JP2003277099A - Manufacturing apparatus for optical fiber porous preform and method for manufacturing optical fiber porous preform by using the same - Google Patents

Manufacturing apparatus for optical fiber porous preform and method for manufacturing optical fiber porous preform by using the same

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JP2003277099A
JP2003277099A JP2002081930A JP2002081930A JP2003277099A JP 2003277099 A JP2003277099 A JP 2003277099A JP 2002081930 A JP2002081930 A JP 2002081930A JP 2002081930 A JP2002081930 A JP 2002081930A JP 2003277099 A JP2003277099 A JP 2003277099A
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porous preform
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deposition
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Hisami Nagata
久美 永田
Manabu Saito
学 齋藤
Masahiro Horikoshi
雅博 堀越
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Fujikura Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for manufacturing an optical fiber porous preform to improve deposition rate and deposition efficiency of glass fine particles for the manufacture of an optical fiber porous preform, and to provide a method for manufacturing an optical fiber porous preform by using the apparatus. <P>SOLUTION: The apparatus is equipped with a glass synthesizing burner 20 having a burner body 10 and an outer cylinder 11, in which at least either the burner body 10 or the outer cylinder 11 ca freely move in the longitudinal direction to make the distance between the top 10a of the burner body 10 and the top 11a of the external cylinder 11 variable. While depositing glass fine particles, the distance between the top 10a of the burner body 10 and the top 11a of the external tube 11 is varied once or more according to the changes in the outer diameter of the start member, or, the distance between the top 10a of the burner body 10 and the top 11a of the outer cylinder tube 11 is decreased with deposition of the glass fine particles. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質母材の製造装置およびこれを用いた光ファイバ用多孔
質母材の製造方法に関し、特に、火炎中でガラス原料ガ
スを反応させてガラス微粒子を合成し、これを出発部材
の外周部の径方向に効率的に堆積させる外付け法に適用
される光ファイバ用多孔質母材の製造装置およびこれを
用いた光ファイバ用多孔質母材の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for producing a porous preform for optical fibers and a method for producing a porous preform for optical fibers using the same, and particularly to reacting a glass raw material gas in a flame. Apparatus for producing porous base material for optical fiber applied to external attachment method for synthesizing glass fine particles and efficiently depositing the same in the radial direction of the outer peripheral portion of the starting member, and porous base material for optical fiber using the same The present invention relates to a manufacturing method of wood.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光ファイバ用多孔質母材の製造方法とし
ては、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法、ＭＣＶＤ法、ＰＣＶＤ法な
どの方法がある。なかでも、ＯＶＤ法（Outside Vapor
Phase Deposition、外付け法）によって光ファイバ用多
孔質母材を製造するには、まず、コアとなるガラス材を
備えた出発部材の両端を把持具で把持し、出発部材をそ
の軸周りに回転させる。次いで、１個以上のガラス合成
用バーナを用い、このガラス合成用バーナから四塩化ケ
イ素（ＳｉＣｌ4）などのガラス原料ガスを、酸素また
は水素などの添加ガス、水素などの可燃性ガス、酸素な
どの支燃性ガスとともに噴出し、ガラス原料ガスを火炎
中で加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を
合成し、回転する出発部材の外周部の径方向に堆積させ
て、光ファイバ用多孔質母材を得る。2. Description of the Related Art As a method for manufacturing a porous preform for optical fibers, there are methods such as VAD method, OVD method, MCVD method and PCVD method. Among them, the OVD method (Outside Vapor
In order to manufacture a porous preform for optical fibers by Phase Deposition (external attachment method), first grasp both ends of the starting member equipped with the glass material to be the core with the gripping tool, and rotate the starting member around its axis. Let Next, using one or more glass synthesizing burners, glass raw material gas such as silicon tetrachloride (SiCl 4 ) is added from the glass synthesizing burner to an additive gas such as oxygen or hydrogen, a flammable gas such as hydrogen, oxygen, etc. Of the glass raw material gas is hydrolyzed or oxidized in a flame to synthesize fine glass particles, which are deposited in the radial direction on the outer circumference of the rotating starting member to form a porous optical fiber. Get the parent material.

【０００３】光ファイバ用多孔質母材の製造に用いられ
るガラス合成用バーナとしては、ガラス微粒子の合成に
用いられる各種ガスの噴出口が同心円状に複数設けられ
た多重管バーナや、同心円状に設けられた複数の可燃性
ガスなどの噴出口の間に複数の支燃性ガス噴出口が設け
られたマルチノズル型バーナなどが挙げられる。As a glass synthesizing burner used for producing a porous preform for optical fibers, a multi-tube burner in which a plurality of gas ejection ports for synthesizing glass fine particles are concentrically provided, or a concentric circular burner is provided. Examples thereof include a multi-nozzle type burner in which a plurality of combustible gas ejection ports are provided between a plurality of combustible gas ejection ports.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、光通
信の需要の増加に伴なって、光ファイバの需要も年々増
加している。そのため、光ファイバの価格を下げること
が望まれている。そこで、これに対応するためには、光
ファイバの製造を高速化し、光ファイバの製造を高効率
化し、光ファイバを大量に製造して、製造コストを低減
する必要がある。したがって、光ファイバを一度に大量
に製造して、製造コストを低減するために、光ファイバ
の紡糸に供される光ファイバ母材が大型化する傾向にあ
る。光ファイバ母材を大型化すると、ＯＶＤ法による光
ファイバ用多孔質母材の製造において、出発部材の外周
部に、単位時間に堆積するガラス微粒子の量（以下、
「堆積速度」とする。）、および、出発部材の外周部
に、ガラス微粒子を堆積する効率（以下、「堆積効率」
とする。）を向上させることが、光ファイバの製造コス
トを低減するために、非常に重要な課題の１つとなって
いる。By the way, in recent years, as the demand for optical communication has increased, the demand for optical fibers has been increasing year by year. Therefore, it is desired to reduce the price of the optical fiber. Therefore, in order to cope with this, it is necessary to speed up the manufacturing of the optical fiber, increase the efficiency of manufacturing the optical fiber, manufacture a large amount of the optical fiber, and reduce the manufacturing cost. Therefore, in order to manufacture a large number of optical fibers at once and reduce the manufacturing cost, the optical fiber preform used for spinning the optical fibers tends to be large. When the optical fiber preform is increased in size, in the production of the optical fiber porous preform by the OVD method, the amount of glass fine particles deposited per unit time on the outer peripheral portion of the starting member (hereinafter,
"Deposition rate". ), And the efficiency of depositing glass particles on the outer peripheral portion of the starting member (hereinafter referred to as “deposition efficiency”).
And ) Is one of the very important issues in order to reduce the manufacturing cost of the optical fiber.

【０００５】ガラス微粒子の堆積速度を上げる方法の１
つとしては、例えば、ガラス合成用バーナから噴出させ
るガラス原料ガスの流量を増加する方法がある。しかし
ながら、単にガラス原料ガスの流量を増加しても、ガラ
ス微粒子の堆積効率が向上するとは限らない。なぜなら
ば、ガラス微粒子が出発部材の外周部に堆積せずに拡散
してしまったり、ガラス原料ガスが未反応のまま拡散し
てしまうことがあるからである。また、ガラス原料ガス
の流量を増加するに伴なって、未反応のガラス原料ガス
や、上述の加水分解反応または酸化反応により生成する
ガスを処理する量も増加する。したがって、ガラス微粒
子の堆積速度を上げても、必ずしも製造コストを低減す
ることはできない。ゆえに、光ファイバの製造コストを
低減するには、光ファイバ用多孔質母材の製造におい
て、ガラス微粒子の堆積速度のみならず、ガラス微粒子
の堆積効率を向上させなければならない。しかしなが
ら、従来の光ファイバ用多孔質母材の製造方法のよう
に、ガラス原料ガスの流量のみを変化させる方法では、
ガラス微粒子の堆積効率を向上することが非常に困難で
あった。One of the methods for increasing the deposition rate of glass particles
As one of the methods, for example, there is a method of increasing the flow rate of the glass raw material gas ejected from the burner for glass synthesis. However, simply increasing the flow rate of the glass raw material gas does not always improve the deposition efficiency of the glass particles. This is because the glass fine particles may diffuse without depositing on the outer peripheral portion of the starting member, or the glass raw material gas may diffuse without reacting. Further, as the flow rate of the glass raw material gas is increased, the amount of the unreacted glass raw material gas and the gas generated by the above-mentioned hydrolysis reaction or oxidation reaction is also increased. Therefore, even if the deposition rate of the glass particles is increased, the manufacturing cost cannot always be reduced. Therefore, in order to reduce the manufacturing cost of the optical fiber, it is necessary to improve not only the deposition rate of the glass fine particles but also the deposition efficiency of the glass fine particles in the production of the porous base material for the optical fiber. However, in the method of changing only the flow rate of the glass raw material gas, as in the conventional method for producing a porous preform for optical fibers,
It was very difficult to improve the deposition efficiency of glass particles.

【０００６】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、光ファイバ用多孔質母材の製造において、ガラス微
粒子の堆積速度および堆積効率を向上する光ファイバ用
多孔質母材の製造装置およびこれを用いた光ファイバ用
多孔質母材の製造方法を提供することを課題とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and in manufacturing a porous preform for optical fibers, an apparatus for producing a porous preform for optical fibers, which improves the deposition rate and deposition efficiency of glass particles, and An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a porous preform for optical fibers using this.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】前記課題は、ガラス合成
用バーナ本体と、該ガラス合成用バーナ本体の周囲に、
該ガラス合成用バーナ本体と中心軸を同じくして設けら
れた外筒管とを備えたガラス合成用バーナが設けられた
光ファイバ用多孔質母材の製造装置であって、前記ガラ
ス合成用バーナ本体または前記外筒管の少なくとも一方
が、長手方向に進退自在となっており、前記ガラス合成
用バーナ本体の先端から前記外筒管の先端までの距離が
可変となっている光ファイバ用多孔質母材の製造装置に
よって解決できる。前記課題は、上記光ファイバ用多孔
質母材の製造装置を用いて、ガラス原料ガス、添加ガ
ス、可燃性ガス、支燃性ガスおよび不活性ガスをガラス
合成用バーナに導入し、ガラス原料ガスを火炎中で加水
分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、
該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に
堆積して光ファイバ用多孔質母材を製造する光ファイバ
用多孔質母材の製造方法において、前記ガラス微粒子の
堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴なって、前記ガ
ラス合成用バーナ本体の先端から前記外筒管の先端まで
の距離を１回以上変化させる光ファイバ用多孔質母材の
製造方法によって解決できる。上記光ファイバ用多孔質
母材の製造方法において、ガラス微粒子の堆積に伴なっ
て、前記ガラス合成用バーナ本体の先端から前記外筒管
の先端までの距離を短くすることが好ましい。Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are as follows: a glass synthesizing burner main body;
An apparatus for producing a porous preform for an optical fiber provided with a glass synthesizing burner provided with the glass synthesizing burner main body and an outer tube having the same central axis, wherein the glass synthesizing burner is provided. At least one of the main body and the outer tube is movable in the longitudinal direction, and the distance from the tip of the main body of the glass synthesizing burner to the tip of the outer tube is variable. It can be solved by the base material manufacturing equipment. The above-mentioned problem is to introduce a glass raw material gas, an additive gas, a combustible gas, a combustion-supporting gas and an inert gas into a glass synthesizing burner using the above-mentioned optical fiber porous preform manufacturing apparatus. Is hydrolyzed or oxidized in a flame to synthesize glass particles,
In the method for producing an optical fiber porous preform by depositing the glass fine particles in the radial direction of the outer peripheral portion of a rotating starting member, in the method for producing an optical fiber porous preform, the starting step is performed during the deposition of the glass fine particles. This can be solved by a method of manufacturing a porous preform for optical fibers in which the distance from the tip of the burner body for synthesizing glass to the tip of the outer tube is changed once or more as the outer diameter of the member changes. In the above method for producing a porous base material for an optical fiber, it is preferable that the distance from the tip of the glass synthesizing burner body to the tip of the outer tube is shortened as the glass particles are deposited.

【０００８】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装置に
設けられたガラス合成用バーナの先端部の一例を示す概
略構成図である。図２は、本発明の光ファイバ用多孔質
母材の製造装置に設けられたガラス合成用バーナの一例
を示す概略斜視図である。この例のガラス合成用バーナ
２０は、バーナ本体１０と、バーナ本体１０の周囲に、
バーナ本体１０と中心軸を同じくして設けられた外筒管
１１とから概略構成されている。さらに、バーナ本体１
０の後端部近傍の外周に、バーナ本体１０を固定するた
めの円筒状のバーナ固定部１２が、バーナ本体１０と中
心軸を同じくして設けられ、外筒管１１の後端部近傍の
外周に、外筒管１１を固定するための円筒状の外筒管固
定部１３が、バーナ本体１０と中心軸を同じくして設け
られている。そして、バーナ本体１０の後端部１０ｂに
は、バーナ本体１０にガラス原料ガス、可燃性ガス、支
燃性ガスおよび不活性ガスを供給するためのガス供給管
１４が接続されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention is described in detail below.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a tip end portion of a glass synthesizing burner provided in an optical fiber porous preform manufacturing apparatus of the present invention. FIG. 2 is a schematic perspective view showing an example of a glass synthesizing burner provided in the optical fiber porous preform manufacturing apparatus of the present invention. The burner 20 for glass synthesis of this example has a burner body 10 and a periphery of the burner body 10.
The burner body 10 and an outer cylinder tube 11 having the same central axis are provided. Furthermore, the burner body 1
A cylindrical burner fixing portion 12 for fixing the burner main body 10 is provided on the outer periphery in the vicinity of the rear end portion of 0, and the central axis of the burner main body 10 is the same as that of the burner main body 10. A cylindrical outer tube fixing portion 13 for fixing the outer tube 11 is provided on the outer periphery with the same central axis as the burner body 10. A gas supply pipe 14 is connected to the rear end portion 10b of the burner body 10 to supply the glass material gas, the combustible gas, the combustion-supporting gas and the inert gas to the burner body 10.

【０００９】バーナ本体１０は、外径３５〜５０ｍｍ程
度の円筒形で、一般的には、石英ガラスで形成されてい
る。外筒管１１は、外径６０〜８０ｍｍ程度の円筒形
で、一般的には、石英ガラスで形成されている。また、
外筒管１１とバーナ本体１０との間隙１５は３〜７ｍｍ
程度となっている。この外筒管１１は、バーナ本体１０
から噴出される火炎の広がりを抑制するために設けられ
ているものである。この外筒管１１がないと、バーナ本
体１０から噴出される火炎は、噴出口を出てすぐに広が
ってしまい、ガラス原料ガスが、ガラス微粒子の合成反
応に関与せずに拡散してしまう。このようなガラス原料
ガスの拡散を防止し、ガラス微粒子の堆積効率を向上さ
せるために、外筒管１１は設けられている。バーナ固定
部１２および外筒管固定部１３は、アルミニウム、ステ
ンレスなどで形成されており、それぞれ独立に設けられ
ており、バーナ本体１０または外筒管１１をガラス合成
用バーナ２０の長手方向に進退可能に保持している。The burner body 10 has a cylindrical shape with an outer diameter of about 35 to 50 mm, and is generally made of quartz glass. The outer tube 11 has a cylindrical shape with an outer diameter of about 60 to 80 mm, and is generally made of quartz glass. Also,
The gap 15 between the outer tube 11 and the burner body 10 is 3 to 7 mm.
It has become a degree. The outer tube 11 is used for the burner body 10
It is provided to suppress the spread of the flame ejected from. Without this outer tube 11, the flame ejected from the burner body 10 spreads immediately after exiting the ejection port, and the glass raw material gas diffuses without participating in the synthesis reaction of the glass particles. The outer tube 11 is provided in order to prevent such diffusion of the glass raw material gas and improve the deposition efficiency of the glass particles. The burner fixing part 12 and the outer tube fixing part 13 are made of aluminum, stainless steel or the like and are provided independently of each other, and the burner main body 10 or the outer tube 11 is moved back and forth in the longitudinal direction of the glass synthesizing burner 20. Holds possible.

【００１０】ガラス合成用バーナ２０において、バーナ
本体１０または外筒管１１の少なくとも一方が、ガラス
合成用バーナ２０の長手方向に進退自在、すなわち、ガ
ラス合成用バーナ２０の長手方向に、前後に移動可能と
なっている。これにより、バーナ本体１０の先端１０ａ
から外筒管１１の先端１１ａまでの距離を任意の長さに
変化させることができる。In the glass synthesizing burner 20, at least one of the burner body 10 and the outer tube 11 is movable back and forth in the longitudinal direction of the glass synthesizing burner 20, that is, it moves back and forth in the longitudinal direction of the glass synthesizing burner 20. It is possible. Thereby, the tip 10a of the burner body 10
The distance from to the tip 11a of the outer tube 11 can be changed to an arbitrary length.

【００１１】バーナ本体１０または外筒管１１の少なく
とも一方が、ガラス合成用バーナ２０の長手方向に進退
自在とするためには、以下に示すような構造が挙げられ
る。例えば、バーナ固定部１２および外筒管固定部１３
を、それぞれ別々に冶具などで保持し、バーナ本体１０
が外筒管１１内を前後に移動可能とするか、または、外
筒管１１がバーナ本体１０の外周上を前後に移動可能と
する構造が挙げられる。あるいは、バーナ固定部１２の
外周部に雄ネジを形成し、外筒管固定部１３の内壁面に
雌ネジを形成して、これらを捻じ込むことによって、前
後に移動可能とする構造が挙げられる。In order to allow at least one of the burner body 10 and the outer tube 11 to move back and forth in the longitudinal direction of the glass synthesizing burner 20, the following structure may be mentioned. For example, the burner fixing portion 12 and the outer tube fixing portion 13
Are separately held by jigs, and the burner body 10
Can be moved back and forth inside the outer tube 11, or the outer tube 11 can be moved back and forth on the outer circumference of the burner body 10. Alternatively, there may be mentioned a structure in which a male screw is formed on the outer peripheral portion of the burner fixing portion 12, a female screw is formed on the inner wall surface of the outer tube fixing portion 13, and these are screwed into each other so as to be movable back and forth. .

【００１２】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置は、バーナ本体１０の先端１０ａから外筒管１１の先
端１１ａまでの距離が任意の長さに変化するから、バー
ナ本体１０から噴出される火炎の広がりを調整すること
ができる。ところで、光ファイバ用多孔質母材の製造に
おいては、ガラス微粒子の堆積の進行に伴なって、光フ
ァイバ用多孔質母材の外径が次第に大きくなる。そこ
で、光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、バー
ナ本体１０から噴出される火炎の広がりを調整し、火炎
と光ファイバ用多孔質母材の接触面積が大きくなるよう
にしなければならない。したがって、本発明の光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置によれば、バーナ本体１０か
ら噴出される火炎の広がりを調整し、火炎と光ファイバ
用多孔質母材との接触面積を大きくすることができるか
ら、無駄なくガラス微粒子を堆積することができるた
め、ガラス微粒子の堆積効率が向上する。その結果とし
て、ガラス微粒子の堆積速度も向上する。In the apparatus for producing a porous preform for optical fibers of the present invention, the distance from the tip 10a of the burner body 10 to the tip 11a of the outer tube 11 changes to an arbitrary length, so that the jet from the burner body 10 is ejected. The spread of the fired flame can be adjusted. By the way, in the production of the porous preform for optical fibers, the outer diameter of the porous preform for optical fibers gradually increases with the progress of the deposition of glass particles. Therefore, the spread of the flame ejected from the burner body 10 must be adjusted according to the change in the outer diameter of the optical fiber porous base material so that the contact area between the flame and the optical fiber porous base material becomes large. I won't. Therefore, according to the manufacturing apparatus of the porous preform for optical fibers of the present invention, the spread of the flame ejected from the burner body 10 is adjusted to increase the contact area between the flame and the porous preform for optical fibers. Since the glass fine particles can be deposited without waste, the glass particulate deposition efficiency is improved. As a result, the deposition rate of glass particles is also improved.

【００１３】バーナ本体１０は、その端面において、中
心に第１のノズル１が設けられ、この第１のノズル１の
周囲に、第１のノズル１と中心軸を同じくして第２のノ
ズル２が設けられ、さらに、この第２のノズル２の周囲
に、第１のノズル１と中心軸を同じくして第３のノズル
３が設けられている。また、第２のノズル２と第３のノ
ズル３の間で、第１のノズル１の同心円上には、複数個
の内径および外径の等しい小口径ノズル４、４、…が設
けられている。また、第１のノズル１が第１の噴出口５
をなし、第１のノズル１と第２のノズル２の間の部分が
第２の噴出口６をなし、第２のノズル２と第３のノズル
３の間の部分が第３の噴出口７をなし、小口径ノズル
４、４、…が第４の噴出口８、８、…をなしている。The burner main body 10 is provided with a first nozzle 1 at the center on the end face thereof, and a second nozzle 2 having the same central axis as the first nozzle 1 is provided around the first nozzle 1. Further, a third nozzle 3 having the same central axis as that of the first nozzle 1 is provided around the second nozzle 2. Further, between the second nozzle 2 and the third nozzle 3, a plurality of small diameter nozzles 4, 4, ... Having the same inner diameter and outer diameter are provided on the concentric circle of the first nozzle 1. . In addition, the first nozzle 1 is connected to the first ejection port 5
And the portion between the first nozzle 1 and the second nozzle 2 forms the second ejection port 6, and the portion between the second nozzle 2 and the third nozzle 3 forms the third ejection port 7. , And the small diameter nozzles 4, 4, ... Form the fourth jet ports 8, 8 ,.

【００１４】なお、図１および図２には、本発明の光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置に設けられるガラス合成
用バーナの一例を示したが、本発明の光ファイバ用多孔
質母材の製造装置に設けられるガラス合成用バーナは、
これに限定されるものではない。本発明の光ファイバ用
多孔質母材の製造装置に設けられるガラス合成用バーナ
は、図１および図２に示したガラス合成用バーナ２０と
類似の構造を有するものであればよい。1 and 2 show an example of the glass synthesizing burner provided in the apparatus for producing a porous preform for optical fibers of the present invention, the porous preform for optical fibers of the present invention is shown. The glass synthesis burner installed in the manufacturing equipment of
It is not limited to this. The glass synthesizing burner provided in the apparatus for producing a porous base material for an optical fiber of the present invention may have a structure similar to that of the glass synthesizing burner 20 shown in FIGS. 1 and 2.

【００１５】また、本発明の光ファイバ用多孔質母材の
製造装置は、この例のガラス合成用バーナ２０と、ガラ
ス合成用バーナ２０にガラス原料ガス、可燃性ガス、支
燃性ガスおよび不活性ガスを供給する図示略のガス供給
源と、これらのガスの流量または流速を制御する図示略
のガス制御部とから概略構成されている。ガス供給源
は、ガラス原料ガス、可燃性ガス、支燃性ガス、不活性
ガスなどが充填されたガスボンベ（図示略）などからな
り、バーナ本体１０の後端部近傍に、ガス供給管１４を
介して接続されている。ガス制御部は、電磁バルブ、流
量制御装置などからなり、上述のガス供給管の中途に設
けられており、この流量制御装置により、ガスの流量ま
たは流速を制御するようになっている。Further, the apparatus for producing a porous preform for optical fibers according to the present invention includes a glass synthesizing burner 20 of this example, and the glass synthesizing burner 20 includes a glass raw material gas, a flammable gas, a flammable gas and an unburned gas. A gas supply source (not shown) that supplies an active gas, and a gas control unit (not shown) that controls the flow rate or flow velocity of these gases are roughly configured. The gas supply source is composed of a gas cylinder (not shown) filled with a glass material gas, a combustible gas, a combustion-supporting gas, an inert gas, etc., and a gas supply pipe 14 is provided near the rear end of the burner body 10. Connected through. The gas control unit is composed of an electromagnetic valve, a flow rate control device, and the like, and is provided in the middle of the gas supply pipe, and the flow rate control device controls the flow rate or flow velocity of the gas.

【００１６】以下、本発明の光ファイバ用多孔質母材の
製造方法について説明する。図３は、本発明の光ファイ
バ用多孔質母材の製造方法を示す概略説明図である。本
発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法では、まず、
石英ガラスなどからなる円柱形の出発部材２１を用意す
る。次いで、出発部材２１の両端部を把持具２３、２３
で把持し、出発部材２１を水平に配置する。次いで、こ
の状態で、出発部材２１を、その中心軸を中心にして回
転させる。続いて、１個以上のガラス合成用バーナ２０
を用いて、ガラス合成用バーナ２０の第１の噴出口５か
らガラス原料ガスおよび添加ガスを供給し、第２の噴出
口６から不活性ガスを供給し、第３の噴出口７から可燃
性ガスを供給し、第４の噴出口８から支燃性ガスを供給
して、ガラス合成用バーナ２０の火炎中における加水分
解反応または酸化反応により、ガラス微粒子を合成し、
ガラス合成用バーナ２０を出発部材２１の長手方向と平
行に移動させながら、ガラス微粒子を回転する出発部材
２１の半径方向に堆積して、光ファイバ用多孔質母材２
２を得る。The method for producing the porous preform for optical fibers of the present invention will be described below. FIG. 3 is a schematic explanatory view showing a method for producing a porous preform for optical fibers of the present invention. In the method for producing an optical fiber porous preform of the present invention, first,
A cylindrical starting member 21 made of quartz glass or the like is prepared. Next, the two ends of the starting member 21 are attached to the grippers 23, 23.
Then, the starting member 21 is horizontally arranged. Next, in this state, the starting member 21 is rotated about its central axis. Then, one or more glass synthesis burners 20
The glass raw material gas and the additive gas are supplied from the first ejection port 5 of the glass synthesizing burner 20, the inert gas is supplied from the second ejection port 6, and the flammability is supplied from the third ejection port 7. Gas is supplied, and a combustion-supporting gas is supplied from the fourth ejection port 8 to synthesize glass fine particles by a hydrolysis reaction or an oxidation reaction in the flame of the glass synthesizing burner 20,
While moving the glass synthesizing burner 20 parallel to the longitudinal direction of the starting member 21, glass fine particles are deposited in the radial direction of the rotating starting member 21 to produce the optical fiber porous preform 2.
Get 2.

【００１７】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方
法にあっては、ガラス微粒子の堆積中に、ガラス微粒子
の堆積時間の経過に伴なって増加する光ファイバ用多孔
質母材の外径変化に応じて、バーナ本体１０の先端から
外筒管１１の先端までの距離を１回以上変化させる。こ
れにより、バーナ本体１０から噴出される火炎の広がり
を調整し、火炎と光ファイバ用多孔質母材の接触面積を
大きくすることができる。したがって、無駄なくガラス
微粒子を堆積することができるようになるため、ガラス
微粒子の堆積効率および堆積速度を効果的に向上するこ
とができる。In the method for producing a porous base material for an optical fiber according to the present invention, during the deposition of the glass fine particles, the outside of the porous base material for the optical fiber increases with the passage of the deposition time of the glass fine particles. The distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is changed once or more in accordance with the change in diameter. Thereby, the spread of the flame ejected from the burner body 10 can be adjusted, and the contact area between the flame and the porous preform for optical fiber can be increased. Therefore, the glass particles can be deposited without waste, so that the deposition efficiency and the deposition rate of the glass particles can be effectively improved.

【００１８】さらに、本発明の光ファイバ用多孔質母材
の製造方法にあっては、ガラス微粒子の堆積に伴なっ
て、バーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端までの
距離を段階的に（次第に）短くする。例えば、ガラス微
粒子を出発部材２１の外周部に堆積する初期段階におけ
るバーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端までの距
離をＬｂとし、ガラス微粒子を出発部材２１の外周部に
堆積する終了段階におけるバーナ本体１０の先端から外
筒管１１の先端までの距離をＬｆとし、これらの関係を
Ｌｂ＞Ｌｆとすれば、効果的にガラス微粒子の堆積効率
を向上することができる。なお、ガラス微粒子を堆積す
る初期段階とは、ガラス微粒子の外付工程における総堆
積量の３０％分までを堆積した場合を示し、ガラス微粒
子を堆積する終了段階とは、総堆積量の７５％分以上を
堆積した場合を示している。Further, in the method for producing a porous preform for optical fibers of the present invention, the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is stepwise with the deposition of glass particles. Shorten to (gradually). For example, the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the initial stage of depositing glass particles on the outer peripheral portion of the starting member 21 is set to Lb, and the final stage of depositing glass fine particles on the outer peripheral portion of the starting member 21. By setting the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 to Lf and setting these relationships to Lb> Lf, the deposition efficiency of the glass particles can be effectively improved. It should be noted that the initial stage of depositing the glass fine particles indicates a case where up to 30% of the total deposit amount in the step of attaching the glass fine particles is deposited, and the ending stage of depositing the glass fine particles means 75% of the total deposit amount. The case where more than a minute is deposited is shown.

【００１９】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方
法にあっては、ガラス微粒子を出発部材２１の外周部に
堆積する初期段階、すなわち、出発部材２１あるいはガ
ラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材２２の外径
が細いときには、バーナ本体１０の先端から外筒管１１
の先端までの距離を長くすることにより、効果的にガラ
ス微粒子の堆積効率を向上することができる。なぜなら
ば、出発部材２１あるいは光ファイバ用多孔質母材２２
の外径が細い、すなわち、出発部材２１あるいは光ファ
イバ用多孔質母材２２の表面積が小さいときには、バー
ナ本体１０の先端から外筒管１１の先端までの距離が短
いと、バーナ本体１０から噴出される火炎が広がってし
まう。これにより、ガラス原料ガスの流出角度も広がっ
てしまい、出発部材２１あるいは光ファイバ用多孔質母
材２２からガラス微粒子が離れてしまうため、堆積効率
は低下するからである。そこで、バーナ本体１０の先端
から外筒管１１の先端までの距離を長くすれば、火炎が
絞られ、出発部材２１あるいは光ファイバ用多孔質母材
２２の表面積が小さくても、無駄なくガラス微粒子を堆
積させることができる。また、火炎は外筒管１１の中で
絞られるから、支燃性ガスや可燃性ガスが反応に関与せ
ずに外に広がることがなく、少ないガス流量で火炎を形
成することができる。In the method for producing a porous base material for an optical fiber according to the present invention, for the optical fiber during the initial stage of depositing the glass fine particles on the outer peripheral portion of the starting member 21, that is, the starting member 21 or the glass fine particles being deposited. When the outer diameter of the porous base material 22 is small, the outer cylinder tube 11 is inserted from the tip of the burner body 10.
By increasing the distance to the tip of the glass, it is possible to effectively improve the deposition efficiency of the glass particles. Because, the starting member 21 or the porous base material 22 for optical fiber
When the outer diameter of the burner body 10 is small, that is, when the surface area of the starting member 21 or the porous base material 22 for optical fiber is small, if the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is short, the jetting from the burner body 10 The flame is spread. As a result, the outflow angle of the glass raw material gas is also widened, and the glass particles are separated from the starting member 21 or the optical fiber porous preform 22, so that the deposition efficiency is reduced. Therefore, if the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is increased, the flame is throttled, and even if the surface area of the starting member 21 or the optical fiber porous preform 22 is small, the glass particles are not wasted. Can be deposited. Further, since the flame is throttled in the outer tube 11, the supporting gas and the combustible gas do not participate in the reaction and do not spread to the outside, and the flame can be formed with a small gas flow rate.

【００２０】一方、ガラス微粒子を出発部材２１の外周
部に堆積する終了段階、すなわち、ガラス微粒子堆積中
の光ファイバ用多孔質母材２２の外径が太い、すなわ
ち、光ファイバ用多孔質母材２２の表面積が大きいとき
には、バーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端まで
の距離を短くすることにより、効果的にガラス微粒子の
堆積効率を向上することができる。なぜならば、光ファ
イバ用多孔質母材２２の外径が太いときには、バーナ本
体１０の先端から外筒管１１の先端までの距離が長い
と、バーナ本体１０から噴出される火炎が絞られ、火炎
と光ファイバ用多孔質母材２２との接触面積が小さくな
るため、堆積効率が低下するからである。そこで、バー
ナ本体１０の先端から外筒管１１の先端までの距離を短
くすれば、火炎が広がり、光ファイバ用多孔質母材２２
の表面積が大きくても、火炎と光ファイバ用多孔質母材
２２との接触面積を大きくすることができるから、効率
良くガラス微粒子を堆積させることができる。On the other hand, the final stage of depositing the glass particles on the outer peripheral portion of the starting member 21, that is, the outer diameter of the optical fiber porous base material 22 during the glass particle deposition is large, that is, the optical fiber porous base material. When the surface area of 22 is large, by shortening the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11, it is possible to effectively improve the deposition efficiency of the glass particles. This is because when the outer diameter of the optical fiber porous preform 22 is large and the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is long, the flame ejected from the burner body 10 is throttled and the flame This is because the contact area between the optical fiber and the porous base material 22 for an optical fiber becomes small, so that the deposition efficiency decreases. Therefore, if the distance from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is shortened, the flame spreads and the porous preform 22 for optical fibers is used.
Even if the surface area is large, the contact area between the flame and the porous preform 22 for the optical fiber can be increased, so that the glass particles can be efficiently deposited.

【００２１】このように、本発明の光ファイバ用多孔質
母材の製造方法によれば、ガラス微粒子を堆積する初期
段階から終了段階において、出発部材および光ファイバ
用多孔質母材の外径変化に応じて、最適な条件でガラス
微粒子の堆積を行なうことが可能となるから、ガラス微
粒子の堆積効率を向上することができる。また、ガラス
原料ガスなどの損失が少なくなるから、堆積速度も向上
する。そして、これらの結果として、光ファイバ用多孔
質母材の製造コストを低減することができる。As described above, according to the method for producing a porous base material for an optical fiber of the present invention, the outer diameter change of the starting member and the porous base material for an optical fiber is changed from the initial stage to the final stage of depositing the glass particles. Accordingly, it becomes possible to deposit the glass fine particles under the optimum conditions, so that the deposition efficiency of the glass fine particles can be improved. Further, since the loss of the glass raw material gas is reduced, the deposition rate is also improved. And as a result of these, the manufacturing cost of the porous preform for optical fibers can be reduced.

【００２２】ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、使
用したガラス原料ガスが全て化学反応によってガラス微
粒子に変化したと仮定したときのガラス微粒子の総量に
対する、出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の総
量の割合で定義するものである。また、堆積速度とは、
単位時間当りに出発部材の表面に堆積されたガラス微粒
子の重量で表されるものである。Here, the deposition efficiency of the glass fine particles means the glass fine particles deposited on the surface of the starting member with respect to the total amount of the glass fine particles when it is assumed that all the glass raw material gases used are changed into the glass fine particles by the chemical reaction. It is defined by the ratio of the total amount of. What is the deposition rate?
It is represented by the weight of the glass particles deposited on the surface of the starting member per unit time.

【００２３】以下、図１〜図３を用いて、具体的な実施
例を示し、本発明の効果を明らかにする。 （実施例１）図１および図２に示したガラス合成用バー
ナを備えた光ファイバ用多孔質母材の製造装置を用意し
た。次いで、外径３０ｍｍ、長さ１５００ｍｍの石英系
ガラスからなる円柱形の出発部材２１を用意した。次い
で、この出発部材２１の両端部を把持具２３、２３で把
持し、出発部材２１を水平に配置した。次いで、この出
発部材２１を、その中心軸を中心にして回転させなが
ら、光ファイバ用多孔質母材の製造装置を用いてガラス
微粒子を合成し、ガラス合成用バーナ２０を出発部材２
１の長手方向と平行に移動させながら、ガラス微粒子を
回転する出発部材２１の半径方向に堆積して、出発部材
２１の周りにＳｉＯ2からなるガラス微粒子を１２ｋｇ
堆積させた円柱形の光ファイバ用多孔質母材２２を得
た。このとき、出発部材の回転速度を３０ｒｐｍとし
た。また、第1の噴出口１１からはガラス原料ガスのＳ
ｉＣｌ4を５リットル／分と添加ガスの酸素を３リット
ル／分噴出し、第２の噴出口１２からは不活性ガスのア
ルゴン１．０リットル／分噴出し、第３の噴出口１３か
らは可燃性ガスの水素を４０〜５０リットル／分噴出
し、光ファイバ用多孔質母材２２の外径変化に伴なって
水素の流量を調整し、ガラス微粒子を堆積中の光ファイ
バ用多孔質母材２２表面の温度が、堆積の初期段階から
終了段階まで略一定となるように調整し、第４の噴出口
１４からは支燃性ガスの酸素を２０リットル／分噴出し
た。さらに、ガラス微粒子の堆積開始時におけるバーナ
本体１０の先端から外筒管１１の先端までの距離Ｌを１
００ｍｍとし、ガラス微粒子の堆積量が総堆積量の６０
％まで達した時点におけるバーナ本体１０の先端から外
筒管１１の先端までの距離Ｌを３５ｍｍとした。ガラス
微粒子の堆積開始からの経過時間とガラス微粒子の堆積
量（重量、ｋｇ）を測定し、光ファイバ用多孔質母材の
外径の変化に伴うガラス微粒子の平均堆積速度および平
均堆積効率を調べた。結果を表１および図４に示す。Specific examples will be shown below with reference to FIGS. 1 to 3 to clarify the effects of the present invention. (Example 1) An apparatus for producing a porous preform for an optical fiber equipped with the glass synthesizing burner shown in FIGS. 1 and 2 was prepared. Next, a cylindrical starting member 21 made of silica glass having an outer diameter of 30 mm and a length of 1500 mm was prepared. Then, both ends of the starting member 21 were held by the holding tools 23, 23, and the starting member 21 was horizontally arranged. Next, while rotating the starting member 21 about the central axis thereof, glass fine particles are synthesized by using a manufacturing apparatus for a porous preform for optical fibers, and the glass synthesizing burner 20 is used as the starting member 2.
While moving in parallel to the longitudinal direction of 1, the glass particles are deposited in the radial direction of the rotating starting member 21, and 12 kg of glass particles made of SiO 2 are surrounded around the starting member 21.
A deposited cylindrical base material 22 for an optical fiber was obtained. At this time, the rotation speed of the starting member was set to 30 rpm. Further, from the first ejection port 11, S of the glass raw material gas
5 liters / minute of iCl 4 and 3 liters / minute of oxygen as an additive gas, 1.0 liters / minute of inert gas argon was ejected from the second ejection port 12, and 3 liters / minute from the third ejection port 13. 40 to 50 liters / min of combustible gas is ejected, and the flow rate of hydrogen is adjusted according to the change in the outer diameter of the optical fiber porous base material 22 to deposit glass particles. The temperature of the surface of the material 22 was adjusted so as to be substantially constant from the initial stage to the final stage of the deposition, and oxygen of the combustion-supporting gas was ejected from the fourth ejection port 14 at 20 liters / minute. Further, the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the start of deposition of glass particles is set to 1
00 mm, and the deposition amount of glass particles is 60% of the total deposition amount.
The distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the time when the value reaches 100% is 35 mm. The elapsed time from the start of the deposition of glass particles and the amount of glass particles deposited (weight, kg) were measured, and the average deposition rate and the average deposition efficiency of glass particles with the change in the outer diameter of the porous preform for optical fibers were investigated. It was The results are shown in Table 1 and FIG.

【００２４】（実施例２）ガラス微粒子の堆積開始時に
おけるバーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端まで
の距離Ｌを１００ｍｍとし、ガラス微粒子の堆積量が総
堆積量の４０％まで達した時点におけるバーナ本体１０
の先端から外筒管１１の先端までの距離Ｌを６０ｍｍと
し、ガラス微粒子の堆積量が総堆積量の６０％まで達し
た時点におけるバーナ本体１０の先端から外筒管１１の
先端までの距離Ｌを３５ｍｍとした以外は、実施例１と
同様にして、光ファイバ用多孔質母材を製造した。ガラ
ス微粒子の堆積量（重量、ｋｇ）とガラス微粒子の堆積
開始からの経過時間を測定し、光ファイバ用多孔質母材
の外径の変化に伴うガラス微粒子の平均堆積速度および
平均堆積効率を調べた。結果を表１および図４に示す。(Example 2) The distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the start of deposition of glass particles was 100 mm, and the deposition amount of glass particles reached 40% of the total deposition amount. Burner body 10 at the time
The distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 is 60 mm, and the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the time when the deposition amount of the glass particles reaches 60% of the total deposition amount. A porous preform for optical fibers was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the thickness was 35 mm. The amount of glass particles deposited (weight, kg) and the elapsed time from the start of glass particle deposition were measured, and the average deposition rate and the average deposition efficiency of glass particles with the change in the outer diameter of the optical fiber porous preform were investigated. It was The results are shown in Table 1 and FIG.

【００２５】（比較例１）ガラス微粒子の堆積開始から
終了までのバーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端
までの距離Ｌを１００ｍｍとした以外は、実施例１と同
様にして、光ファイバ用多孔質母材を製造した。ガラス
微粒子の堆積量（重量、ｋｇ）とガラス微粒子の堆積開
始からの経過時間を測定し、光ファイバ用多孔質母材の
外径の変化に伴うガラス微粒子の平均堆積速度および平
均堆積効率を調べた。結果を表１および図４に示す。Comparative Example 1 An optical fiber was prepared in the same manner as in Example 1 except that the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 from the start to the end of the deposition of glass particles was 100 mm. A porous base material was manufactured. The amount of glass particles deposited (weight, kg) and the elapsed time from the start of glass particle deposition were measured, and the average deposition rate and the average deposition efficiency of glass particles with the change in the outer diameter of the optical fiber porous preform were investigated. It was The results are shown in Table 1 and FIG.

【００２６】（比較例２）ガラス微粒子の堆積開始から
終了までのバーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端
までの距離Ｌを６０ｍｍとした以外は、実施例１と同様
にして、光ファイバ用多孔質母材を製造した。ガラス微
粒子の堆積量（重量、ｋｇ）とガラス微粒子の堆積開始
からの経過時間を測定し、光ファイバ用多孔質母材の外
径の変化に伴うガラス微粒子の平均堆積速度および平均
堆積効率を調べた。結果を表１および図４に示す。(Comparative Example 2) An optical fiber was prepared in the same manner as in Example 1 except that the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 from the start to the end of glass particulate deposition was 60 mm. A porous base material was manufactured. The amount of glass particles deposited (weight, kg) and the elapsed time from the start of glass particle deposition were measured, and the average deposition rate and the average deposition efficiency of glass particles with the change in the outer diameter of the optical fiber porous preform were investigated. It was The results are shown in Table 1 and FIG.

【００２７】（比較例３）ガラス微粒子の堆積開始から
終了までのバーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端
までの距離Ｌを３５ｍｍとした以外は、実施例１と同様
にして、光ファイバ用多孔質母材を製造した。ガラス微
粒子の堆積量（重量、ｋｇ）とガラス微粒子の堆積開始
からの経過時間を測定し、光ファイバ用多孔質母材の外
径の変化に伴うガラス微粒子の平均堆積速度および平均
堆積効率を調べた。結果を表１および図４に示す。(Comparative Example 3) An optical fiber was prepared in the same manner as in Example 1 except that the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 from the start to the end of the deposition of glass particles was 35 mm. A porous base material was manufactured. The amount of glass particles deposited (weight, kg) and the elapsed time from the start of glass particle deposition were measured, and the average deposition rate and the average deposition efficiency of glass particles with the change in the outer diameter of the optical fiber porous preform were investigated. It was The results are shown in Table 1 and FIG.

【００２８】[0028]

【表１】 [Table 1]

【００２９】表１および図４の結果から、実施例１のよ
うに、ガラス微粒子の堆積開始時におけるバーナ本体１
０の先端から外筒管１１の先端までの距離Ｌを長くし、
ガラス微粒子の堆積量が総堆積量の６０％まで達した時
点におけるバーナ本体１０の先端から外筒管１１の先端
までの距離Ｌを堆積開始時よりも短くすれば、ガラス微
粒子の堆積速度および堆積効率を向上することができる
ことが確認された。また、実施例２のように、ガラス微
粒子の堆積開始時におけるバーナ本体１０の先端から外
筒管１１の先端までの距離Ｌを長くし、ガラス微粒子の
堆積量が総堆積量の４０％まで達した時点におけるバー
ナ本体１０の先端から外筒管１１の先端までの距離Ｌを
堆積開始時よりも短くし、ガラス微粒子の堆積量が総堆
積量の６０％まで達した時点におけるバーナ本体１０の
先端から外筒管１１の先端までの距離Ｌを、堆積量の４
０％に達した時よりもさらに短くすれば、ガラス微粒子
の堆積速度および堆積効率を向上することができること
が確認された。一方、比較例１においては、ガラス微粒
子の堆積開始時には、実施例と同様の堆積速度および堆
積効率を示してしたが、光ファイバ用多孔質母材２２の
外径の増加に伴ない、堆積速度および堆積効率は実施例
ほどの増加を示さなかった。さらに、比較例２において
は、ガラス微粒子の堆積開始時の堆積速度および堆積効
率の低下が影響し、また、堆積工程の後半においても、
実施例ほどの堆積速度および堆積効率の増加を示さなか
った。そして、比較例３においては、堆積速度および堆
積効率は、堆積工程の後半以降は実施例並みの増加を示
したが、堆積開始時の堆積速度および堆積効率の低下が
影響し、全体として、実施例ほどの堆積速度および堆積
効率の増加を示さなかった。From the results shown in Table 1 and FIG. 4, as in Example 1, the burner body 1 at the start of the deposition of the glass particles.
The distance L from the tip of 0 to the tip of the outer tube 11 is increased,
If the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the time when the deposition amount of glass particles reaches 60% of the total deposition amount is made shorter than at the start of deposition, the deposition rate and deposition of glass particles It was confirmed that the efficiency can be improved. Further, as in Example 2, the distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at the start of the deposition of the glass particles is increased so that the deposition amount of the glass particles reaches 40% of the total deposition amount. The distance L from the tip of the burner body 10 to the tip of the outer tube 11 at that time is set shorter than that at the start of the deposition, and the tip of the burner body 10 at the time when the deposition amount of the glass particles reaches 60% of the total deposition amount. The distance L from the tip of the outer tube 11 to the accumulated amount of 4
It was confirmed that the glass particle deposition rate and deposition efficiency can be improved by further shortening the glass particle content from when it reaches 0%. On the other hand, in Comparative Example 1, the deposition rate and the deposition efficiency similar to those of the Example were shown at the start of the deposition of the glass fine particles, but the deposition rate was increased as the outer diameter of the optical fiber porous preform 22 increased. And the deposition efficiency did not show the increase as much as the example. Furthermore, in Comparative Example 2, the decrease in the deposition rate and the deposition efficiency at the start of the deposition of the glass particles has an influence, and also in the latter half of the deposition process,
It did not show the same increase in deposition rate and efficiency as in the examples. Then, in Comparative Example 3, the deposition rate and the deposition efficiency showed an increase similar to those of the Examples after the latter half of the deposition process, but the deposition rate and the deposition efficiency at the start of the deposition had an influence, so that the overall implementation It did not show the same increase in deposition rate and efficiency.

【００３０】[0030]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置は、ガラス合成用バーナ本体
と、該ガラス合成用バーナ本体の周囲に、該ガラス合成
用バーナ本体と中心軸を同じくして設けられた外筒管と
を備えたガラス合成用バーナが設けられた光ファイバ用
多孔質母材の製造装置であって、前記ガラス合成用バー
ナ本体または前記外筒管の少なくとも一方が、長手方向
に進退自在となっており、前記ガラス合成用バーナ本体
の先端から前記外筒管の先端までの距離が可変となって
いるから、ガラス合成用バーナ本体の先端から外筒管の
先端までの距離を任意の長さに変化させて、ガラス合成
用バーナ本体から噴出される火炎の広がりを調整し、火
炎と光ファイバ用多孔質母材の接触面積を大きくするこ
とができる。したがって、無駄なくガラス微粒子を堆積
することができるようになるため、ガラス微粒子の堆積
効率が向上する。その結果として、ガラス微粒子の堆積
速度も向上する。また、本発明の光ファイバ用多孔質母
材の製造方法によれば、ガラス合成用バーナ本体から噴
出される火炎の広がりを調整し、火炎と光ファイバ用多
孔質母材の接触面積を大きくすることができる。したが
って、無駄なくガラス微粒子を堆積することができるよ
うになるため、ガラス微粒子の堆積効率および堆積速度
を効果的に向上することができる。よって、ガラス微粒
子を堆積する初期段階から終了段階において、出発部材
および光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、最
適な条件でガラス微粒子の堆積を行なうことが可能とな
るから、ガラス微粒子の堆積効率を向上することができ
る。また、ガラス原料ガスなどの損失が少なくなるか
ら、堆積速度も向上する。そして、これらの結果とし
て、光ファイバ用多孔質母材の製造コストを低減するこ
とができる。As described above, the apparatus for producing a porous preform for an optical fiber according to the present invention comprises a glass synthesizing burner main body, and a glass synthesizing burner main body around the glass synthesizing burner main body. A manufacturing apparatus for a porous preform for an optical fiber provided with a glass synthesizing burner provided with an outer cylinder tube having the same central axis, wherein the glass synthesizing burner main body or the outer cylinder tube is provided. At least one of them is movable back and forth in the longitudinal direction, and the distance from the tip of the glass synthesizing burner body to the tip of the outer tube is variable. By changing the distance to the tip of the tube to an arbitrary length, the spread of the flame ejected from the burner body for glass synthesis can be adjusted, and the contact area between the flame and the porous preform for optical fibers can be increased. . Therefore, the glass particles can be deposited without waste, and the glass particle deposition efficiency is improved. As a result, the deposition rate of glass particles is also improved. Further, according to the method for producing a porous preform for optical fibers of the present invention, the spread of the flame ejected from the burner body for glass synthesis is adjusted, and the contact area between the flame and the porous preform for optical fibers is increased. be able to. Therefore, the glass particles can be deposited without waste, so that the deposition efficiency and the deposition rate of the glass particles can be effectively improved. Therefore, from the initial stage to the end stage of depositing the glass particles, it becomes possible to deposit the glass particles under the optimum conditions according to the change in the outer diameter of the starting member and the porous preform for the optical fiber. The deposition efficiency of fine particles can be improved. Further, since the loss of the glass raw material gas is reduced, the deposition rate is also improved. And as a result of these, the manufacturing cost of the porous preform for optical fibers can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装置
に設けられたガラス合成用バーナの先端部の一例を示す
概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a tip end portion of a glass synthesizing burner provided in an optical fiber porous preform manufacturing apparatus of the present invention.

【図２】 本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装置
に設けられたガラス合成用バーナの一例を示す概略斜視
図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing an example of a glass synthesizing burner provided in the optical fiber porous preform manufacturing apparatus of the present invention.

【図３】 本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法
を示す概略説明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory diagram showing a method for producing a porous preform for optical fibers of the present invention.

【図４】 ガラス微粒子の堆積開始からの経過時間とガ
ラス微粒子の堆積量（重量、ｋｇ）の関係を示すグラフ
である。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the elapsed time from the start of deposition of glass particles and the deposition amount (weight, kg) of glass particles.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・第１のノズル、２・・・第２のノズル、３・・・第３の
ノズル、４・・・第４のノズル、５・・・第１の噴出口、６・・
・第２の噴出口、７・・・第３の噴出口、８・・・第４の噴出
口、１０・・・バーナ本体、１０ａ,１１ａ・・・先端、１０
ｂ・・・後端部、１１・・・外筒管、１２・・・バーナ固定冶
具、１３・・・外筒管固定冶具、１４・・・ガス供給管、１５
・・・間隙、２０・・・ガラス合成用バーナ、２１・・・出発部
材、２２・・・光ファイバ用多孔質母材、２３・・・把持具1 ... 1st nozzle, 2 ... 2nd nozzle, 3 ... 3rd nozzle, 4 ... 4th nozzle, 5 ... 1st nozzle, 6 ...
-Second jet, 7 ... Third jet, 8 ... Fourth jet, 10 ... Burner body, 10a, 11a ... Tip, 10
b ... rear end part, 11 ... outer cylinder pipe, 12 ... burner fixing jig, 13 ... outer cylinder pipe fixing jig, 14 ... gas supply pipe, 15
... Gap, 20 ... Burner for glass synthesis, 21 ... Starting member, 22 ... Porous preform for optical fiber, 23 ... Grasping tool

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀越 雅博 千葉県佐倉市六崎1440番地 株式会社フジ クラ佐倉事業所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB15    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Masahiro Horikoshi             Fuji Co., Ltd. 1440 Rokuzaki, Sakura City, Chiba Prefecture             Kura Sakura Office F-term (reference) 4G021 EA03 EB15

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ガラス合成用バーナ本体と、該ガラス合
成用バーナ本体の周囲に、該ガラス合成用バーナ本体と
中心軸を同じくして設けられた外筒管とを備えたガラス
合成用バーナが設けられた光ファイバ用多孔質母材の製
造装置であって、 前記ガラス合成用バーナ本体または前記外筒管の少なく
とも一方が、長手方向に進退自在となっており、前記ガ
ラス合成用バーナ本体の先端から前記外筒管の先端まで
の距離が可変となっていることを特徴とする光ファイバ
用多孔質母材の製造装置。1. A glass synthesizing burner comprising: a glass synthesizing burner main body; and an outer tube provided around the glass synthesizing burner main body with the same central axis as the glass synthesizing burner main body. An apparatus for manufacturing a porous preform for an optical fiber, wherein at least one of the glass synthesizing burner main body and the outer tube is movable in the longitudinal direction, and the glass synthesizing burner main body is An apparatus for producing a porous preform for an optical fiber, wherein a distance from a tip to a tip of the outer tube is variable. 【請求項２】 請求項１記載の光ファイバ用多孔質母材
の製造装置を用いて、ガラス原料ガス、添加ガス、可燃
性ガス、支燃性ガスおよび不活性ガスをガラス合成用バ
ーナに導入し、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応
または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、該ガラス
微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して
光ファイバ用多孔質母材を製造する光ファイバ用多孔質
母材の製造方法において、 前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化
に伴なって、前記ガラス合成用バーナ本体の先端から前
記外筒管の先端までの距離を１回以上変化させることを
特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。2. A glass raw material gas, an additive gas, a flammable gas, a combustion-supporting gas and an inert gas are introduced into a glass synthesis burner by using the apparatus for producing a porous preform for an optical fiber according to claim 1. Then, the glass raw material gas is hydrolyzed or oxidized in a flame to synthesize glass fine particles, and the glass fine particles are deposited in the radial direction of the outer peripheral portion of the rotating starting member to produce a porous preform for optical fibers. In the method for producing a porous base material for an optical fiber, during the deposition of the glass fine particles, with the change in the outer diameter of the starting member, from the tip of the glass synthesizing burner body to the tip of the outer tube. A method of manufacturing a porous preform for optical fibers, characterized in that the distance is changed once or more. 【請求項３】 請求項２記載の光ファイバ用多孔質母材
の製造方法において、 ガラス微粒子の堆積に伴なって、前記ガラス合成用バー
ナ本体の先端から前記外筒管の先端までの距離を短くす
ることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方
法。3. The method for producing a porous base material for an optical fiber according to claim 2, wherein the distance from the tip of the glass synthesizing burner body to the tip of the outer tube is accompanied by the deposition of glass particles. A method for producing a porous preform for optical fibers, which is characterized by shortening.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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