22≦4.0とすることが好
ましい。前記第1のノズル群の最も内側に配列されたノ
ズルの外径をD1、前記小口径ノズルが配置された同心
円のうち、最も内側の同心円の直径をDp、前記小口径
ノズルの外径をDnとすると、これらの関係を8≦{D
2−(N・Dn2/2)}/D12≦35とすることが好
ましい。
The above-mentioned problem is that the first nozzle group is composed of one or more rows of nozzles arranged with the same central axis, and the first nozzle group is centered around the first nozzle group. A second nozzle group consisting of one or more rows of nozzles arranged with the same axis, and between the first nozzle group and the second nozzle group on a concentric circle of the first nozzle group. In addition, the glass raw material gas is hydrolyzed in a flame by using a glass synthesizing burner equipped with one or more rows of small diameter nozzle groups in which a plurality of small diameter nozzles having the same inner diameter and outer diameter are arranged. In the method for producing an optical fiber porous glass preform, a glass fine particle is synthesized by a reaction or an oxidation reaction, and the glass fine particle is deposited in the radial direction of the outer periphery of a rotating starting member to obtain an optical fiber porous preform. The small diameter nozzle is arranged When the diameter of the innermost concentric circle is Dp, the number of small diameter nozzles arranged on the innermost concentric circle is N, and the outer diameter of the small diameter nozzle is Dn, these relationships are 1. This can be solved by the method for producing a porous glass preform with 0 ≦ N · Dn / Dp ≦ 2.2.
The outer diameter of the nozzles arranged on the outermost side of the first nozzle group is D2, the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged is Dp, and the outer diameter of the small diameter nozzles is Dn. Then, if these relations are 2.0 ≦ {Dp 2
- It is preferable that the (N · Dn 2/2) } / D2 2 ≦ 4.0. The outer diameter of the nozzles arranged in the innermost side of the first nozzle group is D1, the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged is Dp, and the outer diameter of the small diameter nozzles is Dn. Then, if these relations are 8 ≦ {D
p 2 - is preferably a (N · Dn 2/2) } / D1 2 ≦ 35.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図1は、光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガラ
ス合成用バーナの一例を示す概略構成図である。本発明
の光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置は、ガラス合
成用バーナ10と、このガラス合成用バーナ10にガラ
ス原料ガス、酸素、水素、不活性ガスを供給するガス供
給源(図示略)と、これらのガスの流量または流速を制
御するガス制御部(図示略)とから概略構成されてい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention is described in detail below.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a glass synthesizing burner used for manufacturing an optical fiber porous preform. The burner device for producing an optical fiber porous preform of the present invention is a burner 10 for glass synthesis, and a gas supply source (not shown) for supplying glass raw material gas, oxygen, hydrogen, and an inert gas to the burner 10 for glass synthesis. And a gas control unit (not shown) that controls the flow rate or flow velocity of these gases.

【0011】ガス供給源は、ガラス原料ガス、酸素、水
素、不活性ガスなどが充填されたガスボンベ(図示略)
などからなり、ガラス合成用バーナ10の後端部に、ガ
ス供給管路(図示略)を介して接続されている。また、
ガス制御部は、電磁バルブ、流量制御装置などからな
り、上述のガス供給管路の中途に設けられており、この
流量制御装置により、ガスの流量または流速を制御する
ものである。
The gas supply source is a gas cylinder (not shown) filled with glass material gas, oxygen, hydrogen, inert gas, etc.
And the like, and is connected to the rear end of the glass synthesizing burner 10 via a gas supply conduit (not shown). Also,
The gas control unit is composed of an electromagnetic valve, a flow rate control device, and the like, and is provided in the middle of the above-described gas supply line, and the flow rate control device controls the flow rate or flow velocity of the gas.

【0012】ガラス合成用バーナ10は、外径40〜6
0mm程度の円筒形で、一般的には、石英ガラスで形成
されている。ガラス合成用バーナ10を構成する第1の
ノズル群1のノズル1aの内径は2.5〜6mm程度、
ノズル1bの内径は4〜10mm程度となっている。ま
た、第2のノズル群2のノズル2aの内径は25〜45
mm程度、ノズル2bの内径は35〜55mm程度とな
っている。また、小口径ノズル3の内径は1〜2mm程
度となっており、小口径ノズルの列4aの直径は10〜
30mm程度、小口径ノズルの列4bの直径は15〜4
0mm程度となっている。
The glass synthesizing burner 10 has an outer diameter of 40 to 6
It has a cylindrical shape of about 0 mm, and is generally made of quartz glass. The inner diameter of the nozzle 1a of the first nozzle group 1 constituting the glass synthesizing burner 10 is about 2.5 to 6 mm,
The inner diameter of the nozzle 1b is about 4 to 10 mm. Further, the inner diameter of the nozzle 2a of the second nozzle group 2 is 25 to 45.
mm, and the inner diameter of the nozzle 2b is about 35 to 55 mm. The inner diameter of the small diameter nozzle 3 is about 1 to 2 mm, and the diameter of the row 4a of small diameter nozzles is 10 to 10.
Approximately 30 mm, the diameter of the row 4b of small diameter nozzles is 15-4
It is about 0 mm.

【0013】ガラス合成用バーナ10にあっては、上述
の小口径ノズルの列4aすなわち小口径ノズルが配置さ
れた第1のノズル群1の同心円のうち、最も内側の同心
円の直径をDp、この同心円上に配置された小口径ノズ
ル3の数をN、この小口径ノズル3の外径をDnとする
と、これらの関係が1.0≦N・Dn/Dp≦2.2で
あることが好ましく、より好ましくは1.2≦N・Dn
/Dp≦2.0である。N・Dn/Dpが1.0未満で
は、ガラス原料ガスの反応効率が低下し、ガラス原料ガ
スの加水分解反応または酸化反応が十分に行なわれなく
なり、結果としてガラス微粒子の堆積効率も低下する。
一方、N・Dn/Dpが2.2を超えると、小口径ノズ
ル群4の周辺を通過する水素などの可燃性ガスに対する
流路の抵抗が大きくなり、小口径ノズル群4の周辺で可
燃性ガスの流速が低下する。これにより、小口径ノズル
群4の近傍で、小口径ノズル群4から噴出する酸素など
の支燃性ガスと可燃性ガスの反応が起こり易くなり、結
果として、小口径ノズル群4の先端部などが削れて、ガ
ラス合成用バーナ10が劣化することがある。
In the glass synthesizing burner 10, the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles of the above-mentioned row 4a of small diameter nozzles, that is, the first nozzle group 1 in which the small diameter nozzles are arranged, is Dp. Assuming that the number of small-diameter nozzles 3 arranged on the concentric circle is N and the outer diameter of the small-diameter nozzle 3 is Dn, it is preferable that these relations be 1.0 ≦ N · Dn / Dp ≦ 2.2. , And more preferably 1.2 ≦ N · Dn
/Dp≦2.0. When N · Dn / Dp is less than 1.0, the reaction efficiency of the glass raw material gas is lowered, the hydrolysis reaction or the oxidation reaction of the glass raw material gas is not sufficiently performed, and as a result, the deposition efficiency of the glass fine particles is also lowered.
On the other hand, when N · Dn / Dp exceeds 2.2, the resistance of the flow path to combustible gas such as hydrogen passing around the small diameter nozzle group 4 increases, and the flammability around the small diameter nozzle group 4 increases. The gas flow rate decreases. As a result, in the vicinity of the small diameter nozzle group 4, the reaction of the combustible gas with the combustion supporting gas such as oxygen ejected from the small diameter nozzle group 4 easily occurs, and as a result, the tip portion of the small diameter nozzle group 4 and the like. The glass synthesizing burner 10 may deteriorate due to abrasion.

【0014】また、ガラス合成用バーナ10にあって
は、上述のノズル1bすなわち第1のノズル群1の最も
外側に配置されたノズルの外径をD2とすると、D2、
DpおよびDnの関係が2.0≦{Dp2−(N・Dn2
/2)}/D22≦4.0であることが好ましく、より好
ましくは2.2≦{Dp2−(N・Dn2/2)}/D22
≦3.8である。{Dp2−(N・Dn2/2)}/D22
が2.0未満では、小口径ノズル群4の周辺で可燃性ガ
スが不足し、ガラス原料ガスの加水分解反応または酸化
反応が進行し難くなり、結果としてガラス微粒子の堆積
効率が低下する。一方、{Dp2−(N・Dn2/2)}/
D22が4.0を超えると、可燃性ガスと支燃性ガスの
反応する位置がガラス原料ガスから離れ過ぎるため、ガ
ラス原料ガスの加水分解反応または酸化反応が進行し難
くなり、結果としてガラス微粒子の堆積速度が低下す
る。
In the glass synthesizing burner 10, if the outer diameter of the nozzle 1b, that is, the outermost nozzle of the first nozzle group 1, is D2, then D2,
The relationship between Dp and Dn is 2.0 ≦ {Dp 2 − (N · Dn 2
/ 2)} / D2 is preferably 2 ≦ 4.0, more preferably 2.2 ≦ {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} / D2 2
≦ 3.8. {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} / D2 2
Is less than 2.0, the flammable gas is insufficient around the small diameter nozzle group 4, and the hydrolysis reaction or the oxidation reaction of the glass raw material gas is difficult to proceed, and as a result, the deposition efficiency of the glass fine particles is reduced. On the other hand, {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} /
When D2 2 exceeds 4.0, the position where the flammable gas reacts with the combustion-supporting gas is too far from the glass raw material gas, so that the hydrolysis reaction or the oxidation reaction of the glass raw material gas is difficult to proceed, and as a result, the glass The particulate deposition rate is reduced.

【0015】また、ガラス合成用バーナ10にあって
は、上述のノズル1aすなわち第1のノズル群1の最も
内側に配置されたノズルの外径をD1とすると、D1、
DpおよびDnの関係が8.0≦{Dp2−(N・Dn2
/2)}/D12≦35であることが好ましく、より好ま
しくは8.0≦{Dp2−(N・Dn2/2)}/D12
24である。{Dp2−(N・Dn2/2)}/D12
8.0未満では、ガラス原料ガス周辺の可燃性ガスの量
が少なくなるため、ガラス原料ガスの加水分解反応また
は酸化反応が十分に進行しなくなる。一方、{Dp2
(N・Dn2/2)}/D12が35を超えると、ガラス
原料ガス周辺における可燃性ガスと支燃性ガスの反応が
起こり難くなる上に、ガラス微粒子がガラス合成用バー
ナ10から離れた位置で合成されるようになるから、ガ
ラス微粒子の堆積速度が低下する。
Further, in the glass synthesizing burner 10, assuming that the outer diameter of the above-mentioned nozzle 1a, that is, the nozzle arranged at the innermost side of the first nozzle group 1, is D1, D1,
The relationship between Dp and Dn is 8.0 ≦ {Dp 2 − (N · Dn 2
/ 2)} / D1 is preferably 2 ≦ 35, more preferably 8.0 ≦ {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} / D1 2 ≦
24. The - {Dp 2 (N · Dn 2/2)} / D1 2 is less than 8.0, the amount of combustible gas near the glass raw material gas is reduced, the glass raw material gas hydrolysis reaction or oxidation reaction is sufficiently Will not progress to. On the other hand, {Dp 2
When (N · Dn 2/2) } / D1 2 exceeds 35, on which hardly occur reaction of combustible gas and combustion-supporting gas in the surrounding glass material gas, the glass particles away from the burner 10 for synthesizing glass Since the particles are synthesized at different positions, the deposition rate of glass particles decreases.

【0016】ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、使
用したガラス原料ガスが全て化学反応によってガラス微
粒子に変化したと仮定したときのガラス微粒子の総量に
対する、出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の総
量の割合で定義するものである。また、堆積速度とは、
単位時間当りに出発部材の表面に堆積されたガラス微粒
子の重量で表されるものである。
Here, the deposition efficiency of the glass fine particles means the glass fine particles deposited on the surface of the starting member with respect to the total amount of the glass fine particles when it is assumed that all the glass raw material gases used have been changed into the glass fine particles by the chemical reaction. It is defined by the ratio of the total amount of. What is the deposition rate?
It is represented by the weight of the glass particles deposited on the surface of the starting member per unit time.

【0017】なお、図1には、本発明の光ファイバ多孔
質母材の製造装置に備えられるガラス合成用バーナの一
例を示したが、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造装
置に備えられるガラス合成用バーナは、これに限定され
るものではない。本発明の光ファイバ多孔質母材の製造
装置に備えられるガラス合成用バーナは、図1に示した
ガラス合成用バーナ10と類似の構造を有するものであ
ればよい。これは、D1、D2、Dp、Dn、Nの各パ
ラメーターが定まれば、その他の要素が本発明に与える
影響はほとんどないからである。
Although FIG. 1 shows an example of a glass synthesizing burner provided in the optical fiber porous preform producing apparatus of the present invention, it is provided in the optical fiber porous preform producing apparatus of the present invention. The burner for synthesizing glass is not limited to this. The glass synthesizing burner provided in the optical fiber porous preform manufacturing apparatus of the present invention may have a structure similar to that of the glass synthesizing burner 10 shown in FIG. This is because if the parameters D1, D2, Dp, Dn, and N are determined, other elements have almost no effect on the present invention.

【0018】以下、本発明の光ファイバ多孔質母材の製
造方法について説明する。本発明の光ファイバ多孔質母
材の製造方法では、例えば、その軸回りに回転するコア
となるガラス材を備えた円柱形の出発部材の表面に、ガ
ラス合成用バーナ10の第1の噴出口11からSiCl
4などのガラス原料ガスと酸素の混合ガスを供給し、第
3の噴出口13から水素を供給し、第5の噴出口15お
よび第6の噴出口16から酸素を供給して、ガラス合成
用バーナ10の酸水素炎中における加水分解反応によ
り、ガラス微粒子を合成し、このガラス微粒子を、出発
部材の表面に半径方向に堆積し、光ファイバ多孔質母材
を得る。
The method for producing the optical fiber porous preform of the present invention will be described below. In the method for producing an optical fiber porous preform of the present invention, for example, the first ejection port of the glass synthesizing burner 10 is formed on the surface of a cylindrical starting member provided with a glass material serving as a core that rotates around its axis. 11 to SiCl
For the glass synthesis, a mixed gas of glass raw material gas such as 4 and oxygen is supplied, hydrogen is supplied from the third ejection port 13 and oxygen is supplied from the fifth ejection port 15 and the sixth ejection port 16. The glass fine particles are synthesized by the hydrolysis reaction of the burner 10 in the oxyhydrogen flame, and the glass fine particles are deposited in the radial direction on the surface of the starting member to obtain the optical fiber porous preform.

【0019】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法
によれば、上記のようなガラス合成用バーナ10を備え
た光ファイバ多孔質母材の製造装置を用いることによ
り、ガラス微粒子の堆積効率が向上する。また、ガラス
原料ガスの供給量を増加させても、堆積効率が大きく低
下することがないため、堆積速度も大幅に向上する。し
たがって、光ファイバ多孔質母材の製造コストを低減す
ることができる。ゆえに、低コストで、光ファイバ母材
を大型化することができる。
According to the method for producing an optical fiber porous preform of the present invention, by using the optical fiber porous preform producing apparatus provided with the glass synthesizing burner 10 as described above, the deposition efficiency of fine glass particles is improved. Is improved. Further, even if the supply amount of the glass raw material gas is increased, the deposition efficiency does not significantly decrease, so that the deposition rate is significantly improved. Therefore, the manufacturing cost of the optical fiber porous preform can be reduced. Therefore, the optical fiber preform can be increased in size at low cost.

【0020】以下、図1を用いて具体的な実施例を示
し、本発明の効果を明らかにする。 (実施例)図1に示したガラス合成用バーナ10におい
て、D1、D2、DpおよびDnの各寸法とNの値を表
1に示したようなものを用意した。また、ノズル1aの
外径をD1+1.5mmとし、ノズル1bの内径をD2
−1.5mmとし、ノズル2aの内径を32mm、外径
を35mmとし、ノズル2bの内径を38mm、外径を
42mmとし、小口径ノズルの列4bの直径をDp+
7.0mmとした。次いで、外径30mm、長さ110
0mmの石英ガラスからなる円柱形の出発部材を用意し
た。次いで、この出発部材の両端部を把持具で把持し、
出発部材を水平に配置した。次いで、この出発部材を、
その中心軸を中心にして回転させながら、上記のガラス
合成用バーナ10を用いて、ガラス微粒子を合成し、ガ
ラス合成用バーナ10を、出発部材の長手方向と平行に
移動させならが、ガラス微粒子を、回転する出発部材の
半径方向に堆積して、円柱形の光ファイバ多孔質母材を
得た。このとき、出発部材の回転速度を30rpmとし
た。また、第1の噴出口11からはガラス原料ガスの四
塩化ケイ素(SiCl4)と、酸素を3l/分噴出し、
第3の噴出口13からは水素を50l/分噴出し、第5
の噴出口15および第6の噴出口16からは酸素を25
l/分噴出し、その他の噴出口からはアルゴンを2l/
分噴出した。第1の噴出口11から噴出するSiCl4
流量を4l/分、5l/分、6l/分と変化させて、各
流量において、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積す
る際に、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。結果を表
2、図2および図3に示す。なお、表2中、X=N・D
n/Dp、Y={Dp2−(N・Dn2/2)}/D2 2
Z={Dp2−(N・Dn2/2)}/D12とする。
A concrete embodiment will be shown below with reference to FIG.
Then, the effect of the present invention is clarified. (Example) Odor of the glass synthesis burner 10 shown in FIG.
The D1, D2, Dp and Dn dimensions and the N value.
The one shown in 1 was prepared. In addition, the nozzle 1a
The outer diameter is D1 + 1.5 mm, and the inner diameter of the nozzle 1b is D2
-1.5 mm, the inner diameter of the nozzle 2a is 32 mm, the outer diameter
Is 35 mm, the inner diameter of the nozzle 2b is 38 mm, and the outer diameter is
42 mm, and the diameter of the row 4b of small diameter nozzles is Dp +
It was 7.0 mm. Next, outer diameter 30 mm, length 110
Prepare a cylindrical starting member made of 0 mm quartz glass
It was Then, grip both ends of this starting member with a gripping tool,
The starting member was placed horizontally. Then, this starting member
While rotating around its central axis, the above glass
Using the synthesis burner 10, glass fine particles are synthesized and
Place the lath synthesizing burner 10 parallel to the longitudinal direction of the starting member.
If you move the glass particles,
Radially deposited to form a cylindrical optical fiber porous preform
Obtained. At this time, the rotation speed of the starting member is set to 30 rpm.
It was In addition, from the first ejection port 11, the glass raw material gas
Silicon chloride (SiClFour), And spouting oxygen at 3 l / min,
Hydrogen is ejected from the third ejection port 13 at 50 l / min,
From the jet port 15 and the sixth jet port 16 of
l / min jetting, 2 l / g of argon from other jets
Minutes gushed out. SiCl ejected from the first ejection port 11Fourof
By changing the flow rate to 4 l / min, 5 l / min, 6 l / min,
Deposit glass particles on the surface of the starting material at the flow rate
The deposition efficiency of the glass particles was examined during the measurement. Table of results
2, shown in FIGS. 2 and 3. In Table 2, X = ND
n / Dp, Y = {Dp2-(N ・ Dn2/ 2)} / D2 2,
Z = {Dp2-(N ・ Dn2/ 2)} / D12And

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】[0022]

【表2】 [Table 2]

【0023】表2、図2および図3の結果から、1.0
≦X≦2.2、2.0≦Y≦4.0、8≦Z≦35であ
れば、ガラス微粒子の堆積効率が60%以上の高効率に
なることが確認された。また、ガラス原料ガスの流量を
増加しても、ガラス微粒子の堆積効率が大きく低下しな
いことが確認された。
From the results shown in Table 2 and FIGS. 2 and 3, 1.0
It was confirmed that if ≦ X ≦ 2.2, 2.0 ≦ Y ≦ 4.0, and 8 ≦ Z ≦ 35, the deposition efficiency of the glass particles is 60% or more. It was also confirmed that the deposition efficiency of the glass particles was not significantly reduced even if the flow rate of the glass raw material gas was increased.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイ
バ多孔質母材製造用バーナ装置によれば、ガラス原料ガ
スの反応効率が向上し、結果としてガラス微粒子の堆積
効率が向上する。また、ノズルの先端部などが削れて、
ガラス合成用バーナが劣化することがない。また、ガラ
ス原料ガスの流量を増加しても、ガラス微粒子の堆積効
率が大きく低下することがないから、ガラス微粒子の堆
積速度を大幅に向上させることができる。したがって、
光ファイバ多孔質母材の製造コストを低減することがで
きる。ゆえに、低コストで、光ファイバ母材を大型化す
ることができる。
As described above, according to the burner apparatus for producing an optical fiber porous preform of the present invention, the reaction efficiency of the glass raw material gas is improved, and as a result, the deposition efficiency of the glass fine particles is improved. Also, the tip of the nozzle is scraped off,
The burner for glass synthesis does not deteriorate. Further, even if the flow rate of the glass raw material gas is increased, the deposition efficiency of the glass fine particles does not significantly decrease, so that the deposition rate of the glass fine particles can be significantly improved. Therefore,
The manufacturing cost of the optical fiber porous preform can be reduced. Therefore, the optical fiber preform can be increased in size at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガ
ラス合成用バーナの一例を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a glass synthesizing burner used for manufacturing an optical fiber porous preform.

【図2】 ガラス合成用バーナを構成するノズルの寸法
とガラス微粒子の堆積効率との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the size of a nozzle constituting a glass synthesizing burner and the deposition efficiency of glass particles.

【図3】 ガラス合成用バーナを構成するノズルの寸法
とガラス微粒子の堆積効率との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the size of a nozzle that constitutes a burner for synthesizing glass and the deposition efficiency of glass particles.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・第1のノズル群、1a,1b,2a,2b・・・ノズ
ル、2・・・第2のノズル群、3・・・小口径ノズル、4・・・
小口径ノズル群、4a,4b・・・小口径ノズルの列、1
0・・・ガラス合成用バーナ、11・・・第1の噴出口、12
・・・第2の噴出口、13・・・第3の噴出口、14・・・第4
の噴出口、15・・・第5の噴出口、16・・・第6の噴出口
1 ... 1st nozzle group, 1a, 1b, 2a, 2b ... nozzle, 2 ... 2nd nozzle group, 3 ... small diameter nozzle, 4 ...
Small diameter nozzle group, 4a, 4b ... Row of small diameter nozzles, 1
0 ... Burner for glass synthesis, 11 ... First jet port, 12
... Second jet, 13 ... Third jet, 14 ... Fourth
No. 5 ejection port, 15 ... No. 5 ejection port, 16 ... No. 6 ejection port

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀越 雅博 千葉県佐倉市六崎1440番地 株式会社フジ クラ佐倉事業所内 Fターム(参考) 3K017 CB02 CD03 CH02 4G014 AH16 4G021 EA03    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Masahiro Horikoshi             Fuji Co., Ltd. 1440 Rokuzaki, Sakura City, Chiba Prefecture             Kura Sakura Office F-term (reference) 3K017 CB02 CD03 CH02                 4G014 AH16                 4G021 EA03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中心軸を同じくして配列された1列また
は複数列のノズルからなる第1のノズル群と、該第1の
ノズル群の周囲に、該第1のノズル群と中心軸を同じく
して配列された1列または複数列のノズルからなる第2
のノズル群と、前記第1のノズル群と前記第2のノズル
群の間に、前記第1のノズル群の同心円上に、複数個の
内径および外径の等しい小口径ノズルが配列されてなる
1列または複数列の小口径ノズル群とを備えたガラス合
成用バーナと、該ガラス合成用バーナにガラス原料ガ
ス、酸素、水素および不活性ガスを供給するガス供給源
と、これらのガスの流量または流速を制御するガス制御
部とを備えた光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置で
あって、 前記ガラス合成用バーナにおいて、前記小口径ノズルが
配置された同心円のうち、最も内側の同心円の直径をD
p、該最も内側の同心円上に配置された小口径ノズルの
数をN、該小口径ノズルの外径をDnとすると、これら
の関係が1.0≦N・Dn/Dp≦2.2であることを
特徴とする光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置。
1. A first nozzle group composed of one row or a plurality of rows of nozzles arranged with the same central axis, and the first nozzle group and the central axis around the first nozzle group. A second one consisting of one or more rows of nozzles arranged in the same way
Nozzle group, and between the first nozzle group and the second nozzle group, a plurality of small diameter nozzles having the same inner diameter and outer diameter are arranged on a concentric circle of the first nozzle group. A glass synthesizing burner having one or more rows of small diameter nozzle groups, a gas supply source for supplying a glass raw material gas, oxygen, hydrogen and an inert gas to the glass synthesizing burner, and flow rates of these gases. Or a burner device for manufacturing an optical fiber porous preform with a gas control unit for controlling the flow velocity, in the glass synthesis burner, among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged, the innermost concentric circle Diameter is D
p, the number of small diameter nozzles arranged on the innermost concentric circle is N, and the outer diameter of the small diameter nozzle is Dn, these relationships are 1.0 ≦ N · Dn / Dp ≦ 2.2. A burner device for producing an optical fiber porous preform, which is characterized by being present.
【請求項2】 前記ガラス合成用バーナにおいて、前記
第1のノズル群の最も外側に配列されたノズルの外径を
D2、前記小口径ノズルが配置された同心円のうち、最
も内側の同心円の直径をDp、前記小口径ノズルの外径
をDnとすると、これらの関係が2.0≦{Dp2−(N
・Dn2/2)}/D22≦4.0であることを特徴とす
る請求項1記載の光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装
置。
2. In the burner for synthesizing glass, the outer diameter of nozzles arranged on the outermost side of the first nozzle group is D2, and the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles on which the small diameter nozzles are arranged. Is Dp and the outer diameter of the small diameter nozzle is Dn, the relationship between them is 2.0 ≦ {Dp 2 − (N
· Dn 2/2)} / D2 2 ≦ 4.0 optical fiber porous glass base material manufacturing burner apparatus of claim 1, wherein the a.
【請求項3】 前記ガラス合成用バーナにおいて、前記
第1のノズル群の最も内側に配列されたノズルの外径を
D1、前記小口径ノズルが配置された同心円のうち、最
も内側の同心円の直径をDp、前記小口径ノズルの外径
をDnとすると、これらの関係が8≦{Dp2−(N・D
2/2)}/D12≦35であることを特徴とする請求
項1または2記載の光ファイバ多孔質母材製造用バーナ
装置。
3. In the burner for synthesizing glass, the outer diameter of the nozzle arranged in the innermost side of the first nozzle group is D1, and the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged. the Dp, the outer diameter of the small diameter nozzle and Dn, these relationships 8 ≦ {Dp 2 - (N · D
n 2/2)} / D1 2 optical fiber porous glass base material manufacturing burner apparatus of claim 1, wherein a ≦ a 35.
【請求項4】 中心軸を同じくして配列された1列また
は複数列のノズルからなる第1のノズル群と、該第1の
ノズル群の周囲に、該第1のノズル群と中心軸を同じく
して配列された1列または複数列のノズルからなる第2
のノズル群と、前記第1のノズル群と前記第2のノズル
群の間に、前記第1のノズル群の同心円上に、複数個の
内径および外径の等しい小口径ノズルが配列されてなる
1列または複数列の小口径ノズル群とを備えたガラス合
成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で加水分
解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、該
ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆
積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多孔質母
材の製造方法において、 前記小口径ノズルが配置された同心円のうち、最も内側
の同心円の直径をDp、該最も内側の同心円上に配置さ
れた小口径ノズルの数をN、該小口径ノズルの外径をD
nとすると、これらの関係を1.0≦N・Dn/Dp≦
2.2とすることを特徴とする光ファイバ多孔質母材の
製造方法。
4. A first nozzle group consisting of nozzles of one row or a plurality of rows arranged with the same central axis, and the first nozzle group and the central axis around the first nozzle group. A second one consisting of one or more rows of nozzles arranged in the same way
Nozzle group, and between the first nozzle group and the second nozzle group, a plurality of small diameter nozzles having the same inner diameter and outer diameter are arranged on a concentric circle of the first nozzle group. Using a glass synthesizing burner having one or more rows of small-diameter nozzle groups, glass raw material gas is hydrolyzed or oxidized in a flame to synthesize glass fine particles, and the glass fine particles are rotated. In the method for producing an optical fiber porous preform by accumulating in the radial direction of the outer peripheral portion of the member to obtain an optical fiber porous preform, in the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged, the diameter of the innermost concentric circle is Dp. , N is the number of small diameter nozzles arranged on the innermost concentric circles, and D is the outer diameter of the small diameter nozzles.
Let n be 1.0 ≦ N · Dn / Dp ≦
2.2 The method for producing an optical fiber porous preform, characterized in that
【請求項5】 前記第1のノズル群の最も外側に配列さ
れたノズルの外径をD2、前記小口径ノズルが配置され
た同心円のうち、最も内側の同心円の直径をDp、前記
小口径ノズルの外径をDnとすると、これらの関係を
2.0≦{Dp2−(N・Dn2/2)}/D22≦4.0
とすることを特徴とする請求項4記載の光ファイバ多孔
質母材の製造方法。
5. The outer diameter of the nozzles arranged on the outermost side of the first nozzle group is D2, and the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged is Dp, the small diameter nozzle the outer diameter When Dn of these relationships 2.0 ≦ {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} / D2 2 ≦ 4.0
The method for producing an optical fiber porous preform according to claim 4, wherein:
【請求項6】 前記第1のノズル群の最も内側に配列さ
れたノズルの外径をD1、前記小口径ノズルが配置され
た同心円のうち、最も内側の同心円の直径をDp、前記
小口径ノズルの外径をDnとすると、これらの関係を8
≦{Dp2−(N・Dn2/2)}/D12≦35とするこ
とを特徴とする請求項4または5記載の光ファイバ多孔
質母材の製造方法。
6. The outer diameter of the nozzles arranged in the innermost side of the first nozzle group is D1, and the diameter of the innermost concentric circle among the concentric circles in which the small diameter nozzles are arranged is Dp. Let Dn be the outer diameter of
≦ {Dp 2 - (N · Dn 2/2)} / D1 2 ≦ 35 and claim 4 or 5 method of manufacturing an optical fiber porous glass base material according to, characterized in that.
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