JP2003226544A - Method of manufacturing optical fiber porous preform - Google Patents

Method of manufacturing optical fiber porous preform

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JP2003226544A JP2002025374A JP2002025374A JP2003226544A JP 2003226544 A JP2003226544 A JP 2003226544A JP 2002025374 A JP2002025374 A JP 2002025374A JP 2002025374 A JP2002025374 A JP 2002025374A JP 2003226544 A JP2003226544 A JP 2003226544A
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Masahiro Horikoshi
Manabu Saito
雅博 堀越
学 齋藤
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Fujikura Ltd
株式会社フジクラ
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an optical fiber porous preform in which the synthetic reaction efficiency of glass fine particles and the deposition efficiency of the glass fine particles on a deposition surface are improved in the manufacture of the optical fiber porous preform.
SOLUTION: In obtaining the optical fiber porous preform by hydrolyzing a gaseous glass raw material in flame to synthesize the glass fine particles using a burner 10 for glass synthesis which is provided with a 1st jetting port 11 for jetting the gaseous glass raw material and 5th jetting ports 15, 15... provided concentric with the 1st jetting port and for jetting oxygen and depositing the glass fine particles on the outer circumferential part of a rotating starting member in the diameter direction, when the maximum value of the focal length of the 5th jetting ports 15, 15... is expressed by L1, the relation between a distance L2 from the end surface of the burner 10 for the glass synthesis to the deposition surface of the glass fine particles of the optical fiber porous preform and L1 is controlled to be L1≤L2.
COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、酸水素炎中でガラス原料ガスを反応させてガラス微粒子を合成し、これを回転する出発部材の外周部の径方向に堆積する光ファイバ多孔質母材の製造方法に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] [Technical Field of the Invention The present invention comprises reacting a glass raw material gas in an oxyhydrogen flame to synthesize fine glass particles, the diameter of the outer periphery of the starting member rotating it the method for producing an optical fiber porous preform deposited on the direction. 【0002】 【従来の技術】光ファイバは、光ファイバ母材を溶融線引きして製造される。 [0002] optical fiber is produced by the optical fiber preform to melt drawn. また、光ファイバ母材の製造方法としては、VAD法、OVD法、MCVD法、PCVD Further, as a method for manufacturing an optical fiber preform, VAD method, OVD method, MCVD method, PCVD
法などの方法がある。 There is a method, such as law. なかでも、OVD(Outside Vapo Among them, OVD (Outside Vapo
r Phase Deposition)法は、コアとなるガラス材を備えた円柱形の出発部材の表面に、四塩化ケイ素(SiCl r Phase Deposition) method, on the surface of the starting member cylindrical with a glass material as a core, silicon tetrachloride (SiCl
4 )、四塩化ゲルマニウム(GeCl 4 )などのガラス原料ガスを酸素、水素とともに吹き付け、その軸回りに回転する出発部材の表面を酸水素バーナにより加熱して、 4), a glass raw material gas such as germanium tetrachloride (GeCl 4) oxygen, spraying with hydrogen, then heated by surface oxyhydrogen burner starting member rotating about its axis,
ガラス微粒子(スート)を堆積させて複数層からなる多孔質層を形成して光ファイバ多孔質母材とし、これを電気炉中で脱水、焼結しながら透明ガラス化し、光ファイバ母材を製造する方法である。 By depositing glass particles (soot) to form a porous layer comprising a plurality of layers and the optical fiber porous preform, dried it in an electric furnace, and vitrified while sintering, manufacturing an optical fiber preform it is a method of. このような光ファイバ母材を溶融線引きして製造される光ファイバは、純度、その他の品質に優れたものとなる。 Such an optical fiber the optical fiber mother material is produced by melt-drawing is superior to the purity, other quality. 【0003】OVD法において、光ファイバ多孔質母材を形成する工程において用いられるガラス合成用バーナ10の端面は、例えば、図1に示すような構造をなしている。 [0003] In the OVD process, the end face of the glass synthesizing burner 10 used in the step of forming the optical fiber porous preform is, for example, forms a structure as shown in FIG. このガラス合成用バーナ10の端面において、その中心に第1のノズル1が設けられ、この第1のノズル1の周囲に、第1のノズル1と中心軸を同じくして第2 In the end face of the glass synthesizing burner 10, a first nozzle 1 is provided in its center, around the first nozzle 1, the At the same first nozzle 1 and the central axis 2
のノズル2が設けられている。 Nozzle 2 is provided for. また、同様に、第2のノズル2の周囲に、第1のノズル1と中心軸を同じくして第3のノズル3が、第3のノズル3の周囲に、第1のノズル1と中心軸を同じくして第4のノズル4が設けられている。 Similarly, the periphery of the second nozzle 2, the third nozzle 3 and also a first nozzle 1 and the center axis, around the third nozzle 3, a first nozzle 1 and the central axis similarly to the fourth nozzle 4 is provided with. また、第2のノズル2と第3のノズル3の間で、第1のノズル1の同心円上には、複数の小径の第5 Further, between the second nozzle 2 and third nozzle 3, the first nozzle 1 on concentric circles, the plurality of small diameter fifth
のノズル5、5、…が設けられている。 Of the nozzle 5, 5, ... it is provided. また、第1のノズル1が第1の噴出口11をなし、第1のノズル1と第2のノズル2の間の部分が第2の噴出口12をなし、第2のノズル2と第3のノズル3の間の部分が第3の噴出口13をなし、第3のノズル3と第4のノズル4の間の部分が第4の噴出口14をなし、第5のノズル5が第5 The first nozzle 1 forms the first ejection port 11, the portion between the first nozzle 1 and the second nozzle 2 forms the second ejection port 12, the second nozzle 2 and the third moiety forms the third spout 13 between the nozzle 3, and the third nozzle 3 is the portion between the fourth nozzle 4 forms a fourth spout 14, the nozzles 5 of the fifth fifth
の噴出口15をなしている。 And it forms the ejection port 15. 【0004】OVD法において、ガラス微粒子を合成するには、一般的に、第1の噴出口11からは、ガラス原料ガスとして例えば、SiCl 4と酸素の混合ガスを供給し、第2の噴出口12からはアルゴンなどからなるシールガスを供給し、第3の噴出口13からは水素を供給し、第4の噴出口14および第5の噴出口15からは酸素を供給する。 [0004] In OVD method, to synthesize fine glass particles are generally from the first ejection port 11, for example, as a glass raw material gas by supplying a mixed gas of SiCl 4 and oxygen, the second ejection port supplying a sealing gas made of argon from 12, from the third ejection port 13 to supply hydrogen, supplying oxygen from the fourth spout 14 and fifth ejection port 15. 【0005】 【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、高速通信の需要の増加に伴って、光ファイバの生産量も増加し、光ファイバの製造に供される光ファイバ母材が大型化する傾向にある。 [0005] [SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, in recent years, with increasing demand for high-speed communication, production of optical fiber is also increased, the optical fiber preform to be used for the manufacture of optical fiber is large They tend to be. これによって、光ファイバ母材の製造に要する時間が長くなっている。 Thus, the time required for manufacturing the optical fiber preform is long. したがって、光ファイバ多孔質母材の製造におけるガラス微粒子の合成反応の効率や、ガラス微粒子の出発部材および光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面への堆積効率を上げることが、非常に重要な課題となっている。 Accordingly, and efficiency of synthesis reaction of the glass particles in the manufacture of optical fiber porous preform, is possible to increase the deposition efficiency of the glass particle deposition surface of the starting member and the optical fiber porous preform of glass particles, very important It has become a challenge. 【0006】ガラス微粒子の合成反応の効率を上げるためや、ガラス微粒子の堆積効率を上げるためには、例えば、特開平10−101343号公報において、ガラス合成用バーナにおける酸素ガス噴出ポートの焦点距離を、ガラス合成用バーナ端面から光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離よりも長くする方法が提案されている。 [0006] and to increase the efficiency of synthesis reaction of the glass particles, to increase the deposition efficiency of glass particles, for example, in JP-A-10-101343 discloses a focal length of the oxygen gas discharge ports in the glass synthesizing burner how to longer than the distance from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition plane of the optical fiber porous preform is proposed. この方法によれば、合成されたガラス微粒子の流れが乱れることなく、結果として、酸水素炎の乱れを生じることもないため、ガラス微粒子の堆積効率を向上することができる。 According to this method, without being disturbed flow of the synthesized glass particles, as a result, because it does not cause disturbance of the oxyhydrogen flame, it is possible to improve the deposition efficiency of glass particles. しかしながら、出発部材やガラス微粒子を堆積中の光ファイバ多孔質母材の径が大きくなると、上記焦点距離を長くしたために、ガラス微粒子の合成反応の効率が下がることがあった。 However, when the diameter of the optical fiber porous preform during deposition starting member or glass particles is increased, in order to increase the focal length, there may fall the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 【0007】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、光ファイバ多孔質母材の製造において、ガラス微粒子の合成反応の効率およびガラス微粒子のガラス微粒子堆積面への堆積効率を向上する光ファイバ多孔質母材の製造方法を提供することを課題とする。 [0007] The present invention has been made in view of the above circumstances, in the manufacture of the optical fiber porous preform, the light to improve the deposition efficiency of the glass particle deposition plane of efficiency and glass particles of the synthetic reaction of glass particles and to provide a method for producing a fiber porous preform. 【0008】 【課題を解決するための手段】前記課題は、少なくとも中心にガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と同心円上に1列または複数列に配列され、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持つ支燃性ガスの噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口とを備えたガラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多孔質母材の製造方法において、前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値をL1とし、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微 [0008] [Means for Solving the Problems] This object is achieved, a jet port of the gas containing the glass raw material gas in at least the center, around the spout of a gas containing the glass raw material gas, the glass raw material gas arranged in one or more rows inclusive to spout concentric with the gas, jet port of the same column containing the spout of the combustion assisting gas having a same focal length, the combustible gas jet port and using the glass synthesizing burner with a glass raw material gas by a hydrolysis reaction or oxidation reaction in a flame to synthesize glass fine particles, deposited in the radial direction of the outer peripheral portion of the starting member rotating the glass particles in the method for manufacturing an optical fiber porous preform to obtain an optical fiber porous preform, the maximum value of the focal length of the combustion assisting gas ports and L1, the optical fiber porous preform from the glass synthesizing burner end face fine glass of 粒子堆積面までの距離をL2とすると、これらの関係をL1≦L2とする光ファイバ多孔質母材の製造方法によって解決できる。 When the distance to the particle deposition surface and L2, these relationships can be solved by a manufacturing method of an optical fiber porous preform to L1 ≦ L2. 前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値L1と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L2との関係を、0.4≦L1/L2≦0.9とすることが好ましい。 The maximum value L1 of the focal length of the combustion supporting gas injection ports, the relationship between the distance L2 from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform, 0.4 ≦ L1 / it is preferable that the L2 ≦ 0.9. 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L Distance L from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform
2を、500mm以下とすることが好ましい。 2, it is preferable to 500mm or less. 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L2(m)と、前記ガラス原料ガスの流速v1(m/秒)との関係を、0.005 Said distance for synthesizing glass from the burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform L2 and (m), the relationship between the flow velocity v1 (m / s) of the glass raw material gas, 0.005
秒≦L2/v1≦0.07秒とすることが好ましい。 It is preferable that the second ≦ L2 / v1 ≦ 0.07 seconds. 前記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間において、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大値をL In Until deposition the start and end of the deposition the glass particles, the maximum value of the distance from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform L
maxとし、最小値をLminとすると、Lmax−L If the max, and Lmin the minimum value, Lmax-L
min≦(Lmax+Lmin)/2×0.05とすることが好ましい。 It is preferable that the min ≦ (Lmax + Lmin) /2×0.05. 【0009】 【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, the present invention is described in detail.
図1は、光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガラス合成用バーナの第1の例を示す概略構成図である。 Figure 1 is a schematic configuration diagram showing a first example of the glass synthesizing burner used in the manufacture of optical fiber porous preform. 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法で用いられる光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置は、この例のガラス合成用バーナ10と、このガラス合成用バーナ10にガラス原料ガス、支燃性ガスの酸素、可燃性ガスの水素および不活性ガスを供給する図示略のガス供給源と、これらのガスの流量または流速を制御する図示略のガス制御部とから概略構成されている。 Optical fiber porous glass base material manufacturing burner apparatus used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention includes a glass synthesizing burner 10 of this embodiment, the glass raw material gas in the glass synthesizing burner 10, combustion-supporting oxygen sex gas, is schematically composed of a hydrogen and a gas supply source not shown for supplying an inert gas of the combustible gas, and not shown in the gas control unit for controlling the flow rate or flow rate of these gases. 【0010】ガラス合成用バーナ10は、外径40〜6 [0010] The glass synthesis burner 10 has an outer diameter of 40-6
0mm程度の円筒形で、通常は、石英ガラスで形成されている。 In cylindrical about 0 mm, typically it is formed of quartz glass. また、第1のノズル1の内径は2.5〜6mm The first inner diameter of the nozzle 1 2.5~6mm
程度、第2のノズル2の内径は4〜10mm程度、第3 Degree, the second inner diameter of the nozzle 2 is approximately 4 to 10 mm, the third
のノズル3の内径は25〜45mm程度、第4のノズル4の内径は30〜35mm程度、第5のノズル5の内径は1〜2mm程度となっている。 About the inner diameter of the nozzle 3 25~45mm, about the inner diameter of the fourth nozzle 4 30 to 35 mm, an inner diameter of the fifth nozzle 5 is around 1 to 2 mm. また、第1のノズル1 The first nozzle 1
の中心から、第5のノズル5の中心までの距離は、10 From the center of the distance to the center of the fifth nozzle 5, 10
〜30mm程度となっている。 It has become the order of ~30mm. ガラス合成用バーナ10 For glass synthesis burner 10
を構成する各ノズルの内径を上記のような範囲とすることにより、後述の光ファイバ多孔質母材の製造方法を可能とする。 With range as the inside diameter of each of the above nozzles forming, it enables the production method of the optical fiber porous preform described later. 【0011】ガス供給源は、ガラス原料ガス、酸素、水素、不活性ガスなどが充填されたガスボンベ(図示略) [0011] Gas sources are glass raw material gas, oxygen, hydrogen, a gas cylinder, such as an inert gas-filled (not shown)
などからなり、ガラス合成用バーナ10の後端部に、ガス供給管路(図示略)を介して接続されている。 It made like, the rear end portion of the glass synthesizing burner 10, is connected via a gas supply line (not shown). また、 Also,
ガス制御部は、電磁バルブ、流量制御装置などからなり、上述のガス供給管路の中途に設けられており、この流量制御装置により、ガスの流量または流速を制御するようになっている。 Gas control unit is made an electromagnetic valve, the flow control device is provided in the middle of the gas supply lines described above, this flow control device, so as to control the flow rate or flow rate of the gas. 【0012】以下、図1および図2を用いて本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法について説明する。 [0012] Hereinafter, a method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention will be described with reference to FIGS. 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法では、例えば、その軸回りに回転するコアとなるガラス材を備えた円柱形の出発部材の表面に、ガラス合成用バーナ10の第1の噴出口11からSiCl 4などのガラス原料ガスと酸素(O 2 )の混合ガスを供給し、第2の噴出口12からはアルゴン(Ar)などの不活性ガスからなるシールガスを供給し、第3の噴出口13からは水素(H 2 )を供給し、第4の噴出口14および第5の噴出口15からは酸素を供給して、ガラス合成用バーナ10の酸水素炎中における加水分解反応により、ガラス微粒子を合成し、このガラス微粒子を、出発部材の表面および光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面に半焼結状態で半径方向に堆積し、光ファイバ多孔質母材を得る。 In the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention, for example, on the surface of the starting member cylindrical with a glass material as a core which is rotated about its axis, a first ejection port of the glass synthesizing burner 10 11 supplies a mixed gas of a glass raw material gas and oxygen, such as SiCl 4 (O 2) from the from the second ejecting port 12 to supply a sealing gas composed of an inert gas such as argon (Ar), third supplying hydrogen (H 2) from the ejection port 13, from the fourth spout 14 and fifth ejection port 15 by supplying oxygen, by hydrolysis reaction in the oxyhydrogen flame of the glass synthesizing burner 10 , to synthesize fine glass particles, the glass particles is deposited radially semi-sintered state to the glass particle deposition plane of the surface and the optical fiber porous preform of the starting member, to obtain an optical fiber porous preform. 【0013】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法では、図2に示すように、支燃性ガスの酸素を噴出する第5の噴出口15の焦点距離の最大値をL1とし、ガラス合成用バーナ10の端面から光ファイバ多孔質母材2 [0013] In the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention, as shown in FIG. 2, the maximum value of the focal length of the fifth ejection port 15 for ejecting oxygen combustion supporting gas and L1, glass optical fiber from the end face of the composite burner 10 porous preform 2
0のガラス微粒子堆積面20aまでの距離をL2とすると、これらの関係をL1≦L2とすることが好ましい。 If 0 of the distance to the glass particle deposition surface 20a and L2, it is preferable to these relationships between L1 ≦ L2.
第5の噴出口15の焦点距離の最大値L1が、ガラス合成用バーナ10の端面からガラス微粒子堆積面20aまでの距離L2を超えると、第5の噴出口15と焦点を結ぶ線が中心から離れ、その結果として、酸水素炎中において、酸素と第3の噴出口13から噴出される可燃性ガスの水素が反応する位置が、第1の噴出口11から噴出されるガラス原料ガスから離れてしまい、ガラス原料ガス付近の水蒸気濃度が低くなるため、ガラス微粒子の合成反応の効率が低下する。 Maximum value L1 of the focal length of the fifth ejection opening 15, exceeds the distance L2 to the glass particle deposition surface 20a from the end surface of the glass synthesizing burner 10, a line connecting the fifth ejection outlet 15 and the focal point of the center away, as a result, in an oxyhydrogen flame, oxygen and a third position in which the hydrogen of the combustible gas ejected reacts from the ejection port 13, away from the glass raw material gas ejected from the first ejecting port 11 and will, because the concentration of water vapor around the glass raw material gas becomes lower, which reduces the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 【0014】さらに、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法では、第5の噴出口15の焦点距離の最大値L Furthermore, in the manufacturing method of the optical fiber porous preform of the present invention, the maximum value of the focal length of the fifth jets 15 L
1と、ガラス合成用バーナ10の端面からガラス微粒子堆積面20aまでの距離L2との関係を、0.4≦L1 1, the relationship between the distance L2 from the end face of the glass synthesizing burner 10 to the glass particle deposition surface 20a, 0.4 ≦ L1
/L2≦0.9とすることが好ましく、より好ましくは0.5≦L1/L2≦0.9である。 It is preferable that the /L2≦0.9, more preferably 0.5 ≦ L1 / L2 ≦ 0.9. L1/L2が0. L1 / L2 is 0.
4未満では、ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用バーナ10の端面近傍で起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成用バーナ10の端面に付着し、ガラス合成用バーナ10の各噴出口を塞いでしまうため、ガラス微粒子の合成反応の効率が低下する。 If it is less than 4, the synthesis reaction of the glass particles, occur in the vicinity of an end face of the glass synthesizing burner 10, the synthesized glass particles, adhere to the end face of the glass synthesizing burner 10, each ejection port of the glass synthesizing burner 10 since the clog, it decreases the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 一方、L1/L On the other hand, L1 / L
2が0.9を超えると、酸水素炎中において、酸素と第3の噴出口13から噴出される可燃性ガスの水素が反応する位置が、第1の噴出口11から噴出されるガラス原料ガスから離れてしまうため、ガラス微粒子の合成反応の効率が低下する。 If 2 is greater than 0.9, in an oxyhydrogen flame, the glass raw material oxygen and a third position in which the hydrogen of the combustible gas ejected reacts from the ejection port 13, which is ejected from the first ejecting port 11 since thus away from the gas, which reduces the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 【0015】また、ガラス合成用バーナ10の端面からガラス微粒子堆積面20aまでの距離L2を、500m Further, the distance L2 from the end face of the glass synthesizing burner 10 to the glass particle deposition surface 20a, 500 meters
m以下とすることが好ましく、より好ましくは100〜 It is preferable that follows m, more preferably 100 to
250mmである。 It is 250mm. L2が500mmを超えると、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に拡散してしまい、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積面20aへの堆積効率が低下する。 L2 is more than 500 mm, the glass particles synthesized by the oxyhydrogen flame is will diffuse into the atmosphere and decreases the deposition efficiency of the glass particle deposition surface 20a of the glass particles. 【0016】また、第1の噴出口11から噴出されるガラス原料ガスの流速をv1(m/秒)とすると、このv Further, when the flow rate of glass raw material gas ejected from the first ejection port 11 and v1 (m / s), this v
1とガラス合成用バーナ10の端面からガラス微粒子堆積面20aまでの距離L2(m)との関係を、0.00 1 and the relationship between the distance L2 (m) and from the end face of the glass synthesizing burner 10 to the glass particle deposition surface 20a, 0.00
5秒≦L2/v1≦0.07秒とすることが好ましく、 Is preferably 5 seconds ≦ L2 / v1 ≦ 0.07 seconds,
より好ましくは0.005秒≦L2/v1≦0.03秒である。 More preferably 0.005 sec ≦ L2 / v1 ≦ 0.03 seconds. L2/v1が0.005秒未満では、ガラス原料ガスが、ガラス合成用バーナ10の端面からガラス微粒子堆積面20aまでに到達する間に、酸素および水素と十分に反応しない。 The L2 / v1 is less than 0.005 seconds, the glass raw material gas, while reaching from the end face of the glass synthesizing burner 10 to the glass particle deposition surface 20a, it does not sufficiently react with oxygen and hydrogen. すなわち、ガラス微粒子の合成反応の効率が低下する。 In other words, it decreases the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 一方、L2/v1が0.07秒を超えると、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に拡散してしまい、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積面20aへの堆積効率が低下する。 On the other hand, when L2 / v1 exceeds 0.07 seconds, the glass particles synthesized by the oxyhydrogen flame is will diffuse into the atmosphere and decreases the deposition efficiency of the glass particle deposition surface 20a of the glass particles. また、ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用バーナ10の端面近傍で起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成用バーナ10の端面に付着し、ガラス合成用バーナ10の各噴出口を塞いでしまうため、ガラス微粒子の合成反応の効率が低下する。 Further, the synthesis reaction of the glass particles, occur in the vicinity of an end face of the glass synthesizing burner 10, the synthesized glass particles, adhere to the end face of the glass synthesizing burner 10, closes the respective ejection ports of the glass synthesizing burner 10 for put away, decrease the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 【0017】また、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法において、ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間において、ガラス合成用バーナ10の端面から光ファイバ多孔質母材20のガラス微粒子堆積面20a [0017] In the method for manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention, during the period until the deposition the start and end of the deposition fine glass particles, glass particles of the optical fiber porous preform 20 from the end face of the glass synthesizing burner 10 the deposition surface 20a
までの距離の最大値をLmaxとし、最小値をLmin The maximum value of the distance to the Lmax, Lmin the minimum value
とすると、Lmax−Lmin≦(Lmax+Lmi If you, Lmax-Lmin ≦ (Lmax + Lmi
n)/2×0.05とすることが好ましい。 It is preferable that the n) /2×0.05. ガラス微粒子をガラス微粒子堆積面20aに堆積する際に、ガラス合成用バーナ10の端面からガラス微粒子堆積面20a The glass particles in depositing the glass fine particle deposition surface 20a, the glass particle deposition surface 20a from the end surface of the glass synthesizing burner 10
までの距離が大きく変動すると、ガラス微粒子の堆積条件も大きく変動することになる。 When the distance to greatly varies, it will vary greater deposition conditions of the glass particles. これにより、堆積されたガラス微粒子が割れたり、このようにして製造された光ファイバ多孔質母材を焼結後の光ファイバ母材に気泡が生じる。 Thus, crack the glass particles deposited, bubbles occur this way the optical fiber porous glass base material manufactured by the optical fiber preform after sintering. そこで、LmaxとLminとの関係を上記のようにすれば、このような製造不良を生じることがない。 Therefore, if the relationship between Lmax and Lmin, as described above, does not occur such a manufacturing defect. 【0018】なお、図1および図2には、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第1の例を示したが、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナは、 [0018] Incidentally, in FIG. 1 and FIG. 2 shows a first example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention, an optical fiber porous glass base of the present invention glass synthesis burner used in the method of manufacturing wood is
これに限定されるものではない。 The present invention is not limited to this. 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナは、図1および図2に示したものと類似の構造を有するものであればよい。 Glass synthesis burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention may be any one having a structure similar to that shown in FIGS. 図3〜図6に、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの他の例を示す。 3 through 6 show another example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【0019】図3は、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第2の例を示す概略構成図である。 [0019] FIG. 3 is a schematic diagram showing a second example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. この例のガラス合成用バーナの端面において、その中心に第1の噴出口21が設けられ、この第1の噴出口21の周囲に、第1の噴出口21 In the end face of the glass synthesizing burner in this example, the first ejecting port 21 is provided in its center, around the first ejecting port 21, the first ejecting port 21
と中心軸を同じくして第2の噴出口22が設けられている。 Similarly the second ejecting port 22 and is provided to the central axis. また、同様に、第2の噴出口22の周囲に、第1の噴出口21と中心軸を同じくして第3の噴出口23が、 Similarly, the periphery of the second ejection port 22, a third spout 23 and also a first ejecting port 21 and the central axis,
第3の噴出口23の周囲に、第1の噴出口21と中心軸を同じくして第4の噴出口24が設けられている。 Around the third ejection port 23, the fourth ejection port 24 is provided At the same first ejecting port 21 and the central axis. また、第2の噴出口22と第3の噴出口23の間で、第1 Further, between the second ejecting port 22 and the third ejection port 23, the first
の噴出口21の同心円上には、複数の小径の第5の噴出口25、25、…が、第5の噴出口25、25、…の周囲に、複数の小径の第6の噴出口26、26、…が設けられている。 Of the concentric jets 21, the fifth ejection ports 25, 25 of a plurality of small diameter, ... is, the fifth ejection ports 25, 25, ... around the sixth ejection port 26 of a plurality of small diameter , 26, ... it is provided. この例では、第5の噴出口25、25、… In this example, the fifth ejection ports 25, 25, ...
および第6の噴出口26、26、…が支燃性ガスの酸素の噴出口となる。 And sixth ejection ports 26, 26, ... is the oxygen jets of combustion-supporting gas. 【0020】図4は、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第3の例を示す概略構成図である。 [0020] FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a third example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. この例のガラス合成用バーナの端面において、その中心に第1の噴出口31が設けられ、この第1の噴出口31の周囲に、第1の噴出口31 In the end face of the glass synthesizing burner in this example, the first ejection port 31 is provided in its center, around the first ejection port 31, the first ejecting port 31
と中心軸を同じくして第2の噴出口32が設けられている。 Similarly the second ejection port 32 and is provided to the central axis. また、同様に、第2の噴出口32の周囲に、第1の噴出口31と中心軸を同じくして第3の噴出口33が、 Similarly, the periphery of the second ejection port 32, a third ejection outlet 33 At the same central axis and the first ejection port 31,
第3の噴出口33の周囲に、第1の噴出口31と中心軸を同じくして第4の噴出口34が、第4の噴出口34の周囲に、第1の噴出口31と中心軸を同じくして第5の噴出口35が設けられている。 Around the third ejection port 33, the fourth spout 34 and also a first ejecting port 31 and the central axis, around the fourth spout 34, the center axis of the first ejecting port 31 similarly fifth ejection port 35 and is provided with. また、第2の噴出口32 The second ejection port 32
と第3の噴出口33の間で、第1の噴出口31の同心円上には、複数の小径の第6の噴出口36、36、…が、 If between the third ejection port 33, the concentric first ejection port 31, the sixth ejection ports 36, 36 of a plurality of small diameter, ... is,
第6の噴出口36、36、…の周囲に、複数の小径の第7の噴出口37、37、…が、第7の噴出口37、3 Sixth ejection ports 36, 36 ... around the seventh jets 37, 37 of a plurality of small diameter, ... is, seventh spout 37,3
7、…の周囲に、複数の小径の第8の噴出口38、3 7, the ... surrounding, a plurality of small diameter eighth spout 38,3
8、…が設けられている。 8, ... it is provided. この例では、第6の噴出口3 In this example, the sixth ejection opening 3
6、36、…、第7の噴出口37、37、…および第8 6, 36, ..., seventh ejection ports 37, 37, ... and the eighth
の噴出口38、38、…が支燃性ガスの酸素の噴出口となる。 Jets 38, 38 ... is the spout of oxygen combustion supporting gas. 【0021】図5は、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第4の例を示す概略構成図である。 [0021] FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a fourth example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. この例のガラス合成用バーナの端面において、その中心に第1の噴出口41が設けられ、この第1の噴出口41の周囲に、第1の噴出口41 In the end face of the glass synthesizing burner in this example, the first ejection port 41 is provided in its center, around the first ejection port 41, the first ejecting port 41
と中心軸を同じくして第2の噴出口42が設けられている。 Similarly the second ejection port 42 and is disposed on the central axis and. また、同様に、第2の噴出口42の周囲に、第1の噴出口41と中心軸を同じくして第3の噴出口43が、 Similarly, the periphery of the second spout 42, the third ejection port 43 At the same first ejecting port 41 and the central axis,
第3の噴出口43の周囲に、第1の噴出口41と中心軸を同じくして第4の噴出口44が、第4の噴出口44の周囲に、第1の噴出口41と中心軸を同じくして第5の噴出口45が、第5の噴出口45の周囲に、第1の噴出口41と中心軸を同じくして第6の噴出口46が、第6 Around the third ejection port 43, the fourth ejection port 44 At the same first ejecting port 41 and the center axis, around the fourth ejection port 44, the center axis of the first ejecting port 41 the same to fifth ejection port 45, around the fifth ejection ports 45, sixth ejection port 46 At the same first ejecting port 41 and the center axis, the sixth
の噴出口46の周囲に、第1の噴出口41と中心軸を同じくして第7の噴出口47が、第7の噴出口47の周囲に、第1の噴出口41と中心軸を同じくして第8の噴出口48が設けられている。 Of the periphery of the spout 46, the seventh spout 47 and also a first ejecting port 41 and the center axis, around the seventh ejection port 47, also the first ejecting port 41 and the central axis 8 jets 48 are provided. また、第3の噴出口43と第4の噴出口44の間で、第1の噴出口31の同心円上には、複数の小径の第9の噴出口49、49、…が、第9 Further, between the third ejection port 43 and the fourth ejection port 44, the concentric first ejection port 31, a plurality of small diameter ninth ejection ports 49, 49, ... is, 9
の噴出口49、49、…の周囲に、複数の小径の第10 Jets 49, 49, ... around a, a plurality of small diameter 10
の噴出口50、50、…が設けられている。 Of the ejection port 50, 50, ... it is provided. この例では、第9の噴出口49、49、…および第10の噴出口50、50、…が支燃性ガスの酸素の噴出口となる。 In this example, the ninth ejection ports 49, ... and 10 of the spout 50, 50, ... is the oxygen jets of combustion-supporting gas. 【0022】図6は、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第5の例を示す概略構成図である。 [0022] FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a fifth example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. この例のガラス合成用バーナの端面において、その中心に第1の噴出口51が設けられ、この第1の噴出口51の周囲に、第1の噴出口51 In the end face of the glass synthesizing burner in this example, the first ejection port 51 is provided in its center, around the first ejection port 51, the first ejecting port 51
と中心軸を同じくして第2の噴出口52が設けられている。 Similarly the second ejection port 52 and is provided to the central axis. また、同様に、第2の噴出口52の周囲に、第1の噴出口51と中心軸を同じくして第3の噴出口53が、 Similarly, the periphery of the second spout 52, the third ejection port 53 At the same first ejecting port 51 and the central axis,
第3の噴出口53の周囲に、第1の噴出口51と中心軸を同じくして第4の噴出口54が、第4の噴出口54の周囲に、第1の噴出口51と中心軸を同じくして第5の噴出口55が、第5の噴出口55の周囲に、第1の噴出口51と中心軸を同じくして第6の噴出口56が設けられている。 Around the third ejection port 53, the fourth spout 54 and also a first ejecting port 51 and the center axis, around the fourth spout 54, the center axis of the first ejecting port 51 the same to fifth ejection port 55, around the fifth ejection opening 55, the sixth ejection port 56 At the same first ejecting port 51 and the central shaft. また、第3の噴出口53と第4の噴出口54 Further, a third spout 53 the fourth spout 54
の間で、第1の噴出口51の同心円上には、複数の小径の第7の噴出口57、57、…が設けられている。 Between, on the concentric circle of the first ejection port 51, a seventh jets 57, 57 of a plurality of small diameter, ... are provided. この例では、第7の噴出口57、57、…が支燃性ガスの酸素の噴出口となる。 In this example, the seventh spout 57, ... is the oxygen jets of combustion-supporting gas. 【0023】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法にあっては、上記のようなガラス合成用バーナを用いて、出発部材の表面および光ファイバ多孔質母材の表面にガラス微粒子を堆積する際、ガラス原料ガスの流速および酸素の流速が、他のガスの流速と比較すると著しく大きい。 [0023] In the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention, using a glass synthesizing burner as described above, depositing glass particles on the surface and the surface of the optical fiber porous preform of the starting member to time, the flow rate of the flow rate and oxygen of the glass raw material gas is significantly greater when compared to the flow rate of the other gas. したがって、ガラス原料ガスの流速および酸素の流速が、酸水素炎の大きさや温度、ガラス微粒子の合成反応を支配するから、ガラス原料ガスを噴出する第1 Accordingly, the flow rate of the flow rate and oxygen of the glass raw material gas, the size and temperature of the oxyhydrogen flame, because governing the synthesis reaction of glass particles, the first for ejecting a glass raw material gas
の噴出口および酸素の噴出口以外の構造が多少異なっても、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に影響を及ぼすことはない。 Be different jets and oxygen jets non structure somewhat, it will not affect the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【0024】また、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法によって製造された光ファイバ多孔質母材を電気炉に入れ、ヘリウム(He)などの不活性ガス雰囲気中で脱水しながら、透明なガラスになるまで焼結すると、 Further, the optical fiber porous preform produced by the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention placed in an electric furnace, while dehydrated in an inert gas atmosphere such as helium (the He), transparent When sintered to become a glass,
円柱形の光ファイバ母材を得る。 Obtaining a cylindrical optical fiber preform. このようにして得られた光ファイバ母材は、内部に気泡が発生したり、表面にひび割れが生じることもなく、品質に優れたものとなる。 The thus obtained optical fiber preform, or air bubbles are generated inside it without cracks occur on the surface, and is excellent in quality. さらに、このようにして得られた光ファイバ母材を溶融線引きして製造される光ファイバは、純度、その他の品質に優れたものとなる。 Further, the optical fibers produced this way the optical fiber preform obtained by melt-drawing is superior to the purity, other quality. 【0025】以下、図1および図2を用いて具体的な実施例を示し、本発明の効果を明らかにする。 [0025] Hereinafter, shows a specific embodiment with reference to FIGS. 1 and 2 reveals the effects of the present invention. (実施例1)図1に示したガラス合成用バーナ10において、第5の噴出口15の焦点距離の最大値L1が12 (Example 1) synthesizing glass burner 10 shown in FIG. 1, the maximum value L1 of the focal length of the fifth ejection opening 15 12
0mmのものを用意した。 It was prepared those of 0mm. 次いで、長さ1200mm、 Then, the length of 1200mm,
外径35mmの石英系ガラスからなる円柱形の出発部材を用意した。 It was prepared starting member cylindrical made of silica glass having an outer diameter of 35 mm. 次いで、この出発部材の両端部を把持具で把持し、出発部材を水平に配置した。 Then, gripping the opposite ends of the starting member at the gripper was placed starting member horizontally. 次いで、この出発部材を、その中心軸を中心にして回転させながら、上記のガラス合成用バーナ10を複数本用いて、ガラス微粒子を合成し、ガラス合成用バーナ10を、出発部材の長手方向と平行に移動させならが、ガラス微粒子を、回転する出発部材の半径方向に堆積して、円柱形の光ファイバ多孔質母材を得た。 Then the starting member, while rotating about its central axis, the glass synthesizing burner 10 described above using a plurality of, to synthesize fine glass particles, the glass synthesizing burner 10, the longitudinal direction of the starting member If moving in parallel, but the glass particles, deposited in the radial direction of the starting member rotating to obtain an optical fiber porous preform cylindrical. このとき、出発部材の回転速度を30rpmとした。 At this time, it was 30rpm rotation speed of the starting rod. また、第1の噴出口11からはSi Further, from the first ejecting port 11 Si
Cl 4を5l/分と酸素を3l/分噴出し、第2の噴出口12からは空気を1l/分噴出し、第3の噴出口からは水素を50l/分噴出し、第4の噴出口からは窒素を5l/分噴出し、第5の噴出口からは酸素を20l/分噴出した。 The Cl 4 5l / min and oxygen was 3l / min ejected, from the second ejecting port 12 air ejection 1l / min, hydrogen was ejected 50 l / min from the third spout fourth injection from the outlet nitrogen and 5l / min ejected, from the fifth ejection outlet oxygen was ejected 20l / min. また、ガラス原料ガスの流量は一定とし、流速v1を27m/秒、17m/秒、7m/秒と変化させた。 The flow rate of glass raw material gas is kept constant, and varying the flow rate v1 27m / sec, 17m / sec, and 7m / sec. 光ファイバ多孔質母材の製造において、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。 In the manufacture of the optical fiber porous preform, when depositing the glass particles on the surface of the starting member was examined deposition efficiency of glass particles. ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、 Here, the deposition efficiency of glass particles is
使用したガラス原料ガスが全て化学反応によってガラス微粒子に変化したと仮定したときのガラス微粒子の総量に対する、出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の総量の割合で定義するものである。 To the total amount of the glass particles when the glass raw material gas used is assumed to have changed to the glass particles by all chemical reactions, it is intended to define a ratio of the total amount of glass particles deposited on the surface of the starting member. 結果を表1、図7、 Results Table 1, Fig. 7,
図8および図9に示す。 8 and 9. 【0026】 【表1】 [0026] [Table 1] 【0027】(実施例2)図1に示したガラス合成用バーナ10において、第5の噴出口15の焦点距離の最大値L1が180mmのものを用いた以外は実施例1と同様にして、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。 [0027] (Example 2) synthesizing glass burner 10 shown in FIG. 1, except that the maximum value L1 of the focal length of the fifth ejection opening 15 used was a 180mm in the same manner as in Example 1, when depositing the glass particles on the surface of the starting member was examined deposition efficiency of glass particles. 結果を表2、図7、図8および図9に示す。 The results are shown in Table 2, FIGS. 7, 8 and 9. 【0028】 【表2】 [0028] [Table 2] 【0029】(実施例3)図1に示したガラス合成用バーナ10において、第5の噴出口15の焦点距離の最大値L1が240mmのものを用いた以外は実施例1と同様にして、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。 [0029] (Example 3) synthesizing glass burner 10 shown in FIG. 1, except that the maximum value L1 of the focal length of the fifth ejection opening 15 used was a 240mm in the same manner as in Example 1, when depositing the glass particles on the surface of the starting member was examined deposition efficiency of glass particles. 結果を表3、図7、図8および図9に示す。 The results are shown in Table 3, 7, 8 and 9. 【0030】 【表3】 [0030] [Table 3] 【0031】表1〜3および図7〜9の結果から、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法によれば、ガラス微粒子の堆積効率が著しく向上することが確認された。 [0031] From the results of Tables 1-3 and 7-9, according to the manufacturing method of the optical fiber porous preform of the present invention, it was confirmed that the deposition efficiency of glass particles is remarkably improved. 【0032】 【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法は、少なくとも中心にガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と同心円上に1列または複数列に配列され、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持つ支燃性ガスの噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口とを備えたガラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多孔質母材の製造方法において、前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値をL1とし、前記ガラス合成用バーナ端面か [0032] As described above, according to the present invention, a method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention, including a jet port of the gas containing the glass raw material gas in at least the center, the glass raw material gas around the jet port of the gas, the glass raw material gas is arranged in one or more rows inclusive to spout concentric with the gas, jet port of the same column of combustion supporting gas having a same focal length injection enclosing the outlet, by using the glass synthesizing burner with a spout of the combustible gas, the glass raw material gas by a hydrolysis reaction or oxidation reaction in a flame to synthesize fine glass particles, rotating said glass particles in the method for manufacturing an optical fiber porous preform to obtain an optical fiber porous preform is deposited in the radial direction of the outer peripheral portion of the starting member, the maximum value of the focal length of the combustion supporting gas injection port and L1, the glass or synthetic burner end face ら前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離をL2とすると、これらの関係をL1≦L When the distance to the glass particle deposition plane of al the optical fiber porous preform and L2, these relationships L1 ≦ L
2とするから、ガラス微粒子の合成反応の効率および堆積効率が向上する。 Since the 2, thereby improving the efficiency and deposition efficiency of synthesis reaction of glass particles. 前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値L1と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L Wherein the combustion supporting gas orifice focal length maximum value L1 of the distance from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform L
2との関係を、0.4≦L1/L2≦0.9とすれば、 The relationship between the 2, if 0.4 ≦ L1 / L2 ≦ 0.9,
ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用バーナの端面近傍で起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成用バーナの端面に付着することがない。 The synthesis reaction of the glass particles, occur in the vicinity of an end face of the glass synthesizing burner, the synthesized glass particles, does not adhere to the end face of the glass synthesizing burner. したがって、ガラス微粒子の合成反応の効率が向上する。 This improves the efficiency of synthesis reaction of glass particles. 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L2を、500mm以下とすれば、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に拡散することがなく、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積面への堆積効率が向上する。 The distance L2 from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform, if 500mm or less, without glass particles synthesized by the oxyhydrogen flame diffuses into the atmosphere improves the deposition efficiency of the glass particle deposition plane of glass particles. 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L2(m)と、前記ガラス原料ガスの流速v Wherein a distance for synthesizing glass from the burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform L2 (m), the flow velocity v of the glass raw material gas
1(m/秒)との関係を、0.005秒≦L2/v1≦ 1 the relationship between the (m / sec), 0.005 sec ≦ L2 / v1 ≦
0.07秒とすれば、ガラス原料ガスが、ガラス合成用バーナの端面からガラス微粒子堆積面までに到達する間に、酸素および水素と十分に反応し、ガラス微粒子の合成反応の効率が向上する。 If 0.07 seconds, the glass raw material gas, while reaching from the end face of the glass synthesizing burner to the glass particle deposition surface, and sufficiently react with oxygen and hydrogen, thereby improving the efficiency of synthesis reaction of glass particles . また、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に拡散することがなく、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積面への堆積効率が向上する。 The glass particles synthesized by the oxyhydrogen flame is not able to diffuse into the atmosphere, thereby improving the deposition efficiency of the glass particle deposition plane of glass particles. 前記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間において、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大値をLmaxとし、最小値をLminとすると、Lma In Until deposition the start and end of the deposition the glass particles, when the maximum value of the distance from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform and Lmax, and Lmin the minimum value, Lma
x−Lmin≦(Lmax+Lmin)/2×0.05 x-Lmin ≦ (Lmax + Lmin) /2×0.05
とすれば、堆積されたガラス微粒子が割れたり、この光ファイバ多孔質母材を焼結して得られる光ファイバ母材に気泡が生じることがない。 If, cracked glass fine particles deposited, no bubbles occur the optical fiber porous preform into an optical fiber preform obtained by sintering.

【図面の簡単な説明】 【図1】 光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガラス合成用バーナの第1の例を示す概略構成図である。 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic block diagram showing a first example of the glass synthesizing burner used in the manufacture of optical fiber porous preform. 【図2】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法を示す概略断面図である。 2 is a schematic cross-sectional views showing a method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【図3】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第2の例を示す概略構成図である。 Figure 3 is a schematic diagram showing a second example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【図4】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第3の例を示す概略構成図である。 4 is a schematic configuration diagram showing a third example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【図5】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第4の例を示す概略構成図である。 5 is a schematic configuration diagram showing a fourth example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【図6】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第5の例を示す概略構成図である。 6 is a schematic configuration diagram showing a fifth example of the glass synthesizing burner used in the method of manufacturing an optical fiber porous preform of the present invention. 【図7】 L2とガラス微粒子の堆積効率の関係を示すグラフである。 7 is a graph showing the relationship between the deposition efficiency of L2 and glass particles. 【図8】 L2/v1とガラス微粒子の堆積効率の関係を示すグラフである。 8 is a graph showing the relationship between the deposition efficiency of L2 / v1 and glass particles. 【図9】 L1/L2とガラス微粒子の堆積効率の関係を示すグラフである。 9 is a graph showing the relationship between the deposition efficiency of the L1 / L2 and glass particles. 【符号の説明】 1・・・第1のノズル、2・・・第2のノズル、3・・・第3のノズル、4・・・第4のノズル、5・・・第5のノズル、10 [Reference Numerals] 1 ... first nozzle, 2 ... second nozzle, 3 ... third nozzle, 4 ... fourth nozzle, 5: fifth nozzle, 10
・・・ガラス合成用バーナ、11・・・第1の噴出口、12・・ ... glass synthesis burner, 11 ... first ejection port, 12 ...
・第2の噴出口、13・・・第3の噴出口、14・・・第4の噴出口、15・・・第5の噴出口、20・・・光ファイバ多孔質母材、20a・・・ガラス微粒子堆積面 · Second spout 13 ... third spout 14 ... fourth spout 15 ... fifth ejection outlet, 20 ... optical fiber porous preform, 20a- ... glass particle deposition surface

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 少なくとも中心にガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と同心円上に1列または複数列に配列され、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持つ支燃性ガスの噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口とを備えたガラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多孔質母材の製造方法において、 前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値をL1とし、 And [Claims 1. A gas containing a glass raw material gas in at least the central spout around the spout of a gas containing the glass raw material gas, a gas containing the glass raw material gas arranged in one or more rows in the spout and concentrically, spout of the same column containing the spout of the combustion assisting gas having a same focal length, glass synthesis having a spout for combustible gas with use burner, the glass raw material gas by a hydrolysis reaction or oxidation reaction in a flame to synthesize glass fine particles, deposited in the radial direction of the outer peripheral portion an optical fiber porous glass base of the starting member rotating the glass particles in the method for manufacturing an optical fiber porous preform to obtain a timber, the maximum value of the focal length of the combustion supporting gas injection port and L1,
    前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離をL2とすると、 When the distance from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform and L2,
    これらの関係をL1≦L2とすることを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。 The method of manufacturing an optical fiber porous preform, characterized in that these relationships between L1 ≦ L2. 【請求項2】 前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値L1と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L2との関係を、0.4≦L1/L2≦0.9とすることを特徴とする請求項1記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 And wherein the maximum value L1 of the focal length of the combustion supporting gas injection ports, the relationship between the distance L2 from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform, 0 the method of manufacturing an optical fiber porous preform according to claim 1, characterized in that a .4 ≦ L1 / L2 ≦ 0.9. 【請求項3】 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L Wherein the distance from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform L
    2を、500mm以下とすることを特徴とする請求項1 2, characterized by a 500mm or less claim 1
    または2記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 Or a method of manufacturing an optical fiber porous preform described. 【請求項4】 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離L 4. A distance L from the glass synthesizing burner end face to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform
    2(m)と、前記ガラス原料ガスの流速v1(m/秒) 2 (m) and the flow rate of glass raw material gas v1 (m / s)
    との関係を、0.005秒≦L2/v1≦0.07秒とすることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 The method of manufacturing an optical fiber porous preform according to any of claims 1 to 3 relationship, characterized in that 0.005 sec ≦ L2 / v1 ≦ 0.07 seconds with. 【請求項5】 前記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間において、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大値をLmaxとし、最小値をLminとすると、Lmax−Lmin≦(Lmax+Lmin)/2 5. A until deposition the start and end of the deposition the glass particles, and Lmax the maximum value of the distance to the glass particle deposition surface of the optical fiber porous preform from the glass synthesizing burner end face, the minimum value When the the Lmin, Lmax-Lmin ≦ (Lmax + Lmin) / 2
    ×0.05とすることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 The method of manufacturing an optical fiber porous preform according to any of claims 1 to 4, characterized in that a × 0.05.
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